JPH0618439A - Inspection unit - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To discriminate between a foreign substance and a pinhole or the like in an easy manner. CONSTITUTION:A light out of an inspected article A to be inspected is received by a CCD sensor 8, feeding it to a detecting means 41. A signal out of a pinhole 35 of the article A shows light and shade of its level due to refraction of light or the like, namely, is deflected up and down. In a signal out of a foreign substance 36 of refuse and such like plenty of opaque things, the signal level will in no case be deflected light and shade. Accordingly, this detecting means 41 discriminates between the pinhole 35 and the foreign substance 36 according to a difference in this signal characteristic. Therefore, the pinhole 35 and the foreign substance 36 are discriminable at a high probability according to a difference in each characteristic of these signals out of the pinhole 35 and the foreign substance 36.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はＣＣＤリニアイメージ
センサーを用いて、光ディスクの傷、汚れ、異物等の欠
陥を光学的、電気的に検出する検査装置に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection device for optically and electrically detecting defects such as scratches, stains and foreign substances on an optical disk by using a CCD linear image sensor.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、ＣＣＤセンサーを用いてガラス
板、コンパクトディスク等の被検査物からの反射光また
は透過光により異物、ピンホール等を検出する装置が提
供されている。2. Description of the Related Art Conventionally, there has been provided an apparatus for detecting foreign matters, pinholes and the like by using reflected light or transmitted light from an object to be inspected such as a glass plate and a compact disk using a CCD sensor.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながらかかる従
来例においては、異物やピンホール等が被検査物に存在
している場合に、異物やピンホール等を検出できても、
それらは異常を発見ないし検出するだけであり、異物と
ピンホール等との判別が容易にできないという問題があ
った。However, in such a conventional example, even if the foreign matter, the pinhole, etc. can be detected when the foreign matter, the pinhole, etc. are present in the object to be inspected,
There is a problem that they only detect or detect an abnormality and cannot easily distinguish a foreign substance from a pinhole.

【０００４】この発明は上記従来の欠点を解決するため
になされたものであって、その目的は、異物とピンホー
ル等とを容易に判別できる検査装置を提供することにあ
る。The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional drawbacks, and an object of the present invention is to provide an inspection apparatus capable of easily discriminating a foreign substance from a pinhole or the like.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】そこで請求項１の検査装
置は、被検査物Ａからの透過光あるいは反射光を受光す
るセンサー８と、このセンサー８からの出力信号により
被検査物Ａの傷、ピンホール３５、異物３６等の異常を
検出する検査装置において、光を透過させない不透明な
異物３６と光を透過させるピンホール３５との検出信号
の特性の違いに応じて異物３６とピンホール３５とを判
別する検出手段４１を設けたことを特徴としている。In view of the above, an inspection apparatus according to a first aspect of the present invention uses a sensor 8 for receiving transmitted light or reflected light from the inspection object A, and a scratch on the inspection object A based on an output signal from the sensor 8. In the inspection device for detecting anomalies such as the pinhole 35 and the foreign matter 36, the foreign matter 36 and the pinhole 35 are detected in accordance with the difference in detection signal characteristics between the opaque foreign matter 36 that does not transmit light and the pinhole 35 that transmits light. It is characterized in that a detection means 41 for discriminating between is provided.

【０００６】また請求項２の検査装置は、被検査物Ａか
らの透過光あるいは反射光を受光するセンサー８と、こ
のセンサー８からの出力信号により被検査物Ａの傷等の
異常を検出する検査装置において、液晶用のカラーフィ
ルタを構成するガラス板３７の一面に塗布した塗料の微
小凹凸３９による検出信号の特性により、該微小凹凸３
９を特定して検出する検出手段４１を設けたことを特徴
としている。The inspection apparatus according to a second aspect of the invention detects a defect such as a scratch on the inspection object A based on a sensor 8 which receives transmitted light or reflected light from the inspection object A and an output signal from the sensor 8. In the inspection device, the minute unevenness 3 is detected by the characteristics of the detection signal by the minute unevenness 39 of the coating material applied to one surface of the glass plate 37 that constitutes the color filter for liquid crystal.
It is characterized in that a detecting means 41 for specifying and detecting 9 is provided.

【０００７】[0007]

【作用】請求項１の検査装置においては、図１に示すよ
うに、被検査物Ａからの光をセンサー８で受光し、検出
手段４１に送っている。被検査物Ａのピンホール３５か
らの信号は、ピンホール周囲における光の屈折等に起因
して信号レベルが明暗、つまり上下に振れる。一方、不
透明な物が多いゴミ等の異物３６からの信号が信号レベ
ルが明暗に振れることがないために、このピンホール３
５と異物３６からの信号の特性の違いに応じてピンホー
ル３５と異物３６とを高い確率で判別することができ
る。In the inspection apparatus of the first aspect, as shown in FIG. 1, the light from the inspection object A is received by the sensor 8 and sent to the detection means 41. The signal level of the signal from the pinhole 35 of the inspection object A is bright or dark, that is, fluctuates up and down due to refraction of light around the pinhole. On the other hand, the signal from the foreign matter 36 such as dust, which is mostly opaque, does not fluctuate in signal level.
5 and the foreign substance 36, the pinhole 35 and the foreign substance 36 can be discriminated from each other with a high probability according to the difference in the characteristics of the signals.

