JPH06185950A - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置Info
- Publication number
- JPH06185950A JPH06185950A JP30890792A JP30890792A JPH06185950A JP H06185950 A JPH06185950 A JP H06185950A JP 30890792 A JP30890792 A JP 30890792A JP 30890792 A JP30890792 A JP 30890792A JP H06185950 A JPH06185950 A JP H06185950A
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- JP
- Japan
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- scale
- base
- guide rail
- attached
- displacement
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 相対移動する2つの部材間の相対変位量を周
囲の温度変化に影響されず、高精度に測定できる変位測
定装置を提供する。 【構成】 スケール32とスケールベース28とを各々
異なる線膨張係数の材料で形成するとともに、スケール
32をスケールベース28に対して押さえばね34で押
圧して取付け、スケール32とスケールベース28間、
押さえばね34とスケール32間に各々摩擦低減材3
0,36を介在させている。このため、環境温度が変化
したとしても、スケール32とスケールベース28は自
由に伸縮するので熱応力の影響を受けずにすみ、測定精
度の悪化が防止される。
囲の温度変化に影響されず、高精度に測定できる変位測
定装置を提供する。 【構成】 スケール32とスケールベース28とを各々
異なる線膨張係数の材料で形成するとともに、スケール
32をスケールベース28に対して押さえばね34で押
圧して取付け、スケール32とスケールベース28間、
押さえばね34とスケール32間に各々摩擦低減材3
0,36を介在させている。このため、環境温度が変化
したとしても、スケール32とスケールベース28は自
由に伸縮するので熱応力の影響を受けずにすみ、測定精
度の悪化が防止される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は相対移動する2つの部材
間の相対移動変位量を測定する変位測定装置に係り、例
えば、プローブ等の移動量を測定する変位測定装置に関
する。
間の相対移動変位量を測定する変位測定装置に係り、例
えば、プローブ等の移動量を測定する変位測定装置に関
する。
【0002】
【背景技術】被測定物の形状、寸法等の測定を行う測定
機としてハイトゲージ(一次元測定機)、三次元測定
機、輪郭測定機等が知られている。この種の測定機は被
測定物に当接するスクライバーやプローブ等の測定子を
支持する移動部材を測定機の案内レールに沿って相対移
動させ、それらが被測定物に関与(接触又は非接触)し
たときの相対移動量を基に被測定物の形状や寸法等を測
定するが、この移動部材の相対移動量は、案内レールに
密着して装着されたスケールと、光源、受光素子等の光
学的な検出器等から構成された変位測定装置によって測
定される。
機としてハイトゲージ(一次元測定機)、三次元測定
機、輪郭測定機等が知られている。この種の測定機は被
測定物に当接するスクライバーやプローブ等の測定子を
支持する移動部材を測定機の案内レールに沿って相対移
動させ、それらが被測定物に関与(接触又は非接触)し
たときの相対移動量を基に被測定物の形状や寸法等を測
定するが、この移動部材の相対移動量は、案内レールに
密着して装着されたスケールと、光源、受光素子等の光
学的な検出器等から構成された変位測定装置によって測
定される。
【0003】一般に、変位測定装置を構成するスケール
は通常ガラス材料で形成されており、一方、このスケー
ルが取付けられる測定機の案内レールはグラナイト(は
んれい岩)、ステンレス、セラミックス等によって形成
されている。即ち、スケールと、スケールが密着して取
付けられる案内レールとは線膨張係数の異なる異種材料
で形成されているので温度変化があった場合には線膨張
係数の差によってスケールと案内レールとの間に熱応力
が生じ、この熱応力に伴う歪みがスケールの均一な伸縮
を妨げ、測定精度を悪化させる場合がある。
は通常ガラス材料で形成されており、一方、このスケー
ルが取付けられる測定機の案内レールはグラナイト(は
んれい岩)、ステンレス、セラミックス等によって形成
されている。即ち、スケールと、スケールが密着して取
