JPH06188489A - Assembling method for optical resonator - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To provide an optical resonator and the assembling method of the optical resonator, which can secure high positioning accuracy and can maintain the high positioning accuracy. CONSTITUTION:Spacers 17, 18 and 19 are inserted. A first mirror 13, optical elements 14 and 15 and a second mirror 16 are held at the intervals determined with the spacers 17, 18 and 19. Then, the side surfaces of the first mirror 13, the optical elements 14 and 15 and the second mirror 16 are bonded to a holding stage 21 with a specified bonding agent. Then, the spacers 17, 18 and 19 are removed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はたとえば内部共振器構造
を有する外部励起型ＳＨＧ（Second HamonicGeneration
）レーザ等に適用する光共振器に係り、さらにこの光
共振器の組立方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an externally excited SHG (Second Hamonic Generation) having an internal resonator structure, for example.
) It relates to an optical resonator applied to a laser or the like, and further to a method for assembling this optical resonator.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、内部共振器構造を有する外部励起
型ＳＨＧレーザにおいては、励起用光源で発生したレー
ザ光で共振器部を励起することにより、短波長のレーザ
光を効率良く発生するようになっている。2. Description of the Related Art Conventionally, in an externally pumped SHG laser having an internal cavity structure, it is possible to efficiently generate a laser beam of a short wavelength by exciting a resonator section with a laser beam generated by a pumping light source. It has become.

【０００３】すなわち図１０に示すように、この種の外
部励起型ＳＨＧレーザ１においては、レーザ光源２で所
定波長λ０のレーザ光Ｌ０を発生し、レンズ３を介して
このレーザ光Ｌ１を共振器４に導く。ここで共振器４
は、波長選択性を有するミラー５及び６を平行に配置
し、このミラー５及び６間にレーザ結晶７及びＳＨＧ結
晶８を配置する。これにより共振器４においては、ミラ
ー５を透過させてレーザ光Ｌ０をレーザ結晶７に導き、
レーザ結晶７においては、このレーザ光Ｌ０で励起され
て所定波長λ１のレーザ光Ｌ１を発生し、このレーザ光
Ｌ１をＳＨＧ結晶８に照射する。That is, as shown in FIG. 10, in this type of externally pumped SHG laser 1, a laser light source 2 generates a laser light L0 having a predetermined wavelength λ0, and this laser light L1 is passed through a lens 3 to a resonator. Lead to 4. Resonator 4 here
Arranges the mirrors 5 and 6 having wavelength selectivity in parallel, and arranges the laser crystal 7 and the SHG crystal 8 between the mirrors 5 and 6. As a result, in the resonator 4, the laser light L0 is guided through the mirror 5 to the laser crystal 7,
The laser crystal 7 is excited by the laser light L0 to generate a laser light L1 having a predetermined wavelength λ1 and irradiates the SHG crystal 8 with the laser light L1.

【０００４】ＳＨＧ結晶８においては、この波長λ１の
レーザ光Ｌ１が入射すると、このレーザ光Ｌ１の２次高
調波を発生し、これにより外部励起型ＳＨＧレーザ１に
おいては、波長λ２（すなわちレーザ光Ｌ１の１／２波
長でなる）でなる短波長のレーザ光Ｌ２を生成するよう
になっている。この波長λ２のレーザ光Ｌ２を効率良く
生成するため、ＳＨＧレーザ１においては、レーザ光Ｌ
０の波長λ０がレーザ結晶７の吸収線の波長に選定さ
れ、これによりレーザ結晶７を効率良く励起できるよう
になっている。When the laser beam L1 having the wavelength λ1 is incident on the SHG crystal 8, a second harmonic of the laser beam L1 is generated, which causes the externally pumped SHG laser 1 to have the wavelength λ2 (that is, the laser beam). A laser beam L2 having a short wavelength of (1/2 wavelength of L1) is generated. In order to efficiently generate the laser beam L2 having the wavelength λ2, the laser beam L2 is used in the SHG laser 1.
The wavelength λ0 of 0 is selected as the wavelength of the absorption line of the laser crystal 7, whereby the laser crystal 7 can be efficiently excited.