【０００８】また請求項２の検査装置においては、液晶
用のカラーフィルタのガラス板３７の一面に塗布した塗
料の微小な突起（サブミクロン）は、光学的にはレンズ
のように作用するため、これによる散乱光は明暗が交互
になる。つまり微小突起のような微小凹凸３９からの信
号は、信号レベルが上下に振れることで、この上下に振
れる散乱光量の変化から、微小突起、つまり微小凹凸３
９を特定できて微小凹凸３９を検出することができる。Further, in the inspection apparatus of the second aspect, since the minute projections (submicron) of the coating material applied to one surface of the glass plate 37 of the color filter for liquid crystal optically act like a lens, The scattered light due to this alternates between bright and dark. In other words, the signal from the minute projections and depressions 39 such as the minute projections fluctuates in the vertical direction, and the change in the amount of scattered light that fluctuates up and down causes the minute projections, that is, the minute projections and depressions 3.
9 can be specified, and the minute irregularities 39 can be detected.

【０００９】[0009]

【実施例】次にこの発明の検査装置の具体的な実施例に
ついて、図面を参照しつつ詳細に説明する。まず本発明
の表面検査装置の全体の概略構成及び信号処理の原理に
ついて図３〜図５より説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, specific embodiments of the inspection apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, the overall schematic configuration of the surface inspection apparatus of the present invention and the principle of signal processing will be described with reference to FIGS.

【００１０】図３において、Ａは被検査物であり、この
被検査物Ａは、例えばコンパクトディスクである。この
被検査物Ａは、例えばステップモータから成るモータ１
により回転駆動され、該モータ１はモータ駆動部２によ
り回転制御されるようになっている。本発明は上記被検
査物Ａの表面に光を当てて、その反射光からディスク表
面の傷、汚れ、異物、ピンホール等の欠陥を光学的、電
気的に検出するものである。ランプ３からの光は投光用
光学系４を介して反射ミラー５により全反射して被検査
物Ａの表面に投光している。そして被検査物Ａの表面で
反射した光は反射ミラー６で全反射し、受光用光学系７
を介してＣＣＤセンサー８にて受光される。ここで上記
ランプ３としては、例えばタングステンハロゲンランプ
が用いられ、光学系４、７には、例えばコンデンサレン
ズ系やコリメータレンズ系が用いられる。そしてＣＣＤ
センサー８には、高速駆動タイプのＣＣＤリニアイメー
ジセンサーを用いている。In FIG. 3, A is an inspection object, and this inspection object A is, for example, a compact disc. The inspection object A is a motor 1 including, for example, a step motor.
The motor 1 is rotationally controlled by the motor drive unit 2. In the present invention, light is applied to the surface of the object A to be inspected, and defects such as scratches, dirt, foreign matter, and pinholes on the disk surface are optically and electrically detected from the reflected light. The light from the lamp 3 is totally reflected by the reflection mirror 5 via the light projecting optical system 4 and projected onto the surface of the inspection object A. Then, the light reflected on the surface of the inspection object A is totally reflected by the reflection mirror 6, and the light receiving optical system 7
The light is received by the CCD sensor 8 via. Here, for example, a tungsten halogen lamp is used as the lamp 3 and a condenser lens system or a collimator lens system is used for the optical systems 4 and 7. And CCD
A high-speed drive type CCD linear image sensor is used as the sensor 8.

【００１１】上記ＣＣＤセンサー８の出力はＣＣＤドラ
イバ９により信号増幅されて、次段のＡ／Ｄコンバータ
１０及びローパスフィルタ（ＬＰＦ）１３に入力されて
いる。ＣＣＤドライバ９の出力信号は、異物やピンホー
ル等を検出した場合には、基準レベルに対して信号が上
下に変動する。この上下に変動する信号を検出するのに
スレッショルドレベルを用いて検出するが、検出信号自
体が変動するため、上記スレッショルドレベルを絶対的
な一定値とした場合、誤検出するおそれがあるため、上
記スレッショルドレベルもＣＣＤセンサー８からの検出
信号の変動に応して変動させるようにしている。The output of the CCD sensor 8 is signal-amplified by the CCD driver 9 and input to the A / D converter 10 and the low-pass filter (LPF) 13 in the next stage. The output signal of the CCD driver 9 fluctuates up and down with respect to the reference level when a foreign substance or a pinhole is detected. The threshold level is used to detect the signal that fluctuates up and down.However, since the detection signal itself fluctuates, if the threshold level is set to an absolute constant value, there is a risk of erroneous detection. The threshold level is also changed according to the change of the detection signal from the CCD sensor 8.

【００１２】上記変動するスレッショルドレベルを生成
するのにローパスフィルタ１３を用いている。つまりＣ
ＣＤセンサー８の出力は、ピンホールや異物を検出した
場合には上下に突出するパルス状の信号を含むので、こ
の急峻な変動を抑えるためにローパスフィルタ１３を用
いて滑らかに変化するスレッショルドレベルを生成して
いる。A low-pass filter 13 is used to generate the varying threshold level. That is C
Since the output of the CD sensor 8 includes a pulse-like signal that projects vertically when a pinhole or a foreign substance is detected, a low-pass filter 13 is used to control the threshold level that smoothly changes in order to suppress this sharp fluctuation. Is generating.

