JPH06169588A - Detecting method for contact of floating body of revolution, and spindle motor - Google Patents
Detecting method for contact of floating body of revolution, and spindle motorInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ダイシング装置におい
て取り付けた砥石刃が物体表面に接触したことを、物体
とスピンドルモータ間の導通を検出することにより行な
う場合等に、スピンドルモータの外筒より浮上して回転
する内筒に導電性ブラシを接触させて導通を検出する
が、その時導電性ブラシ自体が内筒に接触していること
を検出する浮上回転物の接触判定方法、及びそのような
確認を可能にしたスピンドルモータに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an outer cylinder of a spindle motor, for example, when the contact between a grindstone blade attached to a dicing device and the surface of an object is detected by detecting conduction between the object and the spindle motor. A method for determining contact of a levitation rotating object, in which a conductive brush is brought into contact with an inner cylinder that floats and rotates to detect conduction, but at that time the conductive brush itself is in contact with the inner cylinder, and such a method. A spindle motor that enables confirmation.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ウエハからＩＣチップを切り出す
のに使用されるダイシング装置は、ダイヤモンド等の砥
粒をニッケル等で固定した砥石刃を高速に回転させて加
工を行なう。このような高速回転を行なうため、空気又
は電磁気等の作用により回転する内筒が外筒より浮上す
るスピンドルモータが使用される。砥石刃は使用するに
従って摩耗し、外周の直径が徐々に減少する。砥石刃の
切り込み量は正確に制御される必要があり、砥石刃の外
周径を高精度に検出して常に高精度な加工が行なえるよ
うにしている。2. Description of the Related Art A dicing apparatus used to cut an IC chip from a semiconductor wafer performs processing by rotating a grindstone blade having abrasive grains such as diamond fixed with nickel or the like at high speed. In order to perform such high-speed rotation, a spindle motor is used in which the inner cylinder that is rotated by the action of air or electromagnetic fields floats above the outer cylinder. The grinding wheel wears as it is used, and the outer diameter gradually decreases. The cutting amount of the grindstone blade needs to be accurately controlled, and the outer diameter of the grindstone blade is detected with high accuracy so that high-precision machining can always be performed.
【０００３】砥石刃の外周径を検出するためには、光学
的方法を用いる場合もあるが、もっとも実用的で高精度
の検出が行なえる方法は、被加工物を乗せる導電性ステ
ージの表面を回転する砥石刃に徐々に近付け、砥石刃が
被加工物を乗せる導電性ステージの表面に接触した瞬間
を検出する方法である。砥石刃と被加工物の表面が接触
した瞬間を検出するには、接触した時に作り出される火
花を検出する方法等があるが、もっとも確実な方法は砥
石刃と被加工物を乗せる導電性ステージが導通したこと
を検出する方法である。前述のように砥石刃にはニッケ
ル等の金属を結着材として使用するのがもっとも一般的
であり、導電性を有するため、被加工物として金属が使
用されるならば、この方法で確実な検出が行なえる。な
お上記のような移動は、砥石刃を移動させる場合もステ
ージを移動させる場合もあるが、ここでは便宜上ステー
ジを移動するものとする。An optical method may be used to detect the outer diameter of the grindstone blade, but the most practical and highly accurate method is to detect the surface of the conductive stage on which the workpiece is placed. This is a method of gradually approaching a rotating grindstone blade and detecting the moment when the grindstone blade comes into contact with the surface of a conductive stage on which a workpiece is placed. In order to detect the moment when the whetstone blade and the surface of the work piece contact, there is a method of detecting the spark produced when they make contact, but the most reliable method is the conductive stage on which the whetstone blade and the work piece are placed. This is a method of detecting that there is continuity. As mentioned above, it is most common to use a metal such as nickel as a binder for the grindstone blade, and since it has conductivity, if a metal is used as the work piece, this method will ensure It can be detected. Note that the movement as described above may move the grindstone blade or the stage, but here, for convenience, the stage is moved.
【０００４】砥石刃が回転している状態で導通の検出を
行なう必要があるが、その場合切削用液体として純水等
が供給される。そのため砥石刃に直接検出用端子を接触
させるのは難しく、砥石刃が取り付けられるスピンドル
モータの内筒に導電性ブラシを接触させ、この導電性ブ
ラシと被加工物を乗せる導電性ステージの間が導通した
ことを検出している。図３は上記のように砥石刃が被加
工物を乗せる導電性ステージに接触したことを検出する
機能を有するダイシング装置の構成を示す図である。It is necessary to detect continuity while the grindstone blade is rotating. In that case, pure water or the like is supplied as a cutting liquid. Therefore, it is difficult to directly contact the detection terminal with the grindstone blade, and the conductive brush is brought into contact with the inner cylinder of the spindle motor to which the grindstone blade is attached, and there is conduction between the conductive brush and the conductive stage on which the workpiece is placed. It has detected what you have done. FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a dicing apparatus having a function of detecting that the grindstone blade comes into contact with the conductive stage on which the workpiece is placed as described above.
【０００５】図３において、３１はスピンドルモータの
外筒であり、３２はこの外筒３１から浮上して回転する
スピンドルモータの内筒である。内筒３２の先端には砥
石刃３５が取り付けられている。３３は導電性ブラシで
あり、内筒３２に接触している。３６は加工対象のシリ
コンウエハであり、３７は導電性のステージであり、加
工時には加工対象のシリコンウエハ３６が載置される。
３８は直流電源であり、３９は抵抗であり、４０は比較
器コンパレータである。In FIG. 3, 31 is an outer cylinder of the spindle motor, and 32 is an inner cylinder of the spindle motor which floats from the outer cylinder 31 and rotates. A grindstone blade 35 is attached to the tip of the inner cylinder 32. A conductive brush 33 is in contact with the inner cylinder 32. Reference numeral 36 denotes a silicon wafer to be processed, 37 denotes a conductive stage, and the silicon wafer 36 to be processed is placed at the time of processing.
38 is a direct current power supply, 39 is a resistor, and 40 is a comparator comparator.
【０００６】砥石刃３５が導電性ステージ３７に接触し
ていない時には、直流電源３８を含む閉回路が形成され
ないため、コンパレータ４０へのマイナス入力は直流電
源３８の出力電圧になり、この時コンパレータ４０から
正の出力が得られるように設定されている。次に砥石刃
３５が導電性ステージ３７に接触すると閉回路が形成さ
れ、コンパレータ４０のマイナス入力は、抵抗３９での
電圧降下分だけ低下する。すなわちほとんどアース電位
に近くなる。従ってコンパレータ４０の出力はマイナス
に変化するので、この出力変化を検出すれば砥石刃３５
が導電性ステージ３７に接触した瞬間がわかる。When the grindstone blade 35 is not in contact with the conductive stage 37, a closed circuit including the DC power source 38 is not formed, so that the minus input to the comparator 40 becomes the output voltage of the DC power source 38, and at this time, the comparator 40. Is set to obtain a positive output from. Next, when the grindstone blade 35 comes into contact with the conductive stage 37, a closed circuit is formed, and the negative input of the comparator 40 is reduced by the voltage drop across the resistor 39. That is, it is almost close to the ground potential. Therefore, the output of the comparator 40 changes to a negative value, and if this output change is detected, the grindstone blade 35
It is possible to know the moment when the contact with the conductive stage 37.
【０００７】砥石刃３５が導電性ステージ３７に接触し
た瞬間に導電性ステージ３７の移動が停止されるが、も
し導電性ブラシ３３と内筒３２との間の接触が不充分な
時にはたとえ接触しても上記の閉回路が形成されないた
め、そのまま導電性ステージ３７は上昇を続け、砥石刃
３５が破損するといった問題が生じる。そのため導電性
ブラシ３３は内筒３２に確実に接触していることが必要
である。The movement of the conductive stage 37 is stopped at the moment when the grindstone blade 35 comes into contact with the conductive stage 37. However, if the contact between the conductive brush 33 and the inner cylinder 32 is insufficient, the contact is made. However, since the above closed circuit is not formed, the conductive stage 37 continues to rise and the grinding stone blade 35 is damaged. Therefore, it is necessary that the conductive brush 33 surely contacts the inner cylinder 32.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】内筒３２は高速で回転
しており、導電性ブラシ３３を接触させたままでは摩耗
が激しく、いずれ内筒３２と導電性ブラシ３３との間が
導通しなくなってしまう。そこで定期的に導電性ブラシ
を交換するようにしているが、メインテナンスが煩雑な
だけでなく、導通しなくなるという問題を完全に除くこ
とはできないのが現状である。The inner cylinder 32 is rotating at a high speed, and wear is severe if the conductive brush 33 is kept in contact with the inner cylinder 32, so that the inner cylinder 32 and the conductive brush 33 are not electrically connected to each other. Will end up. Therefore, the conductive brushes are regularly replaced, but the current situation is that it is not possible to completely eliminate the problem that not only the maintenance is complicated but also the conduction is lost.
