JPH0590226A - Manufacture of semiconductor device - Google Patents
Manufacture of semiconductor deviceInfo
- Publication number
- JPH0590226A JPH0590226A JP4029018A JP2901892A JPH0590226A JP H0590226 A JPH0590226 A JP H0590226A JP 4029018 A JP4029018 A JP 4029018A JP 2901892 A JP2901892 A JP 2901892A JP H0590226 A JPH0590226 A JP H0590226A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- etching
- carbon film
- mask
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路等の半
導体装置の製造方法に係わり、特にドライエッチング工
程の改良をはかった半導体装置の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a semiconductor device such as a semiconductor integrated circuit, and more particularly to a method for manufacturing a semiconductor device with an improved dry etching process.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、半導体集積回路の進歩に伴い素子
の微細化は進む一方であり、パターン寸法の高精度化へ
の要求が高まっている。一般に、半導体集積回路はシリ
コン基板等の半導体基板上に所定のパターンの酸化シリ
コン等の絶縁性膜や、多結晶シリコン，アルミニウム，
銅，タングステン，シリサイド等の導電性膜等を積層す
ることによって形成される。2. Description of the Related Art In recent years, with the progress of semiconductor integrated circuits, the miniaturization of elements is advancing, and the demand for higher precision of pattern dimensions is increasing. Generally, a semiconductor integrated circuit includes an insulating film such as silicon oxide having a predetermined pattern on a semiconductor substrate such as a silicon substrate, polycrystalline silicon, aluminum,
It is formed by stacking conductive films such as copper, tungsten, and silicide.
【０００３】これらの膜を所望のパターンに加工するた
めの技術として、この膜上に感光性のレジストを塗布し
た後、光や紫外線を所望のパターンに従ってレジストを
露光し、現像によって露光部又は未露光部を選択的に除
去することによりレジストにパターンを形成するリソグ
ラフィ技術、次にこのレジストパターンをマスクとして
下地の膜をエッチング加工するドライエッチング技術、
さらにこのレジストを除去する剥離技術が用いられてい
る。As a technique for processing these films into a desired pattern, a photosensitive resist is coated on the film, and then the resist is exposed to light or ultraviolet rays according to the desired pattern, and the exposed portion or unexposed area is developed by development. A lithography technique for forming a pattern on a resist by selectively removing an exposed portion, and a dry etching technique for etching a base film using the resist pattern as a mask.
Further, a peeling technique for removing this resist is used.
【０００４】しかし、半導体素子の集積度の増大に伴
い、要求されるパターンの最小寸法及び寸法精度は小さ
くなる一方であり、最近では０．５μｍ以下の微細パタ
ーンの形成が必要となっている。このような微細領域の
パターンに対応するためには、上述したパターン形成の
ための技術に種々な問題が生じ、大幅な技術の向上が必
要とされる。However, with the increase in the degree of integration of semiconductor devices, the required minimum size and dimensional accuracy of the pattern are becoming smaller, and recently, it is necessary to form a fine pattern of 0.5 μm or less. In order to deal with such a pattern of a fine area, various problems occur in the technique for forming the pattern described above, and it is necessary to greatly improve the technique.
【０００５】以下に、これらの問題について具体的に説
明する。These problems will be specifically described below.
【０００６】現在、微細なレジストパターンを用いて、
下地の膜を加工する一つの方法として、プラズマを用い
るＲＩＥ技術が広く用いられている。この方法は、例え
ば一対の平行平板電極を具備した真空容器内に被加工膜
の堆積された基板を入れ、容器内を真空に引いた後、ハ
ロゲン元素等を含有する反応性のガスを導入し、高周波
電力の印加による放電によってガスをプラズマ化し、発
生したプラズマを用いて被加工膜をエッチングする方法
である。Currently, using a fine resist pattern,
As one method of processing the underlying film, the RIE technique using plasma is widely used. In this method, for example, the substrate on which the film to be processed is deposited is placed in a vacuum container equipped with a pair of parallel plate electrodes, the interior of the container is evacuated, and then a reactive gas containing a halogen element or the like is introduced. In this method, a gas is turned into plasma by discharge by applying high-frequency power, and a film to be processed is etched using the generated plasma.
【０００７】このエッチング方法によれば、プラズマ中
の各種の粒子のうち、イオンが電極表面のイオンシース
に発生する直流電界によって加速され、大きなエネルギ
ーを持って被加工膜を衝撃し、イオン促進化学反応を起
こす。このため、エッチングはイオンの入射方向に進
み、アンダーカットのない方向性エッチングが可能とな
る。According to this etching method, among various particles in plasma, ions are accelerated by the DC electric field generated in the ion sheath on the electrode surface, impact the film to be processed with a large amount of energy, and ion-enhancing chemical Cause a reaction. Therefore, the etching proceeds in the ion incident direction, and directional etching without undercut is possible.
【０００８】しかし、このイオン衝撃によってあらゆる
材料が励起又は活性化されるため、ラジカルだけを利用
するエッチングに比べると、物質固有の反応性の差がで
にくく、一般に材料の違いによるエッチング速度の比、
即ち選択比が小さいことがある。例えば、Ａｌのエッチ
ングではレジストのエッチング速度が大きいため、パタ
ーン変換差が大きく高精度にパターンを形成できない。
さらに、段差形状部ではレジストの膜厚が薄くなるため
に、配線部分がエッチングされて配線切れが生じる等の
問題がある。However, since all the materials are excited or activated by this ion bombardment, the difference in reactivity peculiar to the substance is less likely to occur as compared with the etching using only radicals, and the etching rate ratio is generally different depending on the material. ,
That is, the selection ratio may be small. For example, in the case of Al etching, since the etching rate of the resist is high, the pattern conversion difference is large and a pattern cannot be formed with high precision.
Further, in the step-shaped portion, the film thickness of the resist becomes thin, so that there is a problem that the wiring portion is etched and the wiring is broken.
【０００９】この問題を解決するために、Ａｌのエッチ
ングにおいてＡｌ上に多層レジストを形成し、高アスペ
クト比を有するパターンを形成し、これをマスクとして
Ａｌをエッチングする方法が行われている。In order to solve this problem, a method of forming a multi-layer resist on Al in the etching of Al to form a pattern having a high aspect ratio, and etching Al using this as a mask is used.
【００１０】多層レジストにおいては、例えば３層レジ
ストプロセスの場合、まず凹凸のある基板上に有機質の
膜を塗布して平坦化する。次いで、中間層としてシリコ
ン酸化物等の無機膜を形成する。そして、上層のレジス
トを塗布し、通常のリソグラフィ手段により最上層レジ
ストパターンを形成する。このようにして３層のレジス
トを形成した後、最上層レジストパターンをマスクとし
て、ハロゲンを含有するガスをエッチングガスとして用
いた反応性イオンエッチング等の異方性エッチングによ
り中間層をエッチングし、続いて酸素を含むガスを用い
て下層の平坦化層をエッチングしてレジストパターンを
転写する。In the case of a multi-layer resist, for example, in the case of a three-layer resist process, first, an organic film is applied on a substrate having irregularities to flatten it. Next, an inorganic film such as silicon oxide is formed as an intermediate layer. Then, the upper layer resist is applied, and the uppermost layer resist pattern is formed by the usual lithography means. After forming the three-layer resist in this manner, the intermediate layer is etched by anisotropic etching such as reactive ion etching using a gas containing halogen as an etching gas, using the uppermost layer resist pattern as a mask. Then, the lower flattening layer is etched using a gas containing oxygen to transfer the resist pattern.
【００１１】従って、３層レジスト法では、下層レジス
トにより基板平坦化が行われ、上層の高解像のレジスト
を用いてこれをパターンニングすることにより、下地の
凹凸の影響を受けることなく、良好に露光現像を行うこ
とができ、高解像で寸法精度の良いレジストパターンを
形成することができる。しかしながら、３層レジストで
は、工程数が極めて複雑であり、コストが増大する。高
アスペクト比であるため、被加工層のエッチング時にマ
イクロローディング効果が生じ、パターン線幅にエッチ
ング速度が大きく依存する等の問題が生じる。Therefore, in the three-layer resist method, the substrate is flattened by the lower layer resist and patterned by using the upper layer high resolution resist, which is good without being affected by the unevenness of the base. Can be exposed and developed, and a resist pattern with high resolution and high dimensional accuracy can be formed. However, with a three-layer resist, the number of steps is extremely complicated and the cost increases. Since the aspect ratio is high, a microloading effect occurs during etching of the layer to be processed, and there arises a problem that the etching rate greatly depends on the pattern line width.
【００１２】そこで、上記問題を解決するために２層レ
ジストが用いられている。この方法では、被エッチング
膜上にエッチング耐性の大きいシリコン酸化膜等の無機
膜を形成する。そして、この無機膜上にレジストを塗布
し、通常のリソグラフィ手段によりレジストパターンを
形成する。このようにして２層レジストを形成した後、
レジストパターンをマスクとしてハロゲンを含有するガ
スをエッチングガスとして用いた反応性イオンエッチン
グ等の異方性エッチングにより、無機膜をエッチングす
る。続いて、レジストを剥離し、無機膜パターン単体を
マスクとして反応性イオンエッチングにより、被エッチ
ング膜を加工する。Therefore, a two-layer resist is used to solve the above problem. In this method, an inorganic film such as a silicon oxide film having high etching resistance is formed on the film to be etched. Then, a resist is applied on this inorganic film, and a resist pattern is formed by an ordinary lithography means. After forming the two-layer resist in this way,
The inorganic film is etched by anisotropic etching such as reactive ion etching using a gas containing halogen as an etching gas using the resist pattern as a mask. Then, the resist is peeled off, and the film to be etched is processed by reactive ion etching using the inorganic film pattern simple substance as a mask.
【００１３】従って、２層レジスト法では、３層レジス
ト法に比べて工程数が簡略されるため、コストは低減さ
れる。さらに、エッチング耐性の大きな無機膜がエッチ
ングマスクとして作用するために、被エッチング膜との
間で大きなエッチング選択比が得られ、高精度の加工が
可能となる。また、無機膜単体をエッチングマスクとし
て用いた場合には、無機膜の膜厚を制御することによ
り、アスペクト比の小さなマスクパターンが得られるた
めに、マイクロローディング効果を抑制することも可能
となる。Therefore, in the two-layer resist method, the number of steps is simplified as compared with the three-layer resist method, so that the cost is reduced. Furthermore, since the inorganic film having a high etching resistance acts as an etching mask, a large etching selection ratio with respect to the film to be etched can be obtained, and high-precision processing can be performed. Further, when the inorganic film alone is used as an etching mask, a mask pattern having a small aspect ratio can be obtained by controlling the film thickness of the inorganic film, so that the microloading effect can be suppressed.
【００１４】ところで、このような３層レジスト或いは
２層レジストの最大の問題は、これらの多層レジスト構
造における無機膜等のマスクの剥離が困難な点にある。By the way, the biggest problem with such a three-layer resist or a two-layer resist is that it is difficult to remove a mask such as an inorganic film in these multilayer resist structures.
【００１５】通常、マスクの剥離工程では、レジストを
下地の材料に応じて硫酸や過酸化水素水等を用いて溶解
せしめるか、或いは酸素ガスを用いたプラズマアッシン
グ法により除去するのが一般的である。しかし、上述し
た多層レジスト法により形成したマスクは、シリコン酸
化膜等の無機膜層を含有している。このために、上記に
示したようなマスク剥離手段で除去できるのは、有機質
の膜のみであり、無機系のマスクは除去するのが極めて
困難である。Generally, in the mask stripping process, the resist is generally dissolved by using sulfuric acid, hydrogen peroxide solution, or the like depending on the material of the base, or removed by a plasma ashing method using oxygen gas. is there. However, the mask formed by the above-mentioned multilayer resist method contains an inorganic film layer such as a silicon oxide film. For this reason, only the organic film can be removed by the mask stripping means as described above, and it is extremely difficult to remove the inorganic mask.
【００１６】また、これらの無機質のマスクを弗素や塩
素等のハロゲンを含んだガス等を用いてドライエッチン
グにより除去することは可能であるが、同時に下地の被
処理基板のシリコン酸化膜やシリコン或いはＡｌ等まで
がダメージを受けてしまうという問題があった。Although it is possible to remove these inorganic masks by dry etching using a gas containing halogen such as fluorine or chlorine, at the same time, the silicon oxide film or silicon of the underlying substrate to be processed or There is a problem that even Al and the like are damaged.
【００１７】さらに、マスク材料としてシリコン酸化膜
等の絶縁性膜を用いた場合、プラズマを用いたエッチン
グ方法においては、プラズマ中のイオンと電子が被エッ
チング膜中に入射される。これらの膜中に入射するイオ
ンや電子により、膜には電荷が蓄積される（チャージア
ップ）。例えば、マスクパターンに対して電子が斜めか
ら入射すると片方の壁にだけ当たるため、左右のマスク
パターンの壁に蓄積される電荷が相異なってくる。その
電荷の非対称の結果、壁の左右方向に新たに生じた電界
がイオンに作用して運動方向を曲げ、形状の異方性を劣
化させてしまうという問題があり、微細なパターンを高
精度にエッチングすることが困難であった。Further, when an insulating film such as a silicon oxide film is used as the mask material, in the etching method using plasma, ions and electrons in the plasma are incident on the film to be etched. Charges are accumulated in the film (charge-up) by the ions and electrons incident on these films. For example, when electrons are obliquely incident on the mask pattern, they hit only one wall, so that the charges accumulated on the walls of the left and right mask patterns are different from each other. As a result of the asymmetry of the charges, there is a problem that a new electric field generated in the lateral direction of the wall acts on the ions to bend the movement direction and deteriorate the anisotropy of the shape. It was difficult to etch.
【００１８】また、金属材料、特にＡｌＳｉＣｕ等をエ
ッチングする場合、エッチングマスクであるレジスト膜
を剥離した後、放置すると腐食（コロージョン）が生
じ、デバイス特性を劣化させるという問題が生じ、高信
頼性を有したデバイス作成が困難であった。Further, when etching a metal material, particularly AlSiCu, etc., if the resist film as an etching mask is peeled off and then left to stand, corrosion (corrosion) occurs, which causes a problem of degrading device characteristics, resulting in high reliability. It was difficult to make the device.
【００１９】なお、他の技術として、マスク材料として
炭素膜を用い、被エッチング材料のウェットエッチング
を行う方法が提案されている（特開平 2-58221号公
報）。この技術は、炭素膜の耐薬品性が高いことに基づ
き、エッチングマスクとして耐薬品性に優れている炭素
膜を用い、弗酸などの酸を利用したウェットエッチング
を行ったものである。しかしながら、ウェットエッチン
グでは、現在の半導体素子の微細化に対応するのは困難
であり、さらに今後の半導体素子の微細化に対応するこ
とは不可能である。As another technique, a method has been proposed in which a carbon film is used as a mask material and a material to be etched is wet-etched (Japanese Patent Laid-Open No. 2-58221). This technique uses a carbon film having excellent chemical resistance as an etching mask based on the high chemical resistance of the carbon film, and performs wet etching using an acid such as hydrofluoric acid. However, it is difficult for wet etching to cope with the present miniaturization of semiconductor elements, and it is impossible to cope with future miniaturization of semiconductor elements.
