JPH06137755A - 昇圧超高純度窒素製造方法及び装置 - Google Patents
昇圧超高純度窒素製造方法及び装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 超高純度窒素を何の支障もなく連続供給す
る。 【構成】 本発明によれば、製造圧力でほぼ中程度の純
度のガス状窒素を製造し、この窒素を頂部凝縮器(2
3)を備えた精留塔(11)の底部に送り、精留塔塔底
槽からの膨張された液体及び場合によっては貯蔵槽(1
0)内に収容された中程度の純度の液体窒素によってこ
の頂部凝縮器を冷却し、精留塔頂部に製品超高純度窒素
を分離し、中程度の純度の窒素の製造停止期間中及び超
高純度窒素の需要がその製造と比較して上回る期間中、
前記貯蔵槽の液体窒素から得られる中程度の純度の予備
ガス状窒素を精留塔の底部に送り、かつこの貯蔵槽から
の比較的大きな液体窒素の流れを頂部凝縮器内に送る。
る。 【構成】 本発明によれば、製造圧力でほぼ中程度の純
度のガス状窒素を製造し、この窒素を頂部凝縮器(2
3)を備えた精留塔(11)の底部に送り、精留塔塔底
槽からの膨張された液体及び場合によっては貯蔵槽(1
0)内に収容された中程度の純度の液体窒素によってこ
の頂部凝縮器を冷却し、精留塔頂部に製品超高純度窒素
を分離し、中程度の純度の窒素の製造停止期間中及び超
高純度窒素の需要がその製造と比較して上回る期間中、
前記貯蔵槽の液体窒素から得られる中程度の純度の予備
ガス状窒素を精留塔の底部に送り、かつこの貯蔵槽から
の比較的大きな液体窒素の流れを頂部凝縮器内に送る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、昇圧された超高純度窒
素の製造方法及び装置に関する。
素の製造方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電子工業は、超高純度の、典型的には不
純物がほぼ1〜100ppb(百万分の1又は10-9)
の純度の窒素の連続供給を必要とする。
純物がほぼ1〜100ppb(百万分の1又は10-9)
の純度の窒素の連続供給を必要とする。
【0003】通常の技術では、いわゆる“電子工業級の
HPN(高純度窒素)”を空気精留装置における超高純
度窒素から直接製造している。触媒手段により水素、一
酸化炭素を加熱除去し、次いで吸着により水、二酸化炭
素を除去された圧縮空気がその露点付近に冷却され、次
いで頂部に超高純度窒素を製造するのに十分な理論段数
の精留板をもった精留塔の底部に導入される窒素製造塔
が問題とされる。精留塔は、塔底槽に集められて膨張さ
れた“リッチ液体”(酸素富化空気)により冷却される
頂部凝縮器を備えている。
HPN(高純度窒素)”を空気精留装置における超高純
度窒素から直接製造している。触媒手段により水素、一
酸化炭素を加熱除去し、次いで吸着により水、二酸化炭
素を除去された圧縮空気がその露点付近に冷却され、次
いで頂部に超高純度窒素を製造するのに十分な理論段数
の精留板をもった精留塔の底部に導入される窒素製造塔
が問題とされる。精留塔は、塔底槽に集められて膨張さ
れた“リッチ液体”(酸素富化空気)により冷却される
頂部凝縮器を備えている。
【0004】装置は超高純度窒素の一部を液化する手段
を備え、この液体窒素は予備貯槽に送られる。装置の故
障又は停電の場合には、この貯槽が超高純度窒素の供給
の継続を保証することができる。
を備え、この液体窒素は予備貯槽に送られる。装置の故
障又は停電の場合には、この貯槽が超高純度窒素の供給
の継続を保証することができる。
【0005】この技術は、次のような重大な欠点を有す
る。− 故障が長びいたならば貯槽は空になるであろう。し
たがって貯槽は非常に大きくなければならず、それは1
000Nm3 /hrを4日間供給するには20万lで非
常に高価であり、それでも確認された最長の故障期間で
はない。
る。− 故障が長びいたならば貯槽は空になるであろう。し
たがって貯槽は非常に大きくなければならず、それは1
000Nm3 /hrを4日間供給するには20万lで非
常に高価であり、それでも確認された最長の故障期間で
はない。
【0006】−貯槽が空であれば、通常の又は中程度
の純度のすなわちほぼppm(100万分の1又は10
-6)の平均純度をもった液体窒素に頼ることしかできな
