JPH0593351A - 研磨具のフエルトパツドとその製造方法 - Google Patents
研磨具のフエルトパツドとその製造方法Info
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- JPH0593351A JPH0593351A JP25850491A JP25850491A JPH0593351A JP H0593351 A JPH0593351 A JP H0593351A JP 25850491 A JP25850491 A JP 25850491A JP 25850491 A JP25850491 A JP 25850491A JP H0593351 A JPH0593351 A JP H0593351A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】硝子類の鏡面を研磨する等比較的繊細な研磨作
業時に使用する研磨具の研磨面における研磨用スラリー
の吸収能力を良くしたフェルトパッドとその製造方法を
提供する。 【構成】合成繊維のフェルト1のシートに微孔質弾性体
を含浸させて形成したフェルトパッドに一定の方向性を
有する多数の長い通気孔3を具備させる。この製造に際
しては、フェルト1のシートに微孔質弾性体液を含浸さ
せてこれを加水反応させる従来の方法において、約10
℃の温度の水中で約100 〜700m/mHgに亘って約30分間
段階的に減圧した後これを常圧に復元して水の温度を約
30℃に高めて加水反応を完成させる。
業時に使用する研磨具の研磨面における研磨用スラリー
の吸収能力を良くしたフェルトパッドとその製造方法を
提供する。 【構成】合成繊維のフェルト1のシートに微孔質弾性体
を含浸させて形成したフェルトパッドに一定の方向性を
有する多数の長い通気孔3を具備させる。この製造に際
しては、フェルト1のシートに微孔質弾性体液を含浸さ
せてこれを加水反応させる従来の方法において、約10
℃の温度の水中で約100 〜700m/mHgに亘って約30分間
段階的に減圧した後これを常圧に復元して水の温度を約
30℃に高めて加水反応を完成させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、硝子類の鏡面(ミラ
ー)等を研磨する比較的繊細な研磨作業時に使用される
研磨具の研磨面を構成するフェルトパッドとその製造方
法に関し、特にフェルトを一定規格に切断積層してその
切断面を研磨面にするフェルトパッドに関するものであ
る。
ー)等を研磨する比較的繊細な研磨作業時に使用される
研磨具の研磨面を構成するフェルトパッドとその製造方
法に関し、特にフェルトを一定規格に切断積層してその
切断面を研磨面にするフェルトパッドに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のフェルトパッドは、羊毛
又は化学繊維のフェルトに微孔質弾性体(マイクロポー
ラス エラストマー)を含浸させて一定規格に切断しこ
れを積層構成したものであり、そのフェルトを構成する
繊維は一般の不織布のように不規則的に配列されたもの
もあり、又はカーディングを行って一定の方向性を有す
るように配列されたものもある。
又は化学繊維のフェルトに微孔質弾性体(マイクロポー
ラス エラストマー)を含浸させて一定規格に切断しこ
れを積層構成したものであり、そのフェルトを構成する
繊維は一般の不織布のように不規則的に配列されたもの
もあり、又はカーディングを行って一定の方向性を有す
るように配列されたものもある。
【0003】しかし、その構成繊維の間に含浸充填され
る弾性体は一般的に微孔質であってその単位気孔は極め
て微細なものでありかつ各々独立的に形成されているの
が特徴である。(その適切な例が米国特許第4,728,552
号、日本特許公開公報昭62-21857号、韓国特許第28348
号等である。)
る弾性体は一般的に微孔質であってその単位気孔は極め
て微細なものでありかつ各々独立的に形成されているの
が特徴である。(その適切な例が米国特許第4,728,552
号、日本特許公開公報昭62-21857号、韓国特許第28348
号等である。)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従って、従来のフェル
トパッドでは、研磨作業において研磨面に研磨用スラリ
