JPH06172041A - 窒化アルミニウム基板の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム基板の製造方法Info
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- JPH06172041A JPH06172041A JP4350983A JP35098392A JPH06172041A JP H06172041 A JPH06172041 A JP H06172041A JP 4350983 A JP4350983 A JP 4350983A JP 35098392 A JP35098392 A JP 35098392A JP H06172041 A JPH06172041 A JP H06172041A
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- aluminum nitride
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
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- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】うねり、表面粗さの優れた窒化アルミニウム基
板を製造する。 【構成】グリーンシート中のバインダーを溶解させにく
い有機溶媒を用いたセラミックパウダー分散液を該グリ
ーンシート同志または、グリーンシートと載置板間に介
在せしめた後、脱脂・焼成を行う。
板を製造する。 【構成】グリーンシート中のバインダーを溶解させにく
い有機溶媒を用いたセラミックパウダー分散液を該グリ
ーンシート同志または、グリーンシートと載置板間に介
在せしめた後、脱脂・焼成を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、窒化アルミニウムグリ
ーンシートを、多段積みして焼成する窒化アルミニウム
基板の製造方法に関するものである。
ーンシートを、多段積みして焼成する窒化アルミニウム
基板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、窒化アルミニウム基板を多段積み
して製造する場合、窒化アルミニウムグリーンシートの
各積層面に塗布するセラミックパウダーの分散液に、以
下のようなものが使われていた。例えば、特開平３−１
３７０５８号公報に記載されているように、窒化硼素粉
末を１，１，１−トリクロルエタンに分散した液を、窒
化アルミニウムグリーンシートの各積層面にスプレーに
より塗布して、１，１，１−トリクロルエタンは乾燥飛
散させ、窒化硼素粉末を該グリーンシート同志または、
グリーンシートと載置板（セッター）間に介在せしめよ
うとするものである。
して製造する場合、窒化アルミニウムグリーンシートの
各積層面に塗布するセラミックパウダーの分散液に、以
下のようなものが使われていた。例えば、特開平３−１
３７０５８号公報に記載されているように、窒化硼素粉
末を１，１，１−トリクロルエタンに分散した液を、窒
化アルミニウムグリーンシートの各積層面にスプレーに
より塗布して、１，１，１−トリクロルエタンは乾燥飛
散させ、窒化硼素粉末を該グリーンシート同志または、
グリーンシートと載置板（セッター）間に介在せしめよ
うとするものである。
【０００３】しかしながら、１，１，１−トリクロルエ
タンは、窒化アルミニウムグリーンシートのバインダー
を非常に良く溶解させやすい溶媒なので、該窒化アルミ
ニウムグリーンシートの表面を荒らしてしまい、この影
響で焼成後の窒化アルミニウム基板の表面を粗くしてし
まうという欠点があった。
タンは、窒化アルミニウムグリーンシートのバインダー
を非常に良く溶解させやすい溶媒なので、該窒化アルミ
ニウムグリーンシートの表面を荒らしてしまい、この影
響で焼成後の窒化アルミニウム基板の表面を粗くしてし
まうという欠点があった。
【０００４】また、例えば、特開平４−３７６５１号公
報に記載されているように、アルミナ粉末を純水に分散
した液を、窒化アルミニウムグリーンシートの各積層面
にスプレーにより塗布する方法が提案されている。しか
しながら、水溶媒は窒化アルミニウムグリーンシートの
バインダーは溶解しないが、窒化アルミニウム粉末と反
応し、該グリーンシート表面を変質させてしまうという
欠点があった。
報に記載されているように、アルミナ粉末を純水に分散
した液を、窒化アルミニウムグリーンシートの各積層面
にスプレーにより塗布する方法が提案されている。しか
しながら、水溶媒は窒化アルミニウムグリーンシートの
バインダーは溶解しないが、窒化アルミニウム粉末と反
応し、該グリーンシート表面を変質させてしまうという
欠点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術の有
する前述の欠点を解消することを目的とするものであ
り、従来知られていなかった窒化アルミニウムの製造方
法により、グリーンシートの表面平滑性を維持するもの
である。
する前述の欠点を解消することを目的とするものであ
り、従来知られていなかった窒化アルミニウムの製造方
法により、グリーンシートの表面平滑性を維持するもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の課題を解
決すべくなされたものであり、窒化アルミニウム基板の