【０００９】そこで砥石刃の外周位置の検出時のみ導電
性ブラシを内筒に接触させることが行なわれる。図４
（ａ）はそのような導電性ブラシの取付例である。図４
の（ａ）において、４１は外筒であり、４２は内筒であ
り、４３が導電性ブラシである。４８は外筒に取り付け
られた部材であり、材料は導電性であっても非導電性で
あってもよい。４９はエアベアリング用の圧縮空気を注
入する注入口である。導電性ブラシ４３は、つまみねじ
５０に取り付けられており、部材４８のねじ穴に対して
つまみねじ５０を回転することにより内筒４２に対して
移動する。従ってつまみねじ５０を回転することにより
導電性ブラシ４３を内筒４２に接触させたり、離したり
することができる。なおここでは説明を容易にするため
つまみねじ５０を使用したが、実際には導電性ブラシ４
３を自動的に移動できる機構が使用される。これをアク
ションブラシと呼んでいる。Therefore, the conductive brush is brought into contact with the inner cylinder only when the outer peripheral position of the grindstone blade is detected. Figure 4
(A) is an example of mounting such a conductive brush. Figure 4
In (a) of 41, 41 is an outer cylinder, 42 is an inner cylinder, and 43 is a conductive brush. Reference numeral 48 denotes a member attached to the outer cylinder, and the material may be conductive or non-conductive. Reference numeral 49 is an inlet for injecting compressed air for the air bearing. The conductive brush 43 is attached to the thumb screw 50, and moves with respect to the inner cylinder 42 by rotating the thumb screw 50 with respect to the screw hole of the member 48. Therefore, by rotating the thumbscrew 50, the conductive brush 43 can be brought into contact with or separated from the inner cylinder 42. Although the thumbscrew 50 is used here for ease of explanation, the conductive brush 4 is actually used.
A mechanism that can automatically move 3 is used. This is called an action brush.
【００１０】図４の（ａ）のような機構であれば、砥石
刃の外周位置を検出する時のみ導電性ブラシ４３を内筒
４２に接触させればよく、それ以外の時には離すように
すれば摩耗の問題は生じない。しかしこの場合に、導電
性ブラシ４３を内筒４２と接触する位置に移動させても
確実に接触しているという保証はなく、導電性ブラシが
内筒に接触していないことにより生じる問題はあいかわ
らず残っている。In the case of the mechanism as shown in FIG. 4A, the conductive brush 43 may be brought into contact with the inner cylinder 42 only when the outer peripheral position of the grindstone blade is detected, and may be separated at other times. If so, the problem of wear does not occur. However, in this case, even if the conductive brush 43 is moved to a position in contact with the inner cylinder 42, there is no guarantee that the conductive brush 43 is surely in contact, and the problem caused by the conductive brush not being in contact with the inner cylinder is unavoidable. Remaining.
【００１１】そこで図４の（ｂ）に示すように、互いに
絶縁された２本の導電性ブラシ５３，５４を内筒５２に
接触させ、検出時にはまず２本の導電性ブラシ５３と５
４の間の導電性を検出し、この導電性が確認された後、
砥石刃の外周位置の検出を行なう。これであれば導電性
ブラシが内筒に接触していることを確実に検出できるよ
うになる。Therefore, as shown in FIG. 4B, two electrically conductive brushes 53, 54 insulated from each other are brought into contact with the inner cylinder 52, and at the time of detection, the two electrically conductive brushes 53 and 5 are first contacted.
