JPH06183900A - ガス相から固体への注入 - Google Patents

ガス相から固体への注入

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JPH06183900A
JPH06183900A JP3332236A JP33223691A JPH06183900A JP H06183900 A JPH06183900 A JP H06183900A JP 3332236 A JP3332236 A JP 3332236A JP 33223691 A JP33223691 A JP 33223691A JP H06183900 A JPH06183900 A JP H06183900A
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solid
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JP3332236A
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Hiroshi Kimura
ヒロシ・キムラ
Ricardo C Pastor
リカルド・シー・パストー
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Raytheon Co
Original Assignee
Hughes Aircraft Co
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B33/00After-treatment of single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B31/00Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor
    • C30B31/06Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor by contacting with diffusion material in the gaseous state
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は固体へのガス相注入法およびそれによ
り得られる装置を提供する。 【構成】本発明は中性2原子種または電荷2原子種を高
濃度で閉じ込め、これら種の振動以外の内部自由度を凍
結させたことを特徴としている。前者の場合は中性2原
子種が格子内的に導入され、後者の場合は電荷2原子種
が結晶格子のアニオンと置換する。このシステムはレー
ザーダイオードによりポンピングできる中間赤外線固体
レーザーを提供する。その他、マグネチック(ファラデ
ー)ロテータ、電気−光学スイッチ、Qスイッチに利用
することができる。これらの種の注入はホスト結晶の融
点以下の温度、好ましくは相転移温度でおこなわれ、つ
いで徐冷される。大気圧以上の圧力でテナント分子を格
子内に導入させ、少なくとも1気圧以上でドーパントア
ニオンを置換的に導入させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はガス相注入方法に係わ
り、特に2原子分子または置換2原子アニオンを固体に
高濃度に閉じ込める方法に関する。
【0002】さらに、本発明は、この方法により種々の
装置、たとえば固体レーザ、磁気(ファラディ)回転
体、中間赤外線範囲におけるQ−スイッチを形成するこ
とに関する。
【0003】
【従来の技術】適当な振動励起のもとで、2原子分子ま
たは置換2原子アニオンを固体に閉じ込めることがで
き、これにより振動以外のすべての内部自由度が凍結
し、振動励起状態のカスケード型緩和によりレーザ源と
して利用することができる。
【0004】2ないし5ミクロンの波長域は固体中間赤
外線レーザの開発に興味を持たせるものである。基本的
振動波長がこの所定の範囲に入る2原子分子および2原
子アニオンが多く存在する。しかし、閉じ込められてい
ない中性分子をガスレーザとして使用する場合、以下の
2点の欠点を伴う。
【0005】(1)操作圧力は低くしなければならな
い。さもないと、振動出力が衝突拡張を生じさせる(励
起−振動−状態の寿命は衝突間の時間と比較して長くな
ければならない)。
【0006】(2)自由回転度は活発となり、これが励
起状態(振動)の拡張源および無放射緩和への手掛りを
与えることになる(振動モードで蓄えられているエネル
ギーが回転モードの小さい群に壊れていき、これがさら
に並進モードのより小さい群に消失していく)。 現在まで、固体に高濃度2原子分子または2原子アニオ
