JPH0611079Y2 - 精密濾過フィルタ - Google Patents
精密濾過フィルタInfo
- Publication number
- JPH0611079Y2 JPH0611079Y2 JP19726087U JP19726087U JPH0611079Y2 JP H0611079 Y2 JPH0611079 Y2 JP H0611079Y2 JP 19726087 U JP19726087 U JP 19726087U JP 19726087 U JP19726087 U JP 19726087U JP H0611079 Y2 JPH0611079 Y2 JP H0611079Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- housing
- tubular portion
- fluororesin
- lower housings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案は、半導体工業、電子工業、化学工業などのプロ
セスにおいて用いられる腐食性の高い流体或は反応性の
高い流体中の微粒子を除去するための精密濾過フィルタ
に関するものである。
セスにおいて用いられる腐食性の高い流体或は反応性の
高い流体中の微粒子を除去するための精密濾過フィルタ
に関するものである。
(従来技術及びその問題点) 精密濾過分野における濾過モジュールは、中空糸タイ
プ、コイルタイプ、プリーツタイプ及び積層タイプに分
類される。何れの場合も、フィルターエレメントがカー
トリッジ式になっており、エレメントを収納するハウジ
ングと一体化することによりフィルタとしての機能が発
揮される。このハウジングの材質は、通常、金属と合成
樹脂に大別されるが、流体の種類、活性度、温度、圧力
等の諸条件によって選択される。
プ、コイルタイプ、プリーツタイプ及び積層タイプに分
類される。何れの場合も、フィルターエレメントがカー
トリッジ式になっており、エレメントを収納するハウジ
ングと一体化することによりフィルタとしての機能が発
揮される。このハウジングの材質は、通常、金属と合成
樹脂に大別されるが、流体の種類、活性度、温度、圧力
等の諸条件によって選択される。
近年における半導体工業等のプロセスに用いられる濾
過、特に精密濾過分野でのフィルタは、流体通路の表面
平滑性が要求され、特に半導体工業では厳しく、配管系
のすべてが見直されている。こうした状況下において、
フィルターエレメントからの微粒子発生防止やハウジン
グ内面の表面粗度は、精密濾過フィルタにおいて重要事
項である。
過、特に精密濾過分野でのフィルタは、流体通路の表面
平滑性が要求され、特に半導体工業では厳しく、配管系
のすべてが見直されている。こうした状況下において、
フィルターエレメントからの微粒子発生防止やハウジン
グ内面の表面粗度は、精密濾過フィルタにおいて重要事
項である。
ところで、ハウジング21の入口部21aより導かれた
流体は、内装したフィルターエレメント22で濾過さ
れ、ハウジング出口部21bより清浄流体として取り出
される。この時、常にフィルタエレメント22の下流側
22bは、Oリング23(第4図乃至第7図参照)、平
パッキン、接着剤等で確実に密封する構造を採っている
ので、非清浄流体に汚染されることなくハウジング出口
部21bと連通することになる。一方、フィルターエレ
メント22の上流側22aは、上記のような必要はな
く、フィルターエレメント22の上流側22aとハウジ
ング21の内面とが非接触状態に内装されているか(第
4図参照)、或は上記した下流側22bの密封構造を保
持するために、ゴムやバネ等の緩衝材24(第5図参
照)を設けるか、又は、第6図A、Bに示すように、ハ
ウジング入口部21aの近傍位置に凸部25又は突条部
26を設け、この凸部25又は突条部26とフィルター
エレメント22の上流側22aの一部と接触させて支持
し、更に、突条部26にスリット26aの加工を施して
いる。
流体は、内装したフィルターエレメント22で濾過さ
れ、ハウジング出口部21bより清浄流体として取り出
される。この時、常にフィルタエレメント22の下流側