After detecting the conductivity between 4 and confirming this conductivity,
The outer peripheral position of the grindstone blade is detected. This makes it possible to reliably detect that the conductive brush is in contact with the inner cylinder.
【００１２】しかし図からも明らかなように導電性ブラ
シ５３と５４は内筒５２の回転中心から外れた所で接触
することになる。そのため回転中心で接触させる時に比
べて内筒５２の周速が速くなるため摩耗が激しいという
問題が生じる。そこで２本の導電性ブラシを前述の移動
可能なアクションブラシとすることも考えられるが、２
本の導電性ブラシを相互に絶縁した上でアクションブラ
シとするのは大きさの点から制限され、実際には難しい
のが現状である。例えば、導電性ブラシの先端は内筒５
２の側面に沿って曲がるが、曲がった先端が相互に接触
しないようにするには充分な間隔をあけて配置する必要
があり、どうしても大きくなってしまう。また導電性ブ
ラシ同士が接触してしまった時には、内筒との接触にか
かわらず導電性が検出されることになり、誤った検出を
行なうことになる。However, as is apparent from the drawing, the conductive brushes 53 and 54 come into contact with each other at a position deviated from the center of rotation of the inner cylinder 52. Therefore, the peripheral speed of the inner cylinder 52 becomes faster than when contacting at the center of rotation, causing a problem of severe wear. Therefore, it is conceivable to use the two conductive brushes as the movable action brush described above.
It is difficult in practice to insulate the conductive brushes of a book from each other and to use them as action brushes because of their size. For example, the tip of the conductive brush is the inner cylinder 5
Although it bends along the side surface of No. 2, it is necessary to arrange them at a sufficient distance in order to prevent the curved tips from contacting each other, which is inevitably large. Further, when the conductive brushes come into contact with each other, the conductivity is detected regardless of the contact with the inner cylinder, resulting in erroneous detection.
【００１３】そこで導電性ブラシがスピンドルモータの
内筒に接触していることが、より確実に小型の機構で検
出できることが要望されている。本発明はこのような要
望を実現することを目的とする。Therefore, it is desired that the contact of the conductive brush with the inner cylinder of the spindle motor can be detected more reliably by a small mechanism. The present invention aims to fulfill such a need.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】図１は本発明のスピンド
ルモータの基本構成を示す図である。本発明の浮上回転
物の接触判定方法は、図１に示すようなスピンドルモー
タにおいて、外筒１より浮上して回転する内筒２に、外
筒１からは絶縁されている導電性ブラシ３が内筒２に接
触しているかどうかを検出する浮上回転物の接触検出方
法である。そして上記目的を達成するため、導電性ブラ
シ３と外筒１間の静電容量を検出し、導電性ブラシ３が
内筒２に接触している時と接触していない時の静電容量
の差により導電性ブラシ３と内筒２との間の接触を検出
することを特徴とする。FIG. 1 is a diagram showing the basic construction of a spindle motor according to the present invention. According to the method for determining contact of a floating rotating object of the present invention, in the spindle motor as shown in FIG. 1, the conductive brush 3 insulated from the outer cylinder 1 is attached to the inner cylinder 2 which floats from the outer cylinder 1 and rotates. This is a contact detection method for a floating rotating object that detects whether or not it is in contact with the inner cylinder 2. In order to achieve the above object, the electrostatic capacitance between the conductive brush 3 and the outer cylinder 1 is detected, and the electrostatic capacitance between when the conductive brush 3 is in contact with the inner cylinder 2 and when it is not in contact is detected. The contact between the conductive brush 3 and the inner cylinder 2 is detected by the difference.
【００１５】また本発明のスピンドルモータは、図１に
示すように、外筒１とこの外筒１から浮上して回転する
内筒２と、内筒２に接触し且つ外筒１からは絶縁されて
いる導電性ブラシ３とを備えており、内筒２に取り付け
られた導電性部材５が他の導電性物体６に接触したこと
を導電性ブラシ３と導電性物体６間の導通状態を検出す
ることにより検出可能にしたスピンドルモータである。
そして上記目的を達成するため、外筒１と導電性ブラシ
３の間の静電容量を検出する静電容量検出手段４を備え
ることを特徴とする。The spindle motor of the present invention, as shown in FIG. 1, has an outer cylinder 1, an inner cylinder 2 which floats from the outer cylinder 1 and rotates, and an inner cylinder 2 which is in contact with and insulated from the outer cylinder 1. The conductive member 3 attached to the inner cylinder 2 is in contact with another conductive object 6 so that the conductive state between the conductive brush 3 and the conductive object 6 is maintained. It is a spindle motor that can be detected by detecting.
