JPH06188484A - ストリップ導波路レーザ - Google Patents
ストリップ導波路レーザInfo
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- JPH06188484A JPH06188484A JP5232322A JP23232293A JPH06188484A JP H06188484 A JPH06188484 A JP H06188484A JP 5232322 A JP5232322 A JP 5232322A JP 23232293 A JP23232293 A JP 23232293A JP H06188484 A JPH06188484 A JP H06188484A
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- strip waveguide
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- laser according
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
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- H01S3/02—Constructional details
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- H01S3/0315—Waveguide lasers
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ストリップ導波路レーザにおいて周囲温度と
は無関係にかつ電極及び共振器鏡の熱負荷とは無関係
に、両共振器鏡を一定の間隔にかつ一定の相互角度位置
に保つことができるようにする。 【構成】 間隔棒１２が冷却媒体により貫流されて、間
隔棒１２と間接的に強固に結合され向かい合う両共振器
鏡９、１０の不変の間隔を規定する。
は無関係にかつ電極及び共振器鏡の熱負荷とは無関係
に、両共振器鏡を一定の間隔にかつ一定の相互角度位置
に保つことができるようにする。 【構成】 間隔棒１２が冷却媒体により貫流されて、間
隔棒１２と間接的に強固に結合され向かい合う両共振器
鏡９、１０の不変の間隔を規定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は高周波励起拡散冷却形
ストリップ導波路レーザに関する。
ストリップ導波路レーザに関する。
【０００２】
【従来の技術】冷却装置及び相互固定装置を有し中間に
放電ギャップを形成する二つの金属電極と、第１の共振
器鏡を基準電極に強固に結合された不安定共振器と、第
１及び第２の端板並びにこれらの端板に真空密に結合さ
れた外壁から組み立てられた容器と、少なくとも二つの
間隔棒とを備え、その際基準電極が第１の端板と強固に
結合されているこの種のストリップ導波路レーザは、欧
州特許出願公開第0477865 号明細書から知られている。
放電ギャップを形成する二つの金属電極と、第１の共振
器鏡を基準電極に強固に結合された不安定共振器と、第
１及び第２の端板並びにこれらの端板に真空密に結合さ
れた外壁から組み立てられた容器と、少なくとも二つの
間隔棒とを備え、その際基準電極が第１の端板と強固に
結合されているこの種のストリップ導波路レーザは、欧
州特許出願公開第0477865 号明細書から知られている。
【０００３】数年前まではコンパクト構造のＣＯ2 高出
力レーザの設計には克服し難い困難があった。レーザ励
起の際の物理的プロセスに起因して、効率はガス温度が
高すぎないこと従って実地上レーザガスから余分の熱が
有効に除去されることに著しく関係する。熱が定常的な
熱伝達プロセスによりレーザプラズマの中心の最も高温
の個所から放電容器の冷却された壁へ伝達される拡散冷
却形ＣＯ2 レーザの場合には、レーザ出力は放電の長さ
だけに関係し直径には関係しないことが判明している。
それゆえに一方ではｋＷ領域に達する出力にもかかわら
ずレーザのコンパクトな寸法を維持するために高価な折
