JPH06117561A - Piezoelectric element driven fluid control valve - Google Patents
Piezoelectric element driven fluid control valveInfo
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- JPH06117561A JPH06117561A JP4265796A JP26579692A JPH06117561A JP H06117561 A JPH06117561 A JP H06117561A JP 4265796 A JP4265796 A JP 4265796A JP 26579692 A JP26579692 A JP 26579692A JP H06117561 A JPH06117561 A JP H06117561A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子を駆動源とす
る流体制御弁に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid control valve having a piezoelectric element as a driving source.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、圧電素子を駆動源とする流体制御
弁として、例えば、特公平３−４６７０４号公報に記載
のものが知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a fluid control valve using a piezoelectric element as a driving source, for example, one disclosed in Japanese Patent Publication No. 3-46704 is known.
【０００３】この従来の流体制御弁は、弁体と圧電素子
との間に、圧電素子側の大径収容室と、この大径収容室
より小径の弁体側の小径収容室とが連通状態で設けら
れ、該両収容室内に圧力伝達用流体を充填すると共に、
弁体を開弁方向に付勢する復帰用スプリングを設けたも
ので、密閉された大小両収容室の断面差に基づく倍率
で、圧電素子の変位量を圧力伝達用流体を介して増幅し
て弁体に伝達し、これにより、大きな弁体の変位を確保
できるようにしたものであった。In this conventional fluid control valve, a large-diameter storage chamber on the piezoelectric element side and a small-diameter storage chamber on the valve body side having a smaller diameter than the large-diameter storage chamber communicate with each other between the valve body and the piezoelectric element. A pressure transmitting fluid is provided in both of the storage chambers,
A return spring that urges the valve element in the valve opening direction is provided, and the displacement amount of the piezoelectric element is amplified via the pressure transmitting fluid at a magnification based on the cross-sectional difference between the sealed large and small storage chambers. This is transmitted to the valve body, and thereby a large displacement of the valve body can be secured.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の圧電素子駆動流体制御弁にあっては、大小両
収容室内に圧力伝達用流体が密封状態で充填された構造
であったため、以下に述べるような問題点があった。However, in such a conventional piezoelectric element drive fluid control valve, since the pressure transmitting fluid is sealed in the large and small storage chambers, the following will be described. There were some problems to mention.
【０００５】即ち、温度変化により圧力伝達用流体の体
積が変動するため、収容室の体積が変動して弁体の作動
が安定しなくなる。That is, since the volume of the pressure transmitting fluid fluctuates due to the temperature change, the volume of the accommodating chamber fluctuates and the operation of the valve element becomes unstable.
【０００６】また、キャビテーションによって発生した
エア等が圧力伝達用流体中に混入すると、圧力伝達用流
体の加圧時に混入エアが圧縮されるため、弁体の変位量
が低減されることになる。Further, when air or the like generated by cavitation mixes into the pressure transmitting fluid, the mixed air is compressed when the pressure transmitting fluid is pressurized, so that the amount of displacement of the valve element is reduced.
【０００７】本発明は、上述の従来の問題点に着目して
成されたもので、温度変化による弁体の変動を防止し、
圧力伝達用流体へのエアの混入による弁体の変位量低減
を抑制できる圧電素子駆動流体制御弁を提供することを
目的としている。The present invention has been made by paying attention to the above-mentioned conventional problems, and prevents fluctuation of the valve body due to temperature change,
An object of the present invention is to provide a piezoelectric element drive fluid control valve that can suppress a reduction in the amount of displacement of the valve body due to the inclusion of air in the pressure transmitting fluid.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の圧電素子駆動流体制御弁では、流体導入
口と流体排出口との間に設けられた弁口のシート面に対
し、付勢部材により流体導入口側から当接して閉弁する
方向に付勢された弁体と、その摺動により付勢部材の付
勢力に抗して弁体を開放する小径ピストンと、該小径ピ
ストンとの間に圧力伝達用流体を充填した圧縮室を形成
して摺動自在に設けられた大径ピストンと、該大径ピス
トンを押圧摺動させる圧電素子と、前記圧縮室と流体導
入口が設けられた一次側弁室との間を一次側弁室から圧
縮室方向への流通のみを許容するチェック弁を介して連
通するチェック流路と、前記チェック弁をバイパスし、
一次側弁室と圧縮室との間をオリフィスを介して連通す
るバイパス流路とを備えた手段とした。In order to achieve the above-mentioned object, in the piezoelectric element drive fluid control valve of the present invention, the seat surface of the valve port provided between the fluid inlet and the fluid outlet is provided. A valve element that is urged by the urging member from the fluid introduction port side to be urged in a direction of closing the valve, and a small-diameter piston that slides to open the valve element against the urging force of the urging member; A large-diameter piston that is slidably provided by forming a compression chamber filled with a fluid for pressure transmission between the small-diameter piston, a piezoelectric element that presses and slides the large-diameter piston, and the compression chamber and fluid introduction A check flow path communicating with a primary side valve chamber provided with a port through a check valve that allows only flow from the primary side valve chamber to the compression chamber direction, and bypasses the check valve,
The means provided with the bypass flow path which connects between the primary side valve chamber and the compression chamber via the orifice.
【０００９】[0009]
【作用】本発明の圧電素子駆動流体制御弁では、圧電素
子体に電圧を印加すると、その圧電効果で圧電素子が軸
方向に伸長して大径ピストンを押圧摺動させる。そし
て、この大径ピストンの変位は圧力伝達用流体を介して
増幅された形で小径ピストンを変位させるもので、この
小径ピストンの大きな変位により弁体を押圧して弁口を
開放し、これにより、流体導入口側から導入された制御
流体を流体排出口側に流出させることができる。In the piezoelectric element drive fluid control valve of the present invention, when a voltage is applied to the piezoelectric element body, the piezoelectric element causes the piezoelectric element to expand in the axial direction and press and slide the large diameter piston. The displacement of the large-diameter piston displaces the small-diameter piston in an amplified form via the pressure transmitting fluid, and the large displacement of the small-diameter piston presses the valve body to open the valve opening. The control fluid introduced from the fluid inlet side can be discharged to the fluid outlet side.
【００１０】また、圧電素子に電圧を印加する前の状態
においては、圧縮室と一次側弁室との間がチェック流路
及びバイパス流路で連通されていて、同圧状態となって
いる。従って、圧縮室内が制御流体の制御圧力で加圧さ
れていて、圧力伝達用流体内に混入したエアが予め圧縮
された状態となっているため、大径ピストンの変位によ
る加圧の際のエアの圧縮量が少なく押えられ、これによ
り、圧力伝達用流体へのエアの混入による弁体の変位量
低減を抑制することができる。Further, in the state before the voltage is applied to the piezoelectric element, the compression chamber and the primary side valve chamber are connected by the check flow passage and the bypass flow passage, and are in the same pressure state. Therefore, the compression chamber is pressurized by the control pressure of the control fluid, and the air mixed in the pressure transmitting fluid has been compressed in advance. Is suppressed with a small amount of compression, so that it is possible to suppress a reduction in the amount of displacement of the valve element due to the inclusion of air in the pressure transmitting fluid.
【００１１】また、圧力伝達用流体の体積変化分は、チ
ェック流路またはバイパス流路を介して弁室側に吸収さ
れるため、温度変化による弁体の変動を防止することが
できる。Further, since the volume change amount of the pressure transmitting fluid is absorbed by the valve chamber side through the check flow passage or the bypass flow passage, it is possible to prevent the change of the valve body due to the temperature change.
【００１２】尚、前記チェック流路には圧縮室から弁室
方向への流通を阻止するチェック弁が介装され、また、
バイパス流路にはオリフィスが介装されてその流路が絞
られているため、圧電素子駆動による大径ピストンの急
激な変位に対しては小径ピストンへの変位伝達を確保す
ることができると共に、大径ピストンのリターン方向へ
の変位に対しては、チェック弁が開放されるので、その
急速なリターン変位を可能とする。A check valve for preventing the flow from the compression chamber to the valve chamber is interposed in the check flow path, and
Since an orifice is provided in the bypass flow passage and the flow passage is narrowed, it is possible to ensure displacement transmission to the small diameter piston against a sudden displacement of the large diameter piston due to the piezoelectric element drive. With respect to the displacement of the large-diameter piston in the return direction, the check valve is opened, which enables the rapid return displacement.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面により詳述す
る。まず、実施例の構成について説明する。図１は本発
明実施例の圧電素子駆動流体制御弁を示す断面図であっ
て、同図中１は制御弁本体である。この制御弁本体１
は、その下部側に流体導入口１ａと流体排出口１ｂとが
連通した一次側弁室１ｃが形成されていて、該一次側弁
室１ｃ内には、弁座２と、該弁座２のシート面２ａに流
体導入口側１ａから当接してその弁口２ｂを開閉する弁
体３が設けられている。そして、前記流体導入口１ａに
は、制御流体が導入される。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. First, the configuration of the embodiment will be described. FIG. 1 is a sectional view showing a piezoelectric element drive fluid control valve of an embodiment of the present invention, in which 1 is a control valve body. This control valve body 1
Has a primary side valve chamber 1c in which a fluid introduction port 1a and a fluid discharge port 1b communicate with each other, and a valve seat 2 and a valve seat 2 are formed in the primary side valve chamber 1c. A valve body 3 is provided which contacts the seat surface 2a from the fluid introduction port side 1a and opens and closes the valve port 2b. Then, the control fluid is introduced into the fluid introduction port 1a.
