JPH06185483A - Dry mechanical booster pump - Google Patents
Dry mechanical booster pumpInfo
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- JPH06185483A JPH06185483A JP3318150A JP31815091A JPH06185483A JP H06185483 A JPH06185483 A JP H06185483A JP 3318150 A JP3318150 A JP 3318150A JP 31815091 A JP31815091 A JP 31815091A JP H06185483 A JPH06185483 A JP H06185483A
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- Japan
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- impellers
- shaft
- gear
- rotation
- impeller
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ドライメカニカルブー
スタポンプに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dry mechanical booster pump.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来知られているように、メカニカルブ
ースタポンプは、添付図面の図４及び図５に示すよう
に、まゆ型の断面をもつ二つのインペラーＡ、Ｂをケー
シングＣ内に配置し、これらのインペラー同志及び各イ
ンペラーとケーシングＣの内壁との間に僅かな隙間（0.
02〜0.04mm程度）が保たれるようにされている。またイ
ンペラーＡ、Ｂはそれらの軸端に装着されたギアーＤ、
Ｅを介して連接され、一方のインペラーの軸は継手Ｆを
介して駆動モータ（図示してない）の駆動軸に直結され
ている。各インペラーの軸はベアリングＧ、Ｈで支持さ
れ、そして各ベアリングに対してオイルシールＩ、Ｊが
設けられている。2. Description of the Related Art As is known in the art, a mechanical booster pump has two impellers A and B having a cocoon-shaped cross section arranged in a casing C as shown in FIGS. 4 and 5 of the accompanying drawings. , A small gap between each of these impellers and each impeller and the inner wall of the casing C (0.
02 ~ 0.04mm) is maintained. Further, the impellers A and B are gears D attached to their shaft ends,
The shaft of one impeller is connected via E, and the shaft of one impeller is directly connected to the drive shaft of a drive motor (not shown) via a joint F. The shaft of each impeller is supported by bearings G and H, and oil seals I and J are provided for each bearing.
【０００３】このような構成のメカニカルブースタポン
プの動作においては、駆動モータの作動によりケーシン
グＣ内の二つのインペラーＡ、ＢはギアーＤ、Ｅを介し
て互いに反対方向に同期回転され、それによりケーシン
グＣと各インペラーＡ、Ｂと間の空間に吸気口から入っ
た気体はインペラーの回転で順次排気口側へ排出され
る。また各インペラーと他の構成部分との接触がないた
め、インペラーの回転における機械的摩擦損失は非常に
少なく、全体の回転に要するエネルギは油回転ボンプ等
のような摩擦仕事の大きい真空ポンプに比べて少なくで
きるという利点がある。In the operation of the mechanical booster pump having such a structure, the two impellers A and B in the casing C are synchronously rotated in opposite directions via the gears D and E by the operation of the drive motor, whereby the casing is rotated. Gas entering the space between C and the impellers A and B from the intake port is sequentially discharged to the exhaust port side by the rotation of the impeller. In addition, since there is no contact between each impeller and other components, the mechanical friction loss during rotation of the impeller is very small, and the energy required for the entire rotation is larger than that of a vacuum pump with large friction work such as an oil rotary pump. There is an advantage that it can be reduced.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、メカニカル
ブースタポンプでは、ポンプ室内に潤滑油を使用しない
ので、油による真空中の汚染が少ないという特徴がある
が、ポンプの運転上、二つのインペラーの回転位相や各
インペラーの軸の中心を常に正確に維持する必要がある
ために、ギア、ベアリング及び軸シールに対して潤滑が
必要となる。そのためギア室に潤滑油を溜めておき、運
転時に各部への潤滑を行なうようにされている。The mechanical booster pump does not use lubricating oil in the pump chamber, and therefore has the characteristic of being less contaminated in the vacuum due to the oil. However, in operation of the pump, the rotation of the two impellers is reduced. Lubrication is required for the gears, bearings and shaft seals because the phase and shaft center of each impeller must always be maintained accurately. Therefore, lubricating oil is stored in the gear chamber to lubricate each part during operation.
