JPH06117807A - Rotating angle sensor - Google Patents
Rotating angle sensorInfo
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- JPH06117807A JPH06117807A JP29633392A JP29633392A JPH06117807A JP H06117807 A JPH06117807 A JP H06117807A JP 29633392 A JP29633392 A JP 29633392A JP 29633392 A JP29633392 A JP 29633392A JP H06117807 A JPH06117807 A JP H06117807A
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- magnetoresistive element
- ferromagnetic
- magnet member
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、シャフトの回転角度を
検出する回転角度センサに関し、特に強磁性磁気抵抗素
子を用いた無接触型の回転角度センサに係る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotation angle sensor for detecting a rotation angle of a shaft, and more particularly to a contactless rotation angle sensor using a ferromagnetic magnetoresistive element.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近時、回転角度あるいは回転位置を検出
するセンサに関し、無接触機構を構成し、あるいはシャ
フトの慣性損失を小さくする等の要請から磁気センサの
利用が注目されている。この磁気センサには磁気抵抗素
子が用いられ、素子の板面がシャフトの先端に装着され
た永久磁石に対向するように配置されている。2. Description of the Related Art Recently, with regard to a sensor for detecting a rotation angle or a rotation position, the use of a magnetic sensor has been attracting attention due to a demand for forming a non-contact mechanism or reducing inertia loss of a shaft. A magnetoresistive element is used for this magnetic sensor, and the plate surface of the element is arranged so as to face the permanent magnet mounted at the tip of the shaft.
【０００３】上記磁気抵抗素子としては半導体磁気抵抗
素子と強磁性磁気抵抗素子が知られている。前者は半導
体の電気抵抗が磁界中で変化する性質を利用したもので
ある。後者は磁界中の強磁性体に関し磁化方向と電流方
向のなす角度によって抵抗が異方的に変化する性質を利
用したものである。これは異方性磁気抵抗効果と呼ば
れ、磁界の大きさによる負性磁気抵抗効果と区別され
る。即ち、通常の強磁性体にあっては、異方性磁気抵抗
効果により電流と磁化方向が平行になった時に抵抗が最
大となり、直交した時に最小となる。而して、この効果
を利用すべく基板の板面に薄膜の強磁性金属が折線状に
付着されて強磁性磁気抵抗素子が構成され、例えば特開
昭６２−２３７３０２号公報に記載のように、強磁性磁
気抵抗素子がシャフトの端面とこの端面の対向位置の何
れか一方に設けられ、他方に永久磁石が設けられた回転
位置検出装置が知られている。As the magnetoresistive element, a semiconductor magnetoresistive element and a ferromagnetic magnetoresistive element are known. The former utilizes the property that the electric resistance of a semiconductor changes in a magnetic field. The latter utilizes the property that the resistance of a ferromagnetic material in a magnetic field changes anisotropically depending on the angle formed by the magnetization direction and the current direction. This is called the anisotropic magnetoresistive effect, and is distinguished from the negative magnetoresistive effect due to the magnitude of the magnetic field. That is, in an ordinary ferromagnetic material, the resistance becomes maximum when the current and the magnetization direction are parallel to each other due to the anisotropic magnetoresistive effect, and becomes minimum when the current and the magnetization direction are orthogonal to each other. In order to utilize this effect, a thin film of ferromagnetic metal is adhered to the plate surface of the substrate in a polygonal line to form a ferromagnetic magnetoresistive element. For example, as disclosed in JP-A-62-237302. There is known a rotational position detecting device in which a ferromagnetic magnetoresistive element is provided at either one of the end face of a shaft and a position facing the end face, and the other end is provided with a permanent magnet.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記公報に記載の磁気
センサに関し、強磁性磁気抵抗素子に対する永久磁石の
位置、即ち両者間の間隙を所定の値に設定する手段は開
示されておらず、実際に製造する場合には、基板の支持
部の公差、シャフト長さの公差、軸受長さの公差、軸受
の支持部の公差等が重畳されることになるので、上記の
間隙を所定の値に設定することは極めて困難でありバラ
ツキが生ずる。このような強磁性磁気抵抗素子と永久磁
石との間の間隙のバラツキは前者に対する磁束密度のバ
ラツキとなり、結局製品の性能のバラツキを惹起する。Regarding the magnetic sensor described in the above publication, there is no disclosure of means for setting the position of the permanent magnet with respect to the ferromagnetic magnetoresistive element, that is, the gap between the two, to a predetermined value. In the case of manufacturing, the tolerance of the substrate support, the tolerance of the shaft length, the tolerance of the bearing length, the tolerance of the bearing support, etc. will be superimposed. It is extremely difficult to set and there are variations. Such a variation in the gap between the ferromagnetic magnetoresistive element and the permanent magnet causes a variation in the magnetic flux density with respect to the former, and eventually causes a variation in the product performance.
