JPH06114759A - Reciprocating linear driving device - Google Patents
Reciprocating linear driving deviceInfo
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- JPH06114759A JPH06114759A JP26113892A JP26113892A JPH06114759A JP H06114759 A JPH06114759 A JP H06114759A JP 26113892 A JP26113892 A JP 26113892A JP 26113892 A JP26113892 A JP 26113892A JP H06114759 A JPH06114759 A JP H06114759A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は自動組立機械等の重要な
構成要素の一つである搬送系の往復往復直線駆動装置に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reciprocating reciprocating linear drive device for a transfer system, which is one of the important components of an automatic assembly machine or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の自動組立機械等に用いられる重要
な構成である往復往復直線駆動装置が種々実用化されて
いるが、かかる往復直線駆動装置においてエアコンプレ
ッサーに接続されるエアシリンダーから駆動力を得る往
復直線駆動装置が一般的に使用されている。このような
往復直線駆動装置によれば、移動体をモジュール本体に
設けられたレールにより案内し、エアシリンダー内に空
気を適宜供給・排出することで、移動体を直線移動さ
せ、モジュール本体側に設けられたストッパーに対して
移動体を当接させて停止するものである。2. Description of the Related Art Various reciprocating reciprocating linear drive devices, which are important structures used in conventional automatic assembly machines and the like, have been put into practical use. In such reciprocating linear drive devices, driving force is applied from an air cylinder connected to an air compressor. A reciprocating linear drive device is generally used. According to such a reciprocating linear drive device, the moving body is guided by the rails provided in the module main body, and the air is appropriately supplied / exhausted into the air cylinder to linearly move the moving body to the module main body side. The moving body is brought into contact with the stopper provided to stop the moving body.
【０００３】以上の構成において、移動体はストッパー
両端の始端と終端の間を所謂、往復直線運動するように
している。In the above structure, the moving body is so-called reciprocating linear motion between the start end and the end of both ends of the stopper.
【０００４】一方、ワークなどが載置される基盤の作業
表面に対して平行に移動する移動体を設けたＹモジュー
ル本体と、基盤上に設けられる一対の取付けスタンドと
は所定高さ位置において固定締結されている。また、基
盤表面に対して略直交する方向に移動する移動体を設け
たＺモジュール本体を、上述のＹモジュール本体の移動
体に対して固設して設ける構成により、基盤の作業表面
上の所定位置にワークのピックとプレースを行う構成が
多く実用化されている。On the other hand, the Y module body provided with a moving body that moves in parallel to the work surface of the base on which the work is placed, and the pair of mounting stands provided on the base are fixed at a predetermined height position. It has been concluded. Further, the Z module main body provided with the moving body that moves in a direction substantially orthogonal to the base surface is fixedly provided to the moving body of the Y module main body described above, so that a predetermined work surface of the base is provided. Many configurations for picking and placing a work at a position have been put into practical use.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来構成例においては、移動体が始端と終端との２位置
間を往復移動されるだけの単純な動作のために、次のよ
うな欠点がある。However, in the above-mentioned conventional configuration example, since the moving body is simply moved back and forth between the two positions of the start end and the end, the following drawbacks occur. is there.
【０００６】（１）例えば、基盤作業表面の上下方向に
移動する移動体に従来の装置を使用した場合には、ワー
クのピックとプレース位置高さを夫々同一に設定しなけ
ればならない。すなわち、高さが異なればワークの把
持、吸引、プレースができなくなる。(1) For example, when a conventional device is used as a moving body that moves in the vertical direction of the work surface of the base, the pick of the work and the height of the place must be set to be the same. That is, if the heights are different, the work cannot be gripped, sucked, and placed.
【０００７】（２）例えば、基盤作業表面に対する平行
方向に従来の移動体を駆動するようにした場合には、ワ
ークのピックとプレース位置がそれぞれ１カ所のみに限
定されてしまう。(2) For example, when the conventional moving body is driven in the direction parallel to the work surface of the base, the pick and place positions of the work are limited to one position each.
【０００８】（３）従来の装置ではワークのピックとプ
レース位置が移動体の始端、終端の２位置にのみ限定さ
れており、往復工程距離が固定されていた。(3) In the conventional apparatus, the pick and place positions of the work are limited to the two positions of the start end and the end of the moving body, and the reciprocating process distance is fixed.
【０００９】（４）また、従来の装置では移動体の走行
方向に沿う位置精度出しの際に、Ｙモジュール本体と基
盤上に設けられる一対の取付けスタンドとは所定高さ位
置において固定締結されている関係から、位置精度出し
が困難であった。(4) Further, in the conventional device, the Y module main body and the pair of mounting stands provided on the base are fixedly fastened at a predetermined height position when the positional accuracy of the moving body along the traveling direction is obtained. However, it was difficult to obtain the positional accuracy.
【００１０】（５）そして、配線、配管などの実装面に
おいても、従来の装置では配線、配管等が装置周辺に露
出しており、外観と操作上から支障を来す欠点があっ
た。(5) Also in terms of the mounting surface of the wiring, piping, etc., the conventional apparatus has a drawback that the wiring, piping, etc. are exposed in the vicinity of the apparatus, which impairs the appearance and operation.
【００１１】したがって、本発明の往復直線駆動装置は
上述の各問題点に鑑みてなされたものであり、その目的
とするところは、ワークの作業位置高さを夫々同一に設
定する必要がなく、また、ワークの作業位置が１か所に
制限されず、かつ往復工程距離が固定されない柔軟性を
具備する往復直線駆動装置を提供することにある。Therefore, the reciprocating linear drive device of the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and the purpose thereof is that it is not necessary to set the work position heights of the workpieces to be the same. Another object of the present invention is to provide a reciprocating linear drive device which has flexibility such that the work position of the work is not limited to one and the reciprocating process distance is not fixed.
【００１２】また、基盤上に設けられる一対の取付けス
タンドに対して所定高さ位置において固定締結されてい
るモジュール本体の位置精度出しを容易にする往復直線
駆動装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a reciprocating linear drive device that facilitates the positional accuracy of the module main body fixedly fastened at a predetermined height position to a pair of mounting stands provided on the base.
【００１３】また、モジュール本体の移動体に設けられ
ている別モジュール本体の位置精度出しを容易にする往
復直線駆動装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a reciprocating linear drive device which facilitates the positional accuracy of another module body provided on the moving body of the module body.