【００１４】前記弁体３は、該弁体３と流体導入口１ａ
が形成されたプラグ４と弁体３との間に圧縮状態で介装
されたスプリング３ａにより、シート面２ａに当接する
方向に付勢されている。The valve element 3 includes the valve element 3 and the fluid inlet 1a.
A spring 3a, which is interposed in a compressed state between the plug 4 and the valve body 3 in which is formed, is urged in the direction of abutting the seat surface 2a.
【００１５】制御弁本体１内の上方側には、大径ピスト
ン５と小径ピストン６がそれぞれ上下摺動自在に設けら
れていて、両ピストン５，６の対向端面間には、油等の
圧力伝達用流体が充填された圧縮室７が形成され、該圧
縮室７内には、両ピストン５，６間を広げる方向に付勢
する間隔保持スプリング８と、大径ピストン５を上方へ
押し戻す方向に付勢するリターンスプリング９とが設け
られている。A large-diameter piston 5 and a small-diameter piston 6 are provided on the upper side in the control valve body 1 so as to be vertically slidable, and a pressure of oil or the like is applied between the opposed end surfaces of the pistons 5 and 6. A compression chamber 7 filled with a transmission fluid is formed, and in the compression chamber 7, a space holding spring 8 that urges the pistons 5 and 6 in a direction to widen them and a direction in which the large-diameter piston 5 is pushed back upward. And a return spring 9 for urging.
【００１６】前記小径ピストン６の下部には、その下端
が弁体３に当接する小径ロッド部６ａが一体に形成され
ていて、小径ピストン６が下方へ摺動することで、弁体
３を下方へ押圧して弁口２ｂが開放されるようになって
いる。At the lower part of the small-diameter piston 6, a small-diameter rod portion 6a whose lower end abuts on the valve body 3 is integrally formed, and the small-diameter piston 6 slides downward to move the valve body 3 downward. The valve port 2b is opened by pressing the button.
【００１７】制御弁本体１内の上方側には、該制御弁本
体１の上端部に装着されたカバー１１と前記大径ピスト
ン５との間に挟持状態で圧電素子１０が収容されてい
て、この圧電素子１０の下端面には、リターンスプリン
グ９の反発力により、大径ピストン５の上端面が常時当
接された状態となっている。A piezoelectric element 10 is housed on the upper side in the control valve body 1 in a sandwiched state between a cover 11 mounted on the upper end of the control valve body 1 and the large-diameter piston 5. The upper end surface of the large-diameter piston 5 is always in contact with the lower end surface of the piezoelectric element 10 by the repulsive force of the return spring 9.
【００１８】この圧電素子１０は、所要枚数積層された
セラミック材料からなる圧電素子体１０ａで構成されて
いて、各圧電素子体１０ａにリード線１０ｂ，１０ｂを
介して電圧を印加することにより、その圧電効果で軸方
向に伸長するもので、この伸長により、大径ピストン５
を下方へ押圧して摺動させることができる。The piezoelectric element 10 is composed of a piezoelectric element body 10a made of a ceramic material laminated in a required number, and a voltage is applied to each piezoelectric element body 10a through lead wires 10b and 10b to cause the piezoelectric element body 10a to move. It expands in the axial direction due to the piezoelectric effect.
Can be pushed downward to slide.
【００１９】前記大径ピストン５の下端部には小径部５
ａが形成されていて、該小径部５ａと大径ピストン５の
摺動部との間には、小径部５ａの軸方向長さより肉厚の
厚いＯリング１６が装着されている。A small-diameter portion 5 is provided at the lower end of the large-diameter piston 5.
