JPH06197412A - Magnetic levitation type conveyor - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic levitation type conveyor in which a speed and a position can be controlled in a predetermined accuracy with a low cost in response to a place of a conveying passage. CONSTITUTION:A magnetic linear scale is adhered to a side of a conveying vehicle, and an optical linear scale 17 is adhered to a surface of a magnetic linear scale 14. Magnetic detectors 15 are provided at a branch and a station, etc., at a rail frame 1, and optical detectors 18 are provided at a high speed runner except the branch and the station, etc.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、無人搬送車を磁力で完
全非接触状態に浮上させて走行する磁気浮上式搬送装置
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic levitation type conveyance device for moving an automatic guided vehicle by magnetically levitating it in a completely non-contact state.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来から、オフィスオートメーションや
ファクトリーオートメーションの分野では、伝票，書
類，現金，資料，被加工物や部品などを建物内の複数の
地点間を結んで施設された無人搬送装置で搬送してい
る。このような無人搬送装置では、搬送物を早く運ぶこ
とと、例えばビルや病院では静かに運ぶことが要求され
る。そのため、このようなビルに設置される従来の無人
搬送装置においては、無人搬送車をガイドレールによっ
て非接触状態で支持する方法が採用され、一般に、支持
力源として空気圧や磁力が使われている。なかでも、無
人搬送車を磁力で支持する方法は、ガイドレールに対す
る追従性と低騒音化に優れているので、多用されてい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, in the field of office automation and factory automation, vouchers, documents, cash, materials, workpieces, parts, etc. are transferred by an unmanned transfer device that connects a plurality of points in a building. is doing. In such an unmanned conveying device, it is required to convey a conveyed object quickly and, for example, in a building or a hospital, to convey it quietly. Therefore, in the conventional unmanned carrier installed in such a building, a method of supporting the unmanned carrier by a guide rail in a non-contact state is adopted, and generally, pneumatic pressure or magnetic force is used as a supporting force source. . Among them, the method of magnetically supporting the automatic guided vehicle is widely used because it is excellent in following the guide rail and reducing noise.

【０００３】この磁力で無人搬送車を支持する方法のな
かには、電磁石と永久磁石とで磁気支持ユニットを構成
し、非接触支持に必要な磁力の大部分を永久磁石で賄っ
て、消費電力を節約する省エネルギー形のゼロパワーフ
ィードバック制御方式がある（特開昭61-102105 号公報
参照）。Among the methods of supporting an automatic guided vehicle by this magnetic force, a magnetic support unit is constituted by an electromagnet and a permanent magnet, and most of the magnetic force required for non-contact support is covered by the permanent magnet to save power consumption. There is an energy saving type zero power feedback control system (see Japanese Patent Laid-Open No. 61-102105).

【０００４】このゼロパワーフィードバック制御方式を
採用した磁気浮上式搬送装置（以下、搬送装置という）
は、たとえ搬送車に載置された搬送物の荷重が変動して
も、永久磁石による磁力と搬送物を含む搬送車の荷重が
常に平衡するように両者間の空隙を制御しようとするも
のである。この結果、電磁石に殆ど電流を流すことなく
磁気浮上させることができ、搬送車に搭載する電池の容
量を減らすことができる。A magnetic levitation transfer device (hereinafter referred to as a transfer device) adopting this zero power feedback control method.
Is to control the gap between the two so that the magnetic force of the permanent magnets and the load of the transportation vehicle including the transportation object are always balanced even if the load of the transportation object placed on the transportation vehicle fluctuates. is there. As a result, magnetic levitation can be achieved with almost no current flowing through the electromagnet, and the capacity of the battery mounted on the transport vehicle can be reduced.