いので、いかなる適当な解決策も存在しない。
の純度のすなわちほぼppm(100万分の1又は10
-6)の平均純度をもった液体窒素に頼ることしかできな
いので、いかなる適当な解決策も存在しない。
【0007】−装置の故障の結果貯槽が空になると、貯
槽は新たに満たされねばならず、これは非常に長い時間
を要する。例えば装置が超高純度窒素の7%を液体状で
製造するならば、装置停止の4日後の予備(20万l)
を復原するのに2ヵ月を要する。この期間の間、装置全
体が弱点をもつ。
槽は新たに満たされねばならず、これは非常に長い時間
を要する。例えば装置が超高純度窒素の7%を液体状で
製造するならば、装置停止の4日後の予備(20万l)
を復原するのに2ヵ月を要する。この期間の間、装置全
体が弱点をもつ。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、超高純度窒
素の連続供給の問題に、より信頼性のある解決方法を提
供することを目的としている。本発明はまた、そのよう
な方法を実施するための装置もその目的としている。
素の連続供給の問題に、より信頼性のある解決方法を提
供することを目的としている。本発明はまた、そのよう
な方法を実施するための装置もその目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明による
昇圧高純度窒素製造方法は、− 製造圧力でほぼ中程度の純度のガス状窒素を製造
し、− 前記窒素を、頂部凝縮器を備えた精留塔の底部に送
り、− 前記頂部凝縮器を、精留塔塔底槽からの膨張された
液体及び場合によっては貯蔵槽内に収容された中程度の
純度の液体窒素の第1の流れによって冷却し、− 精留塔頂部に製品超高純度窒素を分離し、− 中程度の純度の窒素の製造停止期間中及び超高純度
窒素の需要がその製造と比較して上回る期間中、前記貯
蔵槽の液体窒素から得られる中程度の純度の予備ガス状
窒素を精留塔底部に送り、かつ前記第1の流れより大き
な貯蔵槽からの第2の流れを頂部凝縮器(23)に送る
ことによって特徴づけられる。
昇圧高純度窒素製造方法は、− 製造圧力でほぼ中程度の純度のガス状窒素を製造
し、− 前記窒素を、頂部凝縮器を備えた精留塔の底部に送
り、− 前記頂部凝縮器を、精留塔塔底槽からの膨張された
液体及び場合によっては貯蔵槽内に収容された中程度の
純度の液体窒素の第1の流れによって冷却し、− 精留塔頂部に製品超高純度窒素を分離し、− 中程度の純度の窒素の製造停止期間中及び超高純度
窒素の需要がその製造と比較して上回る期間中、前記貯
蔵槽の液体窒素から得られる中程度の純度の予備ガス状
窒素を精留塔底部に送り、かつ前記第1の流れより大き
な貯蔵槽からの第2の流れを頂部凝縮器(23)に送る
ことによって特徴づけられる。
【0010】他の特徴によれば、− 中程度の純度の窒素を空気の精留によって製造する
場合に、触媒手段によって、精留すべき空気中の水素及
び一酸化炭素が除去される。
場合に、触媒手段によって、精留すべき空気中の水素及
び一酸化炭素が除去される。
【0011】−前記両期間中、貯蔵槽から液体窒素が
取出され、それが小精留塔を通過させられ、小精留塔か
ら出る液体の第1部分が気化され、得られたガスが前記
小精留塔を通過して下から上へ流され、次いで場合によ
っては貯蔵槽内に注入され、前記小精留塔から出る液体
の残部が、精留塔底部に送られる中程度の純度の予備窒
素を得るために気化される。
取出され、それが小精留塔を通過させられ、小精留塔か
ら出る液体の第1部分が気化され、得られたガスが前記
小精留塔を通過して下から上へ流され、次いで場合によ
っては貯蔵槽内に注入され、前記小精留塔から出る液体
の残部が、精留塔底部に送られる中程度の純度の予備窒
素を得るために気化される。
【0012】−予備窒素が精留塔に送られる前に、そ
の予備窒素中の一酸化炭素が除去される。− 頂部凝縮器内で気化された不純窒素が、第2の製品
として回収される。
の予備窒素中の一酸化炭素が除去される。− 頂部凝縮器内で気化された不純窒素が、第2の製品
として回収される。
【0013】このような方法を実施する装置は、− 中程度の純度の窒素の製造装置、− 頂部凝縮器を備えた精留塔、− 精留塔塔底槽を頂部凝縮器に接続する、膨張弁を備
えた管路、及び− 中程度の純度の液体窒素の貯蔵槽と、この貯蔵槽を
一方では精留塔底部に、他方では頂部凝縮器に選択的に
接続する連絡手段を有する。
えた管路、及び− 中程度の純度の液体窒素の貯蔵槽と、この貯蔵槽を
一方では精留塔底部に、他方では頂部凝縮器に選択的に
接続する連絡手段を有する。
【0014】本発明を実施する一例は、本発明による超
高純度窒素製造装置を略図的に示した1枚の添付図面に
ついて以下に述べられる。
高純度窒素製造装置を略図的に示した1枚の添付図面に
ついて以下に述べられる。
【0015】
【実施例】図面に示された装置は、二つの主要部分、す
なわち中程度の純度、典型的にはほぼ1ppmの純度の
ガス状窒素製造装置1、及び中程度の純度の窒素を送る
管路3によって装置1に接続される精製装置2を有す
る。
なわち中程度の純度、典型的にはほぼ1ppmの純度の
ガス状窒素製造装置1、及び中程度の純度の窒素を送る
管路3によって装置1に接続される精製装置2を有す
る。
【0016】いわゆるHNP型の装置1は、従来のもの
のように、空気圧縮機4、吸着装置5、及び熱交換手段
6と頂部凝縮器8を備えた精留塔7を収容するコールド
ボックスを有する。これらのHPN型装置の通常の要素
以外に、装置1は、空気圧縮機4と吸着装置5の間に配
置された接触反応装置9を有する。
のように、空気圧縮機4、吸着装置5、及び熱交換手段
6と頂部凝縮器8を備えた精留塔7を収容するコールド
ボックスを有する。これらのHPN型装置の通常の要素
以外に、装置1は、空気圧縮機4と吸着装置5の間に配
置された接触反応装置9を有する。
【0017】装置1はまた、図示されない寒冷保持手段
を有し、この手段は装置の大きさに応じて、気化された
リッチ液体の膨張タービン又は“補給”手段、すなわち
適当な貯槽から出る中程度の純度の少量の液体窒素を精
留塔頂部に導入する手段であってよい。
を有し、この手段は装置の大きさに応じて、気化された
リッチ液体の膨張タービン又は“補給”手段、すなわち
適当な貯槽から出る中程度の純度の少量の液体窒素を精
留塔頂部に導入する手段であってよい。
【0018】精製装置2は主として、中程度の純度、典
型的にはほぼ1ppmの純度の液体窒素の貯蔵槽10、
精留塔7と同じ全体構造の精製精留塔11及び熱交換手
段12を有する。
型的にはほぼ1ppmの純度の液体窒素の貯蔵槽10、
精留塔7と同じ全体構造の精製精留塔11及び熱交換手
段12を有する。
【0019】貯蔵槽10の下には、上部液体入口が管路
14によって貯蔵槽の底部に接続され、上部ガス出口が
貯蔵槽の圧力をかける管路15によって貯蔵槽頂部に接
続される小精留塔13が配置される。
14によって貯蔵槽の底部に接続され、上部ガス出口が
貯蔵槽の圧力をかける管路15によって貯蔵槽頂部に接
続される小精留塔13が配置される。
【0020】小精留塔13の下部液体出口は、一方では
その出口が小精留塔13の下部ガス入口に接続される第
1空熱蒸発器16に、他方では第2空熱蒸発器17に接
続される。第2蒸発器の出口は、止め弁19及び場合に
よっては一酸化炭素フィルターを蒸発器17の上流20
Aに又は下流20Bに備えた管路18によって管路3の
中間点に接続される。
その出口が小精留塔13の下部ガス入口に接続される第
1空熱蒸発器16に、他方では第2空熱蒸発器17に接
続される。第2蒸発器の出口は、止め弁19及び場合に
よっては一酸化炭素フィルターを蒸発器17の上流20
Aに又は下流20Bに備えた管路18によって管路3の
中間点に接続される。
【0021】調節弁22を備えた他の管路21は、貯蔵
槽10の底部を精留塔11の頂部凝縮器23の冷却部に
接続する。貯蔵槽10は、必要なときにはタンクローリ
ー24によって充填することができる。
槽10の底部を精留塔11の頂部凝縮器23の冷却部に
接続する。貯蔵槽10は、必要なときにはタンクローリ
ー24によって充填することができる。
【0022】通常の運転では貯蔵槽10は、窒素製造量
のほぼ数%の少量の液体窒素による“補給”によって精
留塔11の寒冷保持にしか使用されず、止め弁19は閉
じられている。処理すべき空気は、超高純度窒素の製造
圧力よりわずかに高い圧力に4で圧縮され、水素及び一
酸化炭素を9で除去され、水及び二酸化炭素を5で除去
され、装置1のコールドボックスに導入される。
のほぼ数%の少量の液体窒素による“補給”によって精
留塔11の寒冷保持にしか使用されず、止め弁19は閉
じられている。処理すべき空気は、超高純度窒素の製造
