JPH06137899A - 光学式リニアエンコーダ - Google Patents
光学式リニアエンコーダInfo
- Publication number
- JPH06137899A JPH06137899A JP31286492A JP31286492A JPH06137899A JP H06137899 A JPH06137899 A JP H06137899A JP 31286492 A JP31286492 A JP 31286492A JP 31286492 A JP31286492 A JP 31286492A JP H06137899 A JPH06137899 A JP H06137899A
- Authority
- JP
- Japan
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- slider
- position information
- linear encoder
- optical
- main scale
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- Pending
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- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光学式リニアエンコーダにおいて、長い移動
ストロークを持った機械の位置検出を簡単に行なう。 【構成】 メインスケール６を変位方向に複数個配設す
る。スライダ２０が前記変位方向に離れた２点で前記メ
インスケール６の位置情報を検出する。
ストロークを持った機械の位置検出を簡単に行なう。 【構成】 メインスケール６を変位方向に複数個配設す
る。スライダ２０が前記変位方向に離れた２点で前記メ
インスケール６の位置情報を検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械等のテーブル
等が直線運動したときの位置を検出して位置データを出
力する光学式リニアエンコーダに関する。
等が直線運動したときの位置を検出して位置データを出
力する光学式リニアエンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の光学式リニアエンコーダの
一例を示す概略斜視構造図である。光学式リニアエンコ
ーダは、メインスケール１と、メインスケール１に対し
て相対変位するスライダ１０とからなる。メインスケー
ル１には透過部と非透過部の繰り返しからなる透過型格
子がその長手方向の測定長にわたって施されている。一
方、スライダ１０には発光素子２とレンズ３からなる光
源部と、インデックススケール４と、受光器５が備えら
えている。インデックススケール４にはメインスケール
１と同じピッチの透過部と非透過部の繰り返しからなる
透過型格子が施されている。
一例を示す概略斜視構造図である。光学式リニアエンコ
ーダは、メインスケール１と、メインスケール１に対し
て相対変位するスライダ１０とからなる。メインスケー
ル１には透過部と非透過部の繰り返しからなる透過型格
子がその長手方向の測定長にわたって施されている。一
方、スライダ１０には発光素子２とレンズ３からなる光
源部と、インデックススケール４と、受光器５が備えら
えている。インデックススケール４にはメインスケール
１と同じピッチの透過部と非透過部の繰り返しからなる
透過型格子が施されている。
【０００３】この光学式リニアエンコーダの動作を簡単
に説明すると、発光素子２から出てレンズ３で平行光束
となった光が、メインスケール１とインデックススケー
ル４を透過した後、受光器５に入射し光電変換される。
ここでスライダ１０とメインスケール１とが相対的に変
位すると２つのスケールの透過部、非透過部の対向関係
が変化する。従って受光器５に入射する光量が周期的に
変化し、変位信号を得ることができる。通常、周期的に
変化する変位信号をさらに細かく内挿分割して位置検出
の分解能を上げるため、１つの位置情報を得るのに２つ
ないしは４つの互いに位相の異なった変位信号を使う。
例えばａ＝ｃｏｓ（２πｘ／ｐ）とｂ＝ｓｉｎ（２πｘ
／ｐ）に相当するような２つの変位信号から位置を算出
する。ここで、ｘは位置、ｐは変位信号の周期を示す。
あるいは、これら２つの変位信号にそれぞれの反転信号
ａ／＝−ｃｏｓ（２πｘ／ｐ）、ｂ／＝−ｓｉｎ（２π
ｘ／ｐ）を加えた４つの変位信号から位置を算出するこ
