JPH06109680A - Carbon dioxide gas sensor element and carbon dioxide gas concentration measurement method - Google Patents
Carbon dioxide gas sensor element and carbon dioxide gas concentration measurement methodInfo
- Publication number
- JPH06109680A JPH06109680A JP25991492A JP25991492A JPH06109680A JP H06109680 A JPH06109680 A JP H06109680A JP 25991492 A JP25991492 A JP 25991492A JP 25991492 A JP25991492 A JP 25991492A JP H06109680 A JPH06109680 A JP H06109680A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- sensor element
- dioxide gas
- oxide
- concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、炭酸ガスセンサ素子お
よび炭酸ガス濃度測定方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carbon dioxide sensor element and a carbon dioxide concentration measuring method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、炭酸ガスセンサ素子は、室内空調
等における生活環境制御等の環境衛生用、ハウス栽培に
おける炭酸ガス濃度の制御などの農業用、排ガスの監視
などの工業用、火災の早期発見などの防災用等の幅広い
用途に使用されてきている。そして、従来、被測定ガス
中の炭酸ガス濃度を測定する方法としては、非分散型赤
外線吸収分析法、熱伝導度演算法、隔膜式ガラス電極
法、ナシコンのような固体電解質を用いたものが知られ
ている。2. Description of the Related Art Conventionally, carbon dioxide sensor elements have been used for environmental hygiene such as living environment control in indoor air conditioning, for agriculture such as carbon dioxide concentration control in greenhouse cultivation, for industrial use such as exhaust gas monitoring, and early detection of fire. It has been used for a wide range of purposes such as disaster prevention. Then, conventionally, as a method for measuring the carbon dioxide concentration in the gas to be measured, a non-dispersive infrared absorption analysis method, a thermal conductivity calculation method, a diaphragm glass electrode method, a solid electrolyte such as NASICON is used. Are known.
【０００３】例えば、特開平３−１３４５５３号公報に
は、ナシコン（ナトリウムイオン伝導体セラミック）を
使用し、それが所定の温度条件下で炭酸ガスと接したと
きの電池反応による起電力を検出することにより、炭酸
ガスを検知する炭酸ガスセンサが開示されている。ま
た、特開平３−１２３８４８号公報には、リチウムイオ
ン導電性固体電解質を用いた炭酸ガス濃淡電池型の炭酸
ガス濃度測定用センサが開示されている。For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 3-134553, Nasicon (sodium ion conductor ceramic) is used, and the electromotive force due to the cell reaction when it comes into contact with carbon dioxide under a predetermined temperature condition is detected. Accordingly, a carbon dioxide sensor for detecting carbon dioxide is disclosed. Further, JP-A-3-123848 discloses a carbon dioxide concentration sensor of carbon dioxide concentration type using a lithium ion conductive solid electrolyte.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、これら従来の
測定装置および方法は、大型かつ高価であったり、ある
いは、再現性や経時安定性に乏しい等、汎用性に欠ける
という問題点があった。However, these conventional measuring devices and methods have problems in that they lack versatility, such as large size and high cost, or poor reproducibility and stability over time.
【０００５】本発明の目的は、前述したような従来の技
術の問題点を解消しうるような炭酸ガスセンサ素子およ
び炭酸ガス濃度測定方法を提供することである。An object of the present invention is to provide a carbon dioxide gas sensor element and a carbon dioxide gas concentration measuring method capable of solving the above-mentioned problems of the conventional techniques.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明による炭酸ガスセ
ンサ素子は、Ｉｎ2 Ｏ3 で表される酸化物、または、Ｉ
ｎ2 Ｏ3 で表される酸化物にＳｎ、Ｌａ、ランタニド系
列の酸化物またはアルカリ土類金属酸化物のうち、少な
くとも一種を混合した混合物にて素子本体が構成されて
いる。A carbon dioxide sensor element according to the present invention is an oxide represented by In 2 O 3 or I
The device body is made of a mixture of at least one of Sn, La, a lanthanide series oxide, and an alkaline earth metal oxide in the oxide represented by n 2 O 3 .