22bは、Oリング23(第4図乃至第7図参照)、平
パッキン、接着剤等で確実に密封する構造を採っている
ので、非清浄流体に汚染されることなくハウジング出口
部21bと連通することになる。一方、フィルターエレ
メント22の上流側22aは、上記のような必要はな
く、フィルターエレメント22の上流側22aとハウジ
ング21の内面とが非接触状態に内装されているか(第
4図参照)、或は上記した下流側22bの密封構造を保
持するために、ゴムやバネ等の緩衝材24(第5図参
照)を設けるか、又は、第6図A、Bに示すように、ハ
ウジング入口部21aの近傍位置に凸部25又は突条部
26を設け、この凸部25又は突条部26とフィルター
エレメント22の上流側22aの一部と接触させて支持
し、更に、突条部26にスリット26aの加工を施して
いる。
しかしながら、第4図に示すように、ハウジング21の
内面とフィルターエレメント22の上流側22aとが非
接触状態である場合は、製品形態での搬送時に衝撃によ
る上流側22aのシール機構の破損、シール機能を持つ
Oリング装着部の離脱等が起きるおそれがあり、遂には
フィルタとしての機能が発揮されなくなる問題を有して
いる。また、逆圧に対して、Oリング装着部の離脱も発
生する等の問題点を有している。
内面とフィルターエレメント22の上流側22aとが非
接触状態である場合は、製品形態での搬送時に衝撃によ
る上流側22aのシール機構の破損、シール機能を持つ
Oリング装着部の離脱等が起きるおそれがあり、遂には
フィルタとしての機能が発揮されなくなる問題を有して
いる。また、逆圧に対して、Oリング装着部の離脱も発
生する等の問題点を有している。
また、第5図に示すように、ゴム、バネ等の緩衝材24
をフィルターエレメント22の上流側22aとハウジン
グ21の入口部21aとの間に介在させて、フィルター
エレメント22を保持する場合は、第4図における欠点
は解消されても、部品点数が増加すると共に、活性度の
高い流体例えばハロゲン化有機溶剤、強酸、強アルカリ
の場合は、緩衝材24の材質の選択が必要であり、結果
的にコストアップとなる問題を有している。
をフィルターエレメント22の上流側22aとハウジン
グ21の入口部21aとの間に介在させて、フィルター
エレメント22を保持する場合は、第4図における欠点
は解消されても、部品点数が増加すると共に、活性度の
高い流体例えばハロゲン化有機溶剤、強酸、強アルカリ
の場合は、緩衝材24の材質の選択が必要であり、結果
的にコストアップとなる問題を有している。
更に、第6図A及び第6図Bにおいて、ハウジング21
の材質が合成樹脂であれば、凸部25や突条部26は射
出成形により容易に形成できるが、ハウジングがステン
レスのように金属であれば、第6図に示すようにフライ
ス加工やドリル等による穴あけ加工等の機械加工を必要
とするため、バリの発生は避けられず、このバリ取り工
程が困難を極めると共に、コストアップにもなる等の問
題点がある。特に、このことは、ハウジング内面の平滑
性を要求される半導体工業、電子工業は勿論、食品工
業、化学工業などの分野においては、極めて重要な問題
点となってくる。更に、腐食性の高い流体による金属片
の飛散は、フィルタメデイアをも通過してしまうおそれ
もある。
の材質が合成樹脂であれば、凸部25や突条部26は射
出成形により容易に形成できるが、ハウジングがステン
レスのように金属であれば、第6図に示すようにフライ
ス加工やドリル等による穴あけ加工等の機械加工を必要
とするため、バリの発生は避けられず、このバリ取り工
程が困難を極めると共に、コストアップにもなる等の問
題点がある。特に、このことは、ハウジング内面の平滑
性を要求される半導体工業、電子工業は勿論、食品工
業、化学工業などの分野においては、極めて重要な問題
点となってくる。更に、腐食性の高い流体による金属片
の飛散は、フィルタメデイアをも通過してしまうおそれ
もある。
また、第7図に示すように、この種のフィルタは、継手
を介して配管に連結するが、ハウジング21の出入口部
21a、21bに継手接続用の継手筒部27を挿入し、
ハウジング21の内面と継手筒部27を溶接して固着a
しているため、第6図と同様にハウジング21内部のバ