ーを投入したときフェルトパッドの研磨面でそのスラリ
ーを充分吸収できないのは勿論、研磨熱の吸収能力も不
足であるため被研磨物の加熱、破損及びフェルト研磨面
の変質、又は被研磨物の表面に融着現象等の問題点が発
生することがあった。ここで微孔質弾性体(マイクロポ
ーラス エラストマー)の単位気孔の大きさを単純に拡
大させることが考えられるがこの場合フェルトを構成す
る各繊維の配列密度のためにそのような単純な気孔の拡
大には一定の限界がある。
トパッドでは、研磨作業において研磨面に研磨用スラリ
ーを投入したときフェルトパッドの研磨面でそのスラリ
ーを充分吸収できないのは勿論、研磨熱の吸収能力も不
足であるため被研磨物の加熱、破損及びフェルト研磨面
の変質、又は被研磨物の表面に融着現象等の問題点が発
生することがあった。ここで微孔質弾性体(マイクロポ
ーラス エラストマー)の単位気孔の大きさを単純に拡
大させることが考えられるがこの場合フェルトを構成す
る各繊維の配列密度のためにそのような単純な気孔の拡
大には一定の限界がある。
【0005】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたものであって、その気孔の形態を変更して単位
気孔の大きさを増大しまたその気孔に一定の方向性を与
えて研磨用スラリーの吸収能力をよくした研磨具のフェ
ルトパッド及びその製造方法を提供することを目的とし
ている。
なされたものであって、その気孔の形態を変更して単位
気孔の大きさを増大しまたその気孔に一定の方向性を与
えて研磨用スラリーの吸収能力をよくした研磨具のフェ
ルトパッド及びその製造方法を提供することを目的とし
ている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のフェルトパッドは、フェルト1のシートに
微孔質弾性体を含浸した微孔質製品において、フェルト
シート1の構成繊維2の配列密度を従来と同じくするか
又はそれよりもっと稠密にしながらその繊維の間に構成
される多数の単位微細孔が一定の方向に互いに相通され
て長さが長い多数の貫通孔を構成することによって、気
孔3の形態を従来と異にしまた、このように長く貫通し
て形成される気孔に一定の方向性を持たせたものであ
る。
に、本発明のフェルトパッドは、フェルト1のシートに
微孔質弾性体を含浸した微孔質製品において、フェルト
シート1の構成繊維2の配列密度を従来と同じくするか
又はそれよりもっと稠密にしながらその繊維の間に構成
される多数の単位微細孔が一定の方向に互いに相通され
て長さが長い多数の貫通孔を構成することによって、気
孔3の形態を従来と異にしまた、このように長く貫通し
て形成される気孔に一定の方向性を持たせたものであ
る。
【0007】上記の長い多数の通気孔3を構成するに当
っては、該通気孔3がフェルト1の構成繊維2の間で該
繊維と同一方向性を持たせることが効果的である。
っては、該通気孔3がフェルト1の構成繊維2の間で該
繊維と同一方向性を持たせることが効果的である。
【0008】このような研磨具のフェルトパッドを製造
する方法として、本発明においては、一定の規格に切断
したフェルト1のシートにポリウレタン、ジメチルホル
ムアミド、水溶性界面活性剤、ジイソシアネート等を混
合・熟成した発泡液である微孔質弾性体液を含浸させた
後その弾性体液を水槽内で加水分解させる公知の方法の
過程で、そのフェルトを受容するタンク内の空気圧と水
の温度との設定を操作し、水槽の水の温度を約10℃に
し、水槽を収蔵したタンク内の気圧を約30分間100 乃
至760 −5〜7m/mHg の範囲内で減圧した後常圧に復元
して水温を約30℃に上昇せしめ約30分間放置するよ
うにしたものである。
する方法として、本発明においては、一定の規格に切断
したフェルト1のシートにポリウレタン、ジメチルホル
ムアミド、水溶性界面活性剤、ジイソシアネート等を混
合・熟成した発泡液である微孔質弾性体液を含浸させた
後その弾性体液を水槽内で加水分解させる公知の方法の
過程で、そのフェルトを受容するタンク内の空気圧と水
の温度との設定を操作し、水槽の水の温度を約10℃に
し、水槽を収蔵したタンク内の気圧を約30分間100 乃
至760 −5〜7m/mHg の範囲内で減圧した後常圧に復元
して水温を約30℃に上昇せしめ約30分間放置するよ