【０００７】また、本発明による炭酸ガス濃度測定方法
は、Ｉｎ2 Ｏ3 で表される酸化物、または、Ｉｎ2 Ｏ3
で表される酸化物にＳｎ、Ｌａ、ランタニド系列の酸化
物またはアルカリ土類金属酸化物のうち、少なくとも一
種を混合した混合物を使用し、これら酸化物または混合
物の炭酸ガス濃度による電気抵抗の変化を測定すること
により、炭酸ガス濃度を検出することを特徴とする。Further, carbon dioxide concentration measuring method according to the present invention, the oxide represented by an In 2 O 3, or, an In 2 O 3
A mixture of at least one of Sn, La, a lanthanide series oxide or an alkaline earth metal oxide is used as the oxide represented by, and the change in the electric resistance depending on the carbon dioxide concentration of these oxides or mixtures is used. It is characterized in that the carbon dioxide concentration is detected by measuring.
【０００８】[0008]
【実施例】次に、添付図面に基づいて、本発明の実施例
について、本発明をより詳細に説明する。The present invention will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
【０００９】本発明においては、炭酸ガスを検出するの
に、Ｉｎ2 Ｏ3 で表される酸化物、または、Ｉｎ2 Ｏ3
で表される酸化物にＳｎ、Ｌａ、ランタニド系列の酸化
物またはアルカリ土類金属酸化物のうち、少なくとも一
種を混合した混合物を使用する。In the present invention, an oxide represented by In 2 O 3 or In 2 O 3 is used to detect carbon dioxide gas.
A mixture in which at least one of Sn, La, a lanthanide series oxide or an alkaline earth metal oxide is mixed with the oxide represented by is used.
【００１０】本発明に用いられる、前述した酸化物また
は混合物をセラミック焼成体として、素子本体を構成す
る場合には、次のようにして得られる。即ち、まず、前
述の酸化物または混合物を構成する各種材料を調合し、
この原料を混合した後、粉末にバインダを加えて成形
し、成形体を焼成する。更に得られたセラミック焼成体
の両端面に、少なくとも一対の電極を付与することによ
り、炭酸ガスセンサ素子を得ることができる。When the above-mentioned oxide or mixture used in the present invention is used as a ceramic fired body to form an element body, it is obtained as follows. That is, first, various materials forming the above-mentioned oxide or mixture are prepared,
After this raw material is mixed, a binder is added to the powder to form a compact, and the compact is fired. Further, by providing at least a pair of electrodes on both end surfaces of the obtained ceramic fired body, a carbon dioxide gas sensor element can be obtained.
【００１１】本発明に用いられる、前述した酸化物また
は混合物を焼成膜として、素子本体を構成する場合に
は、次のようにして得られる。即ち、まず、前述の酸化
物または混合物を構成する各種材料を調合し、この原料
を混合した後、粉末をペースト化し、ガラス基板の如き
耐熱絶縁基板の上に印刷、焼成して厚膜を形成する。あ
るいは、スパッタ等で薄膜を形成してもよい。得られた
焼成膜の表面に少なくとも一対の電極を付与して、炭酸
ガスセンサ素子を得ることができる。When the element body is formed by using the above-mentioned oxide or mixture used in the present invention as a fired film, it is obtained as follows. That is, first, various materials that compose the above-mentioned oxide or mixture are prepared, the raw materials are mixed, and then the powder is made into a paste, which is printed and baked on a heat-resistant insulating substrate such as a glass substrate to form a thick film. To do. Alternatively, the thin film may be formed by sputtering or the like. A carbon dioxide sensor element can be obtained by applying at least a pair of electrodes on the surface of the obtained fired film.
