JPH06160666A - Method for connecting optical waveguide and optical input/output member - Google Patents
Method for connecting optical waveguide and optical input/output memberInfo
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- JPH06160666A JPH06160666A JP4310371A JP31037192A JPH06160666A JP H06160666 A JPH06160666 A JP H06160666A JP 4310371 A JP4310371 A JP 4310371A JP 31037192 A JP31037192 A JP 31037192A JP H06160666 A JPH06160666 A JP H06160666A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路と光入出力部
材との接続方法に関し、特に光スイッチ、又は光変調器
などにおける導波路型光素子の光導波路と、光ファイバ
などを含む光入出力部材との接続方法に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of connecting an optical waveguide and an optical input / output member, and more particularly to an optical switch including an optical waveguide of a waveguide type optical element in an optical switch or an optical modulator, and an optical fiber. The present invention relates to a method of connecting to an input / output member.
【０００２】[0002]
【従来の技術】基板上に形成された光導波路を用いたス
イッチ、光変調器等の導波路型光素子において、一般に
光源および制御後の光を受ける受光部は、光素子とは別
個に作製されている。また、導波路型光素子が光通信用
に用いられる場合においては、その前後に通信用の（長
距離）光ファイバが接続されることが通常である。従っ
て、光源、受光部、並びに光ファイバなどからなる光入
出力部材と導波路型光素子中の光導波路との接続は、大
変重要な要素である。一般に光導波路の幅は通常３ない
し１０μｍ程度であるから、光導波路と光ファイバとの
接続にはミクロン以下の精度が必要とされる。2. Description of the Related Art In a waveguide type optical element such as a switch or an optical modulator using an optical waveguide formed on a substrate, a light source and a light receiving section for receiving controlled light are generally manufactured separately from the optical element. Has been done. Further, when the waveguide type optical element is used for optical communication, it is usual to connect a (long-distance) optical fiber for communication before and after the optical element. Therefore, the connection between the light input / output member including the light source, the light receiving portion, and the optical fiber and the optical waveguide in the waveguide type optical element is a very important element. In general, the width of the optical waveguide is usually about 3 to 10 μm, and therefore accuracy of submicron or less is required for connecting the optical waveguide and the optical fiber.
【０００３】一方、光スイッチ等の導波路型光素子にお
いては、１基板上に複数個の光導波路を形成し、この導
波路の各々に、光入出力部材の光ファイバを接続する必
要がある。この場合、複数個の光ファイバ等をまとめて
光入出力ブロックとして、それぞれに含まれる複数個の
光ファイバを複数個の光導波路に一括して接続すること
が行われている。これは、光ファイバと光導波路とを個
々に接続する場合に比べて、時間的に大幅な短縮を図る
ことができ、また接続部に設ける補強材等を一括して設
けることにより接続に要する空間的ロスが少なくなり、
かつ素子の小型化を図ることが出来るためである。On the other hand, in a waveguide type optical element such as an optical switch, it is necessary to form a plurality of optical waveguides on one substrate and connect an optical fiber of an optical input / output member to each of the waveguides. . In this case, a plurality of optical fibers and the like are collectively used as a light input / output block, and a plurality of optical fibers contained in each block are collectively connected to a plurality of optical waveguides. Compared with the case where the optical fiber and the optical waveguide are individually connected, this can significantly reduce the time, and the space required for the connection can be obtained by collectively providing the reinforcing material and the like provided at the connecting portion. Less loss,
In addition, the device can be downsized.
【０００４】この様な複数個の光ファイバ等をまとめて
ブロック化する場合、下記の方法により行われる場合が
多い。光ファイバにおいては、シリコン基板にシリコン
自体のエッチング異方性を利用したＶ溝を等間隔に形成
し、溝中にファイバ保持する方法がある。また、セラミ
ックス等の基板に溝を堀り、光ファイバをファイバ自体
が密着するように埋め込むことにより、ファイバ径自体
を間隔のガイドとして、等間隔に埋め込む方法等もあ
る。When a plurality of such optical fibers and the like are collectively formed into a block, the following method is often used. In the case of an optical fiber, there is a method of forming V grooves on a silicon substrate using the etching anisotropy of silicon itself at equal intervals and holding the fibers in the grooves. There is also a method in which a groove is formed in a substrate made of ceramics or the like and the optical fiber is embedded so that the fiber itself comes into close contact with the substrate, and the fiber diameter itself is used as a guide for the spacing to embed the fiber at equal intervals.