ンを補足させる技術は知られていない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、テナント分
子(ドーパントアニオン)を与えるガスにより、ホスト
結晶(イオン性結晶)のガス相注入を介して、固体中に
2原子分子を格子内で捕捉し、または2原子アニオンを
置換的に導入することにより上記欠点を除去することを
目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、中
性2原子種および電荷2原子種から選ばれる1つを高濃
度でホスト結晶に導入する方法であって、該ホスト結晶
を2原子分子のガスまたは解離により2原子アニオンを
与える分子のガスの雰囲気で、該ホスト結晶の融点以下
の温度に加熱し、これにより1019ないし1022cm-3
のドーピング濃度を達成しようとするものである。前者
の場合のプロセスでは高圧を要し、後者の場合のプロセ
スでは単なる交換反応となる。
【0009】上記の第1の制限は閉じ込められる種が他
の種からうまく遮蔽されることにより回避することがで
きる。上記の第2の制限はテナント(2原子分子または
2原子アニオン)とホスト(結晶)との間に適合する適
当なサイズを選ぶことにより除去することができる。
【0010】その結果、レーザーダイオードによりポン
ピングすることのできる効果的な中間赤外線固体レーザ
ーを、種々の目的のため、例えば環境汚染のモニターま
たは制御のための装置のために高密度にパッケージ化す
ることができる。さらに、本発明により作られたガス注
入固体を用いてファラディロテータおよび中間赤外線で
操作されるQスイッチを組み立てることができる。レー
ザーに適用するためには、この種の濃度は1019ないし
1020cm-3の範囲が用いられる。ファラディロテータ
およびQスイッチの場合は、この濃度は1022cm-3
で広げられ、これは本発明により達成し得る。
【0011】
【実施例】本発明によれば、2原子分子または2原子ア
ニオンは、テナント種を与えるガスの高圧下でホストの
熱的膨脹を介してイオン性固体に捕捉される。この方法
は効率良く注出することができた。この方法はホスト結
晶に中性テナント分子を格子内に導入すること、あるい
はホスト格子に2原子アニオンを置換させることを可能
とする。
【0012】なお、本明細書において、2原子種とは、
2原子分子および2原子アニオンを指す。前者は中性で
あり、格子内的に導入され、テナントと呼ばれる。後者
は電荷されていて、ホストの格子に置換的に導入され、
ドーパントと呼ばれる。2原子種とホスト結晶との間に
適合する適当なサイズを選ぶに際し、ホスト結晶は以下
の3つの制約を満たすものでなければならない。 (1)この結晶はもちろん出力波長に対し透明でなけれ
ばならない。
【0013】(2)結晶空間はテナント種のファン・デ
ル・ワールス半径に適合するようにマッチしていなけれ
ばならない。これにより振動以外のすべての内部回転度
は凍結される。
【0014】(3)選ばれたホスト格子は加工温度(融
点以下)を許容するものでなければならない。ここで、
適当な時間の範囲内において、注入が拡散により制限を
受けるのでなく、むしろ固体へのガスの溶解度により制
限を受ける。
【0015】この第3の制約が重要である。中性2原子
ガスによる固体への注入が拡散制限を受けないように高
操作温度が必要である。しかし、ヘンリーの法則によ
り、所定の注入用ガス圧について温度が高ければ高いほ
ど、固体へのガスの溶解度が低くなる。拡散に対するエ
ネルギー障壁はより大きい空間(より正しくは空間への
より大きい入り口)を用いることにより低くすることが
できる。しかし、この選択は第2の制約により制限を受
ける。
【0016】2原子アニオンによる固体へのガス相注入
は、2原子分子によるガス相注入の場合とは異なった一
連の制約により操作される。前者の場合、中性種は格子
内的に導入されない(溶解性を含む物理的方法)。むし
ろ、電荷されたものがホストイオンの一つを置換するこ
とになる(これは置換が絡んだ化学的方法)。キャリア
ガス化合物AB(g)からのドーパントアニオンB-
置換的に注入されるべきホストMXを考えた場合は以下
の通りとなる。 MX(c)+αAB(g)<−−−>MX1-αBα(c´)+αAX(g)
【0017】ここで(c)はMXの凝縮相であり、上記
等式(1)の右側に示す通りB- でドーピングされたと
き(c´)となる。この等式(1)に対応する自由エネ
ルギー変化を計算することはできない。なぜならば、
(c´)はMBのバルク相またはMB(c)でなく、む
しろ(c´)は基本的にX- の代わりにB- を低いレベ
ルで含むMX(c)、すなわち、より高いエントロピー
の状態であるからである。
【0018】すなわち、等式(1)で右方向の反応を確