とも一般的である。
に説明すると、発光素子２から出てレンズ３で平行光束
となった光が、メインスケール１とインデックススケー
ル４を透過した後、受光器５に入射し光電変換される。
ここでスライダ１０とメインスケール１とが相対的に変
位すると２つのスケールの透過部、非透過部の対向関係
が変化する。従って受光器５に入射する光量が周期的に
変化し、変位信号を得ることができる。通常、周期的に
変化する変位信号をさらに細かく内挿分割して位置検出
の分解能を上げるため、１つの位置情報を得るのに２つ
ないしは４つの互いに位相の異なった変位信号を使う。
例えばａ＝ｃｏｓ（２πｘ／ｐ）とｂ＝ｓｉｎ（２πｘ
／ｐ）に相当するような２つの変位信号から位置を算出
する。ここで、ｘは位置、ｐは変位信号の周期を示す。
あるいは、これら２つの変位信号にそれぞれの反転信号
ａ／＝−ｃｏｓ（２πｘ／ｐ）、ｂ／＝−ｓｉｎ（２π
ｘ／ｐ）を加えた４つの変位信号から位置を算出するこ
とも一般的である。
【０００４】このように互いに位相の異なった複数の変
位信号を作り出すため、インデックススケール４には変
位方向に互いに位相をずらせた複数の光学格子が設けら
れている。図６にその一例を示す。インデックススケー
ル４には４つの互いに位相の異なった信号を発生させる
４つの光学格子Ｇａ，Ｇｂ，Ｇａ／，Ｇｂ／からなる光
学格子群ＧＰが設けられている。また、インデックスス
ケール４に対応して、インデックススケール４を透過し
た光を受光して電気信号に変換する受光器５にも、４つ
の光学格子に対応した４つの受光面Ｓａ，Ｓｂ，Ｓａ
／，Ｓｂ／からなる受光部ＳＰが設けられている。つま
り、４つの光学格子からなる１組の光学格子群ＧＰと、
４つの受光面からなる１組の受光部ＳＰを使って１つの
位置情報を求めることができる。
位信号を作り出すため、インデックススケール４には変
位方向に互いに位相をずらせた複数の光学格子が設けら
れている。図６にその一例を示す。インデックススケー
ル４には４つの互いに位相の異なった信号を発生させる
４つの光学格子Ｇａ，Ｇｂ，Ｇａ／，Ｇｂ／からなる光
学格子群ＧＰが設けられている。また、インデックスス
ケール４に対応して、インデックススケール４を透過し
た光を受光して電気信号に変換する受光器５にも、４つ
の光学格子に対応した４つの受光面Ｓａ，Ｓｂ，Ｓａ
／，Ｓｂ／からなる受光部ＳＰが設けられている。つま
り、４つの光学格子からなる１組の光学格子群ＧＰと、
４つの受光面からなる１組の受光部ＳＰを使って１つの
位置情報を求めることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の光学式
リニアエンコーダにおいては、テーブルの移動ストロー
クが長くなるとメインスケールもその移動ストロークに
合わせて長くする必要がある。しかしながら、長いメイ
ンスケールを高精度に製作するのは製造上困難であると
いう問題があった。この問題を解決するものとして、複
数のメインスケールを所定の間隔で変位方向に並べ、そ
れらを所定の間隔で変位方向に配置された複数のスライ
ダで検出する光学式リニアエンコーダが本出願人によっ
て提案されている（特開平２−６４４０５号公報参
照）。しかし、複数のスライダを使うため設置に時間が
かかったりコストが余分にかかるなどの問題があった。
本願発明は上述の事情から成されたものであり、本発明
の目的は、長い移動ストロークを持った機械の位置検出
を簡単に行うことができる光学式リニアエンコーダを提
供することにある。
リニアエンコーダにおいては、テーブルの移動ストロー
クが長くなるとメインスケールもその移動ストロークに
合わせて長くする必要がある。しかしながら、長いメイ
ンスケールを高精度に製作するのは製造上困難であると
いう問題があった。この問題を解決するものとして、複
数のメインスケールを所定の間隔で変位方向に並べ、そ
れらを所定の間隔で変位方向に配置された複数のスライ
ダで検出する光学式リニアエンコーダが本出願人によっ
て提案されている（特開平２−６４４０５号公報参
照）。しかし、複数のスライダを使うため設置に時間が
かかったりコストが余分にかかるなどの問題があった。
本願発明は上述の事情から成されたものであり、本発明
の目的は、長い移動ストロークを持った機械の位置検出
を簡単に行うことができる光学式リニアエンコーダを提
供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、メインスケー
ルと相対的に変位するスライダにより前記メインスケー
