JPH06178557A - 振動モータの駆動回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 回路規模を縮小すると共に、振動モータの回
転方向を効率良く切替え、かつ最適駆動周波数で駆動す
ることができる振動モータの駆動回路を提供する。 【構成】 駆動回路１１０は、発振器１１２，増幅器１
１４，掃引回路１１６，共振周波数検出部１１８，制御
部１２０，切替スイッチ１２４を含んで構成される。掃
引回路１１６によって発振器１１２の出力周波数が掃引
され、この周波数範囲内で共振周波数検出部１１８が共
振点の検出を行う。このとき増幅器１１４は、発振器１
１２の出力を低い増幅率で増幅して振動モータ１００に
印加する。また、実際に振動モータ１００を駆動する場
合は、発振器１１２の出力周波数を最適駆動周波数に設
定し、高い増幅率で増幅し振動モータ１００に印加す
る。このとき切替スイッチ１２４を操作することによ
り、駆動電圧を印加する領域を切替えることができ、こ
れにより回転方向が切り替わる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、定在波を用いて駆動さ
れる振動モータの駆動回路に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、進行波を利用した振動モータ
（超音波モータ）においては、位相が９０°異なる２つ
の駆動電圧を印加して圧電素子を振動させている。

【０００３】図１６は、従来の進行波振動モータの駆動
回路の一例を示す図である。

【０００４】駆動回路４１０は、超音波モータ４００を
回転駆動するためのものである。制御対象となる振動モ
ータ４００は、圧電素子４０２を有しており、この圧電
素子４０２の片面あるいは両面に分割された電極４０
４，４０６，４０８を有している。電極４０４，４０６
は、それぞれ位相が９０°異なる駆動電圧を印加するた
めのものであり、これらの電極に対応する圧電素子４０
２の各部が振動し、この振動が合成されて進行波が発生
する。また、電極４０８は、フィードバック信号を取り
出すためのものであり、取り出されたフィードバック信
号は、駆動回路４１０に入力される。

【０００５】駆動回路４１０は、発振器４１２，増幅器
４１４，４１６，移相器４１８，周波数追尾回路４２０
を含んで構成される。発振器４１２の出力を増幅器４１
４で増幅して振動モータ４００の電極４０４に印加する
と共に、発振器４１２の出力を移相器４１８を介して位
相を９０°ずらした後に、増幅器４１６で増幅して電極
４０６に印加する。このようにして位相が互いに９０°
異なる２つの交流電圧が振動モータ２００に印加され、
進行波に合成されて楕円振動となって振動モータ４００
が駆動される。また、周波数追尾回路４２０は、振動モ
ータ４００からのフィードバック信号に基づいて、圧電
素子４０２の振動状態を監視しており、その振動状態が
最適となるなるように発振器４１２に制御信号を送る。
発振器２１２は、周波数追尾回路４２０からの制御信号
に応じて、出力信号の周波数を変化させる。これによ
り、駆動回路４１０は、最も効率良く超音波モータ２０
０を駆動することができる。

【０００６】上述した駆動回路４１０は、制御方法の一
例としてＶ_FB一定制御を示しているが、そのほかにもＶ
_A −Ｖ_FB位相一定制御、Ｖ_A −Ｉ_A 位相一定制御等種々
のものが考えられる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した進
行波型の超音波モータの駆動回路４１０においては、位
相がそれぞれ９０°異なる駆動電圧を２つ発生させる必
要があるため、昇圧部となる増幅器４１４，４１６も２
つ必要であり、駆動回路４１０の規模が大きくなると共
に、製造コストも高くなるという問題点があった。

【０００８】ところで、本出願人は、従来の進行波型の
振動モータとは動作原理の異なる定在波型の振動モータ
を提案している。例えば、出願番号特願平４−１１５４
８９号，特願平４−２１２０８３号などが出願済みであ
る。これらの定在波型の振動モータは、単一の定在性振
動波を用いて回転駆動させることができることに特徴が
ある。従って、この定在波型の振動モータの駆動回路に
おいては、増幅器の数を減らして回路の簡略化が可能と
なる。また、双方向の回転駆動を行うためには、回転方
向を切り換えるための構成が必要となる。さらに、上述
した従来の進行波型振動モータの駆動回路４１０では、
回転駆動中も周波数の追尾制御を行うことにより、最適
な駆動周波数で振動モータ４００を駆動しているが、こ
のような複雑な構成を有さずに最適な駆動周波数で駆動
することができれば便利である。

【０００９】そこで、本発明は定在波型の振動モータの
駆動回路の回路規模を縮小することを目的とする。

【００１０】また、本発明は、定在波型の振動モータの
回転方向を効率良く切り換えることを目的とする。

【００１１】また、本発明は、定在波型の振動モータを
最適駆動周波数で駆動することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明の振動モータの駆動回路は、ステータ部
の圧電素子を複数領域に分割し、この分割された領域に
モータ駆動電圧を印加して、得られた定在性振動波によ
ってロータ部を回転させる振動モータの駆動制御を行う
振動モータの駆動回路において、モータ駆動用の所定周
波数の交流電圧を発生する発振器と、前記発振器で発生
した交流電圧を増幅してモータ駆動電圧を出力する増幅
器と、前記圧電素子内の領域を選択し、この選択した領
域に対して前記増幅器から出力されるモータ駆動電圧を
印加する切替スイッチと、を備え、前記切替スイッチに
よってモータ駆動電圧を印加する前記圧電素子内の領域
を選択することにより、振動モータの正転あるいは反転
駆動を行うことを特徴とする。

【００１３】また、本発明の振動モータの駆動回路は、
ステータ部の圧電素子にモータ駆動電圧を印加し、得ら
れた定在性振動波によってロータ部を回転させる振動モ
ータの駆動制御を行う振動モータ駆動の駆動回路におい
て、所定周波数の交流電圧を発生する発振器と、前記発
振器で発生した交流電圧を増幅してモータ駆動電圧ある
いは共振周波数検出用電圧を出力する増幅器と、前記電
圧素子に接続され、前記ステータ部の共振周波数の検出
を行う共振周波数検出部と、前記発振器によって発生す
る共振周波数検出用電圧の周波数を所定範囲で掃引する
掃引部と、前記掃引部によって前記発振器で発生した共
振周波数検出用の周波数を掃引しているときは前記増幅
器の増幅率を低く設定して前記共振周波数検出部による
共振周波数の検出を行い、その後、この検出した共振周
波数に基づいて前記発振器の出力周波数を設定すると共
に、前記増幅器の増幅率を高く設定して共振周波数のモ
ータ駆動電圧を前記ステータ部の圧電素子に印加する制
御を行う制御部と、を備え、モータ駆動に先立って前記
ステータ部の共振周波数を検出し、この共振周波数に基
づいて設定した周波数でモータの回転駆動を行うことを
特徴とする。

