JPH06160114A - エンコーダ - Google Patents
エンコーダInfo
- Publication number
- JPH06160114A JPH06160114A JP4316889A JP31688992A JPH06160114A JP H06160114 A JPH06160114 A JP H06160114A JP 4316889 A JP4316889 A JP 4316889A JP 31688992 A JP31688992 A JP 31688992A JP H06160114 A JPH06160114 A JP H06160114A
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- Japan
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- light
- slit
- slit plate
- slits
- projector
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Abstract
(57)【要約】
【目的】被測定体の動きをスリット板の動きとして捉え
そのスリット板の動きを光電的に検出することにより被
測定体の動きを計測するエンコーダに関し、所定ピツチ
のスリットが形成されたスリット板を用いて従来より微
小な動きを検出する。 【構成】投光器から発せられた光をスリットを通過させ
その光路をスリットの配列方向に対し反転させて再度上
記スリットを通過させて受光器で受光する。
そのスリット板の動きを光電的に検出することにより被
測定体の動きを計測するエンコーダに関し、所定ピツチ
のスリットが形成されたスリット板を用いて従来より微
小な動きを検出する。 【構成】投光器から発せられた光をスリットを通過させ
その光路をスリットの配列方向に対し反転させて再度上
記スリットを通過させて受光器で受光する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定体の動きをスリ
ット板の動きとして捉え、そのスリット板の動きを光電
的に検出することにより被測定体の動きを計測するエン
コーダに関する。
ット板の動きとして捉え、そのスリット板の動きを光電
的に検出することにより被測定体の動きを計測するエン
コーダに関する。
【0002】
【従来の技術】従来より被測定体の動きを多数のスリッ
トが形成されたスリット板の動きに置き換え、このスリ
ット板の動きを光学的に計測するリニアエンコーダ,ロ
ータリエンコーダ等と呼ばれるエンコーダが種々の分野
で多用されている。図6は、従来のエンコーダの一例を
示した模式図である。
トが形成されたスリット板の動きに置き換え、このスリ
ット板の動きを光学的に計測するリニアエンコーダ,ロ
ータリエンコーダ等と呼ばれるエンコーダが種々の分野
で多用されている。図6は、従来のエンコーダの一例を
示した模式図である。
【0003】所定の方向(図の上下方向)に多数配列さ
れたスリット10a,12aを有する2枚のスリット板
10,12が互いに平行に配列されている。スリット板
10は、図示しない被測定体の動きに従って矢印A方向
に移動し、スリット板12は固定されている。スリット
板10には、投光器14から発せられた光16が照射さ
れ、この光16はスリット10aを通過し、さらにスリ
ット板12のスリット12aを通過して受光器18によ
り受光される。
れたスリット10a,12aを有する2枚のスリット板
10,12が互いに平行に配列されている。スリット板
10は、図示しない被測定体の動きに従って矢印A方向
に移動し、スリット板12は固定されている。スリット
板10には、投光器14から発せられた光16が照射さ
れ、この光16はスリット10aを通過し、さらにスリ
ット板12のスリット12aを通過して受光器18によ
り受光される。
【0004】被測定体(図示せず)の動きに従ってスリ
ット板10が矢印A方向に移動すると、受光器18から
はスリット板10の動きに応じた繰り返し信号が出力さ
れ、その信号に基づいて被測定体の動きやその速度が計
測される。尚、投光器14ないし受光器18をスリット
板10,12の近傍には配置せずに離れた位置に配置さ
れた投光器から発せられた光で光ファイバ等を用いて伝