りたたみ構想が開発され、他方では高速流形従って対流
冷却形レーザが開発された。５００Ｗないし１０ｋＷ以
上の出力クラスの高速流形レーザは現在市販されてい
る。しかしながら密封運転のために用いられないこれら
のレーザはかさばっており、単位出力当たりかなりの重
量を有し、かつ外部からのガス供給及び高速ガス循環の
ための不経済なポンプを必要とする。
力レーザの設計には克服し難い困難があった。レーザ励
起の際の物理的プロセスに起因して、効率はガス温度が
高すぎないこと従って実地上レーザガスから余分の熱が
有効に除去されることに著しく関係する。熱が定常的な
熱伝達プロセスによりレーザプラズマの中心の最も高温
の個所から放電容器の冷却された壁へ伝達される拡散冷
却形ＣＯ2 レーザの場合には、レーザ出力は放電の長さ
だけに関係し直径には関係しないことが判明している。
それゆえに一方ではｋＷ領域に達する出力にもかかわら
ずレーザのコンパクトな寸法を維持するために高価な折
りたたみ構想が開発され、他方では高速流形従って対流
冷却形レーザが開発された。５００Ｗないし１０ｋＷ以
上の出力クラスの高速流形レーザは現在市販されてい
る。しかしながら密封運転のために用いられないこれら
のレーザはかさばっており、単位出力当たりかなりの重
量を有し、かつ外部からのガス供給及び高速ガス循環の
ための不経済なポンプを必要とする。
【０００４】前記理由から従来は２００Ｗ以下の出力を
有する導波路レーザだけがコンパクトな拡散冷却形ＣＯ
2 レーザとして市販されていた。しかしながら最近例え
ば欧州特許出願公開第0305893 号明細書から、放電空間
が導波路レーザとは対照的に正方形断面を有さず、側方
へ向かって開放された平面的な導波路構造に基づくスト
リップ導波路レーザが知られている。ほぼ一次元のこの
種の導波路と不安定共振器との直交方向の組み合わせに
より、回折を制限された基本モードレーザ放射が可能と
なる。このストリップ導波路の場合に熱は密接した電極
により大面積で取り出され、そして電極から適当な冷却
液により運び去られる。それゆえにレーザガス自体を放
電空間を通る特別な冷却回路によりポンプ循環させるこ
とはもはや必要でない。
有する導波路レーザだけがコンパクトな拡散冷却形ＣＯ
2 レーザとして市販されていた。しかしながら最近例え
ば欧州特許出願公開第0305893 号明細書から、放電空間
が導波路レーザとは対照的に正方形断面を有さず、側方
へ向かって開放された平面的な導波路構造に基づくスト
リップ導波路レーザが知られている。ほぼ一次元のこの
種の導波路と不安定共振器との直交方向の組み合わせに
より、回折を制限された基本モードレーザ放射が可能と
なる。このストリップ導波路の場合に熱は密接した電極
により大面積で取り出され、そして電極から適当な冷却
液により運び去られる。それゆえにレーザガス自体を放
電空間を通る特別な冷却回路によりポンプ循環させるこ
とはもはや必要でない。
【０００５】ストリップ導波路レーザ技術の現状に対し
ては、ノワック（R. Nowack ）らの論文「コンパクト構
造の拡散冷却形ＣＯ2 高出力レーザ（Diffusionsgekueh
lteCO2 −Hochleistungslaser in Kompaktbauweise
）」、専門誌「レーザ・ウント・オプトエレクトロニ
ク（Laser und Optoelektronik）」、第２３（３）巻、
１９９１年を参照されたい。従来は前記ストリップ導波
路レーザの実用的な構造の実現にはなお著しい困難があ
った。適当な電極材料の選択及び熱負荷に対する共振器
構造の機械的安定性の保証が特に問題になっている。
ては、ノワック（R. Nowack ）らの論文「コンパクト構
造の拡散冷却形ＣＯ2 高出力レーザ（Diffusionsgekueh
lteCO2 −Hochleistungslaser in Kompaktbauweise
）」、専門誌「レーザ・ウント・オプトエレクトロニ
ク（Laser und Optoelektronik）」、第２３（３）巻、
１９９１年を参照されたい。従来は前記ストリップ導波
路レーザの実用的な構造の実現にはなお著しい困難があ