圧力よりわずかに高い圧力に4で圧縮され、水素及び一
酸化炭素を9で除去され、水及び二酸化炭素を5で除去
され、装置1のコールドボックスに導入される。
【0023】圧縮空気の露点付近まで6で冷却後、空気
は、6で加熱され次いで管路3に送られる中程度の純度
のガス状窒素を頂部に製造し、処理された空気の重い不
純物を含むリッチ液体を塔底槽に製造する精留塔7の底
部に導入される。膨張弁25で膨張後このリッチ液体
は、精留塔の頂部凝縮器8の冷却部に送られる。
は、6で加熱され次いで管路3に送られる中程度の純度
のガス状窒素を頂部に製造し、処理された空気の重い不
純物を含むリッチ液体を塔底槽に製造する精留塔7の底
部に導入される。膨張弁25で膨張後このリッチ液体
は、精留塔の頂部凝縮器8の冷却部に送られる。
【0024】気化されたリッチ液体は6で加熱され、管
路26を経て装置の廃ガスとして排出される。凝縮器8
の窒素通路は、残りの軽い不純物(ヘリウム及びネオ
ン)を集め、気化されたリッチ液体とともに排出するた
めに凝縮器の冷却部に送る手段を備えることができる。
路26を経て装置の廃ガスとして排出される。凝縮器8
の窒素通路は、残りの軽い不純物(ヘリウム及びネオ
ン)を集め、気化されたリッチ液体とともに排出するた
めに凝縮器の冷却部に送る手段を備えることができる。
【0025】管路3によって送られる窒素は、12でそ
の露点付近まで冷却され、精留塔11の底部に導入され
る。精留塔11は頂部に製品の超高純度ガス状窒素を製
造し、製品は12で加熱後、管路27を経て供給され
る。
の露点付近まで冷却され、精留塔11の底部に導入され
る。精留塔11は頂部に製品の超高純度ガス状窒素を製
造し、製品は12で加熱後、管路27を経て供給され
る。
【0026】精留塔11の還流は、この精留塔の塔底槽
の液体を例えば1バールだけ膨張弁28でわずかに膨張
し、膨張された液体を頂部凝縮器の冷却部に導入するこ
とによって得られる。この液体は気化後、中程度の純
度、例えば1.5ppmと比較してわずかに低い純度の
ガス状窒素を構成し、12で加熱後、管路29を経て商
品化される。
の液体を例えば1バールだけ膨張弁28でわずかに膨張
し、膨張された液体を頂部凝縮器の冷却部に導入するこ
とによって得られる。この液体は気化後、中程度の純
度、例えば1.5ppmと比較してわずかに低い純度の
ガス状窒素を構成し、12で加熱後、管路29を経て商
品化される。
【0027】こうして精製装置2は、管路3によって流
入する流量の約30%を超高純度窒素として、約70%
をわずかに低圧の不純窒素として製造できる。例とし
て、圧力は、装置1から出る中程度の純度の窒素につい
ては10バール、超高純度窒素については9バール、そ
して管路29によって運ばれる窒素については8バール
とすることができる。管路27と管路29との間のこの
圧力差は、それらが接続されている管路網の安全に好適
であり、もっとも純度の高い窒素がもっとも高い圧力に
あることは注目すべきである。
入する流量の約30%を超高純度窒素として、約70%
をわずかに低圧の不純窒素として製造できる。例とし
て、圧力は、装置1から出る中程度の純度の窒素につい
ては10バール、超高純度窒素については9バール、そ
して管路29によって運ばれる窒素については8バール
とすることができる。管路27と管路29との間のこの
圧力差は、それらが接続されている管路網の安全に好適
であり、もっとも純度の高い窒素がもっとも高い圧力に
あることは注目すべきである。
【0028】装置1の故障の場合、あるいは超高純度窒
素の需要がこの装置の能力を越えたならば、弁19及び
弁22が開かれ、場合によっては管路3に設けられた弁
30が閉じられる。
素の需要がこの装置の能力を越えたならば、弁19及び
弁22が開かれ、場合によっては管路3に設けられた弁
30が閉じられる。
【0029】小精留塔13内の通過によって軽い不純物
を除去された貯蔵槽10の液体は17で気化され、場合
によっては20A又は20Bで一酸化炭素を除去され、
上に述べたのと同じ精製処理を受けるために管路3に導
入される。貯蔵槽10の液体窒素に含まれる重い不純物
は、精留塔の塔底槽に集まることによって精留塔11内
で除去され、一方まだ存在している軽い不純物は、凝縮
器8について前に説明されたように、凝縮器23内で除
去される。
を除去された貯蔵槽10の液体は17で気化され、場合