うにしたものである。
【0009】上記タンク内の気圧の減圧に際しては、タ
ンク内の空気圧を100mm/Hgで約10分、次に300m/mHgで
約5分、それから約700mm/Hgで約15分ずつ段階的に変
更することが効果的である。また、上記フェルトシート
に発泡液を含浸させるに当っては、その構成繊維2が大
体垂直になるようにフェルトのシートを立てて水槽内の
水中に配列するとよく、さらにこの際、配列されたフェ
ルトシートの上方から吸気減圧するとよい。以下、上記
製造方法について詳述する。
ンク内の空気圧を100mm/Hgで約10分、次に300m/mHgで
約5分、それから約700mm/Hgで約15分ずつ段階的に変
更することが効果的である。また、上記フェルトシート
に発泡液を含浸させるに当っては、その構成繊維2が大
体垂直になるようにフェルトのシートを立てて水槽内の
水中に配列するとよく、さらにこの際、配列されたフェ
ルトシートの上方から吸気減圧するとよい。以下、上記
製造方法について詳述する。
【0010】即ち、微孔質弾性体液を含浸させた一定規
格のフェルト1のシートを水の温度が約10℃程度の水
槽内に立てて配列する。フェルト1がカーディングされ
たものである場合は構成繊維2の長手方向が上下になる
ように配列する。そしてその水槽が設置された減圧タン
ク内の空気圧を100 乃至760−5〜7m/mHg の範囲内で
約30分間に亘って段階的に減圧した後、常圧に復元し
て水槽の水の温度を30℃に約30分間維持し、その後
これを取出して常温の水で洗滌して乾燥する。
格のフェルト1のシートを水の温度が約10℃程度の水
槽内に立てて配列する。フェルト1がカーディングされ
たものである場合は構成繊維2の長手方向が上下になる
ように配列する。そしてその水槽が設置された減圧タン
ク内の空気圧を100 乃至760−5〜7m/mHg の範囲内で
約30分間に亘って段階的に減圧した後、常圧に復元し
て水槽の水の温度を30℃に約30分間維持し、その後
これを取出して常温の水で洗滌して乾燥する。
【0011】本発明で使用されるフェルト1のシート
は、その構成繊維2の長さが50〜76m/m である1.2
〜3デニールのポリエステル繊維であり、かつ厚さが約
5〜7.5m/m程度のカーディング又はランダム方式で生産
されたフェルト1であり、幅が約250m/m、また長さは約
450m/m程度に切断するが、ロール式研磨具の場合はその
長さを約30〜4mに切断して使用し、またフェルトが
カーディングされたものである場合はフェルト1の繊維
方向が幅方向に向うように切断する。
は、その構成繊維2の長さが50〜76m/m である1.2
〜3デニールのポリエステル繊維であり、かつ厚さが約
5〜7.5m/m程度のカーディング又はランダム方式で生産
されたフェルト1であり、幅が約250m/m、また長さは約
450m/m程度に切断するが、ロール式研磨具の場合はその
長さを約30〜4mに切断して使用し、またフェルトが
カーディングされたものである場合はフェルト1の繊維
方向が幅方向に向うように切断する。
【0012】そしてフェルトシート1に含浸させた微孔
質弾性体液は、ポリウレタン100 部(以下重量部)にジ
メチルホルムアミド(DMF) 約125 部と水溶性界面活性剤
約9.4 部を混合して常温で約24時間にわたって熟成さ
せた後、これにジイソシアネート約25部を混合して約
700RPMの混合機でもって18〜20分間攪拌することに
よって仮反応発泡体をつくる。なお、ここで使用される
フェルト1のシートとそれに含浸させる微孔質弾性体液
等は既に広く知られているものである。
質弾性体液は、ポリウレタン100 部(以下重量部)にジ
メチルホルムアミド(DMF) 約125 部と水溶性界面活性剤
約9.4 部を混合して常温で約24時間にわたって熟成さ
せた後、これにジイソシアネート約25部を混合して約
700RPMの混合機でもって18〜20分間攪拌することに
よって仮反応発泡体をつくる。なお、ここで使用される
フェルト1のシートとそれに含浸させる微孔質弾性体液
等は既に広く知られているものである。
【0013】そして、この発明において減圧タンクの減
圧の条件は3段階に分けて実施し、はじめの約10分間
は約100m/mHgにし、その次約5分間は約300m/mHgにす
る。この場合減圧条件を変えるときは徐々に変え、終り