【０００５】しかしながら、このような従来技術のメカ
ニカルブースタポンプにおいては、次のような問題点が
ある。 (1) インペラーに対する回転導入部の軸シールからの油
の洩れ及び大気側からケーシング側への空気の洩れ。 (2) オイルシールからポンプ室への潤滑油の洩れ。 (3) 洩れた油による後段の排気系の汚れ。However, such a conventional mechanical booster pump has the following problems. (1) Oil leakage from the shaft seal of the rotation introducing part for the impeller and air leakage from the atmosphere side to the casing side. (2) Leakage of lubricating oil from the oil seal to the pump chamber. (3) The exhaust system at the latter stage is contaminated by the leaked oil.
【０００６】そこで、本発明は、従来技術のメカニカル
ブースタポンプに伴うこれらの問題点を解決して、イン
ペラーに対する回転導入部における空気の洩れを完全に
防止できしかも潤滑油を使用せずに確実かつ安定に作動
できるドライメカニカルブースタポンプを提供すること
を目的としている。Therefore, the present invention solves these problems associated with the mechanical booster pump of the prior art, and can completely prevent air leakage at the rotation introducing portion for the impeller, and reliably and without using lubricating oil. It is intended to provide a dry mechanical booster pump that can operate stably.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のドライメカニカルブースタポンプは、ケー
シング内に二つのまゆ型インペラーをそれらの軸端に装
着されたギヤを介して連動するように設け、まゆ型イン
ペラーを駆動する駆動モータの駆動軸と一方のまゆ型イ
ンペラーの軸とにそれぞれ環状マグネットを対向させて
互いに磁気的に共動するように取付け、両環状マグネッ
ト間にはポンプ本体側を大気側から遮蔽する電気的絶縁
材料から成る密閉板部材を配置し、また各まゆ型インペ
ラーの軸端に装着されたギアの一方を金属製とし、他方
のギアを合成樹脂製としたことを特徴としている。In order to achieve the above object, the dry mechanical booster pump of the present invention has two casing type impellers interlocked with each other through gears attached to their shaft ends. , The drive shaft of the drive motor for driving the eyebrow impeller and the shaft of one of the eyebrow type impellers are attached so as to magnetically cooperate with each other, and the pump body is placed between the two ring magnets. A sealing plate member made of an electrically insulating material that shields the side from the atmosphere side is arranged, and one of the gears attached to the shaft end of each eyebrow impeller is made of metal and the other gear is made of synthetic resin. Is characterized by.
【０００８】[0008]
【作用】このように構成した本発明によるドライメカニ
カルブースタポンプでは、駆動モータの回転力は、それ
の駆動軸に取付けられた環状マグネットと一方のまゆ型
インペラーの軸に取付けられた環状マグネットとの磁気
的共動によりインペラー側へ伝達される。両環状マグネ
ット間に挿置された密閉板部材は、ポンプ室側を大気か
ら遮断すると共に、電気的絶縁材料から成っているの
で、両環状マグネット間に作用する磁力の損失は少なく
でき、この部分における発熱を少なくすることができ
る。また二つのインペラーを連動させるギアを金属製の
ギアと合成樹脂製のギアとの組合わせ構成しているの
で、潤滑油を全く必要とせずに高速回転（2800rpm 〜36
00rpm ）が可能となり、また従来ギア室からポンプ室へ
の油の洩れを防ぐために必要とされていたオイルシール
は不要となり、回転軸回りでの摩擦熱の発生は低く抑え
ことができる。またオイルシールと共にマグネットカッ
プリングの採用により回転導入部のシールも不要とな
り、シールの摩擦による動力損失は少なくなり、小さな
起動トルクでポンプを起動させることが可能となる。In the dry mechanical booster pump according to the present invention thus constructed, the rotational force of the drive motor is generated by the annular magnet attached to the drive shaft of the drive motor and the annular magnet attached to the shaft of the one eyebrow type impeller. It is transmitted to the impeller side by magnetic co-action. Since the sealing plate member inserted between both annular magnets shields the pump chamber side from the atmosphere and is made of an electrically insulating material, the loss of the magnetic force acting between both annular magnets can be reduced. It is possible to reduce the heat generation in. In addition, since the gear that links the two impellers is a combination of a metal gear and a synthetic resin gear, high-speed rotation (2800 rpm ~ 36