【０００５】さらに、ＳＨＧレーザ１においては、ミラ
ー５及び６のミラー面５Ｍ及び６Ｍを所定膜厚の蒸着膜
で形成することにより、波長λ０と波長λ１、λ２とで
それぞれ透過率と反射率とが高くなるようにミラー５を
形成し、波長λ１と波長λ２とでそれぞれ反射率と透過
率とが高くなるようにミラー６を形成する。これにより
ＳＨＧレーザ１においては、波長λ０のレーザ光Ｌ０に
ついては、効率良くミラー５を透過させてレーザ結晶７
に導くのに対し、生成した波長λ２のレーザ光Ｌ２につ
いては効率良くミラー６を透過させて外部に出力できる
ようになっている。Further, in the SHG laser 1, the mirror surfaces 5M and 6M of the mirrors 5 and 6 are formed of a vapor deposition film having a predetermined film thickness, so that the transmittance and the reflectance are respectively different at the wavelength λ0 and the wavelengths λ1 and λ2. The mirror 5 is formed to have a high reflectance, and the mirror 6 is formed to have a high reflectance and a high reflectance at the wavelength λ1 and the wavelength λ2, respectively. As a result, in the SHG laser 1, the laser light L0 having the wavelength λ0 is efficiently transmitted through the mirror 5 and the laser crystal 7 is transmitted.
On the other hand, the generated laser light L2 having the wavelength λ2 can be efficiently transmitted through the mirror 6 and output to the outside.

【０００６】また、ＳＨＧレーザ１においては、波長λ
０のレーザ光Ｌ１については、ミラー５及び６で共振器
を形成してミラー５及び６間に閉じ込めるようになさ
れ、これにより全体として効率良く所定波長λ２のレー
ザ光Ｌ２（すなわちＳＨＧ光）を形成できるようになっ
ている。In the SHG laser 1, the wavelength λ
With respect to the laser light L1 of 0, a resonator is formed by the mirrors 5 and 6 and is confined between the mirrors 5 and 6, whereby the laser light L2 (that is, SHG light) of the predetermined wavelength λ2 is efficiently formed as a whole. You can do it.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところでこのようにし
て共振器を形成するＳＨＧレーザ１においては、各光学
素子自体の加工精度だけでなく、組立精度によっても効
率が大きく変化するものである。By the way, in the SHG laser 1 which forms a resonator in this way, the efficiency greatly varies depending not only on the processing accuracy of each optical element itself but also on the assembly accuracy.

【０００８】すなわちミラー５からミラー６間で光共振
器を形成することにより、ＳＨＧレーザ１においては、
各素子５〜８のレーザ光Ｌ０の光軸に垂直な面が各素子
５〜８間で平行になるように、高い精度で光学素子５〜
８を位置決めする必要がある。さらにＳＨＧレーザ１に
おいては、組立後、この位置決め精度を維持する必要が
ある。特に、この種の光学素子５〜８においては、熱膨
張係数が異なることにより、周囲温度の変化に対してこ
の位置決め精度を維持することは困難である。That is, in the SHG laser 1, by forming an optical resonator between the mirror 5 and the mirror 6,
The optical elements 5 to 5 are highly accurately arranged so that the surfaces of the elements 5 to 8 which are perpendicular to the optical axis of the laser beam L0 are parallel to each other.
8 need to be positioned. Furthermore, in the SHG laser 1, it is necessary to maintain this positioning accuracy after assembly. Particularly, in the optical elements 5 to 8 of this type, it is difficult to maintain the positioning accuracy with respect to the change of the ambient temperature because the thermal expansion coefficients are different.

【０００９】このような位置決め精度を確保、維持する
方法の１つとして各光学素子５〜８の入射出面を、直
接、接着剤で接着する方法が考えられる。ところがこの
方法の場合、接着剤で共振器の内部損失が増大してしま
い、結局効率良くＳＨＧ光を射出できなくなる。また接
着剤自体、レーザ光Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３に対する耐光性を
保障できず、また透明な接着剤が求められることにより
接着剤自体の選定の幅が小さいという欠点がある。さら
に接着剤を直接塗布することにより発生する内部歪みを
完全に除去できないという欠点もある。As one of the methods for ensuring and maintaining such positioning accuracy, a method of directly adhering the entrance and exit surfaces of the optical elements 5 to 8 with an adhesive is conceivable. However, in the case of this method, the internal loss of the resonator increases due to the adhesive, and eventually the SHG light cannot be efficiently emitted. Further, the adhesive itself cannot guarantee the light resistance to the laser beams L1, L2, and L3, and the transparent adhesive is required, so that the adhesive itself can be selected only slightly. Further, there is a drawback that the internal strain generated by directly applying the adhesive cannot be completely removed.

