JPH0611369A - 層流素子装置 - Google Patents
層流素子装置Info
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- JPH0611369A JPH0611369A JP5061247A JP6124793A JPH0611369A JP H0611369 A JPH0611369 A JP H0611369A JP 5061247 A JP5061247 A JP 5061247A JP 6124793 A JP6124793 A JP 6124793A JP H0611369 A JPH0611369 A JP H0611369A
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- laminar
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- G01F15/12—Cleaning arrangements; Filters
- G01F15/125—Filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
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- G01F5/005—Measuring a proportion of the volume flow by measuring pressure or differential pressure, created by the use of flow constriction
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- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 流体の流動を層流に変換できる層流素子装置
を提供する。 【構成】 流体流、ガス又は液体中及び／又は流体を混
合する実施工程で圧力差又は質量部を測定する装置を提
供する。使用時に流体が装置内に流入し、その一部の流
体流が層流で通過して、流体計測が行なわれ、最後に装
置から流出し、装置は沈降室の背後に一体に形成された
乱流フィルタ１４を備えている。最初に流体は乱流フィ
ルタを通り、層流が流れ測定素子に導かれる。
を提供する。 【構成】 流体流、ガス又は液体中及び／又は流体を混
合する実施工程で圧力差又は質量部を測定する装置を提
供する。使用時に流体が装置内に流入し、その一部の流
体流が層流で通過して、流体計測が行なわれ、最後に装
置から流出し、装置は沈降室の背後に一体に形成された
乱流フィルタ１４を備えている。最初に流体は乱流フィ
ルタを通り、層流が流れ測定素子に導かれる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、組込み乱流フィルタを
有する層流素子装置に関する。
有する層流素子装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】かかる装置は、例えば、欧州特許出願第
８２２０１０５９. １（出願公開：００７５３４３）に
記載されている。流体流動通路内の圧力差と流動部分
は、流体の流れの一部から採られた測定ベースで決定さ
れる。この流れの一部、すなわち測定流は流体の主流か
ら分流された細い管状の測定通路を流れる層流である。
層流は文字通り層状の流れである。層状の流れはレイノ
ルズ数が２３００以下の流速で安定している。レイノル
ズ数Ｒは、流動速度と動粘性との間の関係を示す値であ
り、Ｒ＝ρｖd/μで定義される。ここでρは流体密度、
ｖは流速、ｄは流体が流れる管の直経、μは粘性であ
る。測定流で得られた測定値が確実に主流中に生じる値
を表示するためには両者の流れの特性の間に一定の関係
がなくてはならない。即ち、主流も又層流でなくてはな
らない。後者の層流は、流れの中にいわゆる層流素子を
導入することによつて得られる。流体は層流素子内の通
路を強制的に流動され、該通路の寸法は流れのレイノル
ズ数が２３００以下でかつ層流となるように設定されて
いる。測定用通路は主流に平行に設けられる。流れが層
流である限り、ポアズイユの法則に従って、流れの速度
は圧力降下に比例し、粘性に反比例し、主流と測定流の
流れの比が決定される。
８２２０１０５９. １（出願公開：００７５３４３）に
記載されている。流体流動通路内の圧力差と流動部分
は、流体の流れの一部から採られた測定ベースで決定さ
れる。この流れの一部、すなわち測定流は流体の主流か
ら分流された細い管状の測定通路を流れる層流である。
層流は文字通り層状の流れである。層状の流れはレイノ
ルズ数が２３００以下の流速で安定している。レイノル
ズ数Ｒは、流動速度と動粘性との間の関係を示す値であ
り、Ｒ＝ρｖd/μで定義される。ここでρは流体密度、
ｖは流速、ｄは流体が流れる管の直経、μは粘性であ
る。測定流で得られた測定値が確実に主流中に生じる値
を表示するためには両者の流れの特性の間に一定の関係
がなくてはならない。即ち、主流も又層流でなくてはな
らない。後者の層流は、流れの中にいわゆる層流素子を