リの発生、内面平滑度の保持に反する等の重大な問題点
が存在している。
を介して配管に連結するが、ハウジング21の出入口部
21a、21bに継手接続用の継手筒部27を挿入し、
ハウジング21の内面と継手筒部27を溶接して固着a
しているため、第6図と同様にハウジング21内部のバ
リの発生、内面平滑度の保持に反する等の重大な問題点
が存在している。
本考案は、上記した従来の問題点に鑑みて開発したもの
であり、フィルターエレメントの保持機能を有し、かつ
逆圧に対する安全性の向上を図ると共に、安価に量産す
ることができる精密濾過フィルタを提供することを目的
としたものである。
であり、フィルターエレメントの保持機能を有し、かつ
逆圧に対する安全性の向上を図ると共に、安価に量産す
ることができる精密濾過フィルタを提供することを目的
としたものである。
(問題点を解決するための手段) 上記の目的を達成するため、本考案は、上下部ハウジン
グに設けた接続筒部を該ハウジングの内部まで突設させ
て突設筒部を形成し、この突設筒部を囲む上下部ハウジ
ングの位置に、外方に突出させた環状凹部を設けると共
に、上記ハウジング内に収納したフィルター部材の上流
側位置に流路を有する突起部を設け、この突起部の先端
部分を上記した突設筒部に挿入し、かつ、フィルター部
材の下流側位置に設けた出口筒部をOリングを介して上
記環状凹部に装着する構成を採用している。
グに設けた接続筒部を該ハウジングの内部まで突設させ
て突設筒部を形成し、この突設筒部を囲む上下部ハウジ
ングの位置に、外方に突出させた環状凹部を設けると共
に、上記ハウジング内に収納したフィルター部材の上流
側位置に流路を有する突起部を設け、この突起部の先端
部分を上記した突設筒部に挿入し、かつ、フィルター部
材の下流側位置に設けた出口筒部をOリングを介して上
記環状凹部に装着する構成を採用している。
更に、上下部ハウジングの環状凹部の中央位置に形成し
た挿入口に接続筒部を挿入し、この接続筒部と環状凹部
とを上下部ハウジングの外面より溶接して固着させ、ま
た、フィルター部材は、平板状多孔性薄膜積層型フィル
ターエレメントとし、このフィルターエレメントを構成
する部品の素材は、フッ素樹脂またはフッ素樹脂共重合
体とし、平板状多孔性薄膜は、孔径0.01〜5μ、開孔率
20%以上、厚み50〜200μのフッ素樹脂またはフッ素樹
脂共重合体とした。
た挿入口に接続筒部を挿入し、この接続筒部と環状凹部
とを上下部ハウジングの外面より溶接して固着させ、ま
た、フィルター部材は、平板状多孔性薄膜積層型フィル
ターエレメントとし、このフィルターエレメントを構成
する部品の素材は、フッ素樹脂またはフッ素樹脂共重合
体とし、平板状多孔性薄膜は、孔径0.01〜5μ、開孔率
20%以上、厚み50〜200μのフッ素樹脂またはフッ素樹
脂共重合体とした。
(作用) 本考案は、上下部ハウジングに設けた接続筒部を該ハウ
ジングの内部まで突設させて突設筒部を形成し、この突
設筒部を囲む上下部ハウジングの位置に、外方に突出さ
せた環状凹部を設けると共に、上記ハウジング内に収納
したフィルター部材の上流側位置に流路を有する突起部
を設け、この突起部の先端部分を上記した突設筒部に挿
入し、かつ、フィルター部材の下流側位置に設けた出口
筒部をOリングを介して上記環状凹部に装着したから、
ハウジングの入口側の接続筒部より流入した非清浄流体
は、フィルター部材の上流側位置の突起部の流路を通過
してフィルタメデイア上流側の空間を拡散する。膜抵抗
を超えた一次圧によりフィルタメデイアを通過したもの
は、清浄流体としてフィルター部材の下流側の出口筒部
に集り、ハウジングの下流側の接続筒部に集積される。
この場合、出口筒部をOリングを介して上記環状凹部に
装着したので、清浄流体と非清浄流体とは、完全に密封
構造となり、シール機能を発揮する。
ジングの内部まで突設させて突設筒部を形成し、この突
設筒部を囲む上下部ハウジングの位置に、外方に突出さ
せた環状凹部を設けると共に、上記ハウジング内に収納
したフィルター部材の上流側位置に流路を有する突起部
を設け、この突起部の先端部分を上記した突設筒部に挿
入し、かつ、フィルター部材の下流側位置に設けた出口