【０００５】図３は、その搬送装置の一例を示す縦断面
図である。図３において、搬送路は断面が逆Ｕ字状の軌
道枠１と、この軌道枠１の上部壁下面の左右に埋設され
た強磁性体の一対のガイドレール２と、軌道枠１の側壁
内面にコ字状断面の開口側を対向させて取り付けられた
一対の非常用ガイドレール３と、ガイドレール２の中間
の軌道枠１の下面に配置され、かつ軌道１の長手方向に
所定の間隔で取り付けられたリニヤ誘導電動機の固定子
４とから概略構成されている。FIG. 3 is a vertical sectional view showing an example of the carrying device. In FIG. 3, the transport path has a raceway frame 1 having an inverted U-shaped cross section, a pair of ferromagnetic guide rails 2 buried on the left and right of the lower surface of the upper wall of the raceway frame 1, and the inner surface of the side wall of the raceway frame 1. A pair of emergency guide rails 3 attached to each other so that the opening sides of the U-shaped cross sections face each other, and arranged on the lower surface of the track frame 1 in the middle of the guide rails 2 and at predetermined intervals in the longitudinal direction of the track 1. It is roughly configured from the attached stator 4 of the linear induction motor.

【０００６】また、この搬送路に沿って走行移動自在の
搬送車５には、搬送車枠６の上部に、左右のガイドレー
ル２のそれぞれに所定のギャップをもって配置され図６
で後述する複合電磁石７と、これらの複合電磁石７を固
定するとともにガイドレール２の下面と対向するように
配置された平板状の基台８が取り付けられている。Further, in the transport vehicle 5 which can be freely moved along this transport path, the left and right guide rails 2 are arranged with a predetermined gap above the transport vehicle frame 6 as shown in FIG.
A composite electromagnet 7 to be described later and a plate-shaped base 8 arranged to fix the composite electromagnet 7 and to face the lower surface of the guide rail 2 are attached.

【０００７】複合電磁石７は、その部分拡大詳細図を示
す図６に示すように、ガイドレール２の両側に所定の間
隙を介して配置された継鉄９と、この継鉄９に巻き付け
られた電磁石コイル10Ａ，10Ｂとからなる電磁石11Ａ，
11Ｂと、継鉄９の間に配置された永久磁石12で構成さ
れ、全体としてＵ字状で２個の電磁石コイル10Ａ，10Ｂ
が誘起する磁束φが互いに加算されるように接続されて
いる。なお、複合電磁石７には、永久磁石12の中央上面
に複合電磁石７とガイドレール２の下面との空隙長を検
出するギャップセンサ13が取り付けられている。As shown in FIG. 6 which is a partially enlarged detailed view of the composite electromagnet 7, a yoke 9 is arranged on both sides of the guide rail 2 with a predetermined gap, and the yoke 9 is wound around the yoke 9. Electromagnet 11A consisting of electromagnet coils 10A and 10B,
11B and a permanent magnet 12 arranged between the yoke 9 and two electromagnet coils 10A and 10B that are U-shaped as a whole
Are connected so that the magnetic fluxes φ induced by are added to each other. A gap sensor 13 for detecting the gap length between the composite electromagnet 7 and the lower surface of the guide rail 2 is attached to the central upper surface of the permanent magnet 12 of the composite electromagnet 7.

【０００８】このように構成された搬送装置において
は、搬送車５は、搬送路側に適宜の距離をおいて配置さ
れた固定子４で駆動され、この結果二次側導体となるリ
アクションプレートを搬送車側に配置したリニヤ誘導電
動機駆動方式になっている。In the transporting apparatus constructed as described above, the transport vehicle 5 is driven by the stator 4 arranged at an appropriate distance on the transport path side, and as a result, transports the reaction plate serving as the secondary conductor. It is a linear induction motor drive system located on the vehicle side.