【０００５】そこで、本発明は強磁性磁気抵抗素子を有
する無接触型の回転角度センサにおいて、磁石部材の強
磁性磁気抵抗素子に対する相対位置精度を良好なものと
し、安定した出力特性を確保することを目的とする。Therefore, in the non-contact type rotation angle sensor having the ferromagnetic magnetoresistive element, the present invention makes the relative position accuracy of the magnet member relative to the ferromagnetic magnetoresistive element good and secures stable output characteristics. With the goal.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の回転角度センサは、基板の板面に強磁性磁
気抵抗素子を付着した検出素子と、該検出素子に対して
相対的に回転するシャフトと、該シャフトの端部に対し
軸方向に移動可能に装着し所定位置で前記シャフトに固
定する蓋体と、該蓋体と前記シャフトの端面との間に収
容し前記蓋体に密着させ、少くとも前記強磁性磁気抵抗
素子を含む磁界を形成する磁石部材とを備え、該磁石部
材と前記強磁性磁気抵抗素子との間の所定の間隙に応じ
て前記蓋体を前記シャフトに固定するようにしたもので
ある。In order to achieve the above object, a rotation angle sensor of the present invention comprises a detecting element having a ferromagnetic magnetoresistive element attached to a plate surface of a substrate, and a relative detecting element. A shaft that rotates around, a lid that is axially movably attached to the end of the shaft and is fixed to the shaft at a predetermined position, and the lid that is housed between the lid and the end surface of the shaft. And a magnet member that forms a magnetic field including at least the ferromagnetic magnetoresistive element, and the lid body is attached to the shaft according to a predetermined gap between the magnet member and the ferromagnetic magnetoresistive element. It is designed to be fixed to.
【０００７】上記回転角度センサにおいて、更に、前記
磁石部材と前記シャフトの端面との間に介装し前記磁石
部材を前記蓋体方向に付勢する弾性部材を設けることと
してもよい。In the above rotation angle sensor, an elastic member that is interposed between the magnet member and the end surface of the shaft and biases the magnet member toward the lid may be provided.
【０００８】[0008]
【作用】上記の構成になる回転角度センサにおいては、
シャフトが回転すると、磁石部材が検出素子に対して相
対的に回転する。この相対的な回転に応じ、検出素子の
強磁性磁気抵抗素子に対してこれを含む平行磁束の磁界
が変化するのでその抵抗値が変化し、検出素子からシャ
フトの回転に応じた信号が出力される。この場合におい
て、磁石部材は蓋体とシャフトの端面との間に収容さ
れ、例えば接着剤によって蓋体に密着され、この蓋体が
磁石部材と強磁性磁気抵抗素子との間の所定の間隙に応
じてシャフトに固定されるように構成されているので、
磁石部材の強磁性磁気抵抗素子に対する固定位置が適切
に調整され、相対位置精度は良好なものとなる。而し
て、磁石部材の強磁性磁気抵抗素子に対する相対位置変
化に起因する誤差は小さく抑えられ、所期の出力特性が
得られる。In the rotation angle sensor having the above structure,
When the shaft rotates, the magnet member rotates relative to the detection element. According to this relative rotation, the magnetic field of the parallel magnetic flux including this changes with respect to the ferromagnetic magnetoresistive element of the detection element, so that the resistance value changes and the detection element outputs a signal according to the rotation of the shaft. It In this case, the magnet member is housed between the lid body and the end surface of the shaft, and is adhered to the lid body by, for example, an adhesive, and the lid body is provided in a predetermined gap between the magnet member and the ferromagnetic magnetoresistive element. Since it is configured to be fixed to the shaft accordingly,