ルの位置情報を読取る光学式リニアエンコーダに関する
ものであり、本発明の上記目的は、前記変位方向に複数
個配設したメインスケールと、前記変位方向に離れた２
点で前記メインスケールの位置情報を検出する手段が含
まれたスライダとを具備することによって達成される。
ルと相対的に変位するスライダにより前記メインスケー
ルの位置情報を読取る光学式リニアエンコーダに関する
ものであり、本発明の上記目的は、前記変位方向に複数
個配設したメインスケールと、前記変位方向に離れた２
点で前記メインスケールの位置情報を検出する手段が含
まれたスライダとを具備することによって達成される。
【０００７】
【作用】本発明にあっては、比較的長さの短いメインス
ケールを変位方向に複数並べ、それらを２つの位置情報
を出力できるように構成された１つのスライダで位置検
出するようにしているので、移動ストロークの長い位置
検出を容易に行なうことができる。
ケールを変位方向に複数並べ、それらを２つの位置情報
を出力できるように構成された１つのスライダで位置検
出するようにしているので、移動ストロークの長い位置
検出を容易に行なうことができる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の光学式リニアエンコーダの一
例を図５に対応させて示す概略斜視構成図であり、同一
箇所は同符号を付して説明を省略する。この光学式リニ
アエンコーダにおいては、変位方向に距離ｄだけ離れた
２つの位置情報を検出できるようにスライダ２０内の光
学系が構成されている。まず、インデックススケール７
については、１枚の基板上に２組の光学格子群ＧＰ１と
ＧＰ２が変位方向にｄだけ離れて設けられている。ま
た、受光器８についても１枚の基板上に２組の受光部Ｓ
Ｐ１とＳＰ２が変位方向にｄだけ離れて設けられてい
る。したがって、光学格子群ＧＰ１と受光部ＳＰ１から
１つの位置情報Ｓ１、同様にＧＰ２とＳＰ２とからもう
１つの位置情報Ｓ２が得られる。
例を図５に対応させて示す概略斜視構成図であり、同一
箇所は同符号を付して説明を省略する。この光学式リニ
アエンコーダにおいては、変位方向に距離ｄだけ離れた
２つの位置情報を検出できるようにスライダ２０内の光
学系が構成されている。まず、インデックススケール７
については、１枚の基板上に２組の光学格子群ＧＰ１と
ＧＰ２が変位方向にｄだけ離れて設けられている。ま
た、受光器８についても１枚の基板上に２組の受光部Ｓ
Ｐ１とＳＰ２が変位方向にｄだけ離れて設けられてい
る。したがって、光学格子群ＧＰ１と受光部ＳＰ１から
１つの位置情報Ｓ１、同様にＧＰ２とＳＰ２とからもう
１つの位置情報Ｓ２が得られる。
【０００９】さらに詳細に説明するため、図６に対応さ
せて本実施例によるインデックススケールを図２に示
す。インデックススケール７の上に設けられた光学格子
群ＧＰ１の中には、４つの光学格子Ｇａ，Ｇｂ，Ｇａ
／，Ｇｂ／が含まれている。これら４つの光学格子は、
前述のように互いに位相の異なった４つの変位信号が得
られるように配置されており、それら４つの変位信号か
ら１つの位置情報Ｓ１が得られる。また、もう１つの光
学格子群ＧＰ２は、ＧＰ１をそのまま変位方向にｄだけ
移動させたものである。したがって、ＧＰ２の中にある
４つの光学格子からも４つの変位信号が得られ、もう１
つの位置情報Ｓ２が得られる。
せて本実施例によるインデックススケールを図２に示
す。インデックススケール７の上に設けられた光学格子
群ＧＰ１の中には、４つの光学格子Ｇａ，Ｇｂ，Ｇａ
／，Ｇｂ／が含まれている。これら４つの光学格子は、
前述のように互いに位相の異なった４つの変位信号が得
られるように配置されており、それら４つの変位信号か
ら１つの位置情報Ｓ１が得られる。また、もう１つの光
学格子群ＧＰ２は、ＧＰ１をそのまま変位方向にｄだけ
移動させたものである。したがって、ＧＰ２の中にある
４つの光学格子からも４つの変位信号が得られ、もう１
つの位置情報Ｓ２が得られる。
【００１０】一方、メインスケール６については、図１
に示すように複数（図では２つだけ記載）のメインスケ
ール６が変位方向に並べられている。この時隣合うメイ
ンスケール６は接触していてもよいし、図のように間隙
Ｃをもっていてもよい。ただし、インデックススケール
７上の２つの光学格子群ＧＰ１、ＧＰ２の間の間隙Ｃ′
よりもメインスケール６間の間隙Ｃは小さくなければな
らない。上述のように構成されたスライダ２０とメイン
スケール６によれば、スライダ２０がメインスケール６
のつなぎ目を通る場合でも、インデックススケール７上
の２組の光学格子群ＧＰ１，ＧＰ２のうちどちらかが、
必ずメインスケール６のつなぎ目ではない部分と向き合
うので、スライダ２０から出力される２つの位置情報Ｓ
１、Ｓ２の内どちらかは正常な位置情報となっている。
に示すように複数（図では２つだけ記載）のメインスケ
ール６が変位方向に並べられている。この時隣合うメイ
ンスケール６は接触していてもよいし、図のように間隙
Ｃをもっていてもよい。ただし、インデックススケール
７上の２つの光学格子群ＧＰ１、ＧＰ２の間の間隙Ｃ′
よりもメインスケール６間の間隙Ｃは小さくなければな
らない。上述のように構成されたスライダ２０とメイン
スケール６によれば、スライダ２０がメインスケール６
のつなぎ目を通る場合でも、インデックススケール７上
の２組の光学格子群ＧＰ１，ＧＰ２のうちどちらかが、
必ずメインスケール６のつなぎ目ではない部分と向き合
うので、スライダ２０から出力される２つの位置情報Ｓ
１、Ｓ２の内どちらかは正常な位置情報となっている。
【００１１】次に得られる２つの位置情報Ｓ１、Ｓ２か
ら、スライダ２０の位置を表す１つの位置データを作成
する信号処理手段について説明する。第１の手段として
スライダ位置データを使ったものがあり、図３及び図４
を用いて説明する。図３は信号処置の一例を示すブロッ
ク図であり、使用組合せ判定部４１は、外部からのスラ
イダ位置データＰＳＬＤにより、使用する位置情報Ｓ
１，Ｓ２及びメインスケール６ａ、６ｂの組合せを判定
する。信号選択部４４は、この使用組合せ判定部４１か
らの使用位置情報指令Ｏｓにより、位置情報Ｓ１、Ｓ２
のうち必要な電気信号Ｓｓを選択する。位置演算部４３
は、この信号選択部４４からの電気信号Ｓｓをデジタル
化して位置演算を行い、所定の位置データＰｏｓを求め
る。位置オフセット記憶部４２は、位置情報Ｓ１、Ｓ２
及びメインスケール６ａ、６ｂの組合せに対する位置の
オフセットを予め記憶しておき、使用組合せ判定部４１
からの使用組合せ指令Ｏｕに対応する位置オフセットＰ
ｏｆｓを出力する。加算器４５は、位置演算部４３から
の位置データＰｏｓと位置オフセット記憶部４２からの
位置オフセットＰｏｆｓとを加算してスライダ２０の位
置データＰを求める。
ら、スライダ２０の位置を表す１つの位置データを作成
する信号処理手段について説明する。第１の手段として
スライダ位置データを使ったものがあり、図３及び図４
を用いて説明する。図３は信号処置の一例を示すブロッ
ク図であり、使用組合せ判定部４１は、外部からのスラ
イダ位置データＰＳＬＤにより、使用する位置情報Ｓ
１，Ｓ２及びメインスケール６ａ、６ｂの組合せを判定
する。信号選択部４４は、この使用組合せ判定部４１か
らの使用位置情報指令Ｏｓにより、位置情報Ｓ１、Ｓ２
のうち必要な電気信号Ｓｓを選択する。位置演算部４３
は、この信号選択部４４からの電気信号Ｓｓをデジタル
化して位置演算を行い、所定の位置データＰｏｓを求め
る。位置オフセット記憶部４２は、位置情報Ｓ１、Ｓ２
及びメインスケール６ａ、６ｂの組合せに対する位置の
オフセットを予め記憶しておき、使用組合せ判定部４１
からの使用組合せ指令Ｏｕに対応する位置オフセットＰ
ｏｆｓを出力する。加算器４５は、位置演算部４３から
の位置データＰｏｓと位置オフセット記憶部４２からの
位置オフセットＰｏｆｓとを加算してスライダ２０の位
置データＰを求める。
【００１２】このような構成において、その動作例を図
４で説明すると、例えばスライダ２０の中心がＡ０→Ａ
１→Ａ２→Ａ３→Ａ４まで移動したとき、移動中のスラ
イダ位置データＰＳＬＤを求める。例えば外部の上位検
出器によりスライダ２０の位置検出をフルストロークに
わたり絶対位置で検出し、あるいはリミットスイッチ等
によりスライダ２０がどの範囲にあるかを判定し、もし
くはインクレメンタル式にした本発明のリニアエンコー
ダの原点復帰により初期の位置設定をして位置データを
カウントしてスライダ位置データＰＳＬＤを求める。
４で説明すると、例えばスライダ２０の中心がＡ０→Ａ
１→Ａ２→Ａ３→Ａ４まで移動したとき、移動中のスラ
イダ位置データＰＳＬＤを求める。例えば外部の上位検
出器によりスライダ２０の位置検出をフルストロークに
わたり絶対位置で検出し、あるいはリミットスイッチ等
によりスライダ２０がどの範囲にあるかを判定し、もし
くはインクレメンタル式にした本発明のリニアエンコー
ダの原点復帰により初期の位置設定をして位置データを