によっては20A又は20Bで一酸化炭素を除去され、
上に述べたのと同じ精製処理を受けるために管路3に導
入される。貯蔵槽10の液体窒素に含まれる重い不純物
は、精留塔の塔底槽に集まることによって精留塔11内
で除去され、一方まだ存在している軽い不純物は、凝縮
器8について前に説明されたように、凝縮器23内で除
去される。
【0030】この運転の間、凝縮器23の冷却は、管路
21を経て貯蔵槽10から出る中程度の液体窒素によっ
て完全に完了されるか保証される。貯蔵槽10は、この
技術分野ではよく知られた図示されない適当な調節装置
を用いて、蒸発器16によって必要な圧力に常に保持さ
れる。
21を経て貯蔵槽10から出る中程度の液体窒素によっ
て完全に完了されるか保証される。貯蔵槽10は、この
技術分野ではよく知られた図示されない適当な調節装置
を用いて、蒸発器16によって必要な圧力に常に保持さ
れる。
【0031】精製装置2は超高純度窒素の供給の連続を
経済的やり方で、かつこの装置の組合せが完全に静的
で、いかなる運動部分ももたないことから非常に信頼性
あるやり方で保証できることが見られる。確認すべき唯
一の条件は、普通の、すなわち中程度の純度の液体窒素
が貯蔵槽10内に絶えず存在することである。
経済的やり方で、かつこの装置の組合せが完全に静的
で、いかなる運動部分ももたないことから非常に信頼性
あるやり方で保証できることが見られる。確認すべき唯
一の条件は、普通の、すなわち中程度の純度の液体窒素
が貯蔵槽10内に絶えず存在することである。
【図1】本発明による超高純度窒素製造のフローシー
ト。
ト。
1 中程度の純度のガス状窒素製造装置 2 精製装置 4 空気圧縮機 5 吸着装置 6,12 熱交換手段 7,11 精留塔 8,23 頂部凝縮器 9 接触反応装置 10 液体窒素貯蔵槽 13 小精留塔 16,17 蒸発器 20A,20B フィルター 24 タンクローリー 25,28 膨張弁
Claims (9)
- 【請求項1】 −製造圧力でほぼ中程度の純度のガス
状窒素を製造し、− 前記窒素を、頂部凝縮器を備えた精留塔(11)の
底部に送り、− 前記頂部凝縮器を、精留塔塔底槽からの膨張された
液体及び場合によっては貯蔵槽(10)内に収容された
中程度の純度の液体窒素の第1の流れによって冷却し、− 精留塔頂部に製品超高純度窒素を分離し、− 中程度の純度の窒素の製造停止期間中及び超高純度
窒素の需要がその製造と比較して上回る期間中、前記貯
蔵槽の液体窒素から得られる中程度の純度の予備ガス状
窒素を精留塔の底部に送り、かつ前記第1の流れより大
きな貯蔵槽からの液体窒素の第2の流れを頂部凝縮器
(23)に送ることを特徴とする昇圧超高純度窒素製造
方法。 - 【請求項2】 触媒手段(9)によって、精留すべき空
気中の水素及び一酸化炭素を除去することを特徴とす
る、空気の精留により中程度の純度の窒素を製造する請
求項1記載の昇圧超高純度窒素製造方法。 - 【請求項3】 前記両期間中、貯蔵槽(10)から液体
窒素を取出し、該液体窒素を小精留塔(13)を通過さ
せ、該小精留塔から出る液体の第1部分を気化し、得ら
れたガスを前記小精留塔を通過して下から上へ流れさ
せ、次いで場合によっては貯蔵槽内に注入し、前記小精
留塔(13)から出る液体の残部を、精留塔(11)の
底部に送る中程度の純度の予備窒素を得るために気化す
ることを特徴とする請求項1又は2記載の昇圧超高純度
窒素製造方法。 - 【請求項4】 予備窒素を精留塔(11)の底部に送る
前に、該予備窒素中の一酸化炭素を除去(20A又は2
0B)することを特徴とする請求項1ないし3のいずれ
か1項に記載の昇圧超高純度窒素製造方法。 - 【請求項5】 頂部凝縮器(23)内で気化された不純
窒素を、第2の製品として回収することを特徴とする請
求項1ないし4のいずれか1項に記載の昇圧超高純度窒
素製造方法。 - 【請求項6】 −中程度の純度の窒素の製造装置
(1)、− 頂部凝縮器(23)を備えた精留塔(11)、− 精留塔塔底槽を頂部凝縮器に接続する、膨張弁を備
えた管路、及び− 中程度の純度の液体窒素の貯蔵槽(10)と該貯蔵
槽を一方では精留塔底部に、他方では頂部凝縮器に選択
的に接続する連絡手段(18,21)を有することを特
徴とする昇圧超高純度窒素製造装置。 - 【請求項7】 中程度の純度の窒素の製造装置(1)
が、空気圧縮機(3)、水素及び一酸化炭素除去の接触