【００１０】これに対して機械的手段を用いて各光学素
子５〜８を保持する方法も考えられる。この場合ミラー
５及び６を両側から押圧するように機械的手段で保持す
ることになるが、位置決め精度を維持することが困難で
ある。すなわち、このようにして機械的手段で保持する
場合、一旦位置ずれすると元の状態に復元できないこと
により、経時変化を完全に防止できなくなってしまう。
また両側から押圧するように保持する場合、温度が変化
すると各素子の相対する面間で押圧力が変化し、結局素
子間で干渉が発生するようになる。さらにこの押圧力に
より光学素子の光弾性が変化するという問題もあり、こ
の場合ノイズレベル、出力パワー等のＳＨＧレーザ１自
体の特性が変化するようになる。On the other hand, a method of holding each of the optical elements 5 to 8 by using a mechanical means can be considered. In this case, the mirrors 5 and 6 are held by mechanical means so as to be pressed from both sides, but it is difficult to maintain the positioning accuracy. That is, in the case of holding by the mechanical means in this way, once the position is displaced, the original state cannot be restored, and thus it becomes impossible to completely prevent the change over time.
Further, in the case where the elements are held so as to be pressed from both sides, when the temperature changes, the pressing force changes between the facing surfaces of the respective elements, which eventually causes interference between the elements. Further, there is a problem that the photoelasticity of the optical element changes due to this pressing force, and in this case, the characteristics of the SHG laser 1 itself such as noise level and output power change.

【００１１】本発明は上記課題に鑑みてなされたもの
で、容易に高い位置決め精度を確保し、かつこの高い位
置決め精度を維持することができる光共振器の組立方法
を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an assembling method of an optical resonator which can easily secure high positioning accuracy and can maintain the high positioning accuracy. .

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、所定の光学素子を間に挟んで第１及び第２のミ
ラーを配し、上記第１のミラー、上記光学素子、上記第
２のミラー間にスペーサを介挿してこれらの間の間隔を
上記スペーサで決まる間隔に保持した後、上記第１のミ
ラー、上記光学素子、上記第２のミラーの側面を接着剤
で保持台に接着して上記第１のミラー、上記光学素子、
上記第２のミラーを上記間隔で上記保持台に保持し、そ
の後上記スペーサを取り外して上記第１のミラー、上記
光学素子、上記第２のミラーを上記間隔の空隙を介して
保持する、光共振器の組立方法によって達成される。According to the present invention, the above object is to dispose a first optical element and a second mirror with a predetermined optical element interposed therebetween, and the first mirror, the optical element, After a spacer is inserted between the second mirrors and the space between them is maintained at a space determined by the spacer, the side faces of the first mirror, the optical element, and the second mirror are held by an adhesive. Adhered to a table, the first mirror, the optical element,
Optical resonance, in which the second mirror is held on the holding table at the interval, and then the spacer is removed to hold the first mirror, the optical element, and the second mirror through the space of the interval. This is achieved by the method of assembling the container.

【００１３】好ましくは、前記接着剤は、固着するとゴ
ム状に変化する弾性を有する接着剤を用いることができ
る。[0013] Preferably, as the adhesive, an adhesive having elasticity that changes into rubber when fixed is used.

【００１４】また、好ましくは、前記第１のミラー、前
記光学素子、前記第２のミラー間に前記スペーサを介挿
して、これらの間の間隔をこのスペーサで決まる間隔に
保持した際、上記第１のミラーを所定の基準部材につき
あてて、上記第１のミラー、上記光学素子、上記第２の
ミラーを上記基準部材に押し当てることにより、これら
の間の間隔を上記スペーサで決まる間隔に保持するよう
にすることができる。Further, preferably, when the spacer is inserted between the first mirror, the optical element and the second mirror and the space between them is maintained at a space determined by the spacer, One mirror is applied to a predetermined reference member, and the first mirror, the optical element, and the second mirror are pressed against the reference member, so that the space between them is maintained at the space determined by the spacer. You can

【００１５】さらに、好ましくは、前記第１のミラー
は、一面が凸面に形成され、前記基準部材は、上記第１
のミラーの上記凸面に対応して凹部が形成され、この凹
部に上記球面を押し当てて位置決めするようにしてもよ
い。Further, preferably, one surface of the first mirror is convex, and the reference member is the first mirror.
A concave portion may be formed corresponding to the convex surface of the mirror, and the spherical surface may be pressed against the concave portion for positioning.