A is formed, and an O-ring 16 having a thickness larger than the axial length of the small diameter portion 5a is mounted between the small diameter portion 5a and the sliding portion of the large diameter piston 5.
【００２０】制御弁本体１には、チェック弁装着穴１ｄ
が形成されていて、この装着穴１ｄは、連通孔１２ａ，
１２ｂによって圧縮室７と一次側弁室１ｃにそれぞれ連
通されている。そして、このチェック弁装着穴１ｄ内に
は、チェックボディ１３が装着されている。The control valve body 1 has a check valve mounting hole 1d.
Is formed, and the mounting hole 1d is provided with a communication hole 12a,
The compression chamber 7 and the primary valve chamber 1c are communicated with each other by 12b. The check body 13 is mounted in the check valve mounting hole 1d.
【００２１】このチェックボディ１３には、弁口１４ａ
と該弁口１４ａのシート面１４ｂに当接するチェック弁
体１４ｃとで構成されるチェック弁１４と、該チェック
弁１４を介して両連通孔１２ａ，１２ｂ間を接続して一
次側弁室１ｃから圧縮室７方向への流通のみを許容する
チェック流路Ａと、チェック弁１４をバイパスし、オリ
フィス１５を介して両連通孔１２ａ，１２ｂ間を連通す
るバイパス流路Ｂとが設けられている。The check body 13 has a valve opening 14a.
And a check valve body 14c that abuts against the seat surface 14b of the valve opening 14a, and the communication holes 12a and 12b are connected via the check valve 14 to connect the primary valve chamber 1c A check flow passage A that allows only the flow in the direction of the compression chamber 7 and a bypass flow passage B that bypasses the check valve 14 and communicates between the communication holes 12a and 12b via the orifice 15 are provided.
【００２２】次に、実施例の作用を説明する。 （イ）圧電素子の電圧不印加時 圧電素子１０に電圧が印加されていない状態では、図面
に示すように、圧電素子１０は収縮状態にあって、大径
ピストン５は、リターンスプリング９の反発力で、上方
に押圧摺動された状態となっていて、小径ピストン６
は、スプリング３ａの反発力で弁体３と共に上方へ押圧
摺動されていて、弁口２ｂが弁体３で閉じられた状態と
なっている。Next, the operation of the embodiment will be described. (B) When no voltage is applied to the piezoelectric element In a state where no voltage is applied to the piezoelectric element 10, the piezoelectric element 10 is in a contracted state and the large-diameter piston 5 repels the return spring 9 as shown in the drawing. The small-diameter piston 6 is pushed and slid upward by force.
Is pressed and slid upward together with the valve body 3 by the repulsive force of the spring 3a, and the valve opening 2b is closed by the valve body 3.
【００２３】そして、この状態では、圧縮室７と一次側
弁室１ｃとは、チェック流路Ａ及びバイパス流路Ｂで連
通されて同圧状態となっていて、圧縮室７内が一次側弁
室１ｃに導入された制御流体の制御圧力によって予め加
圧された状態となっているため、キャビテーションによ
り発生したエアが圧縮室７内に混入している場合には、
このエアが予め圧縮された状態となっている。In this state, the compression chamber 7 and the primary valve chamber 1c are in communication with each other through the check flow passage A and the bypass flow passage B and are in the same pressure state, and the inside of the compression chamber 7 is the primary valve. Since the air has been previously pressurized by the control pressure of the control fluid introduced into the chamber 1c, when air generated by cavitation is mixed in the compression chamber 7,
This air has been previously compressed.
【００２４】（ロ）圧電素子の電圧印加時 圧電素子１０に電圧を印加すると、その圧電効果で各圧
電素子体１０ａが軸方向に伸長し、この伸長により、大
径ピストン５をリターンスプリング９の反発力に抗して
下方へ押圧摺動させる。(B) When a voltage is applied to the piezoelectric element When a voltage is applied to the piezoelectric element 10, the piezoelectric effect causes each piezoelectric element body 10a to expand in the axial direction, and this expansion causes the large-diameter piston 5 to move to the return spring 9. Pushes and slides downward against the repulsive force.