The fixed position of the magnet member with respect to the ferromagnetic magnetoresistive element is appropriately adjusted, and the relative position accuracy becomes good. Thus, the error due to the relative position change of the magnet member with respect to the ferromagnetic magnetoresistive element can be suppressed to a small level, and the desired output characteristics can be obtained.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の回転角度センサを内燃機関の
スロットルポジションセンサに適用した実施例について
図面を参照して説明する。電子制御燃料噴射装置を搭載
した内燃機関においては、スロットルポジションセンサ
が装着され、その出力信号が燃料噴射制御等に供されて
いる。このスロットルポジションセンサはスロットルバ
ルブシャフトに連結され、通常、スロットルバルブ開度
（以下、スロットル開度という）に応じて変化するスロ
ットル開度信号と、アイドル域か出力域かによりオンオ
フするアイドル信号が出力される。このスロットルポジ
ションセンサとして、無接触型の回転角度センサが用い
られている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the rotation angle sensor of the present invention is applied to a throttle position sensor of an internal combustion engine will be described below with reference to the drawings. In an internal combustion engine equipped with an electronically controlled fuel injection device, a throttle position sensor is mounted and its output signal is used for fuel injection control and the like. This throttle position sensor is connected to the throttle valve shaft and normally outputs a throttle opening signal that changes according to the throttle valve opening (hereinafter referred to as throttle opening) and an idle signal that turns on and off depending on whether it is in the idle range or the output range. To be done. A contactless rotation angle sensor is used as the throttle position sensor.
【００１０】図１は本発明の一実施例に係るスロットル
ポジションセンサ１を示すもので、図示しないスロット
ルボデーに装着され、シャフト２が図示しないスロット
ルシャフトに連動して回動するように支持されている。
即ち、スロットルポジションセンサ１は隣接する二つの
凹部３ａ，３ｂを有する合成樹脂製のハウジング３を備
え、これらの凹部３ａ，３ｂ間の隔壁３ｃに、軸受４を
介してシャフト２が回動自在に支持されている。尚、軸
受４はハウジング３と一体的に形成されて所定位置に固
定されており、凹部３ａ内の軸受４回りにはカラー２４
が配設されている。FIG. 1 shows a throttle position sensor 1 according to an embodiment of the present invention. The throttle position sensor 1 is mounted on a throttle body (not shown), and a shaft 2 is supported so as to rotate in conjunction with a throttle shaft (not shown). There is.
That is, the throttle position sensor 1 includes a housing 3 made of synthetic resin having two adjacent recesses 3a and 3b, and a shaft 2 is rotatably mounted on a partition wall 3c between the recesses 3a and 3b via a bearing 4. It is supported. The bearing 4 is integrally formed with the housing 3 and fixed at a predetermined position, and a collar 24 is provided around the bearing 4 in the recess 3a.
Is provided.
【００１１】シャフト２の一端にはハウジング３の一方
の凹部３ａ内に収容されたレバー５が固着されており、
レバー５は図示しないスロットルシャフトに連結されて
いる。ハウジング３とレバー５との間にはリターンスプ
リング６が介装されており、レバー５が所定の初期位置
方向に付勢されている。従って、図示しないスロットル
バルブの開作動に伴い、スロットルシャフトに連動する
レバー５がリターンスプリング６の付勢力に抗して駆動
され、シャフト２が回動するように構成されている。シ
ャフト２の他端には本発明にいう磁石部材たるロータマ
グネット２０が装着されている。尚、このロータマグネ
ット２０の取付構造については後述する。A lever 5 housed in one recess 3a of the housing 3 is fixed to one end of the shaft 2.
