JPH06141352A - Evaluation method for solid-state image pickup element - Google Patents
Evaluation method for solid-state image pickup elementInfo
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- JPH06141352A JPH06141352A JP4284363A JP28436392A JPH06141352A JP H06141352 A JPH06141352 A JP H06141352A JP 4284363 A JP4284363 A JP 4284363A JP 28436392 A JP28436392 A JP 28436392A JP H06141352 A JPH06141352 A JP H06141352A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子の電気的
特性を評価し、判定する固体撮像素子の評価方法に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state image sensor evaluation method for evaluating and determining the electrical characteristics of a solid-state image sensor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、固体撮像素子の民生、産業分野へ
の進出は目覚ましく、それに伴い高解像度、高ダイナミ
ックレンジ、低スミア、高温時における低暗電流などに
代表される高画質化への要求が高まっている。この固体
撮像素子においては、電気的特性の中に、画質に対する
規定が設けられており、これらの規定を満足する製品を
正確かつ迅速に評価し、選別することが必要である。こ
の画質評価は大別すると、画面上の明瞭な白または黒の
傷を所定のしきい値と比較して判定する傷評価と、しき
い値以下の微妙な白黒のザラつきを評価するザラ評価の
２つに分けることができる。2. Description of the Related Art In recent years, solid-state image pickup devices have made remarkable progress in the consumer and industrial fields, and accordingly, there is a demand for high image quality represented by high resolution, high dynamic range, low smear, and low dark current at high temperature. Is increasing. In this solid-state image pickup device, there are regulations regarding image quality in the electrical characteristics, and it is necessary to accurately and promptly evaluate and select products that satisfy these regulations. This image quality evaluation is roughly classified into a scratch evaluation that judges a clear white or black scratch on the screen by comparing it with a predetermined threshold, and a rough evaluation that evaluates a subtle black-and-white roughness below the threshold. It can be divided into two.
【０００３】従来より、固体撮像素子の電気的特性を評
価して選別する場合、まずウエハ状態でテスタにより自
動選別し、次に組立後にテスタまたは実装評価装置によ
り選別するのが一般的である。Conventionally, when the electrical characteristics of a solid-state image pickup device are evaluated and sorted, it is common to first sort automatically by a tester in a wafer state, and then sort by a tester or a mounting evaluation device after assembly.
【０００４】ここで、テスタを用いた固体撮像素子の画
質評価方法のうちザラ評価の方法について、図２及び図
３に基づき説明する。図２は評価装置の一般的な構成を
示すブロック図、図３は評価方法を示すフロ―チャ―ト
図である。A rough evaluation method of image quality evaluation methods for solid-state image pickup devices using a tester will be described with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. 2 is a block diagram showing a general configuration of the evaluation device, and FIG. 3 is a flow chart showing an evaluation method.
【０００５】まず、ステップＳＲ１で、固体撮像素子１
からの信号つまり画像デ−タＥをテスタ２に入力し、ス
テップＳＲ２で、この画像データＥをテスタ２の内部ま
たは外部（図２では外部に配設している）の画像記憶装
置３に画素毎に記憶する。そして、ステップＳＲ３で、
この記憶された画像デ−タＥの標準偏差値σe を算出
し、ステップＳＲ４で、標準偏差σe と予め設定された
しきい値Ｋ′とを比較し、ステップＳＲ５で、その比較
結果に基づいて合否の判定を行う。First, in step SR1, the solid-state image sensor 1
The image data E is input to the tester 2, and the image data E is stored in the image storage device 3 inside or outside the tester 2 (in FIG. 2, it is arranged outside) in step SR2. Remember each time. Then, in step SR3,
A standard deviation value σe of the stored image data E is calculated, the standard deviation σe is compared with a preset threshold value K ′ in step SR4, and based on the comparison result in step SR5. Make a pass / fail judgment.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、固体撮像素
子から出力される画像データＥには、画像そのもののデ
ータ以外に素子や測定系から発生するノイズデータが含
まれており、このノイズデ−タの成分を分類すると、ラ
ンダムノイズと固定パタ−ンノイズに２分される。この
うち、ランダムノイズは画像デ−タＥにアベレ−ジング
処理を行うことにより除去できるが、温度により発生す
る固体撮像素子からの暗出力や測定系より発生するクロ
ックパルスの干渉などによる固定パタ−ンノイズはこの
アベレージング処理では除去されずに画像データＥ中に
残留する。また、この固定パタ−ンノイズは、もともと
固体撮像素子からの画像デ−タに含まれており、かつ、
その大きさが被測定素子または測定系によって変動し、
上述のザラ評価に用いる標準偏差値σe の大小に影響す
るものである。By the way, the image data E output from the solid-state image pickup device includes noise data generated from the device and the measurement system in addition to the data of the image itself. When the components are classified, they are divided into random noise and fixed pattern noise. Among them, random noise can be removed by performing an averaging process on the image data E, but fixed pattern due to dark output from the solid-state image pickup device caused by temperature or interference of clock pulses generated from the measurement system. Noise is not removed by this averaging process and remains in the image data E. Also, this fixed pattern noise is originally included in the image data from the solid-state image sensor, and
The size varies depending on the device under test or the measurement system,
It affects the magnitude of the standard deviation value σe used for the above-mentioned rough evaluation.
