JPH06200973A - Control device for actuator - Google Patents
Control device for actuatorInfo
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- JPH06200973A JPH06200973A JP29281792A JP29281792A JPH06200973A JP H06200973 A JPH06200973 A JP H06200973A JP 29281792 A JP29281792 A JP 29281792A JP 29281792 A JP29281792 A JP 29281792A JP H06200973 A JPH06200973 A JP H06200973A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、アクチュエータの出力
を粘性制動力により抑制しながら制御するアクチュエー
タの制御装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a control device for an actuator, which controls the output of the actuator by viscous braking force.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のアクチュエータの位置を制御する
装置は、目標位置まで正確にアクチュエータを運動させ
るためフィードバック制御系を構成し、図８は斯る従来
における前記フィードバック制御系１のアクチュエータ
の制御装置を示すブロック図である。2. Description of the Related Art A conventional device for controlling the position of an actuator constitutes a feedback control system for accurately moving the actuator to a target position. FIG. 8 shows a conventional device for controlling the actuator of the feedback control system 1. It is a block diagram showing.
【０００３】即ち、アクチュエータ２の出力３は、制御
対称４を介して位置５を調節する。そして、前記位置５
は位置検出器６を介して電気信号に変換され、目標位置
指令（電気信号として与えられる）７と比較されて、偏
差８を生ずる。この偏差８は、増幅器９で増幅された
後、前記アクチュエータ２に入力され、したがって、該
アクチュエータ２は、この偏差８に応じて出力３を発生
するようになっている。That is, the output 3 of the actuator 2 regulates the position 5 via the control symmetry 4. And the position 5
Is converted into an electric signal via a position detector 6 and compared with a target position command (given as an electric signal) 7 to generate a deviation 8. This deviation 8 is input to the actuator 2 after being amplified by the amplifier 9, so that the actuator 2 produces an output 3 in response to the deviation 8.
【０００４】このようなフィードバック制御系１におい
て、前記位置５が前記目標位置指令７まで到達していな
いときは、アクチュエータ２の出力３は減少し、逆に位
置５が目標位置指令７を行き過ぎると、アクチュエータ
２は逆方向に出力３を発生して再び位置５を目標位置指
令７に近づける。すなわち、アクチュエータ２の運動制
御系は加速側と減速側が対称系となっており、アクチュ
エータ２の出力３を制御するための力は、アクチュエー
タ２自体により発生するものとなっていた。In such a feedback control system 1, when the position 5 does not reach the target position command 7, the output 3 of the actuator 2 decreases, and conversely, when the position 5 passes the target position command 7 too much. , The actuator 2 generates an output 3 in the opposite direction to bring the position 5 closer to the target position command 7 again. That is, the motion control system of the actuator 2 has a symmetrical system on the acceleration side and the deceleration side, and the force for controlling the output 3 of the actuator 2 is generated by the actuator 2 itself.
【０００５】一方、アクチュエータの別の制御装置とし
ては、ブレーキがある。図９はアクチュエータをモータ
３２とした場合の２種類のブレーキを示しており、一つ
は回生ブレーキ３１であり、他の一つは摩擦ブレーキ３
３である。On the other hand, another control device for the actuator is a brake. FIG. 9 shows two types of brakes when the actuator is a motor 32, one is a regenerative brake 31, and the other is a friction brake 3.
It is 3.
【０００６】前記回生ブレーキ３１は、モータ３２のサ
ーボドライバー３４への通電遮断時にリレー接点３０が
閉成して、前記モータ３２の運動エネルギーを抵抗器３
５で熱に変えて消散することで制動をかけるものであっ
た。[0006] In the regenerative brake 31, the relay contact 30 is closed when the power supply to the servo driver 34 of the motor 32 is cut off, and the kinetic energy of the motor 32 is transferred to the resistor 3.
In 5 it turned into heat and dissipated to brake.