The lever 5 is connected to a throttle shaft (not shown). A return spring 6 is interposed between the housing 3 and the lever 5, and the lever 5 is biased toward a predetermined initial position. Therefore, with the opening operation of the throttle valve (not shown), the lever 5 interlocking with the throttle shaft is driven against the urging force of the return spring 6, and the shaft 2 is rotated. A rotor magnet 20, which is a magnet member according to the present invention, is attached to the other end of the shaft 2. The mounting structure of the rotor magnet 20 will be described later.
【００１２】また、ハウジング３の他方の凹部３ｂ内に
おいて、ロータマグネット２０に対向する位置に、磁気
センサ１０が配設されている。磁気センサ１０は、矩形
の素子基板１１を有し、その一方の面（図１の下方側の
面）に帯状のＮｉ−Ｃｏ合金等の薄膜強磁性合金から成
る強磁性磁気抵抗素子１２（以下、単に磁気抵抗素子１
２という）が付着されている。この磁気抵抗素子１２
は、その抵抗値変化率が、所定の磁束密度、例えば１０
ｍＴで飽和する性質を有する。尚、素子基板１１の形状
は矩形に限らず、どのような形状であってもよい。A magnetic sensor 10 is arranged in the other recess 3b of the housing 3 at a position facing the rotor magnet 20. The magnetic sensor 10 has a rectangular element substrate 11, and has a ferromagnetic magnetoresistive element 12 (hereinafter referred to as a ferromagnetic magnetoresistive element 12 made of a thin film ferromagnetic alloy such as a strip Ni—Co alloy on one surface (lower surface in FIG. 1) thereof. , Magnetoresistive element 1
2) is attached. This magnetoresistive element 12
Has a rate of change in resistance value of a predetermined magnetic flux density, for example, 10
It has the property of being saturated at mT. The shape of the element substrate 11 is not limited to a rectangle, and may be any shape.
【００１３】磁気抵抗素子１２は高抵抗化を図るため帯
状の薄膜強磁性合金が折曲され、例えば図４に示すよう
なパターン形状に形成されている。磁気抵抗素子１２の
パターンは長手方向が水平な素子を中心とするブロック
と長手方向が垂直な素子を中心とするブロックとが交互
に接続され、四つのブロックが構成されている。そし
て、各ブロック間の接続点には端子１２ａ乃至１２ｄが
形成されている。端子１２ａ，１２ｂは所謂電流端子
で、端子１２ａは電源に接続され、端子１２ｂは接地さ
れている。端子１２ｃ，１２ｄは所謂電圧端子であり、
これらから検出信号が出力される。更に、素子基板１１
の他方の面（図１の上方側の面）には図１に示すバイア
スマグネット１３が接着剤によって所定位置に固定され
ている。The magnetoresistive element 12 is formed by bending a strip-shaped thin film ferromagnetic alloy in order to increase the resistance, and is formed in a pattern shape as shown in FIG. 4, for example. The pattern of the magnetoresistive element 12 has four blocks configured by alternately connecting blocks centering on horizontal elements in the longitudinal direction and blocks centering on vertical elements in the longitudinal direction. Then, terminals 12a to 12d are formed at connection points between the blocks. The terminals 12a and 12b are so-called current terminals, the terminal 12a is connected to a power source, and the terminal 12b is grounded. The terminals 12c and 12d are so-called voltage terminals,
Detection signals are output from these. Furthermore, the element substrate 11
The bias magnet 13 shown in FIG. 1 is fixed to a predetermined position on the other surface (the surface on the upper side in FIG. 1) by an adhesive.
【００１４】上記のように構成された磁気センサ１０
は、図１に示すようにハイブリッドＩＣ基板３０（以
下、単にＩＣ基板３０という）に実装され、その端部に
は複数のターミナル７が接続されている。ターミナル７
はハウジング３内に埋設されており、側方に延出してハ
ウジング３と一体にコネクタ８が形成されている。ＩＣ
基板３０はハウジング３の凹部３ｂ内に収容され、この
凹部３ｂはゴム製のシール部材１９を介して合成樹脂製
のカバー９により密閉されている。そして、磁気センサ
１０はＩＣ基板３０の一方の面に付着されるが、更にＩ
Ｃ基板３０全体を合成樹脂によりモールドすることとし
てもよい。而して、磁気抵抗素子１２にはロータマグネ
ット２０とバイアスマグネット１３の両マグネットの合
成磁界が印加されるところとなる。尚、ＩＣ基板３０に
は磁気センサ１０の出力信号を処理する検出回路素子等
が実装されているが、周知であるので説明は省略する。The magnetic sensor 10 constructed as described above.