カウントしてスライダ位置データＰＳＬＤを求める。
【００１３】このようにして求めたスライダ位置データ
ＰＳＬＤにより、使用組合せ判定部４１にて、使用する
位置情報Ｓ１、Ｓ２及びメインスケール６ａ、６ｂの組
合せを判定する。例えばスライダ２０の中心が判定範囲
Ａ０〜Ａ１の範囲内にある場合は使用する位置情報はＳ
１、使用するメインスケールは６ａの組合せであると判
定する。この使用位置情報指令Ｏｓにより、信号選択部
４４にて、必要な位置情報Ｓ１を選択して電気信号Ｓｓ
として位置演算部４３に出力し、位置演算部４３にて、
選択された電気信号Ｓｓをデジタル化して位置演算を行
なって所定の位置データＰを求める。なお、位置オフセ
ットＰｏｆｓを求めるための正確なｄの値は、スライダ
２０が１本のメインスケール６ａ又は６ｂに対向してい
るときに２つの位置情報の差を見ることによってわか
り、正確なＣの値は、スライダ２０が２本のメインスケ
ール６ａ、６ｂに完全にまたがった状態での２つの位置
情報の差を見ることによってわかる。第２の手段として
は、２つの位置情報に適当な重みをかけて合成するもの
がある。この信号処理手段によれば、スライダが１本の
メインスケールの中央にあるときは２つの位置情報に同
じ重みがかかるようにし、メインスケールのつなぎ目に
かかったときは重みが０となるように連続的な重みの変
化を予め設定しているので、より滑らかに連続する位置
データＰを得ることができる。
ＰＳＬＤにより、使用組合せ判定部４１にて、使用する
位置情報Ｓ１、Ｓ２及びメインスケール６ａ、６ｂの組
合せを判定する。例えばスライダ２０の中心が判定範囲
Ａ０〜Ａ１の範囲内にある場合は使用する位置情報はＳ
１、使用するメインスケールは６ａの組合せであると判
定する。この使用位置情報指令Ｏｓにより、信号選択部
４４にて、必要な位置情報Ｓ１を選択して電気信号Ｓｓ
として位置演算部４３に出力し、位置演算部４３にて、
選択された電気信号Ｓｓをデジタル化して位置演算を行
なって所定の位置データＰを求める。なお、位置オフセ
ットＰｏｆｓを求めるための正確なｄの値は、スライダ
２０が１本のメインスケール６ａ又は６ｂに対向してい
るときに２つの位置情報の差を見ることによってわか
り、正確なＣの値は、スライダ２０が２本のメインスケ
ール６ａ、６ｂに完全にまたがった状態での２つの位置
情報の差を見ることによってわかる。第２の手段として
は、２つの位置情報に適当な重みをかけて合成するもの
がある。この信号処理手段によれば、スライダが１本の
メインスケールの中央にあるときは２つの位置情報に同
じ重みがかかるようにし、メインスケールのつなぎ目に
かかったときは重みが０となるように連続的な重みの変
化を予め設定しているので、より滑らかに連続する位置
データＰを得ることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明の光学式リニアエン
コーダによれば、移動ストロークが長い場合でも１つの
スライダと、比較的短いメインスケールを複数配置する
ことによって位置検出ができるため、低コストで長スト
ロークの位置検出が可能となる。また、スライダが１つ
であるため機械に取付ける時間も削減することができ
る。
コーダによれば、移動ストロークが長い場合でも１つの
スライダと、比較的短いメインスケールを複数配置する
ことによって位置検出ができるため、低コストで長スト
ロークの位置検出が可能となる。また、スライダが１つ
であるため機械に取付ける時間も削減することができ
る。
【図１】本発明の光学式リニアエンコーダの一例を示す
概略斜視構造図である。
概略斜視構造図である。
【図２】本発明の光学式リニアエンコーダのインデック
ススケールの詳細例を示す図である。
ススケールの詳細例を示す図である。
【図３】本発明の光学式リニアエンコーダの信号処理手
段の一例を示すブロック図である。
段の一例を示すブロック図である。
【図４】図３に示す信号処理手段の動作を説明するため
の図である。
の図である。
【図５】従来の光学式リニアエンコーダの一例を示す概
略斜視構造図である。
略斜視構造図である。
【図６】従来の光学式リニアエンコーダのインデックス
スケールの詳細例を示す図である。
スケールの詳細例を示す図である。
１、６ メインスケール ４、７ インデックススケール ５、８ 受光器
Claims (4)
- 【請求項１】 メインスケールと相対的に変位するスラ
イダにより前記メインスケールの位置情報を読取る光学
式リニアエンコーダにおいて、前記変位方向に複数個配