実にするためには、反応ガス−化合物AB(g)の自由
エネルギーを高くし、製品ガス−化合物AX(g)の自
由エネルギーを低くしなければならない。
【0019】MX(c)がRbCl、CsClのような
ハロゲン化物であり、B- がCN- であるとすると、ガ
ス−化合物AB(g)=C2 2 (g)(シアノゲン)
はよいものとは言えない。なぜならば、この形の標準自
由エネルギーは、Δf G°=+71.1kcalであっ
て、駆動性は良いが、ガス製品の形の標準自由エネルギ
ー、AX(g)=CNCl(g)は+31.3kcal
である。しかし、もしAB(g)=ICN(g)のとき
は、AX(g)=ICl(g)となる。この選択は好ま
しい。なぜならばICN(g)についてのΔf G°=+
47kcalであり、ICl(g)についてのΔf G°
は−1.3kcalである空である。他の好ましい選択
はAB(g)=HCN(g)の場合である。なぜならば
HCN(g)についてのΔf G°=+29.8kcal
であり、HCl(g)についてのΔf G°は−22.8
kcalであるからである。
【0020】2つのΔGの間の最小差異を規定すること
は不可能である。なぜならば、この反応の他の半分
((c)対(c´)についてのもの)についてのΔGは
分らないからである。ただ分かることは2つのΔGの代
数的合計がゼロからそれほど離れていてはならないとい
うことである(好ましくは、幾分マイナス)。等式
(1)で右方向への移動はK=exp(−ΔG/RT)
で測定され、これは温度の役割を示している。
【0021】中性2原子分子の閉じ込めにおいて、操作
温度は十分に高いがホスト結晶の融点より低くし、これ
によりドーパントレベルおよび分布が溶解度で制限さ
れ、拡散で制限を受けないものとする。中性の場合、エ
ネルギー障壁は高い。なぜならば中性ドーパントは、界
面からバルクへ移動するために一つの空間から他の空間
へ通り抜けなければならないからである。イオン置換の
場合、対照的にイオンドーパントは一つのイオン空間か
ら他のイオン空間へジャンプすることにより界面からバ
ルクへ移動する。この界面において、イオンドーパント
は交換(例えばX- (c)+AB(g)−−−>B
- (c´)+AX(g))により発生する。これは高い
自由エネルギーのAB(g)および低い自由エネルギー
のAX(g)が望ましいことを示している。浸入速度は
加工温度および界面でのイオンドーパント濃度に依存す
る。この後者のことを考慮した場合、反応物質側からの
高い自由エネルギー駆動を選ぶことが好ましい。ガス相
はAX(g)のためのシンクであり、等式(1)の製品
側は等式(1)の質量−作用反転に何ら関与しない。こ
の点からAB(g)=ICN(g)はHCN(g)より
すぐれている。しかし、HCN(g)のような高自由エ
ネルギーガス反応体の選択はより低温の操作に限定させ
る。高自由エネルギー種は常に低自由エネルギー種に分
解される可能性を示している。 2ICN(g)<−−−>I2 (g)+(CN)2 (g) (2) 2HCN(g)<−−−>H2 (g)+(CN)2 (g) (3)
【0022】等式(2)および(3)の右方向への反応
は等式1のAB(g)=HCN(g)またはHCN
(g)の使用に有害となる。すでに述べたように、(C
N)2 (g)は等式1の反応を前進させるための有効な
ガス反応体ではない。
【0023】吸収状態(sorbed state)に
おいて、反応体(ICN、HCN)は結合延伸を生じ、
解離するためにより低いkTを必要とする(ガス相の場
合よりも)。その結果得られたラジカル(CN)はより
小さくなり、活性トンネリングへ可動となり、エレクト
ロン抽出および位置交換、X- (c)+CN(g)−−
>CN- (c´)+X(g)を発生させる。もし、CN
が内側深くのアニオン空間に入り込んだ場合、高自由エ
ネルギーX- が中性となることにより(表面に近いもの
のように)電子雲変位が生じこれをCN- に変換させ
る。ガス相におけるABの解離は好ましくない。なぜな
らば等式(2)、(3)を優先させるからである。ここ
で、解離は特定の速度、k=νABexp(−Δε/k
T)で生じる。結合−振動周波数νAB(応力定数)は底
定状態ではほぼ不変である。50kcalの一般的解離
エネルギー、1,000K(727℃)の操作温度を採
用した場合、もし吸収状態が解離エネルギーを20%
(最も妥当な値)減少させると、吸収状態における解離
はガス相におけるより多分102 倍大きくなる。
【0024】本発明の方法は操作圧力をレーザーのため
にのみに限定するものではない。なぜならば、閉じ込め
られた分子は他のものからよく遮蔽されているからであ
る。さらに上述のようにテナントおよびホストの慎重な
選択により自由回転度は凍結される。
【0025】本発明の方法は、中性2原子分子の格子内
導入のため、少なくとも約150atmのガス圧下で、
少なくとも約1、500℃の温度で操作しうる高圧装置
を使用する。
【0026】本発明で適当なテナント分子(中性種)の
例およびドーパントアニオン(電荷種)の例を下記表I
に示す。また同時に2ないし5ミクロンの範囲のλ
f (基本的振動波長)およびrv (ファン・デル・ワー
ルス半径)を併記する。 表I 二原子分子の例 種類 λf ,μm rv ,A H2 2.27 1.38 D2 3.20 1.38 HCl 3.34 1.59 HBr 3.78 1.64 N2 4.24 1.57 CO 4.61 1.58 NO 5.25 1.40 CN- 4.88 1.81 SH- −− 1.95 OD- −− −− OH- −− 1.40
【0027】上記テナントに対し以下の金属ハロゲン化
物が好ましいホスト物質となる。表IIはその結晶、結
晶構造(fcc=面心立方体;sc=単純立方体)、r
i (空間寸法)およびmp(融点)を示している。 表2 ホスト物質の例 結晶 構造 ri ,A mp,℃ LiF fcc 1.38 842 LiCl fcc 1.88 614 NaF fcc 1.94 988 KF fcc 1.91 846 CsI sc 1.35 621 TlI sc 1.24 440* *準安定状態は斜方晶系であり、冷却するとscに変化
する。
【0028】この空間寸法はテナント種の寸法にマッチ
させている。このテナント種はホストに付加的に入り込
む。置換の場合、アニオン種の寸法は置換されたアニオ
ンの寸法にマッチしている。いずれの場合もこれら種は
「ロック」された状態に置かれ並進および回転モードが
防止され、振動モードのみが許容されるようにしなけれ
ばならない。
【0029】前記表は適当なホストおよびテナント分子
(ドーパントアニオン)の例が示されている。ホスト結
晶は周期律表第I族、第II族、第III族、第IV族
のハロゲン化物、第III−V族酸化物、シリコンおよ
びゲルマニュームから選ばれる。第I族ハロゲン化物の
例は表IIに記載されている。第II族ハロゲン化物の
例はハロゲン化バリウムである。第III族ハロゲン化
物の例はハロゲン化希土類元素であり、第IV族ハロゲ
ン化物の例はTi、Zr、Hfのハロゲン化物である。
第III−V族酸化物の例はバナジン酸イットリウムお
よび燐酸アルミニュームである。
【0030】適当なホスト結晶を選択する場合、それが
テナント分子(ドーパントアニオン)のポンプ放射およ
び振動発生に対し透明でなければならない。その場合の
必要な透明性の程度の判定はホスト物質およびテナント
分子が知れれば容易に行う事ができる。
【0031】テナント分子の寸法はホスト結晶の空間開
口部に適当にマッチしなければならない。他方、ドーパ
ントアニオンの寸法は置換されるアニオンの寸法に適当
にマッチしなければならない。しかし、ホスト格子に多
少の緊張を生じさせるが、テナントは幾分大きくてもよ
い。このテナントの寸法に対する開口部の寸法の割合
(または置換するアニオンの寸法に対する取り去られる
アニオンの寸法の比)は±15%の範囲で変えることが
できる。この場合の選択は、文献、Handbook
of Thermophysical Propert
ies of Solid Materials, M
acMillan 社、米国(1961)に基づいて行
うことができる。
【0032】2原子分子は6個の自由度がある。すなわ
ち、3個の並進、2個の回転および1個の振動である。
3個以上の原子を持つ分子は1個以上の自由振動度を有
し、したがって、本発明では用いることができない。赤
外線で操作されるレーザーを作るためには赤外線で振動
する2原子種が有用である。これらについては表Iに例
示されている。
【0033】ホスト結晶中のテナント種(ドーパント)
の濃度はレーザーについては1019ないし1020cm-3
の範囲がよい。もし、この濃度が1020cm-3を超える
ときは発光の消失が生じる虞がある。しかし、他の用途
については、より高濃度で含むものも有用となる。
【0034】これらのガス分子は現在、ミリメータの圧
力でのみレーザーとして使用され、高い圧力では前述の
ように衝突のためレーザー機能が減少する。固体中にお
けるテナント分子(ドーパント種)の1019cm-3の濃
度は1atm.に相当する。したがって、ポンピング源
が励起のための要求を満たす限り、2原子種の可なり増
大した濃度の場合にのみ、出力強度は濃度に比例して増
大する。さもなければ、この物質の内部はレーザーを発
生しない。励起されていない部分は共鳴吸収により出力
放射を捕捉しパルス出力に”長いテール(long t
ail)”を与えることになる。しかし、分子が閉じ込
められているので圧力拡張はない。
【0035】中性テナントを導入する方法は以下のよう
