JPH06147776A - 真空炉における通電端子部分の構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空容器の壁部及び断熱壁を貫通する通電端
子において、断熱壁の内側の部分の温度を発熱体の温度
と近くすることができて、その部分に近い被処理材も発
熱体に近い被処理材も共に温度分布を均等化させられる
ようにする。 【構成】 断熱壁において通電端子が貫通する部分の周
囲の部分は、断熱室の内部側の面を窪ませてある為、断
熱室内の空間に対する通電端子の露出面積は大きく多く
の熱量を受ける。従ってそこの温度を発熱体の温度と均
等に高くすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空炉において、炉内に
備えられている発熱体に対し炉外から電気を供給する為
に設けられている通電端子部分の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】図３、４に示される如く、真空容器1f内
に、内部に被処理材の存置空間3fと該空間に置かれる被
処理材6fを加熱する為の発熱体7fとを備えている断熱室
2fが配置され、しかも上記真空容器1fの壁部及び上記断
熱室2fにおける断熱壁２afの一部を貫通する状態に設け
られた通電端子8fは、真空容器1fの外側に位置する部分
9fが冷却されており、上記発熱体7fは上記通電端子8fに
おける上記断熱壁２afの内側に位置する部分に接続して
ある。このような構造では、炉外から炉内の発熱体7fに
電気を伝えてそれを発熱させる場合、発熱体7fの熱が通
電端子8fを通してその炉外の部分に向け伝わってきて
も、その部分9fは冷却されているからそこの温度を低く
保つことができ、近隣の作業者の安全を確保したり、或
いは、上記部分9fが耐熱性の低い材料で形成されている
場合その部分の損傷を防止したりすることのできる効果
がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし上記通電端子8f
は断熱室2fの外部の部分の冷たさが断熱室2fの内部の部
分14bfにまで伝わってきてそこが局所的冷温部となる。
この為、断熱室2f内の存置空間に被処理材6fをいっぱい
に入れると、上記局所的冷温部14bfに近い被処理材6fに
対する加熱が不十分となって温度むらを生ぜしめる問題
点があった。

【０００４】本願発明は上記従来技術の問題点（技術的
課題）を解決する為になされたもので、通電端子におけ
る断熱壁の内側の部分の温度を発熱体の温度と均等に近
くすることができて、被処理材を存置空間に充満させた
場合においても被処理材の温度分布を均等化させられる
ようにした真空炉における通電端子部分の構造を提供す
ることを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本願発明における真空炉における通電端子部分の構
造は、真空容器内には、内部に被処理材の存置空間と該
空間に置かれる被処理材を加熱する為の発熱体とを備え
ている断熱室が配置され、しかも上記真空容器の壁部及
び上記断熱室における断熱壁の一部を貫通する状態に設
けられた通電端子は、断熱壁の外側に位置する一部が冷
却されており、上記発熱体は上記通電端子における上記
断熱壁の内側に位置する部分に接続してある真空炉にお
いて、上記断熱壁における上記通電端子貫通部分の周囲
の部分においては、断熱室内の空間に対する通電端子の
露出面積を増大させる為に、断熱室の内部側の面を窪ま
せたものである。

【０００６】

【作用】通電端子における真空容器外部側の部分に与え
られた電気は通電端子を通して発熱体に供給される。通
電端子における真空容器外部側の部分は冷却されてそこ
の温度が低く保たれる。通電端子において断熱室内の空
間に露出する部分は面積が広くなっていて多くの熱量を
受ける為、そこの温度を発熱体の温度と均等に近くする
ことができる。

【０００７】

【実施例】以下本願の実施例を示す図面について説明す
る。図１および図２において、符号１〜15は真空炉にお
ける周知の構成を示すもので、１は真空容器、２は断熱
室で、例えば黒鉛製の断熱壁2aで形成されて、内部に被
処理材の存置空間３をそなえている。存置空間３には、
例えば載置台４の上に棚５を用いて多数の被処理材６が
存置される。７は断熱壁2aの内面に沿わせて設けた発熱
体、８は真空容器１の壁部及び断熱壁2aの一部を貫通す
る状態に設けた通電端子である。９は端子８における元
部側要素で、導電性の良好な金属材料例えば銅で形成さ
れ、真空容器１の壁部においてその本体に着脱自在なフ
ランジ10にパッキンを介して取付けられている。該要素
９は例えば水冷の冷却構造に形成される。矢印11，12は
通水方向を示す。空冷でも良い。13は要素９に接続した
電力供給用の電源トランスである。14は端子８における
先部側要素で、耐熱性の高い材料例えば黒鉛で形成さ
れ、先端に上記発熱体７が取付けられている。15は断熱
壁2aと先部側要素14とを電気的に絶縁する為に断熱壁2a
に取付けた碍子である。上記通電端子８は高融点の金属
材料例えばモリブデンでもって一材に形成しても良い。