導入することによつて得られる。流体は層流素子内の通
路を強制的に流動され、該通路の寸法は流れのレイノル
ズ数が２３００以下でかつ層流となるように設定されて
いる。測定用通路は主流に平行に設けられる。流れが層
流である限り、ポアズイユの法則に従って、流れの速度
は圧力降下に比例し、粘性に反比例し、主流と測定流の
流れの比が決定される。
【０００３】上記特許公報には内部に流入及び流出する
開口部と複数の溝、即ち通路を有する積層板で構成され
る層流素子が詳細に記載されている。
開口部と複数の溝、即ち通路を有する積層板で構成され
る層流素子が詳細に記載されている。
【０００４】この特許公報に記載された装置の場合は、
流入する流れ、即ち層流素子に向かう流れは、通常層流
ではなく、乱流を生ずる。乱流を含む流れが層流素子に
入る場合、流入する流れが既に完全に又は殆ど層流に達
した状態に比べて好ましくない。このことは、毎分測定
される流量において特に著しいことを表わす。すなわ
ち、乱流が存在すると、たとえ流入流が層流の層流素子
を使用しても単位時間毎に測定すべき流体量は少ないも
のとなる。
流入する流れ、即ち層流素子に向かう流れは、通常層流
ではなく、乱流を生ずる。乱流を含む流れが層流素子に
入る場合、流入する流れが既に完全に又は殆ど層流に達
した状態に比べて好ましくない。このことは、毎分測定
される流量において特に著しいことを表わす。すなわ
ち、乱流が存在すると、たとえ流入流が層流の層流素子
を使用しても単位時間毎に測定すべき流体量は少ないも
のとなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この問題を解決すべ
く、例えば、層流素子の上流に前方乱流フィルタを配置
する研究が行なわれた。しかし、殆どこの問題を解決す
るにはいたらなかった。
く、例えば、層流素子の上流に前方乱流フィルタを配置
する研究が行なわれた。しかし、殆どこの問題を解決す
るにはいたらなかった。
【０００６】本発明の装置によって上記問題の解決につ
いて大きな進展が見られる。
いて大きな進展が見られる。
【０００７】本発明は流体の流動を層流に変換できる層
流素子装置を提供することを目的とする。
流素子装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を達成するための手段】本発明による装置は上記
の点で大きな進展をもたらすもので、この目的に対し
て、流入流体は、流体流動が層流になる部分に流入した
後、流入する前に配置された乱流フィルタとその背部に
位置する付属沈降室との少なくとも１つの組合せを通過
することが特徴である。したがって、装置は測定素子と
乱流フィルタを組込部品として含む。乱流フィルタ内で
流動は、多分その大部分が層流になる。フィルタの後方
の沈降室内で、流れは層流状態を継続するから、そのま
ま層流状態で層流素子に達する。注意すべきことは、こ
の組込みフィルタと沈降室は、センサが層流素子の位置
に配置される空間、又はセンサが流動素子と組合せて使
用される空間として利用されることである。
の点で大きな進展をもたらすもので、この目的に対し
て、流入流体は、流体流動が層流になる部分に流入した
後、流入する前に配置された乱流フィルタとその背部に
位置する付属沈降室との少なくとも１つの組合せを通過
することが特徴である。したがって、装置は測定素子と
乱流フィルタを組込部品として含む。乱流フィルタ内で
流動は、多分その大部分が層流になる。フィルタの後方
の沈降室内で、流れは層流状態を継続するから、そのま
ま層流状態で層流素子に達する。注意すべきことは、こ
の組込みフィルタと沈降室は、センサが層流素子の位置
に配置される空間、又はセンサが流動素子と組合せて使
用される空間として利用されることである。
【０００９】本発明の装置の好ましい設計では、層流素
子が層流部分内に配置され、この装置は上面を積み重ね
た小型の少なくとも１組の板部品を含み、各板部品は１
つが流入開口部で他の１つは流出開口部である少なくと
も２つの開口部を備え、この板部品の（第１）部品内に
は１つの開口部から他の開口部に向かって通じる大部分
が平行の溝を備え、これらの板部品は互いに上面が積み
重ねて上記の溝が通路を形成しかつこの溝を通る流体が
層流となり、上記の開口部が流入開口部と流出開口部を
形成するような寸法に形成される。要するに上記欧州特
許出願第８２２０１５９. １号に記載された装置は、乱
流フィルタと流入開口部と層流素子間に設けられた沈降
室との組合せを、流体の流動方向からみて、沈降用開口
部を後方にして（第２）板部品を積重ね、これらの第２
板部品も、第１板部品と同様に、同じ側面上に、大部分
が流入開口部から沈降開口部に通じる平行な溝を形成
し、これらの板部品を積重ねると、流体が殆ど層流にな
ることが特徴である。
子が層流部分内に配置され、この装置は上面を積み重ね
た小型の少なくとも１組の板部品を含み、各板部品は１
つが流入開口部で他の１つは流出開口部である少なくと
も２つの開口部を備え、この板部品の（第１）部品内に
は１つの開口部から他の開口部に向かって通じる大部分
が平行の溝を備え、これらの板部品は互いに上面が積み
重ねて上記の溝が通路を形成しかつこの溝を通る流体が