【００１２】このセンサ素子では、炭酸ガスの存在下に
おいて、酸化物セラミック表面と炭酸ガス分子が化学的
な相互作用を起こすことにより、センサ素子の抵抗値が
変化する。この時、Ｓｎ、Ｌａ、ランタニド系列の酸化
物またはアルカリ土類金属酸化物のうち、少なくとも一
種を混合すると、特性の向上が認められる。また、微量
の貴金属触媒等の増感剤を加えても良い。酸化物表面と
炭酸ガス分子が化学的な相互作用を起こすことにより、
センサ素子の電気抵抗値が変化する。In this sensor element, the resistance value of the sensor element changes due to the chemical interaction between the oxide ceramic surface and carbon dioxide molecules in the presence of carbon dioxide. At this time, when at least one of Sn, La, a lanthanide series oxide or an alkaline earth metal oxide is mixed, the improvement of the characteristics is recognized. Further, a small amount of a sensitizer such as a precious metal catalyst may be added. Due to the chemical interaction between the oxide surface and carbon dioxide molecules,
The electric resistance value of the sensor element changes.
【００１３】一方、本発明の炭酸ガス濃度測定方法によ
れば、前述したＩｎ2 Ｏ3 で表される酸化物、または、
Ｉｎ2 Ｏ3 で表される酸化物にＳｎ、Ｌａ、ランタニド
系列の酸化物またはアルカリ土類金属酸化物のうち、少
なくとも一種を混合した混合物を使用し、これら酸化物
または混合物の炭酸ガス濃度による電気抵抗の変化を測
定することにより、炭酸ガス濃度を検出することができ
る。On the other hand, according to the carbon dioxide concentration measuring method of the present invention, the above-mentioned oxide represented by In 2 O 3 or
A mixture in which at least one of Sn, La, a lanthanide series oxide or an alkaline earth metal oxide is mixed with the oxide represented by In 2 O 3 is used. The carbon dioxide concentration can be detected by measuring the change in electrical resistance.
【００１４】（具体的実施例１）(Specific Example 1)
【００１５】以下に、本発明による炭酸ガスセンサ素子
の具体的実施例の一つについて、詳細に説明する。本発
明による炭酸ガスセンサ素子を作製するために、先ず、
酸化物の原料として、Ｉｎ2 Ｏ3 粉末を用意した。所定
量を秤量し、ボールミルを用いて湿式粉砕した後、脱溶
媒、乾燥した。One specific embodiment of the carbon dioxide sensor element according to the present invention will be described in detail below. In order to manufacture the carbon dioxide sensor element according to the present invention, first,
In 2 O 3 powder was prepared as a raw material of the oxide. A predetermined amount was weighed, wet-milled using a ball mill, desolvated and dried.
【００１６】更に、バインダーを加えて、１ｔ／cm2 の
圧力でプレス処理して、ディスク状に成形した。この成
形体を、空気中において８７３Ｋで１時間焼成した。得
られた焼成体は、直径１０mm、厚さ１mmであった。この
焼成体の両表面に３０mm2 の面積の銀電極を付与して、
炭酸ガスセンサ素子とした。このとき、原料について
は、熱分解による残留生成物が酸化物のみとなるもので
あれば、いかなるものでも良い。図１は、この炭酸ガス
センサ素子の概略拡大断面図である。図１に示すよう
に、この炭酸ガスセンサ素子は、Ｉｎ2 Ｏ3 で表される
酸化物で形成された素子本体１と、その素子本体の両端
面に付与された電極２とを備えてなっている。Further, a binder was added, and the mixture was pressed at a pressure of 1 t / cm 2 to form a disc. The compact was fired in air at 873K for 1 hour. The obtained fired body had a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm. A silver electrode having an area of 30 mm 2 is applied to both surfaces of this fired body,
It was used as a carbon dioxide sensor element. At this time, any raw material may be used as long as the residual product of thermal decomposition is only an oxide. FIG. 1 is a schematic enlarged cross-sectional view of this carbon dioxide sensor element. As shown in FIG. 1, the carbon dioxide sensor element comprises an element body 1 made of an oxide represented by In 2 O 3 and electrodes 2 provided on both end surfaces of the element body. There is.