付けられる案内レールとは線膨張係数の異なる異種材料
で形成されているので温度変化があった場合には線膨張
係数の差によってスケールと案内レールとの間に熱応力
が生じ、この熱応力に伴う歪みがスケールの均一な伸縮
を妨げ、測定精度を悪化させる場合がある。
【0004】そこで、従来、温度変化に伴う測定精度の
悪化を防止するために、スケールとスケールが取付けら
れる案内レールとの間には以下の対策が施されている。
図5は従来の測定機におけるスケールと、スケールが取
付けられた案内レールとの関係を示した正面図である。
悪化を防止するために、スケールとスケールが取付けら
れる案内レールとの間には以下の対策が施されている。
図5は従来の測定機におけるスケールと、スケールが取
付けられた案内レールとの関係を示した正面図である。
【0005】図5に示すように測定機の案内レール10
にはスケール12が板ばね14で押圧されて案内レール
10に密着されて支持され、温度変化によって案内レー
ル10とスケール12とが伸縮する際にスケール12と
案内レール10とを各々独立して伸縮させることでスケ
ール12に熱応力が生じないようにしている。そして、
測定時には移動部材16に配設された変位検出器18に
よってスケール12の目盛りを読み取り、これにより移
動部材16の案内レール10に対する相対移動量が測定
される。
にはスケール12が板ばね14で押圧されて案内レール
10に密着されて支持され、温度変化によって案内レー
ル10とスケール12とが伸縮する際にスケール12と
案内レール10とを各々独立して伸縮させることでスケ
ール12に熱応力が生じないようにしている。そして、
測定時には移動部材16に配設された変位検出器18に
よってスケール12の目盛りを読み取り、これにより移
動部材16の案内レール10に対する相対移動量が測定
される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した図5
の構造では板ばね14による押圧箇所に大きな摩擦力が
生じており、このため温度変化があった場合には案内レ
ール10とスケール12との間に生じる熱応力を完全に
解消することができず、測定誤差の悪化を防止できない
欠点がある。
の構造では板ばね14による押圧箇所に大きな摩擦力が
生じており、このため温度変化があった場合には案内レ
ール10とスケール12との間に生じる熱応力を完全に
解消することができず、測定誤差の悪化を防止できない
欠点がある。
【0007】そこで、温度変化に基づく精度の悪化を所
定の演算処理によって補正することも考えられるが、例
えば20℃の設定に対して温度が20℃以下の状態から
20℃になる場合と、20℃以上の状態から20℃にな
る場合では摩擦を受ける力の向きが逆となるため、補正
係数が一致しなくなり、測定誤差を十分に補正すること
はできなかった。
定の演算処理によって補正することも考えられるが、例
えば20℃の設定に対して温度が20℃以下の状態から
20℃になる場合と、20℃以上の状態から20℃にな
る場合では摩擦を受ける力の向きが逆となるため、補正
係数が一致しなくなり、測定誤差を十分に補正すること
はできなかった。
【0008】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、その目的は相対移動する2つの部材間の相対変
位量を周囲の温度変化に影響されず、高精度に測定でき
る変位測定装置を提供するところにある。
もので、その目的は相対移動する2つの部材間の相対変
位量を周囲の温度変化に影響されず、高精度に測定でき
る変位測定装置を提供するところにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、相対移動する
一方の部材に取付けられるとともに、その一方の部材と
異なる線膨張係数の材料で形成され、且つ相対移動する
方向に沿って目盛りを有するスケールと、前記相対移動
する他方の部材に取付けられ前記スケールの目盛りを読
み取る検出器とを備え、前記スケールは前記一方の部材
に対して弾性部材によって押圧されて取付けられている
とともに、前記一方の部材とスケールとの間には摩擦低
減材が介在されていることを特徴としている。
一方の部材に取付けられるとともに、その一方の部材と
異なる線膨張係数の材料で形成され、且つ相対移動する
方向に沿って目盛りを有するスケールと、前記相対移動
する他方の部材に取付けられ前記スケールの目盛りを読
み取る検出器とを備え、前記スケールは前記一方の部材
に対して弾性部材によって押圧されて取付けられている
とともに、前記一方の部材とスケールとの間には摩擦低
減材が介在されていることを特徴としている。
【0010】
【作用】本発明では、スケールと、スケールが取付けら
れる一方の部材とが各々異なる線膨張係数の材料で形成
