JPH0613678A - Gas laser of external mirror type - Google Patents
Gas laser of external mirror typeInfo
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- JPH0613678A JPH0613678A JP17047992A JP17047992A JPH0613678A JP H0613678 A JPH0613678 A JP H0613678A JP 17047992 A JP17047992 A JP 17047992A JP 17047992 A JP17047992 A JP 17047992A JP H0613678 A JPH0613678 A JP H0613678A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、外部ミラー形ガスレー
ザ発振器に関し、特に、防塵カバー内の構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an external mirror type gas laser oscillator, and more particularly to a structure inside a dustproof cover.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の技術として、ガスレーザの中でも
アルゴンレーザに関して説明する。従来のブリュースタ
窓とレーザミラー間の防塵構造を図２に示す。ここでは
窒素をフローする発振器について示している。2. Description of the Related Art As a conventional technique, an argon laser among gas lasers will be described. A conventional dustproof structure between a Brewster window and a laser mirror is shown in FIG. Here, an oscillator that flows nitrogen is shown.
【０００３】アルゴンガスをイオン化してそのエネルギ
遷移によりレーザ発振を行うガスレーザ管４は、高出力
を得るために放電細管１に数＋Ａにも及ぶ大電流を流す
必要がある。この放電により約４００ｎｍ以下の領域の
紫外線が放出される。アルゴンの放電スペクトルが広く
紫外領域に存在していることは、理科年表等の資料によ
っても一般に知られていることである。The gas laser tube 4 which ionizes argon gas and oscillates by its energy transition needs to flow a large current of several + A to the discharge capillary 1 in order to obtain a high output. This discharge emits ultraviolet rays in the region of about 400 nm or less. The fact that the discharge spectrum of argon is widely present in the ultraviolet region is generally known from materials such as science chronology.
【０００４】放電により発生した紫外線の一部分は、ガ
スレーザ管４の軸方向に進み、ブリュースタ窓３とブリ
ュースタバルブ２を透過してガスレーザ管４の外へ放出
される。アルゴンレーザは緑〜青〜紫〜紫外の領域を効
率良く発振させることが目的であるために、ほとんどの
場合ブリュースタ窓３は可視〜紫外領域で透過率の良い
石英ガラスが用いられている。A part of the ultraviolet rays generated by the discharge advances in the axial direction of the gas laser tube 4, passes through the Brewster window 3 and the Brewster valve 2, and is emitted to the outside of the gas laser tube 4. Since the purpose of the argon laser is to efficiently oscillate in the green-blue-violet-ultraviolet region, the Brewster window 3 is mostly made of quartz glass having a high transmittance in the visible-ultraviolet region.
【０００５】またブリュースタ窓３を支持しているブリ
ュースタバルブ２は、両者の気密シールの信頼性を上げ
るために、熱膨張率の同じ材料が好ましく、やはり石英
ガラスが用いられる。この様な理由から、ブリュースタ
窓３とブリュースタバルブ２には紫外領域迄透過率の良
い石英ガラスが用いられているために、放電により発生
した紫外線は効率良くガスレーザ管４外へ透過する。The Brewster valve 2 supporting the Brewster window 3 is preferably made of a material having the same coefficient of thermal expansion in order to improve the reliability of the airtight seal between them, and quartz glass is also used. For this reason, quartz glass having a high transmittance up to the ultraviolet region is used for the Brewster window 3 and the Brewster bulb 2. Therefore, the ultraviolet rays generated by the discharge are efficiently transmitted to the outside of the gas laser tube 4.
【０００６】また、アルゴンレーザは３５０ｎｍ付近、
２７０ｎｍ付近にも発振波長を有しているために、これ
らの紫外線発振の動作時には、前述の放電による紫外線
に加え、レーザ発振器による発振光である紫外線もガス
レーザ管４外に放出される。Further, the argon laser is about 350 nm,
Since it has an oscillation wavelength near 270 nm, during the operation of these ultraviolet oscillations, in addition to the ultraviolet rays due to the above-mentioned discharge, ultraviolet rays that are oscillation light from the laser oscillator are also emitted to the outside of the gas laser tube 4.
【０００７】以上の放電とレーザ発振とによりガスレー
ザ管４外に放出された紫外線は防塵カバー７の内部の空
間１２を透過し、オゾンを発生させる。The ultraviolet rays emitted to the outside of the gas laser tube 4 by the above discharge and laser oscillation pass through the space 12 inside the dustproof cover 7 to generate ozone.
