JPH0615131Y2 - エアスライド装置 - Google Patents
エアスライド装置Info
- Publication number
- JPH0615131Y2 JPH0615131Y2 JP1989002891U JP289189U JPH0615131Y2 JP H0615131 Y2 JPH0615131 Y2 JP H0615131Y2 JP 1989002891 U JP1989002891 U JP 1989002891U JP 289189 U JP289189 U JP 289189U JP H0615131 Y2 JPH0615131 Y2 JP H0615131Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slide
- slide table
- guide
- sphere
- friction plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、高精度な案内及び位置決めを必要とする精
密工作機械、測定器等の送り装置として利用される静圧
空気軸受を備えたエアスライド装置に関するものであ
る。
密工作機械、測定器等の送り装置として利用される静圧
空気軸受を備えたエアスライド装置に関するものであ
る。
角柱状のテーブルガイドの外側にテーブルをスライド自
在に取付け、そのテーブルとテーブルガイドとの間に形
成された軸受すきまに圧縮空気を供給して上記テーブル
を移動させるようにしたエアスライド装置は、テーブル
ガイドに対してスライドテーブルが非接触の状態で移動
するため、ステック・スリップの無い滑らかな動きをす
る特徴を有している。
在に取付け、そのテーブルとテーブルガイドとの間に形
成された軸受すきまに圧縮空気を供給して上記テーブル
を移動させるようにしたエアスライド装置は、テーブル
ガイドに対してスライドテーブルが非接触の状態で移動
するため、ステック・スリップの無い滑らかな動きをす
る特徴を有している。
このため、精密工作機械、測定器の如く、サブミクロン
の高精度な案内及び位置決めを必要とする送り装置とし
て非常に多く用いられている。
の高精度な案内及び位置決めを必要とする送り装置とし
て非常に多く用いられている。
しかし、スライドテーブルの外部振動に対するダンパー
機能を有していないため、制御上発振し易く、しかも発
振するとなかなか減衰されない難点があり、位置決めを
行なう場合、振動により位置決め精度が損なわれる欠点
があった。
機能を有していないため、制御上発振し易く、しかも発
振するとなかなか減衰されない難点があり、位置決めを
行なう場合、振動により位置決め精度が損なわれる欠点
があった。
そこで、実開昭62−134631号公報に示されたス
ライドテーブル装置においては、第4図及び第5図に示
すように、テーブルガイド20の外側にスライド自在に
取付けたスライドテーブル21の上板22下面に溝23
を形成し、その溝23の底面に多数のポケット24を設
け、そのポケット24内に球体25を組込んで抜け止め
し、かつポケット24内にグリース等の粘性流体を封入
し、上記テーブルガイド20と球体25との間に生じる
すべり抵抗によりスライドテーブル21にダンパー効果
を付与して位置決め精度の向上を図るようにしている。
ライドテーブル装置においては、第4図及び第5図に示
すように、テーブルガイド20の外側にスライド自在に
取付けたスライドテーブル21の上板22下面に溝23
を形成し、その溝23の底面に多数のポケット24を設
け、そのポケット24内に球体25を組込んで抜け止め
し、かつポケット24内にグリース等の粘性流体を封入
し、上記テーブルガイド20と球体25との間に生じる
すべり抵抗によりスライドテーブル21にダンパー効果
を付与して位置決め精度の向上を図るようにしている。
上記スライドテーブル装置においては、サーボ系を構成
した場合、クロスオーバー周波数、位相余有ともに十分
な値となっているが、常時ダンピング付きのため、加速
が悪く、速応性に問題がある。
した場合、クロスオーバー周波数、位相余有ともに十分
な値となっているが、常時ダンピング付きのため、加速
が悪く、速応性に問題がある。
そこで、この考案は上記の問題を解決し、加速性能の向
上を図ることを技術的課題としている。
上を図ることを技術的課題としている。
上記の課題を解決するために、この考案においては、テ
ーブルガイドに沿ってスライド自在に取付けられたスラ
イドテーブルの下面に多数のポケットを形成し、そのポ
ケット内に球体を組込んで球体の一部がポケットから突
出する状態で抜け止めし、かつポケット内に粘性流体を
封入し、上記スライドテーブルの下方には、そのスライ
ドテーブルのストローク量に対応する長さを有する摩擦
板をスライドテーブルの下面に対して上下動自在に設け
た構成を採用したのである。
ーブルガイドに沿ってスライド自在に取付けられたスラ
イドテーブルの下面に多数のポケットを形成し、そのポ
ケット内に球体を組込んで球体の一部がポケットから突
出する状態で抜け止めし、かつポケット内に粘性流体を