(00 rpm) is also possible, and the oil seal that was conventionally required to prevent oil from leaking from the gear chamber to the pump chamber is no longer required, and the generation of frictional heat around the rotating shaft can be suppressed to a low level. In addition, the use of a magnet coupling together with an oil seal eliminates the need for a seal at the rotation introducing portion, reduces power loss due to friction of the seal, and allows the pump to be started with a small starting torque.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、添付図面の図１〜図３を参照して本発
明の実施例について説明する。図１には本発明によるド
ライメカニカルブースタポンプの一実施例を示し、図示
装置は、ポンプ室１を画定し、上部と下部に吸気口２と
排気口３とを備えたケーシング４と、ホンプ室１内の互
いに平行にのびる回転軸５、６に装着されたまゆ型の断
面をもつ二つのインペラー７、８とを有している。回転
軸５、６はそれぞれ二つの無潤滑ベアリング（図１には
一方の回転軸５に対する無潤滑ベアリング９、10のみを
示す）で支持され、また各回転軸５、６の後端すなわち
図面では左側端にはそれぞれ金属製の歯研ギア11及びＭ
ＣナイロンやＰＯＨ等の合成樹脂製のギア12が装着され
ている。回転軸５の前端すなわち図面では右側端には真
鍮製の取付け部材13が装着され、この取付け部材13の外
周には鉄筒部材14を介して内側の環状マグネット15が取
付けられている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3 of the accompanying drawings. FIG. 1 shows an embodiment of a dry mechanical booster pump according to the present invention. The illustrated apparatus defines a pump chamber 1, a casing 4 having an intake port 2 and an exhaust port 3 in an upper portion and a lower portion, and a hump chamber. 1 and two impellers 7 and 8 having a cocoon-shaped cross-section mounted on rotating shafts 5 and 6 extending in parallel with each other. The rotating shafts 5 and 6 are respectively supported by two unlubricated bearings (only the unlubricated bearings 9 and 10 for one rotating shaft 5 are shown in FIG. 1), and the rear ends of the rotating shafts 5 and 6, that is, in the drawing. On the left end are metal gears 11 and M, respectively.
A gear 12 made of synthetic resin such as C nylon or POH is mounted. A brass mounting member 13 is mounted on the front end of the rotary shaft 5, that is, on the right end in the drawing, and an inner annular magnet 15 is mounted on the outer periphery of the mounting member 13 via an iron cylinder member 14.
【００１０】駆動モータ（図示してない）の駆動軸16に
は図示したように内側の環状マグネット15と磁気的に共
動する外側の環状マグネット17を支持する取付け部材18
が装着されており、内側の環状マグネット15と外側の環
状マグネット17とは互いに間隔をもって対向するように
されている。図３には内側の環状マグネット15及び外側
の環状マグネット17の磁極形態の一例を示し、この例で
は各マグネットはＮ極とＳ極とを交互に配置した８極か
ら成っている。A mounting member 18 for supporting an outer ring-shaped magnet 17 magnetically cooperating with the inner ring-shaped magnet 15 as shown in the drawing on a drive shaft 16 of a drive motor (not shown).
Are attached, and the inner ring-shaped magnet 15 and the outer ring-shaped magnet 17 face each other with a space therebetween. FIG. 3 shows an example of the magnetic pole form of the inner ring magnet 15 and the outer ring magnet 17, and in this example, each magnet has eight poles in which N poles and S poles are alternately arranged.
【００１１】また、内側の環状マグネット15と外側の環
状マグネット17との間の隙間には電気的絶縁性材料から
成る密閉部材19が設けられ、この密閉部材19は、内側の
環状マグネット15を覆い、そしてその周縁部はケーシン
グ４の前端に密封的に取付けられる前カバー20に密封的
に固定されている。従って密閉部材19はポンプ室１を大
気から遮蔽し、しかも電気的絶縁性材料で構成している
ので、内側の環状マグネット15と外側の環状マグネット
17との間に働く磁力の損失はなくなり、発熱を抑えるこ
とができる。A sealing member 19 made of an electrically insulating material is provided in the gap between the inner annular magnet 15 and the outer annular magnet 17, and the sealing member 19 covers the inner annular magnet 15. , And its peripheral portion is hermetically fixed to a front cover 20 which is hermetically attached to the front end of the casing 4. Therefore, since the sealing member 19 shields the pump chamber 1 from the atmosphere and is made of an electrically insulating material, the inner annular magnet 15 and the outer annular magnet are formed.