層流となり、上記の開口部が流入開口部と流出開口部を
形成するような寸法に形成される。要するに上記欧州特
許出願第８２２０１５９. １号に記載された装置は、乱
流フィルタと流入開口部と層流素子間に設けられた沈降
室との組合せを、流体の流動方向からみて、沈降用開口
部を後方にして（第２）板部品を積重ね、これらの第２
板部品も、第１板部品と同様に、同じ側面上に、大部分
が流入開口部から沈降開口部に通じる平行な溝を形成
し、これらの板部品を積重ねると、流体が殆ど層流にな
ることが特徴である。
【００１０】
【作用】したがって、組込乱流フィルタを有する装置の
フィルタは層流測定素子の構造の基礎となる原理と同じ
原理で動作する。
フィルタは層流測定素子の構造の基礎となる原理と同じ
原理で動作する。
【００１１】本発明による装置を使用することによって
得られる改良は、乱流フィルタを組込まない装置に比較
して格段の相違がある。発生する圧力差と流動間の関係
及びセンサの温度差と流動間の関係が線形である区域は
かなり広くなり、この結果、毎分毎に測定される流体の
量もかなり増加する。具体的には１００リットル／分か
ら３００リットル／分に増加する。
得られる改良は、乱流フィルタを組込まない装置に比較
して格段の相違がある。発生する圧力差と流動間の関係
及びセンサの温度差と流動間の関係が線形である区域は
かなり広くなり、この結果、毎分毎に測定される流体の
量もかなり増加する。具体的には１００リットル／分か
ら３００リットル／分に増加する。
【００１２】本発明の原理によって動作する装置は、特
定の使用目的により変わる要求にしたがって種々の設計
と形状にすることができる。例えば、それぞれ乱流フィ
ルタを付属沈降室に直列に接続するか又は同じ沈降室内
に現われる複数のフィルタに接続することによって、よ
り多数のフィルタを組込むことができる。他の配置の例
では、沈降室を流れの方向からみて測定が行なわれる場
所の後方に配置し、具体的には層流計の後方、乱流フィ
ルタの後方に配置して、いわゆる流体の逆流動を防止す
る。
定の使用目的により変わる要求にしたがって種々の設計
と形状にすることができる。例えば、それぞれ乱流フィ
ルタを付属沈降室に直列に接続するか又は同じ沈降室内
に現われる複数のフィルタに接続することによって、よ
り多数のフィルタを組込むことができる。他の配置の例
では、沈降室を流れの方向からみて測定が行なわれる場
所の後方に配置し、具体的には層流計の後方、乱流フィ
ルタの後方に配置して、いわゆる流体の逆流動を防止す
る。
【００１３】実際の試験によれば、厚さ約２００ミクロ
ンメートルのステンレス鋼又はニッケルの小型板約１５
０個を組込んだ装置によって非常に良好な作用が得られ
た。
ンメートルのステンレス鋼又はニッケルの小型板約１５
０個を組込んだ装置によって非常に良好な作用が得られ
た。
【００１４】板部品の溝は種々の方法で形成され、例え
ばエッチング法又は板材料の扁平表面上に電気分解で生
長させる方法で形成できる。これらの溝は一般に等間隔
に形成されるが、他の溝、即ち通路は異なる形状にする
ことも可能である。
ばエッチング法又は板材料の扁平表面上に電気分解で生
長させる方法で形成できる。これらの溝は一般に等間隔
に形成されるが、他の溝、即ち通路は異なる形状にする
ことも可能である。
【００１５】本発明によって流量計と共に組込まれる乱
流フィルタは、上記の溝／通路のほかに、焼結（プラス
チック）材料のごとくの多孔性材料又はセラミック材料
で作ることができる。また織物材料で作ることも可能で
ある。
流フィルタは、上記の溝／通路のほかに、焼結（プラス
チック）材料のごとくの多孔性材料又はセラミック材料
で作ることができる。また織物材料で作ることも可能で
ある。
【００１６】
【実施例】流体流動中の圧力差又は流動部分を測定する
層流素子を図１に略示する。
層流素子を図１に略示する。
【００１７】この図面はどのようにして四枚の板部品、
流動板２と３及び閉鎖板１と４を組込んで層流素子を構
成するかを示す。板部品２と３は共に開口部５Ａ及び５
Ｂそして６Ａ及び６Ｂがそれぞれ設けられる。溝７は一
側面（図面では前面）の両開口部の間を連通するように
形成されている。閉鎖板１と４はそれぞれ１個の開口部
８と９を有する。流動素子は板部品１と４を、予め形成
されている中心孔１０を利用するなどして相互の上面を
連結することによって組込まれる。したがって、この流
動素子は１組の板部品で構成される。閉鎖板１と４はこ
の前面と後面に装着され、これらの板部品には溝は設け
られていない。これらの板部品は相対して閉鎖されるか
ら、流動板２と３の溝７は隣接板によって常に閉鎖さ
れ、流体が流動する通路が形成される。流体は流入開口
部８からこの素子に流入する。流れはこの素子の他端の
後方閉鎖板４に衝突するため、流れは溝／通路７を通し
て流れ始め、流出開口部５Ａと６Ｂから流出し、流れは
最後に流出開口部９を経て素子から流出する。流れがこ
の素子を通る状態を矢印で示し、１１は到来流動、小さ
い矢印１２は素子内の流動方向、１３は流出流動を示
す。
流動板２と３及び閉鎖板１と４を組込んで層流素子を構
成するかを示す。板部品２と３は共に開口部５Ａ及び５