【００１７】次に、本実施例の炭酸ガスセンサ素子の動
作について説明する。例えば、炭酸ガスセンサ素子の設
置されているチューブ中に被測定ガスを導入すると、炭
酸ガス濃度に応じてセンサ素子の電気抵抗値が変化す
る。この電気抵抗値変化を測定装置によって測定し、被
測定ガス中の炭酸ガス分圧と電気抵抗値との関係におい
て、優れた再現性を得ることができる。したがって、濃
度既知の被測定ガスおよび基準ガスでの測定値から予め
検量線を求めておくことにより、濃度未知の被測定ガス
についても、検量線から安定かつ高精度に炭酸ガス濃度
を求めることができる。Next, the operation of the carbon dioxide sensor element of this embodiment will be described. For example, when the gas to be measured is introduced into the tube in which the carbon dioxide sensor element is installed, the electrical resistance value of the sensor element changes according to the carbon dioxide concentration. This change in electric resistance value is measured by a measuring device, and excellent reproducibility can be obtained in the relationship between the carbon dioxide partial pressure in the gas to be measured and the electric resistance value. Therefore, by previously obtaining the calibration curve from the measured values of the measured gas whose concentration is known and the reference gas, the carbon dioxide concentration can be stably and accurately determined from the calibration curve even for the measured gas whose concentration is unknown. it can.
【００１８】センサ特性を調べるために、図２に略示す
るように、例えば、セラミックチューブ１０内に、Ｉｎ
2 Ｏ3 で表される酸化物の素子本体１の両面に銀電極２
を付与してなる本実施例の炭酸ガスセンサ素子を配置
し、両電極２に白金線１１を接続し、１Ｖ、５０ＫＨｚ
の交流電源１２にて交流電圧をセンサ素子に印加して、
そのセンサ素子のインピーダンス変化を測定できるよう
にした。セラミックチューブ１０内にテストガスとし
て、空気、５００ｐｐｍＣＯ2 ガス、８００ｐｐｍＣＯ
2 ガス、１３００ｐｐｍＣＯ2 ガス、空気の順で流し、
５７３Ｋの温度において、インピーダンス変化を測定し
た。図３は、このようにして測定した、インピーダンス
変化を示したものである。この図３からも明らかなよう
に、炭酸ガス濃度に従って、インピーダンスが変化す
る。図３の曲線から明らかなように、炭酸ガス濃度が高
くなるに従ってインピーダンスが低くなり、しかも、直
線関係にあることがわかる。あらかじめ、この直線関係
を求めておくことにより、測定インピーダンスから被測
定ガス中の炭酸ガス濃度を得ることができる。In order to examine the sensor characteristics, for example, as shown in FIG.
The silver electrodes 2 are formed on both sides of the element body 1 of the oxide represented by 2 O 3.
The carbon dioxide gas sensor element of the present embodiment, which is provided with the above, is arranged, a platinum wire 11 is connected to both electrodes 2, and 1 V, 50 KHz.
AC voltage is applied to the sensor element by the AC power source 12 of
The impedance change of the sensor element can be measured. Air, 500 ppm CO 2 gas, 800 ppm CO as test gas in the ceramic tube 10.
Flow 2 gas, 1300ppm CO 2 gas, then air,
The impedance change was measured at a temperature of 573K. FIG. 3 shows the impedance change measured in this way. As is clear from FIG. 3, the impedance changes according to the carbon dioxide concentration. As is clear from the curve in FIG. 3, it can be seen that the impedance decreases as the carbon dioxide concentration increases, and moreover, there is a linear relationship. By obtaining this linear relationship in advance, the carbon dioxide concentration in the gas to be measured can be obtained from the measured impedance.