【００２０】[0020]
【発明が解決しようとする課題】このように従来、反応
性イオンエッチング技術により、被処理基体を異方的に
加工する際には、次の (1)〜(7) に示すような問題があ
った。 (1) エッチングマスクの被エッチング材料に対するドラ
イエッチング選択比が小さいため、加工中のエッチング
マスク材料の膜減りが激しく、高精度のパターンを得る
ことができない。 (2) マスク材料が有機質であったり、ＳｉＯ2 膜のよう
な絶縁性膜の場合においては、プラズマ中でこれらの膜
中に入射するイオンと電子のバランスによりマスク中に
蓄積される電荷量により、マスクパターンがチャージア
ップし、これにより、イオンの入射方向が曲げられるた
めに、微細なパターンを高精度に加工できない。 (3) マスク材料と被エッチング材料、さらには周辺に隣
接する材料との組み合せによっては、被エッチング材料
や周辺に隣接する材料に全く損傷を与えずにマスク材料
を選択的に除去することは不可能である場合があった。 (4) 反応性イオンエッチング中に被処理膜中の温度が上
昇すると、マスク材料の耐熱性が低いためにマスクパタ
ーンに劣化を生じ、高精度の加工ができない。さらに、
意図的にエッチング中の基板温度を上昇させたい場合に
は、上記問題により上昇させる基板温度に上限があり、
被処理基体を十分にエッチングすることが不可能であ
る。 (5) 有機質膜をマスク材料として用いた場合には、膜中
に不純物が含有されているために、反応性イオンエッチ
ング中にこれらの不純物がプラズマ中に混入し、被処理
基体が汚染される。特に、被処理基体が金属材料である
場合は、汚染に誘起された腐食（コロージョン）が生じ
るという問題があり、高信頼性を有するデバイスを得る
ことは不可能である。 (6) 有機質膜やＳｉＯ2 等の絶縁膜或いはＴｉ等の金属
膜は、特定の化学薬品処理に対して、溶解、浸食、腐食
等の作用を受け、化学薬品処理により容易にダメージを
生じる。 (7) 段差形状を有した膜の加工においては、凹凸面を有
機物等で平坦化し、平坦化面に高精度レジストパターン
を形成する手段（多層レジストプロセス）が用いられ
る。この場合、レジストパターンのアスペクト比が高く
なり、エッチング速度のパターン寸法依存性（マイクロ
ローディング効果）が顕著となり、高精度のエッチング
は困難となる。さらに、エッチングに用いたレジストパ
ターンが容易に剥離できない。As described above, conventionally, when the substrate to be processed is anisotropically processed by the reactive ion etching technique, the following problems (1) to (7) occur. there were. (1) Since the dry etching selection ratio of the etching mask to the material to be etched is small, the film thickness of the etching mask material during processing is severely reduced, and a highly accurate pattern cannot be obtained. (2) When the mask material is organic or is an insulating film such as a SiO 2 film, the amount of charge accumulated in the mask depends on the balance of ions and electrons incident on these films in plasma. However, the mask pattern is charged up, and the incident direction of ions is bent, so that a fine pattern cannot be processed with high precision. (3) Depending on the combination of the mask material, the material to be etched, and the material adjacent to the periphery, it is not possible to selectively remove the mask material without damaging the material to be etched or the material adjacent to the periphery. Sometimes it was possible. (4) If the temperature in the film to be processed rises during reactive ion etching, the mask material deteriorates due to the low heat resistance of the mask material, and highly accurate processing cannot be performed. further,
If you want to intentionally raise the substrate temperature during etching, there is an upper limit to the substrate temperature that can be raised due to the above problems.
It is impossible to sufficiently etch the substrate to be processed. (5) When an organic film is used as a mask material, since impurities are contained in the film, these impurities are mixed into the plasma during reactive ion etching to contaminate the substrate to be processed. .. In particular, when the substrate to be processed is a metal material, there is a problem that corrosion (corrosion) induced by contamination occurs, and it is impossible to obtain a highly reliable device. (6) The organic film, the insulating film such as SiO 2 or the metal film such as Ti is subjected to the action of dissolution, erosion, corrosion and the like with respect to a specific chemical treatment, and is easily damaged by the chemical treatment. (7) In processing a film having a step shape, a means (multilayer resist process) is used for flattening the uneven surface with an organic material or the like and forming a highly accurate resist pattern on the flattened surface. In this case, the aspect ratio of the resist pattern becomes high, the pattern size dependence of the etching rate (microloading effect) becomes remarkable, and high-precision etching becomes difficult. Further, the resist pattern used for etching cannot be easily peeled off.
【００２１】本発明は、上記事情を考慮してなされたも
ので、その目的とするところは、ドライエッチング技術
において被処理基体を異方性エッチングする際に、マス
ク材料に起因する各種の問題（被加工膜とのエッチング
選択比，チャージアップ，マスク剥離時における損傷，
耐熱性，被処理基体の汚染等）をなくすことができ、高
精度のパターン形成が可能な半導体装置の製造方法を提
供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to solve various problems caused by a mask material when anisotropically etching a substrate to be processed in a dry etching technique ( Etching selectivity to the film to be processed, charge-up, damage during mask stripping,
It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a semiconductor device, which can eliminate heat resistance, contamination of a substrate to be processed, etc. and can form a pattern with high precision.
【００２２】[0022]
【課題を解決するための手段】本発明の骨子は、被加工
膜上にドライエッチングのエッチングマスクとして、炭
素膜を形成し、この炭素膜をマスクとして被加工膜をド
ライエッチングすることにある。The essence of the present invention is to form a carbon film on a film to be processed as an etching mask for dry etching, and dry-etch the film to be processed using this carbon film as a mask.
【００２３】即ち本発明は、半導体装置の製造方法にお
いて、被処理基体表面上に炭素膜を被着したのち、この
炭素膜上に所定のレジストパターンを形成し、このレジ
ストパターンをマスクとして炭素膜をエッチングし、次
いで炭素膜パターンに沿って被処理基体をドライエッチ
ングすることを特徴としている。That is, according to the present invention, in the method of manufacturing a semiconductor device, after depositing a carbon film on the surface of a substrate to be processed, a predetermined resist pattern is formed on the carbon film, and the carbon film is used as a mask. Is etched, and then the substrate to be processed is dry-etched along the carbon film pattern.
【００２４】ここで、本発明における望ましい実施態様
としては、次のものが上げられる。The following are preferred embodiments of the present invention.
【００２５】(1) 炭素膜のエッチング工程において、
エッチングガスとして、酸素，窒素，ハロゲンガス又は
アルゴン，クリプトン，キセノンなどの不活性ガス或い
は水素或いはフルオロカ−ボンガスのいずれかのガスを
用いること。(1) In the carbon film etching step,
As the etching gas, use oxygen, nitrogen, a halogen gas, an inert gas such as argon, krypton, or xenon, or hydrogen or a fluorocarbon gas.
【００２６】(2) 被処理基体の温度は、−１００℃以
上５０℃以下の範囲で温度制御されること。(2) The temperature of the substrate to be treated should be controlled within the range of -100 ° C to 50 ° C.
【００２７】(3) 炭素膜は、スパッタリング法、真空
蒸着法、或いはＣＶＤ法により成膜すること。(3) The carbon film should be formed by a sputtering method, a vacuum evaporation method, or a CVD method.
【００２８】(4) 被処理基体の異方性エッチング工程
後、該基体を真空容器内に設置し、酸素ガスを含むエッ
チングガスを用いて、炭素膜を除去する工程を含むこ
と。(4) After the step of anisotropically etching the substrate to be processed, the step of placing the substrate in a vacuum container and removing the carbon film by using an etching gas containing oxygen gas is included.
【００２９】(5) 被処理基体として、アルミニウムを
含む金属又は合金膜を用い、エッチングガスとして、塩
素或いは臭素を含むガスを用いること。(5) A metal or alloy film containing aluminum is used as the substrate to be treated, and a gas containing chlorine or bromine is used as the etching gas.
【００３０】(6) 被処理基体として、アルミニウムを
含む金属又は合金膜を用い、レジストを剥離する工程
後、被処理基体を洗浄してから、エッチングガスとして
塩素又は臭素を含むガスを用いて、被処理基体を異方的
にエッチングすること。(6) A metal or alloy film containing aluminum is used as the substrate to be processed, and after the step of removing the resist, the substrate to be processed is washed and then a gas containing chlorine or bromine is used as an etching gas. Anisotropically etching the substrate to be processed.
【００３１】(7) 被処理基体として、アルミニウムを
含む金属又は合金膜を用い、カ−ボンを被着する工程
前、被処理基体を酸素ガスを用いてプラズマ処理するこ
と。(7) A metal or alloy film containing aluminum is used as the substrate to be treated, and the substrate to be treated is plasma-treated with oxygen gas before the step of depositing carbon.
【００３２】(8)レジストパターンを剥離する手段とし
て被処理基体を真空容器内に設置し、該容器とは別の領
域で、少なくとも弗素元素を含むガスと酸素ガスからな
る混合ガスを励起し、励起により生成される活性種を真
空容器内に供給するダウンフローエッチングを用いるこ
と。(8) As a means for peeling off the resist pattern, the substrate to be treated is placed in a vacuum container, and a mixed gas consisting of a gas containing at least a fluorine element and an oxygen gas is excited in a region different from the container, Using down-flow etching in which active species generated by excitation are supplied into a vacuum vessel.
【００３３】(9)有機質膜よりなる所定のマスクパター
ンにおいて、該有機質膜には不純物が含有されているこ
と。(9) In a predetermined mask pattern made of an organic film, the organic film contains impurities.
【００３４】その他の実施態様を以下に示す。Other embodiments will be shown below.
【００３５】(1) シリコン基板表面上に炭素膜を被着し
たのち、この炭素膜上に有機レジストパターンを形成
し、次いでこのレジストパターンをマスクとして炭素膜
をエッチングし、次いでレジストを剥離し、次いで被処
理基体を真空容器内に設置し、該容器内に塩素，弗素又
は臭素を含むガスを導入すると共に放電を誘起してプラ
ズマを生成し、炭素膜パターンをマスクとしてシリコン
基板を異方性エッチングして溝を形成する。(1) After depositing a carbon film on the surface of a silicon substrate, an organic resist pattern is formed on this carbon film, then the carbon film is etched using this resist pattern as a mask, and then the resist is peeled off, Then, the substrate to be processed is placed in a vacuum container, a gas containing chlorine, fluorine or bromine is introduced into the container, and discharge is induced to generate plasma. The carbon film pattern is used as a mask to anisotropy the silicon substrate. Etch to form grooves.
【００３６】(2) また、半導体基板の表面に互いに電気
的に分離して設けられた導電型のソース・ドレイン領域
と、該領域間のチャンネルを含む基板表面にゲート絶縁
膜を介して設けられたゲート電極とを有するＬＤＤ構造
のＭＩＳ型半導体装置の製造方法において、ゲート電極
をマスクとして基板にイオン注入を行い低濃度不純物層
を形成したのち、ゲート電極を有する基板表面上に絶縁
膜形成し、次いでこの絶縁膜上に炭素膜を形成し、次い
で酸素を用いた異方性エッチングにより炭素膜をエッチ
バックしてゲート電極の側壁にのみ炭素膜を残存させ、
次いでゲート電極及び側壁の炭素膜をマスクとして基板
にイオン注入を行い高濃度不純物層を形成する。(2) In addition, a conductive type source / drain region is provided on the surface of the semiconductor substrate so as to be electrically isolated from each other, and a channel insulating film is provided on the substrate surface including a channel between the regions. In the method for manufacturing an MIS type semiconductor device having an LDD structure having a gate electrode, a low concentration impurity layer is formed by implanting ions into the substrate using the gate electrode as a mask, and then an insulating film is formed on the surface of the substrate having the gate electrode. Then, a carbon film is formed on this insulating film, and then the carbon film is etched back by anisotropic etching using oxygen to leave the carbon film only on the side wall of the gate electrode.
Next, using the gate electrode and the carbon film on the side wall as a mask, ions are implanted into the substrate to form a high-concentration impurity layer.
【００３７】(3) 透光性絶縁基板表面上に形成されたゲ
ート電極，該ゲート電極上に絶縁膜を介して形成された
半導体膜，該半導体膜上に形成されたソース・ドレイン
電極及び該ソース・ドレイン電極間の半導体膜上に形成
された保護膜を有する薄膜トランジスタの製造方法にお
いて、ゲート電極，ソース・ドレイン電極，半導体膜及
び保護膜をそれぞれパターニングするに際し、パターニ
ングすべき被加工膜上に炭素膜を被着したのち、この炭
素膜上に有機レジストパターンを形成し、次いでこのレ
ジストパターンをマスクとして炭素膜をエッチングし、
次いでハロゲンを含むエッチングガスを用いたプラズマ
エッチングにより、炭素膜をマスクとして被加工膜を異
方性エッチングする。(3) A gate electrode formed on the surface of the translucent insulating substrate, a semiconductor film formed on the gate electrode via an insulating film, source / drain electrodes formed on the semiconductor film, and In a method of manufacturing a thin film transistor having a protective film formed on a semiconductor film between a source / drain electrode, in patterning a gate electrode, a source / drain electrode, a semiconductor film and a protective film, a film to be processed is to be patterned. After depositing the carbon film, an organic resist pattern is formed on this carbon film, and then the carbon film is etched using this resist pattern as a mask.
Then, by plasma etching using an etching gas containing halogen, the film to be processed is anisotropically etched using the carbon film as a mask.
【００３８】(4) 半導体装置の製造方法において、基板
表面上にシリコン酸化膜が形成された被処理基体上に炭
素膜を被着した後、この炭素膜上に有機レジストパター
ンを形成し、次いでこのレジストパターンをマスクとし
て炭素膜をエッチングし、次いで被処理基体を真空容器
内に設置し、該容器内にフルオロカ−ボンガス又はフル
オロカ−ボンガスと酸化数４未満の炭素酸化物ガス例え
ば一酸化炭素ガスとの混合ガスを含むエッチングガスを
導入すると共に、放電を誘起してプラズマを生成し、炭
素膜パターンに沿ってシリコン酸化膜を異方性エッチン
グする。(4) In the method of manufacturing a semiconductor device, after depositing a carbon film on a substrate to be processed having a silicon oxide film formed on the surface of a substrate, an organic resist pattern is formed on the carbon film, and then, The carbon film is etched by using this resist pattern as a mask, and then the substrate to be treated is placed in a vacuum container, and a fluorocarbon gas or a fluorocarbon gas and a carbon oxide gas having an oxidation number of less than 4 such as carbon monoxide gas is placed in the container. While introducing an etching gas containing a mixed gas of and, a discharge is induced to generate plasma, and the silicon oxide film is anisotropically etched along the carbon film pattern.
【００３９】(5) 半導体装置の製造方法において、基板
表面上に銅膜が形成された被処理基体上に炭素膜を被着
したのち、この炭素膜上に有機レジストパターンを形成
し、次いでこのレジストパターンをマスクとして炭素膜
をエッチングし、次いでレジストパターンを剥離し、次
いで被処理基体を真空容器内に設置し、該容器内に塩素
又は臭素を含むエッチングガスを導入すると共に放電を
誘起してプラズマを生成し、炭素膜パターンをマスクと
して銅膜を異方性エッチングする。さらに、より望まし
くは、基体の温度を２００℃以上の温度に制御する。(5) In a method of manufacturing a semiconductor device, a carbon film is deposited on a substrate to be processed having a copper film formed on the surface of a substrate, an organic resist pattern is formed on the carbon film, and then the organic resist pattern is formed. The carbon film is etched by using the resist pattern as a mask, the resist pattern is then peeled off, the substrate to be treated is placed in a vacuum vessel, and an etching gas containing chlorine or bromine is introduced into the vessel to induce discharge. Plasma is generated, and the copper film is anisotropically etched using the carbon film pattern as a mask. Furthermore, more desirably, the temperature of the substrate is controlled to a temperature of 200 ° C. or higher.
【００４０】(6) 露光マスクの製造方法において、透光
性基板表面上に不透明膜又はシリコン酸化膜が形成され
た被処理基体上に炭素膜を被着したのち、この炭素膜上
に有機レジストパターンを形成し、次いでこのレジスト
パターンをマスクとして炭素膜をエッチングし、次いで
被処理基体を真空容器内に設置し、該容器内にハロゲン
を主成分としたエッチングガスを導入すると共に放電を
誘起してプラズマを生成し、炭素膜パターンに沿って不
透明膜又はシリコン酸化膜を異方性エッチングする。(6) In the method of manufacturing an exposure mask, a carbon film is deposited on a substrate to be processed having an opaque film or a silicon oxide film formed on the surface of a transparent substrate, and then an organic resist is deposited on the carbon film. A pattern is formed, then the carbon film is etched using this resist pattern as a mask, then the substrate to be treated is placed in a vacuum vessel, and an etching gas mainly containing halogen is introduced into the vessel and discharge is induced. Plasma is generated to anisotropically etch the opaque film or the silicon oxide film along the carbon film pattern.