【０００９】軌道枠１の上面には、リニヤインダクショ
ンモータを制御するためのインバータ20が搭載され、搬
送車５には磁気式リニヤスケール14が図３において右側
面に取り付けられ、軌道枠１には磁気式検出器15が磁気
式リニヤスケール14と対向するように設けられ、両者で
非接触の磁気式リニヤセンサ16を構成して搬送車５の速
度と位置を検出している。An inverter 20 for controlling a linear induction motor is mounted on the upper surface of the track frame 1, and a magnetic linear scale 14 is attached to the right side surface in FIG. A magnetic detector 15 is provided so as to face the magnetic linear scale 14, and a non-contact magnetic linear sensor 16 is constituted by both to detect the speed and position of the carrier 5.

【００１０】搬送車５の駆動は、一次側となる固定子４
を搬送路側に適宜の距離をおいて配置する。一方、二次
側導体となるリアクションプレートを搬送車側に配置し
たリニヤインダクションモータをインバータ20で駆動制
御する方式になっており、インバータ20による速度と位
置の制御は、磁気式リニヤセンサ16の出力を信号線20ａ
を介してフィードバックして行っている。The transport vehicle 5 is driven by the stator 4 on the primary side.
Are arranged at an appropriate distance on the transport path side. On the other hand, it is a method of driving and controlling a linear induction motor in which a reaction plate serving as a secondary side conductor is arranged on the side of a carrier vehicle by an inverter 20, and the speed and position of the inverter 20 are controlled by the output of the magnetic linear sensor 16. Signal line 20a
Feedback is done through.

【００１１】この磁気式リニヤセンサ16には、図５に示
すものが一般に使用されている。この磁気式リニヤセン
サ16は、Ｎ，Ｓ極を交互に等間隔に着磁したゴム磁石よ
りなる磁気式リニヤスケール14を取り付け、その磁束信
号を磁気式検出器15で読み、パルス信号を出力する方式
となっている（例えば、（株）マコメ研究所のリニヤス
ケール，ソニーマグネスケール（株）のリニヤスケー
ル）。図５（ｂ）は、磁気式検出器15から出力されるパ
ルス状の信号15ａを示す図である。The magnetic linear sensor 16 shown in FIG. 5 is generally used. The magnetic linear sensor 16 has a magnetic linear scale 14 including a rubber magnet in which N and S poles are alternately magnetized at equal intervals, and a magnetic flux signal is read by a magnetic detector 15 to output a pulse signal. (For example, a linear scale of Macome Research Institute, Inc., a linear scale of Sony Magnescale Co., Ltd.). FIG. 5B is a diagram showing a pulsed signal 15 a output from the magnetic detector 15.

【００１２】この種のリニヤセンサは、磁気式検出器15
から出力される１パルスの位置精度が 0.2mm以下の精度
のため、搬送車の停止位置の精度が厳しく要求されると
ころ（±１mm以下）にも対応することができる。This type of linear sensor is a magnetic detector 15
Since the positional accuracy of one pulse output from the robot is 0.2 mm or less, it can be used even where the accuracy of the stop position of the transport vehicle is strictly required (± 1 mm or less).

【００１３】一方、搬送装置に用られる位置検出用のセ
ンサとしては、従来から図６で示す光学式のリニヤセン
サ19がある。この光学式リニヤセンサ19は、図６（ａ）
に示すように白と黒（図中斜線で示した）のマークが等
間隔に設けられたテープ等で作成した光学式リニヤスケ
ール17の照射した光の反射光を光学式検出器（例えばオ
ムロン（株）光電スイッチ等）18で検出するもので、光
学式リニヤスケール17の白黒によって、光学式検出器18
の出力は図６（ｂ）に示すようにマークの白い部分では
矩形波状のフィードバック信号20Ｂが出力され、反射光
のない黒い部分では出力信号がなくて信号が“０”とな
る。On the other hand, an optical linear sensor 19 shown in FIG. 6 has been conventionally used as a position detecting sensor used in a carrying device. This optical linear sensor 19 is shown in FIG.
As shown in, the reflected light of the light emitted by the optical linear scale 17 made of tape or the like in which white and black (indicated by hatching in the figure) marks are provided at equal intervals is used by an optical detector (for example, OMRON ( Photoelectric switch, etc.) 18 is used for detection, and an optical detector 18
6B, a rectangular-wave-shaped feedback signal 20B is output in the white part of the mark, and there is no output signal in the black part without reflected light, and the signal becomes "0".