封入し、上記スライドテーブルの下方には、そのスライ
ドテーブルのストローク量に対応する長さを有する摩擦
板をスライドテーブルの下面に対して上下動自在に設け
た構成を採用したのである。
上記の構成から成るスライド装置においては、スライド
テーブルの移動時に摩擦板を下降位置に保持し、テーブ
ルの停止時に上記摩擦板を上昇して球体と接触させ、球
体と摩擦板との間に生じるすべり抵抗によりスライドテ
ーブルにダンピング効果を付与するのである。
テーブルの移動時に摩擦板を下降位置に保持し、テーブ
ルの停止時に上記摩擦板を上昇して球体と接触させ、球
体と摩擦板との間に生じるすべり抵抗によりスライドテ
ーブルにダンピング効果を付与するのである。
以下、この考案の実施例を第1図乃至第3図に基づいて
説明する。
説明する。
図示のように、両端部が支柱1によって支持されたテー
ブルガイド2の上下および両側には案内面3が設けられ
ている。このテーブルガイド2の外側に設けられたスラ
イドテーブル4は、テーブルガイド2の各案内面3と対
向する上板5、下板6および一対の側板7を有し、その
各板体5、6、7と案内面3との間に軸受すきま8が設
けられている。また、各板体5、6、7には軸受すきま
8に連通してノズル9が設けられ、そのノズル9から軸
受すきま8に供給される圧縮空気によって、スライドテ
ーブル4はテーブルガイド2に対して非接触の状態の保
持される。
ブルガイド2の上下および両側には案内面3が設けられ
ている。このテーブルガイド2の外側に設けられたスラ
イドテーブル4は、テーブルガイド2の各案内面3と対
向する上板5、下板6および一対の側板7を有し、その
各板体5、6、7と案内面3との間に軸受すきま8が設
けられている。また、各板体5、6、7には軸受すきま
8に連通してノズル9が設けられ、そのノズル9から軸
受すきま8に供給される圧縮空気によって、スライドテ
ーブル4はテーブルガイド2に対して非接触の状態の保
持される。
スライドテーブル4は、テーブルガイド2に対して非接
触の状態において移動される。その移動装置は図では省
略してあるが、テーブルガイドにスライドテーブルの移
動方向に長い溝を形成し、その溝の底面に鉄芯にコイル
を巻付けた電磁石を取付け、一方、スライドテーブルに
は、上記電磁石に対向して永久磁石を取付け、上記電磁
石に対する電通によってスライドテーブルに推力を付与
するようにしたものを採用することができる。
触の状態において移動される。その移動装置は図では省
略してあるが、テーブルガイドにスライドテーブルの移
動方向に長い溝を形成し、その溝の底面に鉄芯にコイル
を巻付けた電磁石を取付け、一方、スライドテーブルに
は、上記電磁石に対向して永久磁石を取付け、上記電磁
石に対する電通によってスライドテーブルに推力を付与
するようにしたものを採用することができる。
上記スライドテーブル4の下板6の下面には多数のポケ
ット10が設けられ、そのポケット10内に球体11が
組込まれ、かつグリース等の粘性流体12が封入されて
いる。球体11は、ポケット10の開口部に設けた絞り
部13によって一部がポケット10から外部に突出する
状態で抜け止めされる。
ット10が設けられ、そのポケット10内に球体11が
組込まれ、かつグリース等の粘性流体12が封入されて
いる。球体11は、ポケット10の開口部に設けた絞り
部13によって一部がポケット10から外部に突出する
状態で抜け止めされる。
前記スライドテーブル4の下方には、そのテーブル4の
ストローク量に対応する長さを有する摩擦板14が上下
動自在に支持され、その摩擦板14はスライドテーブル
4の移動停止時に、球体11と接触する位置まで上下動
される。上記摩擦板14を上下動させる駆動装置とし
て、ここではシリンダ15を用いているが、駆動装置は
これに限定されるものではない。
ストローク量に対応する長さを有する摩擦板14が上下
動自在に支持され、その摩擦板14はスライドテーブル
4の移動停止時に、球体11と接触する位置まで上下動
される。上記摩擦板14を上下動させる駆動装置とし
て、ここではシリンダ15を用いているが、駆動装置は
これに限定されるものではない。
実施例で示すエアスライド装置は上記の構造から成り、
スライドテーブル4の移動に際しては、摩擦板14を下
降し、その摩擦板14と球体11とを非接触の状態の保
持すると共に、各ノズル9から軸受すきま8に圧縮空気
を供給し、軸受すきま8に形成される空気膜によりテー
ブルガイド2とスライドテーブル4とを非接触の状態に
保持して上記スライドテーブル4を移動させる。
スライドテーブル4の移動に際しては、摩擦板14を下
降し、その摩擦板14と球体11とを非接触の状態の保
持すると共に、各ノズル9から軸受すきま8に圧縮空気
を供給し、軸受すきま8に形成される空気膜によりテー
ブルガイド2とスライドテーブル4とを非接触の状態に
保持して上記スライドテーブル4を移動させる。
上記のように、スライドテーブル4を摩擦板14および
テーブルガイド2に対して非接触の状態に保持すること
により、上記テーブル4をきわめて効果的に加速するこ
とができる。