Ｂそして６Ａ及び６Ｂがそれぞれ設けられる。溝７は一
側面（図面では前面）の両開口部の間を連通するように
形成されている。閉鎖板１と４はそれぞれ１個の開口部
８と９を有する。流動素子は板部品１と４を、予め形成
されている中心孔１０を利用するなどして相互の上面を
連結することによって組込まれる。したがって、この流
動素子は１組の板部品で構成される。閉鎖板１と４はこ
の前面と後面に装着され、これらの板部品には溝は設け
られていない。これらの板部品は相対して閉鎖されるか
ら、流動板２と３の溝７は隣接板によって常に閉鎖さ
れ、流体が流動する通路が形成される。流体は流入開口
部８からこの素子に流入する。流れはこの素子の他端の
後方閉鎖板４に衝突するため、流れは溝／通路７を通し
て流れ始め、流出開口部５Ａと６Ｂから流出し、流れは
最後に流出開口部９を経て素子から流出する。流れがこ
の素子を通る状態を矢印で示し、１１は到来流動、小さ
い矢印１２は素子内の流動方向、１３は流出流動を示
す。
【００１８】上記のような層流素子の流動抵抗がどのよ
うに積重板部品の数によって変化するか、即ち抵抗が変
化するかは公知である。
うに積重板部品の数によって変化するか、即ち抵抗が変
化するかは公知である。
【００１９】また上記のような測定素子の原理が素子の
設計に応用されるか、又このような素子の回路網が電気
回路網との類推で使用されるかも公知である。
設計に応用されるか、又このような素子の回路網が電気
回路網との類推で使用されるかも公知である。
【００２０】図２は本発明の測定装置の構造用ブロック
として使用される板部品の設計の一例の正面図を示す。
図１と同様に、この板部品は多数の積重ねと両端の閉鎖
板の使用によって１組に結合される。
として使用される板部品の設計の一例の正面図を示す。
図１と同様に、この板部品は多数の積重ねと両端の閉鎖
板の使用によって１組に結合される。
【００２１】流体は１３を経て測定装置に流入し、次に
乱流フィルタとして作用する板部品の組込みフィルタ１
４の通路を経て沈降室１５に流入する。フィルタ１４は
層流素子として作用するから流体は沈降室から層流とし
て層流素子１６に到達する。流体はここから公知のよう
に流出開口部１７を経て測定装置から外部に流出する。
１８は板部品を結合保持する連結部品である。孔１９は
板部品を積重ね、これを積重ね状態に保持するの使用さ
れる。
乱流フィルタとして作用する板部品の組込みフィルタ１
４の通路を経て沈降室１５に流入する。フィルタ１４は
層流素子として作用するから流体は沈降室から層流とし
て層流素子１６に到達する。流体はここから公知のよう
に流出開口部１７を経て測定装置から外部に流出する。
１８は板部品を結合保持する連結部品である。孔１９は
板部品を積重ね、これを積重ね状態に保持するの使用さ
れる。
【００２２】図３は図２の板部品と直角に測定装置を通
る断面図で、この装置は図２の板部品を積重ねて作ら
れ、同じ参照番号を使用する。
る断面図で、この装置は図２の板部品を積重ねて作ら
れ、同じ参照番号を使用する。
【００２３】流れがこの層流素子を通過した際、最初、
後方に乱流フィルタを有する第２沈降室を通すことが有
利で、これは流動を減衰させて、いわゆる「逆流」を防
止するためである。
後方に乱流フィルタを有する第２沈降室を通すことが有
利で、これは流動を減衰させて、いわゆる「逆流」を防
止するためである。
【００２４】図４に示す装置の設計では、到来流動は乱
流フィルタ２１を経て沈降室２２に達し、ここから層流
として層流素子２３を通って外部に流出する。
流フィルタ２１を経て沈降室２２に達し、ここから層流
として層流素子２３を通って外部に流出する。
【００２５】図５のグラフは、特定のガスに対する測定
すべき圧力差又は流動部分Ｐと、流体流動Ｓとの関係を
示し、これはポアズイュの法則に従う。ＰとＳとの関係
が線形である範囲は層流の議論ができる範囲である。
すべき圧力差又は流動部分Ｐと、流体流動Ｓとの関係を
示し、これはポアズイュの法則に従う。ＰとＳとの関係
が線形である範囲は層流の議論ができる範囲である。
【００２６】Ｐ測定が層流素子を組込んだフィルタなし
に行なわれれば、流体のＰとＳとの間の関係（曲線ｆ１
参照）は流動の大きさＳ１までは線形であり、Ｐの圧力
差又は流動部分もこれにしたがう（ある設計例では流体
が窒素（Ｎ2)のとき、Ｓ１は１００リットル／メートル
であった）。
に行なわれれば、流体のＰとＳとの間の関係（曲線ｆ１
参照）は流動の大きさＳ１までは線形であり、Ｐの圧力
差又は流動部分もこれにしたがう（ある設計例では流体
が窒素（Ｎ2)のとき、Ｓ１は１００リットル／メートル
であった）。
【００２７】本発明の組込みフィルタを使用すると、Ｐ
とＳとの関係は非常に広い範囲、即ちＳ２（図５）（上
記Ｎ2の場合はＳ２＝３００リットル／メートル）まで
線形を維持する。
とＳとの関係は非常に広い範囲、即ちＳ２（図５）（上
記Ｎ2の場合はＳ２＝３００リットル／メートル）まで
線形を維持する。
【００２８】図６は２つの流体ｆ１とｆ２に対するＴ
（温度）とＳとの関係を示す。曲線ｆ１とｆ２はフィル
タを使用しなかった場合を、また曲線ｆ１′とｆ２′は
フィルタを使用した場合を示す。これらは全て本発明に
よるフィルタの使用による、いわゆる換算係数に対する