送し、スリットを通過した光を光ファイバに入射して離
れた位置に配置された受光器に導いてもよい。
ット板10が矢印A方向に移動すると、受光器18から
はスリット板10の動きに応じた繰り返し信号が出力さ
れ、その信号に基づいて被測定体の動きやその速度が計
測される。尚、投光器14ないし受光器18をスリット
板10,12の近傍には配置せずに離れた位置に配置さ
れた投光器から発せられた光で光ファイバ等を用いて伝
送し、スリットを通過した光を光ファイバに入射して離
れた位置に配置された受光器に導いてもよい。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】エンコーダを用いて被
測定体の動きを高精度に計測する場合わずかな動きでも
信号が変化するようにスリット10a,12aのピツチ
を細かくするという手法が採用されるが、スリット10
a,12aのピツチを細かくするにも限度があり、この
限度を越えて被測定体の微少な動きを計測することが要
望されている。
測定体の動きを高精度に計測する場合わずかな動きでも
信号が変化するようにスリット10a,12aのピツチ
を細かくするという手法が採用されるが、スリット10
a,12aのピツチを細かくするにも限度があり、この
限度を越えて被測定体の微少な動きを計測することが要
望されている。
【0006】本発明は、上記要望を満足し、所定ピツチ
のスリットが形成されたスリット板を用いて従来より微
小な動きを検出することのできるエンコーダを提供する
ことを目的とする。
のスリットが形成されたスリット板を用いて従来より微
小な動きを検出することのできるエンコーダを提供する
ことを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のエンコーダは、 (1)所定方向に所定のピツチで並ぶ多数のスリットが
形成された、前記所定方向に移動自在なスリット板 (2)スリット板に向けて光を発する投光器 (3)投光器から発せられた光を、スリットを通過させ
て上記所定方向の光路を反転させて再度スリットを通過
させる反射光学系 (4)投光器から発せられスリットを往復した光を受光
する受光器 を備えたこを特徴とするものである。
明のエンコーダは、 (1)所定方向に所定のピツチで並ぶ多数のスリットが
形成された、前記所定方向に移動自在なスリット板 (2)スリット板に向けて光を発する投光器 (3)投光器から発せられた光を、スリットを通過させ
て上記所定方向の光路を反転させて再度スリットを通過
させる反射光学系 (4)投光器から発せられスリットを往復した光を受光
する受光器 を備えたこを特徴とするものである。
【0008】ここで、上記反射光学系は、互いに直角に
向かい合わされた2つの反射面を有する構成であっても
よい。もしくは、上記スリット板が、このスリット板の
投光器および受光器側の表面に多数のスリットを有する
とともに、その表面と対向する裏面にスリットを通過し
てきた光をスリットに向けて反射する反射面を有し、上
記反射光学系が、投光器から発せられた光を反射面に集
光させる投光側レンズと、その反射面自身と、その反射
面で反射した光を受光器に集光させる受光側レンズとを
有する構成としてもよい。
向かい合わされた2つの反射面を有する構成であっても
よい。もしくは、上記スリット板が、このスリット板の
投光器および受光器側の表面に多数のスリットを有する
とともに、その表面と対向する裏面にスリットを通過し
てきた光をスリットに向けて反射する反射面を有し、上
記反射光学系が、投光器から発せられた光を反射面に集
光させる投光側レンズと、その反射面自身と、その反射
面で反射した光を受光器に集光させる受光側レンズとを
有する構成としてもよい。
【0009】上記本発明のエンコーダにおいて、インコ
ヒーレント光を発する投光器を備えることが好ましい。
ヒーレント光を発する投光器を備えることが好ましい。
【0010】
【作用】本発明のエンコーダは、一枚のスリット板を用
いて、投光器から発せられた光をスリットを通過させる
とともにそのスリットを通過した光をその光路を反転さ
せ再度スリットを通過させて受光器で受光するように構
成したものであるため、その一枚のスリット板の移動
は、等価的に、図6に示すスリット板10が矢印A方向
に所定の速度で移動すると同時にスリット板12が矢印