テーブルガイド2に対して非接触の状態に保持すること
により、上記テーブル4をきわめて効果的に加速するこ
とができる。
また、スライドテーブル4の停止に際しては、摩擦板1
4を上昇し、その摩擦板14を球体11と接触させ、摩
擦板14と球体11との間にすべり抵抗を付与する。そ
のすべり抵抗の付加によってスライドテーブル4にダン
ピング効果が付与されるため、スライドテーブル4をき
わめて高精度に位置決めすることができる。
4を上昇し、その摩擦板14を球体11と接触させ、摩
擦板14と球体11との間にすべり抵抗を付与する。そ
のすべり抵抗の付加によってスライドテーブル4にダン
ピング効果が付与されるため、スライドテーブル4をき
わめて高精度に位置決めすることができる。
以上のように、この考案においては、スライドテーブル
の移動時に摩擦板と球体とを非接触の状態に保持するた
め、前述従来のスライド装置に比較して速応性がよく、
スライドテーブルの加速性能の向上を図ることができ
る。
の移動時に摩擦板と球体とを非接触の状態に保持するた
め、前述従来のスライド装置に比較して速応性がよく、
スライドテーブルの加速性能の向上を図ることができ
る。
また、スライドテーブルの停止時には、摩擦板を球体に
接触し、球体と摩擦板との間に生じるすべり抵抗により
スライドテーブルにダンピング効果を付与するようにし
たので、スライドテーブルをきわめて高精度に位置決め
することができる。
接触し、球体と摩擦板との間に生じるすべり抵抗により
スライドテーブルにダンピング効果を付与するようにし
たので、スライドテーブルをきわめて高精度に位置決め
することができる。
第1図は、この考案に係るエアスライド装置の一実施例
を示す縦断正面図、第2図は同上の縦断側面図、第3図
は同上の作動状態を示す縦断正面図、第4図は従来のエ
アスライド装置を示す斜視図、第5図は第4図の縦断側
面図である。 2……テーブルガイド、3……案内面、 4……スライドテーブル、8……軸受すきま、 10……ポケット、11……球体、 12……粘性流体、14……摩擦板。
を示す縦断正面図、第2図は同上の縦断側面図、第3図
は同上の作動状態を示す縦断正面図、第4図は従来のエ
アスライド装置を示す斜視図、第5図は第4図の縦断側
面図である。 2……テーブルガイド、3……案内面、 4……スライドテーブル、8……軸受すきま、 10……ポケット、11……球体、 12……粘性流体、14……摩擦板。
Claims (1)
- 【請求項1】上下および両側に案内面を有するテーブル
ガイドと、そのテーブルガイドの外側にスライド自在に
設けられ、上記案内面との間に軸受すきまが形成された
スライドテーブルとから成り、上記軸受すきまに圧縮空
気を供給してスライドテーブルをテーブルガイドに対し
て非接触の状態で移動させるようにしたエアスライド装
置において、前記スライドテーブルの下面に多数のポケ
ットを設け、そのポケット内に粘性流体と球体とを組込
んで球体の一部がポケットから外部に臨む状態で抜け止
めし、上記スライドテーブルの移送路には、そのスライ
ドテーブルのストローク量に対応する長さを有する摩擦
板をスライドテーブル下面に対して上下動自在に設けた
ことを特徴とするエアスライド装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989002891U JPH0615131Y2 (ja) | 1989-01-14 | 1989-01-14 | エアスライド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989002891U JPH0615131Y2 (ja) | 1989-01-14 | 1989-01-14 | エアスライド装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0294923U JPH0294923U (ja) | 1990-07-27 |
JPH0615131Y2 true JPH0615131Y2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=31204057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989002891U Expired - Lifetime JPH0615131Y2 (ja) | 1989-01-14 | 1989-01-14 | エアスライド装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0615131Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-01-14 JP JP1989002891U patent/JPH0615131Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0294923U (ja) | 1990-07-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |