JPH06201783A - Inspecting body mounting position and device for shifting inspecting body to probe contact position - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To simplify the mounting work of an inspecting body, to secure the safety of a worker and peripheral equipment and to improve contact accuracy by making a position regulating stage thinner and the attaching position of the inspecting body differ from a probe contact position, a monitoring position and a regulating position. CONSTITUTION:A pallet 200 is movably arranged on a base 100, and controlled in a position in a X-axis direction by plungers 101, 102 and a ball bearing 104. The position of the pallet 200 in the Y-axis direction and an angle can be regulated by regulating screws 106, 108 which press the edge of the pallet 200 and drive the edge on the other side of the pallet 200 and regulating motors 601, 602. The base 100 is moved in the X-axis direction by a shaft 801 and a regulating motor 802 to be regulated in the X-axis direction. The exchanging position of an inspected body 300 differs greatly from a video monitoring and a probe contact position in the X-axis direction.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、液晶表示デバイス
（ＬＣＤと称する）の接続パターン等にプローブを接触
させて、試験、検査等を行うのに利用される装置に係わ
り、とくに作業性を向上した被検査体の装着位置及びプ
ローブコンタクト位置への移動装置。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus used for conducting tests, inspections, etc. by bringing a probe into contact with a connection pattern of a liquid crystal display device (referred to as LCD), and particularly improving workability. For moving the inspected object to the mounting position and probe contact position.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ＬＣＤの点灯状態を試験、検査する場
合、ＬＣＤをパレット上に平面的に載置し、このパレッ
トを平面的にＸ軸方向、Ｙ軸方向、回転（θ）方向に位
置調整し、所定位置に設置されているプローブを近付け
て、接続パターンに電気的接触を行い、試験、検査を行
っている。2. Description of the Related Art When testing and inspecting the lighting state of an LCD, the LCD is placed flat on a pallet and the pallet is positionally adjusted in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the rotation (θ) direction. Then, a probe installed at a predetermined position is brought close to the connection pattern to make an electrical contact, and a test and an inspection are performed.

【０００３】ここで、パレットを調整する装置は、Ｘ軸
方向用のステージ、Ｙ軸方向用のステージ、θ方向用の
ステージを積み重ねることにより構成されている。そし
て、パレット及びその上面のＬＣＤを位置調整する場
合、ビデオカメラにより監視しており、調整位置パター
ンを写し出して調整作業を行っている。The device for adjusting the pallet is constructed by stacking a stage for the X-axis direction, a stage for the Y-axis direction, and a stage for the θ direction. When adjusting the position of the pallet and the LCD on the upper surface of the pallet, the position of the pallet is monitored by a video camera, and the adjustment position pattern is displayed for the adjustment work.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】まず従来のステージ装
置によると、Ｘ、Ｙ軸、θ方向の各ステージが積み重ね
られているために、厚みが非常に大きく、ステージ全体
の高さが高く、作業者の視点も高くなり見にくいという
問題がある。また、ビデオカメラにより調整位置パター
ンを監視する場合、ビデオカメラの配置位置が問題とな
る。調整位置パターンを監視する場合、ビデオカメラを
ＬＣＤの鉛直方向の上側、または下側に配置することに
なるが、上側に配置した場合、作業側にカメラが突出し
危険である。またＬＣＤの装着や取り外し時にカメラが
邪魔になり作業性が悪い。カメラが作業者に接触するこ
とがあり、このような場合、カメラの光軸が狂い正確な
位置パターンの監視が得られなくなる。ＬＣＤの下側に
カメラを配置して監視する場合、バックライトと干渉
し、良好な監視像を得られなくなる。また、ＬＣＤの配
置位置を高くせざるを得ず、作業者の視点が高くなり作
業性が悪い。First, according to the conventional stage apparatus, since the stages in the X, Y axis, and θ directions are stacked, the thickness is very large, and the height of the entire stage is high. There is a problem that it is difficult to see because the person's viewpoint is also high. Further, when the adjustment position pattern is monitored by the video camera, the position where the video camera is arranged poses a problem. When the adjustment position pattern is monitored, the video camera is arranged on the upper side or the lower side of the LCD in the vertical direction. However, if it is arranged on the upper side, it is dangerous because the camera protrudes to the working side. In addition, the camera is an obstacle when the LCD is attached or detached, and the workability is poor. The camera may come into contact with an operator, and in such a case, the optical axis of the camera is deviated and accurate position pattern monitoring cannot be obtained. When a camera is arranged below the LCD for monitoring, it interferes with the backlight and a good monitoring image cannot be obtained. In addition, the position where the LCD is arranged must be increased, and the operator's viewpoint becomes high, resulting in poor workability.

【０００５】そこでこの発明は、位置調整ステージが薄
型化し、調整作業が容易であり、また監視用ビデオカメ
ラの配置空間に余裕が得られ、ビデオカメラのために作
業上で支障が生じることのないようにし精度の高いコン
タクトが行えるプローブコンタクト用ステージ装置を提
供することを目的とする。Therefore, according to the present invention, the position adjusting stage is made thin, the adjusting work is easy, and the space for arranging the video camera for surveillance can be obtained, so that there is no trouble in the work due to the video camera. Thus, it is an object of the present invention to provide a probe contact stage device capable of highly accurate contact.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明は、被検査板体
が所定位置に載置されるパレットと、 前記パレットを
上面で平面的に可動自在に受けるベースと、 前記ベー
ス上のパレットをそのエッジ方向から駆動して、Ｙ軸方
向、及び平面回転方向に位置調整する第１の調整手段
と、 前記ベースを前記Ｙ軸と直交するＸ軸方向に移動
自在に支持し、かつ位置調整が可能であり、前記被検査
板体を前記パレットへ装着するための第１の位置、前記
被検査板体に対してプローブをコンタクトさせる第２の
位置へ搬送可能な第２の調整手段とを備えるものであ
る。According to the present invention, there is provided a pallet on which a plate to be inspected is placed at a predetermined position, a base for movably receiving the pallet in a plane in a planar manner, and a pallet on the base. First adjusting means that is driven from the edge direction to adjust the position in the Y-axis direction and the plane rotation direction, and the base is movably supported in the X-axis direction orthogonal to the Y-axis, and the position can be adjusted. A first position for mounting the plate to be inspected on the pallet, and a second adjusting means capable of being conveyed to a second position for bringing a probe into contact with the plate to be inspected. Is.

【０００７】[0007]

【作用】上記の手段により、調整手段が平面的であり、
装置全体を薄型化することができ、かつ被検査体をパレ
ットの装着する位置と、プローブをコンタクトさせてビ
デオカメラで監視する場所がＸ軸方向に異なるために、
ビデオカメラやプローブ等の周辺機器が邪魔になること
がなく作業性が良い。また、精度の高いプローブコンタ
クトが行える。By the above means, the adjusting means is flat,
Since the entire device can be made thin, and the position where the object to be inspected is mounted on the pallet and the position where the probe is contacted and monitored by the video camera are different in the X-axis direction,
Peripheral devices such as video cameras and probes do not get in the way and workability is good. In addition, highly accurate probe contact can be performed.

【０００８】[0008]

【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【０００９】図１はこの発明の一実施例である。１００
は長方形のベースである。ベース１００の上面中央に
は、長方形のパレット２００が載置される。このパレッ
ト２００の面積は、ベース１００のそれよりも小さく、
ベース上を平面的に可動自在な支持手段を介して載置さ
れている。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. 100
Is a rectangular base. A rectangular pallet 200 is placed in the center of the upper surface of the base 100. The area of this pallet 200 is smaller than that of the base 100,
It is mounted on the base via a support means that is movable in a plane.