【０００７】このため、標準偏差値σe を判定するため
のしきい値Ｋ′は、上記固定パタ−ンノイズの変動幅を
見込んで、本来必要な値よりもある大きさ以上の値に設
定されていた。その結果、このような固定パターンノイ
ズのために、ノイズ成分とは独立に発生する本来の画素
出力のばらつきの評価であるザラ評価について充分な精
度が得られないという問題があった。Therefore, the threshold value K'for judging the standard deviation value .sigma.e is set to a value larger than an originally necessary value in consideration of the fluctuation range of the fixed pattern noise. It was As a result, there is a problem that due to such fixed pattern noise, sufficient accuracy cannot be obtained in the rough evaluation, which is an evaluation of the original pixel output variation that occurs independently of the noise component.
【０００８】本発明は斯かる点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、固体撮像素子から出力される画像デ
−タ全体からノイズデ−タを取り出し、画像データ全体
の標準偏差からノイズに起因する標準偏差を除去するこ
とにより、本来の画素出力のばらつきに対応したしきい
値との比較による合否判定を可能とし、もって、評価精
度の向上を図ることにある。The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to extract noise data from the entire image data output from the solid-state image pickup device and convert the standard deviation of the entire image data into noise. By removing the resulting standard deviation, it is possible to make a pass / fail determination by comparison with a threshold value corresponding to the original variation in pixel output, thereby improving the evaluation accuracy.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の講じた手段は、固体撮像素子から出力され
る画像データに基づき、固体撮像素子の電気的特性を評
価するようにした固体撮像素子の評価方法として、固体
撮像素子から出力される画像データからノイズデータを
分離し、ノイズデータを含む画像データ全体の標準偏差
値を算出する一方、分離されたノイズデ−タ全体の標準
偏差値を算出して、算出された画像デ−タ全体の標準偏
差値と上記ノイズデ−タ全体の標準偏差値との差分値を
算出し、この差分値と予め設定されたしきい値とを比較
して電気的特性を評価するようにしたものである。In order to achieve the above object, the means taken by the present invention is a solid-state image sensor for evaluating the electrical characteristics of the solid-state image sensor based on image data output from the solid-state image sensor. As an image sensor evaluation method, the noise data is separated from the image data output from the solid-state image sensor, and the standard deviation value of the entire image data including the noise data is calculated, while the standard deviation value of the separated noise data is calculated. Then, a difference value between the calculated standard deviation value of the entire image data and the standard deviation value of the entire noise data is calculated, and the difference value is compared with a preset threshold value. The electrical characteristics are evaluated.
【００１０】[0010]
【作用】以上の方法により、本発明では、固体撮像素子
からのノイズデ−タ全体の標準偏差値と画像デ−タ全体
の標準偏差値とが個別に算出され、画像デ−タ全体の標
準偏差値とノイズデ−タ全体の標準偏差値との差分値が
算出される。この差分値はノイズデータの変動を含まな
い画像データ自体のザラつきを示すので、この差分値に
基づいて合否の判定を行うに際し、合否判定の基準とな
るしきい値を固定パターンノイズの変動に起因する標準
偏差の増大を見込むことなく、本来の画素出力のばらつ
きに対応した小さな値に設定しておくことが可能にな
る。したがって、ザラ評価が、ノイズデ−タの変動の影
響を受けずに精度良く行われることになる。According to the present invention, the standard deviation value of the entire noise data and the standard deviation value of the entire image data from the solid-state image pickup device are individually calculated by the above method, and the standard deviation of the entire image data is calculated. A difference value between the value and the standard deviation value of the entire noise data is calculated. Since this difference value indicates the graininess of the image data itself that does not include fluctuations in noise data, when performing pass / fail determination based on this difference value, the threshold value that serves as the criterion for pass / fail determination is set to the variation in fixed pattern noise. It is possible to set a small value corresponding to the original variation in pixel output without anticipating an increase in standard deviation caused by it. Therefore, the zara evaluation can be performed accurately without being affected by the fluctuation of the noise data.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明の実施例について、図１及び図
２に基づき説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１２】図１は、実施例に係る固体撮像素子の評価
方法を示すフロ―チャ―ト図である。なお、本実施例に
おいても、評価に使用する装置の構成は上記従来例で説
明した図２に示すものと同じである。FIG. 1 is a flow chart showing an evaluation method of a solid-state image pickup device according to an embodiment. Also in the present embodiment, the configuration of the apparatus used for evaluation is the same as that shown in FIG.