に約15分間は約760 −5〜7m/mHg に調整減圧する。
このようにして減圧作業が終った後、タンク内の圧力を
常圧に復元し、また水槽の水の温度を約30℃程度に上
昇して含浸樹脂液の加水反応を最終的に完成してこれを
取出し充分に洗滌・乾燥することによって本発明の方法
により一定の方向性を持って長く形成された通気孔を有
するフェルトを得ることができるのである。こうして得
た多数枚のフェルトを長い通気孔3の方向が同一方向に
なるようにして積層・接着し、これを一定の形態に切断
して長い通気孔3とほぼ直角になる切断面が研磨面にな
るようにフェルトのパッドをつくり研磨具を構成するの
である。
圧の条件は3段階に分けて実施し、はじめの約10分間
は約100m/mHgにし、その次約5分間は約300m/mHgにす
る。この場合減圧条件を変えるときは徐々に変え、終り
に約15分間は約760 −5〜7m/mHg に調整減圧する。
このようにして減圧作業が終った後、タンク内の圧力を
常圧に復元し、また水槽の水の温度を約30℃程度に上
昇して含浸樹脂液の加水反応を最終的に完成してこれを
取出し充分に洗滌・乾燥することによって本発明の方法
により一定の方向性を持って長く形成された通気孔を有
するフェルトを得ることができるのである。こうして得
た多数枚のフェルトを長い通気孔3の方向が同一方向に
なるようにして積層・接着し、これを一定の形態に切断
して長い通気孔3とほぼ直角になる切断面が研磨面にな
るようにフェルトのパッドをつくり研磨具を構成するの
である。
【0014】
【作用】上記のごとく合成繊維のフェルトシートに微孔
質弾性体を含浸して一定方向に長く形成した多数の通気
孔を有するフェルトパッドを用い、該通気孔とほぼ直角
に切断面を形成して研磨面とした研磨具でもって研磨作
業をすると、長い通気孔3の切断口が研磨面に位置して
おり、かつその通気孔3の形態が長いため、研磨作業中
に投入された研磨用スラリーの吸収を容易にすると同時
にその吸収量を増大させて吸収作用が円滑となり、なお
かつその気孔内に吸収保有された研磨用スラリーが研磨
面に効果的に供給される。従って研磨効率を倍加するば
かりでなく研磨熱の吸収も良好となる。(この際、従来
のパッドでは、その気孔の形態がおのおの独立しており
なおかつ微細であるため、スラリーの吸収作用を充分に
なし得ない。)
質弾性体を含浸して一定方向に長く形成した多数の通気
孔を有するフェルトパッドを用い、該通気孔とほぼ直角
に切断面を形成して研磨面とした研磨具でもって研磨作
業をすると、長い通気孔3の切断口が研磨面に位置して
おり、かつその通気孔3の形態が長いため、研磨作業中
に投入された研磨用スラリーの吸収を容易にすると同時
にその吸収量を増大させて吸収作用が円滑となり、なお
かつその気孔内に吸収保有された研磨用スラリーが研磨
面に効果的に供給される。従って研磨効率を倍加するば
かりでなく研磨熱の吸収も良好となる。(この際、従来
のパッドでは、その気孔の形態がおのおの独立しており
なおかつ微細であるため、スラリーの吸収作用を充分に
なし得ない。)
【0015】また、長く形成した多数の通気孔3が、フ
ェルト1の構成繊維2の間でこれと同一方向性を持つこ
とは、フェルトに含浸された弾性体が各構成繊維2の外
周を囲んで補強するのでパッドの使用寿命を倍加させる
ように働く。
ェルト1の構成繊維2の間でこれと同一方向性を持つこ
とは、フェルトに含浸された弾性体が各構成繊維2の外
周を囲んで補強するのでパッドの使用寿命を倍加させる
ように働く。
【0016】このフェルトパッドを製造の際、本発明で
は、微孔質弾性体液が含浸されたフェルト1のシートを
幅が上下になるようにして水槽内に配列するが、このと
き水の温度が約10℃であり常温より低温であるため水
によるその含浸液の反応は徐々に起り、その反応はまた
フェルトの表皮部分より進行する。この際タンク内の空
気圧をゆっくり減圧して約100m/mHgで約10分間維持す
ればその減圧の程度があまり強くないので、未反応状態
のフェルト内の含浸液の反応は表皮より内部に向けて加
水分解作用が進行するとともに、この際、発生するガス
が噴出し始める。この際また約300m/mHg程度に減圧を変
えると上記作用はフェルトシート内部に進行する。ここ
でまた約700m/mHg程度に減圧を変えると、フェルトに含
浸させた発泡体に形成された微細な各単位気孔の内部に
ある空気が、含浸液の加水分解作用によって該含浸液か