筒部をOリングを介して上記環状凹部に装着したから、
ハウジングの入口側の接続筒部より流入した非清浄流体
は、フィルター部材の上流側位置の突起部の流路を通過
してフィルタメデイア上流側の空間を拡散する。膜抵抗
を超えた一次圧によりフィルタメデイアを通過したもの
は、清浄流体としてフィルター部材の下流側の出口筒部
に集り、ハウジングの下流側の接続筒部に集積される。
この場合、出口筒部をOリングを介して上記環状凹部に
装着したので、清浄流体と非清浄流体とは、完全に密封
構造となり、シール機能を発揮する。
(実施例) 第1図乃至第3図は、本考案における精密濾過フィルタ
の一実施例を示したもので、第1図は精密濾過フィルタ
の正面図、第2図は第1図の縦断面図、第3図はフィル
ターエレメントを上流側方向からみた部分拡大斜視図で
ある。
の一実施例を示したもので、第1図は精密濾過フィルタ
の正面図、第2図は第1図の縦断面図、第3図はフィル
ターエレメントを上流側方向からみた部分拡大斜視図で
ある。
上部ハウジング1と下部ハウジング2の挿入口1a、2
aにそれぞれ接続筒部3、4挿入し、接続筒部3、4の
段部3a、4aを挿入口1a、2aに係合させてハウジ
ング1、2の外面と接続筒部3、4の段部3a、4aを
溶接Xする。接続筒部3、4はハウジング1、2の内部
まで突設させて突設筒部5、6を形成する。この突設筒
部5、6を囲む上下部ハウジング1、2には、突設筒部
5、6と同心円状に外方に突出させた環状凹部7、8を
設ける。また、接続筒部3、4の外周面に締付部3b、
4bと継手接続用の雄螺子部3c、4cとを設けてい
る。
aにそれぞれ接続筒部3、4挿入し、接続筒部3、4の
段部3a、4aを挿入口1a、2aに係合させてハウジ
ング1、2の外面と接続筒部3、4の段部3a、4aを
溶接Xする。接続筒部3、4はハウジング1、2の内部
まで突設させて突設筒部5、6を形成する。この突設筒
部5、6を囲む上下部ハウジング1、2には、突設筒部
5、6と同心円状に外方に突出させた環状凹部7、8を
設ける。また、接続筒部3、4の外周面に締付部3b、
4bと継手接続用の雄螺子部3c、4cとを設けてい
る。
上下部ハウジング1、2内に収納するフィルター部材9
は、本例においては、平板状多孔性薄膜積層型フィルタ
ーエレメントを利用している。
は、本例においては、平板状多孔性薄膜積層型フィルタ
ーエレメントを利用している。
このフィルターエレメントを第2図に従って説明する
と、円板状の支持板10に多数の流路10aを形成し、
この支持板10の表裏面に平板状多孔性薄膜11を被覆
させ、支持板10とリング状のカップリング12を順次
積層し、カップリング12の中央部に設けた中央流路1
2aと流路10aとを連通させるようにし、更に、中央
流路12aと出口筒部16と連通させている。フィルタ
ー部材9の上流側位置の保持板13には流路14を有す
る突起部15を設け、この突起部15の先端部分に形成
した挿入段部16を上記した突設筒部6に挿入し、か
つ、フィルター部材9の下流側位置の保持板17に設け
た出口筒部18をOリング19を介して上記環状凹部7
に装着し、かつ、突設筒部6を出口筒部18に嵌合して
密封する。
と、円板状の支持板10に多数の流路10aを形成し、
この支持板10の表裏面に平板状多孔性薄膜11を被覆
させ、支持板10とリング状のカップリング12を順次
積層し、カップリング12の中央部に設けた中央流路1
2aと流路10aとを連通させるようにし、更に、中央
流路12aと出口筒部16と連通させている。フィルタ
ー部材9の上流側位置の保持板13には流路14を有す
る突起部15を設け、この突起部15の先端部分に形成
した挿入段部16を上記した突設筒部6に挿入し、か
つ、フィルター部材9の下流側位置の保持板17に設け
た出口筒部18をOリング19を介して上記環状凹部7
に装着し、かつ、突設筒部6を出口筒部18に嵌合して
密封する。
上記した上下部ハウジング1、2は、全く同一の構造を
成しており、両者を付き合わせ溶接することにより、フ
ィルター部材9を内装している。このフィルター部材9
を構成する全ての部品の素材は、フッ素樹脂またはフッ
素樹脂共重合体とし、平板状多孔性薄膜11は、孔径0.