【００２５】この大径ピストン５の下方への摺動は、圧
縮室７内に充填された圧力伝達用流体を介することによ
り大径ピストン５の小径部５ａと小径ピストン６との断
面比に相当する倍率で増幅され、小径ピストン６を下方
へ押圧摺動させるもので、この小径ピストン６の摺動に
より、その下端の小径ロッド部６ａで弁体３を下方へ押
圧して弁口２ｂを開放し、これにより、流体導入口１ａ
から一次側弁室１ｃ内に導入された制御流体を流体排出
口１ｂ方向に流出させることができる。The downward sliding of the large-diameter piston 5 corresponds to the cross-sectional ratio between the small-diameter portion 5a of the large-diameter piston 5 and the small-diameter piston 6 through the pressure transmitting fluid filled in the compression chamber 7. The small-diameter piston 6 is pushed and slid downward, and the sliding of the small-diameter piston 6 pushes the valve body 3 downward by the small-diameter rod portion 6a at its lower end to open the valve opening 2b. As a result, the fluid inlet 1a
Therefore, the control fluid introduced into the primary valve chamber 1c can be discharged toward the fluid discharge port 1b.
【００２６】そして、以上のように、流体排出口１ｂ方
向に制御流体が流出することで、一次側弁室１ｃ内の流
体圧力が低下すると、この一次側弁室１ｃと圧縮室７と
の間に圧力差が生じるため、加圧された圧縮室７内の流
体がオリフィス１５を経由して徐々に一次側弁室１ｃ方
向に流出し、これに伴って、小径ピストン６がスプリン
グ３の反発力で弁体３と共に徐々に上昇し、弁口２ｂが
再び閉じられた状態となる。As described above, when the control fluid flows out toward the fluid discharge port 1b, and the fluid pressure in the primary valve chamber 1c decreases, the pressure between the primary valve chamber 1c and the compression chamber 7 decreases. Since a pressure difference occurs between the two, the pressurized fluid in the compression chamber 7 gradually flows out in the direction of the primary valve chamber 1c via the orifice 15, and accordingly, the small-diameter piston 6 causes the repulsive force of the spring 3 to rebound. Then, the valve body 3 gradually rises, and the valve opening 2b is closed again.
【００２７】以上のように、弁口２ｂが閉じられると一
次側弁室１ｃ内の流体圧力が上昇して、圧縮室７との間
に圧力差が生じるため、この差圧でチェック弁１４が開
弁され、一次側弁室１ｃ側の制御流体が再び圧縮室７側
に供給される。As described above, when the valve port 2b is closed, the fluid pressure in the primary side valve chamber 1c rises and a pressure difference is generated between the pressure chamber and the compression chamber 7. Therefore, the pressure difference causes the check valve 14 to operate. The valve is opened, and the control fluid on the primary valve chamber 1c side is supplied to the compression chamber 7 side again.
【００２８】（ハ）圧電素子の印加電圧解除時 圧電素子１０に対して印加されていた電圧を解除する
と、各圧電素子体１０ａが軸方向に収縮するため、リタ
ーンスプリング９の反発力で大径ピストン５を上方へ押
圧する。この時、圧縮室７の圧力が低下して一次側弁室
１ｃとの間に圧力差が生じるため、この差圧でチェック
弁１４が開弁され、一次側弁室１ｃ側の流体が圧縮室７
側に供給されるもので、これにより、大径ピストン５が
圧電素子１０の収縮に伴って上昇する。そして、電圧解
除の際、弁体３が小径ピストン６で下方へ押圧されてい
て、弁口２ｂが開放された状態である時は、大径ピスト
ン５の上昇により圧縮室７が負圧状態となることで、そ
の吸引力とスプリング３ａの反発力で弁体３と共に小径
ピストン６が上方へ押し戻され、これにより、弁口２ｂ
が再び閉じられた状態、即ち、図１の状態となる。(C) When the applied voltage to the piezoelectric element is released When the voltage applied to the piezoelectric element 10 is released, each piezoelectric element body 10a contracts in the axial direction, and the repulsive force of the return spring 9 causes a large diameter. Push the piston 5 upwards. At this time, the pressure in the compression chamber 7 is reduced and a pressure difference is generated between the compression chamber 7 and the primary side valve chamber 1c. Therefore, the check valve 14 is opened by this pressure difference, and the fluid on the primary side valve chamber 1c side is compressed. 7
The large-diameter piston 5 rises as the piezoelectric element 10 contracts. When the valve body 3 is pressed downward by the small-diameter piston 6 when the voltage is released and the valve opening 2b is opened, the large-diameter piston 5 rises to bring the compression chamber 7 into a negative pressure state. As a result, the small-diameter piston 6 is pushed back upward together with the valve body 3 due to the suction force and the repulsive force of the spring 3a.