製造方法であって、グリーンシート中のバインダーを溶
解させにくい有機溶媒を用いたセラミックパウダー分散
液を該グリーンシート同志または、グリーンシートと載
置板間に介在せしめた後、脱脂・焼成することを特徴と
する窒化アルミニウム基板の製造方法を提供するもので
ある。
決すべくなされたものであり、窒化アルミニウム基板の
製造方法であって、グリーンシート中のバインダーを溶
解させにくい有機溶媒を用いたセラミックパウダー分散
液を該グリーンシート同志または、グリーンシートと載
置板間に介在せしめた後、脱脂・焼成することを特徴と
する窒化アルミニウム基板の製造方法を提供するもので
ある。
【０００７】本発明で使用する分散液中の有機溶媒とし
ては、グリーンシート中のバインダーとの関係で該バイ
ンダーを溶解させにくいものであれば任意のものが可能
である。
ては、グリーンシート中のバインダーとの関係で該バイ
ンダーを溶解させにくいものであれば任意のものが可能
である。
【０００８】一般にいえば分散溶媒としては、揮発性の
高いものが自然乾燥が可能であったり、作業時間の関係
から好ましいが、塗布工程後に乾燥工程を入れれば、揮
発性の低い溶媒でも差支えない。また、溶媒は混合溶媒
でもよいし、セラミックパウダーを均一分散させるため
に界面活性剤・分散剤などを添加しても構わない。
高いものが自然乾燥が可能であったり、作業時間の関係
から好ましいが、塗布工程後に乾燥工程を入れれば、揮
発性の低い溶媒でも差支えない。また、溶媒は混合溶媒
でもよいし、セラミックパウダーを均一分散させるため
に界面活性剤・分散剤などを添加しても構わない。
【０００９】塗布法としては、スプレー法が一般的であ
るが、刷毛等で塗布してもよく、要するに分散液を平面
上に均一に塗布できる方法ならば、とくに問わない。ま
た、塗布面は、グリーンシートの片面でも両面でもよ
い。
るが、刷毛等で塗布してもよく、要するに分散液を平面
上に均一に塗布できる方法ならば、とくに問わない。ま
た、塗布面は、グリーンシートの片面でも両面でもよ
い。
【００１０】具体的に本発明を例示すると、グリーンシ
ート中のバインダーとして、ブチラールを用いたとき
は、セラミックパウダーを分散する溶媒としては、シク
ロヘキサン、ノルマルヘキサン、酢酸エチル、エチルエ
ーテルが使用できる。また、バインダーとしてメチルメ
タアクリレートを用いたときは、溶媒としてはメタノー
ル、エタノール、ノルマルヘキサンが使用できる。
ート中のバインダーとして、ブチラールを用いたとき
は、セラミックパウダーを分散する溶媒としては、シク
ロヘキサン、ノルマルヘキサン、酢酸エチル、エチルエ
ーテルが使用できる。また、バインダーとしてメチルメ
タアクリレートを用いたときは、溶媒としてはメタノー
ル、エタノール、ノルマルヘキサンが使用できる。
【００１１】
【作用】本発明にあっては、窒化アルミニウムグリーン
シートの各積層面に塗布するセラミックパウダーの分散
溶媒として、該グリーンシート中のバインダーを溶解さ
せにくい有機溶媒を使うので、成型時の該グリーンシー
トの表面平滑性を維持したままで、該グリーンシート同
志または、グリーンシートとセッター間に、接着防止の
セラミックパウダーを均一に介在せしめることができ
る。これにより、焼成後の基板表面も平滑になり、用途
によっては表面研磨の必要ないセラミック基板が得られ
る。
シートの各積層面に塗布するセラミックパウダーの分散
溶媒として、該グリーンシート中のバインダーを溶解さ
せにくい有機溶媒を使うので、成型時の該グリーンシー
トの表面平滑性を維持したままで、該グリーンシート同
志または、グリーンシートとセッター間に、接着防止の
セラミックパウダーを均一に介在せしめることができ
る。これにより、焼成後の基板表面も平滑になり、用途
によっては表面研磨の必要ないセラミック基板が得られ
る。
【００１２】
（実施例１）窒化アルミニウム粉末に焼結助剤である酸
化イットリウム粉末を全体の３．０重量％となるように
添加し、これら無機成分に対して、バインダーとしてブ
チラール樹脂を１０重量％、可塑剤としてブチルフタレ
ートを５重量％加え、トルエンなどの有機溶剤と混合し
てスラリーとした後、ドクターブレード法により成型
し、厚さ０．８５ｍｍの窒化アルミニウムグリーンシー
トを得た。ついでこのグリーンシートを１００ｍｍ角に
打ち抜いたものを２０枚用意した。
化イットリウム粉末を全体の３．０重量％となるように
添加し、これら無機成分に対して、バインダーとしてブ
チラール樹脂を１０重量％、可塑剤としてブチルフタレ
ートを５重量％加え、トルエンなどの有機溶剤と混合し
てスラリーとした後、ドクターブレード法により成型
し、厚さ０．８５ｍｍの窒化アルミニウムグリーンシー
トを得た。ついでこのグリーンシートを１００ｍｍ角に
打ち抜いたものを２０枚用意した。
【００１３】一方、平均粒径１０μｍの窒化硼素粉末を
シクロヘキサン中に分散させ、この分散液をスプレー法
によって前述の１００ｍｍ角のグリーンシートの片面に
塗布した。このときの窒化硼素粉末の塗布量は０．５ｍ
ｇ／ｃｍ2 であった。つづいて、１２０×１２０×１０
t ｍｍの窒化硼素質のセッター上に、前記の窒化硼素粉
末を塗布した窒化アルミニウムグリーンシートを２０枚
積み重ねた。
シクロヘキサン中に分散させ、この分散液をスプレー法
によって前述の１００ｍｍ角のグリーンシートの片面に
塗布した。このときの窒化硼素粉末の塗布量は０．５ｍ
ｇ／ｃｍ2 であった。つづいて、１２０×１２０×１０
t ｍｍの窒化硼素質のセッター上に、前記の窒化硼素粉