【０００８】空気中に紫外線をあてると、空気中の酸素
をもとにオゾンが発生することは良く知られている。It is well known that when ultraviolet rays are applied to air, ozone is generated based on oxygen in the air.
【０００９】この防塵カバー７内部の空間１２に発生し
たオゾンは、紫外線を吸収するという特性から、紫外発
振時のレーザ出力を著しく低下させる。Ozone generated in the space 12 inside the dust-proof cover 7 absorbs ultraviolet rays, so that the laser output during ultraviolet oscillation is significantly reduced.
【００１０】また、オゾンの強い酸化力によって、防塵
カバー７内部の空間１２をかこんでいる防塵カバー７、
支持体６を構成する各種の部品（図２では調整機構等の
詳細部品は省略）の酸化が進行し、レーザミラー５やブ
リュースタ窓３に付く汚れの原因にもなる。Further, due to the strong oxidizing power of ozone, the dustproof cover 7 enclosing the space 12 inside the dustproof cover 7,
Oxidation of various parts (detailed parts such as an adjusting mechanism are omitted in FIG. 2) constituting the support 6 progresses, which may cause stains on the laser mirror 5 and the Brewster window 3.
【００１１】従来は、このオゾンをとり除くために、窒
素や空気を防塵カバー７内の空間１２にフローさせてい
た。In the past, in order to remove this ozone, nitrogen or air was made to flow into the space 12 inside the dustproof cover 7.
【００１２】また、紫外発振動作に比べ出力の低下がゆ
るやかな可視発振動作では特別な対策をほどこしていな
い場合もあった。In addition, there are cases where no special measures are taken in the visible oscillating operation in which the output lowers more gently than in the ultraviolet oscillating operation.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとする課題】この従来の外部ミラー
形ガスレーザ発振器には、放電により発生した紫外線
と、紫外発振動作時の発振光である紫外線とによって防
塵カバー７内の空間１２にオゾンが発生するために、発
振光の紫外線が吸収されて出力が低下したり、周囲の部
品の酸化による光学部品の汚れや、光学部品の劣化によ
り、同じく出力が低下するといった課題があった。In this conventional external mirror type gas laser oscillator, ozone is generated in the space 12 inside the dustproof cover 7 by the ultraviolet rays generated by the discharge and the ultraviolet rays which are the oscillation light during the ultraviolet oscillation operation. Therefore, there are problems that the ultraviolet rays of the oscillated light are absorbed and the output is reduced, the optical components are soiled due to the oxidation of surrounding components, and the optical components are deteriorated, so that the output is also reduced.
【００１４】また、発生したオゾンを除去する方策とし
て、窒素や空気を防塵カバー７内の空間１２にフローさ
せるといったことが行われたが、装置が大がかりにな
る、コストが上がる、ランニングコストが大といった課
題があった。Further, as a measure for removing the generated ozone, nitrogen or air is made to flow into the space 12 in the dustproof cover 7, but the size of the apparatus becomes large, the cost increases, and the running cost becomes large. There was a problem such as.
【００１５】本発明は従来の上記実情に鑑みてなされた
ものであり、従って本発明に目的は、従来の技術に内在
する上記諸課題を解決することを可能とした新規な外部
ミラー形ガスレーザ発振器を提供することにある。The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional circumstances, and therefore an object of the present invention is to provide a novel external mirror type gas laser oscillator capable of solving the above-mentioned problems inherent in the prior art. To provide.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明に係る外部ミラー形ガスレーザ発振器は、放
電細管１とこの放電細管１内を放電させるために電極１
１と一対のブリュースタ窓３からなるガスレーザ管４
と、光共振器を構成するための一対のレーザミラー５
と、ガスレーザ管４とレーザミラー５を保持する支持体
６と、ガスレーザ管４とレーザミラー５の間を防塵する
防塵カバー７とを有し、さらにガスレーザ管４と防塵カ
バー７とレーザミラー５と支持体６によって囲まれた空
間１２内に存在する酸素を吸着し減少させるための酸素
吸着剤を空間１２の内部に備えて構成される。In order to achieve the above object, an external mirror type gas laser oscillator according to the present invention comprises a discharge tube 1 and an electrode 1 for discharging the discharge tube 1.
Gas laser tube 4 consisting of 1 and a pair of Brewster windows 3
And a pair of laser mirrors 5 for forming an optical resonator
A support 6 for holding the gas laser tube 4 and the laser mirror 5, and a dustproof cover 7 for preventing dust between the gas laser tube 4 and the laser mirror 5, and further the gas laser tube 4, the dustproof cover 7 and the laser mirror 5. An oxygen adsorbent for adsorbing and reducing oxygen existing in the space 12 surrounded by the support 6 is provided inside the space 12.