Aとは反対の矢印A’方向に同じ速度で移動することに
相当し、したがって従来と比べ、被測定体の同一の動き
に対し2倍の繰り返し周波数の信号が得られることとな
り、本発明のエンコーダでは従来と比べ2倍の精度の計
測が可能となる。
いて、投光器から発せられた光をスリットを通過させる
とともにそのスリットを通過した光をその光路を反転さ
せ再度スリットを通過させて受光器で受光するように構
成したものであるため、その一枚のスリット板の移動
は、等価的に、図6に示すスリット板10が矢印A方向
に所定の速度で移動すると同時にスリット板12が矢印
Aとは反対の矢印A’方向に同じ速度で移動することに
相当し、したがって従来と比べ、被測定体の同一の動き
に対し2倍の繰り返し周波数の信号が得られることとな
り、本発明のエンコーダでは従来と比べ2倍の精度の計
測が可能となる。
【0011】また本発明のエンコーダにおいてはスリッ
ト板の一方の側で投光および受光の双方が行われるた
め、スリット板を挾んだ両側双方に投受光器と接続され
る電気ケーブル、あるいは投光、受光の光を導く光ケー
ブル等を配置する必要がなく、スリット板の片側にのみ
配置すればよいため、このエンコーダの組立作業が容易
となり、装置の小型化、コストダウンにも通じることと
なる。
ト板の一方の側で投光および受光の双方が行われるた
め、スリット板を挾んだ両側双方に投受光器と接続され
る電気ケーブル、あるいは投光、受光の光を導く光ケー
ブル等を配置する必要がなく、スリット板の片側にのみ
配置すればよいため、このエンコーダの組立作業が容易
となり、装置の小型化、コストダウンにも通じることと
なる。
【0012】また、図5に示す従来のエンコーダないし
本発明のエンコーダにおいて、スリットで回折が生じる
が、図6に示す従来のエンコーダにおいて2枚のスリッ
ト板10,12の間隔が十分離れている場合、あるい
は、本発明のエンコーダにおいてスリットを往路で通過
してから復路で通過するまでの光路が十分長い場合、イ
ンコヒーレント光を採用すると繰返し周波数の1倍の信
号がほとんどなくなりスリットピッチの1/2の周期で
1パルスが発生する。したがってコヒーレント光を採用
した場合と比べ2倍の繰り返し周波数の信号が得られる
ことになる。本発明のエンコーダにおいてインコヒーレ
ント光を採用した場合、図6に示す従来のエンコーダに
おいてコヒーレント光を採用した場合と比べ、スリット
板の等価的な2倍の動きにより2倍、インコヒーレント
光を採用したことによりさらに2倍、合計4倍の繰り返
し周波数の信号を得ることができ、したがって測定精度
がさらに向上する。
本発明のエンコーダにおいて、スリットで回折が生じる
が、図6に示す従来のエンコーダにおいて2枚のスリッ
ト板10,12の間隔が十分離れている場合、あるい
は、本発明のエンコーダにおいてスリットを往路で通過
してから復路で通過するまでの光路が十分長い場合、イ
ンコヒーレント光を採用すると繰返し周波数の1倍の信
号がほとんどなくなりスリットピッチの1/2の周期で
1パルスが発生する。したがってコヒーレント光を採用
した場合と比べ2倍の繰り返し周波数の信号が得られる
ことになる。本発明のエンコーダにおいてインコヒーレ
ント光を採用した場合、図6に示す従来のエンコーダに
おいてコヒーレント光を採用した場合と比べ、スリット
板の等価的な2倍の動きにより2倍、インコヒーレント
光を採用したことによりさらに2倍、合計4倍の繰り返
し周波数の信号を得ることができ、したがって測定精度
がさらに向上する。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
1は、本発明の一実施例のエンコーダの概略構成図であ
る。このエンコーダは、多数のスリット30aが所定の
方向(図の上下方向)に所定のピツチで配列されたスリ
ット板30を備えており、このスリット板30は、図示
しない被測定体の動きに対応して矢印A方向に移動す
る。スリット板30の、図の左方には、投光器24と受
光器28が互いに並べられて配置されており、またスリ
ット板30の、図の右側には、互いに直角に向かい合わ
された2枚の反射鏡32a,32bからなる反射光学系
32が備えられている。この2枚の反射鏡32a,32
bは実質的に反射鏡の役割りを成せばよく、例えば直角
プリズム等を用いてもよい。
1は、本発明の一実施例のエンコーダの概略構成図であ