されている場合に、スケールを一方の部材に対して弾性
部材によって押圧して取付けるとともに、一方の部材と
スケールとの間に摩擦低減材を介在させている。このた
め、スケールと一方の部材との間に生じる摩擦力は極め
て低くなり、測定機が使用される環境温度の変化により
スケールと一方の部材とが各々異なる伸縮量を示したと
しても、スケールと一方の部材とは相互に拘束されるこ
となく自由に伸縮する。従って、熱応力に基づく歪みが
低減され、一方の部材と他方の部材との相対移動量を検
出する際の測定精度が向上する。
れる一方の部材とが各々異なる線膨張係数の材料で形成
されている場合に、スケールを一方の部材に対して弾性
部材によって押圧して取付けるとともに、一方の部材と
スケールとの間に摩擦低減材を介在させている。このた
め、スケールと一方の部材との間に生じる摩擦力は極め
て低くなり、測定機が使用される環境温度の変化により
スケールと一方の部材とが各々異なる伸縮量を示したと
しても、スケールと一方の部材とは相互に拘束されるこ
となく自由に伸縮する。従って、熱応力に基づく歪みが
低減され、一方の部材と他方の部材との相対移動量を検
出する際の測定精度が向上する。
【0011】
【実施例】次に、本発明に係る変位測定装置について好
適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細に説
明する。
適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細に説
明する。
【0012】図1は本実施例に係る変位測定装置が適用
された三次元測定機の斜視図、図2は図1の三次元測定
機における変位測定装置の要部を示す要部斜視図、図3
は図2の変位測定装置のスケールと、スケールが取付け
られた案内レールとの関係を示した断面図、図4はスケ
ールが取付けられた案内レールの要部正面図である。
された三次元測定機の斜視図、図2は図1の三次元測定
機における変位測定装置の要部を示す要部斜視図、図3
は図2の変位測定装置のスケールと、スケールが取付け
られた案内レールとの関係を示した断面図、図4はスケ
ールが取付けられた案内レールの要部正面図である。
【0013】図1の三次元測定機20は定盤22と、こ
の定盤22上をY軸方向に移動可能な門型フレーム24
とを備え、定盤22の一方側には案内レール26が取付
けられ、門型フレーム24の一方の脚部24Aがこの案
内レール26に沿ってY軸方向に摺動しながら移動す
る。なお、門型フレーム24の他方の脚部24Aの下面
には図示しないエアベアリングが配設され、このエアベ
アリングによって脚部24Aが定盤22上に摺動自在に
支持されている。
の定盤22上をY軸方向に移動可能な門型フレーム24
とを備え、定盤22の一方側には案内レール26が取付
けられ、門型フレーム24の一方の脚部24Aがこの案
内レール26に沿ってY軸方向に摺動しながら移動す
る。なお、門型フレーム24の他方の脚部24Aの下面
には図示しないエアベアリングが配設され、このエアベ
アリングによって脚部24Aが定盤22上に摺動自在に
支持されている。
【0014】案内レール26には図2及び図3に示すよ
うにグラナイト(はんれい岩)、ステンレス、アルミナ
セラミックス等からなるスケールベース28が設けら
れ、このスケールベース28の上部にはターカイト(商
品名)製の摩擦低減材30がY軸方向に沿ってコーティ
ングされ、または貼り付けられている。また、スケール
ベース28の下部にはスペーサ33を介して押さえばね
34がボルト31により一定間隔毎に取付けられてい
る。
うにグラナイト(はんれい岩)、ステンレス、アルミナ
セラミックス等からなるスケールベース28が設けら
れ、このスケールベース28の上部にはターカイト(商
品名)製の摩擦低減材30がY軸方向に沿ってコーティ
ングされ、または貼り付けられている。また、スケール
ベース28の下部にはスペーサ33を介して押さえばね
34がボルト31により一定間隔毎に取付けられてい
る。
【0015】押さえばね34とスケールベース28の上
部との間には、スケールベース28と線膨張係数の異な
るガラス製のスケール32が押圧、挟持されている。従
って、スケールベース28とスケール32との間には摩
擦低減材30が介在されている。尚、押さえばね34と
スケール32との間にも摩擦低減材36が介在されてい
る。
部との間には、スケールベース28と線膨張係数の異な
るガラス製のスケール32が押圧、挟持されている。従
って、スケールベース28とスケール32との間には摩
擦低減材30が介在されている。尚、押さえばね34と
スケール32との間にも摩擦低減材36が介在されてい
る。
【0016】ここで、摩擦低減材30に用いられている
ターカイト(商品名)はフッ化炭素重合体と呼ばれる高
分子材料であり、自己潤滑性を持ち摩擦係数が非常に小