【００１９】（具体的実施例２）(Specific Example 2)
【００２０】次に、本発明による炭酸ガスセンサ素子の
別の具体的実施例について説明する。この実施例の炭酸
ガスセンサ素子を作製するために、ガラス基板上に、ス
パッタによって、Ｉｎ2 Ｏ3 −ＳｎＯ2 膜を形成し、そ
の膜の表面に一対の電極を接続して、炭酸ガスセンサ素
子とした。図４は、この炭酸ガスセンサ素子の概略平面
図である。図４に示すように、この炭酸ガスセンサ素子
は、ガラス基板上に、Ｉｎ2 Ｏ3 −ＳｎＯ2 膜を形成し
た素子本体２１と、そのＩｎ2 Ｏ3 −ＳｎＯ2膜の表面
に付与した櫛形の銀電極２２とを備えてなっている。Next, another specific embodiment of the carbon dioxide sensor element according to the present invention will be described. In order to manufacture the carbon dioxide sensor element of this example, an In 2 O 3 —SnO 2 film was formed on a glass substrate by sputtering, and a pair of electrodes were connected to the surface of the film to form a carbon dioxide sensor element. did. FIG. 4 is a schematic plan view of this carbon dioxide sensor element. As shown in FIG. 4, this carbon dioxide gas sensor element has an element body 21 having an In 2 O 3 —SnO 2 film formed on a glass substrate and a comb-shaped element body 21 provided on the surface of the In 2 O 3 —SnO 2 film. And a silver electrode 22.
【００２１】このようにして得た炭酸ガスセンサ素子に
ついて、前述の具体的実施例１の炭酸ガスセンサ素子の
場合と同様の測定装置にて、５７３Ｋの温度において、
炭酸ガス濃度を変化させた場合のインピーダンス変化を
測定した例を図５に示している。この図５からも、炭酸
ガス濃度に従って、インピーダンスが変化することがわ
かる。The carbon dioxide sensor element thus obtained was measured at the temperature of 573K with the same measuring device as in the case of the carbon dioxide sensor element of the specific example 1 described above.
FIG. 5 shows an example of measuring the change in impedance when the carbon dioxide concentration is changed. It can be seen from FIG. 5 that the impedance changes according to the carbon dioxide concentration.
【００２２】（その他の具体的実施例）(Other Specific Examples)
【００２３】図６は、本発明のその他の具体的実施例を
一覧表にして示している。いずれの実施例でも、炭酸ガ
スに対して感度を示すことがわかる。これらを比較的に
広い意味で表現すれば、本発明は、Ｉｎ2 Ｏ3 で表され
る酸化物、または、Ｉｎ2 Ｏ 3 で表される酸化物にＳ
ｎ、Ｌａ、ランタニド系列の酸化物またはアルカリ土類
金属酸化物のうち、少なくとも一種を混合した混合物を
用いることを特徴とした炭酸ガスセンサ素子であり、そ
の表面に、少なくとも一種の金属元素、望ましくは貴金
属による、少なくとも一対の電極を接続したものであ
る。更に、本発明の炭酸ガスセンサ素子の抵抗値変化を
測定することにより、炭酸ガス濃度を安定かつ再現性良
く得ることができる。FIG. 6 shows another specific embodiment of the present invention.
The table is shown. In both examples, carbon dioxide
It can be seen that it shows sensitivity to These relatively
In a broad sense, the present invention provides In2O3Represented by
Oxide or In2O 3S in the oxide represented by
n, La, lanthanide series oxide or alkaline earth
Mix a mixture of at least one of the metal oxides
A carbon dioxide sensor element characterized by being used.
On the surface of at least one metallic element, preferably noble metal
Depending on the genus, at least a pair of electrodes are connected
It Furthermore, the resistance value change of the carbon dioxide sensor element of the present invention
Stable and reproducible carbon dioxide concentration by measuring
You can get it.