【００１４】また、本発明の振動モータの駆動回路は、
ステータ部の圧電素子を複数領域に分割し、この分割さ
れた領域にモータ駆動電圧を印加して、得られた定在性
振動波によってロータ部を回転させる振動モータの駆動
制御を行う振動モータの駆動回路において、所定周波数
の交流電圧を発生する発振器と、前記発振器で発生した
交流電圧を増幅してモータ駆動電圧あるいは共振周波数
検出用電圧を出力する増幅器と、前記圧電素子内の領域
を選択し、この選択した領域に対して前記増幅器から出
力されるモータ駆動電圧あるいは共振周波数検出用電圧
を印加する切替スイッチと、前記圧電素子に接続され、
前記ステータ部の共振周波数の検出を行う共振周波数検
出部と、前記発振器によって発生する共振周波数検出用
電圧の周波数を所定範囲で掃引する掃引部と、前記掃引
部によって前記発振器で発生した共振周波数検出用の周
波数を掃引しているときは、前記増幅器の増幅率を低く
設定することにより共振周波数検出用電圧を前記圧電素
子に印加して、前記共振周波数検出部による共振周波数
の検出を行い、その後この検出した共振周波数に基づい
て前記発振器の出力周波数を設定すると共に、前記増幅
器の増幅率を高く設定することによりモータ駆動用電圧
を出力して、この共振周波数のモータ駆動電圧を前記ス
テータ部の圧電素子に印加する制御を行う制御部と、を
備え、前記切替スイッチによって前記ステータ部の共振
周波数に基づいて設定した周波数のモータ駆動電圧を印
加する前記圧電素子内の領域を選択することにより、振
動モータの正転あるいは反転駆動を行うことを特徴とす
る。

【００１５】

【作用】本発明の振動モータの駆動回路は、ステータ部
の圧電素子にモータ駆動電圧を印加して得られた定在性
振動波によってロータ部を回転させる振動モータの駆動
を行う。

【００１６】発振器によってモータ駆動用の所定周波数
の交流電圧を発生すると、増幅器はこの電圧を増幅して
モータ駆動電圧とする。そして、このモータ駆動電圧を
切替スイッチを介してステータ部の圧電素子に印加す
る。この圧電素子は、複数領域に分割されており、ある
領域にモータ駆動電圧が印加されることにより、振動モ
ータが正転駆動される。また、切替スイッチを切替える
ことにより、モータの駆動電圧が印加される圧電素子の
領域が切り替わる。これにより、振動モータが逆転駆動
される。

【００１７】本発明においては、増幅器から出力される
モータ駆動電圧の印加先を切替スイッチによって切替え
ることにより、振動モータを正転及び逆転の双方向に回
転駆動することができる。したがって、切替スイッチに
よる切替えを行うだけで、振動モータの回転方向を効率
よく切替えることができる。

【００１８】また、振動モータの正転駆動用のモータ駆
動電圧と、反転駆動用のモータ駆動電圧とを共通の増幅
器から出力することができるため、駆動回路の回路規模
を縮小することができる。

【００１９】また、本発明の振動モータの駆動回路は、
発振器の出力周波数を掃引しながらステータ部の共振周
波数検出を行っており、共振周波数を検出した後、この
共振周波数に基づいて設定した周波数のモータ駆動電圧
で振動モータの回転駆動を行う。このとき、共振周波数
の検出を行う際には増幅器の増幅率を低く設定し、低電
圧の交流電圧を振動モータに印加することによって、実
際には振動モータを回転させない状態で共振周波数の検
出を行う。また、振動モータを回転駆動させる場合に
は、増幅器の増幅率を高く設定して実際に振動モータを
回転駆動することができる振幅値の大きなモータ駆動電
圧を印加する。

【００２０】本発明においては、振動モータの回転駆動
に先立ってステータ部の共振周波数を検出しており、こ
の共振周波数に基づいて設定した周波数で振動モータの
回転駆動を行うことができるので、最適駆動周波数で駆
動することができる。

【００２１】また、共振周波数の検出は、モータの駆動
に先立って行っているため、回転駆動中に随時最適駆動
周波数を追尾するための複雑な構成が不要であり、回路
規模を縮小することができる。

【００２２】また、本発明の振動モータの駆動回路は、
上述したように共振周波数を検出した後、増幅器から出
力されるモータ駆動電圧を切替スイッチによって適宜切
替えることにより、ステータ部の圧電素子の異なる領域
に印加して振動モータを正転または反転の双方向に駆動
することができる。したがって、切替スイッチの切替え
を行うだけで効率良く回転方向を切替えることができ
る。

【００２３】

【実施例】次に、本発明の好適な実施例を図面に基づい
て詳細に説明する。

【００２４】第１実施例 （１）第１実施例の構成 図１は、本発明を適用した第１実施例の駆動回路の構成
を示す図である。同図には、駆動回路１１０の詳細構成
と、この駆動回路１１０によって駆動制御される振動モ
ータ１００との接続状態が示されている。 （１ａ）駆動回路の構成 駆動回路１１０は、発振器１１２，増幅器１１４，掃引
回路１１６，共振周波数検出部１１８，制御部１２０，
起動スイッチ１２２，切替スイッチ１２４，抵抗１２６
を含んで構成される。

【００２５】制御部１２０は、駆動回路１１０の全体を
制御するものであり、起動スイッチ１２２からの指示を
受けて、振動モータ１００の駆動制御を行う。起動スイ
ッチ１２２を操作したときにＯＮ信号が制御部１２０に
送られる。

【００２６】発振器１１２は、電圧制御型発振器（ＶＣ
Ｏ）であり、制御電圧に１対１に対応した周波数の発振
信号（交流電圧）を出力する。従って、この発振器１１
２の制御電圧を連続的に変化させることにより、発振器
１１２の出力信号の周波数を連続的に変えることができ
る。

【００２７】増幅器１１４は、発振器１１２の出力信号
を電力増幅するものである。この増幅器１１４の出力
は、切替スイッチ１２４を介して、振動モータ１００に
供給される。すなわち、増幅器１１４の出力は、モータ
駆動電圧として振動モータ１００に印加されるようにな
っている。