Is closed again, that is, the state shown in FIG.
【００２９】以上説明したように、この実施例の圧電素
子駆動流体制御弁では、圧電素子１０の伸長による大径
ピストン５の変位を、圧力伝達用流体を介して増幅して
小径ピストン６に伝達する際に、圧縮室７内が制御流体
の制御圧力で加圧されていて、圧力伝達用流体内に混入
したエアが予め圧縮された状態となっているため、大径
ピストン５の変位による加圧の際のエアの圧縮量が少な
く押えられ、これにより、圧力伝達用流体へのエアの混
入による弁体の変位量低減を抑制できるようになるとい
う特徴を有している。As described above, in the piezoelectric element drive fluid control valve of this embodiment, the displacement of the large-diameter piston 5 due to the expansion of the piezoelectric element 10 is amplified via the pressure transmitting fluid and transmitted to the small-diameter piston 6. At this time, since the inside of the compression chamber 7 is pressurized by the control pressure of the control fluid and the air mixed in the pressure transmitting fluid is in a previously compressed state, it is applied by the displacement of the large-diameter piston 5. It has a feature that the compressed amount of air at the time of pressure is suppressed to a small amount, which makes it possible to suppress the reduction of the displacement amount of the valve body due to the mixing of air into the pressure transmitting fluid.
【００３０】また、圧力伝達用流体の体積変化分は、バ
イパス流路Ｂまたはチェック流路Ａを経由して一次側弁
室１ｃ側に吸収されるため、温度変化による弁体３の変
動を防止することができるようになるという特徴を有し
ている。Further, since the volume change amount of the pressure transmitting fluid is absorbed by the primary side valve chamber 1c side via the bypass flow passage B or the check flow passage A, the variation of the valve body 3 due to the temperature change is prevented. It has the feature that it can be done.
【００３１】尚、前記チェック流路Ａには圧縮室７から
一次側弁室１ｃ方向への流通を阻止するチェック弁１４
が介装され、また、バイパス流路Ｂにはオリフィス１５
が介装されてその流路が絞られているため、圧電素子１
０の駆動による大径ピストン５の急激な変位に対しては
小径ピストン６への変位伝達を確保することができる。A check valve 14 for preventing the flow from the compression chamber 7 to the primary valve chamber 1c in the check flow passage A is provided.
And an orifice 15 in the bypass flow passage B.
Is interposed and the flow path is narrowed, the piezoelectric element 1
Displacement transmission to the small diameter piston 6 can be ensured against sudden displacement of the large diameter piston 5 due to driving of 0.
【００３２】また、オリフィス１５と並列にチェック弁
１４を有するため、大径ピストン５の急速なリターンが
可能であり、このため、圧電素子１０を高速で駆動させ
ることができるという特徴を有している。Further, since the check valve 14 is provided in parallel with the orifice 15, the large-diameter piston 5 can be rapidly returned. Therefore, the piezoelectric element 10 can be driven at high speed. There is.
【００３３】以上、本発明の実施例を図面により詳述し
てきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるもので
はなく本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があ
っても本発明に含まれる。Although the embodiment of the present invention has been described in detail above with reference to the drawings, the specific structure is not limited to this embodiment, and the present invention is applicable even if there are design changes and the like within the scope not departing from the gist of the present invention. Included in the invention.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の圧電
素子駆動流体制御弁にあっては、圧縮室と流体導入口が
設けられた一次側弁室との間を一次側弁室から圧縮室方
向への流通のみを許容するチェック弁を介して連通する
チェック流路と、前記チェック弁をバイパスし、一次側
弁室と圧縮室との間をオリフィスを介して連通するバイ
パス流路とを備えた手段としたことで、圧縮室側の体積
変化を一次側弁室側に吸収させることができ、これによ
り、温度変化による弁体の変動を防止することができる
と共に、圧縮室内が制御流体で予め加圧されるめ、圧力
伝達用流体へのエアの混入による弁体の変位量低減を抑
制することができるようになるという効果が得られる。As described above, in the piezoelectric element drive fluid control valve of the present invention, the space between the compression chamber and the primary side valve chamber provided with the fluid introduction port is compressed from the primary side valve chamber. A check flow passage communicating with a check valve that allows only flow in the chamber direction, and a bypass flow passage that bypasses the check valve and communicates between the primary valve chamber and the compression chamber via an orifice. With the means provided, the volume change on the compression chamber side can be absorbed by the primary side valve chamber side, which can prevent the valve body from fluctuating due to the temperature change, and the compression chamber inside the control fluid Since the pressure is applied in advance in advance, it is possible to obtain an effect that it is possible to suppress the reduction in the displacement amount of the valve element due to the mixing of air into the pressure transmitting fluid.