末を塗布した窒化アルミニウムグリーンシートを２０枚
積み重ねた。
【００１４】ついで、重し材として、１２０×１２０×
１０t ｍｍの窒化硼素質の焼結体を最上部に載せ、これ
らを空気中４５０℃、３時間加熱することにより窒化ア
ルミニウムグリーンシートの脱脂を行い、最後にこれら
を窒素含有非酸化性雰囲気中、１８５０℃、３時間常圧
焼結を行った。
１０t ｍｍの窒化硼素質の焼結体を最上部に載せ、これ
らを空気中４５０℃、３時間加熱することにより窒化ア
ルミニウムグリーンシートの脱脂を行い、最後にこれら
を窒素含有非酸化性雰囲気中、１８５０℃、３時間常圧
焼結を行った。
【００１５】得られた窒化アルミニウム基板は該窒化ア
ルミニウム基板相互間並びに該窒化アルミニウム基板と
セッター及び重し材との付着は全く無く、容易に分離す
ることができ、均質な透光性を示していた。この窒化ア
ルミニウム基板の熱伝導率は１５０Ｗ／ｍＫ、うねりは
５０μｍ／２５．４ｍｍ以下、表面粗さはＲａ＝０．６
μｍ以下、Ｒｍａｘ＝５μｍ以下であった。
ルミニウム基板相互間並びに該窒化アルミニウム基板と
セッター及び重し材との付着は全く無く、容易に分離す
ることができ、均質な透光性を示していた。この窒化ア
ルミニウム基板の熱伝導率は１５０Ｗ／ｍＫ、うねりは
５０μｍ／２５．４ｍｍ以下、表面粗さはＲａ＝０．６
μｍ以下、Ｒｍａｘ＝５μｍ以下であった。
【００１６】（実施例２）スプレー液の溶媒として、エ
チルエーテル、ノルマルヘキサン、酢酸エチルをそれぞ
れ使用する以外は実施例１と全く同様の方法で行った。
得られた窒化アルミニウム基板は実施例１とほぼ同様の
特性であった。
チルエーテル、ノルマルヘキサン、酢酸エチルをそれぞ
れ使用する以外は実施例１と全く同様の方法で行った。
得られた窒化アルミニウム基板は実施例１とほぼ同様の
特性であった。
【００１７】（実施例３）窒化アルミニウムグリーンシ
ートのバインダーとして、メチルメタアクリレート樹脂
を用い、脱脂の条件を窒素中５５０℃、３時間とした以
外は実施例１と全く同様の方法で行った。得られた窒化
アルミニウム基板は該窒化アルミニウム基板相互間並び
に該窒化アルミニウム基板とセッター及び重し材との付
着は全く無く、容易に分離することができ、均質な透光
性を示していた。この窒化アルミニウム基板の熱伝導率
は１９０Ｗ／ｍＫ、うねりは５０μｍ／２５．４ｍｍ以
下、表面粗さはＲａ＝０．６μｍ以下、Ｒｍａｘ＝５μ
ｍ以下であった。実施例１と違ってアクリル樹脂バイン
ダーのグリーンシートであり、窒素中５５０℃、３時間
で脱脂可能のため、窒化アルミニウムが酸化されず熱伝
導率が向上した。
ートのバインダーとして、メチルメタアクリレート樹脂
を用い、脱脂の条件を窒素中５５０℃、３時間とした以
外は実施例１と全く同様の方法で行った。得られた窒化
アルミニウム基板は該窒化アルミニウム基板相互間並び
に該窒化アルミニウム基板とセッター及び重し材との付
着は全く無く、容易に分離することができ、均質な透光
性を示していた。この窒化アルミニウム基板の熱伝導率
は１９０Ｗ／ｍＫ、うねりは５０μｍ／２５．４ｍｍ以
下、表面粗さはＲａ＝０．６μｍ以下、Ｒｍａｘ＝５μ
ｍ以下であった。実施例１と違ってアクリル樹脂バイン
ダーのグリーンシートであり、窒素中５５０℃、３時間
で脱脂可能のため、窒化アルミニウムが酸化されず熱伝
導率が向上した。
【００１８】（実施例４）スプレー液の溶媒として、メ
タノール、エタノール、ノルマルヘキサンをそれぞれ使
用する以外は実施例３と全く同様の方法で行った。得ら
れた窒化アルミニウム基板は実施例３とほぼ同様の特性
であった。
タノール、エタノール、ノルマルヘキサンをそれぞれ使
用する以外は実施例３と全く同様の方法で行った。得ら
れた窒化アルミニウム基板は実施例３とほぼ同様の特性
であった。
【００１９】（比較例）スプレー液の溶媒として、トリ
クロルエチレンを使用する以外は実施例１と全く同様の
方法で行った。得られた窒化アルミニウム基板は、該窒
化アルミニウム基板相互間並びに該窒化アルミニウム基
板とセッター及び重し材とに、一部の付着が見られた。
この窒化アルミニウム基板の熱伝導率は１５０Ｗ／ｍ
Ｋ、うねりは８０μｍ／２５．４ｍｍ、表面粗さはＲａ
＝０．８μｍ、Ｒｍａｘ＝９μｍであった。
クロルエチレンを使用する以外は実施例１と全く同様の
方法で行った。得られた窒化アルミニウム基板は、該窒
化アルミニウム基板相互間並びに該窒化アルミニウム基
板とセッター及び重し材とに、一部の付着が見られた。
この窒化アルミニウム基板の熱伝導率は１５０Ｗ／ｍ
Ｋ、うねりは８０μｍ／２５．４ｍｍ、表面粗さはＲａ
＝０．８μｍ、Ｒｍａｘ＝９μｍであった。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、窒化アルミニウム基板
を多段積み焼成して製造する際に用いられる、グリーン
シートに塗布するセラミックパウダー分散液の溶媒とし
て、グリーンシートのバインダーを溶解させない有機溶
媒を用いたので、成型時のグリーンシートの表面平滑性
を維持したまま多段積み焼成でき、うねり、表面粗さの
優れた窒化アルミニウム基板を製造することができる。
を多段積み焼成して製造する際に用いられる、グリーン
シートに塗布するセラミックパウダー分散液の溶媒とし
て、グリーンシートのバインダーを溶解させない有機溶
媒を用いたので、成型時のグリーンシートの表面平滑性
を維持したまま多段積み焼成でき、うねり、表面粗さの
優れた窒化アルミニウム基板を製造することができる。