【００１４】そして、配線、配管などの実装の際に、外
観と操作上から支障がない往復直線駆動装置を提供する
ことにある。It is another object of the present invention to provide a reciprocating linear drive device that does not interfere with the appearance and operation when mounting wiring, piping and the like.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し、目
的を達成するために、本発明の往復直線駆動装置は、以
下の構成を備える。即ち、アクチエータの駆動力を得て
往復直線駆動される移動部を備え、かつ適宜交換自在に
される往復直線駆動モジュールを具備してなる往復直線
駆動装置であって、往復直線駆動の移動距離を可変にす
る移動距離切換手段を具備している。In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, a reciprocating linear drive system of the present invention has the following constitution. That is, a reciprocating linear drive device is provided that includes a reciprocating linear drive module that is reciprocally linearly driven by obtaining a driving force of an actuator, and that includes a reciprocating linear drive module that is appropriately replaceable. It is provided with a moving distance switching means for making it variable.
【００１６】また、好ましくは、移動距離切換手段を、
往復直線駆動モジュールの所定部位に締結される基部
と、基部に設けられる駆動部と、駆動部に連結される切
換部材と、切換部材に固定されてなり前記移動部に対し
て当接してアクチエータからの駆動力に抗して停止させ
る夫々異なる全長を有した複数の停止部材とから構成し
ている。Preferably, the moving distance switching means is
A base portion that is fastened to a predetermined portion of the reciprocating linear drive module, a drive portion that is provided on the base portion, a switching member that is connected to the drive portion, and a contact member that is fixed to the switching member and comes into contact with the moving portion from an actuator. And a plurality of stop members each having a different total length for stopping against the driving force.
【００１７】また、好ましくは、移動体を往復直線駆動
の移動途中で停止させ、停止位置を新たな始点、終点と
するために、距離切換手段を、往復直線駆動モジュール
の途中部位に締結される基部と、基部に設けられる駆動
部と、駆動部に連結される切換部材と、切換部材に固定
されてなり移動部に対して当接して、アクチエータから
の駆動力に抗して停止させる停止部材とから構成してい
る。Further, preferably, the distance switching means is fastened to a midway portion of the reciprocating linear drive module so that the moving body is stopped during the reciprocating linear drive and the stop position is set to a new start point and a new end point. A base portion, a drive portion provided on the base portion, a switching member connected to the drive portion, and a stop member fixed to the switching member, abutting against the moving portion, and stopping against the driving force from the actuator. It consists of and.
【００１８】また、好ましくは、往復直線駆動モジュー
ルの移動部に対して移動プレートを所定方向に移動可能
に重ね合わせて設け、かつ移動プレートと移動部との相
対位置関係を調整可能にする調整部を設けている。Preferably, the moving plate of the reciprocating linear drive module is superposed on the moving part so as to be movable in a predetermined direction, and the relative positional relationship between the moving plate and the moving part can be adjusted. Is provided.
【００１９】また、好ましくは、作業面を有する基盤上
に少なくとも一対のスタンドを設け、往復直線駆動モジ
ュールを基盤作業面に対して平行に取り付けるために位
置精度出し部材を介して締結している。Further, preferably, at least a pair of stands are provided on a base having a work surface, and the reciprocating linear drive module is fastened via a position accuracy adjusting member for mounting in parallel to the base work surface.
【００２０】また、作業面を有する基盤上に少なくとも
一対分が設けられるスタンドであって、スタンドに配
線、配管類を収納する所定形状のアルミ押出部材から構
成している。In addition, a stand having at least one pair provided on a base having a work surface is composed of an aluminum extruded member having a predetermined shape for accommodating wiring and piping in the stand.
【００２１】[0021]
【作用】上記の構成により、各モジュール内の移動部の
始端と移動終端において、移動部の停止位置が、突出長
さの異なる複数の停止部材を切換用の駆動部（ロータリ
ーアクチュエータ）により動かすことにより、複数位置
に位置できるようにして、移動部に対して当接停止させ
て移動部の移動距離を可変にできるように働く。また、
各モジュール内の移動部の停止位置を、始端と移動終端
だけでなく、その中間位置においても、停止部材の突出
により、突き当てることにより、停止させるように働
く。With the above structure, at the starting end and the moving end of the moving part in each module, the stopping position of the moving part moves a plurality of stop members having different projecting lengths by a switching drive part (rotary actuator). Thus, the movable portion can be positioned at a plurality of positions, and the movable portion can be stopped in contact with the movable portion to change the moving distance of the movable portion. Also,
The stop position of the moving part in each module works not only at the start end and the movement end, but also at the intermediate position thereof by abutting by the protrusion of the stop member to stop the moving part.
【００２２】[0022]
【実施例】以下に本発明の好適な実施例について添付の
各図を参照して、構成別に説明する。 ［全体構成］先ず、図１は本発明の実施例の外観斜視図
であって、本図において、作業対象のワークと制御装置
他を省略して示している。また、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の各矢
印で示される方向に後述の各構成が駆動されるものであ
り、特にＹ、Ｚ方向の各矢印方向に沿う方向に移動する
各モジュールの先頭に同様の符号を付して以降説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below for each structure with reference to the accompanying drawings. [Overall Configuration] First, FIG. 1 is an external perspective view of an embodiment of the present invention, in which a work to be worked, a control device and the like are omitted. Further, each configuration described later is driven in the directions indicated by the arrows in the X, Y, and Z directions, and in particular, at the top of each module that moves in the direction along each arrow in the Y, Z directions, The description will be given below with reference numerals.
【００２３】図１において、作業面を提供する基盤１０
０は矢印のＸＹ方向において規定される平面に対して平
行となる作業面を有しており、この作業面の所定位置に
おいて、図示のように一対のスタンド３を略垂設してい
る。このスタンド３に対してＹスライドモジュール１の
両端部位が締結固定される一方、このＹスライドモジュ
ール１において移動される移動プレート上には、矢印Ｚ
方向に移動するＺスライドモジュール２が搭載固定され
ている。In FIG. 1, a base 10 providing a work surface.
Reference numeral 0 has a work surface that is parallel to a plane defined in the XY directions of the arrows, and at a predetermined position of this work surface, a pair of stands 3 are substantially vertically provided as illustrated. Both ends of the Y slide module 1 are fastened and fixed to the stand 3, while an arrow Z is placed on the moving plate moved in the Y slide module 1.
The Z slide module 2 that moves in the direction is mounted and fixed.