設したメインスケールと、前記変位方向に離れた２点で
前記メインスケールの位置情報を検出する手段が含まれ
たスライダとを備えたことを特徴とする光学式リニアエ
ンコーダ。 - 【請求項２】 前記スライダには、前記２点の位置情報
を得るのに必要な２組の光学格子群を含んだ１つのイン
デックススケールが備えられている請求頁１に記載の光
学式リニアエンコーダ。 - 【請求項３】 前記スライダには、前記２点の位置情報
を得るのに必要な２組の受光部が１枚の基板上に形成さ
れた受光器が備えられている請求項１に記載の光学式リ
ニアエンコーダ。 - 【請求項４】 前記スライダとメインスケールとの位置
関係を表す別の位置検出器からの位置情報により、前記
２点の位置情報を選択あるいは合成して１つの位置デー
タとする手段を備えた請求項１に記載の光学式リニアエ
ンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31286492A JPH06137899A (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | 光学式リニアエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31286492A JPH06137899A (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | 光学式リニアエンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06137899A true JPH06137899A (ja) | 1994-05-20 |
Family
ID=18034361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31286492A Pending JPH06137899A (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | 光学式リニアエンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06137899A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006149024A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Yaskawa Electric Corp | 平面サーボモータ装置および平面サーボモータ装置用プラテン |
| EP1770374A2 (en) | 2005-09-29 | 2007-04-04 | Mitutoyo Corporation | Absolute liner encoder |
| DE102009051708A1 (de) | 2008-11-05 | 2010-05-06 | Okuma Corporation, Niwa | Linearcodierer |
-
1992
- 1992-10-28 JP JP31286492A patent/JPH06137899A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006149024A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Yaskawa Electric Corp | 平面サーボモータ装置および平面サーボモータ装置用プラテン |
| JP4715168B2 (ja) * | 2004-11-17 | 2011-07-06 | 株式会社安川電機 | 平面サーボモータ装置および平面サーボモータ装置用プラテン |
| EP1770374A2 (en) | 2005-09-29 | 2007-04-04 | Mitutoyo Corporation | Absolute liner encoder |
| DE102009051708A1 (de) | 2008-11-05 | 2010-05-06 | Okuma Corporation, Niwa | Linearcodierer |
| DE102009051708B4 (de) * | 2008-11-05 | 2015-04-09 | Okuma Corporation | Linearcodierer |
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