さいのが特徴で、工作機械等の滑り摺動案内面に多用さ
れ機械加工性に優れている。従って、摩擦低減材30と
スケール32との間の摩擦係数は0.05以下となり、
この値は金属とガラスとの間の摩擦係数の5分の1から
10分の1程度である。これにより、スケール32と、
案内レール26のスケールベース28との間に生じる摩
擦力は極めて低くなっている。
ターカイト(商品名)はフッ化炭素重合体と呼ばれる高
分子材料であり、自己潤滑性を持ち摩擦係数が非常に小
さいのが特徴で、工作機械等の滑り摺動案内面に多用さ
れ機械加工性に優れている。従って、摩擦低減材30と
スケール32との間の摩擦係数は0.05以下となり、
この値は金属とガラスとの間の摩擦係数の5分の1から
10分の1程度である。これにより、スケール32と、
案内レール26のスケールベース28との間に生じる摩
擦力は極めて低くなっている。
【0017】更に、スケール32には、案内レール26
と門型フレーム24の脚部24Aとの相対移動方向に沿
って目盛りが設けられているとともに、この目盛りを読
み取る検出器29が脚部24に設けられている。スケー
ル32の目盛りは、一定幅の光反射帯及び光吸収帯をY
軸方向に交互に形成したもの、或いは光遮断帯及び光透
過帯をY軸方向に交互に形成したもの等、検出器29に
よって変位を検出できればどのようなものでもよい。
と門型フレーム24の脚部24Aとの相対移動方向に沿
って目盛りが設けられているとともに、この目盛りを読
み取る検出器29が脚部24に設けられている。スケー
ル32の目盛りは、一定幅の光反射帯及び光吸収帯をY
軸方向に交互に形成したもの、或いは光遮断帯及び光透
過帯をY軸方向に交互に形成したもの等、検出器29に
よって変位を検出できればどのようなものでもよい。
【0018】一方、図1に示すように門型フレーム24
のブリッジ部24BにはX軸スライダ38がX軸方向に
摺動自在に配設され、ブリッジ部24BとX軸スライダ
38との相対移動量が前記Y軸方向の場合と同様に光学
的な変位検出器によって測定される。更に、X軸スライ
ダ38にはZ軸支持部材40が設けられ、このZ軸支持
部材40にはZ軸方向に摺動しながら移動するプローブ
42が配設されている。プローブ42とZ軸支持部材4
0との相対移動量は前記門型フレーム24及びX軸スラ
イダ38の場合と同様な変位検出器によって測定され
る。
のブリッジ部24BにはX軸スライダ38がX軸方向に
摺動自在に配設され、ブリッジ部24BとX軸スライダ
38との相対移動量が前記Y軸方向の場合と同様に光学
的な変位検出器によって測定される。更に、X軸スライ
ダ38にはZ軸支持部材40が設けられ、このZ軸支持
部材40にはZ軸方向に摺動しながら移動するプローブ
42が配設されている。プローブ42とZ軸支持部材4
0との相対移動量は前記門型フレーム24及びX軸スラ
イダ38の場合と同様な変位検出器によって測定され
る。
【0019】前記の如く構成した本実施例に係る変位測
定装置の作用は以下の通りである。
定装置の作用は以下の通りである。
【0020】前述したように、本実施例の変位測定装置
におけるスケール32と、スケール32が取付けられて
いるスケールベース28とは、各々異種材料で形成さ
れ、従って環境温度が変化した場合はスケール32及び
スケールベース28は両部材の線膨張係数の違いにより
異なる伸縮量を示す。線膨張係数は、ガラス製のスケー
ル28の場合は8.0×10-6であり、アルミナセラミ
ックス製のスケールベース28の場合は4.3×10-6
である。このため、スケール32とスケールベース28
とが相互に密着している場合には両部材間の摩擦係数に
応じた摩擦力、つまり熱応力がスケール32とスケール
ベース28との間に生じることになる。
におけるスケール32と、スケール32が取付けられて
いるスケールベース28とは、各々異種材料で形成さ
れ、従って環境温度が変化した場合はスケール32及び
スケールベース28は両部材の線膨張係数の違いにより
異なる伸縮量を示す。線膨張係数は、ガラス製のスケー
ル28の場合は8.0×10-6であり、アルミナセラミ
ックス製のスケールベース28の場合は4.3×10-6
である。このため、スケール32とスケールベース28
とが相互に密着している場合には両部材間の摩擦係数に
応じた摩擦力、つまり熱応力がスケール32とスケール
ベース28との間に生じることになる。
【0021】ところが、本実施例では、スケール32と
スケールベース28との間に摩擦低減材30を介在させ
るとともに、押さえばね34とスケール32との間に摩
擦低減材36を介在させているので、スケール32と、
スケールベース28及び押さえばね34との間に生じる
摩擦力は、従来に比較して5分の1から10分の1程度
と極めて低くなっている。
スケールベース28との間に摩擦低減材30を介在させ