影響を示す。この換算係数は同じＴに対して異なる流体
に対応する流動部分の関係に関連する。例えば、本発明
の装置を窒素を使用して較正し、アルゴン流動を測定す
れば、特定のＴは窒素に対して１００リットル／分、ア
ルゴンに対しては１５０リットル／分に対応することが
わかり、したがって換算係数は１. ５になる。
（温度）とＳとの関係を示す。曲線ｆ１とｆ２はフィル
タを使用しなかった場合を、また曲線ｆ１′とｆ２′は
フィルタを使用した場合を示す。これらは全て本発明に
よるフィルタの使用による、いわゆる換算係数に対する
影響を示す。この換算係数は同じＴに対して異なる流体
に対応する流動部分の関係に関連する。例えば、本発明
の装置を窒素を使用して較正し、アルゴン流動を測定す
れば、特定のＴは窒素に対して１００リットル／分、ア
ルゴンに対しては１５０リットル／分に対応することが
わかり、したがって換算係数は１. ５になる。
【００２９】本発明の応用の影響は、非常に大きいＴと
Ｐまでの範囲で換算係数が一定であることである。換言
すれば、ＴとＳとの関係を示す２つの曲線は広い範囲に
わたって直線である。
Ｐまでの範囲で換算係数が一定であることである。換言
すれば、ＴとＳとの関係を示す２つの曲線は広い範囲に
わたって直線である。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明では乱流を十分に
層流に変換できる層流素子装置が得られる。
層流に変換できる層流素子装置が得られる。
【図１】公知の層流素子の略示図である。
【図２】本発明による測定装置に対する構成素子として
使用できる板部品の正面図である。
使用できる板部品の正面図である。
【図３】この装置の断面図である。
【図４】本発明による装置の特別の実施例を示す断面図
である。
である。
【図５】公知の装置を本発明の装置と比較してセンサで
測定すべき圧力差又は流動部分と流動との関係を示すグ
ラフである。
測定すべき圧力差又は流動部分と流動との関係を示すグ
ラフである。
【図６】公知の装置と本発明の装置とを比較して温度差
と流動との間の関連を示すグラフである。
と流動との間の関連を示すグラフである。
１，４ 閉鎖板 ２，３ 流動板 ８，９ 開口部 １０ 中心孔 １４ フィルタ １６ 層流素子
Claims (19)
- 【請求項１】 気体又は液体の流体中の圧力差又は流動
部分を測定するため又は流体を混合する過程を実行する
ための装置であって、該装置に流入する流体中に使用す
るとき、その一部が層流となって流出する装置におい
て、流入する流体流は、乱流フイルタと下流側の付属沈
降室の少なくとも一つの組合せ体を貫流し、流れが層流
である部分に入る前にて、上記組合せ体が装置全体を形
成することを特徴とする層流素子装置。 - 【請求項２】 圧力センサ又は流動部分センサは、流体
流動が層流である部分に配置されたこととする請求項１
に記載の層流素子装置。 - 【請求項３】 層流素子は流体流動が層流である部分に
配置され、該層流素子は上面を積み重ねた少なくとも一
組の板部品を含み、この各板部品は流入開口部と流出開
口部からなる少なくとも２つの開口部を備え、これらの
開口部の間には、１つの開口部から他の開口部に通じる
大部分が平行な溝を一側面に有する（第１）板部品が設
けられ、上記溝の間を層流として流体が流動しかつ上記
開口部がそれぞれ入口通路と出口通路を形成する寸法の
通路を形成して上記板部品の上面を積み重ねて配置され
た装置において、乱流フィルタ及び流入開口部と層流素
子との間に設けられた付属沈降室との組合せが、流れの
方向からみて、後方に設けられた沈降開口部を有する
（第２）板部品の積み重ねで形成され、上記両者板部品
は扁平な板部品で構成され、上記第２板部品は第１板部
品と同様に、同じ側面上に流入開口部から沈降開口部に
通じる大部分が平行な溝を備え、上記板部品は、流体が
少なくとも大部分が層流として層流素子に達する寸法の
通路を形成することとする請求項１に記載の層流素子装
置。 - 【請求項４】 流体流動が層流である部分内に層流素子
及び圧力と流動部分センサが設けられたこととする請求
項２又は請求項３に記載の層流素子装置。 - 【請求項５】 付属沈降室に１個以上の乱流フィルタを
含むこととする請求項１ないし請求項４のいずれか１つ
に記載の層流素子装置。 - 【請求項６】 板部品は厚さが約２００ミクロンメート
ルで、板部品の数は約１５０であることとする請求項１
ないし請求項５のいずれか１つに記載の層流素子装置。 - 【請求項７】 板部品がステンレス鋼で作られたことと
する請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記載の層
流素子装置。 - 【請求項８】 板部品がニッケルで作られたこととする
請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載の層流素
子装置。 - 【請求項９】 板部品の溝がエッチング加工で作られた
こととする請求項１ないし請求項８のいずれか１つに記
載の層流素子装置。 - 【請求項１０】 板部品の溝が滑らかな表面上に板材料
を電気分解で成長させることによって形成されたことと