【０００５】またレーザーダイオード等の光源において
は、チップ自体を接続する方法、１チップ中に複数個の
光源を作製するマルチビームレーザーダイオード等があ
る。Regarding the light source such as the laser diode, there is a method of connecting the chips themselves, and there is a multi-beam laser diode for manufacturing a plurality of light sources in one chip.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の様にし
て作製された光入出力部材を含む光入出力用ブロック
は、その作製誤差のため、個々の光入出力部材の間隔、
すなわち個々の光入出力点の間隔が、ブロックごとに若
干変動するという欠点がある。例えば、光ファイバの場
合、シリコンＶ溝法の場合にはＶ溝作製時のエッチング
条件の変動により、個々の光ファイバの間隔がブロック
ごとに変動する。ただし、各ブロック内ではエッチング
条件は同一なので、バラツキはあまり発生しない。ま
た、ファイバ径をガイドとする場合には、ファイバ径が
ロットごとに数ミクロンの誤差があるため、個々の光フ
ァイバの間隔が変動する。この場合においても、同一ロ
ット内の光ファイバ径はほとんど変動しないため、１ブ
ロック中に同一ロットの光ファイバを使用する限り、ブ
ロック内での間隔変動はさほど発生しない。However, in the light input / output block including the light input / output member manufactured as described above, the gap between the individual light input / output members due to the manufacturing error.
That is, there is a drawback that the intervals between the individual light input / output points slightly vary from block to block. For example, in the case of an optical fiber, in the case of the silicon V-groove method, the spacing between the individual optical fibers varies from block to block due to variations in the etching conditions when the V-groove is formed. However, since the etching conditions are the same in each block, variations do not occur much. Further, when the fiber diameter is used as a guide, there is an error of several microns in the fiber diameter for each lot, so the interval between the individual optical fibers varies. Even in this case, since the optical fiber diameter in the same lot hardly changes, so long as the optical fibers in the same lot are used in one block, the interval variation in the block does not occur so much.
【０００７】一方、前記の様に、個々の光導波路と光フ
ァイバ等との接続にはミクロン以下の精度が必要とされ
る。しかしながら、上記の様に光入出力ブロック内の個
々の光入出力部材の間隔がブロックごとに変動してしま
った場合には、光入出力部材（光入出力点）の間隔が光
導波路の間隔と一致しない。このため、１組の光導波路
−光ファイバ等を最適状態で接続した場合に、他の接続
部では最適状態からずれてしまうため、接続ロスの増大
を招き、全体としての特性は不良となってしまうという
欠点を有していた。On the other hand, as described above, the accuracy of submicron is required for connecting the individual optical waveguides to the optical fiber or the like. However, when the distance between the individual light input / output members in the light input / output block varies for each block as described above, the distance between the light input / output members (light input / output points) becomes the distance between the optical waveguides. Does not match. For this reason, when one set of the optical waveguide-optical fiber is connected in the optimum state, the other connection parts are deviated from the optimum state, resulting in an increase in connection loss and poor overall characteristics. It had the drawback of being lost.
【０００８】本発明は、従来のマルチ接続方法の上記問
題点を解消し、光入出力用ブロック中の光入出力部材の
各々を、基板上の複数個の光導波路に高精度をもって接
続する方法を提供しようとするものである。The present invention solves the above-mentioned problems of the conventional multi-connecting method, and connects each of the optical input / output members in the optical input / output block to a plurality of optical waveguides on the substrate with high accuracy. Is to provide.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明に係る光導波路
と、光入出力部材との接続方法は、基板の一端部、又は
両端部に形成された２本以上の導波路の端面に、光入出
力用ブロック中に固定されている２個以上の光入出力部
材の端面を一括して接続するマルチ接続法において、前
記２本以上の導波路を、その間隔がその末端に向って徐
々に拡大、又は縮小するように形成し、前記光入出力用
ブロック中の光入出力部材の光入出力点の相互間隔に対
して、それに接続すべき前記光導波路の間隔が一致する
位置において、前記光導波路を有する基板の当該端末部
分を切断除去して、導波路の接続端面を形成し、前記基
板の切断端面に、前記光入出力用ブロックを接着するこ
とにより、前記導波路の接続端面と前記光入出力部材端
面との位置合わせを最適化することを特徴とするもので
ある。A method of connecting an optical waveguide and an optical input / output member according to the present invention is a method of connecting an optical waveguide to an end face of two or more waveguides formed at one end or both ends of a substrate. In a multi-connection method in which end faces of two or more optical input / output members fixed in an input / output block are collectively connected, the two or more waveguides are gradually spaced from each other toward their ends. It is formed so as to expand or contract, and at the position where the distance between the optical waveguides to be connected to the mutual distance between the light input / output points of the light input / output member in the light input / output block is the same, By cutting and removing the terminal portion of the substrate having the optical waveguide to form a connection end face of the waveguide, and by adhering the optical input / output block to the cut end face of the substrate, the connection end face of the waveguide is formed. Align with the end surface of the light input / output member It is characterized in that optimization.