01〜5μ、開孔率20%以上、厚み50〜200μのフッ素樹
脂またはフッ素樹脂共重合体である。また、平板状多孔
性薄膜11は、酢酸セルロース、ニトロセルロース、ポ
リアミド、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポ
リメチルメタクリレート、ポリサルフォン、ポリエーテ
ルサルフォン等の高分子を適宜選択して利用するものと
し、この場合、その他のエレメント構成部品は、フッ素
樹脂またはフッ素樹脂共重合体に限定されるものではな
く、適宜の素材を任意に選択するものとする。
成しており、両者を付き合わせ溶接することにより、フ
ィルター部材9を内装している。このフィルター部材9
を構成する全ての部品の素材は、フッ素樹脂またはフッ
素樹脂共重合体とし、平板状多孔性薄膜11は、孔径0.
01〜5μ、開孔率20%以上、厚み50〜200μのフッ素樹
脂またはフッ素樹脂共重合体である。また、平板状多孔
性薄膜11は、酢酸セルロース、ニトロセルロース、ポ
リアミド、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポ
リメチルメタクリレート、ポリサルフォン、ポリエーテ
ルサルフォン等の高分子を適宜選択して利用するものと
し、この場合、その他のエレメント構成部品は、フッ素
樹脂またはフッ素樹脂共重合体に限定されるものではな
く、適宜の素材を任意に選択するものとする。
次に上記実施例の作用を説明する。
下部ハウジング2の入口側の接続筒部4より流入した非
清浄流体は、フィルターエレメントの上流側位置の突起
部15の流路14を通過してフィルタメデイア上流側の
空間を拡散する。膜抵抗を超えた一次圧によりフィルタ
メデイアを通過したものは、清浄流体としてフィルター
部材9の下流側の出口筒部18に集り、ハウジング1の
下流側の接続筒部3の出口側に集積され、効率的に清浄
流体を得ることができる。この場合、出口筒部18をO
リング19を介して環状凹部7に装着し、かつ突設筒部
6を出口筒部18に嵌合したので、清浄流体と非清浄流
体とは、完全に密封構造となり、しかも、ヒートサイク
ルによるフィルターエレメント収縮によるOリング19
からのリークも防止できるため、シール機能を確実に発
揮し、高精度に流体を精密濾過することができる。
清浄流体は、フィルターエレメントの上流側位置の突起
部15の流路14を通過してフィルタメデイア上流側の
空間を拡散する。膜抵抗を超えた一次圧によりフィルタ
メデイアを通過したものは、清浄流体としてフィルター
部材9の下流側の出口筒部18に集り、ハウジング1の
下流側の接続筒部3の出口側に集積され、効率的に清浄
流体を得ることができる。この場合、出口筒部18をO
リング19を介して環状凹部7に装着し、かつ突設筒部
6を出口筒部18に嵌合したので、清浄流体と非清浄流
体とは、完全に密封構造となり、しかも、ヒートサイク
ルによるフィルターエレメント収縮によるOリング19
からのリークも防止できるため、シール機能を確実に発
揮し、高精度に流体を精密濾過することができる。
(考案の効果) 以上のことから明らかなように、本発明によると、次の
ような有用な効果がある。
ような有用な効果がある。
即ち、ハウジング内に装着したフィルターエレメントが
確実に保持されると共に、フィルターエレメントの下流
側の密封機能が有効に発揮されるので、フィルタとして
の耐久性が良好であり、また、従来のフィルタに比較し
て逆圧に対する安全性も著しく高めることができ、更に
は、本考案は、安価にかつ大量生産に供することがで
き、経済的効果にも優れている。
確実に保持されると共に、フィルターエレメントの下流
側の密封機能が有効に発揮されるので、フィルタとして
の耐久性が良好であり、また、従来のフィルタに比較し
て逆圧に対する安全性も著しく高めることができ、更に
は、本考案は、安価にかつ大量生産に供することがで
き、経済的効果にも優れている。
第1図乃至第3図は、本考案における精密濾過フィルタ
の一実施例を示したもので、第1図は精密濾過フィルタ
の正面図、第2図は第1図の縦断面図、第3図はフィル
ターエレメントを上流側方向からみた部分拡大斜視図で
あり、第4図乃至第6図は従来の各例を示した縦断面
図、第7図は従来のハウジングの一方を示した断面図で
ある。 1、2……上下部ハウジング、3、4……接続筒部 5、6……突設筒部、7、8……環状凹部、 9……フィルター部材、14……流路、 15……突起部、16……挿入段部、 18……出口筒部、19……Oリング。
の一実施例を示したもので、第1図は精密濾過フィルタ
の正面図、第2図は第1図の縦断面図、第3図はフィル
ターエレメントを上流側方向からみた部分拡大斜視図で
あり、第4図乃至第6図は従来の各例を示した縦断面
図、第7図は従来のハウジングの一方を示した断面図で
ある。 1、2……上下部ハウジング、3、4……接続筒部 5、6……突設筒部、7、8……環状凹部、 9……フィルター部材、14……流路、 15……突起部、16……挿入段部、 18……出口筒部、19……Oリング。
Claims (5)
- 【請求項1】上下部ハウジングに設けた接続筒部を該ハ
ウジングの内部まで突設させて突設筒部を形成し、この
突設筒部を囲む上下部ハウジングの位置に、外方に突出
させた環状凹部を設けると共に、上記ハウジング内に収
納したフィルター部材の上流側位置に流路を有する突起
部を設け、この突起部の先端部分を上記した突設筒部に