【００１６】また、好ましくは、前記光学素子は、励起
光で励起されて所定波長のレーザ光を発生するレーザ結
晶と、上記レーザ光を受光してこのレーザ光の第２高調
波を発生するＳＨＧ結晶とでなり、前記第１のミラー
は、外部から入射する上記励起光を透過して上記レーザ
結晶に導き、上記レーザ光及び上記第２高調波を反射
し、前記第２のミラーは、上記第２高調波を透過して外
部に射出し、上記励起光及び上記記レーザ光及び上記第
２高調波を反射するようにしてもよい。Further, preferably, the optical element is a laser crystal which is excited by excitation light to generate laser light of a predetermined wavelength, and an SHG which receives the laser light and generates a second harmonic of the laser light. A crystal, the first mirror transmits the excitation light incident from the outside and guides it to the laser crystal, reflects the laser light and the second harmonic, and the second mirror is The second harmonic may be transmitted and emitted to the outside, and the excitation light, the laser light, and the second harmonic may be reflected.

【００１７】[0017]

【作用】上述した構成によれば、簡易な作業で、スペー
サで決まる精度の高い間隔で、第１のミラー、光学素
子、第２のミラーを保持台に保持し得、またスペーサを
取り外すことにより、第１のミラー、光学素子、第２の
ミラー間の干渉も防止し得、さらに弾性を有する接着剤
を適用して元の保持位置に復元することができる。According to the above-described structure, the first mirror, the optical element, and the second mirror can be held on the holding table at a highly accurate interval determined by the spacer by a simple operation, and by removing the spacer. The interference between the first mirror, the optical element, and the second mirror can be prevented, and an adhesive having elasticity can be applied to restore the original holding position.

【００１８】[0018]

【実施例】以下、本発明の好適な一実施例を添付図面に
基づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、
本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種
々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説
明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、
これらの態様に限られるものではない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. The examples described below are
Since it is a preferred specific example of the present invention, various technically preferable limitations are attached, but the scope of the present invention is, unless otherwise stated to limit the present invention, in the following description.
It is not limited to these modes.

【００１９】図１は、本発明に係る外部励起型ＳＨＧレ
ーザの一実施例を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of an externally pumped SHG laser according to the present invention.

【００２０】図において、ＳＨＧレーザ１０は、レーザ
光源１１で波長 820〔nm〕のレーザ光Ｌ０を発生し、レ
ンズ３を介してこのレーザ光Ｌ０を共振器１２に射出す
る。共振器１２においては、第１のミラーである１／４
波長板１３を透過してこのレーザ光Ｌ０でレーザ結晶１
４を励起し、その結果得られるレーザ光Ｌ１をエアース
ペースに相当する所定の光学ガラス（ＢＫ７）１５を介
して第２のミラーを兼ねるＳＨＧ結晶１６に入射する。
これにより共振器１２においては、ＳＨＧ結晶１６でレ
ーザ光Ｌ１の２次高調波Ｌ２を生成し、この２次高調波
Ｌ２を外部に射出するようになっている。In the figure, the SHG laser 10 generates a laser light L0 having a wavelength of 820 [nm] by a laser light source 11, and emits this laser light L0 to a resonator 12 via a lens 3. In the resonator 12, 1/4 which is the first mirror
A laser crystal 1 is transmitted by the laser beam L0 after passing through the wave plate 13.
4 is excited, and the laser beam L1 obtained as a result is incident on the SHG crystal 16 which also functions as a second mirror through a predetermined optical glass (BK7) 15 corresponding to an air space.
As a result, in the resonator 12, the SHG crystal 16 generates the second harmonic L2 of the laser light L1, and the second harmonic L2 is emitted to the outside.