In order to achieve the above-mentioned object, it is characterized by including a capacitance detecting means 4 for detecting a capacitance between the outer cylinder 1 and the conductive brush 3.
【００１６】[0016]
【作用】導電性ブラシ３は外筒１からは絶縁されてお
り、その間には静電容量が存在する。また外筒１と内筒
２との間にも静電容量が存在し、しかもこの容量は、回
転側面が近接して平行になるように形成されているた
め、導電性ブラシ３と外筒１との間の静電容量に比べて
はるかに大きい。The conductive brush 3 is insulated from the outer cylinder 1, and there is a capacitance between them. Further, there is an electrostatic capacitance between the outer cylinder 1 and the inner cylinder 2, and this capacitance is formed such that the rotating side surfaces are close and parallel to each other. Much larger than the capacitance between and.
【００１７】導電性ブラシ３と外筒１との間の静電容量
を検出する場合、導電性ブラシ３が内筒２に接触してい
なければ導電性ブラシ３と外筒１の間の静電容量が検出
されるが、もし導電性ブラシ３が内筒２に接触していれ
ば導電性ブラシ３と外筒１の間の静電容量に加えて外筒
１と内筒２との間の静電容量も検出されることになる。
これは導電性ブラシ３が内筒２に接触しているかいない
かによって検出される静電容量に差が生じることを意味
する。従って上記の静電容量を検出することにより、導
電性ブラシ３が内筒２に接触しているかどうかがわか
る。しかも前述のように、導電性ブラシ３と外筒１との
間の静電容量に比べて外筒１と内筒２との間の静電容量
は大きいため、検出値の比は大きくなり、高い精度での
検出が可能である。When the electrostatic capacitance between the conductive brush 3 and the outer cylinder 1 is detected, if the conductive brush 3 is not in contact with the inner cylinder 2, the electrostatic capacitance between the conductive brush 3 and the outer cylinder 1 is detected. Although the capacitance is detected, if the conductive brush 3 is in contact with the inner cylinder 2, in addition to the capacitance between the conductive brush 3 and the outer cylinder 1, the capacitance between the outer cylinder 1 and the inner cylinder 2 is increased. The capacitance will also be detected.
This means that there is a difference in capacitance detected depending on whether the conductive brush 3 is in contact with the inner cylinder 2. Therefore, by detecting the above capacitance, it is possible to know whether or not the conductive brush 3 is in contact with the inner cylinder 2. Moreover, as described above, since the electrostatic capacitance between the outer cylinder 1 and the inner cylinder 2 is larger than the electrostatic capacitance between the conductive brush 3 and the outer cylinder 1, the ratio of the detected values becomes large. It is possible to detect with high accuracy.
【００１８】本発明では導電性ブラシ３は１個でよく、
アクションブラシとすることも容易である。In the present invention, the number of the conductive brush 3 may be one,
It is easy to use as an action brush.
【００１９】[0019]
【実施例】図２は本発明をダイシング装置に適用した実
施例の構成を示す図であり、本体部はスピンドルモータ
部分のみを示してある。図２において、１１はスピンド
ルモータの外筒であり、１２は内筒である。１３は導電
性ブラシであり、１４は静電容量を測定するためのＱメ
ータであり、１５は砥石刃（ブレード）である。１７は
半導体ウエハを真空吸着するステージであり、金属製で
ある。１８は内筒１２の先端の回転軸に取り付けられた
砥石刃取り付け用の台座であり、やはり金属製である。
１９は外筒の端に設けられた枠部材であり、導電性ブラ
シ１３を保持すると共に、外筒１１と内筒１２の間に圧
縮空気を供給するための空気口２０が設けられている。
２１は導電性ブラシ１３を移動させるためのエアシリン
ダである。FIG. 2 is a diagram showing the construction of an embodiment in which the present invention is applied to a dicing apparatus, and the main body portion shows only the spindle motor portion. In FIG. 2, 11 is an outer cylinder of the spindle motor, and 12 is an inner cylinder. Reference numeral 13 is a conductive brush, 14 is a Q meter for measuring capacitance, and 15 is a grindstone blade. Reference numeral 17 denotes a stage for vacuum-sucking a semiconductor wafer, which is made of metal. Reference numeral 18 denotes a pedestal for attaching a grindstone blade attached to the rotary shaft at the tip of the inner cylinder 12, which is also made of metal.