る。このエンコーダは、多数のスリット30aが所定の
方向(図の上下方向)に所定のピツチで配列されたスリ
ット板30を備えており、このスリット板30は、図示
しない被測定体の動きに対応して矢印A方向に移動す
る。スリット板30の、図の左方には、投光器24と受
光器28が互いに並べられて配置されており、またスリ
ット板30の、図の右側には、互いに直角に向かい合わ
された2枚の反射鏡32a,32bからなる反射光学系
32が備えられている。この2枚の反射鏡32a,32
bは実質的に反射鏡の役割りを成せばよく、例えば直角
プリズム等を用いてもよい。
【0014】投光器24から発せられた光26a,26
bは、スリット板30のスリット30aを通り、反射鏡
32aで反射し、さらに反射鏡32bで反射し、再度ス
リット30aを通り受光器28で受光される。ここで、
投光器24から発せられた、図の上側の光路を通る光2
6aおよび図の下側の光路を通る光26bは、反射光学
系32で反射された後の復路では、その光路の上下が逆
となり、往路では図の上側の光路を通った光26aが復
路では図の下側の光路を通り、往路では図の下側の光路
を通った光26bが復路では図の上側の光路を通ること
となる。即ち、この反射光学系は、投光器から発せられ
スリット30aを通過した光26a,26bのスリット
30aの配列方向(図の上下方向)の光路を反転させて
再度スリット30aを通過させるものである。
bは、スリット板30のスリット30aを通り、反射鏡
32aで反射し、さらに反射鏡32bで反射し、再度ス
リット30aを通り受光器28で受光される。ここで、
投光器24から発せられた、図の上側の光路を通る光2
6aおよび図の下側の光路を通る光26bは、反射光学
系32で反射された後の復路では、その光路の上下が逆
となり、往路では図の上側の光路を通った光26aが復
路では図の下側の光路を通り、往路では図の下側の光路
を通った光26bが復路では図の上側の光路を通ること
となる。即ち、この反射光学系は、投光器から発せられ
スリット30aを通過した光26a,26bのスリット
30aの配列方向(図の上下方向)の光路を反転させて
再度スリット30aを通過させるものである。
【0015】このように構成されたエンコーダは、等価
的に図5のように図示することができ、被測定体の動き
に応じてスリット板30が矢印A方向に移動すると、こ
の移動は、図5に示すエンコーダではスリット板10が
矢印A方向に移動するとともにスリット板12が矢印
A’方向に同じ速度で移動することに対応する。したが
って従来と比べ2倍の繰り返し周波数の信号を得ること
ができ被測定体の動きを2倍の精度で計測することがで
きる。
的に図5のように図示することができ、被測定体の動き
に応じてスリット板30が矢印A方向に移動すると、こ
の移動は、図5に示すエンコーダではスリット板10が
矢印A方向に移動するとともにスリット板12が矢印
A’方向に同じ速度で移動することに対応する。したが
って従来と比べ2倍の繰り返し周波数の信号を得ること
ができ被測定体の動きを2倍の精度で計測することがで
きる。
【0016】図2は、図1に示すエンコーダにおいて、
スリット板30が傾いた場合の等価構造図である。従来
のエンコーダ(図5参照)においては、スリット板1
0,12は一方が固定、他方が移動自在に構成されるた
め互いに別の部品として構成される。したがって図5に
破線で示すスリット板12’のように、2枚のスリット
板10,12の平行度が保たれず一方のみが傾き、これ
により2枚のスリット板10,12’のスリット10
a,12a’のピツチが合わなくなり、このため信号に
影響が生じ、最悪の場合正規の信号そのものが消失して
しまう恐れがある。これに対し、図1に示すエンコーダ
では、スリット板30の傾きは、2枚のスリット板が互
いに平行を保ったまま傾くことと等価であり、等価的な
2枚のスリット板のピツチはそのまま保たれ、スリット
30が傾くことによって信号が消失してしまうようなこ
とはなく、したがって精度を保ったまま組立ての公差を
大きくとることができ、この点からも組立作業が容易と
なり低コスト化を図ることができることとなる。
スリット板30が傾いた場合の等価構造図である。従来
のエンコーダ(図5参照)においては、スリット板1
0,12は一方が固定、他方が移動自在に構成されるた