【０００７】また、摩擦ブレーキ３３は、前記サーボド
ライバー３４への通電遮断時、リレー接点３６が開成し
て電源４１から電磁コイル３７への通電が遮断されるこ
とによって、バネ３８が伸張して摩擦板３９がモータ側
の摩擦板４０に圧接するものであり、モータ３２の運動
エネルギーを摩擦熱に変えて消散することで制動をかけ
るものであった。Further, in the friction brake 33, when the servo driver 34 is de-energized, the relay contact 36 is opened to de-energize the electromagnetic coil 37 from the power source 41, so that the spring 38 expands to cause friction. The plate 39 is pressed against the friction plate 40 on the motor side, and the kinetic energy of the motor 32 is converted into friction heat and dissipated to apply braking.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の技術にあっては、アクチュエータが減速して
目標位置に静定するために、アクチュエータの持つ運動
エネルギーを確実に消散することが困難となる。However, in such a conventional technique, it is difficult to surely dissipate the kinetic energy of the actuator because the actuator decelerates and settles at the target position. Become.
【０００９】すなわち、従来のフィードバック制御系の
みでは、減速するための制動力が逆方向の能動的な力と
なり、アクチュエータ２のもつ運動エネルギーは直接消
散されず、制御系の異常（例えば、フィードバックルー
プの開放）によりアクチュエータに過大な出力が発生し
て運動エネルギーを蓄積したままとなる不具合があっ
た。That is, with only the conventional feedback control system, the braking force for deceleration becomes an active force in the opposite direction, the kinetic energy of the actuator 2 is not directly dissipated, and the control system becomes abnormal (for example, a feedback loop). However, there was a problem that an excessive output was generated in the actuator and the kinetic energy remained stored.
【００１０】また、ブレーキにあっては、アクチュエー
タの運動エネルギーが熱として消散される際、回生ブレ
ーキは電気エネルギーに一度変換されるため、応答が悪
く、大きな運動エネルギーは消散しきれないという不具
合があった。一方、摩擦ブレーキは、別の運動エネルギ
ー（バネの機械的なエネルギー）を必要とするため、こ
の場合も応答が悪化する。また、機械構造であるため摩
擦板の摩耗等の劣化が避けられないという不具合があっ
た。Further, in the case of the brake, when the kinetic energy of the actuator is dissipated as heat, the regenerative brake is once converted into electric energy, so that the response is poor and large kinetic energy cannot be dissipated. there were. On the other hand, the friction brake requires another kinetic energy (mechanical energy of the spring), so that the response also deteriorates in this case. In addition, since it has a mechanical structure, there is a problem that deterioration such as abrasion of the friction plate cannot be avoided.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記従来の問
題点に鑑みて案出されたもので、モータ，シリンダ等の
アクチュエータの位置制御系において、アクチュエータ
運動状態（位置，速度）に応じて粘性抵抗による制動力
を発生する可変粘性手段を、前記アクチュエータに直接
付加し、アクチュエータの位置制御特性を制動力で変化
させるようにしたことを特徴としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems of the prior art. In a position control system for an actuator such as a motor or a cylinder, the position of the actuator depends on the motion state (position, speed). A variable viscosity means for generating a braking force by viscous resistance is directly added to the actuator so that the position control characteristic of the actuator is changed by the braking force.
【００１２】[0012]
【作用】本発明は、アクチュエータの位置制御系におい
て、アクチュエータ位置を目標位置に制御するためのア
クチュエータの制動を、粘性抵抗力を利用して行うた
め、アクチュエータの運動エネルギーを不可逆な熱エネ
ルギーに直接変換し、確実にアクチュエータを減速制御
することができる。また、粘性負荷が直接且つ機械的に
付加されることにより、仮に制御系が異常となってもア
クチュエータ運動を安定に作動させることができる。According to the present invention, since the viscous resistance force is used to brake the actuator for controlling the actuator position to the target position in the actuator position control system, the kinetic energy of the actuator is directly converted into irreversible thermal energy. The actuator can be surely decelerated by conversion. Further, since the viscous load is directly and mechanically added, the actuator movement can be stably operated even if the control system becomes abnormal.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１４】図１は本発明に係るアクチュエータの制御
装置を概略的に示すブロック図である。即ち、アクチュ
エータ２は、目標位置指令（電気信号として与えられ
る）７と実際のアクチュエータ位置５を位置検出器６か
ら出力した電気信号との偏差８を増幅器９で増幅した信
号に応じて出力３を発生する。この出力３は、制御対象
４に加えられて位置５を出力するフィードバック系とな
っているが、制御対象４には、アクチュエータ２の出力
３以外に制動力１５も加えられる。この制動力１５の発
生は、可変粘性手段１１によるものであり、一般に液体
ダンパによる液体自体の粘性力１６と、位置５に応じた
制御による粘性制御力１７の２種類よりなる。FIG. 1 is a block diagram schematically showing an actuator control device according to the present invention. That is, the actuator 2 outputs the output 3 according to the signal obtained by amplifying the deviation 8 between the target position command (given as an electric signal) 7 and the actual actuator position 5 from the electric signal output from the position detector 6 by the amplifier 9. Occur. The output 3 is a feedback system that is added to the controlled object 4 and outputs the position 5. However, in addition to the output 3 of the actuator 2, the braking force 15 is also applied to the controlled object 4. The braking force 15 is generated by the variable viscosity means 11, and generally consists of two types: a viscous force 16 of the liquid itself by a liquid damper and a viscous control force 17 controlled by the position 5.