Reference numeral 19 denotes a frame member provided at an end of the outer cylinder, which holds the conductive brush 13 and has an air port 20 for supplying compressed air between the outer cylinder 11 and the inner cylinder 12.
Reference numeral 21 is an air cylinder for moving the conductive brush 13.
【００２０】２２から２４はスイッチであり、２５はコ
ンパレータである。２６は検出回路のステージ１７との
配線点を示している。Ｒ１とＲ２は直流電源を抵抗分割
するための抵抗であり、Ｒ３はプルアップ抵抗である。
次にブレード１５の外周位置を検出する動作手順につい
て説明する。まずステージ１７を充分に低い位置に降下
させ、エアシリンダ２１への空気供給を行なわないよう
にする。これにより導電性ブラシ１３は内筒１２に接触
しない状態になる。この状態で内筒１２を回転させる。
そしてスイッチ２２を閉じ、スイッチ２３を開放し、ス
イッチ２４をステージ１７の側に接続した状態にする。
この状態では、コンパレータ２５のマイナス端子にはア
ースレベルが入力されるため出力はマイナスになるので
これを確認する。これによりステージ１７が接地されて
いることが確認される。22 to 24 are switches, and 25 is a comparator. Reference numeral 26 indicates a wiring point with the stage 17 of the detection circuit. R1 and R2 are resistors for resistively dividing the DC power supply, and R3 is a pull-up resistor.
Next, an operation procedure for detecting the outer peripheral position of the blade 15 will be described. First, the stage 17 is lowered to a sufficiently low position so that air is not supplied to the air cylinder 21. As a result, the conductive brush 13 does not contact the inner cylinder 12. In this state, the inner cylinder 12 is rotated.
Then, the switch 22 is closed, the switch 23 is opened, and the switch 24 is connected to the stage 17 side.
In this state, since the ground level is input to the negative terminal of the comparator 25, the output becomes negative, so this is confirmed. This confirms that the stage 17 is grounded.
【００２１】更にこの状態でＱメータ１４によって外筒
１１と導電性ブラシ１３との間の静電容量を検出する。
この時検出される静電容量は、導電性ブラシ１３と外筒
１１との間の静電容量のみであり、非常に小さな値であ
る。次にエアシリング２１に圧縮空気を供給して、導電
性ブラシ１３を内筒１２の方向に移動させる。そして再
びＱメータ１４によって導電性ブラシ１３と外筒１１と
の間の静電容量を検出する。この時導電性ブラシ１３は
内筒１２に接触しているはずであり、もし接触していれ
ば、導電性ブラシ１３と内筒１２は電気的に一体とみな
すことができる。従って検出される静電容量は、導電性
ブラシ１３と外筒１１の間の静電容量に内筒１２と外筒
１１との間の静電容量を加えた値になる。前述のように
内筒１２と外筒１１の間の静電容量の方がはるかに大き
いため、検出される静電容量は大幅に増加する。従っ
て、静電容量の大幅な増加が検出されれば導電性ブラシ
１３が内筒１２に接触したとこが確認され、もし静電容
量が導電性ブラシ１３を移動させる前と同じであれば導
電性ブラシ１３は内筒に接触していないことになる。こ
のようにして導電性ブラシ１３と内筒１２の導通を確認
することができる。Further, in this state, the capacitance between the outer cylinder 11 and the conductive brush 13 is detected by the Q meter 14.