【００１０】ベース１００のＸ軸方向の一辺側の上面に
は、例えばプランジャー１０１、１０１が取り付けら
れ、パレット２００のエッジを弾性的に矢印Ｘ（−）方
向へ押さえるように構成されている。このプランジャー
１０１、１０１に対向したベース１００の他方の辺側の
上面には、ボールベアリング１０４が設けられ、パレッ
ト２００がＸ（＋）方向に移動するのを規制している。
また、ベース１００のＹ軸方向の一辺側の上面には、例
えばプランジャー１０２、１０２が取り付けられ、パレ
ット２００のエッジを弾性的に矢印Ｙ（−）方向へ押さ
えるように構成されている。このプランジャー１０２、
１０２に対向したベース１００の他方の辺側の上面に
は、調整ねじ１０６、１０８が軸受け１０５、１０７に
縲合されており、この調整ねじ１０６、１０８を所定方
向に回転すると、パレット２００のエッジを押し、Ｙ
（＋）方向にパレット２００を駆動することができる。
回転（θ）方向の調整は、調整ねじ１０６、１０８の回
転量により調整することができる。Plungers 101, 101, for example, are attached to the upper surface of the base 100 on one side in the X-axis direction, and are configured to elastically press the edge of the pallet 200 in the arrow X (-) direction. A ball bearing 104 is provided on the upper surface of the base 100 opposite to the plungers 101, 101 on the other side to restrict the pallet 200 from moving in the X (+) direction.
Plungers 102, 102, for example, are attached to the upper surface of the base 100 on one side in the Y-axis direction so as to elastically press the edge of the pallet 200 in the arrow Y (-) direction. This plunger 102,
Adjusting screws 106 and 108 are engaged with bearings 105 and 107 on the upper surface of the other side of the base 100 facing the 102. When the adjusting screws 106 and 108 are rotated in a predetermined direction, the edges of the pallet 200 are rotated. Press, Y
The pallet 200 can be driven in the (+) direction.
The adjustment in the rotation (θ) direction can be adjusted by the amount of rotation of the adjusting screws 106 and 108.

【００１１】ここで、Ｙ軸方向及びθ軸方向の調整は、
第１の調整手段により行われる。つまり、ベース１００
の上面には、調整モータ６０１、６０２が配置され、ギ
ア６０３、６０４を介してそれぞれ調整ねじ１０６、１
０８を回転駆動できるようになっている。Here, the adjustment in the Y-axis direction and the θ-axis direction is as follows.
It is performed by the first adjusting means. That is, the base 100
Adjusting motors 601 and 602 are arranged on the upper surface of the adjusting screws 106 and 1 via gears 603 and 604, respectively.
08 can be rotationally driven.

【００１２】次にＸ軸方向の調整及び移動は次のように
行われる。即ち、ベース１００の下面には、Ｘ軸方向に
平行にかつ水平に配置されたガイド棒７０１、７０２に
より支持される軸受け部が設けられている。これによ
り、ベース１００はＸ軸方向へ移動自在である。さらに
Ｘ軸と平行にかつ水平に送りねじ８０１が配設され、こ
のシャフト８０１を回転させるとベース１００は、水平
方向へ水平に駆動される。送りねじ８０１は、調整及び
移動モータ８０２により回転制御される。Next, adjustment and movement in the X-axis direction are performed as follows. That is, the lower surface of the base 100 is provided with a bearing portion supported by the guide rods 701 and 702 arranged in parallel with the X-axis direction and horizontally. This allows the base 100 to move in the X-axis direction. Further, a feed screw 801 is arranged parallel to the X axis and horizontally. When the shaft 801 is rotated, the base 100 is horizontally driven in the horizontal direction. The feed screw 801 is rotationally controlled by an adjusting and moving motor 802.

【００１３】次に、パレット２００の中央部の所定位置
には、液晶表示デバイス（ＬＣＤ）３００を配置できる
ようになっている。パレット２００の位置調整を行うこ
とにより、ＬＣＤ３００のコンタクトに対する位置決め
が行われる。Next, a liquid crystal display device (LCD) 300 can be arranged at a predetermined position in the center of the pallet 200. By adjusting the position of the pallet 200, the LCD 300 is positioned with respect to the contact.