【００１４】ところで、図３，図４及び図５で前述した
従来の搬送装置においては、搬送車５の速度と位置の制
御は、磁気式リニヤセンサ16の出力をフィードバックし
てインバータ20で制御しているが、搬送路のなかでも、
場所によって停止位置が高精度を要求される部分と、必
ずしも高精度でなくてもよい部分がある。例えば、後述
する図１で示すように、例えば本線側（注；図１におい
て左右方向）の分岐点間のガイドレール２を走行する部
分（図１のａ点，ｃ点）では、速度と位置は高精度の制
御を必要としないが、本線側のガイドレール２と分岐側
のガイドレール２ａが交差する部分（図１のｂ点）でガ
イドレール２ａに乗り移るときには、高精度に停止位置
制御を行う必要がある。By the way, in the conventional transfer apparatus described above with reference to FIGS. 3, 4 and 5, the speed and position of the transfer vehicle 5 are controlled by the inverter 20 by feeding back the output of the magnetic linear sensor 16. However, even in the transport path,
Depending on the place, there are a part where the stop position is required to have high accuracy and a part where the stop position does not necessarily have to be high accuracy. For example, as shown in FIG. 1 which will be described later, for example, at a portion (point a, point c in FIG. 1) traveling on the guide rail 2 between branch points on the main line side (note: left and right direction in FIG. 1), speed and position Does not require high-precision control, but when moving to the guide rail 2a at the portion where the main rail side guide rail 2 and the branch side guide rail 2a intersect (point b in FIG. 1), the stop position control can be performed with high precision. There is a need to do.

【００１５】理由は、図１のＢ点では、所定の勾配で搬
送車を減速させないと、搬送車がｂ点を通過してしまう
からである。すると、ガイドレール２ａに乗り移るため
の時間がかかるので、このｂ点に近づいたときの速度と
位置の制御は、搬送措置の稼働率を上げるためにも必要
となる。The reason is that at point B in FIG. 1, the vehicle will pass point b unless the vehicle is decelerated at a predetermined gradient. Then, since it takes time to transfer to the guide rail 2a, the control of the speed and position when approaching the point b is also necessary to increase the operation rate of the transportation measure.

【００１６】[0016]

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
構成された従来の搬送装置においては、搬送車５には磁
気式リニヤセンサ16が必要であるだけでなく、インバー
タ20と固定子４のある部分には必ず磁気式検出器15が必
要となり、搬送装置全体ではその数が増えるので、搬送
装置が高価となる。However, in the conventional transporting apparatus constructed as described above, not only the magnetic linear sensor 16 is required in the transport vehicle 5, but also the portion where the inverter 20 and the stator 4 are provided. The magnetic type detectors 15 are always required for all of them, and the number of them increases in the whole conveying device, so that the conveying device becomes expensive.

【００１７】そのため、図６で前述した光学式リニヤセ
ンサ19を使うことも考えられるが、すると、高精度の速
度、位置の制御が要求される分岐路で高精度の制御がで
きず、特に、停止制御を行った場合には、停止するまで
に時間を要し、搬送装置の稼働率が低下する。Therefore, it is conceivable to use the optical linear sensor 19 described above with reference to FIG. 6, but then it is not possible to perform high-precision control on a branch road that requires high-precision speed and position control, and in particular, stop When the control is performed, it takes time to stop, and the operation rate of the transfer device is reduced.