Claims (1)
- 【請求項１】窒化アルミニウム基板の製造方法であっ
て、グリーンシート中のバインダーを溶解させにくい有
機溶媒を用いたセラミックパウダー分散液を該グリーン
シート同志または、グリーンシートと載置板間に介在せ
しめた後、脱脂・焼成することを特徴とする窒化アルミ
ニウム基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35098392A JP3308324B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35098392A JP3308324B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06172041A true JPH06172041A (ja) | 1994-06-21 |
| JP3308324B2 JP3308324B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=18414245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35098392A Expired - Fee Related JP3308324B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3308324B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007070218A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-03-22 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体 |
| WO2007018140A3 (ja) * | 2005-08-11 | 2007-05-24 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体 |
| JP2007131491A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JP2012232876A (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-29 | Hirohata Furnace Co Ltd | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JP2014073919A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Hitachi Metals Ltd | 窒化物系セラミックス基板の製造方法 |
-
1992
- 1992-12-04 JP JP35098392A patent/JP3308324B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007070218A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-03-22 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体 |
| WO2007018140A3 (ja) * | 2005-08-11 | 2007-05-24 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体 |
| EP1923372A2 (en) * | 2005-08-11 | 2008-05-21 | Tokuyama Corporation | Aluminum nitride sintered body |
| EP1923372A4 (en) * | 2005-08-11 | 2009-11-04 | Tokuyama Corp | Aluminum nitride sintered body |
| KR100970155B1 (ko) * | 2005-08-11 | 2010-07-14 | 가부시끼가이샤 도꾸야마 | 질화알루미늄 소결체 |
| US8597743B2 (en) | 2005-08-11 | 2013-12-03 | Tokuyama Corporation | Aluminum nitride sintered body |
| JP2007131491A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JP2012232876A (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-29 | Hirohata Furnace Co Ltd | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JP2014073919A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Hitachi Metals Ltd | 窒化物系セラミックス基板の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3308324B2 (ja) | 2002-07-29 |
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