【００１３】まず、ステップＳＴ１で、固体撮像素子１
からの画像デ−タＥをテスタ２に入力し、ステップＳＴ
２で、公知のデータ処理によってこの画像データＥから
ノイズデータＥｎを分離し、ステップＳＴ３で、このノ
イズデ−タＥｎをテスタ２の内部または外部に配設され
た画像記憶装置３に画素毎に記憶する。そして、ステッ
プＳＴ４で、この記憶されたノイズデ−タＥｎについ
て、ノイズデ−タ全体の標準偏差値σenを算出する。First, in step ST1, the solid-state image sensor 1
The image data E from is input to the tester 2 and step ST
In step 2, noise data En is separated from the image data E by a known data processing, and in step ST3, the noise data En is stored for each pixel in the image storage device 3 arranged inside or outside the tester 2. To do. Then, in step ST4, the standard deviation value σen of the entire noise data is calculated for the stored noise data En.
【００１４】一方、上記ステップＳＴ２に並行してステ
ップＳＴ５で、上記ステップＳＴ１で入力した画像デー
タＥ全体をつまりノイズデータＥｎを分離することなく
直接テスタ２に取り込んで、この画像デ−タＥ全体をテ
スタ２の内部または外部に配設された画像記憶装置３に
画素毎に記憶させる。そして、ステップＳＴ６で、この
記憶された画像デ−タＥから画像デ−タ全体の標準偏差
値σe を算出する。On the other hand, in parallel with step ST2, in step ST5, the entire image data E input in step ST1 is directly taken into the tester 2 without separating the noise data En, and the entire image data E is obtained. Is stored for each pixel in the image storage device 3 provided inside or outside the tester 2. Then, in step ST6, the standard deviation value σe of the entire image data is calculated from the stored image data E.
【００１５】次に、ステップＳＴ７で、上記ステップＳ
Ｔ４で算出したノイズデ−タ全体の標準偏差値σenと上
記ステップＳＴ６で算出した画像デ−タ全体の標準偏差
値σe とを取り込んで、画像デ−タ全体の標準偏差値σ
e とノイズデ−タ全体の標準偏差値σenとの差分値（σ
e −σen）を算出する。そして、ステップＳＴ８で、上
記差分値（σe −σen）と予め設定されていたしきい値
Ｋとの比較を行い、ステップＳＴ９で、その比較結果に
基づいて合否の判定を行う。Next, in step ST7, the above step S
The standard deviation value σen of the entire noise data calculated in T4 and the standard deviation value σe of the entire image data calculated in step ST6 are taken in to obtain the standard deviation value σ of the entire image data.
Difference value (σ between e and the standard deviation value σen of the entire noise data
e−σen) is calculated. Then, in step ST8, the difference value (σe−σen) is compared with a preset threshold value K, and in step ST9, a pass / fail judgment is made based on the comparison result.
【００１６】上記実施例の評価方法では、画像デ−タ全
体の標準偏差値σe とノイズデ−タ全体の標準偏差値σ
enとを個別に演算し、両者の差分値（σe −σen）を算
出することで、この差分値（σe −σen）は固定パター
ンノイズの変動の影響が除かれた画像データそのものの
ザラつきを示す値となっている。したがって、この差分
値（σe −σen）との比較を行う合否判定の基準となる
しきい値Ｋを予め固定パターンノイズの変動の影響を見
込んで大きく設定する必要はなく、本来の画素出力のば
らつきに対応した小さな値に設定しておけば十分であ
る。すなわち、ノイズデ−タの変動の影響を受けずに、
しきい値を小さな値に設定することができ、ザラ評価を
精度良く行うことができる。In the evaluation method of the above embodiment, the standard deviation value σe of the entire image data and the standard deviation value σ of the entire noise data are
By separately calculating en and the difference value (σe − σen) between the two, this difference value (σe − σen) can be used to determine the graininess of the image data itself from which the influence of the fluctuation of the fixed pattern noise is removed. It is the value shown. Therefore, it is not necessary to set the threshold value K, which is the criterion for the pass / fail judgment for comparison with the difference value (σe−σen), to be large in advance in consideration of the influence of the fluctuation of the fixed pattern noise. It is sufficient to set a small value corresponding to. That is, without being affected by the fluctuation of the noise data,
The threshold value can be set to a small value, and the rough evaluation can be performed accurately.