った。適当な電極材料の選択及び熱負荷に対する共振器
構造の機械的安定性の保証が特に問題になっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、構
造上の大きい出費を必要とせずに前記の欠点をほぼ回避
し、特にレーザの周囲温度とは無関係にかつレーザ電極
及び共振器鏡の熱負荷とは無関係に、両共振器鏡を一定
の間隔にかつ一定の相互角度位置に保つことができるよ
うにした、前記の種類のレーザを提供することにある。
造上の大きい出費を必要とせずに前記の欠点をほぼ回避
し、特にレーザの周囲温度とは無関係にかつレーザ電極
及び共振器鏡の熱負荷とは無関係に、両共振器鏡を一定
の間隔にかつ一定の相互角度位置に保つことができるよ
うにした、前記の種類のレーザを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題はこの発明に基
づき前記の種類のストリップ導波路レーザにおいて、間
隔棒が冷却媒体により貫流され、間隔棒と間接的に強固
に結合され向かい合う両共振器鏡の不変の間隔を規定す
ることにより解決される。
づき前記の種類のストリップ導波路レーザにおいて、間
隔棒が冷却媒体により貫流され、間隔棒と間接的に強固
に結合され向かい合う両共振器鏡の不変の間隔を規定す
ることにより解決される。
【０００８】
【実施例】次にこの発明に基づくストリップ導波路レー
ザの一実施例を示す図面により、この発明を詳細に説明
する。
ザの一実施例を示す図面により、この発明を詳細に説明
する。
【０００９】一定の出力放出のために必要なモードの純
粋性を達成するために、共振器長の熱膨張を構造的手段
により最大で０．２μｍに制限することが、レーザの±
１％以内で一定の出力放出という使用者により求められ
ている目標の達成のために必要であることが、シグネチ
ャ計算に基づき、判明した。その際±１．５ｍｍの加工
公差が前提となった。この目標を達成するには一連の構
造的手段を必要とし、特に同時に共振器鏡の傾動をも防
止すべきである。
粋性を達成するために、共振器長の熱膨張を構造的手段
により最大で０．２μｍに制限することが、レーザの±
１％以内で一定の出力放出という使用者により求められ
ている目標の達成のために必要であることが、シグネチ
ャ計算に基づき、判明した。その際±１．５ｍｍの加工
公差が前提となった。この目標を達成するには一連の構
造的手段を必要とし、特に同時に共振器鏡の傾動をも防
止すべきである。
【００１０】図１には真空密なレーザ容器が示され、こ
のレーザ容器は主として第１の端板１、望ましくは円筒
形の外壁２及び第２の端板３から成る。これらの部材は
合金鋼から作られるのが有利である。第１の端板１と強
固に結合された基準電極４及びその上方に配置された高
周波電極５は相互に間隔保持体６により結合されてい
る。両電極４、５は約２０〜２５°Ｃの温度を有する冷
却水により流入口７及び流出口８を介して有効に冷却さ
れる。基準電極４上には第１の端板１のそばに円筒形の
鏡が直立し、その円筒面は±５秒の角度公差を保って基
準電極に対し垂直に整列させられている。この鏡は第１
の共振器鏡９を形成する。
のレーザ容器は主として第１の端板１、望ましくは円筒
形の外壁２及び第２の端板３から成る。これらの部材は
合金鋼から作られるのが有利である。第１の端板１と強
固に結合された基準電極４及びその上方に配置された高
周波電極５は相互に間隔保持体６により結合されてい
る。両電極４、５は約２０〜２５°Ｃの温度を有する冷
却水により流入口７及び流出口８を介して有効に冷却さ
れる。基準電極４上には第１の端板１のそばに円筒形の
鏡が直立し、その円筒面は±５秒の角度公差を保って基
準電極に対し垂直に整列させられている。この鏡は第１
の共振器鏡９を形成する。
【００１１】第２の共振器鏡１０は調節フランジ１１と
強固に結合されている。調節フランジ１１は固定の間隔
棒１２を介して第１の端板１と、従って間接的に基準電
極４及び第１の共振器鏡９と結合されている。少なくと
も三つの間隔棒１２はインバー製中空管１３及び外側に
置かれた二つの合金鋼管１４から一体に溶接されてい
る。それ自体既に非常に小さい線膨張を有するインバー