にしておこなわれる。まず、高圧炉または高圧容器が用
いられる。結晶または固体ホストはるつぼに置かれ、5
0ないし60atmの中性2原子ガステナントの存在下
で融点以下に加熱される。この固体をこの温度および圧
力にて適当時間保持し、上記ホスト中での上記テナント
の溶解に平衡を生じさせる。この時間は1時間のオーダ
ーである。ついで、この結晶を高圧下で徐々に冷却させ
る。
【0036】この圧力は特に微妙なものでなく、温度に
より適宜変化させることができる。ヘンリー則定数は、
H =C(固体)/C(ガス)であり、ここで、C(ガ
ス)=(PNo )/RT、T<Tmp(ホスト物質)。C
(固体)は以下の式で与えられる。 C(固体)=kH [P(atm)/T]×[6.02×
1023/82.05] C(固体)=1019cm-3、kH =0.1とした場合、
P(atm)/T=
【0037】8.205×1021/6.02×1023
0.0136となる。したがって、T=1,000Kの
場合、必要なガス圧は、P=13.6atmとなるが、
もし、kH =1の場合はP=136atmとなる。すな
わち、加工温度の選択ののち、Pの値は(a)C(固
体)の目標値および(b)予測されるkH 値に基づいて
定められる。冷却は結晶の大きさに依存し、50ないし
100gについて1晩、または丸1日行われる。
【0038】アニオンドーパントを導入する方法は、1
atmまたはそれ以上にするかを除いては上記同様にし
ておこなわれる。アニオンを与える種は不活性雰囲気に
より稀釈され、これにより分子種間の遭遇をできるだけ
小さくする。ICN(g)+Cl- −−−>CN- +I
Clの反応において、Cl- をCN- で交換する場合に
ICN+ICNの間の衝突を少なくすることは重要とな
る。すなわちICN+ICNの間の衝突はI2 +C2
2 を生じさせ、置換反応を阻害する。
【0039】後者の方法において、ある温度における交
換反応速度は交換種の界面における衝突頻度に依存し、
P/T1/2 で進行する。ここでPは分圧である。しか
し、交換の反対方向の速度は1/Pt となる。ここでP
t は全圧である。一般にガス種は不活性ガス中に1ない
し10%存在させる。不活性ガスの好ましい例はヘリウ
ムおよびアルゴンである。
【0040】相転移温度を示すホスト結晶については、
その温度まで加熱することが好ましい。相転移とは構造
的再編成の間のホスト種の異常な可動性を意味する。し
たがって、このホストはこの熱的範囲において最大の浸
透性を示す。本発明はこの温度での操作に限定はされな
い。相転移温度を示さないホスト結晶については、上述
のことを考慮に入れて、圧力容器が耐え得る圧力のもと
で、ホストの融点を越えない温度で行う。操作は高圧で
開始し最初の運動性を増大させることが好ましい。しか
し、もし密閉システムの圧力が可なり下がった場合は、
H を計算によりより好ましいものに近づけるべきであ
る。ついで圧力をC(固体)の目標値に釣合った値に減
少させる。
【0041】60atmの圧力は1021cm-3の粒体密
度に相当する。また、分画kH (結晶に閉じ込められた
粒体密度の空気中におけるものとの比)は少なくとも1
-2となるようにすることが好ましい。相転移が介在し
ない場合は、kH は圧力Pとともに増大し、温度Tのと
も増大とともに減少する。P、T−物々交換は各々の場
合に応じて定められなければならない。これにより圧力
容器の選択が定まる。この場合のその性能限界に応じて
P、T−物々交換が成される。TGA分析によれば、ガ
スは固体ホストの融点以下のすべての温度において固体
中にとどまる。以上の説明はレーザーに使用するため、
分子閉じ込め物質を使用することについてなされてい
る。しかし、この物質を他の用途に適用することもでき
る。
【0042】例えば、テナント分子の基本的吸収からそ
れ程離れていない波長でマグネチック(ファラデー)ロ
テータとして作用させることができる。結晶マトリクス
中にNOを1021ないし1022cm-3のレベルで閉じ込
めた場合、これを磁界にかけると、磁気双極子が整列す
る傾向を示し、加熱状態(kTで測定される)の非整列
傾向と競合する。もちろん、この物質を冷却することに
より磁気双極子の整列性は向上する。この物質の振動磁
気ベクトルは電磁波の振動磁界に作用を及ぼし、分極面
を回転させる。この作用は2つの振動が周波数(共鳴)
においてほぼマッチしているときは非常に大きくなる。
3つの回路素子、(1)5.25μmで操作させるほぼ
1019cm-3NO閉じ込めレーザー;(2)1020cm
-3NO閉じ込めシステムからなるQスイッチ(巨大レー
ザーパルスを得るため);(3)低温での他のNO閉じ
込めシステムであって、磁界によりレーザーパルスの方
向を規制し、レーザーパルスの分極面を回転させるも