ら噴出するジメチルホルムアミド(D.M.F) とともに外部
に吸収されながら、微細な各単位気孔等はそれを形成し
ている境界壁がその気孔内部の空気が吸収される方向に
向って破壊される。そして各微細気孔が互いに相通する
ことによって長い貫通孔が形成されると同時にその貫通
孔内部に水槽中の水が吸入されて加水分解作用がより進
行する。これによって本発明の特徴である一定の方向性
を有する長い通気孔がフェルトを構成する繊維の間に構
成される。
は、微孔質弾性体液が含浸されたフェルト1のシートを
幅が上下になるようにして水槽内に配列するが、このと
き水の温度が約10℃であり常温より低温であるため水
によるその含浸液の反応は徐々に起り、その反応はまた
フェルトの表皮部分より進行する。この際タンク内の空
気圧をゆっくり減圧して約100m/mHgで約10分間維持す
ればその減圧の程度があまり強くないので、未反応状態
のフェルト内の含浸液の反応は表皮より内部に向けて加
水分解作用が進行するとともに、この際、発生するガス
が噴出し始める。この際また約300m/mHg程度に減圧を変
えると上記作用はフェルトシート内部に進行する。ここ
でまた約700m/mHg程度に減圧を変えると、フェルトに含
浸させた発泡体に形成された微細な各単位気孔の内部に
ある空気が、含浸液の加水分解作用によって該含浸液か
ら噴出するジメチルホルムアミド(D.M.F) とともに外部
に吸収されながら、微細な各単位気孔等はそれを形成し
ている境界壁がその気孔内部の空気が吸収される方向に
向って破壊される。そして各微細気孔が互いに相通する
ことによって長い貫通孔が形成されると同時にその貫通
孔内部に水槽中の水が吸入されて加水分解作用がより進
行する。これによって本発明の特徴である一定の方向性
を有する長い通気孔がフェルトを構成する繊維の間に構
成される。
【0017】
【実施例】以下、その製法の実施例を工程別に詳述す
る。
る。
【0018】第1工程:フェルトシートの準備工程 長さ60m/m ・太さ2デニールのポリエステル系繊維で構
成されたカーディングフェルトを、構成繊維の長手方向
が幅の両端に向うようにして長さ450m/m・幅250m/mの大
きさに切断して多数のフェルトシートを得る。この際、
フェルトをロールにする場合即ち研磨パッドをロール式
にする場合はフェルトシートの長さを30mに切る。
成されたカーディングフェルトを、構成繊維の長手方向
が幅の両端に向うようにして長さ450m/m・幅250m/mの大
きさに切断して多数のフェルトシートを得る。この際、
フェルトをロールにする場合即ち研磨パッドをロール式
にする場合はフェルトシートの長さを30mに切る。
【0019】第2工程:含浸液準備工程 ポリウレタン100 部にジメチルホルムアミド(MDF)125部
と水溶性界面活性剤9.4 部を混合して常温の密閉容器に
入れて24時間熟成した後これにジイソシアネート25
部をさらに混合し700RPMの混合機でもって20分間攪拌
してフェルトシートに含浸すする仮反応状態の含浸剤を
得る。
と水溶性界面活性剤9.4 部を混合して常温の密閉容器に
入れて24時間熟成した後これにジイソシアネート25
部をさらに混合し700RPMの混合機でもって20分間攪拌
してフェルトシートに含浸すする仮反応状態の含浸剤を
得る。
【0020】第3工程:含浸工程 第1工程で得たフェルトシートに第2工程で得た液状含
浸剤を含浸させ、これをローリングして均一なる含浸を
確認する。
浸剤を含浸させ、これをローリングして均一なる含浸を
確認する。
【0021】第4工程:水浸工程 第3工程で得た樹脂液(含浸剤)が含浸された多数のフ
ェルトシートを、相互接触しないようにして10℃の水
が入れられている予備タンクで2分間水浸することによ
って、含浸剤が加水反応を起して含浸剤(樹脂液)が手
につかないようにする。これを予備タンクから取出し
て、減圧タンク底面に設置されまた10℃の水が入って
いる水槽の中に幅が上下になるように立てて配列して減
圧タンクを密閉する。以上はフェルトシートを450m/m×
250m/mに切断したものであるが、250m/m×30m に切って
ロール式にしたものは伸したままで予備タンク中で2分
間通過させて再びロールにするが、予備タンクを通過す
ると含浸液が水によって仮反応してロールにしても相互
接着しない。これを再びロールにして幅が上下方向にな