【図１】本発明実施例の圧電素子駆動流体制御弁を示す
断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a piezoelectric element drive fluid control valve according to an embodiment of the present invention.
１ａ 流体導入口 １ｂ 流体排出口 １ｃ 一次側弁室 ２ａ シート面 ２ｂ 弁口 ３ 弁体 ３ａ スプリング（付勢部材） ５ 大径ピストン ６ 小径ピストン ７ 圧縮室 １０ 圧電素子 １４ チェック弁 １５ オリフィス Ａ チェック流路 Ｂ バイパス流路 1a fluid inlet port 1b fluid outlet port 1c primary valve chamber 2a seat surface 2b valve port 3 valve body 3a spring (biasing member) 5 large diameter piston 6 small diameter piston 7 compression chamber 10 piezoelectric element 14 check valve 15 orifice A check flow Road B Bypass flow path
Claims (1)
れた弁口のシート面に対し、付勢部材により流体導入口
側から当接して閉弁する方向に付勢された弁体と、 その摺動により付勢部材の付勢力に抗して弁体を開放す
る小径ピストンと、 該小径ピストンとの間に圧力伝達用流体を充填した圧縮
室を形成して摺動自在に設けられた大径ピストンと、 該大径ピストンを押圧摺動させる圧電素子と、 前記圧縮室と流体導入口が設けられた一次側弁室との間
を一次側弁室から圧縮室方向への流通のみを許容するチ
ェック弁を介して連通するチェック流路と、 前記チェック弁をバイパスし、一次側弁室と圧縮室との
間をオリフィスを介して連通するバイパス流路と、を備
えたことを特徴とする圧電素子駆動流体制御弁。1. A valve body urged in a direction of closing by contacting a seat surface of a valve opening provided between a fluid inlet and a fluid outlet with a biasing member from the fluid inlet side. And a small diameter piston that opens the valve body against the urging force of the urging member by the sliding, and a compression chamber filled with a fluid for pressure transmission is formed between the small diameter piston and slidably provided. A large-diameter piston, a piezoelectric element that presses and slides the large-diameter piston, and a flow in the direction from the primary-side valve chamber to the compression chamber between the compression chamber and the primary-side valve chamber provided with a fluid inlet. A check passage that communicates via a check valve that allows only the above, and a bypass passage that bypasses the check valve and communicates between the primary valve chamber and the compression chamber via an orifice. Characteristic Piezoelectric element drive fluid control valve.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265796A JPH06117561A (en) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | Piezoelectric element driven fluid control valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265796A JPH06117561A (en) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | Piezoelectric element driven fluid control valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117561A true JPH06117561A (en) | 1994-04-26 |
Family
ID=17422161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4265796A Pending JPH06117561A (en) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | Piezoelectric element driven fluid control valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06117561A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009287620A (en) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Ihi Aerospace Engineering Co Ltd | Valve unit |
| JP4662606B2 (en) * | 1999-05-18 | 2011-03-30 | キャタピラー インコーポレイテッド | Piezoelectric valve and fluid flow control method |
| CN102979941A (en) * | 2012-12-13 | 2013-03-20 | 浙江师范大学 | High-capacity piezoelectric stack valve provided with sensor |
-
1992
- 1992-10-05 JP JP4265796A patent/JPH06117561A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4662606B2 (en) * | 1999-05-18 | 2011-03-30 | キャタピラー インコーポレイテッド | Piezoelectric valve and fluid flow control method |
| JP2009287620A (en) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Ihi Aerospace Engineering Co Ltd | Valve unit |
| CN102979941A (en) * | 2012-12-13 | 2013-03-20 | 浙江师范大学 | High-capacity piezoelectric stack valve provided with sensor |
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