【００２１】このため１／４波長板１３においては、全
体の厚さが 0、5〔mm〕に選定され、レーザ光源１１側の
片面を球面に形成するようになされ、この球面にミラー
面１３Ｍを形成する。さらに１／４波長板１３において
は、レーザ光源１１のレーザ光Ｌ０を効率良く透過して
レーザ結晶１４のレーザ光Ｌ１及びＳＨＧ光Ｌ２を効率
良く反射できるように、所定のコーテング（ＨＲコー
ト）によりミラー面１３Ｍが形成されるようになってい
る。Therefore, in the quarter-wave plate 13, the total thickness is selected to be 0, 5 [mm], and one surface on the laser light source 11 side is formed into a spherical surface, and the mirror surface 13M is formed on this spherical surface. To form. Further, the quarter wavelength plate 13 is provided with a predetermined coating (HR coat) so that the laser light L0 of the laser light source 11 can be efficiently transmitted and the laser light L1 and the SHG light L2 of the laser crystal 14 can be efficiently reflected. A mirror surface 13M is formed.

【００２２】これに対してレーザ結晶１４においては、
厚さ 1、5〔mm〕のＮｄ：ＹＡＧ結晶が選定され、これに
より波長1064〔nm〕のレーザ光Ｌ０を発生する。ＳＨＧ
結晶１６は、厚さ 2、5〔mm〕のＫＴｉＰＯ４結晶が選定
され、射出面にミラー面１６Ｍが形成されるようになっ
ている。On the other hand, in the laser crystal 14,
A Nd: YAG crystal having a thickness of 1 and 5 [mm] is selected, and a laser beam L0 having a wavelength of 1064 [nm] is generated thereby. SHG
As the crystal 16, KTiPO4 crystal having a thickness of 2, 5 [mm] is selected, and a mirror surface 16M is formed on the emitting surface.

【００２３】このミラー面１６Ｍは、レーザ光源１１の
レーザ光Ｌ０及びレーザ結晶１４のレーザ光Ｌ１を効率
良く反射し、ＳＨＧ光Ｌ２を効率良く透過できるよう
に、所定のコーテング（ＡＲコート）により形成され
る。これにより共振器１２においては、レーザ光源１１
のレーザ光Ｌ０でレーザ結晶１４を効率良く励起してレ
ーザ結晶１４からレーザ光Ｌ２を射出し、さらにこのレ
ーザ光Ｌ１の２次高調波でなる波長 532〔nm〕のＳＨＧ
光Ｌ２を効率良く射出できるようになっている。The mirror surface 16M is formed by a predetermined coating (AR coating) so that the laser light L0 of the laser light source 11 and the laser light L1 of the laser crystal 14 can be efficiently reflected and the SHG light L2 can be efficiently transmitted. To be done. Accordingly, in the resonator 12, the laser light source 11
Laser beam L0 efficiently excites laser crystal 14 to emit laser beam L2, and SHG having a wavelength of 532 [nm], which is the second harmonic of laser beam L1.
The light L2 can be emitted efficiently.

【００２４】この共振器１２においては、図２に示すよ
うに、スペーサ１７、１８、１９を介挿して順次１／４
波長板１３、レーザ結晶１４、光学ガラス１５、ＳＨＧ
結晶１６をつきあて用治具２０に押し付け、この状態で
基板２１に１／４波長板１３、レーザ結晶１４、光学ガ
ラス１５、ＳＨＧ結晶１６を接着し、その後スペーサ１
７〜１９を取り除いて組み立てるようになっている。In this resonator 12, as shown in FIG. 2, spacers 17, 18, and 19 are inserted in order to sequentially make a quarter.
Wave plate 13, laser crystal 14, optical glass 15, SHG
The crystal 16 is pressed against the abutting jig 20, and in this state, the quarter-wave plate 13, the laser crystal 14, the optical glass 15, and the SHG crystal 16 are bonded to the substrate 21, and then the spacer 1
It is designed to be assembled by removing 7 to 19.