【００４１】(7) 半導体装置の製造方法において、表面
に溝及び／又は段差を有する被処理基体上に膜を被着
し、被処理基体表面を平坦化する工程と、全面に炭素膜
を被着する工程と、前記炭素膜上に第１のマスクパター
ンを形成する工程と、前記第１のマスクパターンをマス
クとして前記炭素膜をエッチングし、前記炭素膜からな
る第２のマスクパタ−ンを形成する工程と、前記被処理
基体を真空容器内に設置し、該容器内にハロゲンを主成
分としたエッチングガスを導入すると共に放電を誘起し
てプラズマを生成し、前記第２のマスクパターンに沿っ
て前記被処理基体を異方性エッチングする工程とを含
む。(7) In the method of manufacturing a semiconductor device, a step of depositing a film on a substrate to be processed having a groove and / or a step on the surface and flattening the surface of the substrate to be processed, and a carbon film on the entire surface. And a step of forming a first mask pattern on the carbon film, and the carbon film is etched by using the first mask pattern as a mask to form a second mask pattern of the carbon film. And a step of placing the substrate to be processed in a vacuum container, introducing an etching gas containing halogen as a main component into the container, and inducing a discharge to generate plasma, which follows the second mask pattern. And anisotropically etching the substrate to be processed.
【００４２】(8) 半導体装置の製造方法において、表面
に溝及び／又は段差を有する被処理基体上に炭素膜を被
着する工程と、この炭素膜を被着した被処理基体上に膜
を形成する工程と、前記炭素膜が露出するまでエッチン
グし、炭素膜を被着した被処理基体表面を平坦化する工
程と、前記炭素膜上に第１のマスクパターンを形成する
工程と、前記第１のマスクパターンをマスクとして前記
炭素膜をエッチングし、前記炭素膜からなる第２のマス
クパタ−ンを形成する工程と、前記被処理基体を真空容
器内に設置し、該容器内にハロゲンを主成分としたエッ
チングガスを導入すると共に放電を誘起してプラズマを
生成し、前記第２のマスクパターンに沿って前記被処理
基体を異方性エッチングする工程とを含む。(8) In the method of manufacturing a semiconductor device, a step of depositing a carbon film on a substrate to be treated having a groove and / or a step on the surface, and a film on the substrate to be treated having the carbon film deposited thereon. A step of forming, a step of etching until the carbon film is exposed and a surface of the substrate to be treated on which the carbon film is deposited being flattened, a step of forming a first mask pattern on the carbon film, The carbon film is etched using the mask pattern No. 1 as a mask to form a second mask pattern made of the carbon film, and the substrate to be processed is placed in a vacuum container, and halogen is mainly contained in the container. Introducing an etching gas as a component and inducing an electric discharge to generate plasma, and anisotropically etching the substrate to be processed along the second mask pattern.
【００４３】(9) 半導体装置の製造方法において、表面
上に単結晶シリコン、多結晶シリコン、金属及び金属ケ
イ化物からなる群から選ばれた膜が形成された被処理基
体上に炭素膜を被着する工程と、前記炭素膜上にレジス
トパターンを形成する工程と、前記レジストパターンを
マスクとして前記炭素膜をエッチングする工程と、次い
で前記被処理基体を真空容器内に設置し、該容器内にハ
ロゲンを主成分とするガスと一酸化炭素との混合ガスを
導入すると共に放電を誘起してプラズマを生成し、前記
炭素膜パターンに沿って前記膜を異方性エッチングする
工程とを含む。(9) In the method of manufacturing a semiconductor device, a carbon film is formed on a substrate to be processed on the surface of which a film selected from the group consisting of single crystal silicon, polycrystalline silicon, metal and metal silicide is formed. A step of depositing, a step of forming a resist pattern on the carbon film, a step of etching the carbon film using the resist pattern as a mask, and then the substrate to be treated is placed in a vacuum container and placed in the container. Introducing a mixed gas of a gas containing halogen as a main component and carbon monoxide, inducing a discharge to generate plasma, and anisotropically etching the film along the carbon film pattern.
【００４４】(10)半導体装置の製造方法において、被処
理基体上にダイヤモンド膜を被着する工程と、このダイ
ヤモンド膜をパタ−ニングしてダイヤモンドからなるマ
スクパタ−ンを形成する工程と、このマスクパタ−ンを
マスクとして前記被処理基体をドライエッチングする工
程とを含む。(10) In the method of manufacturing a semiconductor device, a step of depositing a diamond film on a substrate to be processed, a step of patterning the diamond film to form a mask pattern made of diamond, and a step of forming the mask pattern. Dry etching the substrate to be processed with the mask as a mask.
【００４５】[0045]
【作用】本発明において、炭素膜のドライエッチング耐
性を調べるために、反応性イオンエッチング装置にて種
々のガスを用い、エッチングガス圧，高周波電力密度及
び基板温度を変化させ、炭素膜，ＡｌＳｉＣｕ膜，レジ
スト膜，ＳｉＯ2 膜，Ｓｉ基板のエッチング速度を測定
した。また、ダウンフロー型エッチング装置及び円筒型
エッチング装置を用い、種々のガス下での上記材料のエ
ッチング速度を評価した。In the present invention, in order to investigate the dry etching resistance of the carbon film, various gases are used in the reactive ion etching apparatus, the etching gas pressure, the high frequency power density and the substrate temperature are changed to change the carbon film and the AlSiCu film. The etching rates of the resist film, the SiO 2 film and the Si substrate were measured. Also, the etching rates of the above materials under various gases were evaluated using a downflow type etching apparatus and a cylindrical type etching apparatus.
【００４６】上記実験の結果、塩素と三塩化硼素，或い
は塩素と四塩化硅素との混合ガスを用いた反応性イオン
エッチングに対して、炭素のエッチング速度が極めて小
さいにも拘らず、上記ＡｌＳｉＣｕ膜，Ｓｉ膜及びレジ
スト膜は大きなエッチング速度で異方的にエッチングで
きることが判明した。As a result of the above experiment, although the etching rate of carbon is extremely low in the reactive ion etching using a mixed gas of chlorine and boron trichloride or chlorine and silicon tetrachloride, the AlSiCu film is , Si film and resist film can be anisotropically etched at a high etching rate.
【００４７】また、弗素を主成分とするハロゲンガスを
用いた反応性イオンエッチングに対しても、炭素のエッ
チング速度が極めて小さく、一方ＳｉＯ2 膜は大きなエ
ッチング速度で異方的にエッチングできることも判明し
た。即ち、炭素膜が耐薬品性に優れ、ウェットエッチン
グの良好なマスクとなることは公知であるが、適当な条
件下では、反応性イオンエッチング等のドライエッチン
グに対しても大きな耐性を有することが明らかとなっ
た。It was also found that the etching rate of carbon is extremely low even with reactive ion etching using a halogen gas containing fluorine as a main component, while the SiO 2 film can be anisotropically etched at a high etching rate. did. That is, it is known that a carbon film has excellent chemical resistance and serves as a good mask for wet etching, but under appropriate conditions, it can have great resistance to dry etching such as reactive ion etching. It became clear.
【００４８】そこで、基板上に形成されたＡｌＳｉＣｕ
膜，ＳｉＯ2 膜或いはＳｉ基板表面に炭素膜からなるマ
スクパターンを形成することにより、これらのマスクパ
ターンは反応性イオンエッチング耐性の大きなマスクと
して作用するために、上記材料を高精度にて異方性加工
することが可能である。Therefore, AlSiCu formed on the substrate
By forming a mask pattern made of a carbon film on the surface of a film, SiO 2 film or Si substrate, these mask patterns act as a mask having a high resistance to reactive ion etching. It can be processed.
【００４９】さらに、ダウンフロー型のエッチング装置
にて種々の条件下にてエッチング特性の実験を行ったと
ころ、四弗化炭素と酸素との混合ガスを用いたエッチン
グにおいて、適度にこのガスの混合比を変化させること
により、レジスト膜或いはＳｉＯ2 膜は極めて大きなエ
ッチング速度でエッチングされるのに対し、炭素膜は全
くエッチングされない現象が見い出された。Further, an experiment of etching characteristics was carried out under various conditions in a down-flow type etching apparatus. As a result, in the etching using a mixed gas of carbon tetrafluoride and oxygen, the gas was appropriately mixed. By changing the ratio, it was found that the resist film or the SiO 2 film was etched at an extremely high etching rate, whereas the carbon film was not etched at all.
【００５０】これにより、炭素膜やＳｉＯ2 膜に対して
レジストのみを選択的にエッチングする、或いは炭素膜
に対してＳｉＯ2 膜を選択的にエッチングすることが可
能である。[0050] Thus, a resist only be etched selectively with respect to the carbon film and SiO 2 film, or it is possible to selectively etch the SiO 2 film to the carbon film.
【００５１】次に、Ｏ2 ガス或いはＡｒ，Ｋｒ等の不活
性ガス、さらにはＣＦ4 に対する、炭素膜とレジスト膜
のエッチング速度を種々の条件下にて調べたところ、−
７０℃において炭素膜のエッチング速度はレジスト膜の
約半分程度であることが判明した。また、基板温度を−
５０℃程度に冷却してＯ2 ガスを用いてエッチングした
ところ、異方的に垂直加工できることが判明した。一
方、ＡｒやＫｒの不活性ガスを用いた場合は、室温にお
いても垂直加工が可能であった。Next, the etching rates of the carbon film and the resist film with respect to O 2 gas or an inert gas such as Ar and Kr, and CF 4 were examined under various conditions.
It was found that the etching rate of the carbon film at 70 ° C. was about half that of the resist film. In addition, the substrate temperature
When it was cooled to about 50 ° C. and etched using O 2 gas, it was found that anisotropic vertical processing was possible. On the other hand, when an inert gas such as Ar or Kr was used, vertical processing was possible even at room temperature.
【００５２】これにより、上記ガスを用いて適度にエッ
チング条件を選択することにより、レジストパターンを
マスクとして炭素膜の異方性加工を実現することが可能
である。特に、炭素膜は、Ｏ2 ガスを用いたプラズマエ
ッチングにより、容易に除去し得ることが判明した。Accordingly, by appropriately selecting the etching conditions using the above-mentioned gas, it is possible to realize anisotropic processing of the carbon film using the resist pattern as a mask. In particular, it has been found that the carbon film can be easily removed by plasma etching using O 2 gas.
【００５３】そこで、炭素膜表面に形成されたレジスト
膜との積層構造からなる膜或いはマスクパターンにおい
て、ＣＦ4 とＯ2 の混合ガスを用いたダウンフロー型エ
ッチングにてレジストパターンを除去することにより、
炭素膜からなるマスクパターンを形成することが可能で
ある。また、炭素膜及びレジスト膜を除去する場合は、
Ｏ2 ガスを用いたプラズマエッチング装置にて容易に実
現可能である。Therefore, by removing the resist pattern by down-flow type etching using a mixed gas of CF 4 and O 2 in the film or the mask pattern having a laminated structure with the resist film formed on the surface of the carbon film. ,
It is possible to form a mask pattern made of a carbon film. When removing the carbon film and the resist film,
It can be easily realized by a plasma etching apparatus using O 2 gas.
【００５４】また、本発明者等は、炭素膜の特性を詳細
に調べたところ、次のような事実を見い出した。即ち、
反応性イオンエッチング装置において、基板温度を３０
０℃まで上昇させても炭素膜パターンには熱変形が生じ
ず、また脱ガスも極めて少ない。従って、通常のドライ
エッチングでは、非常に低蒸気圧のエッチング生成物し
か生じないＣｕ膜に関しても、高精度で異方性加工が可
能となった。Further, the present inventors have found the following facts by examining the characteristics of the carbon film in detail. That is,
In the reactive ion etching device, the substrate temperature is set to 30
Even if the temperature is raised to 0 ° C, the carbon film pattern is not thermally deformed, and degassing is extremely small. Therefore, it is possible to perform anisotropic processing with high accuracy even on a Cu film that produces only an etching product having a very low vapor pressure in normal dry etching.
【００５５】更に、炭素膜は、スパッタ法や真空蒸着法
により容易に形成可能であることが判明した。そこで、
これらの炭素膜について膜質をＳＩＭＳ分析により調べ
たところ、得られた炭素膜は 99.99％以上の高純度を有
していることが判った。即ち、予めレジスト等の不純物
を多量に含む有機質膜を前述の方法にて、選択的に除去
した後、炭素膜をエッチングマスクとして用いることに
より、大気に一週間放置してもＡｌＳｉＣｕ膜エッチン
グ後の腐食が観察されなかった。高純度のマスクを用い
て高精度の加工が可能であるため、半導体集積回路にお
ける配線の製造工程や、Ｓｉ基板に溝部を形成してなる
キャパシタの形成に用いた場合、高信頼性を有してデバ
イスの形成が可能となる。Further, it has been found that the carbon film can be easily formed by the sputtering method or the vacuum deposition method. Therefore,
When the film quality of these carbon films was examined by SIMS analysis, it was found that the obtained carbon films had a high purity of 99.99% or more. That is, by selectively removing the organic film containing a large amount of impurities such as resist in advance by the above-mentioned method, by using the carbon film as an etching mask, even if the film is left in the atmosphere for one week, the AlSiCu film after etching can be removed. No corrosion was observed. Since high-precision processing is possible using a high-purity mask, it has high reliability when used in the manufacturing process of wiring in a semiconductor integrated circuit or in the formation of a capacitor having a groove formed in a Si substrate. Device can be formed.
【００５６】[0056]
【実施例】以下、本発明の各実施例について、図面を参
照して説明する。 〈実施例１〉図１は、本発明の一実施例方法に係わるＡ
ｌ合金膜パターンの形成工程を示す断面図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. <Embodiment 1> FIG. 1 shows an embodiment A of the present invention.
It is sectional drawing which shows the formation process of l alloy film pattern.
【００５７】まず、図１（ａ）に示すように、Ｓｉ基板
１１上にＳｉＯ2 膜１２を形成し、このＳｉＯ2 膜１２
上にＡｌＳｉＣｕ（Ｓｉ濃度１ｗｔ％、Ｃｕ濃度０．５
ｗｔ％）薄膜１３を堆積する。次いで、図１（ｂ）に示
す如く、薄膜１３上に炭素膜１４（膜厚４０ｎｍ）を形
成する。[0057] First, as shown in FIG. 1 (a), to form an SiO 2 film 12 on the Si substrate 11, the SiO 2 film 12
AlSiCu (Si concentration 1 wt%, Cu concentration 0.5
wt%) Deposit thin film 13. Next, as shown in FIG. 1B, a carbon film 14 (film thickness 40 nm) is formed on the thin film 13.
【００５８】ここで、炭素膜１４はマグネトロンスパッ
タリング装置にて堆積した。スパッタリング前の真空度
は１０-8Torr台であり、スパッタリングガスとしてＡｒ
ガスを用い、Ａｒガスを５×１０-3Torrまで導入した
後、高周波電力１ｋＷで炭素ターゲットをＡｒイオンに
てスパッタリングすることにより堆積した。堆積膜の厚
さは、スパッタリング時間を変化させることにより制御
可能であった。しかし、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１３上に上記
方法にて炭素膜１４を形成したところ、Ｓｉ基板上部分
的に炭素膜１４が剥れるという現象が生じた。Here, the carbon film 14 was deposited by a magnetron sputtering device. The degree of vacuum before sputtering is on the order of 10 -8 Torr, and the sputtering gas is Ar.
Gas was used to introduce Ar gas up to 5 × 10 −3 Torr, and then a carbon target was sputtered with Ar ions at a high frequency power of 1 kW for deposition. The thickness of the deposited film could be controlled by changing the sputtering time. However, when the carbon film 14 was formed on the AlSiCu thin film 13 by the above method, a phenomenon that the carbon film 14 was partially peeled off on the Si substrate occurred.
【００５９】従って、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１３と炭素膜１
４との密着性を向上させるために、炭素膜堆積前に、Ａ
ｌＳｉＣｕ薄膜表面を酸素ガスを用いたプラズマに晒す
ことにより、ＡｌＳｉＣｕ薄膜表面の改質を行った。酸
素ガスプラズマ処理をしたＡｌＳｉＣｕ膜と処理をしな
いＡｌＳｉＣｕ膜とをオージェ電子分光法（ＡＥＳ）に
より分析したところ、プラズマ処理を実施したＡｌＳｉ
Ｃｕ膜では表面の酸素濃度の増大が観察された。Therefore, the AlSiCu thin film 13 and the carbon film 1
In order to improve the adhesion with No. 4, before depositing the carbon film, A
The surface of the AlSiCu thin film was modified by exposing the surface of the 1SiCu thin film to plasma using oxygen gas. When the AlSiCu film subjected to the oxygen gas plasma treatment and the untreated AlSiCu film were analyzed by Auger electron spectroscopy (AES), the AlSiCu film subjected to the plasma treatment was analyzed.
An increase in the oxygen concentration on the surface was observed for the Cu film.
【００６０】次に、酸素ガスプラズマ処理を施したＡｌ
ＳｉＣｕ膜上に前述した如く同一条件にて、炭素膜（４
０ｎｍ厚）の堆積を行った。炭素膜堆積後、膜の剥がれ
を観察したところ、Ｓｉ基板上全域に渡って、炭素膜の
剥がれは見当たらなかった。形成した炭素膜の結晶構造
を明らかにするため、Ｘ線回析法（ＸＲＤ）による膜分
析を行ったところ、膜は非晶質構造であることが判明し
た。さらに、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）により
形成した炭素膜を分析したところ、炭素以外の他の不純
物原子は、膜中にてＡＥＳ法の検出感度以下であること
が判明した。Next, Al subjected to oxygen gas plasma treatment
Under the same conditions as described above, the carbon film (4
0 nm thick) was deposited. When the peeling of the film was observed after depositing the carbon film, no peeling of the carbon film was found over the entire area of the Si substrate. In order to clarify the crystal structure of the formed carbon film, film analysis by X-ray diffraction (XRD) was conducted, and it was found that the film had an amorphous structure. Furthermore, when the carbon film formed by secondary ion mass spectrometry (SIMS) was analyzed, it was found that the impurity atoms other than carbon were below the detection sensitivity of the AES method in the film.
【００６１】次いで、図１（ｃ）に示すように、炭素膜
１４上にフォトレジスト１５（膜厚１．６μｍ）を塗布
し、通常のリソグラフィ技術を用いて、レジスト１５を
露光した。続いて、図１（ｄ）に示す如く、レジスト１
５を現像して、レジストパターン１５を形成した。この
図１（ｄ）に示す工程では、現像液として、アルカリ性
有機溶済を用いたが、現像時に炭素膜１４の溶出，剥離
などの問題は生じなかった。Next, as shown in FIG. 1C, a photoresist 15 (film thickness: 1.6 μm) was applied on the carbon film 14, and the resist 15 was exposed using a normal lithography technique. Then, as shown in FIG.
5 was developed to form a resist pattern 15. In the step shown in FIG. 1D, alkaline organic solution was used as the developing solution, but no problems such as elution and peeling of the carbon film 14 occurred during development.
【００６２】次いで、図１（ｅ）及び（ｆ）に示すよう
に、レジストパターンをマスクとして、ＲＩＥにて、炭
素膜１４及びＡｌＳｉＣｕ膜１３を選択エッチングし、
ＡｌＳｉＣｕ膜１３をパターニングした。Next, as shown in FIGS. 1E and 1F, the carbon film 14 and the AlSiCu film 13 are selectively etched by RIE using the resist pattern as a mask.
The AlSiCu film 13 was patterned.
【００６３】上記、図１（ｅ）及び（ｆ）の工程につい
て詳細に説明する。The steps of FIGS. 1E and 1F will be described in detail.
【００６４】まず、図２を用いて、この実施例に適用し
たドライエッチング装置から説明する。First, the dry etching apparatus applied to this embodiment will be described with reference to FIG.
【００６５】この装置は、エッチング室２０，導入用予
備室３０及び排出用予備室４０から構成されており、エ
ッチング室２０と導入用予備室３０及び排出用予備室４
０との間は、ゲートバルブ３１及び４１によりそれぞれ
仕切られている。そして、エッチング室２０を真空に保
持したまま、導入用予備室３０に配置されたゲートバル
ブ３２から被処理基体を導入し、排出用予備室４０に配
置されたゲートバルブ４２から被処理基体を排出するこ
とにより、大気中の水分や酸素等の悪影響を避けること
ができるようになっている。また、予備室３０，４０内
には、基板載置台３３及び４３がそれぞれ設置されてい
る。This apparatus is composed of an etching chamber 20, an introducing preliminary chamber 30 and an ejecting auxiliary chamber 40. The etching chamber 20, the introducing auxiliary chamber 30 and the ejecting auxiliary chamber 4 are provided.
Gates 31 and 41 are separated from 0. Then, the substrate to be treated is introduced from the gate valve 32 arranged in the preliminary chamber 30 for introduction while the etching chamber 20 is kept in vacuum, and the substrate to be treated is discharged from the gate valve 42 arranged in the preliminary chamber 40 for discharge. By doing so, it is possible to avoid the adverse effects of moisture and oxygen in the atmosphere. Substrate mounting tables 33 and 43 are installed in the preliminary chambers 30 and 40, respectively.
【００６６】エッチング室２０は、真空容器２０ａ内に
配置された被処理基板２１を載置するための第１の電極
２２と、この第１の電極２２に１３．５６ＭＨｚの高周
波電力を印加すべく、ブロッキングキャパシタ２９を介
して接続された高周波電源２４と、第１の電極２２を冷
却し、被処理基板２１の基板温度を所望の温度に制御す
るための冷却管２５とを具備している。The etching chamber 20 is designed to apply a first electrode 22 for placing a substrate 21 to be processed placed in a vacuum container 20a, and a high frequency power of 13.56 MHz to the first electrode 22. A high frequency power supply 24 connected via a blocking capacitor 29 and a cooling pipe 25 for cooling the first electrode 22 and controlling the substrate temperature of the substrate 21 to be processed to a desired temperature are provided.
【００６７】また、塩素ガス（Ｃｌ2 ）供給ライン２８
ａ，三塩化硼素（ＢＣｌ3 ）供給ライン２８ｂ，臭化水
素ガス（ＨＢｒ）供給ライン２８ｃ，酸素ガス（Ｏ2 ）
供給ライン２８ｄ，不活性ガス（Ｈｅ、Ａｒ或いはＫ
ｒ）供給ライン２８ｅ及び水素ガス（Ｈ2 ）供給ライン
２８ｆから、真空容器２０ａ内にＣｌ2 ，ＢＣｌ3 ，Ｈ
Ｂｒ，Ｏ2 ，Ｈ2 ，Ｈｅ（或いはＡｒ，Ｋｒ）を導入し
つつ、第１の電極２２と第２の電極を兼ねた真空容器２
０ａの内壁（上壁）との間に高周波電圧が印加されるよ
うになっている。Further, the chlorine gas (Cl 2 ) supply line 28
a, boron trichloride (BCl 3 ) supply line 28b, hydrogen bromide gas (HBr) supply line 28c, oxygen gas (O 2 )
Supply line 28d, inert gas (He, Ar or K
r) from the supply line 28e and a hydrogen gas (H 2) supply line 28f, Cl 2, BCl 3 into the vacuum chamber 20a, H
A vacuum container 2 which also serves as a first electrode 22 and a second electrode while introducing Br, O 2 , H 2 and He (or Ar and Kr).
A high frequency voltage is applied to the inner wall (upper wall) of 0a.
【００６８】ここで、真空容器２０ａはアースに接続さ
れている。ガス供給ライン２８ａ〜２８ｆは、各々バル
ブと流量調整器２９ａ〜２９ｆを具備し、流量及びガス
圧を所望の値に調整できるようになっている。Here, the vacuum container 20a is connected to the ground. Each of the gas supply lines 28a to 28f is provided with a valve and a flow rate adjuster 29a to 29f, and the flow rate and the gas pressure can be adjusted to desired values.
【００６９】また、真空容器２０ａの第２の電極部分の
上方には、永久磁石２６が設置されており、モータによ
り回転軸２７のまわりで偏心回転せしめられ、この永久
磁石２６の発する５０〜５００ガウスの磁界により１０
-3Torr台、又はそれ以下の高真空でも高密度のプラズマ
を発生維持することが可能となるように構成されてい
る。このようにして生成された高密度プラズマから大量
のイオンが引出され、被処理基板２１に照射されエッチ
ングが行われる。Further, a permanent magnet 26 is installed above the second electrode portion of the vacuum container 20a, and is eccentrically rotated about a rotation shaft 27 by a motor, and the permanent magnet 26 emits 50 to 500. 10 due to Gaussian magnetic field
It is configured so that high-density plasma can be generated and maintained even in a high vacuum of -3 Torr level or lower. A large amount of ions are extracted from the high-density plasma generated in this manner, and the processed substrate 21 is irradiated with the ions and etched.
【００７０】次に、上述のドライエッチング装置を使用
し、図１（ｅ）に示す如く、エッチングガスとしてＯ2
或いはＨ2 を用いて、被エッチング材料である炭素膜１
４をレジストパターン１５をマスクとしてエッチングし
た例を説明する。Next, using the above-described dry etching apparatus, as shown in FIG. 1 (e), O 2 as the etching gas
Alternatively, by using H 2 , a carbon film 1 as a material to be etched
An example in which 4 is etched using the resist pattern 15 as a mask will be described.
【００７１】まず、エッチングガスにＯ2 を用い、基板
温度を変化させて、図１（ｅ）に示す如く、炭素膜１４
をエッチングした。エッチング条件はＯ2 ガス（流量１
００SCCM）圧力は１．５Ｐａとし、高周波電力を１．７
Ｗ／ｃｍ2 印加するようにした。First, using O 2 as an etching gas and changing the substrate temperature, as shown in FIG.
Was etched. The etching conditions are O 2 gas (flow rate 1
00SCCM) Pressure is 1.5Pa and high frequency power is 1.7
W / cm 2 was applied.
【００７２】基板温度を−５０℃に保持した場合、炭素
膜１４が約３００ｎｍ／分の速度でエッチングされたの
に対して、レジスト１５は１μｍ／分であり、炭素膜１
４とレジスト１５との選択比は約０．３である。また、
エッチングされた炭素膜１４の形状をＳＥＭにて観察し
たところ、図３（ａ）に示す如く、ほぼ垂直形状が得ら
れた。When the substrate temperature was kept at -50 ° C., the carbon film 14 was etched at a rate of about 300 nm / min, while the resist 15 was 1 μm / min.
The selection ratio between 4 and the resist 15 is about 0.3. Also,
When the shape of the etched carbon film 14 was observed by SEM, a substantially vertical shape was obtained as shown in FIG.
【００７３】一方、基板温度を７０℃に保持した場合、
炭素膜１４とレジスト１５の選択比は約０．３であり、
基板温度を−５０℃の場合とほぼ同じであるのに対し
て、エッチングした炭素膜１４の形状をＳＥＭにて観察
したところ、炭素膜１４は図３（ｂ）に示す如くテーパ
形状であることが判明した。On the other hand, when the substrate temperature is kept at 70 ° C.,
The selection ratio between the carbon film 14 and the resist 15 is about 0.3,
While the substrate temperature is almost the same as that at −50 ° C., the etched carbon film 14 is observed by SEM to find that the carbon film 14 has a tapered shape as shown in FIG. 3B. There was found.
【００７４】これは、図３（ｂ）に示すように、炭素膜
１４上に残存するレジスト１５のパターンにサイドエッ
チングが生じ、このサイドエッチングによりレジストの
パターン１５が細るためである。つまり、基板温度を低
温にした場合においては、レジスト１５のサイドエッチ
ング量が著しく抑制されるために、炭素膜１４をほぼ垂
直にエッチング可能であることが判った。This is because, as shown in FIG. 3B, side etching occurs in the pattern of the resist 15 remaining on the carbon film 14, and this side etching narrows the resist pattern 15. That is, it was found that when the substrate temperature was lowered, the side etching amount of the resist 15 was remarkably suppressed, so that the carbon film 14 could be etched almost vertically.
【００７５】レジスト１５のサイドエッチング量は、Ｏ
2 ＲＩＥ中にレジストパターンの側壁に入射する酸素イ
オン及び酸素ラジカル量とレジストとの反応速度、或い
は反応生成物の脱離量により決定される。基板温度を低
温にすることにより、反応速度の低下、側壁からの反応
生成物の脱離量の低下、さらには側壁保護膜等の形成な
どが生じ、レジストのサイドエッチング量が抑制される
と考えられる。種々のガスを用い、レジストをエッチン
グした結果、Ｈ2 ガスを用いることによって、比較的高
温でしかも、炭素膜とレジストとの選択比が向上する現
象が見い出された。The side etching amount of the resist 15 is O
2 Determined by the amount of oxygen ions and oxygen radicals incident on the sidewall of the resist pattern during RIE, the reaction rate with the resist, or the amount of desorption of reaction products. It is thought that by lowering the substrate temperature, the reaction rate decreases, the amount of reaction products desorbed from the side wall decreases, and the side wall protective film, etc. are formed, and the side etching amount of the resist is suppressed. Be done. As a result of etching the resist using various gases, it was found that the use of H 2 gas improved the selectivity between the carbon film and the resist at a relatively high temperature.
【００７６】上述のドライエッチング装置を用いて、エ
ッチングガスとしてＨ2 （総量１００SCCM）圧力１．５
Ｐａ、高周波電力１．７Ｗ／ｃｍ2 、基板温度２５℃に
保持して、レジスト１５をマスクとして、炭素膜１４の
エッチングを行った。このとき、炭素膜１４が３３０ｎ
ｍ／分でエッチングされるのに対して、レジスト１５の
エッチング速度は６７０ｎｍ／分であった。従って、炭
素膜１４とレジスト１５との選択比は約０．５であっ
た。また、エッチング後のパターン形状をＳＥＭにより
観察したところ、レジストパターンにサイドエッチング
は生じなく、且つ炭素膜１４も図３（ａ）に示すように
ほぼ垂直であることが判明した。Using the above dry etching apparatus, H 2 (total amount 100 SCCM) as an etching gas and a pressure of 1.5
The carbon film 14 was etched using the resist 15 as a mask while maintaining Pa, high frequency power of 1.7 W / cm 2 and substrate temperature of 25 ° C. At this time, the carbon film 14 is
The etching rate of the resist 15 was 670 nm / min, while the etching rate was m / min. Therefore, the selection ratio between the carbon film 14 and the resist 15 was about 0.5. Further, when the pattern shape after etching was observed by SEM, it was found that side etching did not occur in the resist pattern, and the carbon film 14 was almost vertical as shown in FIG. 3 (a).
【００７７】また、エッチングガスとして不活性ガスを
用い、スパッタ効果により炭素膜１４をエッチングした
例について説明する。上述のドライエッチング装置を用
い、エッチングガスとしてＡｒ（総量１００SCCM）圧力
１．５Ｐａ、高周波電力１．７Ｗ／ｃｍ2 、基板温度２
５℃下で、レジストマスクとして炭素膜１４のエッチン
グを行った。An example in which an inert gas is used as the etching gas and the carbon film 14 is etched by the sputtering effect will be described. Using the above dry etching apparatus, Ar (total amount 100 SCCM) pressure 1.5 Pa, high frequency power 1.7 W / cm 2 , substrate temperature 2 as etching gas
The carbon film 14 was etched as a resist mask at 5 ° C.