反応装置(9)、水及び二酸化炭素除去の吸着装置
(5)、頂部に中程度の純度の窒素を製造する精留によ
る空気分離精留塔、並びに空気の露点付近までの空気冷
却と分離精留塔(7)から出る製品の加熱を間接熱交換
によって確実に行う熱交換手段(6)を有することを特
徴とする請求項6記載の昇圧超高純度窒素製造装置。 - 【請求項8】 貯蔵槽の底部に接続される液体の上部入
口、貯蔵槽の上部に場合によっては接続されるガスの上
部出口、ガスの下部入口、及び一方では第1蒸発器(1
6)を経てガスの下部入口に接続され、他方では第2蒸
発器(17)を経て止め弁(19)を備えた管路(1
8)によって精留塔底部に接続される液体の下部出口を
有する小精留塔(13)が、貯蔵槽(10)に組合され
ることを特徴とする請求項6又は7記載の昇圧超高純度
窒素製造装置。 - 【請求項9】 貯蔵槽を精留塔底部に接続する手段(1
8)が予備窒素中の一酸化炭素を除去するフィルター
(20A,20B)を有することを特徴とする請求項6
ないし8のいずれか1項に記載の昇圧超高純度窒素製造
装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9212012A FR2696821B1 (fr) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | Procédé et installation de production d'azote ultra-pur sous pression. |
FR9212012 | 1992-10-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06137755A true JPH06137755A (ja) | 1994-05-20 |
Family
ID=9434326
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5026642A Pending JPH06137755A (ja) | 1992-10-09 | 1993-02-16 | 昇圧超高純度窒素製造方法及び装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5421164A (ja) |
EP (1) | EP0592323B1 (ja) |
JP (1) | JPH06137755A (ja) |
KR (1) | KR940009650A (ja) |
DE (1) | DE69312843T2 (ja) |
FR (1) | FR2696821B1 (ja) |
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US5511380A (en) * | 1994-09-12 | 1996-04-30 | Liquid Air Engineering Corporation | High purity nitrogen production and installation |
US5987918A (en) * | 1998-03-17 | 1999-11-23 | The Boc Group, Inc. | Method of separating nitrogen from air |
DE19929798A1 (de) * | 1998-11-11 | 2000-05-25 | Linde Ag | Verfahren zur Gewinnung von ultrareinem Stickstoff |
DE10158330A1 (de) * | 2001-11-28 | 2003-06-18 | Linde Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines hoch reinen tiefkalten Flüssigprodukts aus einer weniger reinen tiefkalten Einsatzflüssigkeit |
DE10210324A1 (de) * | 2002-03-08 | 2003-09-18 | Linde Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines hoch reinen Produkts aus einer Einsatzfraktion |