【００１３】そしてスレッショルドレベルを生成すべく
ローパスフィルタ１３を用いることにより、スレッショ
ルドレベルが時間的に遅れることになる。したがってＣ
ＣＤセンサー８からの出力信号と、この出力信号と比較
するスレッショルドレベルとが対応できなくなる。By using the low-pass filter 13 to generate the threshold level, the threshold level will be delayed in time. Therefore C
The output signal from the CD sensor 8 cannot correspond to the threshold level compared with this output signal.

【００１４】そこでＡ／Ｄコンバータ１０の次段に遅延
回路（デジタル・ディレイ・ライン）１１を設けて、Ｃ
ＣＤセンサー８の出力信号とスレッショルドレベルとの
時間遅れをなくして、両者を正確に対応させている。ま
た上記遅延回路１１の出力のデジタル信号をＤ／Ａコン
バータ１２にてアナログ信号に変換し、Ｄ／Ａコンバー
タ１２の出力信号とローパスフィルタ１３からの信号を
信号処理回路１４に送っている。なお上記各回路１０〜
１４で制御部３１を構成している。Therefore, a delay circuit (digital delay line) 11 is provided in the next stage of the A / D converter 10, and C
By eliminating the time delay between the output signal of the CD sensor 8 and the threshold level, the two are accurately corresponded. The digital signal output from the delay circuit 11 is converted into an analog signal by the D / A converter 12, and the output signal of the D / A converter 12 and the signal from the low pass filter 13 are sent to the signal processing circuit 14. Each of the above circuits 10
The control unit 31 is constituted by 14.

【００１５】マイクロコンピュータ等で構成される信号
処理回路１４は図４に示すような構成となっており、上
記スレッショルドレベルを所定の値のレベルに設定する
レベル設定部１５と、レベル設定部１５により設定され
たスレッショルドレベルとＣＣＤセンサー８からの出力
信号とを比較するコンパレータ１６〜１９と、これらコ
ンパレータ１６〜１９の出力を得て被検査物Ａの傷、ピ
ンホール、異物等に対応した２値化パルスを発生させる
判定部２０と、判定部２０の判定結果や被検査物の傷や
ピンホール等の位置を記憶しておくメモリ２１と、パソ
コン２３との間のデータの入出力を行う入出力インター
フェイス（Ｉ／Ｏ）２２等で構成されている。The signal processing circuit 14 composed of a microcomputer or the like has a structure as shown in FIG. 4, and comprises a level setting section 15 for setting the threshold level to a predetermined value level and a level setting section 15. Comparing the set threshold level with the output signal from the CCD sensor 8, and the comparators 16 to 19 and the binary values corresponding to scratches, pinholes, foreign matters, etc. of the inspection object A by obtaining the outputs of these comparators 16 to 19. Input / output for inputting / outputting data to / from the personal computer 23; It is composed of an output interface (I / O) 22 and the like.

【００１６】上記判定部２０の判定結果の２値化パルス
列データはメモリ２１に格納されると共に、逐次パソコ
ン２３で読み出しながらデータの演算処理を行い、カラ
ーＣＲＴ２４により上記判定結果とほぼ同時に欠陥部位
のマッピング表示を行って欠陥のイメージを瞬時に知る
ことができるようにしている。またプリンタ２６により
上記判定結果等を出力可能なようにしている。２５はキ
ーボードである。なお図３のは、図４のと対応
している。The binarized pulse train data of the judgment result of the judgment section 20 is stored in the memory 21, and the data is arithmetically processed while being sequentially read by the personal computer 23, and the color CRT 24 almost simultaneously detects the defective portion of the defective part. Mapping images are displayed so that the image of the defect can be known instantly. Further, the printer 26 can output the above determination result and the like. 25 is a keyboard. 3 corresponds to that in FIG.

【００１７】次に図３、図４及び図５に基づいて傷、ピ
ンホール、異物等の欠陥を検出する２値化パルスの発生
の信号処理の原理について説明する。まず光学系にてＣ
ＣＤセンサー８上に像が結ばれると、ＣＣＤドライバ９
内の処理によりビデオデータが出力される。このビデオ
データを基に制御部３１にてコンピュータ処理できるレ
ベルまでリアルタイムで信号処理を行う。このビデオデ
ータを取り込んでから２値化パルス（傷２値化パルス）
発生までの原理を以下に説明する。Next, the principle of signal processing for generating a binarized pulse for detecting defects such as scratches, pinholes, and foreign substances will be described with reference to FIGS. 3, 4, and 5. First, in the optical system C
When an image is formed on the CD sensor 8, the CCD driver 9
Video data is output by the internal processing. Based on this video data, signal processing is performed in real time to a level at which the controller 31 can perform computer processing. Binary pulse (scratch binary pulse) after capturing this video data
The principle up to the occurrence will be described below.

【００１８】なお具体的な例として、被検査物Ａとして
オーディオコンパクトディスクをモデルとした場合につ
いて説明する。図５（ａ）のＳＨパルス（源信号）は、
ＣＣＤセンサー８の１ライン分のスキャンタイミングを
示す信号であり、制御部３１の入力端での波形である。As a concrete example, a case where an audio compact disc is modeled as the inspection object A will be described. The SH pulse (source signal) in FIG.
It is a signal indicating the scan timing for one line of the CCD sensor 8 and is a waveform at the input end of the control unit 31.

【００１９】図５（ｂ）に示すＳＨパルス（補正後）
は、各種の２値化パルス（傷２値化パルス）を取出す過
程でいろいろな波形処理を行う際に、処理するたびにど
うしても波形が遅延するため、最も遅延する遅延時間Ｔ
１相当分をシフトレジスタにて遅延させ、２値化パルス
位置との関係を補正したＳＨパルスである。SH pulse shown in FIG. 5B (after correction)
When performing various waveform processing in the process of extracting various binary pulses (scratch binary pulses), the waveform is inevitably delayed each time it is processed.
The SH pulse is obtained by delaying one equivalent by the shift register and correcting the relationship with the binarized pulse position.

【００２０】図５（ｃ）はＣＣＤドライバ９より出力さ
れるビデオ生波形を示し、同図（ａ）と同様に制御部３
１の入力端での波形である。図５（ｄ）はサンプリング
区間パルスを示し、ビデオ波形のバックグラウンドレベ
ルに追従させるために、図５（ｃ）のビテオ生波形をサ
ンプリングする場合に、このサンプリングする区間を決
めるパルスである。FIG. 5 (c) shows a raw video waveform output from the CCD driver 9, and the control unit 3 is similar to FIG. 5 (a).
It is a waveform at the input end of 1. FIG. 5D shows a sampling section pulse, which is a pulse for determining the sampling section when the video raw waveform of FIG. 5C is sampled in order to follow the background level of the video waveform.

【００２１】また図５（ｅ）はサンプリングビデオ波形
であり、各種のスレッショルド波形を生成する上で基本
となる波形である。そして図５（ｄ）に示すサンプリン
グ区間パルスの出ていない区間は、ホールドレベル区間
として前回のスキャンのサンプリングテイル位置でサン
プリングしたレベルが次のスキャンのサンプリングヘッ
ド位置までホールドされるようになっている。Further, FIG. 5 (e) is a sampling video waveform, which is a basic waveform for generating various threshold waveforms. In the section where the sampling section pulse is not output as shown in FIG. 5D, the level sampled at the sampling tail position of the previous scan is held as the hold level section until the sampling head position of the next scan. .

【００２２】ここで本検査装置は、被検査物Ａの傷やピ
ンホール等の種類に応じて検査方法を３つのモードを有
しており、その検査結果に対応した２値化パルスを発生
する上で３種類のモード（Ａモード、Ｋモード、Ｄモー
ド）に分けて信号処理を行っている。なおこの３種類の
モードは各モード別に検査できると共に、各モード同時
に検査を行うことができるようにもなっている。Here, the present inspection apparatus has three modes of the inspection method according to the type of the object A to be inspected, such as scratches and pinholes, and generates a binarized pulse corresponding to the inspection result. The signal processing is performed in the above three modes (A mode, K mode, D mode). The three types of modes can be inspected separately for each mode and can be inspected at the same time for each mode.

【００２３】図５（ｆ）に示す波形は、Ａ・Ｋモード波
形であり、Ａモード２値化パルス及びＫモード２値化パ
ルスを生成する際に、コンパレータに入力される検査対
象となる波形である。そして上記（ｂ）の場合と同様
に、最も遅延するスレッショルド波形の遅延時間Ｔ１相
当分をデジタルディレイライン（遅延回路１１）にて遅
延させ、２値化パルス位置との関係を補正したビデオ波
形である。The waveform shown in FIG. 5 (f) is an A / K mode waveform and is a waveform to be inspected which is input to the comparator when the A mode binarization pulse and the K mode binarization pulse are generated. Is. Then, as in the case of (b) above, a delay time T1 corresponding to the most delayed threshold waveform is delayed by the digital delay line (delay circuit 11), and the video waveform is corrected in relation to the binarized pulse position. is there.

【００２４】図５（ｇ）はＫモードスレッショルド波形
であり、Ｋモード２値化パルスを生成する際に、コンパ
レータ１６に入力されるスレッショルドレベル波形であ
る。ここでこのＫモードスレッショルド波形は、Ａ・Ｋ
モードビデオ波形のバックグラウンドレベルに対して１
００％以上２００％未満の範囲で使用している。このＫ
モードスレッショルド波形は、信号処理回路１４のレベ
ル設定部１５により生成される。そしてコンパレータ１
６で、Ａ・Ｋモードビデオ波形とＫモードスレッショル
ド波形とが比較されて、上述のＫモード２値化パルスを
発生するようになっている。FIG. 5G shows a K mode threshold waveform, which is a threshold level waveform input to the comparator 16 when the K mode binarizing pulse is generated. Here, this K-mode threshold waveform is AK
1 for background level of mode video waveform
It is used in the range of 00% or more and less than 200%. This K
The mode threshold waveform is generated by the level setting unit 15 of the signal processing circuit 14. And comparator 1
At 6, the AK mode video waveform and the K mode threshold waveform are compared to generate the K mode binarization pulse described above.

【００２５】また図５（ｈ）はＡモードスレッショルド
波形を示しており、Ａモード２値化パルスを生成する際
に、コンパレータ１７に入力されるスレッショルドレベ
ル波形である。またこのＡモードスレッショルドレベル
は、Ａ・Ｋモードビデオ波形のバックグラウンドレベル
に対して１００％以下で使用する。このＡモードスレッ
ショルド波形はレベル設定部１５で生成され、コンパレ
ータ１７てＡ・Ｋモードビデオ波形とＡモードスレッシ
ョルド波形とが比較されて、上述のＡモード２値化パル
スを発生するようになっている。FIG. 5 (h) shows an A-mode threshold waveform, which is a threshold level waveform input to the comparator 17 when the A-mode binarizing pulse is generated. Further, the A mode threshold level is used at 100% or less with respect to the background level of the A / K mode video waveform. The A-mode threshold waveform is generated by the level setting unit 15, and the comparator 17 compares the A / K-mode video waveform with the A-mode threshold waveform to generate the A-mode binarization pulse. .

【００２６】図５（ｉ）はＫモード２値化パルスを示
し、Ｋモードスレッショルドレベルに対してＡ・Ｋビデ
オ波形レベルが高くなったときにＨレベルとなるパルス
である。被検査物Ａの表面に傷などにより反射率が高い
部分ではこれが検出されて、Ｋモード２値化パルスが発
生する。なおコンパクトディスクの内外周の鏡面部のよ
うに、反射率の高い部分はＫモードでは傷と見なすた
め、これを防ぐためにＫモードのみサンプリング区間以
外の区間を強制的にマスク（ハーどウエア強制的マス
ク）し、傷検査対象範囲より除外している。FIG. 5 (i) shows a K mode binarizing pulse, which is a pulse which becomes H level when the A.K video waveform level becomes higher than the K mode threshold level. This is detected in the portion of the surface of the inspection object A where the reflectance is high due to scratches or the like, and a K mode binarizing pulse is generated. It should be noted that, in the K mode, a portion having a high reflectance, such as a mirror surface portion on the inner and outer peripheries of the compact disc, is regarded as a scratch. Therefore, in order to prevent this, only the K mode is forcibly masked in a section other than the sampling section (hardware wear compulsory). Mask) and excluded from the scope of scratch inspection.

【００２７】図５（ｊ）はＡモード２値化パルスを示
し、Ａモードスレッショルドレベルに対してＡ・Ｋビデ
オ波形レベルが低くなったときにＨレベルとなるパルス
である。被検査物Ａにピンホールが存在する場合には光
が反射しないので、このブロック２でＡ・Ｋビデオ波形
レベルが低くなるため、Ａモード２値化パルスが発生す
る。FIG. 5 (j) shows an A mode binarization pulse, which is a pulse that becomes H level when the A.K video waveform level becomes lower than the A mode threshold level. When the inspection object A has a pinhole, the light is not reflected, so that the A / K video waveform level becomes low in this block 2, so that the A mode binarization pulse is generated.

【００２８】ここでＤモードの２値化パルスを取り出す
際に、スレッショルド波形をホールドさせるが、ホール
ドパルスを発生させるため、Ｄモードよりも先行させた
Ｄ’モードというモードを設けている。したがって図５
（ｋ）に示すＤ’モードビデオ波形は、ホールドパルス
を発生させるためにのみ使用されるものである。Here, when extracting the binarized pulse of the D mode, the threshold waveform is held, but in order to generate the hold pulse, a mode called D'mode which precedes the D mode is provided. Therefore, FIG.
The D'mode video waveform shown in (k) is used only to generate a hold pulse.

【００２９】また図５（１）に示すＤ’モードスレッシ
ョルド波形は、上記（ｋ）と同様に、ホールドパルスを
発生させるために使用している。The D'mode threshold waveform shown in FIG. 5A is used to generate a hold pulse, as in the case of (k) above.

【００３０】図５（ｍ）に示すＤ’モード２値化パルス
（ホールドパルス）は、Ｄ’モードスレッショルドレベ
ルに対して、Ｄ’モードビデオ波形レベルが低くなった
ときにＨレベルとなるパルスである。この場合Ｄモード
スレッショルド波形を一時的にホールド状態にする。こ
のＤ’モードスレッショルドレベルはレベル設定部１５
で生成され、コンパレータ１８に入力されて比較され、
Ｄ’モードビデオ波形よりＤ’モードスレッショルドレ
ベルの方が高い場合に、Ｄ’モード２値化パルスを発生
する。The D'mode binarization pulse (hold pulse) shown in FIG. 5 (m) is a pulse which becomes H level when the D'mode video waveform level becomes lower than the D'mode threshold level. is there. In this case, the D mode threshold waveform is temporarily held. This D'mode threshold level is set by the level setting unit 15
Is generated in, is input to the comparator 18, and is compared,
A D'mode binarization pulse is generated when the D'mode threshold level is higher than the D'mode video waveform.

【００３１】図５（ｎ）に示すＤモードビデオ波形のＤ
モードとは、Ａモードでは検出が困難なビデオ波形の落
ち込みが浅くて広い傷、例えば通称シルバーなどのよう
な傷を検出するためのモードである。この浅くて広い傷
の成分のみを取出すために、図５（ｆ）のＡ・Ｋモード
ビデオ波形に対して、ローパスフィルタ３２（図４）を
通した波形をビデオ波形としている。D of the D-mode video waveform shown in FIG.
The mode is a mode for detecting a wide scratch having a shallow drop in the video waveform, which is difficult to detect in the A mode, for example, a scratch commonly called silver. In order to extract only this shallow and wide flaw component, the waveform that has passed through the low-pass filter 32 (FIG. 4) is used as the video waveform for the A / K mode video waveform of FIG. 5 (f).

【００３２】このローパスフィルタ３２を通したＤモー
ドビデオ波形とレベル設定部１５で形成したＤモードス
レッショルド波形とがコンパレータ１９で比較され、Ｄ
モードスレッショルド波形の方がＤモードビデオ波形よ
り高い場合に、図５（ｐ）に示すＤモード２値化パルス
を発生する。The D-mode video waveform passed through the low pass filter 32 and the D-mode threshold waveform formed by the level setting section 15 are compared by the comparator 19 and D
When the mode threshold waveform is higher than the D mode video waveform, the D mode binarizing pulse shown in FIG. 5 (p) is generated.

【００３３】また図５（ｏ）はＤモードスレッショルド
波形を示し、Ｄモードビデオ波形の浅くて広い落ち込み
にスレッショルドを掛けるために、ビデオ波形よりも位
相を遅延させたスレッショルド波形を使用している。他
のスレッショルド波形と異なる点は、一旦ビデオ波形の
落ち込みがスレッショルドレベルより低くなったとき
に、上記のＤ’モードのホールドパルスによりスレッシ
ョルド波形レベルのビデオ波形の追従動作を一時的に中
止し（ホールド）、水平なレベルに維持させる（図５
（ｎ）（ｏ）参照）。そしてビデオ波形の落ち込みが終
わり、スレッショルドレベルより高くなると、次に説明
するホールド解徐パルスにより再びスレッショルドレベ
ルはビデオ波形に追従する。なおＤモードスレッショル
ド波形は、Ｄモードビデオ波形のバックグラウンドレベ
ルに対して１００％以下で使用する。Further, FIG. 5 (o) shows a D-mode threshold waveform, and in order to threshold the shallow and wide drop of the D-mode video waveform, a threshold waveform having a phase delayed from that of the video waveform is used. The point different from other threshold waveforms is that once the drop of the video waveform becomes lower than the threshold level, the D'mode hold pulse temporarily stops the tracking operation of the video waveform of the threshold waveform level (hold). ), Maintain a horizontal level (Fig. 5
(See (n) and (o)). Then, when the drop of the video waveform ends and becomes higher than the threshold level, the threshold level again follows the video waveform by the hold release pulse described below. The D-mode threshold waveform is used at 100% or less of the background level of the D-mode video waveform.

【００３４】図５（ｐ）はＤモード２値化パルス（ホー
ルド解除パルス）を示し、Ｄモードスレッショルドレベ
ルに対して、Ｄモードビデオ波形レベルが低くなったと
きにＨレベルとなるパルスである。またパルスの立ち下
がりが、上記のスレッショルドレベルのホールド解除の
役目をしている。FIG. 5 (p) shows a D mode binarization pulse (hold release pulse), which is a pulse that becomes H level when the D mode video waveform level becomes lower than the D mode threshold level. Further, the falling edge of the pulse plays a role in releasing the hold of the threshold level.

【００３５】ここで図５に示したソフトウエア強制的マ
スクについて説明する。ＣＣＤセンサー８のビデオ出力
には、ダミー画素といってＳＨパルスの前後にビデオ波
形の全く現れない部分及び現れても信頼できない部分が
必ず存在する。このダミー画素の数はＣＣＤの形式によ
り異なるため、ソフトウエアにより自動的にＣＣＤ型式
を読み取り、型式に応じたダミー画素の区間を強制的に
マスクを掛けている。なおこのマスクエリアは、Ｋモー
ド、Ａモード、Ｄモードに共通している。The software compulsory mask shown in FIG. 5 will now be described. In the video output of the CCD sensor 8, there are always dummy pixels before and after the SH pulse, where the video waveform does not appear at all and where it does not appear reliable. Since the number of dummy pixels differs depending on the CCD format, the CCD format is automatically read by software, and the dummy pixel section corresponding to the format is forcibly masked. This mask area is common to the K mode, A mode, and D mode.

【００３６】またユーザーマスクは、以下のマスクをい
う。すなわちディスクの検査対象範囲とする内径寸法及
び外径寸法を、パソコンのキーボードにより入力するこ
とにより、検査対象外のエリアが自動的にマスクされる
ようになっており、これをユーザーマスクという。また
このマスクエリアは、上記と同様にＫモード、Ａモー
ド、Ｄモードに共通している。The user mask is the following mask. That is, the area outside the inspection target is automatically masked by inputting the inner diameter dimension and the outer diameter dimension, which are the inspection target range of the disk, with the keyboard of the personal computer, and this is called a user mask. Also, this mask area is common to the K mode, A mode, and D mode, as in the above.

【００３７】なお図３に示すブロック図において、被検
査物Ａの光による検査は、いわゆる反射型の場合を示し
ているが透過型で構成してもよい。また被検査物Ａへの
入射角を垂直に対して傾斜させているが（例えば、垂直
に対して１０°）、入射角を垂直にして反射型あるいは
透過型で検査をする構成としてもよい。In the block diagram shown in FIG. 3, the inspection of the inspection object A by light is shown as a so-called reflection type, but it may be configured as a transmission type. Further, although the incident angle to the inspection object A is inclined with respect to the vertical (for example, 10 ° with respect to the vertical), the incident angle may be vertical and the inspection may be performed by a reflection type or a transmission type.