【００１０】本発明方法において光入出力用ブロック
は、それぞれ２本以上の光ファイバを固定治具などによ
りとりまとめて固定した光ファイバアレイ、およびマル
チビームレーザーダイオードなどを包含する。In the method of the present invention, the optical input / output block includes an optical fiber array in which two or more optical fibers are assembled and fixed by a fixing jig, a multi-beam laser diode, and the like.
【００１１】また、本発明方法において、光入出力部材
とは光ファイバ、およびレーザーダイオード光源などを
包含する。In the method of the present invention, the light input / output member includes an optical fiber, a laser diode light source and the like.
【００１２】さらに、本発明方法において、光入出力部
材の光入出力点の間隔とは，光ファイバアレイ中の光フ
ァイバのコアの相互間隔、およびマルチビームレーザー
ダイオードのビーム間隔などを包含する。Further, in the method of the present invention, the distance between the light input / output points of the light input / output member includes the mutual distance between the cores of the optical fibers in the optical fiber array, the beam distance of the multi-beam laser diode, and the like.
【００１３】[0013]
【作用】本発明の構成によれば、基板に形成された光導
波路相互の間隔は徐々に増加もしくは減少しているた
め、必要な位置で基板を切断／端面形成を行うことよ
り、光導波路相互の間隔を任意に選択することが出来
る。従って、予め、光入出力用ブロックを作製し、この
光入出力ブロックにおける各光入出力点の間隔を測定し
ておき、その間隔に対して最適な導波路間隔となる位置
で基板を切断／端面形成して後、基板（光導波路）と光
入出力ブロックを接続することにより、全ての光導波路
−光入出力点は最適な位置に保持される。According to the structure of the present invention, the distance between the optical waveguides formed on the substrate is gradually increased or decreased. Therefore, by cutting the substrate at the required position / forming the end faces, the optical waveguides are mutually separated. The interval of can be arbitrarily selected. Therefore, an optical input / output block is prepared in advance, the distance between the optical input / output points in this optical input / output block is measured, and the substrate is cut / cut at a position where the optimum waveguide distance is obtained with respect to the distance. After forming the end faces, by connecting the substrate (optical waveguide) and the optical input / output block, all the optical waveguides-optical input / output points are held at optimum positions.
【００１４】すなわち、光入出力用ブロックにおける個
々の光入出力点の間隔が、ブロックごとに若干変動する
という作製誤差を、光導波路間隔を調整することにより
吸収し、各光導波路と光入出力ブロックにおける各光入
出力点相互の位置の最適化をはかることが出来る。That is, a manufacturing error in which the intervals between the individual optical input / output points in the optical input / output block slightly fluctuate for each block is absorbed by adjusting the optical waveguide interval, and the optical waveguides and the optical input / outputs are absorbed. The position of each optical input / output point in the block can be optimized.
【００１５】なお、本方法における各光導波路および各
光入出力点の間隔は、全て等しいと限定されることはな
い。例えば、３本以上の光導波路相互の間隔を、若干異
なる間隔で形成し、各光入出力ブロック内における光入
出力点相互の間隔のバラツキに対して最適化を図る場合
も含まれる。また、４本の光導波路（光入出力点）のう
ち２本を近接させたもの２組を間隔を開けて設置される
ような場合も含まれる。The intervals between the optical waveguides and the optical input / output points in this method are not limited to be equal. For example, it includes a case where the intervals between the three or more optical waveguides are formed to be slightly different from each other to optimize the variation in the intervals between the light input / output points in each light input / output block. It also includes a case in which two sets of four optical waveguides (light input / output points), two of which are close to each other, are installed at intervals.
【００１６】[0016]
【実施例】本発明方法を、下記の実施例により更に詳し
く説明する。実施例１ 図１〜４に、本発明の実施例１を示す。本実施例１にお
いて、光入出力ブロックとして２本の光ファイバをＳｉ
Ｏ2 ブロックに埋め込んだ光ファイバアレイを用い、光
導波路としてＴｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 を使用した。光導波
路の形状は２×２光スイッチとし、光導波路−光ファイ
バ接続本数は、光入力側、出力側とも２本とした。The method of the present invention will be described in more detail with reference to the following examples. Example 1 FIGS. 1 to 4 show Example 1 of the present invention. In the first embodiment, two optical fibers are used as the optical input / output block with Si
An optical fiber array embedded in an O 2 block was used, and Ti diffused LiNbO 3 was used as an optical waveguide. The shape of the optical waveguide was a 2 × 2 optical switch, and the number of optical waveguide-optical fiber connections was two on both the optical input side and the output side.