The electrostatic capacitance detected at this time is only the electrostatic capacitance between the conductive brush 13 and the outer cylinder 11, which is a very small value. Next, compressed air is supplied to the air silling 21 to move the conductive brush 13 toward the inner cylinder 12. Then, the capacitance between the conductive brush 13 and the outer cylinder 11 is detected again by the Q meter 14. At this time, the conductive brush 13 should be in contact with the inner cylinder 12, and if so, the conductive brush 13 and the inner cylinder 12 can be considered to be electrically integrated. Therefore, the detected capacitance has a value obtained by adding the capacitance between the inner cylinder 12 and the outer cylinder 11 to the capacitance between the conductive brush 13 and the outer cylinder 11. Since the capacitance between the inner cylinder 12 and the outer cylinder 11 is much larger as described above, the detected capacitance is significantly increased. Therefore, if a large increase in capacitance is detected, it is confirmed that the conductive brush 13 is in contact with the inner cylinder 12, and if the capacitance is the same as before the conductive brush 13 is moved, the conductivity is reduced. The brush 13 is not in contact with the inner cylinder. In this way, conduction between the conductive brush 13 and the inner cylinder 12 can be confirmed.
【００２２】導電性ブラシ１３と内筒１２の導通を確認
した後、スイッチ２２を開放し、スイッチ２３を閉じ、
スイッチ２４をスイッチ２３側に接続する。これにより
コンパレータのマイナス入力は電源の正側に接続された
状態となるため、コンパレータ２５の出力はプラスにな
る。次にステージ１７を徐々に上昇させる。ブレード１
５がステージ１７に接触するとコンパレータ２５のマイ
ナス入力端子はスイッチ２４，２３、導電性ブラシ１
３、内筒１２、台座１８、ブレード１５、ステージ１７
を介してアースされるため、コンパレータ２５の出力は
マイナス側に変化する。従ってコンパレータ２５の出力
がマイナス側に変化した時が、ブレード１５がステージ
１７に接触した時であり、この高さ位置が以後の加工の
基準になる。After confirming the conduction between the conductive brush 13 and the inner cylinder 12, the switch 22 is opened and the switch 23 is closed.
The switch 24 is connected to the switch 23 side. As a result, the negative input of the comparator is connected to the positive side of the power supply, and the output of the comparator 25 becomes positive. Next, the stage 17 is gradually raised. Blade 1
When 5 comes into contact with the stage 17, the minus input terminal of the comparator 25 has switches 24 and 23 and the conductive brush 1
3, inner cylinder 12, pedestal 18, blade 15, stage 17
Since it is grounded via, the output of the comparator 25 changes to the minus side. Therefore, the time when the output of the comparator 25 changes to the negative side is when the blade 15 contacts the stage 17, and this height position becomes a reference for the subsequent processing.
【００２３】上記の実施例では、静電容量を検出するた
めＱメータを用いたが、例えば所定の高周波信号を発生
する発振器を接続し、容量差により生じる電流量の差等
を検出する方法等を用いることも可能である。また上記
実施例では、導電性ブラシを移動する前後での静電容量
差を検出したが、導電性ブラシが接触している時と接触
していない時の静電容量をあらかじめ検出しておき、そ
の値に応じて比較レベルを設定しておくことにより、導
電性ブラシの接触状態を自動的に判定するようにしても
よい。In the above embodiment, the Q meter is used to detect the electrostatic capacity. However, for example, a method of connecting an oscillator for generating a predetermined high frequency signal and detecting the difference in the current amount caused by the capacity difference, etc. It is also possible to use. Further, in the above embodiment, the capacitance difference before and after moving the conductive brush is detected, but the capacitance when the conductive brush is in contact and when not in contact is detected in advance, The contact state of the conductive brush may be automatically determined by setting the comparison level according to the value.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
導電性ブラシがスピンドルモータの内筒に接触している
ことが、小型で簡単な機構により容易に確認できるよう
になり、ダイシング装置における砥石刃の外周位置の検
出がより確実に行なえるようになる。これにより高価な
砥石刃や半導体ウエハの破損が未然に防止できる。As described above, according to the present invention,
The fact that the conductive brush is in contact with the inner cylinder of the spindle motor can be easily confirmed by a small and simple mechanism, and the outer peripheral position of the grindstone blade in the dicing device can be detected more reliably. . This makes it possible to prevent damage to expensive grindstone blades and semiconductor wafers.