【００２４】そして、このＺスライドモジュール２には
ハンドモジュール５７であって、ワークの把持を行い、
所定位置まで搬送した後にワークを置くための交換モジ
ュールが設けられている。以上の構成を基本構成として
おり、Ｙスライドモジュール１の所定駆動動作とＺスラ
イドモジュール２及びハンドモジュール５７の協働動作
により、ワークのピックとプレースを行うものである
が、以降各モジュールの特徴的な構成部分について述べ
る。 ［Ｙスライドモジュール１の構成］図２はＹスライドモ
ジュール１の正面図であって、移動プレート４に固定さ
れるべきＺスライドモジュール２及びハンドモジュール
５７を取り外した様子を図示するとともに全長を短くし
て表した図である。また図３は図２のＡ−Ａ矢視断面図
である。The Z slide module 2 is a hand module 57 for gripping a work,
An exchange module is provided for placing the work after it is transported to a predetermined position. The above configuration is a basic configuration, and the work is picked and placed by the predetermined drive operation of the Y slide module 1 and the cooperative operation of the Z slide module 2 and the hand module 57. This section describes the constituent parts. [Structure of Y Slide Module 1] FIG. 2 is a front view of the Y slide module 1, showing a state in which the Z slide module 2 and the hand module 57, which are to be fixed to the moving plate 4, are removed and the overall length is shortened. FIG. FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA of FIG.
【００２５】図２、図３において、フレーム５は図３に
おいてハッチングを施して示したような特殊形状にアル
ミ押し出し成形される形状を有しており、サイドプレー
ト６ａ，６ｂを図２に示すようにフレーム５の両端部位
にネジ止め固定している。このフレーム５上にはリニア
ガイドレール８の一対分がネジ止めされており、このリ
ニアガイドレール８によりリニアガイドブロック１０２
を案内するようにしている結果、リニアガイドブロック
１０２を固定している移動プレート４がリニアガイドレ
ール８の長手方向に案内されるように構成されている。2 and 3, the frame 5 has such a shape that aluminum is extruded into a special shape as shown by hatching in FIG. 3, and the side plates 6a and 6b are as shown in FIG. Are fixed to both ends of the frame 5 with screws. A pair of linear guide rails 8 are screwed onto the frame 5, and the linear guide rails 8 are used to fix the linear guide blocks 102.
As a result, the moving plate 4 fixing the linear guide block 102 is guided in the longitudinal direction of the linear guide rail 8.
【００２６】また、リニアガイドレール８で挟まれる空
間にはロッドレスシリンダ１０１が設けられており、不
図示のエアー供給源から送られる供給空気によりロッド
レスシリンダ１０１が動作されて、移動プレート４の往
復駆動を後述のストッパーに対する当接位置まで行わせ
るようにしている。A rodless cylinder 101 is provided in the space sandwiched by the linear guide rails 8, and the rodless cylinder 101 is operated by the supply air sent from an air supply source (not shown), so that the moving plate 4 moves. The reciprocating drive is performed to the contact position with the stopper described later.
【００２７】また、図３において、移動プレート４には
後述のＺスライドモジュール２を取り付ける際の取付面
４ｍが一体形成されている。さらに、図示のように特殊
形状にアルミ押し出し成形される形状のカバー１０３が
フレーム５の上下面に対して夫々ネジ止めされている。In FIG. 3, the moving plate 4 is integrally formed with a mounting surface 4m for mounting a Z slide module 2 described later. Further, as shown in the drawing, a cover 103 having a shape formed by extrusion molding a special shape is screwed to the upper and lower surfaces of the frame 5, respectively.
【００２８】一方、図２と図４の側面図において、移動
プレート４にはショックアブソーバ７ａ、７ｂが対向す
る側面位置に夫々設けられており、上述のサイドプレー
ト６ａまたは６ｂにおいて当接して衝撃吸収するように
している。移動プレート４には、位置検出用のセンサ１
０ａ，１０ｂにより検出されるセンサドグ１１ａ，１１
ｂが移動プレート４の側面に設けられている。On the other hand, in the side views of FIGS. 2 and 4, shock absorbers 7a and 7b are provided on the moving plate 4 at the opposite side positions, respectively, and abut on the side plate 6a or 6b to absorb the shock. I am trying to do it. The moving plate 4 has a sensor 1 for position detection.
Sensor dogs 11a, 11 detected by 0a, 10b
b is provided on the side surface of the moving plate 4.
【００２９】次に、図２において、サイドプレート６
ａ、６ｂには移動プレート４の停止時用のストッパ１２
が設けられており、移動プレート４の両側面の部材４ｋ
に対して当接して停止することで往復工程の始点と終点
を規定している。即ち、図４の側面図において示される
ように、移動プレート４がサイドプレート６ａ側に移動
して停止している状態から、二点鎖線で図示のようにサ
イドプレート６ｂ側に移動して停止する状態において、
各位置検出用のセンサ１０ａ，１０ｂによりセンサドグ
１１ａ，１１ｂが検出されるように構成されている。Next, referring to FIG. 2, the side plate 6
Stoppers 12 for stopping the moving plate 4 are provided at a and 6b.
And members 4k on both sides of the moving plate 4 are provided.
The start point and the end point of the reciprocating process are defined by abutting against and stopping. That is, as shown in the side view of FIG. 4, from the state where the moving plate 4 moves to the side plate 6a side and stops, the moving plate 4 moves to the side plate 6b side and stops as shown by the two-dot chain line. In the state,
The sensor dogs 11a and 11b are detected by the respective position detecting sensors 10a and 10b.
【００３０】以上説明のストッパ１２は、上述のように
１か所の所定停止点のみ停止させるものであるので、こ
れを１点ストッパユニットと呼ぶ。 ［２点切換ストッパユニットの構成］次に、本発明の特
徴的な構成部分である２点切換ストッパユニット５５の
構成について、図５と図６を参照して述べる。先ず、図
５は上述の水平方向のＹスライドモジュール１における
ストローク端での移動プレート４の停止位置を２位置に
なるように任意に切り換えるための２点切換ストッパユ
ニット５５の外観斜視図である。また図６は、同ユニッ
トの立体分解図である。Since the stopper 12 described above stops only one predetermined stop point as described above, this is called a one-point stopper unit. [Structure of Two-Point Switching Stopper Unit] Next, the structure of the two-point switching stopper unit 55, which is a characteristic component of the present invention, will be described with reference to FIGS. 5 and 6. First, FIG. 5 is an external perspective view of a two-point switching stopper unit 55 for arbitrarily switching the stop position of the moving plate 4 at the stroke end in the horizontal Y slide module 1 to the two positions. FIG. 6 is a three-dimensional exploded view of the unit.