【００１４】ところでベース１００には、さらに真空吸
着装置の吸着部９０１、９０２（パレット支持手段の兼
ねる）が上面側を向いて設けられており、真空吸着装置
を動作させると、ベース上にパレット３００を固定する
ことができる。吸着部９０１、９０２は、それぞれベー
ス１００内部をと押してエッジに導出された真空用継手
９０３、９０４、ホースを介して吸着装置本体に結合さ
れている。上述した第１、第２の調整手段によりパレッ
ト２００の位置が決まると、真空吸着装置によりパレッ
トがその位置で固定される。By the way, the base 100 is further provided with suction portions 901 and 902 (also serving as pallet supporting means) of the vacuum suction device facing the upper surface side. When the vacuum suction device is operated, the pallet 300 is placed on the base. Can be fixed. The suction portions 901 and 902 are coupled to the suction device main body via vacuum joints 903 and 904 and hoses that are pushed out to the edges by pushing the inside of the base 100, respectively. When the position of the pallet 200 is determined by the above-mentioned first and second adjusting means, the pallet is fixed at that position by the vacuum suction device.

【００１５】上記の装置によると、ＬＣＤ３００のＹ軸
方向の調整、θ方向の調整を第１の調整手段で調整し、
Ｘ軸方向の調整を第２の調整手段で調整できる。この調
整は、例えば一点鎖線で示す位置３００Ａにおいて行わ
れ、例えば上面側に設けられているビデオカメラにより
監視しながら行われる。調整の後は、プローブがＬＣＤ
３００側の降りてきて各種の検査が行われる。ビデオカ
メラは例えばＬＣＤの配線パターンを拡大撮像し、この
パターンの内部に記憶している基準パターンとを画面上
で比較できるようになっている。基準パターンと撮像パ
ターンとを一致させると、ビデオカメラの位置とＬＣＤ
の位置の関係が所定の関係になることである。よってビ
デオカメラとプローブの位置関係を所定の関係に固定し
ておけば、プローブをＬＣＤ側に降ろしたときに、プロ
ーブは所望の配線や端子に接続できることになる。検査
内容としては、プローブ装置自体がＬＣＤドライブＩＣ
を持ち、実際にＬＣＤを駆動し、画素欠陥、ライン欠陥
等の検査が行われる。According to the above-mentioned device, the adjustment of the LCD 300 in the Y-axis direction and the θ-direction is adjusted by the first adjusting means,
The adjustment in the X-axis direction can be adjusted by the second adjusting means. This adjustment is performed, for example, at the position 300A indicated by the alternate long and short dash line, and is performed while being monitored by, for example, a video camera provided on the upper surface side. After adjustment, the probe is LCD
Various inspections are carried out when the 300 side comes down. The video camera is capable of, for example, enlarging and picking up an image of the wiring pattern of the LCD and comparing the reference pattern stored inside this pattern on the screen. If the reference pattern and the imaging pattern are matched, the position of the video camera and the LCD
That is, the relationship of the positions becomes a predetermined relationship. Therefore, if the positional relationship between the video camera and the probe is fixed to a predetermined relationship, the probe can be connected to a desired wiring or terminal when the probe is lowered to the LCD side. As for the inspection content, the probe device itself is an LCD drive IC.
Then, the LCD is actually driven to inspect for pixel defects, line defects and the like.

【００１６】検査終了の後は、Ｘ軸調整手段により、ベ
ース１００とともに、図示の実線で示すような位置に移
動させられる。すると、この部分の周辺空間は十分なス
ペースがあり、ＬＣＤ３００の取り離しや、次のＬＣＤ
の装着が容易になり作業性が良い。また、ビデオカメラ
やプローブ装置も存在せず、従来の如く周辺機器に作業
者が触れて、変形を生じたり、故障を発生させたりする
こともない。After the inspection is completed, the X-axis adjusting means moves the base 100 together with the base 100 to the position shown by the solid line in the figure. Then, there is a sufficient space in the peripheral space of this portion, and the LCD 300 is removed or the next LCD is removed.
It is easy to install and has good workability. Further, since there is no video camera or probe device, a worker does not touch the peripheral device as in the conventional case, causing deformation or failure.