1 is mounted on a hybrid IC substrate 30 (hereinafter, simply referred to as IC substrate 30) as shown in FIG. 1, and a plurality of terminals 7 are connected to the ends thereof. Terminal 7
Is embedded in the housing 3 and extends laterally to form a connector 8 integrally with the housing 3. IC
The substrate 30 is housed in the recess 3b of the housing 3, and the recess 3b is sealed by a synthetic resin cover 9 via a rubber seal member 19. The magnetic sensor 10 is attached to one surface of the IC substrate 30.
The entire C substrate 30 may be molded with synthetic resin. Thus, the combined magnetic field of the rotor magnet 20 and the bias magnet 13 is applied to the magnetoresistive element 12. Although a detection circuit element for processing the output signal of the magnetic sensor 10 and the like are mounted on the IC substrate 30, the description thereof is omitted because it is well known.
【００１５】上記ロータマグネット２０はシャフト２に
対し以下に説明するように装着され、シャフト２と一体
となって回転するように構成されている。即ち、シャフ
ト２の先端部には軸方向に凹部２ａが形成されており、
シャフト２の他方の端部にレバー５等が組付けられた
後、軸受４内に挿入され、レバー５がカラー２４に当接
した状態で支持される。シャフト２がこのように支持さ
れた状態で、凹部２ａに圧縮スプリング２１が収容さ
れ、その上にロータマグネット２０が収容される。ま
た、環状の皿ばね２３がシャフト２回りに嵌合され軸受
４に着座する。そして、ロータマグネット２０の頂部に
嫌気性の接着剤が塗布された後、有底筒体形状の蓋体２
２がシャフト２に圧入される。これにより、ロータマグ
ネット２０は圧縮スプリング２１によって蓋体２２の底
面に押圧された状態となり、蓋体２２に強固に接着され
る。The rotor magnet 20 is attached to the shaft 2 as described below, and is configured to rotate integrally with the shaft 2. That is, a recess 2a is formed in the axial direction at the tip of the shaft 2,
After the lever 5 and the like are attached to the other end of the shaft 2, the lever 5 is inserted into the bearing 4, and the lever 5 is supported while being in contact with the collar 24. With the shaft 2 thus supported, the compression spring 21 is housed in the recess 2a, and the rotor magnet 20 is housed thereon. An annular disc spring 23 is fitted around the shaft 2 and seated on the bearing 4. Then, after the anaerobic adhesive is applied to the top of the rotor magnet 20, the lid 2 having a bottomed cylindrical shape is applied.
2 is pressed into the shaft 2. As a result, the rotor magnet 20 is pressed against the bottom surface of the lid 22 by the compression spring 21, and is firmly adhered to the lid 22.
【００１６】この場合において、ハウジング３に固着さ
れた軸受４回りにはカラー２４が装着され、蓋体２２と
軸受４との間には皿ばね２３が介装されているので、蓋
体２２の圧入によりシャフト２は、レバー５及びカラー
２４を介して、ハウジング３に対する軸方向の移動が規
制されると共に、皿ばね２３によって、軸受４ひいては
ハウジング３に対し、これから離隔する方向（図１の上
方）に付勢された状態となる。In this case, the collar 24 is mounted around the bearing 4 fixed to the housing 3, and the disc spring 23 is interposed between the lid 22 and the bearing 4, so that the lid 22 is fixed. The press-fitting restricts the shaft 2 from moving in the axial direction with respect to the housing 3 via the lever 5 and the collar 24, and the disc spring 23 separates the shaft 2 from the bearing 4 and thus the housing 3 (upward in FIG. 1). ) Will be in a state of being biased.