【００７８】このとき、炭素膜１４は６０ｎｍ／分でス
パッタエッチングされるのに対し、レジスト１５のエッ
チング速度は１００ｎｍ／分であった。従って、炭素膜
１４とレジスト１５との選択比は０．６であった。ま
た、エッチング後のパターン形状をＳＥＭにより観察し
たところ、レジストパターンにサイドエッチングが生じ
ず、且つ炭素膜１４も垂直に加工することが可能であっ
た。これは、不活性ガスを用いた場合、スパッタ効果に
よりエッチングが進行するため、垂直形状の炭素膜１４
の加工が可能となると考えられる。At this time, the carbon film 14 was sputter-etched at 60 nm / min, whereas the etching rate of the resist 15 was 100 nm / min. Therefore, the selection ratio between the carbon film 14 and the resist 15 was 0.6. Further, when the pattern shape after etching was observed by SEM, it was found that side etching did not occur in the resist pattern and the carbon film 14 could also be processed vertically. This is because when an inert gas is used, the etching progresses due to the sputtering effect, and thus the vertically-shaped carbon film 14 is used.
It is considered possible to process
【００７９】次いで、図１（ｆ）に示す如く、レジスト
パターン１５及び炭素膜１４をエッチングマスクとし
て、ＡｌＳｉＣｕ膜１３の選択エッチングを行った。Ａ
ｌＳｉＣｕ膜１３のエッチングにおいても、前述したド
ライエッチング装置を用いた。エッチング条件は、基板
温度を５０℃に保持し、エッチングガスとしてＣｌ2 と
ＢＣｌ3 との混合ガス（流量１００SCCM）を用いた。エ
ッチング圧力は１．５Ｐａ、ＲＦ電力は、０．８Ｗ／ｃ
ｍ2 から３Ｗ／ｃｍ2 まで変化させた。Then, as shown in FIG. 1F, the AlSiCu film 13 was selectively etched using the resist pattern 15 and the carbon film 14 as an etching mask. A
Also in the etching of the 1SiCu film 13, the dry etching apparatus described above was used. As the etching conditions, the substrate temperature was kept at 50 ° C., and a mixed gas of Cl 2 and BCl 3 (flow rate 100 SCCM) was used as an etching gas. Etching pressure is 1.5 Pa, RF power is 0.8 W / c
It was changed from m 2 to 3 W / cm 2 .
【００８０】図４は、ＲＦ電力を変化させてエッチング
した膜のエッチング速度を測定した結果を示す図であ
る。FIG. 4 is a diagram showing the results of measuring the etching rate of the film etched by changing the RF power.
【００８１】これより、ＲＦ印加電力０．８Ｗ／ｃｍ2
にて、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１３のエッチング速度が約３５
０ｎｍ／分、炭素膜１４のエッチング速度は、約２５ｎ
ｍ／分であり、薄膜１３と炭素膜１４との選択比は約１
４である。一方、このときの薄膜１３とレジスト１５と
の選択比は約２であった。また、ＲＦ印加電力０．８Ｗ
／ｃｍ2 よりも小さい場合には、Ｓｉウェハ周辺部に残
渣の発生が観察されたが、０．８Ｗ／ｃｍ2 以上では全
く生じていないことが判明した。From this, the RF applied power 0.8 W / cm 2
The etching rate of the AlSiCu thin film 13 is about 35
0 nm / min, the etching rate of the carbon film 14 is about 25 n
m / min, and the selection ratio between the thin film 13 and the carbon film 14 is about 1
It is 4. On the other hand, the selection ratio between the thin film 13 and the resist 15 at this time was about 2. RF applied power 0.8W
When it was smaller than / cm 2, the generation of residue was observed in the peripheral portion of the Si wafer, but it was found that at 0.8 W / cm 2 or more, no residue was generated.
【００８２】ＲＦ印加電力０．８Ｗ／ｃｍ2 にてエッチ
ングしたＡｌＳｉＣｕ薄膜１３の形状をＳＥＭにより評
価たところ、テーパ角８８°でテーパ形状であることが
判った。また、テーパ形状は、ＲＦ印加電力の増大とと
もに大きく（テーパ角度が小さく）なることが分った。When the shape of the AlSiCu thin film 13 etched with RF applied power of 0.8 W / cm 2 was evaluated by SEM, it was found to be a tapered shape with a taper angle of 88 °. It was also found that the taper shape becomes larger (taper angle becomes smaller) as the RF applied power increases.
【００８３】また、ＲＦ印加電力１．５Ｗ／ｃｍ2 以上
でエッチングしたＡｌＳｉＣｕ薄膜１３においては、エ
ッチング後、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１３上にレジスト１５は
残存していないことが、上記同様ＳＥＭにより確認され
た。Further, in the AlSiCu thin film 13 etched with RF applied power of 1.5 W / cm 2 or more, it was confirmed by SEM that the resist 15 did not remain on the AlSiCu thin film 13 after etching.
【００８４】これより、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１３とレジス
ト１５との選択比は図４に示した如く、ＲＦ印加電力と
ともに減少して行くため、電力１．５Ｗ／ｃｍ2 以上で
はレジスト１５は全て消失する。従って、ＡｌＳｉＣｕ
薄膜１３のエッチングマスクは炭素膜１４となる。即
ち、レジスト１５のみをマスクとして用いた場合では、
選択比が小さいためにＡｌＳｉＣｕ薄膜１３を全てエッ
チングするまで良好なエッチングマスクとして作用しな
い。しかし、炭素膜１４をエッチングマスクとして適用
することにより、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１３と炭素膜１４と
の選択比が例えば電力１．５Ｗ／ｃｍ2 では１０以上あ
るために、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１３の良好なエッチングが
可能となることが分かる。From this, the selection ratio between the AlSiCu thin film 13 and the resist 15 decreases with the RF applied power as shown in FIG. 4, so that the resist 15 disappears entirely at a power of 1.5 W / cm 2 or more. Therefore, AlSiCu
The carbon film 14 serves as an etching mask for the thin film 13. That is, when only the resist 15 is used as a mask,
Since the selection ratio is small, it does not act as a good etching mask until the AlSiCu thin film 13 is completely etched. However, by applying the carbon film 14 as an etching mask, the AlSiCu thin film 13 and the carbon film 14 have a selection ratio of 10 or more at a power of 1.5 W / cm 2 , for example, and thus the AlSiCu thin film 13 can be etched well. It turns out that
【００８５】最後に、図１（ｇ）に示す如く、レジスト
パターン及び炭素膜１４の除去を行った。エッチング装
置として通常のバレル型プラズマエッチング装置を用い
た。レジストパターンを上記装置にて、通常の酸素プラ
ズマによりアッシングしたところ、前記レジストパター
ン及び炭素膜の除去を行なうことが出来た。一方、炭素
膜１４は、上記酸素プラズマアッシングにより容易に除
去できることが判明した。Finally, as shown in FIG. 1G, the resist pattern and the carbon film 14 were removed. An ordinary barrel type plasma etching device was used as an etching device. The resist pattern and the carbon film could be removed by ashing the resist pattern with ordinary oxygen plasma in the above apparatus. On the other hand, it was found that the carbon film 14 can be easily removed by the oxygen plasma ashing.
【００８６】レジストパターンを完全に除去するため
に、図５に示すようなダウンフロー型エッチング装置を
用いた。図５に示すのは、本実施例において用いられた
炭素膜１４に対してレジスト１５を選択的に剥離するた
めのダウンフロー型エッチング装置の概略図である。In order to completely remove the resist pattern, a downflow type etching apparatus as shown in FIG. 5 was used. FIG. 5 is a schematic view of a downflow type etching apparatus for selectively removing the resist 15 from the carbon film 14 used in this example.
【００８７】この装置の主要部は、真空容器５０とこの
容器内に試料５１を載置する試料台５２と、ガス導入さ
れるガス導入口５３と、ガス導入口５３から導入された
ガスを放電するための石英製の放電管５４と、容器内に
導入されたガスを排気するガス排気口５５からなる。な
お、放電管５４には導波管５６を介して周波数２．４５
ＧＨｚのマイクロ波が電源５７より印加され、内部に無
電極放電が発生してガス導入口５３から導入されたガス
を分解するものとなっている。The main part of this apparatus is a vacuum container 50, a sample table 52 on which a sample 51 is placed, a gas inlet port 53 for introducing gas, and a gas introduced from the gas inlet port 53 for discharging gas. The discharge tube 54 is made of quartz, and the gas exhaust port 55 exhausts the gas introduced into the container. The discharge tube 54 has a frequency of 2.45 via a waveguide 56.
A microwave of GHz is applied from the power source 57 to generate an electrodeless discharge inside and decompose the gas introduced from the gas introduction port 53.
【００８８】次に、上記エッチング装置を用いて、前述
の試料におけるレジスト膜の剥離を行った。レジストパ
ターンをマスクに炭素膜をＲＩＥにて垂直加工し、パタ
ーン開口部に下地ＡｌＳｉＣｕ薄膜が露出した構造（レ
ジスト／炭素／ＡｌＳｉＣｕ／ＳｉＯ2 ）を有した試料
５１を、図５に示すダウンフロー型エッチング装置に搬
入し、試料台５２上に固定した。次いで、真空度１０-3
Torrまで排気口５５から真空排気した後、エッチングガ
スとしてＣＦ4 ／Ｏ2 混合ガスを導入した。ＣＦ4 ／Ｏ
2 の流量は１５／５００SCCM一定とし、圧力０．３Torr
に保持した。また、温度は室温に保持した。次いで、マ
イクロ波を印加して放電を生じさせ、エッチングを行っ
た。Next, the resist film in the above sample was peeled off using the above etching apparatus. A sample 51 having a structure (resist / carbon / AlSiCu / SiO 2 ) in which a carbon film was vertically processed by RIE using a resist pattern as a mask and the underlying AlSiCu thin film was exposed in a pattern opening was shown in FIG. It was loaded into the etching apparatus and fixed on the sample table 52. Next, vacuum degree 10 -3
After evacuation to the Torr from the exhaust port 55, a CF 4 / O 2 mixed gas was introduced as an etching gas. CF 4 / O
The flow rate of 2 is fixed at 15/500 SCCM and the pressure is 0.3 Torr.
Held in. The temperature was kept at room temperature. Then, microwaves were applied to cause discharge, and etching was performed.
【００８９】このような工程により、エッチングガスと
して四弗化化炭素（ＣＦ4 ）ガスと酸素との混合ガスを
用い、圧力０．３Torrにて上記ダウンフロー型エッチン
グ装置にてアッシングを試みたところ、レジストパター
ンは残存物が生じず、完全に除去可能であった。By the above steps, a mixed gas of carbon tetrafluoride (CF 4 ) gas and oxygen was used as an etching gas, and ashing was attempted by the downflow type etching apparatus at a pressure of 0.3 Torr. The resist pattern was completely removable without any residue.
【００９０】また、上記レジストパターンを完全に除去
できる条件にて、炭素膜のエッチングを調べたところ、
ダウンフロー型エッチングにおいては炭素膜はエッチン
グされないことが分った。When the etching of the carbon film was examined under the condition that the resist pattern could be completely removed,
It was found that the carbon film was not etched in the downflow type etching.
【００９１】従って、レジストパターンが残存している
場合のマスクパターンを剥離するに際しては、ＣＦ4 ガ
スとＯ2 ガスとの混合ガスを用いたダウンフロー型エッ
チングにてレジストを除去した後、前述の如くバレル型
エッチング装置を用い、通常のＯ2 プラズマアッシング
処理を施すことによって、炭素膜は容易に剥離されるこ
とが確認できた。剥離後、ＡｌＳｉＣｕ薄膜パターンを
ＳＥＭにて評価したところ、テーパ形状でライン／スペ
ースの線幅４００ｎｍ／４００ｎｍのＡｌＳｉＣｕ薄膜
が良好に形成されていることが判った。Therefore, when removing the mask pattern when the resist pattern remains, the resist is removed by downflow type etching using a mixed gas of CF 4 gas and O 2 gas, and then the above-mentioned process is performed. As described above, it was confirmed that the carbon film was easily peeled off by performing the usual O 2 plasma ashing treatment using the barrel type etching apparatus. After peeling, the AlSiCu thin film pattern was evaluated by SEM, and it was found that an AlSiCu thin film having a tapered line / space width of 400 nm / 400 nm was formed well.
【００９２】また、前述したように炭素膜のパターニン
グ方法として、レジストマスクとしてＨ2 ，Ｏ2 ，不活
性ガス（Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ）或いはＳＦ6 ，ＣＦ
4 等のガスや、これらの混合ガスを用いて炭素膜のドラ
イエッチングを行ったが、上記ガス或いは混合ガスのい
ずれを用いてエッチングした場合も良好な炭素膜の加工
が可能であり、これらのプロセスを用いて形成されたＡ
ｌＳｉＣｕ薄膜パターンについても良好な形状で残渣の
ないもの得られた。 〈実施例２〉次に、本発明の第２の実施例のエッチング
方法について説明する。図６は、本発明の第２の実施例
に係るパターン形状工程を示す断面図である。As described above, as a method for patterning a carbon film, H 2 , O 2 , a inert gas (Ne, Ar, Kr, Xe) or SF 6 , CF is used as a resist mask.
Although the carbon film was dry-etched using a gas such as 4 or a mixed gas thereof, a good carbon film can be processed by etching using any of the above-mentioned gas or mixed gas. A formed using the process
Regarding the 1SiCu thin film pattern, a good shape and no residue was obtained. <Embodiment 2> Next, an etching method according to a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 6 is a sectional view showing a pattern forming step according to the second embodiment of the present invention.
【００９３】まず、図６（ａ）に示すように、Ｓｉ基板
１１上にＳｉＯ2 膜１２を形成し、このＳｉＯ2 膜１２
の表面にＡｌＳｉＣｕ（Ｓｉ濃度１ｗｔ％、Ｃｕ濃度
０．５ｗｔ％）薄膜１３を堆積する。その後、ＡｌＳｉ
Ｃｕ薄膜１３の表面をＯ2 プラズマにより改質した。[0093] First, as shown in FIG. 6 (a), to form an SiO 2 film 12 on the Si substrate 11, the SiO 2 film 12
An AlSiCu (Si concentration 1 wt%, Cu concentration 0.5 wt%) thin film 13 is deposited on the surface of the. Then AlSi
The surface of the Cu thin film 13 was modified by O 2 plasma.
【００９４】次いで、図６（ｂ）に示す如く、薄膜１３
上に炭素膜１４（膜厚３００ｎｍ）を形成する。また、
同時に比較のためスパッタリング法により、シリコン酸
化膜（ＳｉＯ2 ）（１４′）を膜厚３００ｎｍに形成し
た試料も作成した。ここで、炭素膜１４の堆積は、実施
例１にて記述したものと同様の方法にて行った。Then, as shown in FIG. 6B, the thin film 13 is formed.
A carbon film 14 (thickness 300 nm) is formed on top. Also,
At the same time, for comparison, a sample in which a silicon oxide film (SiO 2 ) (14 ′) was formed to a film thickness of 300 nm was also prepared by the sputtering method. Here, the deposition of the carbon film 14 was performed by the same method as that described in Example 1.
【００９５】次いで、図６（ｃ）に示すように、炭素膜
１４及びＳｉＯ2 膜１４′上に各々１．６μｍのレジス
ト１５を堆積し、図６（ｄ）に示す如く通常のリソグラ
フィ技術を用いて、レジスト１５を露光，現像すること
により、レジストパターンの形成を行った。この図６
（ｄ）に示す工程において、炭素膜１４或いはＳｉＯ2
膜１４′の溶出，剥離などの問題は全く生じなかった。Next, as shown in FIG. 6C, a 1.6 μm-thick resist 15 is deposited on each of the carbon film 14 and the SiO 2 film 14 ', and an ordinary lithography technique is applied as shown in FIG. 6D. The resist 15 was exposed to light and developed to form a resist pattern. This Figure 6
In the step shown in (d), the carbon film 14 or SiO 2
There were no problems such as elution and peeling of the film 14 '.