する請求項１ないし請求項９のいずれか１つに記載の層
流素子装置。 - 【請求項１１】 流れの方向からみて、乱流フィルタも
また、流体流動が層流の部分の後方に配置され、前方に
沈降室を有することとする請求項１ないし請求項１０の
いずれか１つに記載の層流素子装置。 - 【請求項１２】 流れの方向からみて、乱流フィルタと
沈降室との１つ又は２つ以上の組合せが、流れが層流で
ある部分の前方及び後方の両者に配置されたこととする
請求項１ないし請求項１１のいずれか１つに記載の層流
素子装置。 - 【請求項１３】 幾つかの平行に動作する乱流フィルタ
が、流れが層流である部分の前方及び／又は後方に配置
され、この通路が１つ又は２つ以上の共通の沈降室に開
放したこととする請求項１ないし請求項１２のいずれか
１つに記載の層流素子装置。 - 【請求項１４】 乱流フィルタは、流体に対して多孔性
の材料で構成されたこととする請求項１ないし請求項１
３のいずれか１つに記載の層流素子装置。 - 【請求項１５】 多孔性材料は焼結（プラスチック）材
料で形成されたこととする請求項１４に記載の層流素子
装置。 - 【請求項１６】 多孔性材料はセラミックで形成された
こととする請求項１４に記載の層流素子装置。 - 【請求項１７】 フィルタ及び沈降室を経て流体が流動
層流部分に流動する流入通路が端部で閉鎖されたことと
する請求項１ないし請求項１６のいずれか１つに記載の
層流素子装置。 - 【請求項１８】 乱流フィルタ又は層流素子は織物物質
で構成されたこととする請求項１ないし請求項１７のい
ずれか１つに記載の層流素子装置。 - 【請求項１９】 乱流フィルタの大部分の平行の通路は
種々の形状にできていることとする請求項１ないし請求
項１８のいずれか１つに記載の層流素子装置。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006135067A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5728942A (en) * | 1995-11-28 | 1998-03-17 | Boger; Henry W. | Fluid pressure measuring system for control valves |
| US5750892A (en) * | 1996-09-27 | 1998-05-12 | Teledyne Industries, Inc. | Laminar flow element with inboard sensor taps and coaxial laminar flow guides |
| US7614568B2 (en) * | 2000-08-24 | 2009-11-10 | Microlin, Llc | Device employing gas generating cell for facilitating controlled release of fluid into ambient environment |
| US6601460B1 (en) | 1998-06-10 | 2003-08-05 | Peter Albert Materna | Flowmeter based on pressure drop across parallel geometry using boundary layer flow including Reynolds numbers above the laminar range |
| US6770052B2 (en) * | 2000-10-10 | 2004-08-03 | Meridian Medical Technologies, Inc. | Wet/dry automatic injector assembly |
| US7431045B2 (en) * | 2002-08-28 | 2008-10-07 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Flow restrictor |
| US8376312B2 (en) | 2003-08-28 | 2013-02-19 | Horiba, Ltd. | Flow restrictor |
| DE102004019521B4 (de) * | 2004-04-22 | 2011-05-12 | Abb Ag | Durchflussmessgerät |
| DE102004019519B4 (de) * | 2004-04-22 | 2011-06-16 | Abb Ag | Durchflussmessgerät |
| US7690400B2 (en) * | 2005-02-28 | 2010-04-06 | Flowserve Management Company | Noise reducing fluid passageways for fluid control devices |
| ITBO20060400A1 (it) * | 2006-05-24 | 2007-11-25 | Omt Off Mecc Tartarini | Regolatore di pressione per gas perfezionato. |