【００１５】前記粘性力１６は、位置５の微分（すなわ
ち速度）に比例する液体要素１３により生成される。他
方、前記粘性制御力１７は、位置５を微分演算要素１２
による抽出される速度成分の信号に応じた力を発生する
力発生機構１４による生成される。The viscous force 16 is produced by the liquid element 13 which is proportional to the derivative (ie velocity) of the position 5. On the other hand, the viscosity control force 17 changes the position 5 to the differential operation element 12
Is generated by the force generation mechanism 14 that generates a force corresponding to the signal of the velocity component extracted by.
【００１６】図２は本発明の第１実施例を示し、前記可
変粘性手段１１として、電気粘性流体（Ｅｌｅｃｔｒｏ
−Ｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ Ｆｌｕｉｄｓ、以下ＥＲ流
体と呼ぶ）１３を用いたダンパ１１に適用した。ここ
で、ＥＲ流体とは、電圧印加によりその粘性が瞬間的に
大きく変化し、且つその変化が可逆なものであり、例え
ば含水系粒子を絶縁油に分散させたＷｉｎｓｌｏｗ流体
（米国特許第２４１７８５０号明細書）がある。また、
ＥＲ流体は、図１における一定の粘性力１６と可変な粘
性制御力１７（流体の剪断力に相当）を発生し、この粘
性制御力１７は、印加電圧のほぼ２乗に比例する力が発
生機構１４で発生する。FIG. 2 shows a first embodiment of the present invention. As the variable viscosity means 11, an electrorheological fluid (Electro) is used.
-Rheological Fluids (hereinafter referred to as ER fluid) 13 was applied to the damper 11. Here, the ER fluid is a fluid in which its viscosity is momentarily greatly changed by applying a voltage and the change is reversible, and for example, a Winslow fluid in which water-containing particles are dispersed in insulating oil (US Pat. No. 2,417,850). There is a description). Also,
The ER fluid generates a constant viscous force 16 and a variable viscous control force 17 (corresponding to the shearing force of the fluid) in FIG. 1, and the viscous control force 17 is a force proportional to almost the square of the applied voltage. It is generated by the mechanism 14.
【００１７】また、アクチュエータ２として複動型空気
圧シリンダを利用し、位置検出器６としてポテンショメ
ータを夫々利用すると共に、制御対象４としてスライド
ベアリング２３上に載せた重りを利用している。前記空
気圧シリンダ２は、空気圧バルブ１８によりシリンダ内
圧を調節され、左右のシリンダ内圧のバランスにより重
り４の位置を決定できる。Further, a double-acting pneumatic cylinder is used as the actuator 2, a potentiometer is used as the position detector 6, and a weight mounted on the slide bearing 23 is used as the controlled object 4. In the pneumatic cylinder 2, the internal pressure of the cylinder is adjusted by the pneumatic valve 18, and the position of the weight 4 can be determined by the balance of the internal pressures of the left and right cylinders.
【００１８】また、ダンパ１１は、シリンダ型に形成さ
れて、前記空気圧シリンダ２に直結されており、内部に
円筒電極板２１を有している。そして、この円筒電極板
２１の隙間をＥＲ流体２２が重り４の位置に応じて流れ
るが、高電圧源２０より円筒電極板２１に電圧が印加さ
れると、該ＥＲ流体２２は流れにくくなり、粘性制御力
１７を生じることになる。The damper 11 is formed in a cylinder type and is directly connected to the pneumatic cylinder 2 and has a cylindrical electrode plate 21 inside. Then, the ER fluid 22 flows through the gap of the cylindrical electrode plate 21 according to the position of the weight 4, but when a voltage is applied to the cylindrical electrode plate 21 from the high voltage source 20, the ER fluid 22 becomes difficult to flow, The viscous control force 17 will be generated.