【００１７】図１において、ＬｉＮｂＯ3 基板１上に２
本の光導波路２ａ，２ｂが形成され、この２本の光導波
路２ａ，２ｂの中央部分により２×２光スイッチ３が構
成され、その両端には、光導波路の２ａ，２ｂの間隔が
端末に向って拡大する間隔拡大部４ａ，４ｂが形成され
ている。In FIG. 1, 2 is formed on the LiNbO 3 substrate 1.
Two optical waveguides 2a and 2b are formed, and a 2 × 2 optical switch 3 is configured by the central portion of the two optical waveguides 2a and 2b. At both ends thereof, the space between the optical waveguides 2a and 2b is connected to the terminal. Interval expanding portions 4a and 4b are formed so as to expand toward each other.
【００１８】図２（Ａ）は図１の光導波路２ａ，２ｂの
左側端に接続されるべき入力側光ファイバアレイ５ａを
示し、図２（Ｂ）は図１の光導波路２ａ，２ｂの右側端
に接続されるべき出力側光ファイバアレイ５ｂを示す。FIG. 2A shows an input side optical fiber array 5a to be connected to the left side ends of the optical waveguides 2a and 2b in FIG. 1, and FIG. 2B shows the right side of the optical waveguides 2a and 2b in FIG. The output side optical fiber array 5b to be connected to the end is shown.
【００１９】図２（Ａ）の光ファイバアレイ５ａにおい
て、２本の光ファイバ芯線６ａ，６ｂの先端部がＳｉＯ
2 ブロック７ａにダイシングソーを用いて形成された幅
１２５μｍ強の溝中に埋め込まれ、接着剤で固定されて
いる、この光ファイバ芯線６ａ，６ｂの先端面は研磨さ
れている。光ファイバ芯線６ａ，６ｂの間隔、すなわち
光入力点の間隔はｄＢ（ＩＮ）である。図２（Ａ）にお
いて、２本の光ファイバ６ａ，６ｂは、その周面におい
て密着している。従ってｄＢ（ＩＮ）は光ファイバ６
ａ，６ｂの外径値（公称値１２５±３μｍ）に等しいこ
とになる。In the optical fiber array 5a of FIG. 2A, the tips of the two optical fiber core wires 6a and 6b are made of SiO 2.
The tip surfaces of the optical fiber core wires 6a and 6b, which are embedded in a groove having a width of 125 μm or more and formed by using a dicing saw in the two blocks 7a and fixed with an adhesive, are polished. The distance between the optical fiber core wires 6a and 6b, that is, the distance between the optical input points is dB (IN). In FIG. 2A, the two optical fibers 6a and 6b are in close contact with each other on their peripheral surfaces. Therefore, dB (IN) is the optical fiber 6
It is equal to the outer diameter value of a, 6b (nominal value 125 ± 3 μm).
【００２０】図２（Ｂ）の出力側光ファイバアレイ５ｂ
において、２本の出力光ファイバ芯線６ｃ，６ｄが、Ｓ
ｉＯ2 ブロック７ｂに、前記と同様に埋め込まれ接着さ
れている。光ファイバ芯線６ｃ，６ｂの光出力点間隔は
ｄＢ（ＯＵＴ）で表わされる。Output side optical fiber array 5b of FIG. 2 (B)
In the two output optical fiber core wires 6c and 6d,
It is embedded and adhered to the iO 2 block 7b in the same manner as described above. The distance between the optical output points of the optical fiber core wires 6c and 6b is represented by dB (OUT).
【００２１】入力側光ファイバ６ａ，６ｂは偏波面保存
ファイバであり、出力側ファイバ６ｃ，６ｄはシングル
モールドファイバであってともに波長１．３μｍ帯用の
ものであった。The optical fibers 6a and 6b on the input side are polarization-maintaining fibers, and the fibers 6c and 6d on the output side are single mold fibers, both of which are for the wavelength band of 1.3 μm.
【００２２】上記の光ファイバブロックの入力側７個、
出力側７個を作製し、その光入出力点間隔を測定したと
ころ光入力側ｄＢ（ＩＮ）＝１２４．５±０．３μｍで
あり、出力側ｄＢ（ＯＵＴ）＝１２５．９±０．２μｍ
であった。7 input sides of the above optical fiber block,
When seven output sides were manufactured and the light input / output point intervals were measured, the light input side was dB (IN) = 124.5 ± 0.3 μm, and the output side dB (OUT) was 125.9 ± 0.2 μm.