【００２４】[0024]
【発明の効果】本発明の炭酸ガスセンサ素子は、小型で
安価で高信頼性を有する。本発明の炭酸ガスセンサ素子
を使用すれば、抵抗値変化によって被測定ガス中の炭酸
ガスの絶対濃度も測定、検出でき、しかも、炭酸ガス濃
度を再現性よく、且つ経時安定性よく測定できる。した
がって、本発明の炭酸ガスセンサ素子は、室内空調ある
いはハウス栽培等に利用することができ、経済効果が大
である。The carbon dioxide sensor element of the present invention is small, inexpensive and highly reliable. By using the carbon dioxide sensor element of the present invention, the absolute concentration of carbon dioxide in the gas to be measured can be measured and detected by the change in resistance value, and the carbon dioxide concentration can be measured with good reproducibility and stability with time. Therefore, the carbon dioxide sensor element of the present invention can be used for indoor air conditioning or greenhouse cultivation, and has a great economic effect.
【図１】本発明の一実施例としての炭酸ガスセンサ素子
の概略拡大断面図である。FIG. 1 is a schematic enlarged cross-sectional view of a carbon dioxide sensor element as one embodiment of the present invention.
【図２】本発明における炭酸ガス濃度測定方法の回路構
成を簡単に示した図である。FIG. 2 is a diagram simply showing a circuit configuration of a carbon dioxide concentration measuring method according to the present invention.
【図３】本発明の一実施例の炭酸ガスセンサ素子による
炭酸ガス感度を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing carbon dioxide sensitivity by a carbon dioxide sensor element according to an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の別の実施例としての炭酸ガスセンサ素
子の概略平面図である。FIG. 4 is a schematic plan view of a carbon dioxide sensor element as another embodiment of the present invention.
【図５】図４の実施例の炭酸ガスセンサ素子による炭酸
ガス感度を示す図である。5 is a diagram showing carbon dioxide sensitivity by the carbon dioxide sensor element of the embodiment of FIG.
【図６】本発明の炭酸ガスセンサ素子の素子本体を構成
する酸化物の種々の例を列挙した一覧表を示す図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a list listing various examples of oxides constituting the element body of the carbon dioxide sensor element of the present invention.
１ 素子本体 ２ 電極 １０ セラミックチューブ １１ 白金線 １２ 定電圧交流電源 ２１ 素子本体 ２２ 電極 1 Element Main Body 2 Electrode 10 Ceramic Tube 11 Platinum Wire 12 Constant Voltage AC Power Supply 21 Element Main Body 22 Electrode
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山内 則義 愛知県名古屋市西区則武新町３丁目１番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Noriyoshi Yamauchi 3-36 Noritake Shinmachi, Nishi-ku, Nagoya-shi, Aichi Noritake Company Limited Limited
Claims (7)
Ｉｎ2 Ｏ3 で表される酸化物にＳｎ、Ｌａ、ランタニド
系列の酸化物またはアルカリ土類金属酸化物のうち、少
なくとも一種を混合した混合物にて素子本体を構成した
ことを特徴とする炭酸ガスセンサ素子。1. An oxide represented by In 2 O 3 , or
A carbon dioxide gas sensor characterized in that the element body is made of a mixture in which at least one of Sn, La, a lanthanide series oxide or an alkaline earth metal oxide is mixed with an oxide represented by In 2 O 3. element.
れる酸化物または前記混合物の焼成体である請求項１記
載の炭酸ガスセンサ素子。2. The carbon dioxide sensor element according to claim 1, wherein the element body is a fired body of the oxide represented by In 2 O 3 or the mixture.
れる酸化物または前記混合物の焼成膜として、耐熱絶縁
基板上に形成したものである請求項１記載の炭酸ガスセ
ンサ素子。3. The carbon dioxide sensor element according to claim 1, wherein the element body is formed on a heat resistant insulating substrate as a fired film of the oxide represented by In 2 O 3 or the mixture.
くとも一対の電極を、前記焼成体の両端面に形成した請
求項２記載の炭酸ガスセンサ素子。4. The carbon dioxide sensor element according to claim 2, wherein at least a pair of electrodes made of at least one metal element are formed on both end surfaces of the fired body.