【００９６】次いで、図６（ｅ）に示す如く、レジスト
パターンをマスクとしてＲＩＥにて炭素膜１４のパター
ニングを実施した。用いたドライエッチング装置は、前
述したマグネトロン載置のＲＩＥ装置である。実施例１
で記述した如く、Ｏ2 ガス流量１００SCCM，圧力１．５
Ｐａ，ＲＦ印加電力１．７Ｗ／ｃｍ2 ，基板温度−５０
℃において、レジストパターンをマスクとして炭素膜１
４をエッチングした。これにより、図６（ｅ）に示す如
く、炭素膜１４のパターニングがなされた。なお、この
炭素膜１４上にはレジストパターンが残存している。Next, as shown in FIG. 6E, the carbon film 14 was patterned by RIE using the resist pattern as a mask. The dry etching device used is the above-mentioned magnetron-mounted RIE device. Example 1
As described above, O 2 gas flow rate 100 SCCM, pressure 1.5
Pa, RF applied power 1.7 W / cm 2 , substrate temperature -50
Carbon film 1 using the resist pattern as a mask at ℃
4 was etched. As a result, the carbon film 14 was patterned as shown in FIG. A resist pattern remains on the carbon film 14.
【００９７】一方、上記と同一のエッチング装置にて、
レジストパターンをマスクとしてＳｉＯ2 膜１４′のパ
ターニングを行った。ＣＦ4 ／Ｏ2 ガス流量１００SCC
M、圧力１．５Ｐａ，ＲＦ電力1.7Ｗ／cm2 ，基板温度２
５℃において、レジストパターンをマスクとしてＳｉＯ
2 膜１４をエッチングした。これにより、図６（ｅ）に
示すのと同様に、ＳｉＯ2 膜１４′のパターニングがな
された。このＳｉＯ2 膜１４′上にもレジストパターン
が残存している。On the other hand, in the same etching device as above,
The SiO 2 film 14 ′ was patterned using the resist pattern as a mask. CF 4 / O 2 gas flow rate 100 SCC
M, pressure 1.5 Pa, RF power 1.7 W / cm 2 , substrate temperature 2
At 5 ° C., using the resist pattern as a mask
2 The film 14 was etched. As a result, the SiO 2 film 14 'was patterned in the same manner as shown in FIG. 6 (e). The resist pattern also remains on this SiO 2 film 14 '.
【００９８】次いで、図６（ｆ）に示す如く、これらの
薄膜上に残存するレジストパターンを除去するために実
施例１で述べたＣＦ4 ／Ｏ2 ガスを用いたダウンフロー
アッシング装置にてレジストパターンの剥離を行った。
これにより、炭素膜１４及びＳｉＯ2 膜１４′上のレジ
ストパターンは全てエッチング除去され、炭素膜１４及
びＳｉＯ2 膜１４′からなるエッチングマスクパターン
が形成された。Next, as shown in FIG. 6 (f), in order to remove the resist pattern remaining on these thin films, the resist is removed by the downflow ashing apparatus using the CF 4 / O 2 gas described in the first embodiment. The pattern was peeled off.
As a result, all the resist patterns on the carbon film 14 and the SiO 2 film 14 'were removed by etching, and an etching mask pattern composed of the carbon film 14 and the SiO 2 film 14' was formed.
【００９９】次いで、図６（ｇ）に示す如く、炭素膜１
４及びＳｉＯ2 膜１４′をエッチングマスクとして、Ａ
ｌＳｉＣｕ薄膜１３のエッチングを行った。ＡｌＳｉＣ
ｕ薄膜１３のエッチングは、実施例１で記述した如く、
マグネトロン型ドライエッチング装置を用いて行った。
エッチング条件は、基板温度２５℃に保持し、エッチン
グガスとして、Ｃｌ2 とＢＣｌ3 の混合ガス（流量２０
SCCM）を用いた。エッチング圧力は、０．５Ｐａ、ＲＦ
電力は０．８Ｗ／ｃｍ2 である。Then, as shown in FIG. 6G, the carbon film 1
4 and the SiO 2 film 14 'as an etching mask
The 1SiCu thin film 13 was etched. AlSiC
The etching of the u thin film 13 is performed as described in the first embodiment.
It was performed using a magnetron type dry etching device.
The etching condition is that the substrate temperature is maintained at 25 ° C., and a mixed gas of Cl 2 and BCl 3 (flow rate 20
SCCM) was used. Etching pressure is 0.5 Pa, RF
The power is 0.8 W / cm 2 .
【０１００】このとき、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１３はエッチ
ング速度が約３００ｎｍ／ｍｉｎ、炭素膜１４のエッチ
ング速度は約３５ｎｍ／ｍｉｎ、ＳｉＯ2 膜１４′のエ
ッチング速度は約４０ｎｍ／ｍｉｎであり、ＡｌＳｉＣ
ｕと炭素の選択比は約９、ＡｌＳｉＣｕとＳｉＯ2 の選
択比は約８．５であった。At this time, the AlSiCu thin film 13 has an etching rate of about 300 nm / min, the carbon film 14 has an etching rate of about 35 nm / min, and the SiO 2 film 14 'has an etching rate of about 40 nm / min.
The selection ratio of u to carbon was about 9, and the selection ratio of AlSiCu to SiO 2 was about 8.5.
【０１０１】また、この条件の下で、ウェハ上に発生す
る残渣量を観察したところ炭素膜１４をマスクとした場
合には残渣は全く見られなかった。一方、ＳｉＯ2 膜１
４′をマスクとした場合には残渣の発生が観察された。
この残渣発生の相違はＳｉＯ2 マスクの場合は、ＲＩＥ
におけるイオン衝撃により酸素がマスクより発生するた
め残留酸素量が大きくなり、Ａｌ酸化物が生じるためと
考えられる。Under this condition, when the amount of residue generated on the wafer was observed, no residue was found when the carbon film 14 was used as a mask. On the other hand, SiO 2 film 1
When 4'is used as a mask, generation of residues was observed.
This difference in residue generation is caused by RIE in the case of a SiO 2 mask.
It is considered that the amount of residual oxygen increases due to the generation of oxygen from the mask due to the ion bombardment in (3), and Al oxide is generated.
【０１０２】エッチングされたＡｌＳｉＣｕ薄膜１３の
形状をＳＥＭにて観察したところ、図７（ａ）に示す如
く炭素膜１４をマスクとして用いた場合、パターンのラ
インアンドスペース（Ｌ／Ｓ）部ではほぼ垂直形状のパ
ターンが得られた。ところが、図７（ｂ）に示す如くＳ
ｉＯ2 膜１４′をマスクとして用いた場合においては、
Ｌ／Ｓパターンのパターン端部において、片側（Ｌ／Ｓ
パターンの無い側）が大きなテーパ形状になっているこ
とが判明した。炭素膜１４をマスクとして用いた場合に
おいては、極端に左右非対称のパターンになるという現
象は観察されなかった。The shape of the etched AlSiCu thin film 13 was observed by SEM. When the carbon film 14 was used as a mask as shown in FIG. 7A, the line and space (L / S) portion of the pattern was almost the same. A vertical shaped pattern was obtained. However, as shown in FIG.
When the iO 2 film 14 'is used as a mask,
At the pattern end of the L / S pattern, one side (L / S
It was found that the side with no pattern) had a large taper shape. When the carbon film 14 was used as a mask, the phenomenon of an extremely asymmetric pattern was not observed.
【０１０３】これは、次のような現象に基づくものと考
えられる。即ち、エッチング中にマスクパターンには、
イオンシースに発生する電界によって加速された電子及
びイオンが入射される。被エッチング物（マスク材料）
が絶縁物である場合は、これらの入射するイオンや電子
により絶縁物中に電荷が蓄積される（チャージアッ
プ）。これに対し、被エッチング物が導電性材料の場合
においては、チャージアップは生じない。This is considered to be based on the following phenomenon. That is, during etching, the mask pattern
Electrons and ions accelerated by the electric field generated in the ion sheath are incident. Etching object (mask material)
Is an insulator, charges are accumulated in the insulator by these incident ions and electrons (charge-up). On the other hand, when the material to be etched is a conductive material, charge-up does not occur.
【０１０４】従って、上記実験においてはマスクパター
ンに対して例えば斜めから入射した荷電粒子により、絶
縁物であるＳｉＯ2 膜１４′の側壁にはチャージアップ
が生じ、電荷が蓄積される。Ｌ／Ｓパターンの中央部で
は、パターンの両側に蓄積される電荷量が等しいために
左右対称にイオンは曲げられ、エッチングは垂直方向に
進行する。しかし、Ｌ／Ｓパターン端部においては、Ｓ
ｉＯ2 膜１４′のパターンは片側にしか存在しないた
め、チャージアップしたＳｉＯ2 マスクによりイオンは
曲げられるために、左右非対称の形状となると考えられ
る。Therefore, in the above experiment, charged particles are incident on the mask pattern obliquely, for example, so that charge-up occurs on the side wall of the SiO 2 film 14 ′, which is an insulator, and charges are accumulated. In the central portion of the L / S pattern, the amount of charges accumulated on both sides of the pattern is equal, so that the ions are bent symmetrically and etching proceeds in the vertical direction. However, at the end of the L / S pattern, S
Since the pattern of the iO 2 film 14 ′ is present only on one side, it is considered that the ions are bent by the charged-up SiO 2 mask, resulting in a laterally asymmetrical shape.
【０１０５】一方、炭素膜１４をエッチングマスクとし
て用いた場合には、炭素膜１４の抵抗率は、１０-4Ωｃ
ｍと低く導電性材料である。従って、チャージアップが
生じないために、図７（ａ）に示した如く、Ｌ／Ｓパタ
ーンの端部においてもエッチング形状は左右対称で垂直
形状を示す。On the other hand, when the carbon film 14 is used as an etching mask, the resistivity of the carbon film 14 is 10 −4 Ωc.
m is a low conductive material. Therefore, since charge-up does not occur, as shown in FIG. 7A, the etching shape at the end of the L / S pattern is also symmetrical and vertical.
【０１０６】そこで、ドライエッチングにおいて、プラ
ズマ電位と試料の載置されている電極とに形成されるバ
イアス電圧（陰極降下電圧）を変化させ、ＳｉＯ2 及び
炭素膜をエッチングパターンとして、ＡｌＳｉＣｕ薄膜
をエッチングした時のＬ／Ｓパターン端部パターンの形
状を評価した。パターン形状は、前述の如く、チャージ
アップ効果の影響が大きい場合、テーパ形状となる。ま
た、チャージアップ効果が小さければ、垂直形状とな
る。Therefore, in dry etching, the plasma potential and the bias voltage (cathode drop voltage) formed on the electrode on which the sample is placed are changed, and the AlSiCu thin film is etched using the SiO 2 and carbon films as etching patterns. The shape of the end pattern of the L / S pattern was evaluated. As described above, the pattern shape becomes a taper shape when the influence of the charge-up effect is large. If the charge-up effect is small, the shape becomes vertical.
【０１０７】図８に、バイアス電圧を変化させたときの
エッチングされたＡｌＳｉＣｕ薄膜の形状をＳＥＭにて
観察し、Ｌ／Ｓパターン端部でのテーパ角を調べた結果
を示す。これより、ＳｉＯ2 マスクを用いた場合、バイ
アス電圧１５０Ｖ付近より、パターン形状が垂直或いは
逆テーパ形状からテーパ形状へと変化する。FIG. 8 shows the result of examining the taper angle at the end of the L / S pattern by observing the shape of the etched AlSiCu thin film when the bias voltage was changed, with an SEM. As a result, when the SiO 2 mask is used, the pattern shape changes from the vertical or inverse taper shape to the taper shape from around the bias voltage of 150V.
【０１０８】一方、炭素膜をマスクとした場合には、１
００Ｖ以下のバイアス電圧により、はじめて垂直形状よ
りテーパ形状に変化することが判明した。これにより、
炭素膜をマスクとした場合、マスクパターンがチャージ
アップを受けないために、バイアス電圧が低くとも高精
度のエッチングが可能である。On the other hand, when the carbon film is used as a mask, 1
It was found for the first time that the vertical shape changed to a tapered shape with a bias voltage of 00 V or less. This allows
When the carbon film is used as a mask, since the mask pattern is not charged up, highly accurate etching is possible even when the bias voltage is low.
【０１０９】次いで、図６（ｈ）に示すように、炭素膜
１４及びＳｉＯ2 膜１４′の剥離を行った。炭素膜１４
の剥離には、実施例１と同様に、通常のＯ2 プラズマエ
ッチング装置を用いた。これにより、炭素膜１４を容易
に除去することが可能であった。Next, as shown in FIG. 6H, the carbon film 14 and the SiO 2 film 14 'were peeled off. Carbon film 14
As in Example 1, a normal O 2 plasma etching apparatus was used for peeling. Thereby, the carbon film 14 could be easily removed.
【０１１０】一方、ＳｉＯ2 膜１４′はＯ2 プラズマエ
ッチングにて全くエッチングされなかった。そこで、Ｓ
ｉＯ2 膜１４′の剥離には、ＣＦ4 ／Ｏ2 ガスを用いた
ダウンフロー型装置にてエッチングを試みたところ、Ｓ
ｉＯ2 膜１４′は除去可能であった。しかし、上記ダウ
ンフローにてＳｉＯ2 膜１４′を除去したものでは、Ａ
ｌＳｉＣｕ薄膜１３に多量の腐食が発生した。また、下
地のＳｉＯ2 膜１２も同様にエッチングされるためにＡ
ｌＳｉＣｕパターン下にえぐれが生じた。On the other hand, the SiO 2 film 14 'was not etched at all by O 2 plasma etching. So S
The separation of the iO 2 film 14 ', was attempted etching with downflow device using CF 4 / O 2 gas, S
The iO 2 film 14 'was removable. However, in the case where the SiO 2 film 14 'is removed by the above down flow, A
A large amount of corrosion occurred on the 1SiCu thin film 13. Further, since the underlying SiO 2 film 12 is also etched in the same manner, A
Undercutting occurred under the lSiCu pattern.
【０１１１】炭素膜１４をマスクとしたものについて
は、Ｏ2 プラズマエッチングについて炭素膜剥離後、Ａ
ｌＳｉＣｕ薄膜１３に腐食は全く観察されなかった。さ
らに、下地ＳｉＯ2 膜１２のえぐれや損傷も全く観察さ
れなかった。また、ＳｉＯ2 膜１４′の剥離に関して
は、ＨＦ等のウェットエッチング液を用いて種々試みて
みたが、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１３や下地ＳｉＯ2 膜１２へ
のダメージを生じさせないで剥離することは不可能であ
った。With the carbon film 14 as a mask, O 2 plasma etching was performed after removing the carbon film and
No corrosion was observed on the 1SiCu thin film 13. Furthermore, no scooping or damage of the underlying SiO 2 film 12 was observed. Further, various attempts have been made to remove the SiO 2 film 14 ′ using a wet etching solution such as HF, but it is impossible to remove it without causing damage to the AlSiCu thin film 13 and the underlying SiO 2 film 12. there were.
【０１１２】即ち、炭素以外の例えば無機薄膜（ＳｉＯ
2 ）をエッチングマスクとして用いて、ＡｌＳｉＣｕ薄
膜のエッチングを行うことにより、ＡｌＳｉＣｕ薄膜と
のエッチング選択比はレジストをマスクとして用いた場
合と比較して大きくすることが可能となるが、ＡｌＳｉ
Ｃｕ薄膜や下地ＳｉＯ2 膜へのダメージなく、これらの
マスク薄膜を簡易に除去することは、非常に困難である
ことが判明した。That is, for example, an inorganic thin film other than carbon (SiO 2
By performing etching of the AlSiCu thin film using 2 ) as an etching mask, the etching selectivity with respect to the AlSiCu thin film can be increased as compared with the case where the resist is used as a mask.
It has been found that it is very difficult to easily remove these mask thin films without damaging the Cu thin film and the underlying SiO 2 film.
【０１１３】また、マスク材料として絶縁膜を用いた場
合には、チャージアップによりエッチング形状を制御す
ることは難しく、高精度のエッチングを実現することは
困難である。マスク剥離後ＳＥＭにて形状を評価したと
ころ、炭素膜をマスクとして用いたＡｌＳｉＣｕ薄膜に
おいては、垂直形状にて、線幅／ライン＝０．４μｍ／
０．４μｍのパターンを得ることが可能であった。When an insulating film is used as the mask material, it is difficult to control the etching shape by charge-up, and it is difficult to realize highly accurate etching. When the shape of the AlSiCu thin film using the carbon film as a mask was evaluated by SEM after the mask was peeled off, the line width / line = 0.4 μm / in the vertical shape.