Met.
【００２３】図１において基板としては、長さ２０mm×
幅５．０mm×厚さ０．５mmのＬｉＮｂＯ3 のＺ板を使用
し、この基板上に厚さ約７０nmのＴｉ膜を導波路形状に
形成した後、約１０００℃−１０時間空気中で加熱する
ことによりＴｉをＬｉＮｂＯ 3 中に熱拡散し、光導波路
を形成した。導波路幅６μｍ、光ファイバ接続部の光導
波路間隔ｄW は、上記の光ファイバアレイにおけるｄB
が１２５μｍ（基準値）であることから、１２５±２μ
ｍすなわち１２３から１２７μｍとした。なお、基板に
は、ＳｉＯ2 バッファ層、電極も形成したが、図１にお
いてこれらの図示が省略されている。このＬｉＮｂＯ3
基板に、その光入出力端部の上面にファイバアレイ接続
補助用のＬｉＮｂＯ3 小片を接着後、図３に示されてい
るように、光入力端部８ａを、導波路間隔ｄＷ（ＩＮ）
が１２４．５μｍとなる位置（ａ−ａ）で、また光出力
端部８ｂを、導波路間隔ｄＷ（ＯＵＴ）が１２５．９μ
ｍとなる位置（ｂ−ｂ）で切断し、端面形成した。In FIG. 1, the substrate has a length of 20 mm ×
LiNbO with a width of 5.0 mm and a thickness of 0.5 mm3Use Z plate
Then, a Ti film with a thickness of about 70 nm is formed into a waveguide shape on this substrate.
After forming, heat in air at about 1000 ° C for 10 hours
By changing Ti to LiNbO 3Thermal diffusion into the optical waveguide
Was formed. Waveguide width 6 μm, optical fiber connection
Waveguide spacing dWIs d in the above optical fiber arrayB
Is 125 μm (reference value), 125 ± 2 μ
m, that is, 123 to 127 μm. In addition, on the substrate
Is SiO2A buffer layer and electrodes were also formed.
However, these are not shown. This LiNbO3
Fiber array connection to the upper surface of the optical input / output end of the board
LiNbO for auxiliary3After gluing the pieces, shown in Figure 3
So that the optical input end 8a is connected to the waveguide interval dW (IN).
At the position (aa) where is 124.5 μm, optical output again
The end portion 8b has a waveguide spacing dW (OUT) of 125.9 μm.
The end face was formed by cutting at a position (b-b) that would be m.
【００２４】図４において、上記の様に形成された光フ
ァイバアレイ５ａ，５ｂと、光導波路２ａ，２ｂの両端
面を、微動台を用てアライメントし、接着剤９ａ，９ｂ
を用いて固定した。試料数は４個である。アライメント
の方法としては、２組の光ファイバ−光導波路接合部の
両者における結合ロスが、ほぼ等しくなるようにした。
上記のようにして、光導波路２ａ，２ｂの両端面は、光
ファイバ６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄの端面に正確に接合さ
れた。実施例１の試料について入力ファイバ端から出力
ファイバ端までの光透過ロスを測定し、その測定値を表
１に示す。In FIG. 4, the optical fiber arrays 5a and 5b formed as described above and the both end surfaces of the optical waveguides 2a and 2b are aligned by using a fine movement table, and the adhesives 9a and 9b.
It was fixed using. The number of samples is four. As an alignment method, the coupling loss in both of the two sets of optical fiber-optical waveguide joints was made substantially equal.
As described above, the both end faces of the optical waveguides 2a and 2b are accurately joined to the end faces of the optical fibers 6a, 6b, 6c and 6d. The light transmission loss from the input fiber end to the output fiber end was measured for the sample of Example 1, and the measured values are shown in Table 1.
【００２５】比較例１ 比較例１において図５に示されているように、光導波路
２ａ，２ｂは、その端末部分において互に平行であり、
その間隔はｄＷ（ＩＮ）およびｄＷ（ＯＵＴ）は一定で
ある。比較例１においては、ｄＷ（ＩＮ）＝ｄＷ（ＯＵ
Ｔ）＝１２５μｍ一定とした。光導波路２ａ，２ｂの端
面を研磨した。 Comparative Example 1 As shown in FIG. 5 in Comparative Example 1, the optical waveguides 2a and 2b are parallel to each other at their end portions,
The interval is constant in dW (IN) and dW (OUT). In Comparative Example 1, dW (IN) = dW (OU
T) = 125 μm was kept constant. The end faces of the optical waveguides 2a and 2b were polished.