【００１７】なお、上記の実施例では、Ｘ軸方向、θ方
向の調整に調整ねじを用いたが、リニアアクチュエータ
等でも良い。また調整モータとしては、パルスモータ、
サーボモータ等の制御が可能なモータであれば良い。さ
らに、このシステムは、パレット（＝ＬＣＤ）の位置決
め調整を自動化することが容易であり、例えばビデオカ
メラの映像をパターン比較し、予め設定されているパタ
ーンに撮像した映像パターンが合致するように各モータ
が制御される。In the above embodiment, the adjusting screw is used for adjusting the X axis direction and the θ direction, but a linear actuator or the like may be used. As the adjustment motor, a pulse motor,
Any motor that can control a servomotor or the like may be used. Further, this system can easily automate the positioning adjustment of the pallet (= LCD). For example, the images of the video cameras are compared in pattern, and each image is picked up so as to match the preset image pattern. The motor is controlled.

【００１８】[0018]

【発明の効果】上記したこの発明によると、まず、Ｘ
軸、Ｙ軸方向、θ方向の調整手段が平面的に配列される
ために、装置全体が薄型化する。よって、作業者の視点
が低くなり、非検査体をパレットに装着する作業が容易
である。加えて、被検査体をパレットの装着する位置
と、プローブをコンタクトさせてビデオカメラで監視す
る場所がＸ軸方向に異なるために、ビデオカメラや周辺
機器がが邪魔になることがなく、被検査体の交換作業性
が良い。また、作業者が、プローブの上下機構に手を挟
むこともなく、安全性が高く、さらに作業者がプローブ
に触れてプローブを破損するようなこともなくなる。ま
たプローブをコンタクトさせる位置をビデオカメラで監
視する場所が同一であるため、精度の高いコンタクトが
行える。According to the above invention, first, X
Since the adjusting means for the axis, the Y-axis direction, and the θ direction are arranged in a plane, the overall thickness of the device is reduced. Therefore, the viewpoint of the operator is lowered, and the work of mounting the non-inspection object on the pallet is easy. In addition, since the position where the object to be inspected is mounted on the pallet is different from the position where the probe is contacted and monitored by the video camera in the X-axis direction, the video camera and peripheral devices do not interfere with the inspection. Good workability for body replacement. Further, the operator does not have to pinch his or her hand with the probe up-and-down mechanism, so that the safety is high and the operator does not touch the probe and damage the probe. Further, since the position where the probe is contacted is monitored by the same video camera, the contact can be performed with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】この発明の一実施例を示す平面図と側面図。FIG. 1 is a plan view and a side view showing an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１００…ベース、２００…パレット、３００…ＬＣＤ、
１０１、１０２…プランジャー、１０４、１０６、１０
８…調整ねじ、６０１、６０２、８０２…調整モータ、
７０１、７０２…ガイド棒、８０１…シャフト、９０
１、９０２…吸着部。100 ... Base, 200 ... Palette, 300 ... LCD,
101, 102 ... Plunger, 104, 106, 10
8 ... adjusting screw, 601, 602, 802 ... adjusting motor,
701, 702 ... Guide rod, 801 ... Shaft, 90
1, 902 ... Adsorption part.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】被検査板体が所定位置に載置されるパレッ
トと、 前記パレットを上面で平面的に可動自在に受けるベース
と、 前記ベース上のパレットをそのエッジ方向から駆動し
て、Ｙ軸方向、及び平面回転方向に位置調整する第１の
調整手段と、 前記ベースを前記Ｙ軸と直交するＸ軸方向に移動自在に
支持し、かつ位置調整が可能であり、前記被検査板体を
前記パレットへ装着するための第１の位置、前記被検査
板体に対してプローブをコンタクトさせる第２の位置へ
搬送可能な第２の調整手段とを具備したことを特徴とす
る被検査体の装着位置及びプローブコンタクト位置への
移動装置。1. A pallet on which a plate body to be inspected is mounted at a predetermined position, a base for movably receiving the pallet in a plane in a planar manner, and a pallet on the base being driven from an edge direction thereof, and Y First adjusting means for adjusting the position in the axial direction and in the plane rotation direction, and the base being movably supported in the X-axis direction orthogonal to the Y-axis, and the position adjustment is possible. To be mounted on the pallet, and a second adjusting means capable of being transported to a second position where a probe contacts the plate to be inspected. Device for moving to the mounting position and probe contact position.