製中空管１３は、鋼管１４と同様に補助的に水冷却され
る。冷却媒体により貫流される間隔棒１２により、間隔
変化に寄与するすべての要素の温度が正確に規定される
か又はこれらの要素自体が著しくゼロに近い膨張係数を
有するならば、共振器構造にとって重大な種々の熱膨張
量をゼロとなるまで補償することができる。鋼管１４の
長さは、その線膨張係数に基づき定められている膨張が
残りのすべての線膨張の合計をちょうど補償するように
選択すべきである。詳細には計算により、３７０．５ｍ
ｍの長さのインバー製中空棒１３に対してＶ２Ａ製補償
要素１４の必要な長さは１７．５ｍｍとなる。これによ
り上述のように固定の共振器構造中にはめ込まれた共振
器鏡９、１０の間隔変化を０．２μｍ以下にすることを
保証する。レーザ容器の温度分布及び機械的安定性はそ
れにより外部温度に対してほぼ影響を受けなくなる。固
定の共振器構造は相応の寸法選択により、温度差とは無
関係に及び容器の外壁２の温度に由来するひずみとは無
関係に共振器鏡９と１０との間隔を決定する。
強固に結合されている。調節フランジ１１は固定の間隔
棒１２を介して第１の端板１と、従って間接的に基準電
極４及び第１の共振器鏡９と結合されている。少なくと
も三つの間隔棒１２はインバー製中空管１３及び外側に
置かれた二つの合金鋼管１４から一体に溶接されてい
る。それ自体既に非常に小さい線膨張を有するインバー
製中空管１３は、鋼管１４と同様に補助的に水冷却され
る。冷却媒体により貫流される間隔棒１２により、間隔
変化に寄与するすべての要素の温度が正確に規定される
か又はこれらの要素自体が著しくゼロに近い膨張係数を
有するならば、共振器構造にとって重大な種々の熱膨張
量をゼロとなるまで補償することができる。鋼管１４の
長さは、その線膨張係数に基づき定められている膨張が
残りのすべての線膨張の合計をちょうど補償するように
選択すべきである。詳細には計算により、３７０．５ｍ
ｍの長さのインバー製中空棒１３に対してＶ２Ａ製補償
要素１４の必要な長さは１７．５ｍｍとなる。これによ
り上述のように固定の共振器構造中にはめ込まれた共振
器鏡９、１０の間隔変化を０．２μｍ以下にすることを
保証する。レーザ容器の温度分布及び機械的安定性はそ
れにより外部温度に対してほぼ影響を受けなくなる。固
定の共振器構造は相応の寸法選択により、温度差とは無
関係に及び容器の外壁２の温度に由来するひずみとは無
関係に共振器鏡９と１０との間隔を決定する。
【００１２】補償は外部温度の変動ばかりでなく冷却水
温度の変動にも関係する。間隔棒１２は電極４、５と並
列に同一の冷却水を供給される。冷却水温が変化する
と、間隔棒１２の膨張は、第１の共振器鏡９と第１の端
板１との間の間隔の膨張、並びに第２の共振器鏡１０と
間隔棒１２・調節フランジ１１間の接触点との間の区間
の膨張とつり合う。個々の部分区間の温度上昇過程の時
定数が相互に一様化されることにより、冷却水温度の変
化に基づきレーザの励起開始期間中に依然として生じる
間隔変化を著しく低減できる。このためには被冷却要素
の断面を正確に規定しなければならず、また水分配器２
５などの要素を材料、流速などのパラメータに対し相互
に調和させなければならない。
温度の変動にも関係する。間隔棒１２は電極４、５と並
列に同一の冷却水を供給される。冷却水温が変化する
と、間隔棒１２の膨張は、第１の共振器鏡９と第１の端
板１との間の間隔の膨張、並びに第２の共振器鏡１０と
間隔棒１２・調節フランジ１１間の接触点との間の区間
の膨張とつり合う。個々の部分区間の温度上昇過程の時
定数が相互に一様化されることにより、冷却水温度の変
化に基づきレーザの励起開始期間中に依然として生じる
間隔変化を著しく低減できる。このためには被冷却要素
の断面を正確に規定しなければならず、また水分配器２
５などの要素を材料、流速などのパラメータに対し相互
に調和させなければならない。
【００１３】図１に示すように、間隔棒１２は強固な結
合なしに第２の端板３を貫いて導かれ、端板３の後ろに
配置された調節フランジ１１と強固に結合される。調節
フランジ１１は第２の端板３から膨張間隙１５により分
離されている。第２の端板３が軸線方向に移動可能であ