【００２６】図５に示された光導波路２ａ，２ｂの端面
に図２（Ａ）および（Ｂ）に示されている光入出力用光
ファイバアレイの光ファイバ端面を、図６に示されてい
るように接着剤９ａ，９ｂをもって接合した。図６に示
されているように光入力端においては光ファイバ６ａ，
６ｂと、光導波路２ａ，２ｂの端面とはよく一致してい
たが、光入出力端においては、６光ファイバー６ｃ，６
ｄと光導波路２ａ，２ｂの端面とはよく一致していなか
った。この場合の比較試料について、入力ファイバ端か
ら出力ファイバ端までの光透過ロスは（試料数３）は表
１に示されている通りであった。The end faces of the optical waveguides 2a and 2b shown in FIG. 5 are the end faces of the optical fiber array for optical input / output shown in FIGS. 2A and 2B. As shown in FIG. As shown in FIG. 6, at the optical input end, an optical fiber 6a,
6b and the end faces of the optical waveguides 2a and 2b were in good agreement, but at the light input / output end, 6 optical fibers 6c and 6b
d and the end faces of the optical waveguides 2a and 2b did not match well. Regarding the comparative sample in this case, the light transmission loss from the input fiber end to the output fiber end (sample number 3) was as shown in Table 1.
【００２７】[0027]
【表１】 [Table 1]
【００２８】表１から明らかなように、本発明方法によ
る実施例１の接続部は、光透過ロスの絶対値、およびバ
ラツキの少なさにおいて、きわめてすぐれたものであっ
た。As is apparent from Table 1, the connection portion of Example 1 according to the method of the present invention was extremely excellent in the absolute value of light transmission loss and the small variation.
【００２９】実施例２ 実施例２において、下記事項を除き実施例１と同様にし
て光導波路端面に光ファイバアレイの光ファイバ端面を
接続した。但し、図７に示されているように基板１０上
の１本の光導波路１１は入力（左）端から出力（右）端
に向って２本に分岐し、次に４本に分岐し、次に８本に
分岐したものであって４組の光導波路の端部１１ａ，１
１ｂ、１１ｃと１１ｄ、１１ｅと１１ｆおよび１１ｇと
１１ｈはそれぞれ、その相互間隔を一定の比率で除々に
拡大しているものである。すなわち、光導波路１１は図
７から明らかなように１×８分岐部１１Ａと、間隔拡大
部１１Ｂとを有するものである。 Example 2 In Example 2, the optical fiber end face of the optical fiber array was connected to the optical waveguide end face in the same manner as in Example 1 except for the following matters. However, as shown in FIG. 7, one optical waveguide 11 on the substrate 10 branches from the input (left) end to the output (right) end into two, and then into four. Next, the end portions 11a, 1 of the four sets of optical waveguides that are branched into eight
Reference numerals 1b, 11c and 11d, 11e and 11f, and 11g and 11h respectively gradually increase the mutual intervals at a constant ratio. That is, the optical waveguide 11 has a 1 × 8 branch portion 11A and a space enlargement portion 11B, as is apparent from FIG.
【００３０】図８（Ａ），（Ｂ）に示されている光出力
側光ファイバアレイ１２において、８本の光ファイバ芯
線１２ａ〜１２ｈがＳｉ基板１３中に埋め込まれて固定
されている。光ファイバ芯線１２ａ〜１２ｈの光出力部
間隔はｄＢである。In the optical output side optical fiber array 12 shown in FIGS. 8A and 8B, eight optical fiber core wires 12a to 12h are embedded and fixed in the Si substrate 13. The distance between the optical output portions of the optical fiber core wires 12a to 12h is dB.
【００３１】図９に示されているように、基板１の出力
側端部における４組の光導波路端部の間隔ｄＷが、前記
ｄＢに一致する位置Ｃ−Ｃにおいて基板１の出力側端末
部分１４を切断除去し、光導波路接続端面を形成する。As shown in FIG. 9, the output side end portion of the substrate 1 is located at a position C-C where the distance dW between the four sets of optical waveguide end portions at the output side end portion of the substrate 1 coincides with dB. 14 is cut and removed to form an optical waveguide connection end face.