【００１９】前記空気圧バルブ１８と高電圧源２０の制
御は、コントロールユニット１９により行われ、空気圧
シリンダ２には、位置制御に必要な空気圧が空気圧バル
ブ１８を介して導入される。また、ダンパ１１には、空
気圧シリンダ２の加速時のみに高電圧源２０から高電圧
が印加されるようになっており、これは、重り４の位置
微分信号の正成分に比例する高電圧が印加されるように
なっている。The control of the pneumatic valve 18 and the high voltage source 20 is performed by the control unit 19, and the pneumatic pressure required for position control is introduced into the pneumatic cylinder 2 through the pneumatic valve 18. A high voltage is applied to the damper 11 from the high voltage source 20 only when the pneumatic cylinder 2 is accelerated. This is because a high voltage proportional to the positive component of the position differential signal of the weight 4 is applied. Is applied.
【００２０】尚、空気圧シリンダ２，ダンパ１１は、と
もにピストン径が５０mmであり、ストロークは５０mm，
供給空気圧は６kgf/ cm2に設定した。また、使用したＥ
Ｒ流体２２は、セルロース粉体とシリコン油の懸濁液で
あり、高電圧源２０より最大５ｋｖを印加した。Both the pneumatic cylinder 2 and the damper 11 have a piston diameter of 50 mm and a stroke of 50 mm.
The supply air pressure was set to 6 kgf / cm 2 . Also used E
The R fluid 22 is a suspension of cellulose powder and silicon oil, and a maximum voltage of 5 kv was applied from the high voltage source 20.
【００２１】そして、１３.９mm／ｓの速度指令（傾き
一定の位置指令増加）を与えた場合は、図３に示すよう
に、図１における電気的な微分補償１０のみでは、補償
無しの場合（ハ）に顕著に現れる段階状の動作を十分に
抑えられていないことが明らかになった（（ロ）参
照）。しかし、図１におけるダンパ１１を付加して制御
した結果、速度変化に応じて細かく調整される印加電圧
に、ダンパ１１が追従して滑らかな定速度動作をするこ
とが確認された（（イ）参照）。When a speed command of 13.9 mm / s (position command increase with constant inclination) is given, as shown in FIG. 3, only the electrical differential compensation 10 in FIG. It was clarified that the step-like movements that markedly appear in (C) were not sufficiently suppressed (see (B)). However, as a result of controlling by adding the damper 11 in FIG. 1, it was confirmed that the damper 11 follows the applied voltage finely adjusted according to the change in speed and operates smoothly at a constant speed ((a)). reference).
【００２２】また、図４は速度指令を変えた場合の動作
を示しており、ａ：１０mm／ｓ，ｂ：２.２mm／ｓ，
ｄ：０.４mm／ｓの各々の速度指令でも滑らかで安定し
た微速運動を実現した。FIG. 4 shows the operation when the speed command is changed, a: 10 mm / s, b: 2.2 mm / s,
d: Smooth and stable slow motion is realized even with each speed command of 0.4 mm / s.
【００２３】さらに、前記実施例では、ＥＲ流体２２の
粘性変化が大きいため、空気圧シリンダ２の特性を粘度
可変領域として大きく設定することが可能となり、しか
も無段階に調整することができる。非線形な静摩擦力の
ため緻密な制御が困難とされている空気圧シリンダであ
っても、この静摩擦力を線形化（一次粘性化）すること
により、制御の不感帯がなくなり、高精度な位置決めが
可能となる。Further, in the above-mentioned embodiment, since the viscosity of the ER fluid 22 is largely changed, the characteristic of the pneumatic cylinder 2 can be set large as the viscosity variable region and can be adjusted steplessly. Even with a pneumatic cylinder, which is difficult to control precisely due to non-linear static friction force, by linearizing this static friction force (primary viscosity), the dead zone of control is eliminated and high-precision positioning is possible. Become.
【００２４】また、機械的可動部がないため、信頼性が
高い。さらに、粘性変化が高速でアナログ的であるた
め、アクチュエータの発生力変動に制御力が追随し、低
速度でも力一定の安定したアクチュエータ運動が実現で
きる。Further, since there is no mechanical moving part, the reliability is high. Furthermore, since the viscosity change is high-speed and analog, the control force follows the fluctuation of the generated force of the actuator, and stable actuator movement with constant force can be realized even at low speed.