There is no loss of magnetic force that acts between and 17, and heat generation can be suppressed.
【００１２】さらに、ケーシング４の前壁及び後壁と各
回転軸５、６との間の空間にはインサートブッシュ21が
挿置され、各回転軸５、６とケーシング４の前壁及び後
壁との隙間を0.05mm程度にし、分子流領域に維持するよ
うにされている。それにより各回転軸の無接触回転を維
持しながらポンプ室１とギア室やマグネットカップリン
グ側との間の気体の移動を抑えることがてきる。すなわ
ち、分子流領域は隙間の寸法とその時の圧力における平
均自由工程とで決まり、隙間を分子流領域に設定してお
けば、その隙間に飛び込んできた気体分子しか通り抜け
なくなり、隙間を介しての気体の多量の流れを防止する
ことができる。Further, insert bushes 21 are inserted in the spaces between the front and rear walls of the casing 4 and the rotary shafts 5 and 6, respectively, and the rotary shafts 5 and 6 and the front and rear walls of the casing 4 are mounted. The gap between and is set to about 0.05 mm so as to maintain it in the molecular flow region. As a result, the movement of gas between the pump chamber 1 and the gear chamber or the magnet coupling side can be suppressed while maintaining the contactless rotation of each rotary shaft. That is, the molecular flow region is determined by the size of the gap and the mean free path at the pressure at that time.If the gap is set as the molecular flow region, only gas molecules that have jumped into the gap can pass through, and It is possible to prevent a large amount of gas from flowing.
【００１３】次に、このように構成した図示装置の動作
について説明する。駆動モータ（図示してない）の作動
により、駆動軸16に取付けられた外側の環状マグネット
17の回転に応じて回転軸５の前端に取付けられた内側の
環状マグネット15が相互の磁力作用によって回転され
る。回転軸５の回転は金属製ギア11及び合成樹脂製のギ
ア12を介して回転軸６に伝達され、その結果これらの回
転軸に装着された二つのインペラー７、８はポンプ室１
内で互いに反対方向に同期回転され、それによりポンプ
室１の内壁と各インペラーと間の空間に吸気口２から入
った気体をインペラーの回転で順次排気口３側へ排出す
ることができる。ポンプの運転中、二つのインペラー
７、８及びギア11、12間に何らかの負荷が掛かると、外
側の環状マグネット17の回転に対して内側の環状マグネ
ット15はスリップし、損傷を最小限にすることができ
る。また回転軸５、６と摺動するシール部がないので、
摩擦による温度上昇がなく、ポンプの動作温度を低く抑
えることがてぎる。Next, the operation of the illustrated apparatus thus constructed will be described. An outer ring magnet attached to the drive shaft 16 by actuation of a drive motor (not shown)
In response to the rotation of 17, the inner annular magnet 15 attached to the front end of the rotary shaft 5 is rotated by the mutual magnetic action. The rotation of the rotary shaft 5 is transmitted to the rotary shaft 6 via a gear 11 made of metal and a gear 12 made of synthetic resin, and as a result, the two impellers 7 and 8 mounted on these rotary shafts are connected to the pump chamber 1
The gas is introduced into the space between the inner wall of the pump chamber 1 and the respective impellers from the intake port 2 in synchronization with each other in the opposite direction, so that the gas can be sequentially discharged to the exhaust port 3 side by the rotation of the impeller. During operation of the pump, if any load is applied between the two impellers 7 and 8 and the gears 11 and 12, the inner ring magnet 15 slips against the rotation of the outer ring magnet 17 to minimize damage. You can Also, since there is no seal part that slides on the rotating shafts 5 and 6,
There is no temperature rise due to friction, and the operating temperature of the pump can be kept low.