【００３１】両図において、２点切換ストッパユニット
５５は、基部５５ａに対して切換用ロータリアクチュエ
ータ３６が固定されるとともに、このアクチュエータ３
６の出力軸に切換部材３７が軸部材３８を介して固定さ
れている。この軸部材３８はキーが埋設されており、切
換部材３７のキー溝に対して係止して回転力を伝達する
一方、基部５５ａに対してベアリング３９ａ，ｂにより
回動自在に支持されている。In both figures, in the two-point switching stopper unit 55, the switching rotary actuator 36 is fixed to the base 55a and the actuator 3
The switching member 37 is fixed to the output shaft of 6 through a shaft member 38. A key is embedded in the shaft member 38, and the shaft member 38 is engaged with the key groove of the switching member 37 to transmit the rotational force, while being rotatably supported by the bearings 39a, b with respect to the base portion 55a. .
【００３２】また、切換部材３７には長ストッパボルト
（長い方）３４と、短ストッパボルト（短い方）３５が
ネジ止めされており、切換用ロータリアクチュエータ３
６を矢印Ａ１、Ａ２方向に適宜回動駆動することによ
り、同軸に固定されている切換部材３７を回転させるも
のである。Further, a long stopper bolt (longer one) 34 and a short stopper bolt (shorter one) 35 are screwed to the switching member 37, and the switching rotary actuator 3
By appropriately driving 6 to rotate in the directions of arrows A1 and A2, the switching member 37 fixed coaxially is rotated.
【００３３】以上の２点切換ストッパユニット５５を上
述の水平方向のＹスライドモジュール１のサイドプレー
ト６ｂに対してネジ止め固定することで、Ｙスライドモ
ジュール１の移動プレート４の突き当たる位置を各ボル
ト３４、３５により変化させることで、停止位置が変え
られるようにしている。また、この２点切換ストッパユ
ニット５５にはカバー１０９が設けられており、外見上
の見栄え向上と危険防止が図られている。 ［中間ストッパユニット５３の構成］次に、図７は中間
ストッパユニット５３の外観斜視図であって、上述のＹ
スライドモジュール１の下面に設けられた様子を示して
おり、図８は同ユニットの立体分解斜視図である。両図
において、この中間ストッパユニット５３は、Ｙスライ
ドモジュール１の移動プレート４を中間位置において停
止させるための機構であって、ストッパボルト４２をロ
ータリアクチュエータ４０により、切換部材４１を介し
て矢印Ｂ１、Ｂ２方向に回転移動させて、移動プレート
４の移動範囲途中にストッパボルト４２を位置させて、
移動プレート４を全ストロークの途中位置においてスト
ッパボルト４に対して突き当てることにより、移動プレ
ート４を所定の中間位置に強制停止させるものである。By fixing the above-mentioned two-point switching stopper unit 55 to the side plate 6b of the Y slide module 1 in the horizontal direction by screwing, the position where the moving plate 4 of the Y slide module 1 abuts is fixed to each bolt 34. , 35 to change the stop position. A cover 109 is provided on the two-point switching stopper unit 55 to improve appearance and prevent danger. [Configuration of Intermediate Stopper Unit 53] Next, FIG. 7 is an external perspective view of the intermediate stopper unit 53.
FIG. 8 shows a state of being provided on the lower surface of the slide module 1, and FIG. 8 is a three-dimensional exploded perspective view of the unit. In both figures, the intermediate stopper unit 53 is a mechanism for stopping the moving plate 4 of the Y slide module 1 at the intermediate position, and the stopper bolt 42 is moved by the rotary actuator 40 via the switching member 41 to the arrow B1, Rotate and move in the B2 direction to position the stopper bolt 42 in the middle of the moving range of the moving plate 4,
The moving plate 4 is forcibly stopped at a predetermined intermediate position by abutting the moving plate 4 against the stopper bolt 4 at an intermediate position of the entire stroke.
【００３４】このために、中間ストッパユニット５３の
基部５５ａに対して切換用ロータリアクチュエータ３６
が固定されるとともに、このアクチュエータ３６の出力
軸に切換部材４１が軸部材４４を介して固定されてい
る。この軸部材４４はキー４５が埋設されており、切換
部材４１のキー溝に対して係止して回転力を伝達する一
方、基部５３ａに対してはベアリング４３より回動自在
に支持されている。 ［各ストッパユニット５３、５４、５５の使用状態の説
明］図９は上述の各ストッパユニット５３、５４、５５
の使用状態の説明のための外観斜視図であって、上述し
た１点ストッパユニットと同様の機能を有する１点スト
ッパユニット５４と、中間ストッパユニット５３と２点
切換ストッパユニット５５の夫々をＹスライドモジュー
ル１のサイドプレートと本体５に対して適宜ネジ止め固
定する様子を示している。本図に示されるように各スト
ッパユニット５３、５４、５５を設けることで、移動プ
レート４の移動ストロークを可変にできるものである。 ［取付けスタンド高さ位置調整部の構成］図１０におい
て、作業面を提供する基盤１００上の所定位置におい
て、図示のように一対のスタンド３を所定間隔分離して
垂設されているが、これらのスタンド３に対してＹスラ
イドモジュール１の両端部位が締結固定される。このよ
うに締結することにより、Ｙスライドモジュール１を基
盤１００の作業面から所定距離離すものである。For this reason, the rotary actuator 36 for switching is attached to the base 55a of the intermediate stopper unit 53.
Is fixed, and the switching member 41 is fixed to the output shaft of the actuator 36 via the shaft member 44. A key 45 is embedded in the shaft member 44, and the key 45 is embedded in the key groove of the switching member 41 to transmit the rotational force, while the base portion 53a is rotatably supported by the bearing 43. . [Explanation of Usage State of Each Stopper Unit 53, 54, 55] FIG. 9 shows the above-mentioned each stopper unit 53, 54, 55.
FIG. 7 is an external perspective view for explaining the usage state of FIG. 1, in which a one-point stopper unit 54 having the same function as the above-mentioned one-point stopper unit, an intermediate stopper unit 53, and a two-point switching stopper unit 55 are Y-slided. It is shown that the side plate of the module 1 and the main body 5 are appropriately screwed and fixed. By providing each stopper unit 53, 54, 55 as shown in this figure, the moving stroke of the moving plate 4 can be made variable. [Structure of Mounting Stand Height Position Adjusting Section] In FIG. 10, a pair of stands 3 are vertically erected at predetermined positions on a base 100 that provides a work surface, separated by predetermined intervals. Both end portions of the Y slide module 1 are fastened and fixed to the stand 3. By fastening in this way, the Y slide module 1 is separated from the work surface of the base 100 by a predetermined distance.
【００３５】このように固定締結する関係から、Ｙスラ
イドモジュール１を基盤１００の作業面に対して平行に
なるように位置精度出しする必要がある。このために、
図１０に示されるように、スライドモジュール取付用プ
レート４８を介してスタンド３に締結することで、矢印
Ｃ１からＣ４方向にＹスライドモジュール１の位置調整
ができるように構成されている。Due to the fixed fastening, it is necessary to position the Y slide module 1 in parallel with the work surface of the base 100. For this,
As shown in FIG. 10, the position of the Y slide module 1 can be adjusted in the directions of arrows C1 to C4 by fastening it to the stand 3 via the slide module mounting plate 48.
【００３６】図１１はスライドモジュール取付用プレー
ト４８を介してスタンド３に取り付ける様子を示した立
体分解図であり、本図において、スライドモジュール取
付用プレート４８はスタンド３に形成されたＴ溝５２の
長手方向に潜入されるとともに、ネジ穴５１ａを２か所
設けた締め板５１を予めネジ１１１を用いて仮り止めし
た後に、Ｔ溝５２にセットしてからネジ締めを行い所定
高さ近辺において仮り締結する。FIG. 11 is a three-dimensional exploded view showing how the slide module mounting plate 48 is mounted on the stand 3, and in this figure, the slide module mounting plate 48 has a T groove 52 formed on the stand 3. After tightening the fastening plate 51 that has been infiltrated in the longitudinal direction and provided with two screw holes 51a with the screws 111 in advance, set it in the T groove 52 and then tighten the screws to temporarily fix it near a predetermined height. To conclude.
【００３７】次に、図１２に示すようにこれらスタンド
３には位置調整用治具４９が固定されており、この治具
４９にネジ止めされているリフタネジ５０を六角レンチ
１１３などを用いて回転させることにより、スライドモ
ジュール取付用プレート４８を上下方向にスライドさせ
る。このようにすることで、取付スタンド３に対するＹ
スライドモジュール１の上下方向の矢印Ｃ方向に取付け
位置を容易に微調整可能にし、装置を組み立てる時の位
置精度出し調整作業を容易にすることを可能にしてい
る。 ［配線、配管収納構成］以上の各モジュールには配線、
配管が設けられるが、これらは移動体の動作範囲から退
避された位置に設けられるが、図１３の外観斜視図に示
すように、上述したアルミ押し出し構造の取付けスタン
ド３には凹部が図示のように形成されており内部に配
線、配管類１１４、１１５を収納している。この収容の
後に、カバー４６を両側の縦溝部３ｅに対してＵ型パッ
キン４７を介して上方からセットして図示の状態にする
ものである。このカバー４６には傾斜部４６ｅと切欠部
４６ａとが形成されており配線、配管類１１４を基盤１
００の作業面に沿うように出るようにして外観上から美
しくまとめている。 ［Ｚスライドモジュール２の構成］次に、図１４、図１
５はＺスライドモジュール２内部の外観斜視図であっ
て、フレーム１３はＹスライドモジュール１の移動プレ
ート４に対して固定される基部をなすものであって、こ
の上にはリニアガイドブロック１４が左右対称位置に夫
々固定されている。一方、移動プレート１７をＺ方向
（上下方向）に駆動するために、移動プレート１７とプ
レート１８の間には一対の支持アームであるアルミ押出
アーム１５が掛け渡されており一体構成されている。Next, as shown in FIG. 12, position adjusting jigs 49 are fixed to these stands 3, and a lifter screw 50 screwed to the jigs 49 is rotated by using a hexagon wrench 113 or the like. By doing so, the slide module mounting plate 48 is slid vertically. By doing this, Y for the mounting stand 3
It is possible to easily finely adjust the mounting position of the slide module 1 in the up and down direction of the arrow C, and to facilitate position accuracy adjustment work when assembling the device. [Wiring, piping storage configuration] Wiring for each module above,
Although the pipes are provided at positions retracted from the operating range of the moving body, as shown in the external perspective view of FIG. 13, the mounting stand 3 of the above-mentioned aluminum extrusion structure has a concave portion as shown. And the wiring and piping 114, 115 are housed inside. After this storage, the cover 46 is set in the vertical groove portions 3e on both sides via the U-shaped packing 47 from above and brought into the illustrated state. The cover 46 is formed with a slanted portion 46e and a cutout portion 46a.
It's beautifully arranged from the outside so that it appears along the work surface of 00. [Structure of Z slide module 2] Next, FIG. 14 and FIG.
5 is an external perspective view of the inside of the Z slide module 2, and the frame 13 serves as a base fixed to the moving plate 4 of the Y slide module 1, and the linear guide block 14 is provided on the left and right thereof. They are fixed in symmetrical positions. On the other hand, in order to drive the movable plate 17 in the Z direction (vertical direction), a pair of support arms, namely, aluminum extrusion arms 15, are suspended between the movable plate 17 and the plate 18 and are integrally configured.
【００３８】また、アルミ押出アーム１５の背後には、
リニアガイドブロック１４により案内されるガイドレー
ル１６が設けられている。プレート１８には下降時緩衝
器１９とストッパ２０が設けられており、フレーム１３
に固定されるストローク端での停止位置を変えるための
切換ストッパボルト２１ａ，２１ｂのいづれか一方に対
してストッパ２０が当接することで停止位置を可変にで
きるようにしている。このために、切換ストッパボルト
２１ａ，２１ｂは切換部材２３に固定されており、この
切換部材２３をジョイント２４を介して切換シリンダー
２２で駆動するように構成されている。Behind the aluminum extrusion arm 15,
A guide rail 16 guided by the linear guide block 14 is provided. The plate 18 is provided with a damp buffer 19 and a stopper 20 for lowering the frame 13
The stop position can be made variable by bringing the stopper 20 into contact with either one of the switching stopper bolts 21a and 21b for changing the stop position at the stroke end which is fixed to. Therefore, the switching stopper bolts 21a and 21b are fixed to the switching member 23, and the switching member 23 is driven by the switching cylinder 22 via the joint 24.