め互いに別の部品として構成される。したがって図5に
破線で示すスリット板12’のように、2枚のスリット
板10,12の平行度が保たれず一方のみが傾き、これ
により2枚のスリット板10,12’のスリット10
a,12a’のピツチが合わなくなり、このため信号に
影響が生じ、最悪の場合正規の信号そのものが消失して
しまう恐れがある。これに対し、図1に示すエンコーダ
では、スリット板30の傾きは、2枚のスリット板が互
いに平行を保ったまま傾くことと等価であり、等価的な
2枚のスリット板のピツチはそのまま保たれ、スリット
30が傾くことによって信号が消失してしまうようなこ
とはなく、したがって精度を保ったまま組立ての公差を
大きくとることができ、この点からも組立作業が容易と
なり低コスト化を図ることができることとなる。
【0017】図3は、本発明のエンコーダの他の実施例
の概略構成図、図4はその等価構成図である。この実施
例におけるスリット板40は、ガラス板42の表面側に
例えば銀蒸着によりスリット44が形成され、ガラス板
42の裏面側に反射ミラー60を配置したものである。
の概略構成図、図4はその等価構成図である。この実施
例におけるスリット板40は、ガラス板42の表面側に
例えば銀蒸着によりスリット44が形成され、ガラス板
42の裏面側に反射ミラー60を配置したものである。
【0018】投光器50から発せられた光52は、投光
側レンズ54により反射ミラー60の反射面61に集光
され、この反射面で反射した光は受光側レンズ56を介
して受光器58に集光される。受光器58は、光を受光
するセンサそのものであってもよいが、光ファイバとセ
ンサとの組合せであってもよく、この場合、受光側レン
ズ56は、当然ながら、光ファイバの端面に光を集光さ
せることになる。
側レンズ54により反射ミラー60の反射面61に集光
され、この反射面で反射した光は受光側レンズ56を介
して受光器58に集光される。受光器58は、光を受光
するセンサそのものであってもよいが、光ファイバとセ
ンサとの組合せであってもよく、この場合、受光側レン
ズ56は、当然ながら、光ファイバの端面に光を集光さ
せることになる。
【0019】ここで、往路の光52は、反射面61で反
射された後その光路が上下反射されて戻ることになる。
この図3に示すエンコーダは、等価的には図4に示す構
成を有し、図3に示すスリット板40の矢印A方向への
移動は、図4に示す2枚のスリット板の矢印A,A’方
向への移動に相当する。これにより、従来(図6参照)
と比べ、2倍の繰り返し周波数の信号が得られ、従来と
比べ2倍の精度で被測定体の動きが計測される。
射された後その光路が上下反射されて戻ることになる。
この図3に示すエンコーダは、等価的には図4に示す構
成を有し、図3に示すスリット板40の矢印A方向への
移動は、図4に示す2枚のスリット板の矢印A,A’方
向への移動に相当する。これにより、従来(図6参照)
と比べ、2倍の繰り返し周波数の信号が得られ、従来と
比べ2倍の精度で被測定体の動きが計測される。
【0020】図5は、本発明のエンコーダのさらに異な
る実施例の概略構成図である。この実施例において、図
3に示す実施例と同一の構成要素には図3に付した番号
と同一の番号を付し、相違点についてのみ説明する。こ
の実施例におけるスリット板40には、図3に示す実施
例におけるガラス板よりも厚めのガラス板42が用いら
れ、このガラス板42の表面側には図3に示す実施例の
場合と同様に例えば銀蒸着によりスリット44が形成さ
れ、さらにガラス板42の裏面側全面に銀蒸着による反
射面46が形成されている。これにより、この反射面4
6が図3に示す実施例における反射ミラー60と同等の
作用をなし、スリット板40とは別体の反射ミラーを配
置する必要がない。
る実施例の概略構成図である。この実施例において、図
3に示す実施例と同一の構成要素には図3に付した番号
と同一の番号を付し、相違点についてのみ説明する。こ
の実施例におけるスリット板40には、図3に示す実施
例におけるガラス板よりも厚めのガラス板42が用いら
れ、このガラス板42の表面側には図3に示す実施例の
場合と同様に例えば銀蒸着によりスリット44が形成さ
れ、さらにガラス板42の裏面側全面に銀蒸着による反
射面46が形成されている。これにより、この反射面4
6が図3に示す実施例における反射ミラー60と同等の