【００１４】ところで、図示実施例では回転軸５をマグ
ネットカップリングにより駆動モータに連結している
が、代わりに回転軸６をマグネットカップリングにより
駆動モータに連結することもできる。また、内側の環状
マグネット及び外側の環状マグネットの磁極は図３に示
すような８極型のものに限定されず、８極以上または以
下の極数のものを用いることができる。回転軸の軸受と
して図示実施例では無潤滑ベアリングが使用されている
が、代わりに蒸気圧が10-8トール（20℃）以下の弗素系
グリース封入ベアリングを用いることもできる。In the illustrated embodiment, the rotary shaft 5 is connected to the drive motor by a magnetic coupling, but the rotary shaft 6 may be connected to the drive motor by a magnetic coupling instead. Further, the magnetic poles of the inner annular magnet and the outer annular magnet are not limited to the 8-pole type as shown in FIG. 3, and those having 8 or more or less poles can be used. Although a non-lubricated bearing is used as the bearing of the rotary shaft in the illustrated embodiment, a fluorine-based grease-sealed bearing having a vapor pressure of 10 −8 Torr (20 ° C.) or less can be used instead.
【００１５】[0015]
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明のドラ
イメカニカルブースタポンプにおいては、駆動モータの
駆動軸と一方のまゆ型インペラーの軸とにそれぞれ環状
マグネットを対向させて取付け、両環状マグネット間に
ポンプ本体側を大気側から遮蔽する電気的絶縁材料から
成る密閉板部材を配置しているので、ポンプ室は完全に
密閉され、気体のリークがないだけでなく、回転導入部
に軸と摺動接触するシール部材を設ける必要もなくな
る。As described above, in the dry mechanical booster pump of the present invention, the ring-shaped magnets are attached to the drive shaft of the drive motor and the shaft of one of the eyebrow type impellers so as to face each other. Since a sealing plate member made of an electrically insulating material that shields the pump body side from the atmosphere side is placed in the pump chamber, the pump chamber is completely sealed, there is no gas leakage, and the rotation introduction part slides on the shaft. It is not necessary to provide a sealing member that makes dynamic contact.
【００１６】また二つのまゆ型インペラーを互いに反対
方向に同期回転させるギアに金属製ギアと合成樹脂製ギ
アとを組合わせて用いているので、潤滑油を用いる必要
がなくなり、その結果メンテナンスが容易となる。また
従来技術のようにオイルシールは不要となり、その結
果、回転導入部に軸と摺動接触するシール部材がないこ
とと相俟って回転軸の回りにおける摩擦熱の発生が大幅
に低減でき、ポンプの動作温度を低く抑えることができ
る（実際の測定では従来型のものでは動作時に温度上昇
が＋40℃であったのが＋10℃程度となった）。このた
め、各部品の熱膨張を考えて決めていた部品間隔を小さ
くできポンプとしての到達圧力や排気時間などの性能が
良くなったのと同時に、シールの摩擦による動力損失も
なくなるのでポンプの起動に必要なトルクは下がり、駆
動モータの出力を約1/3 にすることができ、ポンプの運
転の大幅な省エネルギ化が期待できる。そして動作温度
の上昇を低く抑えることができることにより、従来各構
成部品の熱膨脹を考慮して決められていた各部品間の隙
間を小さくすることができるので、ポンプとしての性能
すなわち排気時間や到達圧力を改善することができる。Further, since the metal gear and the synthetic resin gear are used in combination as the gears for synchronously rotating the two eyebrow type impellers in the opposite directions, it is not necessary to use lubricating oil, and as a result, maintenance is easy. Becomes Further, unlike the prior art, an oil seal is not required, and as a result, in combination with the fact that there is no seal member in sliding contact with the shaft at the rotation introduction part, the generation of frictional heat around the rotation shaft can be greatly reduced, The operating temperature of the pump can be kept low (actual measurement showed that the conventional type had a temperature rise of + 40 ° C during operation, but increased to about + 10 ° C). For this reason, the intervals between the parts, which were determined in consideration of the thermal expansion of each part, can be reduced, and the performance such as the ultimate pressure and exhaust time of the pump has improved, and at the same time, the power loss due to the friction of the seals has also disappeared The torque required for the drive is reduced, and the output of the drive motor can be reduced to about 1/3, which can be expected to greatly reduce the energy consumption of the pump. Since the rise in operating temperature can be suppressed to a low level, the gap between each component, which was conventionally determined by taking into account the thermal expansion of each component, can be reduced. Can be improved.