【００１８】さらに、図６で示した光学式リニヤセンサ
19は、構造が簡単で安価である反面、光学式リニヤスケ
ール17の白黒の幅を狭くすることには制約があり、精度
を１パルス２mm以上にはできないので、高精度が要求さ
れる分岐点での停止制御には使用できない。そこで、本
発明の目的は、安価で、かつ、搬送路の場所に応じて所
定の精度で速度と位置の制御を行うことのできる磁気浮
上式搬送装置を得ることである。Further, the optical linear sensor shown in FIG.
Although 19 has a simple structure and is inexpensive, there is a limitation in narrowing the black and white width of the optical linear scale 17, and the precision cannot be 1 pulse or more than 2 mm, so a branch point that requires high precision. It cannot be used for stop control. Therefore, an object of the present invention is to obtain a magnetic levitation transfer device that is inexpensive and that can control the speed and position with predetermined accuracy according to the location of the transfer path.

【００１９】[0019]

【課題を解決するための手段】本発明は、搬送路に懸架
され速度制御されて走行し停止位置で停止する搬送車に
磁気式リニヤスケールを設け、この磁気式リニヤスケー
ルを検出する磁気式検出器を停止位置の搬送路に設け、
磁気式リニヤスケールの外側に光学式リニヤスケールを
添設し、この光学式リニヤスケールを検出する光学式検
出器を停止位置を除く搬送路に設けたことを特徴とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a magnetic linear scale is provided on a transport vehicle that is suspended in a transport path and travels at a speed control and travels and stops at a stop position, and a magnetic detection for detecting the magnetic linear scale is provided. Set the container in the transport path at the stop position,
An optical linear scale is attached to the outside of the magnetic linear scale, and an optical detector for detecting the optical linear scale is provided in the conveyance path except the stop position.

【００２０】[0020]

【作用】搬送路の分岐部又は及びステーションに接近す
る搬送車は、磁気式検出器から入力された情報によって
高精度に速度制御されることになる。The transporting vehicle approaching the branch portion or the station of the transporting path is highly accurately speed-controlled by the information input from the magnetic detector.

【００２１】[0021]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１，図２を参照
して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【００２２】図１は、本発明の一実施例を示す部分図を
示す。図１において、搬送路の分岐点となるｂ点では、
図５で示した磁気式検出器15が軌道枠に取り付けられて
いる。FIG. 1 is a partial view showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, at point b, which is the branch point of the transport path,
The magnetic detector 15 shown in FIG. 5 is attached to the track frame.

【００２３】一方、搬送路に配置された搬送車５には、
すべての搬送車５の側面に図５で示した磁気式のリニヤ
スケール14を取り付け、その表面に図６で示した光学式
のリニヤスケール17を取り付ける。光学式のリニヤスケ
ール17は光の反射を検出するものであるから、その裏面
に磁気式のリニヤスケール14が介在しても全く影響はな
い。On the other hand, in the transport vehicle 5 arranged on the transport path,
The magnetic linear scale 14 shown in FIG. 5 is attached to the side surfaces of all the carrier vehicles 5, and the optical linear scale 17 shown in FIG. 6 is attached to the surface thereof. Since the optical linear scale 17 detects the reflection of light, even if the magnetic linear scale 14 is provided on the back surface thereof, it has no effect.

【００２４】また、光学式リニヤスケール17と磁気式検
出器15が接近しても、この磁気式検出器15は、磁束を検
出することができるので、非磁性の光学式リニヤスケー
ル17が介在しても磁束の検出の障害にはならない。Even when the optical linear scale 17 and the magnetic detector 15 are close to each other, the magnetic detector 15 can detect the magnetic flux, so that the non-magnetic optical linear scale 17 intervenes. However, this does not hinder the detection of magnetic flux.

【００２５】すなわち、磁気式検出器15を軌道枠に取り
付ければ、そのまま磁気式リニヤセンサになり、光学式
リニヤスケール17を取り付ければ、光学式のリニヤセン
サになる。例えば、磁気式リニヤセンサ16にするか、あ
るいは、光学式リニヤセンサ19にするかの判断の一例を
図１を参照して説明する。That is, when the magnetic detector 15 is attached to the track frame, it becomes a magnetic linear sensor as it is, and when the optical linear scale 17 is attached, it becomes an optical linear sensor. For example, an example of determination as to whether to use the magnetic linear sensor 16 or the optical linear sensor 19 will be described with reference to FIG.