の;を考えることができる。
【0043】2原子で大きい電気双極モーメントを有す
る物質を考えた場合、この双極子の整列は適用された電
界により屈折率を変化差せることができる。したがっ
て、電気−光学スイッチとなる。
【0044】また、このクラスの物質は受動Qスイッ
チ、またはブリーチャブルアブソーバーとなり得る。C
O分子を1021ないし1022cm-3のレベルで閉じ込め
た結晶マトリクスを考えた場合、これはNOの場合と同
様に、4.6μmで巨大パルスを発生させるQスイッチ
COレーザーとなり得る。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成4年4月2日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【請求項】 中性2原子種および電荷多原子種から選
ばれる1つを高濃度でホスト結晶に導入し、中間赤外線
範囲で操作するための固体装置を製造する方法であっ
て、該ホスト結晶を導入すべき該種のガスを含む雰囲気
で、かつ1019ないし1022cm−3のドーピング
濃度を得るのに十分な圧力下で、その融点以下の温度に
加熱することを特徴とする方法。
【請求項】 該ホスト結晶が該2原子種のファン・デ
ル・ワールス半径±15%以内の空間を有し、圧力を1
気圧を越えるものとする請求項1または2記載の方法。
【請求項】 該ホスト結晶が、該電荷2原子種で置換
されるアニオン種を含み、該電荷2原子種が該アニオン
種のファン・デル・ワールス半径±15%以内のファン
・デル・ワールス半径を有し、圧力を少なくとも1気圧
とし、該電荷2原子種を不活性ガスにより希釈されたガ
スから得ることを特徴とする請求項1または2記載の方
法。
【請求項】 該不活性ガスがヘリウム、アルゴンから
選ばれるものであり、希釈されたガスが1ないし10%
の範囲で存在していることを特徴とする請求項記載の
方法。
【請求項】 該ホスト結晶が、ハロゲン化第I族元
素、ハロゲン化第II族元素、ハロゲン化第III族元
素、ハロゲン化第IV族元素、第III−V族酸化物、
シリコンおよびゲルマニュームから選ばれるものである
請求項1または2記載の方法。
【請求項】 該ホスト結晶が、LiF、LiCl、N
aF、KF、CsI、TlI、ハロゲン化バリウム、ハ
ロゲン化希土類、Ti、ZrおよびHfのハロゲン化
物、バナジン酸イットリウムおよび燐酸アルミニューム
から選ばれるものである請求項1または2記載の方法。
【請求項】 該2原子種が、H、D、HCl、H
Br、N、CO、NO、CN、SH、ODおよ
びOHから選ばれるものである請求項1または2記載
の方法。
【請求項】 該ホスト結晶をその融点以下の温度に加
熱し、その温度および圧力で一定時間保持することを特
徴とする請求項1または2記載の方法。
【請求項10】 該ホスト結晶が相転移温度を有し、該
ホスト結晶を該相転移温度に加熱することを特徴とする
請求項記載の方法。
【請求項11電荷多原子種を1019ないし10
20cm−3の濃度で含む固体ホスト物質を含む中間赤
外線範囲で操作し得る固体レーザ。
【請求項12電荷多原子種を1019ないし10
22cm−3の濃度でホスト結晶に導入してなる固体ホ
スト物質を含む固体装置。
【請求項13】 該ホスト結晶が、該電荷2原子種で置
換されるアニオン種を含み、該電荷2原子種が該アニオ
ン種のファン・デル・ワールス半径±15%以内のファ
ン・デル・ワールス半径を有することを特徴とする請求
11または12記載の固体装置。
【請求項14】 該ホスト結晶が、ハロゲン化第I族元
素、ハロゲン化第II族元素、ハロゲン化第III族元
素、ハロゲン化第IV族元素、第III−V族酸化物、
シリコンおよびゲルマニュームから選ばれるものである
請求項11または12記載の固体装置。
【請求項15】 該ホスト結晶が、LiF、LiCl、
NaF、KF、CsI、TlI、ハロゲン化バリウム、
ハロゲン化希土類、Ti、ZrおよびHfのハロゲン化
物、バナジン酸イットリウムおよび燐酸アルミニューム
から選ばれるものである請求項14記載の固体装置。
【請求項16該電荷多原子種が、H、D、HC
l、HBr、N、CO、NO、CN、SH、OD
およびOHから選ばれるものである請求項11また
は12記載の固体装置。
【請求項17】 該濃度が1021ないし1022cm
−3であり、磁場にかけることにより磁気回転体とする
請求項12記載の固体装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 リカルド・シー・パストー アメリカ合衆国、カリフォルニア州 90266、マンハッタン・ビーチ、マンザニ タ・レーン 2109

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 中性2原子種および電荷2原子種から選