作用をなし、スリット板40とは別体の反射ミラーを配
置する必要がない。
【0021】このため、図5に示すエンコーダは、スリ
ット板40の後方(図5の右側)には、何らの光学的な
あるいは電気的な部品を配置する必要がなく、したがっ
てこの図5に示すエンコーダは、図1,図3に示すエン
コーダよりも一層組立性が向上することになる。尚、上
記各実施例において、インコヒーレント光を用いスリッ
トを2回通過する間の光路長(等価的な2枚のスリット
板の間隔)を十分に長くとることにより、さらに2倍の
繰り返し周波数の信号を得ることができ、この場合被測
定体の動きをさらに2倍の精度で計測することができ
る。
ット板40の後方(図5の右側)には、何らの光学的な
あるいは電気的な部品を配置する必要がなく、したがっ
てこの図5に示すエンコーダは、図1,図3に示すエン
コーダよりも一層組立性が向上することになる。尚、上
記各実施例において、インコヒーレント光を用いスリッ
トを2回通過する間の光路長(等価的な2枚のスリット
板の間隔)を十分に長くとることにより、さらに2倍の
繰り返し周波数の信号を得ることができ、この場合被測
定体の動きをさらに2倍の精度で計測することができ
る。
【0022】また上記各実施例では、リニアエンコーダ
を想定した概略構成図を参照して説明したが、本発明は
リニアエンコーダだけでなくロータリーエンコーダにも
適用することができることは言うまでもない。その場
合、本発明にいう所定の方向は、回転方向として解釈さ
れる。またロータリーエンコーダの場合、スリットは放
射状に形成されるため、投光器から受光器に至る光路が
直径方向に反転しないよう、図3,図5に示す実施例を
ロータリーエンコーダに適用する場合、レンズ54,5
6としてシリンドリカルレンズを用いることが必要とな
る。
を想定した概略構成図を参照して説明したが、本発明は
リニアエンコーダだけでなくロータリーエンコーダにも
適用することができることは言うまでもない。その場
合、本発明にいう所定の方向は、回転方向として解釈さ
れる。またロータリーエンコーダの場合、スリットは放
射状に形成されるため、投光器から受光器に至る光路が
直径方向に反転しないよう、図3,図5に示す実施例を
ロータリーエンコーダに適用する場合、レンズ54,5
6としてシリンドリカルレンズを用いることが必要とな
る。
【0023】また、図1〜図5には、スリット板に隣接
して実際に光を発する光源や実際に光を受光するセンサ
が配置されているが、これら実際に光を発する光源や実
際に光を受光するセンサはスリット板から離れた位置に
配置し、光源から発せられた光を光ファイバ等でスリッ
ト板に導き、スリット板を通過した光を光ファイバ等で
実際に光を受光するセンサに導く構成としてもよい。こ
の場合、本発明にいう投光器、受光器は、それぞれ、光
源と光ファイバと組合せ、光ファイバとセンサとの組合
せとして観念される。
して実際に光を発する光源や実際に光を受光するセンサ
が配置されているが、これら実際に光を発する光源や実
際に光を受光するセンサはスリット板から離れた位置に
配置し、光源から発せられた光を光ファイバ等でスリッ
ト板に導き、スリット板を通過した光を光ファイバ等で
実際に光を受光するセンサに導く構成としてもよい。こ
の場合、本発明にいう投光器、受光器は、それぞれ、光
源と光ファイバと組合せ、光ファイバとセンサとの組合
せとして観念される。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のエンコー
ダは、投光器から発せられた光をスリットを通過させそ
の光路をスリットの配列方向に対し反転させて再度上記
スリットを通過させて受光器で受光する構成としたた
め、スリット板の動きが2倍に生かされ、2倍の精度で
被測定体の動きを計測することができる。また本発明に
おいてインコヒーレント光を用いた場合、コヒーレント
光を用いた場合と比べさらに2倍、合計4倍の精度で被
測定体の動きが計測される。
ダは、投光器から発せられた光をスリットを通過させそ
の光路をスリットの配列方向に対し反転させて再度上記
スリットを通過させて受光器で受光する構成としたた
め、スリット板の動きが2倍に生かされ、2倍の精度で
被測定体の動きを計測することができる。また本発明に
おいてインコヒーレント光を用いた場合、コヒーレント
光を用いた場合と比べさらに2倍、合計4倍の精度で被