【００２８】切替スイッチ１２４は、増幅器１１４の出
力を振動モータ１００に印加する際に、その印加先を切
り替えるものである。この切替スイッチ１２４の切替え
操作により、振動モータ１００の回転方向が切り替わる
ようになっている。掃引回路１１６は、発振器１１２の
出力周波数を一定範囲で掃引するための制御電圧を発生
するためのものである。掃引回路１１６は、制御部１２
０からの指示に応じて、出力電圧を一定方向に変化させ
（例えば増加させ）、この変化する出力電圧が発振器１
１２に制御電圧として印加される。従って、発振器１１
２では、掃引回路１１６の出力電圧の変化にともない、
出力周波数が変化する。

【００２９】共振周波数検出部１１８は、振動モータ１
００の共振点を検出するものである。共振点の検出は、
振動モータ１００の負荷インピーダンスの変化を観察す
ることにより、あるいは振動モータ１００内の圧電素子
の駆動電流の変化を観察することにより行う。検出結果
は、制御部１２０に通知される。 （１ｂ） 振動モータの構造 次に、制御対象となる振動モータ１００の詳細な構造に
ついて説明する。この振動モータ１００は、定在性振動
波によって回転駆動されるものであり、従来の進行波型
振動モータとは異なる構造を有している。

【００３０】図２は、振動モータ１００の概略的な構造
を示す図である。

【００３１】本実施例の振動モータ１００は、ロータ部
３０，ステータ部４０とを有する。

【００３２】そして、ステータ部４０の電極板４６，４
８に単相の駆動電圧（高周波交流電圧）を印加すること
により、ステータ部４０のロータ対向面６０，表面の突
起部６２上に楕円振動を発生させ、これにより突起部６
２に接するロータ部３０を正転および逆転駆動するもの
である。

【００３３】前記ロータ部３０は、ロータ対向面６０上
の突起部６２に一定の圧力で接触する円板３２と、この
円板３２の回転中心に取り付けられた回転出力軸３４と
を含む。

【００３４】また、前記ステータ部４０は、例えばセラ
ミックス等の圧電体を用いてリング状に形成され、かつ
互いに分極方向の異なる２個の圧電素子４２，４４と圧
電素子４４の両側に設けられた第１の電極板４６および
第２の電極板４８と、圧電素子４２，４４の両側にそれ
ぞれ配置された偏平板状の第１の金属ブロック体５０お
よび第２の金属ブロック体５２と、両金属ブロック体５
０，５２を圧電素子４２，４４を締め付けるように連結
固定する結合ボルト５４とを含み、全体として偏平形状
となるように形成されている。

【００３５】図３，図４は、前記ステータ部４０の詳細
な構造を示す図である。

【００３６】図３はステータ部４０を組み立てた状態
を、図４はその分解斜視図をそれぞれ示している。

【００３７】前記第１，第２金属ブロック体５０，５２
の中心にはネジ孔が形成され、さらに圧電素子４２，第
１の電極板４６，圧電素子４４，第２の電極板４８の中
心にはボルト挿通孔４２ａ，４６ａ，４４ａ，４８ａが
設けられている。そして、前記ボルト挿通孔４２ａ，４
６ａ，４４ａ，４８ａに、絶縁体によって形成されたカ
ラー５６が挿通された結合ボルト５４を挿通し、この結
合ボルト５４の両端に設けられたエッジ部を、前記第１
および第２の金属ブロック体５０，５２を中心に形成さ
れたネジ孔に螺合させる。これにより、圧電素子４２，
４４の両端に、第１の金属ブロック体５０および第２の
金属体５２が、圧電素子４２，４４を締め付けるように
連結固定されることになる。

【００３８】また、前記第１の電極板４６は、円周方向
に６分割されるようにスリット部４６ｃが設けられ、そ
の外周部が連結部４６ｂにより互いに連結されている。
この第１の電局板４６は、その直径が圧電素子４２，４
４の直径より幾分大きめに形成され、ステータ４０を組
み立てた際、その外周部および連結部４６ｂがステータ
外部へ突出するようになっている。これにより、ステー
タ部４０の組立て終了後に、前記連結部４６ｂを切断す
ることで互いに電気的に絶縁された分割電極板４６−
１，４６−２…，４６−６を得ることができる。

【００３９】また、各分割電極板４６−１〜４６−６の
ステータ外部へ突出する部分は、図３に示すように、外
部接続端子４５−１〜４５−６を構成することになり、
これに図２に示すよう引き出し線６４−１〜６４−６が
接続されることになる。

【００４０】さらに、前記第２の電極板４８の外周に
は、ステータ部４０の外部へ突出する外部接続端子４９
が設けられ、これに図２に示すよう、接地側の引き出し
線６６が接続されることになる。

【００４１】また、本実施例の金属ブロック体５０，５
２は、金属性の結合ボルト５４により相互に連結固定さ
れている。このため、第２の電極板４８を加圧すると自
動的に第２の金属ブロック体５２，結合ボルト５４，第
１の金属ブロック体５０がアース電位となる。従って、
第１の金属ブロック体５０は、圧電素子４２の片面に対
し、第２の電極板４８と同様に機能することになる。

【００４２】なお、前記結合ボルト５４は、絶縁性のカ
ラー５６により、圧電素子４２，４４および第１の電極
板４６と電気的に絶縁されている。

【００４３】さらに、第１の金属ブロック体５０のロー
タ対向面６０上には放射状の突起部６２が複数個形成さ
れている。上述した６つの分割電極板４６−１〜４６−
６の隣接する２つずつを１組とし、各組の中央に設けら
れたスリット部４６ｃに対応したロータ対向面６０上の
位置および方向に突起部６２が形成されている。従っ
て、突起部６２は、１２０°おきに３個設けられてい
る。

【００４４】このように構成された振動モータを用い
て、ロータ部３０を正転駆動する場合には、第２電極板
４８をアースし、１つおきの３つの分割電極板４６−
１，４６−３，４６−５を１つのグループとして、これ
らに共通の単相交流電圧を印加する。これにより、これ
らの分割電極板４６−１，４６−３，４６−５と接する
圧電素子４２，４４の各電圧印加領域には、交流電圧に
対応した振動が発生する。そして、この発生した振動の
山の中心からずれた位置に形成された突起部６２上に
は、一方向（準方向）の楕円振動が発生する。これによ
りロータ対向面６０と接するロータ部３０は準方向に回
転駆動されることになる。