【００３２】上記のようにして調製した基板１の出力端
に対し、図１０に示されているように、光出力側光ファ
イバブロック１２を接着剤１５ａにより接着する。する
と、前述のようにｄＷ＝ｄＢであるから、光導波路１１
ａ〜１１ｈの端面は、光ファイバブロック１２中の光フ
ァイバ芯線１２ａ〜１２ｈの端面に一致し、高精密度を
もって接続される。As shown in FIG. 10, the optical output side optical fiber block 12 is bonded to the output end of the substrate 1 prepared as described above with the adhesive 15a. Then, as described above, since dB = dB, the optical waveguide 11
The end faces of a to 11h coincide with the end faces of the optical fiber core wires 12a to 12h in the optical fiber block 12 and are connected with high precision.
【００３３】また基板の光入力端の光導波路１１の端面
は光入力側光ファイバ１６の端面に接合され、接続剤１
５ｂにより固定される。The end face of the optical waveguide 11 at the light input end of the substrate is joined to the end face of the optical fiber 16 on the light input side.
It is fixed by 5b.
【００３４】[0034]
【発明の効果】本発明方法により、光導波路端面と、光
入出力用ブロック中の光入出力部材、例えば光ファイバ
芯線の端面とを、高精密度をもって正確に接合すること
ができ、それによって従来方法にくらべて光透過の接続
ロスなどのような特性の劣化を少なくすることが可能と
なった。本発明の接続方法は、高速光通信システム、お
よび各種センサなどに用いられる各種導波路型光素子、
例えばｎ×ｍ光スイッチ、および各種分岐導波路に適用
可能なものであって、その性能向上に寄与するところが
きわめて大きなものである。According to the method of the present invention, the end face of the optical waveguide and the end face of the optical input / output member in the optical input / output block, for example, the end face of the optical fiber core wire, can be accurately joined with high precision. Compared with the conventional method, it has become possible to reduce the deterioration of characteristics such as connection loss of light transmission. A connection method of the present invention is a high-speed optical communication system, various waveguide type optical elements used for various sensors,
For example, it can be applied to an n × m optical switch and various branching waveguides, and it greatly contributes to the performance improvement.
【図１】図１は本発明方法に用いられる光導波路を有す
る基板の一例正面説明図。FIG. 1 is a front view showing an example of a substrate having an optical waveguide used in the method of the present invention.
【図２】図２（Ａ）は本発明方法に用いられる光入力側
光ファイバアレイの一例の構成を示す正面説明図であ
り、図２（Ｂ）は本発明方法に用いられる光出力側光フ
ァイバアレイの一例の構成を示す正面説明図。FIG. 2 (A) is a front explanatory view showing a configuration of an example of an optical input side optical fiber array used in the method of the present invention, and FIG. 2 (B) is an optical output side light used in the method of the present invention. Front explanatory drawing which shows the structure of an example of a fiber array.
【図３】図３は図１の基板の切断除去端部分を示す正面
説明図。3 is a front explanatory view showing a cut and removed end portion of the substrate of FIG. 1. FIG.
【図４】図４は本発明方法による光導波路と、光ファイ
バブロック中の光ファイバ芯線との接合を示す正面説明
図。FIG. 4 is a front explanatory view showing the joining of the optical waveguide according to the method of the present invention and the optical fiber core wire in the optical fiber block.
【図５】図５は従来方法に用いられる光導波路を有する
基板の一例を示す正面説明図。FIG. 5 is a front explanatory view showing an example of a substrate having an optical waveguide used in a conventional method.
【図６】図６は、図５に示された従来の光導波路と光フ
ァイバブロック中の光ファイバ芯線との接合を示す正面
説明図。FIG. 6 is a front explanatory view showing the joining of the conventional optical waveguide shown in FIG. 5 and an optical fiber core wire in an optical fiber block.
【図７】図７は本発明方法に用いられる光導波路を有す
る基板の他の一例を示す正面説明図。FIG. 7 is a front explanatory view showing another example of a substrate having an optical waveguide used in the method of the present invention.
【図８】図８（Ａ）は本発明方法に用いられる光ファイ
バアレイの一例の構成を示す断面説明図であり、図８
（Ｂ）はその正面説明図。8 (A) is a cross-sectional explanatory view showing a configuration of an example of an optical fiber array used in the method of the present invention, and FIG.
(B) is the front explanatory view.
【図９】図９は図７の基板の切断除去端未部分を示す正
面説明図。9 is a front explanatory view showing a part of the substrate of FIG. 7 which is not cut and removed.
【図１０】図１０は図７に示された光導波路と、図８に
示された光ファイバアレイとの接合を示す正面説明図。10 is an explanatory front view showing the joining of the optical waveguide shown in FIG. 7 and the optical fiber array shown in FIG.