【００２５】すなわち図３に示すように、共振器１２に
おいては、始めにつきあて用治具２０に１／４波長板１
３を押し付け、続いてスペーサ１７を押し付けた後、図
４に示すようにレーザ結晶１４、スペーサ１８を押し付
ける。さらに、図５に示すように、光学ガラス１５、ス
ペーサ１９を押し付けた後、図６に示すようにＳＨＧ結
晶１６を押し付け、この状態で基板２１に１／４波長板
１３、レーザ結晶１４、光学ガラス１５、ＳＨＧ結晶１
６の側面を押し付けて接着する。That is, in the resonator 12, as shown in FIG.
After pressing 3 and then the spacer 17, the laser crystal 14 and the spacer 18 are pressed as shown in FIG. Further, as shown in FIG. 5, after pressing the optical glass 15 and the spacer 19, the SHG crystal 16 is pressed as shown in FIG. 6, and in this state, the 1/4 wavelength plate 13, the laser crystal 14, and the optical crystal 14 are pressed onto the substrate 21. Glass 15, SHG crystal 1
The side of 6 is pressed and bonded.

【００２６】さらに共振器１２においては、この接着剤
が固着すると、図７及び図８に示すようにスペーサ１７
〜１９を引き抜くと共につきあて用治具２０を取り外
し、その後レーザ光源１１及びレンズ３と組合わせて全
体としてＳＨＧレーザ１０を形成するようになってい
る。ここでスペーサ１１〜１３は、厚さが薄く形成さ
れ、かつ充分な平行度が保たれるようになっている。Further, in the resonator 12, when the adhesive is fixed, the spacer 17 is formed as shown in FIGS.
.About.19 are pulled out, the fitting jig 20 is removed, and then the laser light source 11 and the lens 3 are combined to form the SHG laser 10 as a whole. Here, the spacers 11 to 13 are formed to have a small thickness and maintain sufficient parallelism.

【００２７】かくして、共振器を形成する光学素子にお
いては、レーザ発振器を形成するために充分な平滑度、
面精度で研磨されていることにより、このようにスペー
サ１７〜１９を介挿してつきあて用治具２０に押し当て
て接着するだけの簡易な組立作業で共振器１２を組み立
てることができ、さらにこのとき各光学素子間の平行度
を確保することができる。さらに１／４波長板１３、レ
ーザ結晶１４、光学ガラス１５、ＳＨＧ結晶１６の側面
を基板２１に接着して保持することにより、必要に応じ
て種々の接着剤を適用して充分な強度を確保することが
できる。Thus, in the optical element forming the resonator, the smoothness sufficient to form the laser oscillator,
By being polished with the surface accuracy, the resonator 12 can be assembled by a simple assembling operation in which the spacers 17 to 19 are inserted and pressed against the abutting jig 20 to be adhered. At this time, the parallelism between the optical elements can be secured. Furthermore, the side surfaces of the quarter-wave plate 13, the laser crystal 14, the optical glass 15, and the SHG crystal 16 are adhered and held to the substrate 21, so that various adhesives are applied as necessary to secure sufficient strength. can do.

【００２８】この点、この実施例においては、固着する
とゴム状に変化するシリコン系の接着剤を適用して１／
４波長板１３、レーザ結晶１４、光学ガラス１５、ＳＨ
Ｇ結晶１６の側面を基板２１に接着するようになってい
る。これにより、共振器１２においては、接着に伴う残
留ストレスを低減し得、またスペーサ１７〜１９を引く
抜く際に各光学素子１３〜１６間で平行度が乱れた場
合、さらに温度変化に伴い光学素子１３〜１６が膨張し
た場合等においても、接着剤の弾性により元の状態に復
元でき、その分経時変化により特性の劣化を低減するこ
とができる。With respect to this point, in this embodiment, 1 /
Four-wave plate 13, laser crystal 14, optical glass 15, SH
The side surface of the G crystal 16 is adhered to the substrate 21. As a result, in the resonator 12, residual stress due to adhesion can be reduced, and when the parallelism between the optical elements 13 to 16 is disturbed when the spacers 17 to 19 are pulled out, the optical stress is further increased due to temperature change. Even when the elements 13 to 16 expand, the elasticity of the adhesive can restore the original state, and the deterioration of the characteristics due to the change over time can be reduced.

【００２９】さらにスペーサ１７〜１９を引く抜いて保
持することにより、周囲温度が変化した場合でも各素子
Ａ〜Ｄ間の干渉を未然に防止し得、その分経時変化の小
さい共振器１２を得ることができる。Further, by pulling out and holding the spacers 17 to 19, it is possible to prevent interference between the elements A to D even when the ambient temperature changes, and to obtain the resonator 12 whose change with time is small. be able to.