【実施例】次に本発明をその好ましい一実施例について
図面を参照して具体的に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings with reference to the accompanying drawings.
【００１７】図１は本発明に係る外部ミラー形ガスレー
ザ発振器の一実施例を示す縦断面図である。なお、外部
ミラー形ガスレーザ発振器の出力側と全反射側は基本的
に構造が類似しているので出力側のみを表示し一方を省
略している。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of an external mirror type gas laser oscillator according to the present invention. Since the output side and the total reflection side of the external mirror type gas laser oscillator are basically similar in structure, only the output side is shown and one is omitted.
【００１８】図１を参照するに、ガスレーザ管４とレー
ザ発振器を構成するレーザミラー５は、支持体６を介し
て固定され、相対的に位置決めされている。放電細管１
をはさみ両端に位置する一対の電極１１間で放電がスタ
ートすると、紫外線が放射され、ガスレーザ管４の軸方
向へ進んだ紫外線は、可視域から２００ｎｍ付近迄効率
良く透過する石英ガラス製のブリュースタ窓３とブリュ
ースタバルブ２を透過する。Referring to FIG. 1, a gas laser tube 4 and a laser mirror 5 constituting a laser oscillator are fixed via a support 6 and are relatively positioned. Electric discharge tube 1
When electric discharge is started between the pair of electrodes 11 located at both ends of the gas scissors, ultraviolet rays are radiated, and the ultraviolet rays traveling in the axial direction of the gas laser tube 4 are efficiently transmitted from the visible range to about 200 nm near the quartz glass brewer. It passes through the window 3 and Brewster valve 2.
【００１９】また、紫外発振動作時には、放電細管１と
レーザミラー５の相対位置により決定される光路を発振
光は通りブリュースタ窓３を透過する。During the ultraviolet oscillation operation, the oscillation light passes through the Brewster window 3 through the optical path determined by the relative position of the discharge capillary 1 and the laser mirror 5.
【００２０】以上の２種類の紫外線が空間１２を通る
が、酸素吸着剤１３により空間１２内の酸素量が減少し
ているために、オゾンの生成量が抑えれる。The above two kinds of ultraviolet rays pass through the space 12, but the amount of oxygen in the space 12 is reduced by the oxygen adsorbent 13, so that the amount of ozone produced is suppressed.
【００２１】なお、酸素吸着剤１３はその一例として
「エージレス」という品名で三菱瓦斯化学より市販され
ている。一般向には食品用の脱酸素材として量産されて
いるので、コスト的にも廉価である。The oxygen adsorbent 13 is commercially available from Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. under the product name "AGELESS" as an example. Since it is mass-produced as a deoxidizing material for foods to the general public, it is also inexpensive in terms of cost.
【００２２】また、酸素吸着剤１３の容器は、通気性が
良くかつ酸素吸着剤１３が、こぼれ出なければ良く、特
に材質形状を限定するものではない。また、その容器の
置き場所も空間１２内という部分以外は特に限定されな
い。Further, the container of the oxygen adsorbent 13 has good air permeability and the oxygen adsorbent 13 should not spill out, and the material shape is not particularly limited. Further, the place where the container is placed is not particularly limited except for the part inside the space 12.
【００２３】本発明の他の実施例として、酸素吸着剤の
代わりに、発生したオゾンを分解するためのオゾン分解
剤を防塵カバー７内の空間１２に設けたもので実現され
る。As another embodiment of the present invention, an ozone decomposing agent for decomposing generated ozone is provided in the space 12 inside the dust cover 7 instead of the oxygen adsorbent.
【００２４】なおオゾン分解剤はその一つ例として「セ
カード」の品名で品川白煉瓦（株）より市販されてい
る。The ozone decomposing agent is commercially available from Shinagawa Shiro Brick Co., Ltd. under the product name of "SECARD" as an example.
【００２５】前記実施例と同様に、容器の材質、形状、
設置場所を限定するものでない。As in the previous embodiment, the material, shape, and
It does not limit the installation location.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
酸素吸着剤１３によって防塵カバー７内の空間１２の酸
素量を減らし、オゾンの発生を抑えたので、オゾンの吸
収による紫外線出力の低下を防ぎ、またオゾンの強酸化
力に基づく部品の酸化による光学部品の汚れを抑えて、
レーザ出力の低下を防止するという効果が得られる。As described above, according to the present invention,
Since the oxygen adsorbent 13 reduces the amount of oxygen in the space 12 inside the dust-proof cover 7 and suppresses the generation of ozone, the decrease of the ultraviolet output due to the absorption of ozone is prevented, and the optics due to the oxidation of parts based on the strong oxidizing power of ozone is used. Keeping parts clean
The effect of preventing the reduction of the laser output can be obtained.