【００２６】図１のａ点では、搬送車は本線側を走行す
るだけであり、必ずしも高性能の制御を必要としないの
で、安価な光学式検出器を取り付け、光学式リニヤセン
サ19として動作させる。At point a in FIG. 1, since the transport vehicle only travels on the main line side and does not necessarily require high-performance control, an inexpensive optical detector is attached and it operates as an optical linear sensor 19.

【００２７】また、図１のｂ点では、本線側レールから
分岐側レールに分岐させる場合があり、そのときにはｂ
点上で一旦停止させて搬送車を分岐側に移動させるの
で、高精度な停止制御を行うために、磁気式検出器15を
取り付け、磁気式のリニヤセンサ16として動作させて制
御の高速化、高精度化を図る。At point b in FIG. 1, the main rail may be branched to the branch rail.
Since it stops once at a point and moves the transport vehicle to the divergence side, in order to perform highly accurate stop control, a magnetic detector 15 is attached and operated as a magnetic linear sensor 16 to speed up control and increase Improve accuracy.

【００２８】図１のｃ点は、ａ点と同様に高精度の速度
制御は不要であるので、光学式リニヤセンサ19でもよ
い。また、高性能の制御精度が必要であるか否かは、搬
送装置の仕様によって決まり、必要以上に高性能の検出
器を設置する必要はなく、必要最小限にとどめて価格の
低下を図ればよい。The point c in FIG. 1 does not require high-precision speed control like the point a, and thus may be the optical linear sensor 19. Whether or not high-performance control accuracy is required is determined by the specifications of the transfer device. It is not necessary to install a high-performance detector more than necessary, and if the cost is reduced to the minimum necessary. Good.

【００２９】なお、磁気式のリニヤセンサ16において高
価な部分は磁気式検出器15であり、磁気式リニヤスケー
ル14は安価であるため、この磁気式のリニヤスケール14
を取り付けてもコストにはあまり影響しない。The expensive part of the magnetic linear sensor 16 is the magnetic detector 15, and the magnetic linear scale 14 is inexpensive.
Attaching does not significantly affect the cost.

【００３０】また、磁気浮上搬送装置の搬送装置におい
ては、光学式のリニヤセンサ19でよい部分が圧倒的に多
いので、磁気式検出器15の数は僅かで、搬送装置に占め
る価格の比率は低い。Further, in the transfer device of the magnetic levitation transfer device, the number of magnetic detectors 15 is small and the price ratio of the transfer device is low because the optical linear sensor 19 is overwhelmingly good. .

【００３１】[0031]

【発明の効果】以上、本発明によれば、搬送路に懸架さ
れ速度制御されて走行し停止位置で停止する搬送車に磁
気式リニヤスケールを設け、この磁気式リニヤスケール
を検出する磁気式検出器を停止位置の搬送路に設け、磁
気式リニヤスケールの外側に光学式リニヤスケールを添
設し、この光学式リニヤスケールを検出する光学式検出
器を停止位置を除く搬送路に設けることで、搬送路の分
岐部又は及びステーションに接近する搬送車を磁気式検
出器から入力された情報によって速度制御したので、安
価で、かつ、搬送路の場所に応じて所定の精度で速度と
位置の制御を行うことのできる磁気浮上式搬送装置を得
ることができる。As described above, according to the present invention, a magnetic linear scale is provided on a transport vehicle which is suspended in a transport path and travels at a controlled speed and stops at a stop position, and a magnetic detection for detecting the magnetic linear scale. By installing the device in the transport path at the stop position, by attaching the optical linear scale to the outside of the magnetic linear scale, and by providing the optical detector that detects this optical linear scale in the transport path excluding the stop position, Since the speed of the transfer vehicle approaching the branch part of the transfer path or the station is controlled by the information input from the magnetic detector, it is inexpensive and the speed and position can be controlled with predetermined accuracy according to the location of the transfer path. It is possible to obtain a magnetic levitation type conveyance device capable of performing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の磁気浮上式搬送装置の一実施例を示す
部分平面図。FIG. 1 is a partial plan view showing an embodiment of a magnetic levitation type transport device of the present invention.