【図１】 本発明によるドライメカニカルブースタポン
プの一実施例を概略的に示す縦断面図。FIG. 1 is a vertical sectional view schematically showing an embodiment of a dry mechanical booster pump according to the present invention.
【図２】 図１に示すポンプの要部を示す横断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a main part of the pump shown in FIG.
【図３】 図１の装置に用いられるマグネットカップリ
ングを構成するマグネットの一例を示す拡大平面図。3 is an enlarged plan view showing an example of a magnet forming a magnet coupling used in the apparatus of FIG.
【図４】 従来技術のメカニカルブースタポンプの一例
を示す概略縦断面図。FIG. 4 is a schematic vertical sectional view showing an example of a conventional mechanical booster pump.
【図５】 図４の装置のインペラー部分を示す概略図。5 is a schematic diagram showing the impeller portion of the apparatus of FIG.
１：ポンプ室 ２：吸気口 ３：排気口 ４：ケーシング ５：回転軸 ６：回転軸 ７：インペラー ８：インペラー ９：無潤滑ベアリング 10：無潤滑ベアリング 11：金属製の歯研ギア 12：合成樹脂製のギア 13：取付け部材 14：鉄筒部材 15：内側の環状マグネット 16：駆動軸 17：内側の環状マグネット 18：取付け部材 19：密閉部材 20：前カバー 21：インサートブッシュ 1: Pump chamber 2: Intake port 3: Exhaust port 4: Casing 5: Rotating shaft 6: Rotating shaft 7: Impeller 8: Impeller 9: Non-lubricated bearing 10: Non-lubricated bearing 11: Metal tooth grinding gear 12: Synthetic Resin gear 13: Mounting member 14: Steel cylinder member 15: Inner ring magnet 16: Drive shaft 17: Inner ring magnet 18: Mounting member 19: Sealing member 20: Front cover 21: Insert bush
Claims (1)
インペラーをそれらの軸端に装着されたギヤを介して駆
動モータによって二つのまゆ型インペラー間及各まゆ型
インペラーとケーシング内壁との間に僅かな隙間を保ち
互いに反対方向に同期回転させるようにしたドライメカ
ニカルブースタポンプにおいて、駆動モータの駆動軸と
一方のまゆ型インペラーの軸とにそれぞれ環状マグネッ
トを対向させて取付け、両環状マグネット間にポンプ本
体側を大気側から遮蔽する電気的絶縁材料から成る密閉
板部材を配置し、また各まゆ型インペラーの軸端に装着
されたギアの一方を金属製とし、他方のギアを合成樹脂
製としたことを特徴とするドライメカニカルブースタポ
ンプ。1. Two eyebrow impellers provided in a casing are mounted between two eyebrow impellers by a drive motor through gears attached to their shaft ends, and between each eyebrow impeller and an inner wall of the casing. In a dry mechanical booster pump that has a slight gap and is rotated in the opposite direction synchronously, attach an annular magnet to the drive shaft of the drive motor and the shaft of one of the eyebrow impellers so that they face each other. A sealing plate member made of an electrically insulating material for shielding the pump body side from the atmosphere side is arranged, and one gear mounted on the shaft end of each eyebrow impeller is made of metal and the other gear is made of synthetic resin. A dry mechanical booster pump that is characterized.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3318150A JPH06185483A (en) | 1991-12-02 | 1991-12-02 | Dry mechanical booster pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3318150A JPH06185483A (en) | 1991-12-02 | 1991-12-02 | Dry mechanical booster pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06185483A true JPH06185483A (en) | 1994-07-05 |
Family
ID=18096050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3318150A Pending JPH06185483A (en) | 1991-12-02 | 1991-12-02 | Dry mechanical booster pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06185483A (en) |
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