【００３９】次に、上下駆動機構の構成はフレーム１３
に固定される上下用駆動シリンダ２５をジョイント２６
を介して移動プレート１７に固定しており、上下用駆動
シリンダ２５の往復駆動に伴い移動プレート１７が上下
駆動される。Next, the structure of the vertical drive mechanism is the frame 13
The vertical drive cylinder 25 fixed to the
The movable plate 17 is fixed to the moving plate 17 via the.
【００４０】この移動プレート１７には取付面プレート
２７であって図中の二点鎖線で示したハンド類５７を固
定する取付面プレート２７が取り付けられている。A mounting surface plate 27, which is a mounting surface plate 27 for fixing the hands 57 indicated by a chain double-dashed line in the figure, is mounted on the moving plate 17.
【００４１】次に、上記構成において、動作を説明する
と、上下用スタンド駆動シリンダ２５により移動プレー
ト１７はガイドレール１６とリニアガイドブロック１４
に案内されて上下にスライドする。また、図１５から分
かるように、移動プレート１７が下降した最終位置にお
いては、移動プレート下降端の位置を決定するストッパ
２０は切換ストッパボルト左側のボルト２１ｂに突き当
たって停止される。Next, the operation of the above structure will be described. The moving plate 17 is moved by the vertical stand drive cylinder 25 so that the movable plate 17 is guided by the guide rail 16 and linear guide block 14.
Guided by and slide up and down. Further, as can be seen from FIG. 15, at the final position where the moving plate 17 is lowered, the stopper 20 that determines the position of the moving plate lowering end abuts against the bolt 21b on the left side of the switching stopper bolt and is stopped.
【００４２】一方、切換部材２３を切換シリンダ２２に
よって左方向（矢印Ｅ１方向）へスライドさせ、切換ス
トッパボルト右側（突出量の少ない方）のボルト２１ａ
にストッパ２０が突き当たる状態にすると、移動プレー
トの下降端停止位置がより下方に変化させられることに
なる。 ［Ｘ方向微調整機構］移動プレート１７にはＸ方向微調
整機構が設けられて、取付面プレート２７のＸ方向の微
調整ができるように構成されている。図１６、図１７は
該機構の説明のための立体分解図である。両図におい
て、当該機構は移動プレート１７と取付面プレート２７
部品からなる重ね合わせ構造とし、その相対位置関係を
調整可能にして矢印Ｘ方向に調整可能にしている。On the other hand, the switching member 23 is slid to the left (in the direction of arrow E1) by the switching cylinder 22, and the bolt 21a on the right side of the switching stopper bolt (the one with the smaller protrusion amount) is used.
When the stopper 20 abuts against the stopper, the lower end stop position of the moving plate is changed further downward. [X-direction fine adjustment mechanism] The moving plate 17 is provided with an X-direction fine adjustment mechanism so that the mounting surface plate 27 can be finely adjusted in the X direction. 16 and 17 are three-dimensional exploded views for explaining the mechanism. In both figures, the mechanism is represented by a moving plate 17 and a mounting surface plate 27.
The superposition structure is composed of parts, and the relative positional relationship between them can be adjusted to be adjustable in the arrow X direction.
【００４３】即ち、移動プレート１７に取付プレート２
７を重ね合わせ、キー材２８をガイドとして移動プレー
トに設けられた長穴の長手方向長さ分だけ取付けプレー
トを微調整可能にしたものである。That is, the mounting plate 2 is attached to the moving plate 17.
7 are overlapped with each other, and the mounting plate can be finely adjusted by the length of the elongated hole provided in the moving plate in the longitudinal direction using the key material 28 as a guide.
【００４４】次に、図１８は上述のアルミ押出アーム１
５の背後に、リニアガイドブロック１４により案内され
るガイドレール１６を取り付ける様子を示した図であっ
て、ナットプレート３３をガイドレール１６に対してネ
ジ１１１を用いて予め仮締めした後に、アルミ押出アー
ム１５のＴ溝１５ｔ内にセットしてから固定するもので
ある。 ［動作説明］以上説明した各モジュール１、２と各スト
ッパユニットを図１９の動作説明図に基づいて述べる
と、ワークＷＡ、ＷＢ、ＷＣが基盤１００上の作業面に
おいて図示のように予め置かれており、このワークＷを
ハンド５７により把持する場合について述べる。Next, FIG. 18 shows the aluminum extrusion arm 1 described above.
5 is a view showing a state in which the guide rail 16 guided by the linear guide block 14 is attached to the rear of the guide rail 5, and the nut plate 33 is preliminarily fastened to the guide rail 16 with the screw 111 in advance, and then the aluminum extrusion is performed. The arm 15 is set in the T groove 15t and then fixed. [Explanation of Operation] Each of the modules 1 and 2 and each stopper unit described above will be described with reference to the operation explanatory view of FIG. 19. The works WA, WB, and WC are preliminarily placed on the work surface of the base 100 as shown in the drawing. The case of gripping the work W with the hand 57 will be described.
【００４５】ワークＷＡは実線で示されるように全高Ｌ
２を有している。ワークＷＢは破線で図示のように全高
Ｌ２を有している。また、破線で図示されるワークＷＣ
は、左側に位置しており、Ｚスライドモジュール２が図
示の位置に位置している場合には、把持できない。そこ
で、上述した１点ストッパユニットと同様の機能を有す
る１点ストッパユニット５４と、中間ストッパユニット
５３と２点切換ストッパユニット５５の夫々をＹスライ
ドモジュール１のサイドプレートと本体５に対して適宜
ネジ止め固定することにより、ストロークＹ１、Ｙ２、
Ｙ３を適宜得るようにしている。即ち、所定位置にＺス
ライドモジュール２がＹスライドモジュール１の移動プ
レート４が移動されることにより移動可能にして柔軟性
に富むようにしている。The work WA has a total height L as shown by the solid line.
Have two. The work WB has a total height L2 as shown by a broken line. Also, the work WC illustrated by the broken line
Is located on the left side and cannot be gripped when the Z slide module 2 is located at the position shown. Therefore, the one-point stopper unit 54 having the same function as the above-mentioned one-point stopper unit, the intermediate stopper unit 53, and the two-point switching stopper unit 55 are appropriately screwed to the side plate of the Y slide module 1 and the main body 5. Strokes Y1, Y2,
Y3 is properly obtained. That is, the Z slide module 2 is moved to a predetermined position by moving the moving plate 4 of the Y slide module 1 so that the Z slide module 2 is flexible.