DE102008037300A1 (de) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Robert Brockmann | Herstellung eines Reingases, insbesondere für die Dichtheitsprüfung an einem druckbeaufschlagten Bauteil |
CN110817802B (zh) * | 2019-10-24 | 2023-01-24 | 邯郸钢铁集团有限责任公司 | 一种利用复合纯化工艺制取超纯氢的***及方法 |
CN111874879A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-11-03 | 四川海盛杰低温科技有限公司 | 一种集成式液氮净化装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH0261481A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-03-01 | Hitachi Ltd | 超高純度窒素の製造方法及び装置 |
FR2660741A1 (fr) * | 1990-04-10 | 1991-10-11 | Air Liquide | Procede et installation de production d'azote gazeux, et systeme de fourniture d'azote correspondant. |
ES2110983T3 (es) * | 1990-04-20 | 1998-03-01 | Air Liquide | Procedimiento y dispositivo de elaboracion de nitrogeno ultrapuro. |
JP2721591B2 (ja) * | 1990-11-30 | 1998-03-04 | 大同ほくさん株式会社 | 超高純度窒素製造装置 |
FR2670278B1 (fr) * | 1990-12-06 | 1993-01-22 | Air Liquide | Procede et installation de distillation d'air en regime variable de production d'oxygene gazeux. |
US5224336A (en) * | 1991-06-20 | 1993-07-06 | Air Products And Chemicals, Inc. | Process and system for controlling a cryogenic air separation unit during rapid changes in production |
-
1992
- 1992-10-09 FR FR9212012A patent/FR2696821B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-02-16 JP JP5026642A patent/JPH06137755A/ja active Pending
- 1993-10-06 US US08/132,301 patent/US5421164A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-10-08 DE DE69312843T patent/DE69312843T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-10-08 EP EP93402480A patent/EP0592323B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-09 KR KR1019930020916A patent/KR940009650A/ko active IP Right Grant
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EP0592323B1 (fr) | 1997-08-06 |
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