るがしかし半径方向に導かれているので、また第２の共
振器鏡１０が調節フランジ１１と強固に結合されている
ので、両共振器鏡９、１０相互の一定の角度位置が生じ
る。第２の共振器鏡１０を調節可能に形成しかつ第１の
共振器鏡９とのレーザ運転にとって最適な位置を調節す
ることが、容易な方法により可能となるので有利であ
る。このことは例えば第２の共振器鏡１０の調節のため
の図１に示された調節ボルト１６により調節フランジ１
１のそばで行われる。
合なしに第２の端板３を貫いて導かれ、端板３の後ろに
配置された調節フランジ１１と強固に結合される。調節
フランジ１１は第２の端板３から膨張間隙１５により分
離されている。第２の端板３が軸線方向に移動可能であ
るがしかし半径方向に導かれているので、また第２の共
振器鏡１０が調節フランジ１１と強固に結合されている
ので、両共振器鏡９、１０相互の一定の角度位置が生じ
る。第２の共振器鏡１０を調節可能に形成しかつ第１の
共振器鏡９とのレーザ運転にとって最適な位置を調節す
ることが、容易な方法により可能となるので有利であ
る。このことは例えば第２の共振器鏡１０の調節のため
の図１に示された調節ボルト１６により調節フランジ１
１のそばで行われる。
【００１４】第２の端板３は第２の共振器鏡１０と向か
い合わせに孔１７を備えているので、図１に示された膨
張可能な金属製ベロー１８を設けることは、容器内部と
調節フランジ１１との間の真空密な結合の形成のために
有利である。金属製ベロー１８は例えば０．２ｍｍ厚の
銅から成ることができる。第２の端板３が固定の調節フ
ランジ１１に対して軸線方向に移動可能であるようにす
るために、図１に示すように少なくとも一つの平行ピン
１９を第２の端板３と調節フランジ１１との間に設ける
ことがベロー１８の支持のために有利である。平行ピン
１９の代わりに、調節フランジ１１と第２の端板３との
間に配置されこれらの両部品に交互にずれた位置で接触
する保持ばねを用いることもできるが、この保持ばねは
図示されていない。
い合わせに孔１７を備えているので、図１に示された膨
張可能な金属製ベロー１８を設けることは、容器内部と
調節フランジ１１との間の真空密な結合の形成のために
有利である。金属製ベロー１８は例えば０．２ｍｍ厚の
銅から成ることができる。第２の端板３が固定の調節フ
ランジ１１に対して軸線方向に移動可能であるようにす
るために、図１に示すように少なくとも一つの平行ピン
１９を第２の端板３と調節フランジ１１との間に設ける
ことがベロー１８の支持のために有利である。平行ピン
１９の代わりに、調節フランジ１１と第２の端板３との
間に配置されこれらの両部品に交互にずれた位置で接触
する保持ばねを用いることもできるが、この保持ばねは
図示されていない。
【００１５】電極４、５の有効な冷却にもかかわらず、
また円筒形の外壁２がコイル状冷却管２０により囲まれ
ているにもかかわらず、外壁はなお小さい温度差を受け
るのでその機械的作用を考慮しなければならない。設け
られた膨張可能なベロー１８及び膨張間隙１５に基づき
円筒形外壁２は熱膨張の場合に調節フランジ１１の方向
へ移動でき、他方ではそれにもかかわらず鏡間隔が一定
にとどまる。外壁２とは強固に結合され基準電極４とは
軸線方向に移動可能に結合された支柱２１により、基準
電極４を第２の端板３に対して半径方向へ導くのが有利
である。この支柱２１は外壁２及び方形の電極支持部材
２２の異なる線膨張のゆえに波形ばね２３を備えること
ができる。方形輪郭の長孔を貫いて支柱２１は一方では
外壁２と本来の電極部材２４を支持する方形部材２２と
の間を結合し、しかしながら他方では両部材を十分に相
互に移動可能に保持する。
また円筒形の外壁２がコイル状冷却管２０により囲まれ
ているにもかかわらず、外壁はなお小さい温度差を受け
るのでその機械的作用を考慮しなければならない。設け
られた膨張可能なベロー１８及び膨張間隙１５に基づき
円筒形外壁２は熱膨張の場合に調節フランジ１１の方向
へ移動でき、他方ではそれにもかかわらず鏡間隔が一定
にとどまる。外壁２とは強固に結合され基準電極４とは
軸線方向に移動可能に結合された支柱２１により、基準