測定体の動きが計測される。
【図1】本発明の一実施例のエンコーダの概略構成図で
ある。
ある。
【図2】図1に示すエンコーダにおいて、スリット板3
0が傾いた場合の等価構造図である。
0が傾いた場合の等価構造図である。
【図3】本発明のエンコーダの他の実施例の概略構成図
である。
である。
【図4】図3に示す実施例の等価構成図である。
【図5】本発明のエンコーダのさらに異なる実施例の概
略構成図である。
略構成図である。
【図6】従来のエンコーダの一例を示した模式図であ
る。
る。
24 投光器 28 受光器 30 スリット板 30a スリット 32 反射光学系 32a,32b 反射鏡 40 スリット板 42 ガラス板 44 スリット 46 反射面 50 投光器 54 投光側レンズ 56 受光側レンズ 58 受光器 60 反射ミラー 61 反射面
Claims (4)
- 【請求項1】 所定方向に所定のピツチで並ぶ多数のス
リットが形成された、前記所定方向に移動自在なスリッ
ト板と、 前記スリット板に向けて光を発する投光器と、 該投光器から発せられた光を、前記スリットを通過させ
前記所定方向の光路を反転させて再度前記スリットを通
過させる反射光学系と、 前記投光器から発せられ前記スリットを往復した光を受
光する受光器とを備えたことを特徴とするエンコーダ。 - 【請求項2】 前記反射光学系が、互いに直角に向かい
合わされた2つの反射面を有することを特徴とする請求
項1記載のエンコーダ。 - 【請求項3】 前記スリット板が、該スリット板の前記
投光器および前記受光器側の表面に前記多数のスリット
を有するとともに、該表面と対向する裏面に該スリット
を通過してきた光を該スリットに向けて反射する反射面
を有し、 前記反射光学系が、前記投光器から発せられた光を前記
反射面に集光させる投光側レンズと、前記反射面と、該
反射面で反射した光を前記受光器に集光させる受光側レ
ンズとからなることを特徴とする請求項1記載のエンコ
ーダ。 - 【請求項4】 前記投光器が、インコヒーレント光を発
するものであることを特徴とする請求項1から3のうち
いずれか1項記載のエンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4316889A JPH06160114A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4316889A JPH06160114A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06160114A true JPH06160114A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18082041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4316889A Pending JPH06160114A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06160114A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2176626A2 (en) * | 2007-08-08 | 2010-04-21 | Eliezer Zeichner | Encoding device, system and method |
JP2012098287A (ja) * | 2010-11-03 | 2012-05-24 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光学式角度測定装置 |
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-
1992
- 1992-11-26 JP JP4316889A patent/JPH06160114A/ja active Pending
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Date | Code | Title | Description |
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