【００３８】次に本発明の要旨についてさらに詳述す
る。図１（ａ）は被検査物Ａにピンホール３５がある場
合を示し、このピンホール３５の部分での反射光はＣＣ
Ｄセンサー８により受光される。そしてＣＣＤセンサー
８からの出力信号は検出手段４１に送られる。ここでこ
の検出手段４１は、図４に示すレベル設定部１５、コン
パレータ１６、１７及び判定部２０で構成される。Next, the gist of the present invention will be described in more detail. FIG. 1A shows a case where the inspection object A has a pinhole 35, and the reflected light at this pinhole 35 is CC.
The light is received by the D sensor 8. The output signal from the CCD sensor 8 is sent to the detecting means 41. Here, the detecting means 41 is composed of the level setting section 15, the comparators 16 and 17 and the judging section 20 shown in FIG.

【００３９】図１（ｂ）においてＡ・Ｋモードビデオ波
形は、ＣＣＤセンサー８からローパスフィルタ１３を介
して入力された波形であり、Ｋモードスレッショルド波
形とＡモードスレッショルド波形はレベル設定部１５で
生成されて、それぞれコンパレータ１６、１７で比較さ
れる。In FIG. 1B, the A / K mode video waveform is a waveform input from the CCD sensor 8 through the low-pass filter 13, and the K mode threshold waveform and the A mode threshold waveform are generated by the level setting section 15. Then, they are compared by the comparators 16 and 17, respectively.

【００４０】ここで誘電体膜のような被検査物Ａのピン
ホール３５からの出力は、その部分で光の吸収がなく、
またその周囲において光の屈折、散乱等が生じるため
に、信号レベルが図１（ｂ）に示すように明暗、つまり
上下に振れる。そこで上下に振れた信号が上下のスレッ
ショルド波形にて検出され、図１（ｃ）に示すようなＫ
モード２値化パルスとＡモード２値化パルスとが続いて
検出された場合には、判定部２０では被検査物Ａにピン
ホール３５が存在していると判定する。Here, the output from the pinhole 35 of the inspection object A such as a dielectric film has no light absorption at that portion,
Further, since light is refracted and scattered around it, the signal level fluctuates, that is, fluctuates up and down, as shown in FIG. Therefore, a signal that swings up and down is detected by the upper and lower threshold waveforms, and K as shown in FIG.
When the mode binarizing pulse and the A mode binarizing pulse are subsequently detected, the determination unit 20 determines that the pinhole 35 is present in the inspection object A.

【００４１】一方、図１（ｅ）に示すように被検査物Ａ
の表面に異物３６が存在する場合、異物３６は不透明な
物が多いゴミ等からなっているため、ピンホール３５と
は異なり、信号の変化が一方向だけである。したがって
図１（ｆ）に示すように、例えばＡ・Ｋモードビデオ波
形が上側にだけ振れて、Ｋモードスレッショルド波形高
くなって、（ｇ）に示すような２値化パルスを発生し、
これにより判定部２０では被検査物Ａに異物３６が存在
することを検出する。On the other hand, as shown in FIG.
When the foreign substance 36 exists on the surface of the foreign substance 36, since the foreign substance 36 is made of dust, which is often opaque, unlike the pinhole 35, the signal changes only in one direction. Therefore, as shown in FIG. 1 (f), for example, the A / K mode video waveform swings only to the upper side, the K mode threshold waveform becomes high, and the binarized pulse as shown in (g) is generated.
As a result, the determination unit 20 detects that the foreign matter 36 is present on the inspection object A.

【００４２】このように被検査物Ａからのピンホール３
５からの出力は、光の吸収がないため信号レベルが明暗
に振れるため、不透明な物が多いゴミとピンホール３５
とを高い確率で判別することができる。In this way, the pinhole 3 from the object A to be inspected
The output from 5 does not absorb light, so the signal level fluctuates brightly and darkly.
And can be discriminated with high probability.

【００４３】（実施例２）次に請求項２に対応した実施
例について説明する。図２（ａ）は液晶用のカラーフィ
ルタを構成するガラス板３７の裏面Ｒ、Ｇ、Ｂを形成す
る塗料３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂを塗布した状態を示して
いる。そして塗料の微小な突起（サブミクロン）は液晶
性能を大きく劣化させる。(Embodiment 2) Next, an embodiment corresponding to claim 2 will be described. FIG. 2A shows a state in which coating materials 38R, 38G, and 38B that form the back surfaces R, G, and B of the glass plate 37 that constitutes the color filter for liquid crystal are applied. Then, minute projections (submicron) of the paint greatly deteriorate the liquid crystal performance.

【００４４】ここで塗布した塗料３８Ｒの部分に塗装む
らが生じて微小凹凸（微小突起）３９が形成されてしま
った場合、この微小凹凸３９は光学的には微小なレンズ
のように作用するので、これによる散乱光は明暗が交互
になる。図２（ｂ）はこの液晶用のカラーフィルタのガ
ラス板３７の微小凹凸３９によるＣＣＤセンサー８から
の出力のＡ・Ｋモードビデオ波形を示し、この上下に振
れる信号レベルの変化により上下のＫモードスレッショ
ルド波形とＡモードスレッショルド波形より高くなった
り低くなったりすることで、異物とは異なる検出特性と
なり、判定部２０では微小凹凸３９を特定して検出する
ことができる。When the coating 38R applied here has coating unevenness and minute irregularities (fine protrusions) 39 are formed, the minute irregularities 39 optically act like a minute lens. , The light scattered by this alternates between light and dark. FIG. 2B shows the A / K mode video waveform of the output from the CCD sensor 8 due to the minute irregularities 39 of the glass plate 37 of the color filter for liquid crystal, and the upper and lower K modes due to the change in the signal level swinging up and down. When the threshold waveform and the A-mode threshold waveform are higher or lower than the threshold waveform, the detection characteristics are different from those of the foreign matter, and the determination unit 20 can specify and detect the minute irregularities 39.