くとも一対の電極を、前記焼成膜の表面に形成した請求
項３記載の炭酸ガスセンサ素子。5. The carbon dioxide sensor element according to claim 3, wherein at least a pair of electrodes made of at least one metal element are formed on the surface of the fired film.
が形成されている請求項３または５記載の炭酸ガスセン
サ素子。6. The carbon dioxide sensor element according to claim 3, wherein a heater is formed on the heat-resistant insulating substrate.
Ｉｎ2 Ｏ3 で表される酸化物にＳｎ、Ｌａ、ランタニド
系列の酸化物またはアルカリ土類金属酸化物のうち、少
なくとも一種を混合した混合物を使用し、これら酸化物
または混合物の炭酸ガス濃度による電気抵抗の変化を測
定することにより、炭酸ガス濃度を検出することを特徴
とする炭酸ガス濃度測定方法。7. An oxide represented by In 2 O 3 , or
A mixture in which at least one of Sn, La, a lanthanide series oxide or an alkaline earth metal oxide is mixed with the oxide represented by In 2 O 3 is used. A method for measuring carbon dioxide concentration, which comprises measuring the concentration of carbon dioxide by measuring a change in electrical resistance.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25991492A JPH06109680A (en) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | Carbon dioxide gas sensor element and carbon dioxide gas concentration measurement method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25991492A JPH06109680A (en) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | Carbon dioxide gas sensor element and carbon dioxide gas concentration measurement method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109680A true JPH06109680A (en) | 1994-04-22 |
Family
ID=17340687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25991492A Pending JPH06109680A (en) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | Carbon dioxide gas sensor element and carbon dioxide gas concentration measurement method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06109680A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110068656A (en) * | 2019-04-28 | 2019-07-30 | 陕西青朗万城环保科技有限公司 | A kind of device and method measuring gas phosphorus content |
-
1992
- 1992-09-29 JP JP25991492A patent/JPH06109680A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110068656A (en) * | 2019-04-28 | 2019-07-30 | 陕西青朗万城环保科技有限公司 | A kind of device and method measuring gas phosphorus content |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4457161A (en) | Gas detection device and method for detecting gas | |
| US5969231A (en) | Sensor for monitoring concentration of gaseous substances | |
| US6173602B1 (en) | Transition metal oxide gas sensor | |
| US6660231B2 (en) | Sensors for oxidizing gases | |
| JPH0517650Y2 (en) | ||
| US7900501B2 (en) | Air quality monitor | |
| US4013943A (en) | Solid state electrolytic cell gas sensor head | |
| JPH06109680A (en) | Carbon dioxide gas sensor element and carbon dioxide gas concentration measurement method | |
| KR100252935B1 (en) | Apparatus for alarming and measuring gas-leakage | |
| JPH06242060A (en) | Hydrocarbon sensor | |
| JPH0688800A (en) | Carbon dioxide gas sensor element and measuring method for measuring carbon dioxide gas concentration | |
| JPH06186193A (en) | Carbon dioxide gas sensor element and method for measuring carbon dioxide gas concentration | |
| EP0086415B1 (en) | Humidity sensitive device | |
| US9304101B1 (en) | Method of sensor conditioning for improving signal output stability for mixed gas measurements | |
| JP2000206081A (en) | Gas sensor with two electrodes | |
| Miura et al. | Sensing characteristics of a solid-state ammonia sensor at ambient temperatures | |
| Vandrish | Ceramic applications in gas and humidity sensors | |
| RU2291417C1 (en) | Gas concentration sensor | |
| JP2525517B2 (en) | Carbon dioxide detection sensor | |
| KR900003930B1 (en) | Gas detector | |
| JPS61162743A (en) | Oxygen gas detector | |
| KR960010688B1 (en) | Gas sensor and its manufacturing method | |
| JPS57135350A (en) | Element for gas detection apparatus | |
| JPH0225453B2 (en) | ||
| JPS6245495B2 (en) |