【００３０】さらにこの実施例において、つきあて用治
具２０においては、図９に示すように、球面形状の１／
４波長板１３に対応してこの１／４波長板１３のつきあ
て位置に円形形状の貫通穴２１Ａが形成されるようにな
され、これによりこの貫通穴２０Ａを基準にして１／４
波長板１３を押し当てて簡単に光軸合わせできるように
なっている。かくして各光学素子間にスペーサを介挿し
てつきあて用治具に押し当て、この状態で光学素子を基
板に接着した後、スペーサを引き抜くことにより、簡単
に高い精度で共振器を組立ることができ、組立てた後に
おいては、この位置決め精度を維持することができる。Further, in this embodiment, in the fitting jig 20, as shown in FIG.
A circular through-hole 21A is formed at the corresponding position of the quarter-wave plate 13 corresponding to the four-wave plate 13, whereby a quarter-hole is formed on the basis of the through-hole 20A.
The optical axis can be easily aligned by pressing the wave plate 13. Thus, by inserting a spacer between each optical element and pressing it against the abutting jig, and after adhering the optical element to the substrate in this state, the spacer can be pulled out to easily assemble the resonator with high accuracy. Therefore, the positioning accuracy can be maintained after the assembling.

【００３１】なお上述の実施例においては、ＳＨＧ結晶
の端面にミラー面を形成する場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、ＳＨＧ結晶とミラーとを別体に形
成する場合にも適用することができる。In the above embodiments, the case where the mirror surface is formed on the end face of the SHG crystal has been described, but the present invention is not limited to this, and is also applied to the case where the SHG crystal and the mirror are formed separately. can do.

【００３２】さらに上述の実施例においては、シリコン
系の接着剤を適用する場合について述べたが、本発明は
これに限らず、固着するとゴム状に変化する弾性を有す
る種々の接着剤を適用して当初の保持位置に光学素子を
復元し得、また実用上充分な範囲において通常のＵＶ硬
化型の接着剤等を広く適用することができる。Further, in the above-mentioned embodiments, the case where the silicone type adhesive is applied has been described, but the present invention is not limited to this, and various adhesives having elasticity which changes into rubber like when fixed are applied. Thus, the optical element can be restored to the original holding position, and a normal UV-curable adhesive or the like can be widely applied within a practically sufficient range.

【００３３】[0033]

【発明の効果】以上述べたように、本発明に係る光共振
器及び光共振器の組立方法によれば、容易に高い位置決
め精度を確保し、かつこの高い位置決め精度を維持する
ことができる。As described above, according to the optical resonator and the method of assembling the optical resonator according to the present invention, it is possible to easily secure high positioning accuracy and maintain this high positioning accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明のの組立方法に係る光共振器の一例を示
す概略断面図。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of an optical resonator according to an assembly method of the present invention.

【図２】図１の光共振器の組立作業の全体を示す斜視
図。FIG. 2 is a perspective view showing an entire assembling work of the optical resonator shown in FIG.

【図３】図２の組立作業の第１の作業手順を示す斜視
図。FIG. 3 is a perspective view showing a first work procedure of the assembly work of FIG.

【図４】図２の組立作業の第２の作業手順を示す斜視
図。FIG. 4 is a perspective view showing a second work procedure of the assembling work of FIG. 2;

【図５】図２の組立作業の第３の作業手順を示す斜視
図。5 is a perspective view showing a third work procedure of the assembly work of FIG. 2. FIG.

【図６】図２の組立作業の第４の作業手順を示す斜視
図。FIG. 6 is a perspective view showing a fourth work procedure of the assembly work of FIG. 2;

【図７】図２の組立作業の第５の作業手順を示す斜視
図。7 is a perspective view showing a fifth work procedure of the assembling work of FIG. 2. FIG.

【図８】図２の組立作業の第６の作業手順を示す斜視
図。8 is a perspective view showing a sixth work procedure of the assembling work of FIG. 2. FIG.

【図９】つきあて板を示す斜視図。FIG. 9 is a perspective view showing a backing plate.