【００２７】本発明によれば、また、従来使用されてい
た窒素や空気のフロー用の装置が不要になるために、装
置の大きさを縮小することができ、コストも抑えること
ができる。According to the present invention, since the conventionally used device for the flow of nitrogen or air is not required, the size of the device can be reduced and the cost can be suppressed.
【００２８】以上より本発明は、長寿命、小形、低価格
の外部ミラー形ガスレーザ発振器を提供することができ
る。As described above, the present invention can provide a long-life, small-sized, low-cost external mirror type gas laser oscillator.
【図１】本発明に係る外部ミラー形ガスレーザ発振器の
一実施例を示す縦断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view showing an embodiment of an external mirror type gas laser oscillator according to the present invention.
【図２】従来における外部ミラー形ガスレーザ発振器の
縦断面図である。FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of a conventional external mirror type gas laser oscillator.
１…放電細管 ２…ブリュースタバルブ ３…ブリュースタ窓 ４…ガスレーザ管 ５…レーザミラー ６…支持体 ７…防塵カバー ８…放電細管端面部品 ９…窒素配管（ｉｎ） １０…窒素配管（ｏｕｔ） １１…電極 １２…空間 １３…酸素吸着剤 １４…発振光 1 ... Discharge capillary 2 ... Brewster valve 3 ... Brewster window 4 ... Gas laser tube 5 ... Laser mirror 6 ... Support 7 ... Dust cover 8 ... Discharge capillary end face component 9 ... Nitrogen piping (in) 10 ... Nitrogen piping (out) 11 ... Electrode 12 ... Space 13 ... Oxygen adsorbent 14 ... Oscillation light
Claims (2)
ための電極と、一対のブリュースタ窓からなるガスレー
ザ管と、光共振器を構成するための一対のレーザミラー
と、前記ガスレーザ管と前記レーザミラーを保持する支
持体と、前記ガスレーザ管と前記レーザミラー間を防塵
する防塵カバーとによって構成される外部ミラー形ガス
レーザ発振器において、前記ガスレーザ管と前記防塵カ
バーと前記レーザミラーと前記支持体によって囲まれた
空間内に存在する酸素を吸着し減少させるための酸素吸
着剤を前記空間内に備えたことを特徴とする外部ミラー
形ガスレーザ発振器。1. A discharge thin tube, an electrode for discharging the inside of the discharge thin tube, a gas laser tube including a pair of Brewster windows, a pair of laser mirrors for forming an optical resonator, the gas laser tube and the In an external mirror type gas laser oscillator configured by a support for holding a laser mirror, and a dustproof cover for preventing dust between the gas laser tube and the laser mirror, the gas laser tube, the dustproof cover, the laser mirror and the support An external mirror type gas laser oscillator, comprising an oxygen adsorbent for adsorbing and reducing oxygen existing in the enclosed space.
に存在するオゾンを分解し減少させるためにオゾン分解
剤を前記空間内に備えることを更に特徴とする請求項１
に記載の外部ミラー形ガスレーザ発振器。2. The method according to claim 1, further comprising, instead of the oxygen adsorbent, an ozone decomposing agent provided in the space to decompose and reduce ozone existing in the space.
The external mirror type gas laser oscillator described in 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17047992A JPH0613678A (en) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | Gas laser of external mirror type |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17047992A JPH0613678A (en) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | Gas laser of external mirror type |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613678A true JPH0613678A (en) | 1994-01-21 |
Family
ID=15905714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17047992A Pending JPH0613678A (en) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | Gas laser of external mirror type |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613678A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11330591A (en) * | 1998-04-03 | 1999-11-30 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | High-frequency excitation gas laser and laser tube for gas laser |
| CN102769246A (en) * | 2012-08-01 | 2012-11-07 | 山东能源机械集团大族再制造有限公司 | Carbon dioxide laser |
-
1992
- 1992-06-29 JP JP17047992A patent/JPH0613678A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11330591A (en) * | 1998-04-03 | 1999-11-30 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | High-frequency excitation gas laser and laser tube for gas laser |
| CN102769246A (en) * | 2012-08-01 | 2012-11-07 | 山东能源机械集团大族再制造有限公司 | Carbon dioxide laser |
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