【００４６】また、停止位置を変えるための切換ストッ
パボルト２１ａ，２１ｂのいづれか一方に対して、Ｚス
ライドモジュール２のストッパがつき当たるようにし
て、Ｚ１、Ｚ２の任意の距離を選択できるようにしてい
る。Further, the stopper of the Z slide module 2 is brought into contact with either one of the switching stopper bolts 21a and 21b for changing the stop position so that an arbitrary distance between Z1 and Z2 can be selected. There is.
【００４７】なお、以上説明したストローク途中におけ
る移動プレートの中間停止機構については、移動プレー
トを突き当てるストッパボルトの切換及び出し入れを前
述した移動プレート進行方向と直角方向から行う方式で
はなく、進行方向と同じ方向からストッパボルトを出し
入れ（突出させる）する方式でも同じ効果を生み出せる
ものである。また、本発明は、複数の機器から構成され
るシステムに適用しても１つの機器から成る装置に適用
しても良い。また、本発明は、システム或は装置にプロ
グラムを供給することによって達成される場合にも適用
できることはいうまでもない。In the intermediate stop mechanism of the moving plate in the middle of the stroke described above, the stopper bolt for abutting the moving plate is not changed over or moved in or out from the direction perpendicular to the moving plate advancing direction as described above. The same effect can be produced even if the stopper bolts are taken in and out (projected) from the same direction. Further, the present invention may be applied to a system composed of a plurality of devices or an apparatus composed of a single device. Further, it goes without saying that the present invention can be applied to the case where it is achieved by supplying a program to a system or an apparatus.
【００４８】以上説明したように、モジュール内の移動
プレートの移動始端と終端の位置を切換ストッパによっ
て多点設定できる事、及びリニアガイドが複列配置され
ている事、及び、移動プレートの中間停止ができる事、
及び移動プレートが複数部品からなる重ね合わせ構造の
為その相対位置関係が調整可能な事、及びスライドユニ
ツトと取付けスタンドの位置精度出しが容易なこと、及
び配線、配管の収納処理が容易なアルミ押し出し構造を
採用している事等により、自動組立機械等に多く用いら
れる往復直線駆動装置の汎用化、標準化が進み、設計、
製作、組立、調整の各工程における大幅なコストダウン
を達成できる効果がある。As described above, the positions of the moving start end and the moving end of the moving plate in the module can be set at multiple points by the switching stoppers, the linear guides are arranged in multiple rows, and the intermediate stop of the moving plate. That you can
Also, since the moving plate has a superposed structure consisting of multiple parts, its relative positional relationship can be adjusted, and the positional accuracy of the slide unit and the mounting stand can be easily obtained, and the aluminum extrusion that makes it easy to store wiring and piping. Due to the adoption of the structure, etc., general-purpose and standardization of reciprocating linear drive devices, which are often used in automatic assembly machines, etc.
There is an effect that a significant cost reduction can be achieved in each process of manufacturing, assembling and adjusting.
【００４９】[0049]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ワークの
作業位置高さを夫々同一に設定する必要がなく、また、
ワークの作業位置が１か所に制限されず、かつ往復工程
距離が固定されない柔軟性を具備する往復往復直線駆動
装置を提供することができる。また、基盤上に設けられ
る一対の取付けスタンドに対して所定高さ位置において
固定締結されているモジュール本体の位置精度出しを容
易にする往復往復直線駆動装置を提供することができ
る。As described above, according to the present invention, it is not necessary to set the work position heights of works to be the same, and
It is possible to provide a reciprocating reciprocating linear driving device having flexibility in that the work position of the work is not limited to one and the reciprocating process distance is not fixed. Further, it is possible to provide a reciprocating reciprocating linear drive device that facilitates the positional accuracy of the module main body that is fixed and fastened at a predetermined height position with respect to the pair of mounting stands provided on the base.
【００５０】また、モジュール本体の移動体に設けられ
ている別モジュール本体の位置精度出しを容易にする往
復往復直線駆動装置を提供することができる。Further, it is possible to provide a reciprocating reciprocating linear driving device which facilitates the positional accuracy of another module main body provided on the moving body of the module main body.
【００５１】そして、配線、配管などの実装の際に、外
観と操作上から支障がない往復往復直線駆動装置を提供
することができる。Further, it is possible to provide a reciprocating reciprocating linear drive device which has no trouble in appearance and operation when mounting wiring, piping and the like.
【図１】実施例のＹ−Ｚスライドモジュール１、２を備
えた装置の外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of an apparatus including YZ slide modules 1 and 2 according to an embodiment.
【図２】Ｙスライドモジュール１の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a Y slide module 1.
【図３】Ｙスライドモジュール１の矢視断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the Y slide module 1 as seen from the arrow.
【図４】Ｙスライドモジュール１の正面図である。FIG. 4 is a front view of the Y slide module 1.
【図５】２点切換ストッパユニット５５の外観斜視図で
ある。FIG. 5 is an external perspective view of a two-point switching stopper unit 55.
【図６】２点切換ストッパユニット５５の立体分解図で
ある。FIG. 6 is a three-dimensional exploded view of a two-point switching stopper unit 55.
【図７】中間ストッパユニット５３の外観斜視図であ
る。7 is an external perspective view of an intermediate stopper unit 53. FIG.
【図８】中間ストッパユニット５３の立体分解図であ
る。FIG. 8 is a three-dimensional exploded view of the intermediate stopper unit 53.
【図９】ストッパユニット５３、５４、５５の使用状態
の説明のための外観斜視図である。FIG. 9 is an external perspective view for explaining a usage state of stopper units 53, 54, 55.
【図１０】Ｙスライドモジュール１を基盤１００上の取
り付けスタンドに締結する様子の外観斜視図である。10 is an external perspective view showing how the Y slide module 1 is fastened to the mounting stand on the base 100. FIG.
【図１１】モジュール取付用プレート４８を介してスタ
ンド３に取り付ける様子を示した立体分解図である。FIG. 11 is a three-dimensional exploded view showing a state of being mounted on the stand 3 via a module mounting plate 48.
【図１２】各スタンド３に設けられる位置調整用治具４
９の様子を示した外観斜視図である。FIG. 12 is a jig 4 for position adjustment provided on each stand 3.