【図２】本発明の磁気浮上式搬送装置の一実施例を示す
要部詳細図。FIG. 2 is a detailed view of essential parts showing an embodiment of the magnetic levitation type transport device of the present invention.

【図３】従来の磁気浮上式搬送装置の一例を示す部分縦
断面図。FIG. 3 is a partial vertical cross-sectional view showing an example of a conventional magnetic levitation transfer device.

【図４】従来の磁気浮上式搬送装置の一例を示す要部拡
大断面図。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a conventional magnetic levitation transfer device.

【図５】（ａ）は、従来の磁気浮上式搬送装置に用いら
れた磁気式リニヤセンサの一例を示す図、（ｂ）は、磁
気式リニヤセンサの作用を示す説明図。FIG. 5A is a diagram showing an example of a magnetic linear sensor used in a conventional magnetic levitation transfer device, and FIG. 5B is an explanatory diagram showing an operation of the magnetic linear sensor.

【図６】（ａ）は、従来の位置検出に用いられる光学式
リニヤセンサの一例を示す図、（ｂ）は、光学式リニヤ
センサの作用を示す説明図。FIG. 6A is a diagram showing an example of a conventional optical linear sensor used for position detection, and FIG. 6B is an explanatory diagram showing an operation of the optical linear sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…軌道枠、２…ガイドレール、３…非常用ガイドレー
ル、４…固定子、５…搬送車、６…搬送車枠、７…複合
電磁石、８…基台、９…継鉄、10Ａ，10Ｂ…電磁石コイ
ル、11Ａ，11Ｂ…電磁石、12…永久磁石、13…ギャップ
センサ、14…磁気式リニヤスケール、15…磁気式検出
器、16…磁気式リニヤセンサ、17…光学式リニヤスケー
ル、18…光学式検出器、19…光学式リニヤセンサ。1 ... Track frame, 2 ... Guide rail, 3 ... Emergency guide rail, 4 ... Stator, 5 ... Transport vehicle, 6 ... Transport vehicle frame, 7 ... Composite electromagnet, 8 ... Base, 9 ... Yoke iron, 10A, 10B Electromagnet coil, 11A, 11B ... Electromagnet, 12 ... Permanent magnet, 13 ... Gap sensor, 14 ... Magnetic linear scale, 15 ... Magnetic detector, 16 ... Magnetic linear sensor, 17 ... Optical linear scale, 18 ... Optics Type detector, 19 ... Optical linear sensor.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 搬送路に懸架され速度制御されて走行し
停止位置で停止する搬送車に磁気式リニヤスケールを設
け、この磁気式リニヤスケールを検出する磁気式検出器
を前記停止位置の前記搬送路に設け、前記磁気式リニヤ
スケールの外側に光学式リニヤスケールを添設し、この
光学式リニヤスケールを検出する光学式検出器を前記停
止位置を除く前記搬送路に設けたことを特徴とする磁気
浮上式搬送装置。1. A magnetic linear scale is provided on a transportation vehicle that is suspended in a transportation path and travels at a controlled speed to stop at a stop position, and a magnetic detector for detecting the magnetic linear scale is provided at the transportation position at the stop position. An optical linear scale is provided on the outside of the magnetic linear scale, and an optical detector for detecting the optical linear scale is provided on the conveyance path except the stop position. Magnetically levitated transfer device.