るとともに、押さえばね34とスケール32との間に摩
擦低減材36を介在させているので、スケール32と、
スケールベース28及び押さえばね34との間に生じる
摩擦力は、従来に比較して5分の1から10分の1程度
と極めて低くなっている。
【0022】従って、環境温度が変化した場合でもスケ
ール32とスケールベース28とは相互に拘束しあうこ
となく自由に伸縮するため、熱応力はスケール32にほ
とんど働かず、熱応力によってスケール32に生じる歪
みを極めて少なくすることができる。これにより、温度
変化に伴う測定誤差を低減することが可能となり、測定
精度の向上に寄与する。
ール32とスケールベース28とは相互に拘束しあうこ
となく自由に伸縮するため、熱応力はスケール32にほ
とんど働かず、熱応力によってスケール32に生じる歪
みを極めて少なくすることができる。これにより、温度
変化に伴う測定誤差を低減することが可能となり、測定
精度の向上に寄与する。
【0023】以上、本発明について好適な実施例をあげ
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の
改良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の
改良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
【0024】例えば本実施例では、三次元測定機に適用
した場合について説明したが、これに限らずハイトゲー
ジ(一次元測定機)、輪郭測定機や工作機械等の相対移
動する2つの部材間の変位測定に適用することも可能で
ある。また、本実施例ではスケールベース28に摩擦低
減材30としてターカイトを用いたが、例えばスケール
ベース28の表面にニッケル合金で多孔質のめっきを施
し、この多孔質層にテフロン等の摩擦低減材を含浸させ
ることによって両部材間に生じる摩擦力を低減してもよ
い。要は、低摩擦を得ることができれば、どのような手
段を用いてもよい。
した場合について説明したが、これに限らずハイトゲー
ジ(一次元測定機)、輪郭測定機や工作機械等の相対移
動する2つの部材間の変位測定に適用することも可能で
ある。また、本実施例ではスケールベース28に摩擦低
減材30としてターカイトを用いたが、例えばスケール
ベース28の表面にニッケル合金で多孔質のめっきを施
し、この多孔質層にテフロン等の摩擦低減材を含浸させ
ることによって両部材間に生じる摩擦力を低減してもよ
い。要は、低摩擦を得ることができれば、どのような手
段を用いてもよい。
【0025】更に、本実施例では案内レール26側にス
ケール28を、案内レール26に対して移動する門型フ
レーム24にスケール32の目盛りを読みとる変位検出
器29を取付けたが、これとは逆に、門型フレーム24
側にスケール28を、案内レール26側に変位検出器2
9を設けてもよい。
ケール28を、案内レール26に対して移動する門型フ
レーム24にスケール32の目盛りを読みとる変位検出
器29を取付けたが、これとは逆に、門型フレーム24
側にスケール28を、案内レール26側に変位検出器2
9を設けてもよい。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
温度変化に伴って発生する測定誤差を解消することが可
能となる。
温度変化に伴って発生する測定誤差を解消することが可
能となる。
【図1】本実施例に係る変位測定装置が適用された三次
元測定機の斜視図である。
元測定機の斜視図である。
【図2】図1の三次元測定機における変位測定装置の要
部を示す要部斜視図である。
部を示す要部斜視図である。
【図3】図2の変位測定装置のスケールと、スケールが
取付けられた案内レールとの関係を示した断面図であ
る。
取付けられた案内レールとの関係を示した断面図であ
る。
【図4】スケールが取付けられた案内レールの要部正面
図である。
図である。
【図5】従来の変位測定装置におけるスケールと、スケ
ールが取付けられた案内レールとの関係を示した断面図
である。
ールが取付けられた案内レールとの関係を示した断面図
である。
20 三次元測定機 24 門型フレーム 26 案内レール 28 スケール取付けベース 29 変位検出器(検出器) 30 36 摩擦低減材 32 スケール 34 押さえばね(弾性部材)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 外崎 雄 栃木県宇都宮市下栗町2200番地 株式会社 ミツトヨ内
Claims (1)
- 【請求項1】 相対移動する一方の部材に取付けられる
とともに、その一方の部材と異なる線膨張係数の材料で
形成され且つ相対移動する方向に沿って目盛りを有する
スケールと、前記相対移動する他方の部材に取付けられ