るように水槽に配列する。
ェルトシートを、相互接触しないようにして10℃の水
が入れられている予備タンクで2分間水浸することによ
って、含浸剤が加水反応を起して含浸剤(樹脂液)が手
につかないようにする。これを予備タンクから取出し
て、減圧タンク底面に設置されまた10℃の水が入って
いる水槽の中に幅が上下になるように立てて配列して減
圧タンクを密閉する。以上はフェルトシートを450m/m×
250m/mに切断したものであるが、250m/m×30m に切って
ロール式にしたものは伸したままで予備タンク中で2分
間通過させて再びロールにするが、予備タンクを通過す
ると含浸液が水によって仮反応してロールにしても相互
接着しない。これを再びロールにして幅が上下方向にな
るように水槽に配列する。
【0022】第5工程:減圧工程 この工程は本発明の核心工程であって、次の3段階に区
分して減圧タンク内の空気圧を減圧する。
分して減圧タンク内の空気圧を減圧する。
【0023】第1段階 密閉された上記減圧タンク内の空気圧を上側の排気口を
通じてゆっくり減圧して、内部の空気圧が100m/mHgにな
るようにして10分間持続する。このようにしてフェル
トシートの表面から含浸液の加水分解が進行するように
する。
通じてゆっくり減圧して、内部の空気圧が100m/mHgにな
るようにして10分間持続する。このようにしてフェル
トシートの表面から含浸液の加水分解が進行するように
する。
【0024】第2段階 タンク内の減圧状態を300m/mHgにゆっくり変更させてこ
の状態を5分間持続する。このとき、フェルトシートの
内部まで水の浸透が行われ加水分解作用がより一層加速
化して樹脂液(含浸剤)内部の空気と溶剤の噴出が始ま
る。
の状態を5分間持続する。このとき、フェルトシートの
内部まで水の浸透が行われ加水分解作用がより一層加速
化して樹脂液(含浸剤)内部の空気と溶剤の噴出が始ま
る。
【0025】第3段階 タンク内の空気圧を更に760 マイナス5乃至7m/mHg に
減圧してこの状態を15分間維持する。このとき、フェ
ルトシート内の発泡樹脂液はその反応作用がより進行し
ながら、発泡剤の気泡中の空気と樹脂に混合されたDMF
の噴出及び樹脂の反応作用で発生するガスが減圧による
物理的作用によって吸収されながらフェルトシートの構
成繊維の間に長い通路(空気、ガス、DMF の噴出通路)
が形成されると同時に、当初投入した6m/m 厚さのフェ
ルトシートもその厚さが5.5m/m程度に減少したことを確
認できる。ここで観察されたもうひとつの現象は長く形
成された通気孔が大体構成繊維の長手方向と同じ方向の
方向性を有したということである。
減圧してこの状態を15分間維持する。このとき、フェ
ルトシート内の発泡樹脂液はその反応作用がより進行し
ながら、発泡剤の気泡中の空気と樹脂に混合されたDMF
の噴出及び樹脂の反応作用で発生するガスが減圧による
物理的作用によって吸収されながらフェルトシートの構
成繊維の間に長い通路(空気、ガス、DMF の噴出通路)
が形成されると同時に、当初投入した6m/m 厚さのフェ
ルトシートもその厚さが5.5m/m程度に減少したことを確
認できる。ここで観察されたもうひとつの現象は長く形
成された通気孔が大体構成繊維の長手方向と同じ方向の
方向性を有したということである。
【0026】第6工程:加熱工程 第5工程が終った後タンク内の空気圧を常圧に復元する
と同時に水槽内の10℃の水の温度を30℃に高めて3
0分間放置する。このときフェルトシート内の各組織内
の皮膜に残留したDMFの発散が促進され、フェルトシ
ートに含浸した樹脂液は反応状態が完成する。
と同時に水槽内の10℃の水の温度を30℃に高めて3
0分間放置する。このときフェルトシート内の各組織内
の皮膜に残留したDMFの発散が促進され、フェルトシ
ートに含浸した樹脂液は反応状態が完成する。
【0027】第7工程:洗滌・乾燥工程 第6工程迄終った後フェルトシートを取出して水で通常
の方法で洗滌・乾燥して本発明を完成する。
の方法で洗滌・乾燥して本発明を完成する。
【0028】
【発明の効果】請求項1記載の本発明のフェルトパッド
によれば、フェルトシートに微孔質弾性体が含浸されて
一定方向に多数の長い通気孔が形成されていることか
ら、長い通気孔とほぼ直角方向に切断形成される研磨面
により、研磨作業中に投入された研磨スラリーの吸収作