挿入し、かつ、フィルター部材の下流側位置に設けた出
口筒部をOリングを介して上記環状凹部に装着したこと
を特徴とする精密濾過フィルタ。 - 【請求項2】上下部ハウジングの環状凹部の中央位置に
形成した挿入口に接続筒部を挿入し、この接続筒部と環
状凹部とを上下部ハウジングの外面より溶接して固着さ
せた実用新案登録請求の範囲第1項記載の精密濾過フィ
ルタ。 - 【請求項3】フィルター部材は、平板状多孔性薄膜積層
型フィルターエレエントである実用新案登録請求の範囲
第1項又は第2項記載の精密濾過フィルタ。 - 【請求項4】フィルターエレエントを構成する部品の素
材は、フッ素樹脂またはフッ素樹脂共重合体である実用
新案登録請求の範囲第3項記載の精密濾過フィルタ。 - 【請求項5】平板状多孔性薄膜は、孔径0.01〜5μ、開
孔率20%以上、厚み50〜200μのフッ素樹脂またはフッ
素樹脂共重合体である実用新案登録請求の範囲第3項記
載の精密濾過フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19726087U JPH0611079Y2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 精密濾過フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19726087U JPH0611079Y2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 精密濾過フィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01101602U JPH01101602U (ja) | 1989-07-07 |
JPH0611079Y2 true JPH0611079Y2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=31487823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19726087U Expired - Lifetime JPH0611079Y2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 精密濾過フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0611079Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP19726087U patent/JPH0611079Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01101602U (ja) | 1989-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4876007A (en) | Plate-type filter cartridge with internal support | |
US6579455B1 (en) | Filter and valve apparatus | |
US4062781A (en) | Disposable filter with interchangeable end elements | |
US8961644B2 (en) | Seal devices for filters | |
JP2007533166A (ja) | 流体密封流路を備えた基板容器 | |
JP2009078269A (ja) | 燃料フィルタダイバータ | |
US20070039864A1 (en) | Filter system | |
JP2007237165A (ja) | フィルタ位置合わせ装置 | |
US4361483A (en) | Disposable pharmaceutical filter assembly | |
US5062864A (en) | Gas filter element | |
JP4584838B2 (ja) | 簡易型フィルタ装置 | |
JP3236103B2 (ja) | 中空糸膜モジュール | |
JPH0611079Y2 (ja) | 精密濾過フィルタ | |
US5858232A (en) | Filter cartridges with sealing means | |
JP2000279711A (ja) | フィルタ装置 | |
JP4411656B2 (ja) | フィルタ装置 | |
US4880536A (en) | Filter assembly of a manifold, mounting ring and filter housing | |
JP3834523B2 (ja) | コネクタ式のインラインフィルター | |
JP2004066160A (ja) | フィルターエレメント | |
JP2002292213A (ja) | ラインフィルタ | |
JPH07172Y2 (ja) | 中空糸膜モジュール | |
JP2004153221A (ja) | 基板収納容器 | |
JPH01127004A (ja) | 外圧濾過型中空糸膜モジュール | |
JP3394959B2 (ja) | フィルター組立体 | |
KR200378939Y1 (ko) | 차량용 오일필터 |