【００１７】[0017]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の固体撮像
素子の評価方法によれば、固体撮像素子からのノイズデ
−タ全体の標準偏差値と画像デ−タ全体の標準偏差値を
算出し、画像デ−タ全体の標準偏差値とノイズデ−タ全
体の標準偏差値との差分値を算出し、この差分値と予め
設定されたしきい値とを比較してザラ評価を行うため、
従来の画像デ−タ全体の標準偏差値のみをしきい値と比
較する方法とは異なり、被測定素子および測定系からの
固定パタ−ンノイズデ−タの変動に影響されず、しきい
値を小さな値に設定することができ、よって、ザラ評価
の精度の向上を図ることができる。As described above, according to the solid-state image sensor evaluation method of the present invention, the standard deviation value of the entire noise data and the standard deviation value of the entire image data from the solid-state image sensor are calculated. , To calculate the difference value between the standard deviation value of the entire image data and the standard deviation value of the entire noise data, in order to compare this difference value and a preset threshold value, to perform the Zara evaluation,
Unlike the conventional method of comparing only the standard deviation value of the entire image data with the threshold value, the threshold value is small without being influenced by the fluctuation of the fixed pattern noise data from the device under test and the measurement system. The value can be set, so that the accuracy of the rough evaluation can be improved.
【図１】実施例に係る固体撮像素子の評価方法を示すフ
ロ―チャ―ト図である。FIG. 1 is a flowchart showing an evaluation method of a solid-state image sensor according to an example.
【図２】固体撮像装置の一般的な構成を示すブロック図
である。FIG. 2 is a block diagram showing a general configuration of a solid-state imaging device.
【図３】従来の固体撮像素子の評価方法を示すフロ―チ
ャ―ト図である。FIG. 3 is a flowchart showing a conventional solid-state image sensor evaluation method.
１ 固体撮像素子 ２ テスタ ３ 画像記憶装置 1 Solid-state image sensor 2 Tester 3 Image storage device
Claims (1)
に基づき、固体撮像素子の電気的特性を評価するように
した固体撮像素子の評価方法であって、 固体撮像素子から出力される画像データからノイズデー
タを分離し、 ノイズデータを含む画像データ全体の標準偏差値を算出
する一方、分離されたノイズデ−タ全体の標準偏差値を
算出して、 算出された画像デ−タ全体の標準偏差値と上記ノイズデ
−タ全体の標準偏差値との差分値を算出し、 この差分値と予め設定されたしきい値とを比較して電気
的特性を評価することを特徴とする固体撮像素子の評価
方法。1. A method for evaluating a solid-state imaging device, wherein the electrical characteristics of the solid-state imaging device are evaluated based on image data output from the solid-state imaging device. Separate the noise data and calculate the standard deviation value of the entire image data including the noise data, while calculating the standard deviation value of the separated noise data as a whole, and calculate the standard deviation value of the entire image data. And a standard deviation value of the noise data as a whole, a difference value is calculated, and an electrical characteristic is evaluated by comparing the difference value with a preset threshold value. Method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4284363A JPH06141352A (en) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | Evaluation method for solid-state image pickup element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4284363A JPH06141352A (en) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | Evaluation method for solid-state image pickup element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06141352A true JPH06141352A (en) | 1994-05-20 |
Family
ID=17677621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4284363A Withdrawn JPH06141352A (en) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | Evaluation method for solid-state image pickup element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06141352A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7541567B2 (en) * | 2004-08-05 | 2009-06-02 | Applied Biosystems, Llc | Methods and systems for in situ validation of imaging in biological analysis |
-
1992
- 1992-10-22 JP JP4284363A patent/JPH06141352A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7541567B2 (en) * | 2004-08-05 | 2009-06-02 | Applied Biosystems, Llc | Methods and systems for in situ validation of imaging in biological analysis |
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