    ばれる1つを高濃度でホスト結晶に導入する方法であっ
    て、該ホスト結晶を導入すべき該種のガスを含む雰囲気
    で、かつ1019ないし1022cm-3のドーピング濃度を
    得るのに十分な圧力下で、その融点以下の温度に加熱す
    ることを特徴とする方法。
  2. 【請求項2】 該ホスト結晶が該中性2原子種のファン
    ・デル・ワールス半径±15%以内の空間を有し、圧力
    を1気圧を越えるものとする請求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】 該ホスト結晶が、該電荷2原子種で置換
    されるアニオン種を含み、該電荷2原子種が該アニオン
    種のファン・デル・ワールス半径±15%以内のファン
    ・デル・ワールス半径を有し、圧力を少なくとも1気圧
    とし、該電荷2原子種を不活性ガスにより希釈されたガ
    スから得ることを特徴とする請求項1記載の方法。
  4. 【請求項4】 該不活性ガスがヘリウム、アルゴンから
    選ばれるものであり、希釈されたガスが1ないし10%
    の範囲で存在していることを特徴とする請求項3記載の
    方法。
  5. 【請求項5】 該ホスト結晶が、ハロゲン化第I族元
    素、ハロゲン化第II族元素、ハロゲン化第III族元
    素、ハロゲン化第IV族元素、第III−V族酸化物、
    シリコンおよびゲルマニュームから選ばれるものである
    請求項1記載の方法。
  6. 【請求項6】 該ホスト結晶が、LiF、LiCl、N
    aF、KF、CsI、TlI、ハロゲン化バリウム、ハ
    ロゲン化希土類、Ti、ZrおよびHfのハロゲン化
    物、バナジン酸イットリウムおよび燐酸アルミニューム
    から選ばれるものである請求項5記載の方法。
  7. 【請求項7】 該2原子種が、H2 、D2 、HCl、H
    Br、N2 、CO、NO、CN- 、SH- 、OD- およ
    びOH- から選ばれるものである請求項1記載の方法。
  8. 【請求項8】 該ホスト結晶をその融点以下の温度に加
    熱し、その温度および圧力で一定時間保持することを特
    徴とする請求項3記載の方法。
  9. 【請求項9】 該ホスト結晶が相転移温度を有し、該ホ
    スト結晶を該相転移温度に加熱することを特徴とする請
    求項8記載の方法。
  10. 【請求項10】 中性2原子種および電荷多原子種から
    選ばれる1つを高濃度でホスト結晶に導入し、中間赤外
    線範囲で操作するための固体装置を製造する方法であっ
    て、該ホスト結晶を導入すべき該種のガスを含む雰囲気
    で、かつ1019ないし1022cm-3のドーピング濃度を
    得るのに十分な圧力下で、その融点以下の温度に加熱す
    ることを特徴とする方法。
  11. 【請求項11】 該ホスト結晶が該2原子種のファン・
    デル・ワールス半径±15%以内の空間を有し、圧力を
    1気圧を越えるものとする請求項10記載の方法。
  12. 【請求項12】 該ホスト結晶が、該電荷2原子種で置
    換されるアニオン種を含み、該電荷2原子種が該アニオ
    ン種のファン・デル・ワールス半径±15%以内のファ
    ン・デル・ワールス半径を有し、圧力を少なくとも1気
    圧とし、該電荷2原子種を不活性ガスにより希釈された
    ガスから得ることを特徴とする請求項10記載の方法。
  13. 【請求項13】 該不活性ガスがヘリウム、アルゴンか
    ら選ばれるものであり、希釈されたガスが1ないし10
    %の範囲で存在していることを特徴とする請求項12記
    載の方法。。
  14. 【請求項14】 該ホスト結晶が、ハロゲン化第I族元
    素、ハロゲン化第II族元素、ハロゲン化第III族元
    素、ハロゲン化第IV族元素、第III−V族酸化物、
    シリコンおよびゲルマニュームから選ばれるものである
    請求項10記載の方法。
  15. 【請求項15】 該ホスト結晶が、LiF、LiCl、
    NaF、KF、CsI、TlI、ハロゲン化バリウム、
    ハロゲン化希土類、Ti、ZrおよびHfのハロゲン化
    物、バナジン酸イットリウムおよび燐酸アルミニューム
    から選ばれるものである請求項10記載の方法。
  16. 【請求項16】 該2原子種が、H2 、D2 、HCl、
    HBr、N2 、CO、NO、CN- 、SH- 、OD-
    よびOH- から選ばれるものである請求項10記載の方
    法。
  17. 【請求項17】 該ホスト結晶をその融点以下の温度に