電極４を第２の端板３に対して半径方向へ導くのが有利
である。この支柱２１は外壁２及び方形の電極支持部材
２２の異なる線膨張のゆえに波形ばね２３を備えること
ができる。方形輪郭の長孔を貫いて支柱２１は一方では
外壁２と本来の電極部材２４を支持する方形部材２２と
の間を結合し、しかしながら他方では両部材を十分に相
互に移動可能に保持する。
【００１６】この発明の図１に示されていない第２の実
施態様によれば、共振器は少なくとも二つの間隔棒が部
分的に中空形材として形成された基準電極内部に延びる
ような共振器として構成することもできる。それにより
共振器は真空密な容器内に配置できるので経済的であ
る。更に第１の共振器鏡、間隔棒、基準電極の外で間隔
棒と結合された銅製結合体、及びこの結合体上に取り付
けられた二つの共振器鏡を、連続する共通な冷却回路に
より冷却することができる。間隔棒は第２の共振器鏡の
そばで保持ばねにより電極形材に結合すべきである。保
持ばねは板ばねとして構成することができ、電極形材に
対し相対的な間隔棒の軸線方向の運動を許すが、半径方
向の運動を阻止する。励起の際に間隔棒の共振周波数を
半径方向において高めるために、別の保持ばねを電極形
材と間隔棒との間に取り付けることができる。
施態様によれば、共振器は少なくとも二つの間隔棒が部
分的に中空形材として形成された基準電極内部に延びる
ような共振器として構成することもできる。それにより
共振器は真空密な容器内に配置できるので経済的であ
る。更に第１の共振器鏡、間隔棒、基準電極の外で間隔
棒と結合された銅製結合体、及びこの結合体上に取り付
けられた二つの共振器鏡を、連続する共通な冷却回路に
より冷却することができる。間隔棒は第２の共振器鏡の
そばで保持ばねにより電極形材に結合すべきである。保
持ばねは板ばねとして構成することができ、電極形材に
対し相対的な間隔棒の軸線方向の運動を許すが、半径方
向の運動を阻止する。励起の際に間隔棒の共振周波数を
半径方向において高めるために、別の保持ばねを電極形
材と間隔棒との間に取り付けることができる。
【図１】この発明に基づくストリップ導波路レーザの一
実施例の長手方向断面図。
実施例の長手方向断面図。
１、３ 端板 ２ 外壁 ４ 基準電極 ９、１０ 共振器鏡 １１ 調節フランジ １２ 間隔棒 １３ インバー製中空棒 １４ 金属管 １５ 膨張間隙 １８ ベロー １９ 平行ピン ２１ 支柱
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペーター マンマツハ ドイツ連邦共和国 82008 ウンターハツ ヒング グリユーナウエルアレー 47 (72)発明者 クレメンス ヒユープナー ドイツ連邦共和国 85521 オツトーブル ン ツアウンケーニツヒシユトラーセ 28 (72)発明者 カールハインツ アルント ドイツ連邦共和国 81737 ミユンヘン セバスチアン‐バウエル‐シユトラーセ 37アー
Claims (13)
- 【請求項１】 冷却装置及び相互固定装置を有し中間に
放電ギャップを形成する二つの金属電極と、第１の共振
器鏡を基準電極に強固に結合された不安定共振器と、第
１及び第２の端板並びにこれらの端板に真空密に結合さ
れた外壁から組み立てられた容器と、少なくとも二つの
間隔棒とを備え、その際基準電極が第１の端板と強固に
結合されている高周波励起拡散冷却形ストリップ導波路
レーザにおいて、間隔棒（１２）が冷却媒体により貫流
され、間隔棒（１２）と間接的に強固に結合され向かい
合う両共振器鏡（９、１０）の不変の間隔を規定するこ
とを特徴とするストリップ導波路レーザ。 - 【請求項２】 間隔棒（１２）が、中空形材として形成
された基準電極（４）の内部で延びることを特徴とする
請求項１記載のストリップ導波路レーザ。 - 【請求項３】 第１の共振器鏡（９）、間隔棒（１
２）、基準電極（４）の外で間隔棒（１２）と結合され
た結合体、及び結合体上に取り付けられた第２の共振器
鏡（１０）が、共通の冷却回路により冷却されることを
特徴とする請求項２記載のストリップ導波路レーザ。 - 【請求項４】 間隔棒（１２）が少なくとも１個所で望
ましくは第２の共振器鏡（１０）のそばで、軸線方向の