前記スケールの目盛りを読み取る検出器とを備え、 前記スケールは前記一方の部材に対して弾性部材によっ
て押圧されて取付けられているとともに、前記一方の部
材とスケールとの間には摩擦低減材が介在されているこ
とを特徴とする変位測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4308907A JP2582210B2 (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4308907A JP2582210B2 (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 変位測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06185950A true JPH06185950A (ja) | 1994-07-08 |
JP2582210B2 JP2582210B2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=17986715
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4308907A Expired - Fee Related JP2582210B2 (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2582210B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006201105A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定装置及びそれに用いられるプローブ |
US7765709B2 (en) | 2008-01-29 | 2010-08-03 | Mitutoyo Corporation | Measuring apparatus |
JP2014153341A (ja) * | 2013-02-14 | 2014-08-25 | Satoshi Kiyono | 座標測定機 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102331247A (zh) * | 2011-08-24 | 2012-01-25 | 青岛德力源五金制品有限公司 | 一种制动杠杆测量设备及测量方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59224501A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-12-17 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 長さ又は角度測定装置 |
JPS63135775A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | 株式会社日立製作所 | 傘状部材の脱水装置 |
-
1992
- 1992-11-18 JP JP4308907A patent/JP2582210B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59224501A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-12-17 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 長さ又は角度測定装置 |
JPS63135775A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | 株式会社日立製作所 | 傘状部材の脱水装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006201105A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定装置及びそれに用いられるプローブ |
US7765709B2 (en) | 2008-01-29 | 2010-08-03 | Mitutoyo Corporation | Measuring apparatus |
JP2014153341A (ja) * | 2013-02-14 | 2014-08-25 | Satoshi Kiyono | 座標測定機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2582210B2 (ja) | 1997-02-19 |
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