【０００８】次に、上記断熱壁2aにおいて上記通電端子
８の貫通部分の周囲の部分16は、真空容器１の壁部側に
膨出させてある。従って、該部分16における存置空間３
の側の面16ａは図示の如く窪んでおり、真空容器１の壁
部側の面16ｂは突出している。上記部分16は断熱壁2aの
厚み内において面16ａのみを窪ませてもよい。

【０００９】上記構成のものにあっては、トランス13か
ら加熱用の電力が通電端子８に供給されると、それは通
電端子８を通して発熱体７に与えられ、発熱体７が発熱
する。その発熱体７からの輻射熱によって、存置空間３
の被処理材６が加熱される。この場合、通電端子８の元
部側要素９は冷却されてその温度は比較的低く保たれて
いる。又そのような冷却が行われていても、面16ａが窪
ませてある為、先部側要素14は断熱室２の内部側の空間
に露出する部分14ａが上記の熱を多量に受け、該要素14
の先端部分14ｂ即ち存置空間３に近く位置する部分の温
度は発熱体７の温度と同等に高く保たれる。尚、部分16
における面16ｂが真空容器の壁部側に突出している為、
通電端子８から真空容器１の壁部へ向けての輻射が少な
い。このことは上記先端部分14ｂの高温化をより増長す
る。従って、図２の如く被処理材６を上記先端部分14ｂ
に近く位置させても、その被処理材を温度むらを生ずる
こと無く加熱することができる。

【００１０】図２に付記されたグラフは上記通電端子８
における先部側要素14の各位置の温度分布を示すもの
で、上記の例においては、先端部分14ｂの温度が図４の
従来技術のものに比べて極めて高く、炉温に近い温度と
なっている。

【００１１】

【発明の効果】以上のように本願発明にあっては、炉外
から供給される電気を炉内の発熱体７に伝えてそれを発
熱させることができるは勿論のこと、上記発熱の場合、
発熱体７の熱が通電端子８を通してその炉外の部分に向
け伝わってきても、その部分は冷却されているからそこ
の温度を低く保つことができ、近隣の作業者の安全を確
保したり、或いは、通電端子８の損傷を防止したりする
ことのできる効果がある。

【００１２】しかも上記の場合、上記冷却により、通電
端子８において断熱壁2aの内側に位置する部分が低温化
する可能性があっても、断熱壁2aにおける通電端子貫通
部分の周囲の部分16は断熱室２の内部側の面16ａを窪ま
せてあるから、断熱室２内の空間に対する通電端子８の
露出面積を、断熱室２内の空間の容積を実質的に増すこ
と無く増大させることができる特長がある。このこと
は、先ず第一に上記通電端子８は上記露出部分14ｂに多
くの熱量を受けさせることができて、断熱室２内に位置
する部分の温度を発熱体の温度と均等に近くすることが
でき、その結果、存置空間３に被処理材６をいっぱいに
充満させて一部の被処理材６が通電端子８に近く位置し
ても、被処理材６の温度分布を均等化させ得る有用性が
ある。第二に、上記断熱室２内の空間の容積が実質的に
変わらぬから、上記温度分布の均等化を、加熱に必要な
エネルギー供給の増大無く行い得る効果もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】真空炉の縦断面図。

【図２】通電端子部分の拡大図。

【図３】従来の真空炉の縦断面図。

【図４】図３の真空炉における通電端子部分の拡大図。

【符号の説明】

１ 真空容器 ２ 断熱壁 ３ 存置空間 ７ 発熱体 ８ 通電端子

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器内には、内部に被処理材の存置
   空間と該空間に置かれる被処理材を加熱する為の発熱体
   とを備えている断熱室が配置され、しかも上記真空容器
   の壁部及び上記断熱室における断熱壁の一部を貫通する
   状態に設けられた通電端子は、断熱壁の外側に位置する
   一部が冷却されており、上記発熱体は上記通電端子にお
   ける上記断熱壁の内側に位置する部分に接続してある真
   空炉において、上記断熱壁における上記通電端子貫通部
   分の周囲の部分においては、断熱室内の空間に対する通
   電端子の露出面積を増大させる為に、断熱室の内部側の
   面を窪ませてあることを特徴とする真空炉における通電
   端子部分の構造。