【００４５】図５は、楕円振動の発生を説明するための
概略を示す図である。

【００４６】同図（Ａ）は、ステータ部４０を円周方向
に展開した図であり、モータ駆動電圧を印加する前の状
態を示している。隣接する２つの分割電極板を一組と
し、各組の一方の分割電極板４６−１，４６−３，４６
−５に対応したステータ４０の各領域をＡ領域、各組の
他方の分割電極板４６−２，４６−４，４６−６に対応
したステータ部４０の各領域をＢ領域とすると、各組の
Ａ領域とＢ領域の境界に３つの突起部６２が形成され、
ロータ部３０に接触している。

【００４７】同図（Ｂ）は、上述したステータ部４０の
Ａ領域のみにモータ駆動電圧を印加した場合の振動状態
を示している。突起部６２の端面のＡ領域側に着目する
と、ステータ部４０のＡ領域が延びたときには、ロータ
部３０を右方向に押出すように作用し、縮んだときには
ロータ部３０から離れる。従って、突起部６２端面のＡ
領域側には楕円振動が発生し、この楕円振動がロータ部
３０を一方向に回転駆動する。

【００４８】また、ロータ部３０を逆転駆動する場合
は、Ｂ領域のみに単相の交流電圧を印加する。このと
き、突起部６２端面のＢ領域側には楕円振動が発生し、
この楕円振動がロータ部３０を逆方向に回転駆動する。

【００４９】このように、本実施例の振動モータ１００
においては、駆動電圧を印加する分割電極板４６の領域
を切り換えることで、ロータ部３０を正転および逆転駆
動することができる。しかも、捩り振動必要とすること
なく、ロータ対向面６０表面に設けた突起部６２に直接
楕円振動させることができるため、モータの構成が簡単
なものとなり、しかも回転出力を効率良く発生させるこ
とができる。

【００５０】本実施例の振動モータ１００をより効率良
く駆動するためには、前記駆動電圧の周波数を、ステー
タ部４０が共振現象を起こすような値（共振周波数）に
基づいて設定することが好ましいが、この周波数で駆動
する場合の詳細な制御手順については後述する。 （２）第１実施例の動作 次に、本実施例の駆動回路１１０の詳細動作について説
明する。

【００５１】図６は、駆動回路１１０によって振動モー
タ１００を駆動制御する場合の詳細な動作手順を示す図
である。

【００５２】本実施例においては、駆動回路１１０は、
振動モータ１００の回転駆動に先立って、共振周波数の
検出動作を行う。そして、次にこの検出した共振周波数
に基づいて設定した周波数で振動モータ１００を回転駆
動する。なお、この共振周波数の検出動作は、振動モー
タ１００を回転駆動するごとにこの回転駆動に先立って
行うものであり、これにより、温度等の環境条件が異な
り共振周波数が異なった場合でも、常に共振周波数を見
出だして振動モータ１００を回転駆動することができる
ようになっている。

【００５３】起動スイッチ１２２を操作することによ
り、振動モータ１００の駆動（例えば正転駆動）が指示
され、以下の制御動作を行う。

【００５４】まず、駆動回路１１０は、振動モータ１０
０に対し共振周波数検出用の振幅値の小さな交流電圧を
印加する（ステップ６０１）。具体的には、制御部１２
０は、増幅器１１４に指示を送って増幅器１１４の増幅
利得を低く設定すると共に、掃引回路１１６に指示を送
って、掃引回路１１６から発振器１１２に印加される電
圧が初期値となるように設定する。発振器１１２は、掃
引回路１１６の出力電圧に応じた周波数の信号を出力す
る。そして、増幅器１１４は、この所定周波数の出力信
号を低利得（低い増幅率）で増幅し、出力する。この増
幅出力は、切替えスイッチ１２４を介して、分割電極板
４６−１〜４６−６の内の一群に供給される。正転駆動
の場合は、Ａ群の分割電極板４６−１，４６−３，４６
−５のそれぞれに供給される。

【００５５】次に、駆動回路１１０は、振動モータ１０
０に印加する共振周波数検出用交流電圧の周波数を掃引
する。具体的には、制御部１２０は、掃引回路１１６に
指示を送り、掃引回路１１６はこの指示に応じて、出力
する制御電圧を連続的に変化させる。例えば、初期値と
なる制御電圧から徐々に電圧値が上昇するように変化さ
せる。発振器１１２は、この掃引回路１１６の制御電圧
の変化に応じて、出力周波数を変化させる。この発振器
の出力は、増幅器１１４により増幅されて、切替スイッ
チ１２４を介して振動モータ１００の分割電極板４６−
１，４６−３，４６−５に印加される。従って、振動モ
ータ１００に印加される共振周波数検出用交流電圧の周
波数が次第に変化し、周波数の掃引動作が行われる。

【００５６】次に、駆動回路１１０は、共振周波数の検
出を行う（ステップ６０３）。上述したステップ６０２
において振動モータ１００に共振周波数検出用交流電圧
が印加されている際に、共振周波数検出部１１８は、振
動モータ１００のステータ部４０が共振点にあるか否か
を検出している。具体的には、負荷インピーダンスが最
少となる周波数、あるいは抵抗１２６に流れる電流が最
大となる周波数を検出する。検出結果は、制御部１２０
に通知される。

【００５７】次に、駆動回路１００は、駆動周波数の設
定を行う（ステップ６０４）。共振周波数検出部１１８
からの検出結果が入力されると、制御部１２０は、検出
した共振周波数に対してΔｆだけ加えた周波数を振動モ
ータ１００の駆動周波数として設定する（このΔｆの意
味については後述する）。

【００５８】次に、駆動回路１１０は、振動モータ１０
０に対し駆動電圧を印加する（ステップ６０５）。

【００５９】具体的には、最初に制御部１２０は、決定
した駆動周波数（「第１の周波数ｆ１」とする）より所
定の値だけ高い周波数（「第２の周波数ｆ２」とする）
を発生させるための制御電圧を、掃引回路１１６を介し
て発振器１１２に印加する。発振器１１２は、この印加
される制御電圧に対応して第２の周波数ｆ２の交流電圧
を出力する。次に制御部１２０は、第２の周波数ｆ２か
ら第１の周波数ｆ１まで周波数を掃引するために制御電
圧を変化させ、この変化する制御電圧を掃引回路１１６
を介して発振器１１２に印加する。発振器１１２は、こ
の印加される制御電圧に対して、第２の周波数ｆ２から
第１の周波数ｆ１に向けて周波数が変化する交流電圧を
出力する。このようにして、最終的に第１の周波数ｆ１
の交流電圧が発振器１１２から出力される。

【００６０】また、このような周波数の掃引動作と並行
して、制御部１２０は、増幅器１１４に指示を送って増
幅器１１４の増幅利得を高く設定する。従って、増幅器
１１４は、高い増幅率で掃引される発振器１１２の出力
を増幅し、この増幅出力は切替スイッチ１２４を介して
振動モータ１００に駆動電圧として供給される。これに
より、第２の周波数ｆ２から第１の周波数ｆ１に向けて
駆動周波数が変化し、最終的には、第１の周波数ｆ１を
駆動周波数として振動モータ１００が正転駆動される。

【００６１】なお、上述した周波数の掃引動作は、最終
的に目標とする第１の周波数ｆ１で振動モータ１００を
効率よく駆動するために行うものであるが、この掃引動
作を行わずに、検出した共振周波数により設定した第１
の周波数ｆ１によって直接振動モータ１００を正転駆動
するようにしてもよい。

【００６２】図７は、圧電素子４２，４４に印加される
交流電圧の周波数とインピダンスとの関係を示す図であ
る。横軸が周波数ｆを、縦軸がインピダンスＺをそれぞ
れ示している。

【００６３】例えば、周波数ｆを低周波側から高周波側
に掃引する場合を考える。周波数ｆを徐々に上げていく
と、インピダンスＺは、ほぼ一定の状態を保った後、急
激に低下し、その後再び急激に上昇する。このインピダ
ンスＺが極小となる点（図中Ａ点）が共振点であり、こ
のときの周波数ｆ１がステップ６０３で検出される共振
周波数である。なお、同図に示すようにＢ点には極大点
があらわれるが、この点は***振点であり実際のモータ
駆動には使われない。

【００６４】ところで、実際のモータ駆動に際しては、
モータの駆動周波数を共振周波数よりΔｆだけ高く設定
している。これは、共振点Ａにおける振幅があまり大き
い場合には圧電素子４２，４４が割れる等の不都合を生
じる場合があるからである。

【００６５】なお、振幅があまり大きくならず、上記不
都合が生じない場合は、モータ駆動周波数を共振周波数
と同一としてもよい。 （３）第１実施例のまとめ このように、本実施例によれば、発振器１１２から出力
される所定周波数の交流電圧を増幅器１１４で電力増幅
し駆動電圧とする。そして、この駆動電圧を切替スイッ
チ１２４によって、振動モータ１００の圧電素子４４の
片面に設けられたＡ群の電極板（４６−１，４６−３，
４６−５）、あるいはＢ群の電極板（４６−２，４６−
４，４６−６）に選択的に印加する。このようにして、
Ａ群の電極板４６に駆動電圧を印加することにより、振
動モータ１００の正転駆動が行われ、反対にＢ群の電極
板４６に駆動電圧を印加することにより、振動モータ１
００が逆転駆動される。従って、１つの増幅器１１４を
用い、その出力を切替えスイッチ１２４により印加先を
切り換えることにより、振動モータ１００の正転および
逆転の両方の駆動が可能となる。このため、増幅器１１
４が１つで済み、駆動回路１１０を簡略化することがで
きるとともに、製造コストの低減も可能となる。

【００６６】また、本実施例においては、起動スイッチ
１１２を操作するごとに、振動モータ１００の回転駆動
に先立って、共振周波数の検出動作を行っている。すな
わち、低電圧の交流電圧を振動モータ１００に印加しな
がら、この交流電圧の周波数を所定方向に掃引し、この
掃引動作と平行して共振周波数の検出を行っている。共
振周波数を検出後、この検出した共振周波数により決定
した駆動周波数で、振動モータ１００を駆動するので、
振動モータ１００を最大効率で駆動することができる。
しかも、随時周波数を追尾する場合に比べると回路規模
を縮小することができる。 （４）第１実施例の変形態様 上述した実施例においては、共振周波数の検出を負荷イ
ンピーダンスが最少となる周波数、あるいは抵抗１２６
に流れる電流が最大となる周波数を検出することにより
行っていたが、圧電素子４２，４４の端面にフィードバ
ック用電極を設け、この電極を介して検出される振動の
振幅が最大となったときの周波数を共振周波数として検
出するようにしてもよい。

【００６７】図１７は、フィードバック用の電極板４７
からの電圧信号に基づいて共振周波数の検出を行う場合
の駆動回路１１０の構成を示す図である。同図におい
て、共振周波数検出部１１８は、電極板（ＦＢ）４７の
電圧を監視しており、その振動振幅が最大となる周波数
を検出する。検出結果は、制御部１２０に通知される。

【００６８】なお、駆動回路１１０内の他の構成につい
ては、上述した第１実施例と同じであり、その説明は省
略する。また、共振周波数の検出をフィードバック用の
電極板４７からの出力電圧によって行っているため、図
１に示した抵抗１２６は不要であり、電極板４８は直接
接地されている。

【００６９】また、上述した実施例においては、共振周
波数の検出を負荷インピーダンスが最少となる周波数、
あるいは抵抗１２６に流れる電流が最大となる周波数、
あるいは抵抗１２６に流れる電流が最大となる周波数を
検出することにより行っていたが、圧電素子４２，４４
の端面にフィードバック用電極を設け、この電極を介し
て検出される振動の振幅が最大となったときの周波数を
共振周波数として検出するようにしてもよい。

【００７０】図１７は、フィードバック用の電極板４７
からの電圧信号に基づいて共振周波数の検出を行う場合
の駆動回路１１０の構成を示す図である。同図におい
て、共振周波数検出部１１８は、電極板（ＦＢ）４７の
電圧を監視しており、その振動振幅が最大となる周波数
を検出する。検出結果は、制御部１２０に通知される。

【００７１】なお、駆動回路１１０内の他の構成につい
ては、上述した第１実施例と同じであり、その説明は省
略する。

【００７２】また、上述した実施例においては、制御対
象となる振動モータ１００は、ボルト締めランジュバン
型振動モータを例にとって説明したが、図４に示した構
造のもの以外にも種々のものが考えられる。

【００７３】図８は、振動モータの他の構造例を示す図
である。なお、上述した実施例と対応する部材には同一
符号を付し、その説明は省略する。

【００７４】図８に示した振動モータの特徴は、１枚の
圧電素子４４を用いて振動発生部を構成することによ
り、構造が簡単で安価な振動モータを提供することにあ
る。この振動モータは、図４に示した振動モータに比べ
て駆動力が約半分であり、比較的小出力の用途に使用さ
れる。

【００７５】この場合のステータ部４０は、第１の圧電
素子４４のみを有し、図４に示した第２の圧電素子４２
を絶縁板４３で置き換えた構成をなしている。この絶縁
板４３は、アースと同電位である第１の金属ブロック体
５０と第１の電極板４６の各分割電極板とを電気的に絶
縁するためのものである。その他の構成は、上述した実
施例に示した振動モータ１００と特に変わりはない。

【００７６】図９は、電極板４６を上述した６分割から
４分割に換えた場合の電極板４６およびそれに対応する
第１の金属ブロック体５０上の突起部６２の状態を示す
図である。突起部６２は、隣接する分割電極板の中央付
近に対応して形成されているため、電極板４６が４分割
された場合には、突起部６２は２箇所となる。その他の
構成は、図４あるいは図８に示されたものと同様であ
り、交流電圧を切替スイッチ１２４により切り換えて選
択的に印加することにより、正転あるいは逆転駆動する
ことができる。

【００７７】また、本実施例の駆動回路１１０は、定在
波型の振動モータであればボルト締めランジュバン型振
動モータ以外の振動モータを駆動制御することも可能で
ある。以下に、一例として定在波を用いた円環型振動モ
ータについて説明する。

【００７８】図１０は、この円環型振動モータの概略構
造を示す図である。振動モータ２００は、リング形状を
した偏平薄型のステータ部２１０と、このステータ部の
ロータ対向面２３４に発生する楕円振動により回転駆動
されるロータ部２５０とを含む。なお、同図において、
ロータ部２５０は、ステータ部２１０の構造を視覚的に
解り易く図示するため、その一部が切り欠いて示されて
いる。

【００７９】図１１は、前記ステータ部２１０の分解斜
視図を概略的に示す図である。このステータ部２１０
は、リング形状に形成された圧電素子２２０と、この圧
電素子２２０の片面側に積層されたリング形状の振動弾
性体２３０とを有し、両者は接着剤を介して一体的に固
定されている。

【００８０】圧電素子２２０の表面側には、図１２に示
すようロータ部２５０の回転方向に沿って１２個の表面
電極２４０−１，２４０−２，…２４０−１２が形成さ
れている。さらに、圧電素子２２０の裏面側には、図１
２に示すよう４個の表面電極２４２−１，２４２−２，
２４２−３，２４２−４が同様にして被覆形成されてい
る。なお、等間隔に形成された５個の電極２４０−１，
２４０−２，…２４０−５は、圧電素子２２０を介して
その裏面側の電極２４２−１と対向しており、また同様
に等間隔に形成された５個の電極２４０−７，２４０−
８，…２４０−１１は、圧電素子２２０を介してその裏
面側の電極２４２−３と対向している。さらに、電極２
４０−６，２４０−１２は、圧電素子２２０の裏面側に
形成された電極２４２−２，２４２−４と対向してい
る。

【００８１】このようにして被覆形成された電極を用
い、図１２に示すよう、実施例の圧電素子２２０は、そ
の表面側にロータ回転方向に沿って１２個の分極領域２
４４−１，２４４−２，…２４４−１２が形成される。
隣接する各分極同士は、互いにその分極方向が異なるよ
う形成される。なお、同図において符号「＋」，「−」
は、圧電素子の分極方向を示している。そして、等間隔
に分極された２４４−１，２４４−２，…２４４−５の
５つの領域はＡ相の分極領域として用いられ、等間隔に
分極された２４４−７，２４４−５，…２４４−１１の
５つの分極領域はＢ相分極領域として用いられ、これら
Ａ相及びＢ相の分極領域の間に位置する２４４−６，２
４４−１２の分極領域はフィードバック用分極領域とし
て用いられる。

【００８２】前記振動弾性体２３０は、圧電素子２２０
に生じた超音波振動を効率よく伝えて振動するよう、例
えば銅合金などを用いて形成されている。そして、前記
圧電素子２２０のＡ相分極領域２４４−１，２４４−
２，…２４４−５又はＢ相分極領域２４４−７，２４４
−８，…２４４−１１に所定の単相交流電圧を印加する
ことにより、前記振動弾性体２３０のロータ対向面２３
４には、定在波が発生する。このとき、圧電素子２２０
に発生する振動の周波数及び振幅等の情報は、フィード
バック用分極領域２４０−６及び２４２−２と、２４０
−１２及び２４２−４を介して検出される。この信号は
図１に示す駆動回路１１０内の共振周波数検出部１１８
に入力される。共振周波数検出部１１８は、この検出信
号の振幅値が最大となる周波数を共振周波数と判定す
る。

【００８３】前記振動弾性体２３０のロータ対向面２３
４の上にはロータ部２２０の回転方向に沿って複数の突
起部２３２が設けられている。

【００８４】これら各突起部２３２は、前記定在波の腹
と節の中間位置に形成され、ロータ対向面２３４に発生
する定在波を楕円振動に変換し、突起部２３２に接する
前記ロータ部２５０を回転駆動するよう構成されてい
る。実施例ではロータ対向面２３４に６波長の定在波が
発生するため、前記複数の突起部２３２は、定在波の腹
と節の中間位置に合計１２個形成されている。また、前
記ロータ部２５０は、リング２６０と、このリング２６
０のステータ接触面に接着固定された摩擦剤２７０とを
有し、摩擦剤２７０が振動弾性体２３０の表面側に設け
られた突起部２３２に所定の圧力をもって接するよう形
成されている。したがって、振動弾性体２３０の表面に
発生する超音波の楕円振動による駆動力は、摩擦剤２７
０により効率よくロータ部２５０へ伝達され、ロータ部
２５０は所定方向に回転駆動されることになる。

【００８５】図１４は、このような振動モータ２００の
駆動原理を示す図である。

【００８６】同図（Ａ）は、ステータ部２１０を円周方
向に展開した概略図であり、符号「＋」は印加する交流
電圧が正の時に伸びる領域（圧電素子２２０の「＋」の
分極領域に相当する）を表し、符号「−」は印加する交
流電圧の電位が正の時縮む領域（圧電素子２２０の
「−」の分極領域に相当する）をそれぞれ示している。
同図（Ｂ）は、圧電素子２２０のＡ相分極領域２４４−
１，２４４−２，…２４４−５に単相交流電圧を印加し
た場合におけるステータ部２１０のロータ対向面２３４
の振動の様子が示されている。この単相交流電圧の印加
は、駆動回路１１０内の切替スイッチ１２４を切替える
ことにより行う。同図に示すように、Ａ相分極領域２４
４−１，２４４−２，…２４４−５に単相交流電圧を印
加した場合には、第１の定在波が発生すし、ロータ部２
５０が正転駆動される。

【００８７】同図（Ｃ）は、圧電素子２２０のＢ相分極
領域２４４−７，２４４−８，…２１４４−１１に単相
交流電圧を印加した場合におけるステータ部２１０のロ
ータ対向面２３４の振動の様子が示されている。この単
相交流電圧の印加は、駆動回路１１０内の切替スイッチ
１２４を反対側に切替えることにより行う。同図に示す
よう、Ｂ相分極領域２４４−７，２４４−８，…２４４
−１１に単相交流電圧を印加した場合には、第２の定在
波が発生する。この定在波によりロータ部２５０が反転
駆動される。

【００８８】このように、円環型振動モータ２００を駆
動する場合にも、駆動回路１１０内の切替スイッチ１２
４を切替えることにより、駆動電圧を印加する圧電素子
２２０の領域（Ａ相，Ｂ相）を任意に選択することがで
き、振動モータ２００の正転あるいは逆転駆動が可能と
なる。また、この振動モータ２００の駆動に先立って共
振周波数を検出する場合には、フィードバック用分極領
域２４０−６及び２４２−２、あるいは２４０−１２及
び２４２−４を介して検出されるフィードバック信号に
基づいて共振周波数検出部１１８が共振点の検出を行
う。このとき、予め低電圧の交流電圧を印加して共振周
波数の検出を行う点はボルト締めランジュバン型振動モ
ータ１００の場合と全く同様である。

【００８９】第２実施例 図１５は、本発明を適用した第２実施例の駆動回路の構
成を示す図である。同図には、駆動回路３１０の詳細構
成と、この駆動回路３１０によって駆動制御される振動
モータ１００との接続状態が示されている。

【００９０】本実施例の駆動回路３１０は、第１実施例
の駆動回路１１０に対して、増幅器１１４を駆動用増幅
器１１４ａと共振点検出用増幅器１１４ｂに置き換えた
点が異なっている。すなわち、発振器１１２から出力さ
れる交流電圧が駆動用増幅器１１４ａと共振点検出用増
幅器１１４ｂの両方にそれぞれ入力されており、増幅器
１１４ａ，１１４ｂの各出力が共に切替スイッチ１２４
を介して振動モータ１００の圧電素子に印加されるよう
になっている。

【００９１】なお、第１実施例の駆動回路１１０と共通
する構成については同じ符号を付してその詳細説明は省
略する。

【００９２】駆動用増幅器１１４ａは、発振器１１２か
ら出力される所定周波数の交流電圧を高い増幅率で増幅
して、振動モータ１００の駆動に必要なモータ駆動電圧
を出力するものである。このモータ駆動電圧は切替スイ
ッチ１２４を介して振動モー／１００の電極板４６に印
加される。

【００９３】共振点検出用増幅器１１４ｂは、発振器１
１２から出力される所定周波数の交流電圧を低い増幅率
で増幅して、共振周波数検出用の小さな振幅値の交流電
圧を出力する。この振幅値の小さな交流電圧は切替スイ
ッチ１２４を介して振動モータ１００の電極板４６に印
加されるが、共振周波数を検出するためにはＡ群の分割
電極板４６−１，４６−３，４６−５あるいはＢ群の分
割電極板４６−２，４６−４，４６−６のいずれを選択
するようにしてもよい。

【００９４】駆動用増幅器１１４ａと共振点検出用増幅
器１１４ｂは、制御部１２０からの動作指示に応じて、
選択的に動作するようになっている。したがって、駆動
用増幅器１１４ａのみが動作しているときは、モータ駆
動電圧のみが切替えスイッチ１２４を介してＡ群あるい
はＢ群の電極板４６に印加される。また、共振点検出用
増幅器１１４ｂが動作しているときは、共振周波数検出
用の交流電圧のみが切替えスイッチ１２４を介してＡ群
あるいはＢ群の電極板４６に印加される。

【００９５】これにより、第１実施例においては増幅器
１１４の増幅率を切替えることにより、選択的に出力し
ていたモータ駆動電圧と共振周波数検出用電圧とをそれ
ぞれ異なる増幅器１１４ａ，１１４ｂで作り出してい
る。したがって、本実施例の制御部１２０によって駆動
用増幅器１１４ａと共振点検出用増幅器１１４ｂを選択
的に切替えて有効にすることにより、第１実施例におい
て増幅器１１４の増幅率を切替えたのとまったく同様の
動作を行わせることが可能となる。

【００９６】この場合であっても、共振点検出用増幅器
１１４ｂは低利得であるため、比較的回路規機は小さく
なる。

【００９７】なお、本発明は前記各実施例に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内で各種の変形実施
が可能である。

【００９８】上述した第１実施例及び第２実施例におい
ては、単相のモータ駆動電圧を振動モータ１００あるい
は振動モータ２００に印加することにより、正転あるい
は逆転駆動する場合を説明したが、本発明は単相に限ら
ず２相あるいは３相以上のモータ駆動電圧を用いて定在
波を発生させるタイプの振動モータを用いる場合であっ
てもよい。この場合は、増幅器１１４あるいは駆動用増
幅器１１４ａを相数分備え、これらの各出力（モータ駆
動電圧）を切り替えスイッチ１２４で切り替えて振動モ
ータに印加する。これにより、振動モータの正転駆動用
および反転駆動用の増幅器１１４あるいは駆動用増幅器
１１４ａを共用化することができる。したがって、駆動
回路の回路規模を縮小することができると共に、効率よ
く回転方向を切替えることができる。また、この回転駆
動に先立って共振周波数を検出することにより、この共
振周波数に基づいて設定した周波数で駆動することによ
り、最適駆動周波数で駆動できる点は、第１実施例等と
同様である。

【００９９】また、上述した各実施例においては、駆動
回路１１０，３１０において、制御部１２０，共振周波
数検出部１１８等を別個の構成にしたが、それぞれの機
能を有するのもであれば制御部１２０に共振周波数検出
部１１８の機能を持たせたり、制御部１２０に掃引回路
１１６の機能を持たせたりしてもよい。

【０１００】

【発明の効果】本発明においては、増幅器から出力され
るモータ駆動電圧の印加先を切替スイッチによって切替
えることにより、振動モータを正転および逆転の双方向
に回転駆動することができる。従って、切替スイッチに
よる切替えを行うだけで、振動モータの回転方向を効率
良く切替えることができる。