【図１０】ＳＨＧレーザを示す概略断面図。FIG. 10 is a schematic sectional view showing an SHG laser.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１、１０ ＳＨＧレーザ ２、１１ レーザ光源 ４，１４ 共振器 ５、６ ミラー ７、１４ レーザ結晶 ８、１６ ＳＨＧ結晶 １３ １／４波長板 １５ 光学ガラス １７、１８、１９ スペーサ ２０ つきあて用治具 ２１ 基板 1, 10 SHG laser 2, 11 Laser light source 4, 14 Resonator 5, 6 Mirror 7, 14 Laser crystal 8, 16 SHG crystal 13 1/4 wavelength plate 15 Optical glass 17, 18, 19 Spacer 20 Fixing jig 21 board

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 所定の光学素子を間に挟んで第１及び第
２のミラーを配し、 上記第１のミラー、上記光学素子、上記第２のミラー間
にスペーサを介挿してこれらの間の間隔を上記スペーサ
で決まる間隔に保持した後、 上記第１のミラー、上記光学素子、上記第２のミラーの
側面を接着剤で保持台に接着して上記第１のミラー、上
記光学素子、上記第２のミラーを上記間隔で上記保持台
に保持し、 その後上記スペーサを取り外して上記第１のミラー、上
記光学素子、上記第２のミラーを上記間隔の空隙を介し
て保持することを特徴とする、光共振器の組立方法。1. A first and a second mirror are arranged with a predetermined optical element interposed therebetween, and a spacer is interposed between the first mirror, the optical element and the second mirror to provide a space therebetween. After maintaining the spacing of the first mirror, the optical element, and the side surface of the second mirror to the holding table with an adhesive, the first mirror, the optical element, The second mirror is held on the holding table at the interval, and then the spacer is removed to hold the first mirror, the optical element, and the second mirror via the space of the interval. And an optical resonator assembling method. 【請求項２】 前記接着剤は、固着するとゴム状に変化
する弾性を有する接着剤を用いることを特徴とする、請
求項１に記載の光共振器の組立方法。2. The method for assembling an optical resonator according to claim 1, wherein the adhesive has an elasticity that changes into a rubber when fixed. 【請求項３】 前記第１のミラー、前記光学素子、前記
第２のミラー間に前記スペーサを介挿して、これらの間
の間隔をこのスペーサで決まる間隔に保持した際、 上記第１のミラーを所定の基準部材につきあてて、上記
第１のミラー、上記光学素子、上記第２のミラーを上記
基準部材に押し当てることにより、これらの間の間隔を
上記スペーサで決まる間隔に保持するようにしたことを
特徴とする、請求項１または２に記載の光共振器の組立
方法。3. The first mirror, when the spacer is inserted between the first mirror, the optical element, and the second mirror, and the space between them is maintained at a space determined by the spacer. To a predetermined reference member and press the first mirror, the optical element, and the second mirror against the reference member so that the space between them is maintained at the space determined by the spacer. The method for assembling the optical resonator according to claim 1 or 2, characterized in that. 【請求項４】 前記第１のミラーは、一面が凸面に形成
され、 前記基準部材は、上記第１のミラーの上記凸面に対応し
て凹部が形成され、この凹部に上記球面を押し当てて位
置決めすることを特徴とする、請求項３に記載の光共振
器の組立方法。4. The one surface of the first mirror is formed as a convex surface, and the reference member is formed with a concave portion corresponding to the convex surface of the first mirror, and the spherical surface is pressed against the concave portion. The optical resonator assembling method according to claim 3, wherein the optical resonator is positioned. 【請求項５】 前記光学素子は、励起光で励起されて所
定波長のレーザ光を発生するレーザ結晶と、上記レーザ
光を受光してこのレーザ光の第２高調波を発生するＳＨ
Ｇ結晶とでなり、 前記第１のミラーは、外部から入射する上記励起光を透
過して上記レーザ結晶に導き、上記レーザ光及び上記第
２高調波を反射し、 前記第２のミラーは、上記第２高調波を透過して外部に
射出し、上記励起光及び上記記レーザ光及び上記第２高
調波を反射することを特徴とする、請求項１ないし４の
いづれかに記載の光共振器の組立方法。5. The optical element includes a laser crystal that is excited by excitation light to generate laser light of a predetermined wavelength, and an SH that receives the laser light and generates a second harmonic of the laser light.
G crystal, the first mirror transmits the excitation light incident from the outside and guides it to the laser crystal, reflects the laser light and the second harmonic, and the second mirror, 5. The optical resonator according to claim 1, wherein the second harmonic is transmitted and emitted to the outside, and the excitation light, the laser light, and the second harmonic are reflected. Assembly method.