１…ＬｉＮｂＯ3 基板 ２ａ，２ｂ…光導波路 ３…２×２光スイッチ部 ４ａ，４ｂ…間隔拡大部 ５ａ…入力側光ファイバアレイ ５ｂ…出力側光ファイバアレイ ６ａ〜６ｄ…光ファイバ芯線 ７ａ，７ｂ…ＳｉＯ2 ブロック ８ａ，８ｂ…切断除去端末部分 ９ａ，９ｂ…接着剤 １０…基板 １１…光導波路 １１Ａ…１×８分岐部 １１Ｂ…間隔拡大部 １１ａ〜１１ｈ…光導波路の端部 １２…光出力用光ファイバアレイ １２ａ〜１２ｈ…光ファイバ芯線 １３…Ｓｉ基板 １４…切断除去端未部分 １５ａ，１５ｂ…接着剤 １６…入力側光ファイバ1 ... LiNbO 3 substrate 2a, 2b ... optical waveguide 3 ... 2 × 2 optical switching unit 4a, 4b ... interval enlarged portion 5a ... input optical fiber array 5b ... output side optical fiber array 6 a to 6 d ... optical fiber core line 7a, 7b ... SiO 2 blocks 8a, 8b ... cut off terminal portion 9a, 9b ... adhesive 10 ... substrate 11 ... optical waveguide 11A ... 1 × 8 branch portions 11B ... interval enlarged portion 11a to 11h ... end 12 ... optical output of the optical waveguide Optical fiber array for use 12a to 12h ... Optical fiber core wire 13 ... Si substrate 14 ... Cutting / removing end un-parts 15a, 15b ... Adhesive agent 16 ... Input side optical fiber
フロントページの続き (72)発明者 下津 臣一 千葉県船橋市豊富町585番地 住友セメン ト株式会社中央研究所内Continuation of the front page (72) Inventor Shinichi Shimotsu 585 Tomicho, Funabashi, Chiba Sumitomo Cement Co., Ltd. Central Research Laboratory
Claims (1)
２本以上の導波路の端面に、光入出力用ブロック中に固
定されている２個以上の光入出力部材の端面を一括して
接続するマルチ接続法において、 前記２本以上の導波路を、その間隔がその末端に向って
徐々に拡大、又は縮小するように形成し、 前記光入出力用ブロック中の光入出力部材の光入出力点
の相互間隔に対して、それに接続すべき前記光導波路の
間隔が一致する位置において、前記光導波路を有する基
板の当該端末部分を切断除去して、導波路の接続端面を
形成し、前記基板の切断端面に、前記光入出力用ブロッ
クを接着することにより、前記導波路の接続端面と前記
光入出力部材端面との位置合わせを最適化することを特
徴とする光導波路と光入出力部材との接続方法。1. An end surface of two or more light input / output members fixed in an optical input / output block is collectively attached to one or more end surfaces of two or more waveguides formed at both end portions of a substrate. In the multi-connecting method, the two or more waveguides are formed such that the distance between them gradually increases or decreases toward the end thereof, and the optical input / output member in the optical input / output block. At a position where the distance between the optical waveguides to be connected to the optical input / output points is equal to the distance between the optical input / output points, the terminal portion of the substrate having the optical waveguide is cut and removed to form a waveguide connection end face. An optical waveguide characterized by optimizing the alignment between the connection end face of the waveguide and the end face of the light input / output member by adhering the light input / output block to the cut end face of the substrate. Connection method with optical input / output member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4310371A JPH06160666A (en) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | Method for connecting optical waveguide and optical input/output member |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4310371A JPH06160666A (en) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | Method for connecting optical waveguide and optical input/output member |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160666A true JPH06160666A (en) | 1994-06-07 |
Family
ID=18004448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4310371A Pending JPH06160666A (en) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | Method for connecting optical waveguide and optical input/output member |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06160666A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009154206A1 (en) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | 住友ベークライト株式会社 | Film for optical waveguide, film for laminated optical waveguide, optical waveguide, optical waveguide assembly, optical wiring, optical/electrical hybrid board, and electronic device |
-
1992
- 1992-11-19 JP JP4310371A patent/JPH06160666A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009154206A1 (en) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | 住友ベークライト株式会社 | Film for optical waveguide, film for laminated optical waveguide, optical waveguide, optical waveguide assembly, optical wiring, optical/electrical hybrid board, and electronic device |
| US8705925B2 (en) | 2008-06-20 | 2014-04-22 | Sumitomo Bakelite Company Limited | Optical waveguide film, laminated type optical waveguide film, optical waveguide, optical waveguide assembly, optical wiring line, optical/electrical combination substrate and electronic device |
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