【００２５】図５は本発明の第２実施例を示し、円筒電
極板２１の代わりに外部にＥＲ流体２２用のバルブ（Ｅ
Ｒバルブ２４）を設けた。前記ＥＲバルブ２４内には、
平行電極板２５が多層に置かれ、空気圧シリンダ２と連
動するピストン２６に応じて、ＥＲ流体２２の流れを調
節する。ＥＲバルブ２４と空気圧シリンダ２の制御は、
図２におけるコントロールユニット１９，高電圧源２０
及び空気圧バルブ１８を利用した。この実施例によれ
ば、図２における円筒電極板２１がコンパクトに構成で
きるのに対し、前記ＥＲバルブ２４は設計自由度が大き
く、大きな制動力を得るために電極長を長くすることが
可能になる。FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention. Instead of the cylindrical electrode plate 21, a valve (E) for the ER fluid 22 is provided outside.
R valve 24) is provided. In the ER valve 24,
The parallel electrode plates 25 are arranged in multiple layers, and the flow of the ER fluid 22 is adjusted according to the piston 26 that is interlocked with the pneumatic cylinder 2. The control of the ER valve 24 and the pneumatic cylinder 2 is
The control unit 19 and the high voltage source 20 in FIG.
And a pneumatic valve 18 was used. According to this embodiment, the cylindrical electrode plate 21 in FIG. 2 can be constructed compactly, while the ER valve 24 has a large degree of design freedom, and the electrode length can be increased to obtain a large braking force. Become.
【００２６】図６は第３実施例を示し、図５におけるＥ
Ｒバルブ２４を用いて、回転運動機構を構成した。前記
ＥＲバルブ２４内を流れるＥＲ流体２２は、ベロクラム
シリンダ２７内で機械油２８から圧力が伝達される。そ
して、空気圧シリンダ２の動作が機械油２８を介してＥ
Ｒ流体２２に流れを発生させ、この流れがＥＲバルブ２
４で調節される。空気圧シリンダ２は、単動型を２本拮
抗形に駆動することにより、チェーン２９を介してスプ
ロケット３０を回転させて、重り４を回転運動すること
ができる。尚、コントロールユニット１９は図２と同様
の制御方法でよい。FIG. 6 shows the third embodiment, and E in FIG.
The R valve 24 was used to construct a rotary motion mechanism. The pressure of the ER fluid 22 flowing in the ER valve 24 is transmitted from the mechanical oil 28 in the velocram cylinder 27. Then, the operation of the pneumatic cylinder 2 is controlled by the mechanical oil 28
A flow is generated in the R fluid 22, and this flow is the ER valve 2
Adjusted by 4. The pneumatic cylinder 2 can rotate the weight 4 by rotating the sprocket 30 via the chain 29 by driving the single-acting type into a double-antagonistic type. The control unit 19 may use the same control method as in FIG.
【００２７】図７は、図６における重り４の動作を位置
検出器６で記録したものであり、高電圧源２０への印加
電圧ゲインを適切に（図７におけるｃの場合）与えるこ
とにより、オーバーシュートがなく安定した回転運動に
規制されている。このように、前記ＥＲバルブ２４を適
正に制御することにより、不安定な空気圧駆動系を安定
化することが可能となった。FIG. 7 shows the operation of the weight 4 shown in FIG. 6 recorded by the position detector 6, and by applying an appropriate voltage gain to the high voltage source 20 (case c in FIG. 7), There is no overshoot and it is regulated to a stable rotary motion. As described above, by properly controlling the ER valve 24, it becomes possible to stabilize the unstable pneumatic drive system.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明に係るアクチュエータの制御装置
によれば、最終的なアクチュエータの出力の調整を、制
動側の逆向きの力で行っているため、特に空気圧アクチ
ュエータのような高精度な制御が困難なアクチュエータ
であっても、精度の高い位置制御が実現できる。According to the actuator control device of the present invention, since the final adjustment of the output of the actuator is performed by the force in the opposite direction on the braking side, a highly accurate control such as a pneumatic actuator is achieved. Even if the actuator is difficult to move, highly accurate position control can be realized.