| US8113390B2 (en) | 2007-04-18 | 2012-02-14 | Microlin, Llc | Gas generation dispenser apparatus and method for on-demand fluid delivery |
| KR101012045B1 (ko) * | 2007-07-23 | 2011-01-31 | 코바렌트 마테리얼 가부시키가이샤 | 감압 장치 및 이것에 이용하는 무기 재료질 다공체 |
| US7454984B1 (en) * | 2007-08-31 | 2008-11-25 | Delphi Technologies, Inc. | Flow meter for measuring a flow rate of a flow of a fluid |
| US8656772B2 (en) | 2010-03-22 | 2014-02-25 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with pressure output signal |
| US8397586B2 (en) | 2010-03-22 | 2013-03-19 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly with porous insert |
| US8113046B2 (en) | 2010-03-22 | 2012-02-14 | Honeywell International Inc. | Sensor assembly with hydrophobic filter |
| US8756990B2 (en) | 2010-04-09 | 2014-06-24 | Honeywell International Inc. | Molded flow restrictor |
| US8418549B2 (en) | 2011-01-31 | 2013-04-16 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly with integral bypass channel |
| US9003877B2 (en) | 2010-06-15 | 2015-04-14 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly |
| EP2455724B1 (de) | 2010-11-18 | 2016-09-21 | Axetris AG | Flusssensor |
| US8695417B2 (en) | 2011-01-31 | 2014-04-15 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with enhanced flow range capability |
| WO2013103375A2 (en) | 2011-06-03 | 2013-07-11 | Microlin, Llc | Device for delivery of volatile liquids to gaseous environment utilizing a gas generating cell |
| US9052217B2 (en) | 2012-11-09 | 2015-06-09 | Honeywell International Inc. | Variable scale sensor |
| US9952079B2 (en) | 2015-07-15 | 2018-04-24 | Honeywell International Inc. | Flow sensor |
| PL3184971T3 (pl) * | 2015-12-21 | 2019-04-30 | Fydec Holding Sa | Urządzenie do dozowania najmniejszych ilości, w szczególności do zastosowań farmaceutycznych, a także sposób dozowania najmniejszych ilości proszku |
| KR101681865B1 (ko) * | 2016-03-30 | 2016-12-01 | 박정훈 | 프리 프랙션 필터 장치 및 그 제어 방법 |
| EP3853563A1 (en) | 2018-09-18 | 2021-07-28 | Swagelok Company | Fluid monitoring module arrangements |
| WO2020061127A1 (en) | 2018-09-19 | 2020-03-26 | Swagelok Company | Flow restricting fluid component |
| DE102019110073A1 (de) * | 2019-04-16 | 2020-10-22 | Burkert S.A.S. | Strömungswiderstandseinsatz und Durchflussmess- oder Durchflussregeleinrichtung |