    加熱し、その温度および圧力で一定時間保持することを
    特徴とする請求項10記載の方法。
  18. 【請求項18】 該ホスト結晶が相転移温度を有し、該
    ホスト結晶を該相転移温度に加熱することを特徴とする
    請求項17記載の方法。
  19. 【請求項19】 中性2原子種および電荷多原子種から
    選ばれる1つを1019ないし1020cm-3の濃度で含む
    固体ホスト物質を含む中間赤外線範囲で操作し得る固体
    レーザ。
  20. 【請求項20】 該ホスト結晶が該2原子種のファン・
    デル・ワールス半径±15%以内の空間を有することを
    特徴とする請求項19記載のレーザ。
  21. 【請求項21】 該ホスト結晶が、該電荷2原子種で置
    換されるアニオン種を含み、該電荷2原子種が該アニオ
    ン種のファン・デル・ワールス半径±15%以内のファ
    ン・デル・ワールス半径を有することを特徴とする請求
    項19記載のレーザ。
  22. 【請求項22】 該ホスト結晶が、ハロゲン化第I族元
    素、ハロゲン化第II族元素、ハロゲン化第III族元
    素、ハロゲン化第IV族元素、第III−V族酸化物、
    シリコンおよびゲルマニュームから選ばれるものである
    請求項19記載のレーザ。
  23. 【請求項23】 該ホスト結晶が、LiF、LiCl、
    NaF、KF、CsI、TlI、ハロゲン化バリウム、
    ハロゲン化希土類、Ti、ZrおよびHfのハロゲン化
    物、バナジン酸イットリウムおよび燐酸アルミニューム
    から選ばれるものである請求項22記載のレーザ。
  24. 【請求項24】 該2原子種が、H2 、D2 、HCl、
    HBr、N2 、CO、NO、CN- 、SH- 、OD-
    よびOH- から選ばれるものである請求項19記載のレ
    ーザ。
  25. 【請求項25】 中性2原子種および電荷多原子種から
    選ばれる1つを1019ないし1022cm-3の濃度でホス
    ト結晶に導入してなる固体ホスト物質を含む固体装置。
  26. 【請求項26】 該ホスト結晶が該2原子種のファン・
    デル・ワールス半径±15%以内の空間を有することを
    特徴とする請求項25記載の固体装置。
  27. 【請求項27】 該ホスト結晶が、該電荷2原子種で置
    換されるアニオン種を含み、該電荷2原子種が該アニオ
    ン種のファン・デル・ワールス半径±15%以内のファ
    ン・デル・ワールス半径を有することを特徴とする請求
    項25記載の固体装置。
  28. 【請求項28】 該ホスト結晶が、ハロゲン化第I族元
    素、ハロゲン化第II族元素、ハロゲン化第III族元
    素、ハロゲン化第IV族元素、第III−V族酸化物、
    シリコンおよびゲルマニュームから選ばれるものである
    請求項25記載の固体装置。
  29. 【請求項29】 該ホスト結晶が、LiF、LiCl、
    NaF、KF、CsI、TlI、ハロゲン化バリウム、
    ハロゲン化希土類、Ti、ZrおよびHfのハロゲン化
    物、バナジン酸イットリウムおよび燐酸アルミニューム
    から選ばれるものである請求項28記載の固体装置。
  30. 【請求項30】 該2原子種が、H2 、D2 、HCl、
    HBr、N2 、CO、NO、CN- 、SH- 、OD-
    よびOH- から選ばれるものである請求項25記載の固
    体装置。
  31. 【請求項31】 該濃度が1021ないし1022cm-3
    あり、磁場にかけることにより磁気回転体とする請求項
    25記載の固体装置。
  32. 【請求項32】 該2原子種が可なりの電気双極モーメ
    ントを有し、電場をかけることにより屈折率に変化を生
    じさせ、電気−光スイッチを形成している請求項25記
    載の固体装置。
JP3332236A 1990-12-14 1991-12-16 ガス相から固体への注入 Pending JPH06183900A (ja)

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US07/627,786 US5128954A (en) 1990-12-14 1990-12-14 Impregnation of a solid from the gas phase
US627786 1990-12-14

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US5128954A (en) 1992-07-07

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