【００１７】而して、ＩＣ基板３０を例えば所定厚さの
シム板（図示せず）を介して、蓋体２２の頂面が支持面
３ｄと同一面となるまで、即ちＩＣ基板３０がハウジン
グ３の支持面３ｄに当接するまで押圧し、蓋体２２をシ
ャフト２に圧入することにより、蓋体２２の頂面とＩＣ
基板３０の下面との間隙が上記シム板の所定厚さと等し
い値となる位置で蓋体２２がシャフト２に固定される。
このとき、例えば軸受２等の寸法にばらつきがあっても
圧縮スプリング２１によって吸収されるので、蓋体２２
とＩＣ基板３０との間隙、ひいてはロータマグネット２
０と磁気抵抗素子１２との間隙は所定の値に保持され
る。Thus, the IC substrate 30 is placed, for example, through a shim plate (not shown) having a predetermined thickness until the top surface of the lid 22 is flush with the support surface 3d, that is, the IC substrate 30 is a housing. 3 is pressed until it comes into contact with the support surface 3d of the cover 3, and the cover 22 is press-fitted onto the shaft 2 so that the top surface of the cover 22 and the IC
The lid 22 is fixed to the shaft 2 at the position where the gap between the lower surface of the substrate 30 and the predetermined thickness of the shim plate is equal to the predetermined value.
At this time, for example, even if there are variations in the dimensions of the bearing 2 and the like, they are absorbed by the compression spring 21.
And the gap between the IC substrate 30 and the rotor magnet 2
The gap between 0 and the magnetoresistive element 12 is maintained at a predetermined value.
【００１８】このように、本実施例によれば特別な治具
を必要とすることなく、蓋体２２をＩＣ基板３０に対し
所定の間隙を以て対峙するように配設することができ
る。尚、蓋体２２はシャフト２に対し圧入ではなく螺着
によって固定することとしてもよい。また、圧縮スプリ
ング２１を設けることなく、予め接着剤によってロータ
マグネット２０を蓋体２２の底部に接着しておくことと
してもよい。As described above, according to this embodiment, the lid 22 can be arranged so as to face the IC substrate 30 with a predetermined gap without requiring a special jig. The lid 22 may be fixed to the shaft 2 by screwing instead of press fitting. Further, the rotor magnet 20 may be previously bonded to the bottom portion of the lid body 22 with an adhesive without providing the compression spring 21.
【００１９】以上の構成になる本実施例のスロットルポ
ジションセンサ１において、図示しないスロットルバル
ブに連動して図１に示すレバー５が駆動されシャフト２
が軸受４内で回動する。このシャフト２の回動に伴いロ
ータマグネット２０による磁界も回転し、磁気抵抗素子
１２に対してこれを含む平行磁束の磁界の方向が変化す
る。即ち、ロータマグネット２０の磁界とバイアスマグ
ネット１３のバイアス磁界との合成磁界の方向が変化す
る。In the throttle position sensor 1 of the present embodiment having the above-mentioned structure, the lever 5 shown in FIG.
Rotate in the bearing 4. As the shaft 2 rotates, the magnetic field generated by the rotor magnet 20 also rotates, and the direction of the magnetic field of the parallel magnetic flux including the magnetic field changes with respect to the magnetoresistive element 12. That is, the direction of the combined magnetic field of the magnetic field of the rotor magnet 20 and the bias magnetic field of the bias magnet 13 changes.