It was possible to obtain a pattern of 0.4 μm.
【０１１４】次に、実施例１及び実施例２で示したプロ
セスにて形成したＡｌＳｉＣｕ薄膜の腐食について評価
した。用いた試料は、Ｓｉ基板上にＳｉＯ2膜を形成
し、この表面に順次Ｔｉ薄膜（膜厚２０ｎｍ），ＴｉＮ
薄膜（膜厚７０ｎｍ）及びＡｌＳｉＣｕ（Ｓｉ濃度１ｗ
ｔ％，Ｃｕ濃度０．５ｗｔ％）薄膜を堆積したものであ
る。さらに、図１（ｂ）で述べた如く、ＡｌＳｉＣｕ薄
膜の表面をＯ2 プラズマ処理して改質した。Next, the corrosion of the AlSiCu thin film formed by the process shown in Example 1 and Example 2 was evaluated. The sample used was a SiO 2 film formed on a Si substrate, and a Ti thin film (film thickness 20 nm) and TiN were sequentially formed on this surface.
Thin film (film thickness 70nm) and AlSiCu (Si concentration 1w
t%, Cu concentration 0.5 wt%) thin film is deposited. Further, as described with reference to FIG. 1B, the surface of the AlSiCu thin film was modified by O 2 plasma treatment.
【０１１５】上記プロセスにて形成されたＡｌＳｉＣｕ
／ＴｉＮ／Ｔｉ／ＳｉＯ2 積層薄膜構造上に対し、実施
例１に示した図１（ｂ）〜（ｇ）及び実施例２に示した
図６（ｂ）〜（ｈ）の工程により、上記試料の加工を行
った。AlSiCu formed by the above process
/ TiN / Ti / SiO 2 laminated thin film structure, the steps of FIGS. 1 (b) to 1 (g) shown in Example 1 and FIGS. 6 (b) to 6 (h) shown in Example 2 were performed. The sample was processed.
【０１１６】なお、このプロセスにおいて、ＴｉＮ／Ｔ
ｉ薄膜のエッチングは、ＡｌＳｉＣｕのエッチングと全
く同一条件にて、ＡｌＳｉＣｕのエッチング後に引き続
いて実施した。この試料の加工形状をＳＥＭにて調べた
ところ、実施例１及び実施例２で示した両プロセスと
も、ＡｌＳｉＣｕ／ＴｉＮ／Ｔｉ構造がほぼ垂直形状に
てエッチングされていること確認した。In this process, TiN / T
The etching of the i thin film was carried out subsequently to the etching of AlSiCu under exactly the same conditions as the etching of AlSiCu. When the processed shape of this sample was examined by SEM, it was confirmed that the AlSiCu / TiN / Ti structure was etched in a substantially vertical shape in both processes shown in Example 1 and Example 2.
【０１１７】エッチング後、上記試料を大気中に放置
し、腐食の様子を光学顕微鏡により評価した。チップ内
にて発生した腐食量を評価した結果を、図９に示す。レ
ジストをマスクとして用いてエッチングしたものは、放
置２４時間後にコロージョンの発生が観察された。これ
に対し、炭素膜をマスクとして用いてエッチングしたも
のは、１週間放置してもコロージョンの発生は全く認め
られなかった。After etching, the above samples were left in the atmosphere and the state of corrosion was evaluated by an optical microscope. The result of evaluating the amount of corrosion generated in the chip is shown in FIG. When etching was performed using the resist as a mask, the occurrence of corrosion was observed after standing for 24 hours. On the other hand, in the case of etching using the carbon film as a mask, no generation of corrosion was observed even after standing for 1 week.
【０１１８】これについては、後述する実施例７にて詳
述するが、エッチング中にレジストが分解されるとレジ
スト中に含有される不純物がＡｌＳｉＣｕ膜表面に附着
する。そして、この不純物がコロージョンを促進する要
因になっていると考えられる。一方、炭素膜中には不純
物は殆ど含有されていないため（前述の如くＳＩＭＳ分
析にて検出感度以下）、長期間の大気放置後もコロージ
ョンの発生は生じないと考えられる。 〈実施例３〉次に、本発明の第３の実施例について説明
する。Although this will be described in detail in Example 7 described later, when the resist is decomposed during etching, impurities contained in the resist adhere to the surface of the AlSiCu film. And, it is considered that this impurity is a factor that promotes corrosion. On the other hand, since the carbon film contains almost no impurities (less than the detection sensitivity in SIMS analysis as described above), it is considered that corrosion does not occur even after being left in the air for a long time. <Third Embodiment> Next, a third embodiment of the present invention will be described.
【０１１９】この実施例は、炭素膜をＳｉ基板のエッチ
ングマスクとして用いた例であり、特にデバイス構造に
おけるトレンチキャパシタ技術であるＳｉ基板に数μｍ
の深さのトレンチ（穴）を、ドライエッチング方法によ
り穿設する方法について述べる。This embodiment is an example in which a carbon film is used as an etching mask for a Si substrate, and in particular, a Si substrate, which is a trench capacitor technology in the device structure, has a thickness of several μm.
A method of forming a trench (hole) having a depth of 1 by the dry etching method will be described.
【０１２０】図１０は、炭素膜をエッチングマスクとし
て採用した、本実施例に係わるトレンチキャパシタの形
成工程を示す断面図である。FIG. 10 is a sectional view showing a step of forming a trench capacitor according to the present embodiment, which employs a carbon film as an etching mask.
【０１２１】まず、図１０（ａ）に示される如く、Ｓｉ
基板７０上に所要パターンのマスク７１を形成する。通
常このパターン７１は、シリコン酸化膜（ＳｉＯ2 ）や
シリコン窒化膜（ＳｉＮ）、或いはこれらの積層構造が
用いられている。本実施例では、マスク７１として素子
分離用ＳｉＯ2 上にスパッタ法により形成された炭素膜
を用いた。また、上記ＳｉＯ2 等のマスクを用いた場合
には、約８００ｎｍ程度の厚膜を必要とするが、炭素膜
の膜厚は２００ｎｍのものを用いた。First, as shown in FIG. 10A, Si
A mask 71 having a required pattern is formed on the substrate 70. Normally, the pattern 71 is made of a silicon oxide film (SiO 2 ), a silicon nitride film (SiN), or a laminated structure of these. In this example, a carbon film formed by sputtering on SiO 2 for element isolation was used as the mask 71. Further, when the mask of SiO 2 or the like is used, a thick film of about 800 nm is required, but a carbon film having a thickness of 200 nm was used.
【０１２２】次いで、図１０（ｂ）に示す如く、反応性
ドライエッチング技術により所要の深さのトレンチ７２
を穿設した。このときのエッチング装置としては、実施
例１で記述したような、マグネトロンを載置したものを
用いた。エッチングガスとしては、Ｃｌ2 とＳｉＣｌ4
（四塩化硅素）との混合ガスを用いた。エッチング中の
ガス圧は７×１０-3Torr、高周波印加電力は３Ｗ／ｃｍ
2 である。また、基板表面の温度はほぼ１００℃となる
ように保持した。Then, as shown in FIG. 10B, the trench 72 having a required depth is formed by the reactive dry etching technique.
Was drilled. As the etching device at this time, the one on which the magnetron was mounted as described in Example 1 was used. As the etching gas, Cl 2 and SiCl 4 are used.
A mixed gas with (silicon tetrachloride) was used. Gas pressure during etching is 7 × 10 -3 Torr, and high frequency applied power is 3 W / cm.
Is 2 . Further, the temperature of the substrate surface was maintained at about 100 ° C.
【０１２３】このとき、エッチングマスクとＳｉ基板と
のエッチング選択比を測定したところ、エッチングマス
クとしてＳｉＯ2 ７１′を用いた場合、選択比は１０程
度であったのに対して、炭素膜をマスクとして用いた場
合には、選択比は約２０と大きな値を示した。At this time, the etching selectivity between the etching mask and the Si substrate was measured. When SiO 2 71 'was used as the etching mask, the selectivity was about 10, whereas the carbon film was used as the mask. When used as, the selection ratio showed a large value of about 20.
【０１２４】また、エッチングによるトレンチ７２の形
状は、ＳｉＯ2 及び炭素膜を用いても垂直形状のものが
得られた。しかし、ウェハ面内のマイクロローディング
効果を評価したところ、炭素膜を用いた場合の方がマイ
クロローディング効果が低減されていることが判明し
た。これは、ＳｉＯ2 膜に比べ炭素膜は、Ｓｉとの選択
比が大きいために、エッチングマスクとしての膜厚を薄
くすることが可能で、本実施例の場合、ＳｉＯ2 マスク
に比べ炭素膜の膜厚を１／３とすることが可能であった
ために、アスペクト比が軽減されたためと考えられる。Further, the shape of the trench 72 formed by etching was vertical even if SiO 2 and a carbon film were used. However, evaluation of the microloading effect within the wafer surface revealed that the microloading effect was reduced when the carbon film was used. This carbon film than in the SiO 2 film, for selectivity between Si is large, it is possible to reduce the film thickness as an etching mask, in the present embodiment, the carbon film than in the SiO 2 mask It is considered that the aspect ratio was reduced because the film thickness could be reduced to 1/3.
【０１２５】次いで、図１０（ｃ）に示すように、ドラ
イエッチング時に発生する欠陥や汚染物を除去するため
に、トレンチ７２の側壁に薄いＳｉＯ2 膜７３を熱酸化
により形成し、続いて図１０（ｄ）に示すように、フッ
化アンモニア水（ＮＨ4 Ｆ）等の溶液を用いてＳｉＯ2
膜７３を除去した。Next, as shown in FIG. 10C, a thin SiO 2 film 73 is formed on the side wall of the trench 72 by thermal oxidation in order to remove defects and contaminants generated during dry etching. As shown in FIG. 10 (d), a solution of aqueous ammonia fluoride (NH 4 F) or the like is used for SiO 2
The film 73 was removed.
【０１２６】この場合、図１１（ａ）に示すように炭素
膜７１は、薄いＳｉＯ2 膜を熱酸化により形成する工程
においても変質、或いは炭素のＳｉ膜中への拡散等は生
じなかった。また、ＮＨ4 Ｆ溶液を用いた後処理によっ
て、上記炭素膜７１は全くエッチングされず、ＳｉＯ2
膜７３のみを剥離することが可能であった。In this case, as shown in FIG. 11A, the carbon film 71 did not undergo alteration or diffusion of carbon into the Si film even in the step of forming a thin SiO 2 film by thermal oxidation. Further, the after treatment using the NH 4 F solution, the carbon film 71 is entirely etched, SiO 2
It was possible to peel off only the film 73.
【０１２７】一方、エッチングマスクとしてＳｉＯ2 膜
７１′をマスクとして用いた場合においては、図１１
（ｂ）に示すようにＮＨ4 Ｆ溶液によりＳｉＯ2 膜７
１′及び素子分離酸化膜７５がエッチングされて、マス
クが後退することが明らかとなった。この場合において
は、トレンチ間を分離する素子分離構造７５がエッチン
グされるため、デバイスの集積度とともにトレンチ間の
間隔が狭くなると、トレンチキャパシタ間の分離ができ
なくなるという問題が生じた。On the other hand, in the case where the SiO 2 film 71 'is used as an etching mask, the structure shown in FIG.
As shown in (b), the SiO 2 film 7 is formed by NH 4 F solution.
It was revealed that the mask was recessed by etching 1'and the element isolation oxide film 75. In this case, since the element isolation structure 75 for isolating the trenches is etched, there arises a problem that the isolation between the trench capacitors cannot be performed when the space between the trenches becomes narrower with the integration degree of the device.
【０１２８】次いで、図１０（ｅ）に示すように、トレ
ンチ７２の側壁に不純物拡散を行って、拡散層７４を形
成する。本実施例のように炭素膜を用いたマスク後退の
ない場合においては、図１０（ｅ）に示すように、トレ
ンチ側壁部のみに拡散層７４が形成される。ところが、
図１１（ｃ）に示すように、ＳｉＯ2膜をマスクとして
用いたプロセスでは、マスクが後退するためにトレンチ
上部においても拡散層７４が形成される。この場合は、
十分な素子分離構造が形成されていない上に拡散層間の
距離が近接するため、トレンチキャパシタ間でのリーク
電流が大きくなるという問題が生じる。Then, as shown in FIG. 10E, impurity diffusion is performed on the sidewall of the trench 72 to form a diffusion layer 74. In the case where there is no mask recession using a carbon film as in the present embodiment, as shown in FIG. 10E, the diffusion layer 74 is formed only on the side wall of the trench. However,
As shown in FIG. 11C, in the process using the SiO 2 film as a mask, the mask recedes, so that the diffusion layer 74 is formed also in the upper portion of the trench. in this case,
Since a sufficient isolation structure is not formed and the distance between the diffusion layers is close, there arises a problem that leakage current between the trench capacitors becomes large.
【０１２９】次いで、エッチングマスク７１を除去した
のち、誘電体となる薄いシリコン酸化膜或いは酸化膜と
窒化膜（ＳｉＮ）との積層膜７３を形成する。次いで、
図１０（ｆ）に示す如く、多結晶シリコン膜７６を堆積
し、不純物拡散を行って導電性とし、前述のドライエッ
チング装置を用いて、多結晶シリコン膜７６をＣｌ2 ガ
スを用いたドライエッチングによりパターニングして、
所要の容量を有するトレンチキャパシタを構成した。Next, after removing the etching mask 71, a thin silicon oxide film serving as a dielectric or a laminated film 73 of an oxide film and a nitride film (SiN) is formed. Then
As shown in FIG. 10F, a polycrystalline silicon film 76 is deposited, impurities are diffused to make it conductive, and the polycrystalline silicon film 76 is dry-etched using Cl 2 gas by using the above-mentioned dry etching apparatus. Patterning with
A trench capacitor having the required capacitance was constructed.
【０１３０】最後に、炭素膜マスクを用いて形成したト
レンチキャパシタと、ＳｉＯ2 膜或いはＳｉＯ2 とＳｉ
Ｎとの積層構造からなるマスクを用いて形成したトレン
チキャパシタとを比較したところ、炭素膜マスクを用い
て構成したトレンチキャパシタにおいて、高い絶縁耐圧
で低リーク電流特性とすることが可能であった。 〈実施例４〉次に、本発明の第４の実施例について説明
する。Finally, the trench capacitor formed using the carbon film mask and the SiO 2 film or SiO 2 and Si
A comparison with a trench capacitor formed by using a mask having a laminated structure with N revealed that a trench capacitor formed by using a carbon film mask could have a high withstand voltage and low leakage current characteristics. <Embodiment 4> Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
【０１３１】この実施例では、銅（Ｃｕ）等のドライエ
ッチングにおいてエッチングマスクとして、炭素膜を用
いた方法について述べる。即ち、Ｃｕ等のハロゲン化合
物は蒸気圧が低く、イオン等の高いエネルギー衝撃や高
い基板温度がエッチングに必要となるため、レジスト等
の有機質材料に代えて炭素膜をマスクとして用いる方法
である。In this example, a method using a carbon film as an etching mask in dry etching of copper (Cu) or the like will be described. That is, since a halogen compound such as Cu has a low vapor pressure and requires a high energy impact of ions or the like and a high substrate temperature for etching, a carbon film is used as a mask instead of an organic material such as a resist.
【０１３２】まず、図６に示した実施例２の場合と同様
に、ＳｉＯ2 膜１２上にＣｕ膜（８００ｎｍ）１３をス
パッタリング法により形成した。その後、図６（ｂ）に
示す如く、炭素膜１４を２００ｎｍ厚さに上記と同様の
スパッタリング法により形成した。First, as in the case of Example 2 shown in FIG. 6, a Cu film (800 nm) 13 was formed on the SiO 2 film 12 by the sputtering method. Then, as shown in FIG. 6B, a carbon film 14 having a thickness of 200 nm was formed by the same sputtering method as described above.