【００２９】また、可変粘性機構が直接アクチュエータ
に付加されているため、通常，負荷（制御対象）挙動の
安定化を図るためのダンパと違い、アクチュエータ出力
に直接粘性力を干渉させるので、アクチュエータ出力の
安定化が図れる。Further, since the variable viscous mechanism is directly added to the actuator, unlike a damper for stabilizing the load (controlled object) behavior, the viscous force is directly interfered with the actuator output, so that the actuator output Can be stabilized.
【００３０】さらに、粘性による制動力を利用するた
め、アクティブダンパのように制御異常で加振力を発生
せず、常にアクチュエータ出力を越えないような減衰側
の力となるので安全性が高くなる。Further, since the braking force due to the viscosity is used, unlike the active damper, the exciting force is not generated due to the control abnormality, and the damping force does not always exceed the actuator output, so that the safety is improved. .
【図１】本発明のアクチュエータの制御系のブロック
図。FIG. 1 is a block diagram of a control system of an actuator of the present invention.
【図２】本発明の第１実施例を示すシステム構成図。FIG. 2 is a system configuration diagram showing a first embodiment of the present invention.
【図３】前記第１実施例の定速度制御における抑制効果
を示すグラフ。FIG. 3 is a graph showing a suppressing effect in the constant speed control of the first embodiment.
【図４】前記第１実施例の低速度制御能力を示すグラ
フ。FIG. 4 is a graph showing the low speed control capability of the first embodiment.
【図５】本発明の第２実施例のシステム構成図。FIG. 5 is a system configuration diagram of a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第３実施例のシステム構成図。FIG. 6 is a system configuration diagram of a third embodiment of the present invention.
【図７】前記第３実施例の動特性（安定性）を示すグラ
フ。FIG. 7 is a graph showing the dynamic characteristics (stability) of the third embodiment.
【図８】従来のアクチュエータのフィードバック位置制
御系を示すブロック図。FIG. 8 is a block diagram showing a conventional feedback position control system for an actuator.
【図９】従来のアクチュエータ制動手段である回生ブレ
ーキと摩擦ブレーキの構成を示す説明図。FIG. 9 is an explanatory diagram showing a configuration of a regenerative brake and a friction brake that are conventional actuator braking means.
１…フィードバック制御系 ２…アクチュエータ ４…制御対象 ５…位置（出力） ６…位置検出器 ７…目標位置指令 １１…可変粘性手段 １５…制動力 １７…粘性制御力 １８…空気圧バルブ １９…コントロールユニット ２０…高電圧源 ２２…電気粘性流体（ＥＲ流体） ２４…ＥＲバルブ ２７…べロフラムシリンダ ３１…回生ブレーキ ３３…摩擦ブレーキ 1 ... Feedback control system 2 ... Actuator 4 ... Control object 5 ... Position (output) 6 ... Position detector 7 ... Target position command 11 ... Variable viscosity means 15 ... Braking force 17 ... Viscosity control force 18 ... Pneumatic valve 19 ... Control unit 20 ... High voltage source 22 ... Electrorheological fluid (ER fluid) 24 ... ER valve 27 ... Berofram cylinder 31 ... Regenerative brake 33 ... Friction brake
Claims (1)
アクチュエータ運動状態に応じた粘性制動力を発生する
可変粘性手段を、前記アクチュエータの位置制御系に付
加することを特徴とするアクチュエータの制御装置。1. A position control system for an actuator, comprising:
A control device for an actuator, wherein a variable viscosity means for generating a viscous braking force according to an actuator motion state is added to a position control system of the actuator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29281792A JPH06200973A (en) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | Control device for actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29281792A JPH06200973A (en) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | Control device for actuator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06200973A true JPH06200973A (en) | 1994-07-19 |
Family
ID=17786737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29281792A Pending JPH06200973A (en) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | Control device for actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06200973A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011233634A (en) * | 2010-04-26 | 2011-11-17 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | Component mounter |
| WO2012122203A3 (en) * | 2011-03-10 | 2012-11-08 | Dresser-Rand Company | Electronic infinite step controller actuator |
-
1992
- 1992-10-30 JP JP29281792A patent/JPH06200973A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011233634A (en) * | 2010-04-26 | 2011-11-17 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | Component mounter |
| WO2012122203A3 (en) * | 2011-03-10 | 2012-11-08 | Dresser-Rand Company | Electronic infinite step controller actuator |
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