| CA3051376C (en) | 2019-08-06 | 2020-04-28 | Surface Solutions Inc. | Methane monitoring and conversion apparatus and methods |
| CN114472363B (zh) * | 2022-02-15 | 2023-06-02 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 一种半导体设备用气浴*** |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB767047A (en) * | 1954-07-06 | 1957-01-30 | Bryans Aeroquipment Ltd | Improvements in flow-meters |
| US3349619A (en) * | 1959-07-29 | 1967-10-31 | Meriam Instr Company | Laminar flow element and flow meter |
| US3792609A (en) * | 1971-05-10 | 1974-02-19 | Tylan Corp | Flow splitter |
| US3856049A (en) * | 1971-09-23 | 1974-12-24 | Leslie Co | Multiple stage restrictor |
| US3827568A (en) * | 1973-01-12 | 1974-08-06 | California Inst Of Techn | Full flow fluid filter |
| US3851526A (en) * | 1973-04-09 | 1974-12-03 | Tylan Corp | Fluid flowmeter |
| NL167243C (nl) * | 1974-11-06 | 1981-11-16 | Philips Nv | Massadebietmeter voor een gasvormig medium zoals lucht. |
| US4079754A (en) * | 1977-01-14 | 1978-03-21 | Sargent Industries, Inc. | Apparatus for eliminating noise in the flow of fluids |
| NL8104354A (nl) * | 1981-09-22 | 1983-04-18 | Wijbren Jouwsma | Laminair stromingselement. |
| GB2123564A (en) * | 1982-03-29 | 1984-02-01 | Furness Controls Ltd | Fluid flow measurement |
| US4517089A (en) * | 1982-09-29 | 1985-05-14 | Hydrotreat, Inc. | Method and apparatus for constructing filter element |
| US4709863A (en) * | 1985-10-04 | 1987-12-01 | Morehouse Industries, Inc. | Media mill screen assembly |
| GB8720357D0 (en) * | 1987-08-28 | 1987-10-07 | Thorn Emi Flow Measurement Ltd | Fluid metering system |
| US5080131A (en) * | 1989-09-26 | 1992-01-14 | Lintec Co., Ltd. | Mass flow controller |
| US5249626A (en) * | 1992-06-11 | 1993-10-05 | Lynn Gibbins | Bottom hole well strainer |
-
1992
- 1992-03-06 NL NL9200414A patent/NL9200414A/nl not_active Application Discontinuation
- 1992-12-14 ES ES92203907T patent/ES2087438T3/es not_active Expired - Lifetime
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-
1993
- 1993-02-26 JP JP06124793A patent/JP3244849B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006135067A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
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