【０１０１】また、振動モータの正転駆動用のモータ駆
動電圧と、反転駆動用のモータ駆動電圧とを共通の増幅
器から出力することができるため、駆動回路の回路規模
を縮小することができる。

【０１０２】また、振動モータの回転駆動に先立ってス
テータ部の共振周波数を検出しており、この共振周波数
に基づいて設定した周波数で振動モータの回転駆動を行
うことができるので、最適駆動周波数で振動モータを駆
動することができる。また、この共振周波数の検出は、
モータの駆動に先立って行っているため、回転駆動中に
随時最適駆動周波数を追尾するための複雑な構成が不要
であり、回路規模を縮小することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した第１実施例の駆動回路の構成
を示す図である。

【図２】図１の駆動回路によって駆動制御される振動モ
ータの概略的な構成を示す図である。

【図３】振動モータのステータ部を組み立てた状態を示
す図である。

【図４】振動モータのステータ部の分解斜視図である。

【図５】振動モータのステータ部に発生する楕円振動を
説明するための図である。

【図６】第１実施例の駆動回路によって振動モータを駆
動制御する場合の詳細な動作手順を示す図である。

【図７】圧電素子に印加される交流電圧の周波数とイン
ピーダンスとの関係を示す図である。

【図８】振動モータのたの構造例を示す図である。

【図９】振動モータの他の構造例を示す図である。

【図１０】円環型振動モータの概略構造を示す図であ
る。

【図１１】円環型振動モータのステータ部の分解斜視図
を示す図である。

【図１２】円環型振動モータに用いられる圧電素子の正
面の説明図である。

【図１３】円環型振動モータに用いられる圧電素子の裏
面の説明図である。

【図１４】円環型振動モータの動作原理を示す図であ
る。

【図１５】本発明を適用した第２実施例の駆動回路の構
成を示す図である。

【図１６】従来の進行波型振動モータの駆動回路の一例
を示す図である。

【図１７】フィードバック用電極からの振動振幅によっ
て共振周波数を検出する場合の駆動回路の構成を示す図
である。

【符号の説明】

１１０ 駆動回路 １１２ 発振器 １１４ 増幅器 １１６ 掃引回路 １１８ 共振周波数検出部 １２０ 制御部 １２２ 起動スイッチ １２４ 切替スイッチ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ステータ部の圧電素子を複数領域に分割
   し、この分割された領域にモータ駆動電圧を印加して、
   得られた定在性振動波によってロータ部を回転させる振
   動モータの駆動制御を行う振動モータの駆動回路におい
   て、 モータ駆動用の所定周波数の交流電圧を発生する発振器
   と、 前記発振器で発生した交流電圧を増幅してモータ駆動電
   圧を出力する増幅器と、 前記圧電素子内の領域を選択し、この選択した領域に対
   して前記増幅器から出力されるモータ駆動電圧を印加す
   る切替スイッチと、 を備え、前記切替スイッチによってモータ駆動電圧を印
   加する前記圧電素子内の領域を選択することにより、振
   動モータの正転あるいは反転駆動を行うことを特徴とす
   る振動モータの駆動回路。
2. 【請求項２】 ステータ部の圧電素子にモータ駆動電圧
   を印加し、得られた定在性振動波によってロータ部を回
   転させる振動モータの駆動制御を行う振動モータ駆動の
   駆動回路において、 所定周波数の交流電圧を発生する発振器と、 前記発振器で発生した交流電圧を増幅してモータ駆動電
   圧あるいは共振周波数検出用電圧を出力する増幅器と、 前記圧電素子に接続され、前記ステータ部の共振周波数
   の検出を行う共振周波数検出部と、 前記発振器によって発生する共振周波数検出用電圧の周
   波数を所定範囲で掃引する掃引部と、 前記掃引部によって前記発振器で発生した共振周波数検
   出用の周波数を掃引しているときは前記増幅器の増幅率
   を低く設定して前記共振周波数検出部による共振周波数
   の検出を行い、その後、この検出した共振周波数に基づ
   いて前記発振器の出力周波数を設定すると共に、前記増
   幅器の増幅率を高く設定して共振周波数のモータ駆動電
   圧を前記ステータ部の圧電素子に印加する制御を行う制
   御部と、 を備え、モータ駆動に先立って前記ステータ部の共振周
   波数を検出し、この共振周波数に基づいて設定した周波
   数でモータの回転駆動を行うことを特徴とする振動モー
   タの駆動回路。
3. 【請求項３】 ステータ部の圧電素子を複数領域に分割
   し、この分割された領域にモータ駆動電圧を印加して、
   得られた定在性振動波によってロータ部を回転させる振
   動モータの駆動制御を行う振動モータの駆動回路におい
   て、 所定周波数の交流電圧を発生する発振器と、 前記発振器で発生した交流電圧を増幅してモータ駆動電
   圧あるいは共振周波数検出用電圧を出力する増幅器と、 前記圧電素子内の領域を選択し、この選択した領域に対
   して前記増幅器から出力されるモータ駆動電圧あるいは
   共振周波数検出用電圧を印加する切替スイッチと、 前記圧電素子に接続され、前記ステータ部の共振周波数
   の検出を行う共振周波数検出部と、 前記発振器によって発生する共振周波数検出用電圧の周
   波数を所定範囲で掃引する掃引部と、 前記掃引部によって前記発振器で発生した共振周波数検
   出用の周波数を掃引しているときは、前記増幅器の増幅
   率を低く設定することにより共振周波数検出用電圧を前
   記圧電素子に印加して、前記共振周波数検出部による共
   振周波数の検出を行い、その後この検出した共振周波数
   に基づいて前記発振器の出力周波数を設定すると共に、
   前記増幅器の増幅率を高く設定することによりモータ駆
   動用電圧を出力して、この共振周波数のモータ駆動電圧
   を前記ステータ部の圧電素子に印加する制御を行う制御
   部と、 を備え、前記切替スイッチによって前記ステータ部の共
   振周波数に基づいて設定した周波数のモータ駆動電圧を
   印加する前記圧電素子内の領域を選択することにより、
   振動モータの正転あるいは反転駆動を行うことを特徴と
   する振動モータの駆動回路。
4. 【請求項４】 請求項２又は３において、 前記増幅器を増幅率が高いモータ駆動用増幅器と増幅率
   が低い共振点検出用増幅器とに分けて構成し、 前記制御部は、増幅率を低く設定するときは前記共振点
   検出用増幅器の増幅動作を有効にし、増幅率を高く設定
   するときは前記モータ駆動用増幅器の増幅動作を有効に
   することを特徴とする振動モータの駆動回路。