【００２０】而して、異方性磁気抵抗効果により磁気抵
抗素子１２の四つのブロックの抵抗値Ｒ１乃至Ｒ４が変
化し、磁気センサ１０からシャフト２の回転に応じた信
号が出力され、シャフト２の回転角に対する磁気センサ
１０の出力特性は、広範囲のリニアリティを有する特性
となる。特に本実施例によれば、蓋体２２のシャフト２
に対する固定位置が、ロータマグネット２０と磁気抵抗
素子１２との間の所定の間隙に応じて調整されるので、
ロータマグネット２０の磁気抵抗素子１２に対する相対
位置変化に起因する誤差は小さく抑えられ、所期の出力
特性が得られる。Thus, the resistance values R1 to R4 of the four blocks of the magnetoresistive element 12 change due to the anisotropic magnetoresistive effect, and the magnetic sensor 10 outputs a signal corresponding to the rotation of the shaft 2 to cause the shaft 2 to rotate. The output characteristic of the magnetic sensor 10 with respect to the rotation angle of is a characteristic having a wide range of linearity. Particularly according to this embodiment, the shaft 2 of the lid 22 is
Since the fixed position with respect to is adjusted according to a predetermined gap between the rotor magnet 20 and the magnetoresistive element 12,
The error due to the relative position change of the rotor magnet 20 with respect to the magnetoresistive element 12 is suppressed to a small level, and the desired output characteristic is obtained.
【００２１】[0021]
【発明の効果】本発明は上述のように構成されているの
で以下に記載の効果を奏する。即ち、本発明の回転角度
センサにおいては、磁石部材が蓋体に密着され、磁石部
材と強磁性磁気抵抗素子との間の所定の間隙に応じて蓋
体がシャフトに固定されるように構成されているので、
磁石部材の強磁性磁気抵抗素子に対する相対位置精度は
良好なものとなる。而して、磁石部材の装着位置の変動
による出力特性の変化を防止することができ、安定した
出力特性が得られる。Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects. That is, in the rotation angle sensor of the present invention, the magnet member is closely attached to the lid body, and the lid body is fixed to the shaft in accordance with the predetermined gap between the magnet member and the ferromagnetic magnetoresistive element. Because
The relative position accuracy of the magnet member with respect to the ferromagnetic magnetoresistive element becomes good. Therefore, it is possible to prevent the change of the output characteristic due to the change of the mounting position of the magnet member, and to obtain the stable output characteristic.
【図１】本発明の回転角度センサの一実施例に係るスロ
ットルポジションセンサの縦断面図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a throttle position sensor according to an embodiment of a rotation angle sensor of the present invention.
【図２】本発明の一実施例に用いられる蓋体の平面図で
ある。FIG. 2 is a plan view of a lid used in an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施例におけるシャフト先端部の拡
大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a shaft tip portion according to an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の一実施例における素子基板に実装され
た強磁性磁気抵抗素子の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a ferromagnetic magnetoresistive element mounted on an element substrate according to an example of the present invention.
２ シャフト １０ 磁気センサ（検出素子） １１ 素子基板（基板） １２ 強磁性磁気抵抗素子 １３ バイアスマグネット ２０ ロータマグネット（磁石部材） ２１ 圧縮スプリング ２２ 蓋体 ２３ 皿ばね ３０ ハイブリットＩＣ基板 2 shaft 10 magnetic sensor (detection element) 11 element substrate (board) 12 ferromagnetic magnetoresistive element 13 bias magnet 20 rotor magnet (magnet member) 21 compression spring 22 lid 23 disc spring 30 hybrid IC substrate
Claims (1)
した検出素子と、該検出素子に対して相対的に回転する
シャフトと、該シャフトの端部に対し軸方向に移動可能
に装着し所定位置で前記シャフトに固定する蓋体と、該
蓋体と前記シャフトの端面との間に収容し前記蓋体に密
着させ、少くとも前記強磁性磁気抵抗素子を含む磁界を
形成する磁石部材とを備え、該磁石部材と前記強磁性磁
気抵抗素子との間の所定の間隙に応じて前記蓋体を前記
シャフトに固定するようにしたことを特徴とする回転角
度センサ。1. A detection element having a ferromagnetic magnetoresistive element attached to a plate surface of a substrate, a shaft rotating relative to the detection element, and an end portion of the shaft movably mounted in an axial direction. Then, a lid member fixed to the shaft at a predetermined position, and a magnet member housed between the lid member and the end surface of the shaft and closely attached to the lid member to form a magnetic field including at least the ferromagnetic magnetoresistive element. A rotation angle sensor comprising: and the lid body fixed to the shaft according to a predetermined gap between the magnet member and the ferromagnetic magnetoresistive element.
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