【図１】本発明のスピンドルモータの基本構成を示す図
である。FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a spindle motor of the present invention.
【図２】実施例の構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of an example.
【図３】砥石刃の接触を検出する従来のダイシング装置
の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a conventional dicing device that detects contact of a grindstone blade.
【図４】従来の導電性ブラシの取付例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of attachment of a conventional conductive brush.
１…スピンドルモータの外筒 ２…スピンドルモータの内筒 ３…導電性ブラシ ４…静電容量検出手段 ５…導電性部材（砥石刃） ６…導電性物体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Outer cylinder of spindle motor 2 ... Inner cylinder of spindle motor 3 ... Conductive brush 4 ... Capacitance detecting means 5 ... Conductive member (grinding blade) 6 ... Conductive object
Claims (3)
ドルモータの内筒（２）に、前記外筒（１）からは絶縁
されている導電性ブラシ（３）が前記内筒（２）に接触
しているかどうかを検出する浮上回転物の接触検出方法
であって、 前記導電性ブラシ（３）と前記外筒（１）間の静電容量
を検出して、前記導電性ブラシ（３）が前記内筒（２）
に接触している時と接触していない時の前記静電容量の
差により前記導電性ブラシ（３）と前記内筒（２）との
間の接触を検出することを特徴とする浮上回転物の接触
検出方法。1. A conductive brush (3) insulated from the outer cylinder (1) is attached to an inner cylinder (2) of a spindle motor which floats and rotates above the outer cylinder (1). ) Is detected, the electrostatic brush between the conductive brush (3) and the outer cylinder (1) is detected, and the conductive brush (3) is detected. 3) is the inner cylinder (2)
The floating rotating object, characterized in that the contact between the conductive brush (3) and the inner cylinder (2) is detected by the difference in the capacitance between when the contact is made with the inner cylinder (2). Contact detection method.
回転する内筒（２）を備えるスピンドルモータであっ
て、 前記内筒（２）に接触し、且つ前記外筒（１）からは絶
縁されている導電性ブラシ（３）を備え、前記内筒
（２）に取け付けられた導電性部材（５）が他の導電性
物体（６）に接触したことを、前記導電性ブラシ（３）
と前記導電性物体（６）間の導通状態を検出することに
より検出可能にしたスピンドルモータにおいて、 前記外筒（１）と前記導電性ブラシ（３）の間の静電容
量を検出する静電容量検出手段（４）を備えることを特
徴とするスピンドルモータ。2. A spindle motor comprising an outer cylinder (1) and an inner cylinder (2) levitating from the outer cylinder (1) and rotating, wherein the outer cylinder is in contact with the inner cylinder (2). A conductive brush (3) insulated from (1) is provided, and it is confirmed that the conductive member (5) attached to the inner cylinder (2) comes into contact with another conductive object (6). , The conductive brush (3)
In a spindle motor that can be detected by detecting a conduction state between a conductive body (6) and an electrostatic body (6), an electrostatic capacitance for detecting a capacitance between the outer cylinder (1) and the conductive brush (3). A spindle motor comprising a capacity detecting means (4).
（２）に接触又は離す方向に移動可能であることを特徴
とするスピンドルモータ。3. The spindle motor according to claim 1, wherein the conductive brush (3) is movable in a direction of coming into contact with or separating from the inner cylinder (2).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4322005A JPH06169588A (en) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | Detecting method for contact of floating body of revolution, and spindle motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4322005A JPH06169588A (en) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | Detecting method for contact of floating body of revolution, and spindle motor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06169588A true JPH06169588A (en) | 1994-06-14 |
Family
ID=18138862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4322005A Pending JPH06169588A (en) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | Detecting method for contact of floating body of revolution, and spindle motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06169588A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010087026A (en) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | Cutting apparatus |
| JP2010251577A (en) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | Cutting device |
| JP2013237129A (en) * | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Disco Corp | Cutting device |
-
1992
- 1992-12-01 JP JP4322005A patent/JPH06169588A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010087026A (en) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | Cutting apparatus |
| JP2010251577A (en) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | Cutting device |
| JP2013237129A (en) * | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Disco Corp | Cutting device |
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