用が円滑で研磨効率を大幅に上げることができるばかり
でなく、研磨熱の吸収も良くすることができる。
によれば、フェルトシートに微孔質弾性体が含浸されて
一定方向に多数の長い通気孔が形成されていることか
ら、長い通気孔とほぼ直角方向に切断形成される研磨面
により、研磨作業中に投入された研磨スラリーの吸収作
用が円滑で研磨効率を大幅に上げることができるばかり
でなく、研磨熱の吸収も良くすることができる。
【0029】請求項2記載の発明によれば、フェルトパ
ッドの多数の長い通気孔がフェルトの構成繊維の間で該
繊維と同一方向性を有するので、フェルトに含浸された
弾性体が各繊維の外周を囲んで補強するためパッドの使
用寿命を大幅に増やすことができる。
ッドの多数の長い通気孔がフェルトの構成繊維の間で該
繊維と同一方向性を有するので、フェルトに含浸された
弾性体が各繊維の外周を囲んで補強するためパッドの使
用寿命を大幅に増やすことができる。
【0030】請求項3記載の本発明の研磨具のフェルト
パッドの製造方法によれば、前記した製造方法を採用す
ることにより、製造時のフェルトに含浸された発泡液の
反応の過程で各微細気孔が互に相通し、容易に長い通気
孔をフェルトシートに形成することができる。
パッドの製造方法によれば、前記した製造方法を採用す
ることにより、製造時のフェルトに含浸された発泡液の
反応の過程で各微細気孔が互に相通し、容易に長い通気
孔をフェルトシートに形成することができる。
【0031】請求孔4記載の発明によれば、タンク内の
気圧の減圧を所定の各気圧で段階的に減圧して行くこと
により、多数の長い通気孔をより効率的に形成すること
ができる。
気圧の減圧を所定の各気圧で段階的に減圧して行くこと
により、多数の長い通気孔をより効率的に形成すること
ができる。
【0032】請求項5記載発明によれば、フェルトの構
成繊維が大体垂直になるようにフェルトシートを立てて
水槽内の水中に配列することにより、フェルトの構成繊
維の間に同一方向性を持つ多数の通気孔を容易に形成す
ることができる。
成繊維が大体垂直になるようにフェルトシートを立てて
水槽内の水中に配列することにより、フェルトの構成繊
維の間に同一方向性を持つ多数の通気孔を容易に形成す
ることができる。
【0033】請求項6記載の発明によれば、上記のごと
く配列されたフェルトシートの上方から吸気減圧するこ
とによりフェルトの構成繊維内に多数の通気孔を効率的
に形成すことができる。
く配列されたフェルトシートの上方から吸気減圧するこ
とによりフェルトの構成繊維内に多数の通気孔を効率的
に形成すことができる。
【図1】本発明のフェルトパッドの斜視図
【図2】本発明のフェルトパッドの一部拡大断面図
【図3】従来のフェルトパッドの一部拡大断面図であ
る。
る。
【符号の説明】 1 フェルト 2 繊維 3 気孔 4 研磨面。
Claims (6)
- 【請求項1】合成樹脂のフェルト1のシートに微孔質弾
性体を含浸してなるものにおいて、一定の方向に長く形
成した多数の通気孔3を有することを特徴とする研磨具
のフェルトパッド - 【請求項2】長く形成した多数の通気孔3が、フェルト
1の構成繊維2の間でこれと同一方向性を有することを
特徴とする請求項1記載の研磨具のフェルトパッド。 - 【請求項3】合成繊維のフェルト1のシートにポリウレ
タン、ジメチルホルムアミド、水溶性界面活性剤、ジイ
ソシアネート等を混合・熟成してなる発泡液を含浸させ
た後これを水槽内で加水分解させる方法において、その
加水分解過程で水槽の水の温度を約10℃にし、水槽を
収蔵したタンク内の気圧を約30分間100 乃至760 −5
〜7m/mHg に減圧した後常圧に復元して水温を約30℃
に上昇せしめ約30分間放置することを特徴とする請求
項1記載の研磨具のフェルトパッドの製造方法。 - 【請求項4】タンク内の空気圧を約100m/mHgで約10
分、次に約300m/mHgで約5分、それから約700m/mHgで約
15分ずつ段階的に変更することを特徴とする請求項3
記載の研磨具のフェルトパッドの製造方法。 - 【請求項5】構成繊維2が大体垂直になるようにフェル
ト1のシートを立てて水槽内の水中に配列することを特
徴とする請求項3又は4記載の研磨具のフェルトパッド
の製造方法。 - 【請求項6】配列されたフェルトシートの上方から吸気
減圧することを特徴とする請求項5記載の研磨具のフェ
ルトパッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3258504A JP2620997B2 (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | 研磨具のフェルトパッドとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3258504A JP2620997B2 (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | 研磨具のフェルトパッドとその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0593351A true JPH0593351A (ja) | 1993-04-16 |
JP2620997B2 JP2620997B2 (ja) | 1997-06-18 |
Family
ID=17321131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3258504A Expired - Lifetime JP2620997B2 (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | 研磨具のフェルトパッドとその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2620997B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100781050B1 (ko) * | 2006-03-02 | 2007-11-29 | 정진성 | 투명 혹은 반투명유리 연마용 연마구와 그 제조방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5337994A (en) * | 1976-09-21 | 1978-04-07 | Kuraray Co Ltd | Unwoven sheet for with abrasive tools and method of manufacture the same |
JPS6221857A (ja) * | 1985-07-15 | 1987-01-30 | ロ−デル・インコ−ポレイテツド | 所定配向の基質を包含する繊維及びその製造方法 |
JPH0291261A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-30 | Ichikawa Woolen Textile Co Ltd | 研磨用ニードルフェルト |
-
1991
- 1991-09-09 JP JP3258504A patent/JP2620997B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5337994A (en) * | 1976-09-21 | 1978-04-07 | Kuraray Co Ltd | Unwoven sheet for with abrasive tools and method of manufacture the same |
JPS6221857A (ja) * | 1985-07-15 | 1987-01-30 | ロ−デル・インコ−ポレイテツド | 所定配向の基質を包含する繊維及びその製造方法 |
JPH0291261A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-30 | Ichikawa Woolen Textile Co Ltd | 研磨用ニードルフェルト |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100781050B1 (ko) * | 2006-03-02 | 2007-11-29 | 정진성 | 투명 혹은 반투명유리 연마용 연마구와 그 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2620997B2 (ja) | 1997-06-18 |
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