FIG. 9 is an external perspective view showing a state of No. 9.
【図１３】配線、配管類１１４の収容状態を示した外観
斜視図である。13 is an external perspective view showing a housed state of wiring and piping 114. FIG.
【図１４】Ｚスライドモジュールの外観斜視図である。FIG. 14 is an external perspective view of a Z slide module.
【図１５】Ｚスライドモジュールの外観斜視図であり、
降下状態を示している。FIG. 15 is an external perspective view of a Z slide module,
It shows the descent state.
【図１６】Ｘ方向微調整機構の外観斜視図である。FIG. 16 is an external perspective view of an X-direction fine adjustment mechanism.
【図１７】Ｘ方向微調整機構の外観斜視図である。FIG. 17 is an external perspective view of an X-direction fine adjustment mechanism.
【図１８】Ｚスライドモジュールのレール部の外観斜視
図である。FIG. 18 is an external perspective view of a rail portion of the Z slide module.
【図１９】全体構成の動作説明図である。FIG. 19 is an operation explanatory diagram of the overall configuration.
１ Ｙスライドモジュール、 ２ Ｚスライドモジュール、 ３ スタンド、 ４ 移動体、 ５ フレーム、 ６ａ，６ｂ サイドフレーム、 ７ ショックアブソーバ、 ８ リニアガイドレール、 １０ａ，１０ｂ センサ、 １１ センサドグ、 １２ ストッパ、 １３ フレーム、 １４ リニアガイドブロック、 １５ 支持アーム、 １６ リニアガイドレール、 １７ 移動プレート、 ２１ ストッパボルト、 ２２ 切換シリンダ、 ２３ 切換部材、 ２５ 上下用駆動シリンダ、 ２７ 取付プレート、 ４６ カバー、 ４８ 取付用プレート、 ５３ 一点ストッパユニット、 ５５ ２点切換ストッパユニット、 １００ 基盤である。 1 Y slide module, 2 Z slide module, 3 stand, 4 moving body, 5 frame, 6a, 6b side frame, 7 shock absorber, 8 linear guide rail, 10a, 10b sensor, 11 sensor dog, 12 stopper, 13 frame, 14 Linear guide block, 15 support arm, 16 linear guide rail, 17 moving plate, 21 stopper bolt, 22 switching cylinder, 23 switching member, 25 vertical drive cylinder, 27 mounting plate, 46 cover, 48 mounting plate, 53 single-point stopper Unit, 55 2-point switching stopper unit, 100 board.
Claims (6)
動される移動部を備え、かつ適宜交換自在にされる往復
直線駆動モジュールを具備してなる往復直線駆動装置で
あって、 前記往復直線駆動の移動距離を可変にする移動距離切換
手段を具備することを特徴とする往復直線駆動装置。1. A reciprocating linear drive device comprising a reciprocating linear drive module which is reciprocally linearly driven by an actuating force of an actuator and which is appropriately replaceable. A reciprocating linear drive device comprising a moving distance switching means for varying the moving distance of the.
部と、 該基部に設けられる駆動部と、 該駆動部に連結される切換部材と、 該切換部材に固定されてなり前記移動部に対して当接し
て前記アクチエータからの駆動力に抗して停止させる夫
々異なる全長を有した複数の停止部材と、から構成した
ことを特徴とする請求項１に記載の往復直線駆動装置。2. The moving distance switching means, a base portion fastened to a predetermined portion of the reciprocating linear drive module, a driving portion provided on the base portion, a switching member connected to the driving portion, and the switching member. 2. A plurality of stop members each having a different total length, which are fixed to each other and come into contact with the moving portion to stop against the driving force from the actuator. The reciprocating linear drive device described.
中で停止させ、該停止位置を新たな始点、終点とするた
めに、前記距離切換手段を、 前記往復直線駆動モジュールの途中部位に締結される基
部と、 該基部に設けられる駆動部と、 該駆動部に連結される切換部材と、 該切換部材に固定されてなり前記移動部に対して当接し
て、前記アクチエータからの駆動力に抗して停止させる
停止部材と、 から構成したことを特徴とする請求項１に記載の往復直
線駆動装置。3. The distance switching means is fastened to an intermediate portion of the reciprocating linear drive module in order to stop the moving body during the movement of the reciprocating linear drive and set the stop position as a new start point and a new end point. A base portion, a drive portion provided on the base portion, a switching member connected to the drive portion, and abutting against the moving portion that is fixed to the switching member, and receives a driving force from the actuator. The reciprocating linear drive device according to claim 1, further comprising: a stop member that counteracts the stop.
部に対して移動プレートを所定方向に移動可能に重ね合
わせて設け、かつ該移動プレートと前記移動部との相対
位置関係を調整可能にする調整部を設けることを特徴と
する請求項１に記載の往復直線駆動装置。4. An adjustment for providing a moving plate on the moving part of the reciprocating linear drive module so as to be movable in a predetermined direction, and adjusting a relative positional relationship between the moving plate and the moving part. The reciprocating linear drive device according to claim 1, wherein a portion is provided.
のスタンドを設け、前記往復直線駆動モジュールを前記
基盤作業面に対して平行に取り付けるために位置精度出
し部材を介して締結することを特徴とする請求項１に記
載の往復直線駆動装置。5. A base having a work surface is provided with at least a pair of stands, and the reciprocating linear drive module is fastened to the base work surface via a position accuracy adjusting member in parallel to the work surface. The reciprocating linear drive device according to claim 1.
分が設けられるスタンドであって、該スタンドに配線、
配管類を収納する所定形状のアルミ押出部材から構成す
ることを特徴とする請求項１に記載の往復直線駆動装
置。6. A stand in which at least one pair is provided on a base having a work surface, wiring to the stand,
The reciprocating linear drive device according to claim 1, wherein the reciprocating linear drive device is configured by an aluminum extruded member having a predetermined shape for accommodating pipes.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26113892A JPH06114759A (en) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | Reciprocating linear driving device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26113892A JPH06114759A (en) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | Reciprocating linear driving device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06114759A true JPH06114759A (en) | 1994-04-26 |
Family
ID=17357624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26113892A Pending JPH06114759A (en) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | Reciprocating linear driving device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06114759A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004134765A (en) * | 2002-08-31 | 2004-04-30 | Applied Materials Inc | Substrate carrier handler for directly unloading substrate carrier from moving conveyor |
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1992
- 1992-09-30 JP JP26113892A patent/JPH06114759A/en active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000605 |