運動だけを許す保持ばねを介して基準電極（４）と結合
されていることを特徴とする請求項２又は３記載のスト
リップ導波路レーザ。 - 【請求項５】 間隔棒（１２）がそれぞれインバー製中
空棒（１３）と少なくとも一つの望ましくは二つの金属
管（１４）とから組み立てられ、その際すべての部品が
所定の長さ及び所定の線膨張係数を有することを特徴と
する請求項１ないし４の一つに記載のストリップ導波路
レーザ。 - 【請求項６】 基準電極（４）が第２の端板（３）に対
して軸線方向に移動可能であるがしかし半径方向に導か
れており、間隔棒（１２）が固定結合なしに第２の端板
（３）を貫いて導かれて、第２の端板の後ろに配置され
た調節フランジ（１１）と強固に結合され、この調節フ
ランジは第２の端板（３）から膨張間隙（１５）により
分離され、第２の共振器鏡（１０）が調節フランジ（１
１）と強固に結合され、第１の共振器鏡（９）に対し所
定位置に保持されていることを特徴とする請求項１ない
し５の一つに記載のストリップ導波路レーザ。 - 【請求項７】 第２の共振器鏡（１０）に向かい合わせ
に容器内部へ向けて貫通された第２の端板（３）と調節
フランジ（１１）特に第２の共振器鏡（１０）との間の
真空密な結合が、膨張可能な金属製ベロー（１８）によ
り形成されていることを特徴とする請求項１又は５又は
６の一つに記載のストリップ導波路レーザ。 - 【請求項８】 ベロー（１８）に加えて、少なくとも一
つの平行ピン（１９）が第２の端板（３）と調節フラン
ジ（１１）との間に設けられ、この第２の端板（３）が
軸線方向へ固定された調節フランジ（１１）に向かって
移動可能であることを特徴とする請求項７記載のストリ
ップ導波路レーザ。 - 【請求項９】 ベロー（１８）に加えて、調節フランジ
（１１）と第２の端板（３）との間に配置されこれらと
交互にずれた個所で接触する保持ばねが設けられること
を特徴とする請求項７記載のストリップ導波路レーザ。 - 【請求項１０】 外壁（２）とは強固に結合され基準電
極（４）とは軸線方向へ移動可能に結合された支柱（２
１）により、基準電極（４）が第２の端板（３）に対し
て半径方向へ導かれていることを特徴とする請求項１な
いし９の一つに記載のストリップ導波路レーザ。 - 【請求項１１】 第１の共振器鏡（９）が円筒形の鏡面
として構成され、第１の端板（１）のそばに±５秒の角
度公差を保って基準電極（４）に対し垂直に立っている
ことを特徴とする請求項１ないし１０の一つに記載のス
トリップ導波路レーザ。 - 【請求項１２】 第２の共振器鏡（１０）が調節可能に
構成され、第１の共振器鏡（９）とのレーザ運転のため
に最適な位置に調節されていることを特徴とする請求項
１ないし１１の一つに記載のストリップ導波路レーザ。 - 【請求項１３】 金属管（１４）が合金鋼管として形成
されていることを特徴とする請求項１ないし５の一つに
記載のストリップ導波路レーザ。
Applications Claiming Priority (2)
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| EP92114861A EP0585481B1 (de) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | Bandleiterlaser-Resonator |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family Applications (1)
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| JP5232322A Withdrawn JPH06188484A (ja) | 1992-08-31 | 1993-08-25 | ストリップ導波路レーザ |
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| EP (1) | EP0585481B1 (ja) |
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