【００４５】[0045]

【発明の効果】請求項１の検査装置によれば、被検査物
からの光をセンサーで受光し、検出手段に送っている。
被検査物のピンホールからの信号は、ピンホール周囲に
おける光の屈折等に起因して信号レベルが明暗、つまり
上下に振れる。このため不透明な物が多いゴミ等の異物
からの信号が信号レベルが明暗に振れることがないため
に、このピンホールと異物からの信号の特性の違いに応
じてピンホールと異物とを高い確率で判別することがで
きる。According to the inspection apparatus of the first aspect, the light from the inspection object is received by the sensor and sent to the detection means.
The signal level of the signal from the pinhole of the inspection object is bright or dark, that is, it fluctuates up and down due to refraction of light around the pinhole. For this reason, the signal level of foreign matter such as dust, which is often opaque, does not fluctuate light and dark.Therefore, there is a high probability that a pinhole and a foreign matter have a high probability depending on the difference in the characteristics of the signal from this pinhole. Can be determined by.

【００４６】また請求項２の検査装置においては、液晶
用のカラーフィルタのガラス板の一面に塗布した塗料の
微小な突起（サブミクロン）は、光学的にはレンズのよ
うに作用するため、これによる散乱光は明暗が交互にな
る。つまり微小突起のような微小凹凸からの信号は、信
号レベルが上下に振れることで、この上下に振れる散乱
光量の変化から、微小突起、つまり微小凹凸を容易に特
定できて微小凹凸を容易に検出することができる。Further, in the inspection apparatus of the second aspect, since the minute projections (submicron) of the coating material applied to one surface of the glass plate of the color filter for liquid crystal optically act like a lens, The light scattered by is alternately bright and dark. In other words, a signal from a minute unevenness such as a minute protrusion can easily identify the minute protrusion, that is, the minute unevenness, and easily detect the minute unevenness from the change in the scattered light amount that fluctuates up and down as the signal level fluctuates up and down. can do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の実施例のピンホールと異物との判別を
する場合の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram in the case of distinguishing between a pinhole and a foreign substance according to an embodiment of the present invention.

【図２】実施例２の液晶用のカラーフィルタのガラス板
に塗布した塗料の微小凹凸を特定して検出する場合の説
明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram in a case where fine irregularities of a coating material applied to a glass plate of a liquid crystal color filter of Example 2 are specified and detected.

【図３】実施例の本検査装置の全体の概略システム構成
図である。FIG. 3 is a schematic system configuration diagram of the entire inspection apparatus according to the embodiment.

【図４】実施例の信号処理回路のブロック図である。FIG. 4 is a block diagram of a signal processing circuit according to an embodiment.

【図５】実施例の２値化パルス発生の信号処理の原理を
説明するためのタイミングチャートである。FIG. 5 is a timing chart for explaining the principle of signal processing for binarized pulse generation according to the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

８ ＣＣＤセンサー ３５ ピンホール ３６ 異物 ３７ ガラス板 ３８ 塗料 ３９ 微小凹凸 8 CCD sensor 35 Pinhole 36 Foreign matter 37 Glass plate 38 Paint 39 Micro unevenness

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 被検査物（Ａ）からの透過光あるいは反
射光を受光するセンサー（８）と、このセンサー（８）
からの出力信号により被検査物（Ａ）の傷、ピンホール
（３５）、異物（３６）等の異常を検出する検査装置に
おいて、光を透過させない不透明な異物（３６）と光を
透過させるピンホール（３５）との検出信号の特性の違
いに応じて異物（３６）とピンホール（３５）とを判別
する検出手段（４１）を設けたことを特徴とする検査装
置。1. A sensor (8) for receiving transmitted light or reflected light from an inspection object (A), and this sensor (8).
An opaque foreign matter (36) that does not transmit light and a pin that transmits light in an inspection device that detects an abnormality such as a scratch, a pinhole (35), and a foreign matter (36) on the inspection object (A) by an output signal from the An inspection apparatus comprising a detection means (41) for discriminating between a foreign substance (36) and a pinhole (35) according to a difference in characteristics of detection signals from the hole (35). 【請求項２】 被検査物（Ａ）からの透過光あるいは反
射光を受光するセンサー（８）と、このセンサー（８）
からの出力信号により被検査物（Ａ）の傷等の異常を検
出する検査装置において、液晶用のカラーフィルタを構
成するガラス板（３７）の一面に塗布した塗料の微小凹
凸（３９）による検出信号の特性により、該微小凹凸
（３９）を特定して検出する検出手段（４１）を設けた
ことを特徴とする検査装置。2. A sensor (8) for receiving transmitted light or reflected light from an inspection object (A), and this sensor (8).
In an inspection device for detecting an abnormality such as a scratch on an object to be inspected (A) by an output signal from the detection unit, detection by a fine unevenness (39) of a coating material applied to one surface of a glass plate (37) constituting a color filter for liquid crystal An inspection apparatus provided with a detection means (41) for identifying and detecting the minute irregularities (39) based on the characteristics of signals.