【０１３３】次いで、図６（ｃ）から（ｆ）に示したの
と全く同一工程により炭素膜１４のパターニングを行
い、炭素膜１４上のレジスト１５を剥離し、図６（ｆ）
に示すような構造を得た。Then, the carbon film 14 is patterned by the same steps as shown in FIGS. 6C to 6F, the resist 15 on the carbon film 14 is peeled off, and the pattern shown in FIG.
A structure as shown in was obtained.
【０１３４】次いで、図６（ｇ）に示すように、炭素膜
１４をマスクとして用いＣｕ膜１３のドライエッチング
を行った。エッチング装置は、実施例１に示したマグネ
トロンを載置した反応イオンエッチング装置を用いた。
エッチングガスとしてＣｌ2 （総量１００SCCM）、圧力
０．５Ｐａ、高周波電力１．７Ｗ／ｃｍ2 、基板温度を
２００〜４００℃まで変化させた。Next, as shown in FIG. 6G, the Cu film 13 was dry-etched using the carbon film 14 as a mask. As the etching apparatus, the reactive ion etching apparatus equipped with the magnetron shown in Example 1 was used.
Cl 2 (total amount of 100 SCCM) was used as an etching gas, the pressure was 0.5 Pa, the high frequency power was 1.7 W / cm 2 , and the substrate temperature was changed from 200 to 400 ° C.
【０１３５】ここで、比較のために、Ｃｕ膜上に通常の
有機レジストを形成し、基板温度を上昇させたところ、
光硬化処理を施したレジストにおいても、基板温度１６
０℃以上ではレジストパターンが熱により劣化すること
が判明した。一方、炭素膜をマスクパターンとした場
合、基板温度４００℃においてもパターンの劣化は観察
されなかった。For comparison, an ordinary organic resist was formed on the Cu film and the substrate temperature was raised.
The substrate temperature of 16
It was found that the resist pattern was deteriorated by heat at 0 ° C or higher. On the other hand, when the carbon film was used as the mask pattern, no deterioration of the pattern was observed even at a substrate temperature of 400 ° C.
【０１３６】上記構造についてドライエッチングを行っ
たところ、基板温度２５０℃では、Ｃｕはエッチングは
されるものの、残渣が発生した。しかし、基板温度を３
００℃以上に上昇させてエッチングしたところ、図６
（ｇ）に示す如く、ほぼ垂直な形状にてＣｕをエッチン
グすることが可能であり、また残渣の発生は全く観察さ
れなかった。When dry etching was performed on the above structure, at the substrate temperature of 250 ° C., Cu was etched, but a residue was generated. However, if the substrate temperature is 3
When etching was performed by raising the temperature to 00 ° C. or higher, FIG.
As shown in (g), it was possible to etch Cu in a substantially vertical shape, and no residue was observed.
【０１３７】このときのＣｕのエッチング速度は４００
ｎｍ／ｍｉｎ、炭素膜のエッチング速度は１００ｎｍ／
ｍｉｎ、Ｃｕと炭素膜とのエッチング選択比は４であ
る。従って、炭素膜は３００℃以上という高温において
も、ハロゲンガスを用いた反応性イオンエッチングの良
好なエッチングマスクとして作用するという耐熱性を有
するために、Ｃｕのようなハロゲン化合物の蒸気圧が低
い材料においても高精度のエッチングが可能となる。 〈実施例５〉次に、本発明の第５の実施例について説明
する。The etching rate of Cu at this time is 400
nm / min, carbon film etching rate is 100 nm /
The etching selection ratio between min, Cu and the carbon film is 4. Therefore, since the carbon film has heat resistance that it works as a good etching mask for reactive ion etching using a halogen gas even at a high temperature of 300 ° C. or higher, a material having a low vapor pressure of a halogen compound such as Cu. Also in this case, highly accurate etching becomes possible. <Fifth Embodiment> Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.
【０１３８】この実施例では、ＭＯＳ型半導体集積回路
におけるトランジスタのドレイン領域を低濃度及び高濃
度の拡散領域を二重構造とした、いわゆるＬＤＤ（Ligh
t Doped Drain ）構造に炭素膜マスクを適用する方法に
ついて説明する。In this embodiment, the drain region of the transistor in the MOS type semiconductor integrated circuit has a double structure of a low concentration and a high concentration diffusion region, which is a so-called LDD (Ligh).
A method of applying a carbon film mask to the t Doped Drain) structure will be described.
【０１３９】図１２は、本実施例に係わるＭＯＳトラン
ジスタの製造工程を示す断面図である。まず、図１２
（ａ）に示すように、ｐ型シリコン基板９１に、選択酸
化によりフィールド酸化膜９２を形成した後、熱酸化処
理を施して、フィールド酸化膜９２で分離された島状の
素子形成領域表面に厚さ１５ｎｍのゲート酸化膜９３を
形成した。続いて、全面に厚さ４００ｎｍの多結晶シリ
コン膜を堆積し、ＰｏＣｌ3 の雰囲気中でリン拡散を行
って該多結晶シリコン膜にリンをドープし低抵抗化させ
た後、フォトエッチング技術によりパターニングしてゲ
ート電極９４を形成した。FIG. 12 is a cross-sectional view showing the manufacturing process of the MOS transistor according to this embodiment. First, FIG.
As shown in (a), after a field oxide film 92 is formed on the p-type silicon substrate 91 by selective oxidation, a thermal oxidation process is performed on the surface of the island-shaped element formation region separated by the field oxide film 92. A gate oxide film 93 having a thickness of 15 nm was formed. Subsequently, a polycrystalline silicon film having a thickness of 400 nm is deposited on the entire surface, phosphorus is diffused in an atmosphere of PoCl 3 to dope the polycrystalline silicon film with phosphorus to reduce the resistance, and then patterned by photoetching technique. Then, the gate electrode 94 was formed.
【０１４０】次いで、図１２（ｂ）に示すように、熱酸
化処理を施して、ゲート電極９４の上面及び側面に厚さ
１００ｎｍの酸化膜９５を形成した。その後、ゲート電
極９４及び酸化膜９５をマスクとして、拡散係数の比較
的小さい砒素を加速電圧３５ｋｅＶ、ドーズ量１×１０
14ｃｍ-2の条件でイオン注入し、活性化して基板９１表
面にゲート電極９４に対して自己整合的にｎ- 型拡散領
域９６ａ、９６ｂを形成した。Next, as shown in FIG. 12B, thermal oxidation treatment was performed to form an oxide film 95 with a thickness of 100 nm on the upper surface and the side surface of the gate electrode 94. Then, using the gate electrode 94 and the oxide film 95 as a mask, arsenic having a relatively small diffusion coefficient is used as an acceleration voltage of 35 keV and a dose of 1 × 10.
Ions were implanted and activated under the condition of 14 cm −2 to form n − type diffusion regions 96a and 96b on the surface of the substrate 91 in a self-aligned manner with respect to the gate electrode 94.
【０１４１】次いで、図１２（ｃ）に示すように、全面
に厚さ２００ｎｍの炭素膜９８をスパッタリング法によ
り堆積した。スパッタリングには、実施例１に示したマ
グネトロン型スパッタリング装置を用い、Ａｒガスをス
パッタリングガスとして、炭素のターゲット（純度99.9
99％）をスパッタリングし、炭素膜９８を形成した。形
成した炭素膜９８の純度を二次イオン質量分析法（ＳＩ
ＭＳ）を用いて分析したところ、炭素以外の元素に関し
てはＳＩＭＳの検出感度以下（〜１６15atms／ｃｍ3 ）
であった。Next, as shown in FIG. 12C, a carbon film 98 having a thickness of 200 nm was deposited on the entire surface by a sputtering method. For the sputtering, the magnetron-type sputtering apparatus shown in Example 1 was used, with Ar gas as the sputtering gas, a carbon target (purity 99.9).
99%) was sputtered to form a carbon film 98. The purity of the formed carbon film 98 is measured by secondary ion mass spectrometry (SI
MS) analysis revealed that for elements other than carbon, the detection sensitivity is less than that of SIMS (up to 16 15 atms / cm 3 ).
Met.
【０１４２】次いで、図１２（ｄ）に示す如く実施例１
にて用いたドライエッチング装置を用い、Ｏ2 ガス（流
量１００SCCM）圧力７Ｐａ、高周波電力０．８Ｗ／ｃｍ
2 、基板温度−３０℃にて、上記炭素膜９８の反応性イ
オンエッチング法により全面のエッチングを行った。こ
の反応性イオンエッチングにより、ゲート電極９４の側
面に対応する酸化膜９５に炭素膜９８からなる壁体１０
０を形成した。Then, as shown in FIG. 12D, Example 1
Using a dry etching apparatus used in the, O 2 gas (flow rate 100 SCCM) Pressure 7 Pa, RF power 0.8 W / cm
2. The entire surface of the carbon film 98 was etched by the reactive ion etching method at a substrate temperature of -30 ° C. By this reactive ion etching, the wall 10 made of the carbon film 98 is formed on the oxide film 95 corresponding to the side surface of the gate electrode 94.
Formed 0.
【０１４３】この場合のエッチング速度を測定したとこ
ろ、炭素膜９８のエッチング速度は３００ｎｍ／ｍｉｎ
であったのに対して、ＳｉＯ2 膜９３のエッチング速度
は６ｎｍ／ｍｉｎであった。従って、ＳｉＯ2 膜９３を
消失させないで炭素膜９８からなる壁体１００を形成す
ることが可能であった。When the etching rate in this case was measured, the etching rate of the carbon film 98 was 300 nm / min.
However, the etching rate of the SiO 2 film 93 was 6 nm / min. Therefore, it was possible to form the wall body 100 made of the carbon film 98 without losing the SiO 2 film 93.
【０１４４】一方、比較のために、従来から使用されて
きたＳｉＯ2 からなる壁体の形成を行った。前述した炭
素膜の形成工程と同様に図１２（ｃ）に示すように、全
面に厚さ２００ｎｍのＳｉＯ2 膜（９８′）を堆積し、
反応性イオンエッチング法により全面エッチングを行っ
た。On the other hand, for comparison, a conventionally used wall body made of SiO 2 was formed. As shown in FIG. 12C, a SiO 2 film (98 ′) having a thickness of 200 nm is deposited on the entire surface as in the step of forming the carbon film described above.
The entire surface was etched by the reactive ion etching method.
【０１４５】しかし、エッチング速度のウェハ面内での
均一性を考慮すると、ＳｉＯ2 膜９３と全面に堆積した
ＳｉＯ2 膜９８′とのエッチング速度が等しいために、
ＳｉＯ2 膜９３を消失させないで、ウェハ面内全域に渡
って、ＳｉＯ2 膜９８′から構成される壁体１００を形
成することは不可能であった。However, considering the uniformity of the etching rate within the wafer surface, since the etching rates of the SiO 2 film 93 and the SiO 2 film 98 'deposited on the entire surface are equal,
It was impossible to form the wall body 100 composed of the SiO 2 film 98 'over the entire surface of the wafer without losing the SiO 2 film 93.
【０１４６】次いで、図１２（ｄ）に示すように、ゲー
ト電極９４，酸化膜９５及び壁体１００をマスクとし
て、砒素を加速電圧４０ｋｅＶ、ドーズ量５×１０15ｃ
ｍ-2の条件でイオン注入し、活性化して基板９１表面に
壁体１００に対して自己整合的に、ｎ- 型拡散領域９６
ａ，９６ｂより高濃度のｎ+ 拡散領域９９ａ，９９ｂを
形成した。このとき、炭素膜９８からなる壁体１００
は、砒素のイオン注入条件にて、十分な阻止能力を有し
ているために、自己整合的に拡散層９９ａ，９９ｂを形
成することは容易であった。Next, as shown in FIG. 12D, with the gate electrode 94, the oxide film 95 and the wall 100 as a mask, arsenic is accelerated at a voltage of 40 keV and a dose of 5 × 10 15 c.
Ions are implanted under the condition of m −2 , activated, and self-aligned with the wall body 100 on the surface of the substrate 91, and the n − type diffusion region 96
n + diffusion regions 99a and 99b having a higher concentration than a and 96b are formed. At this time, the wall body 100 made of the carbon film 98
Has a sufficient blocking ability under the arsenic ion implantation conditions, so that it was easy to form the diffusion layers 99a and 99b in a self-aligned manner.
【０１４７】この工程によって、ｎ- 型拡散領域９６ａ
及びｎ+ 型拡散領域９９ａからなるソース領域が形成さ
れると共に、ｎ- 型拡散領域９６ｂ及びｎ+ 型拡散領域
９９ｂからなるドレイン領域が形成された。即ち、ＬＤ
Ｄ構造が実現されることになる。By this step, the n -- type diffusion region 96a is formed.
And the n + type diffusion region 99a are formed as the source region, and the n − type diffusion region 96b and the n + type diffusion region 99b are formed as the drain region. That is, LD
The D structure will be realized.
【０１４８】次いで、図１２（ｅ）に示すように、全面
にＣＶＤ−ＳｉＯ2膜１０２を堆積し、このＣＶＤ−Ｓ
ｉＯ2 膜１０２及びゲート酸化膜９３等にフォトエッチ
ング技術によりコンタクトホール１０３を開孔した。そ
の後、Ａｌ膜を堆積してパターニングを行うことによ
り、ソース、ドレイン領域のｎ+ 型拡散領域９９ａ，９
９ｂ及びゲート電極９４とコンタクトホール１０３を通
して接続する、Ａｌ配線１０４，１０５，１０６を形成
してｎチャンネルＭＯＳトランジスタＩＣを製造した。Next, as shown in FIG. 12E, a CVD-SiO 2 film 102 is deposited on the entire surface, and this CVD-S is formed.
A contact hole 103 was formed in the iO 2 film 102, the gate oxide film 93 and the like by a photoetching technique. After that, by depositing an Al film and patterning it, n + type diffusion regions 99a and 9a of the source and drain regions are formed.
An n-channel MOS transistor IC was manufactured by forming Al wirings 104, 105 and 106 which are connected to 9b and the gate electrode 94 through the contact hole 103.
【０１４９】上記工程において、炭素膜９８を用いた壁
体１００の劣化及び壁体１００から他の領域への炭素膜
９８の拡散等は全く観察されなかった。また、上記ｎチ
ャンネルＭＯＳトランジスタの特性を評価したところ、
ホットキャリアの発生を抑制し、ドレイン電界を緩和し
た良好なトランジスタ特性を高い生産率をもって得るこ
とができた。In the above steps, neither deterioration of the wall body 100 using the carbon film 98 nor diffusion of the carbon film 98 from the wall body 100 to other regions was observed. Moreover, when the characteristics of the n-channel MOS transistor are evaluated,
The generation of hot carriers was suppressed, and good transistor characteristics in which the drain electric field was relaxed could be obtained with a high production rate.
【０１５０】また、比較のために用いた従来型のＳｉＯ
2 膜からなる壁体を有するＭＯＳトランジスタの特性を
評価したところ、良好なトランジスタ特性が得られる生
産率は極めて低いものであった。この原因を分析したと
ころ、ゲート酸化膜であるＳｉＯ2 膜９３が壁体形成時
のエッチングにより消失していることに起因することが
判明した。The conventional type SiO used for comparison.
When the characteristics of a MOS transistor having a wall made of two films were evaluated, the production rate at which good transistor characteristics were obtained was extremely low. Analysis of the cause revealed that it was caused by the fact that the SiO 2 film 93, which is a gate oxide film, disappeared due to etching during the formation of the wall body.
【０１５１】従って本実施例によれば、炭素膜９８を用
いた壁体１００を形成することにより、ＬＤＤ構造を有
する高性能で高信頼性のＭＯＳトランジスタを高効率に
て生産することが可能であった。 〈実施例６〉次に、本発明の第６の実施例について説明
する。Therefore, according to this embodiment, by forming the wall body 100 using the carbon film 98, a high-performance and highly reliable MOS transistor having an LDD structure can be produced with high efficiency. there were. <Sixth Embodiment> Next, a sixth embodiment of the present invention will be described.
【０１５２】この実施例では、リソグラフィ工程におけ
る露光マスク、特に位相シフタを有した露光マスクの製
造工程に炭素膜を適用した例について説明する。図１３
は、本実施例に係わる露光マスクの製造工程を示す断面
図である。In this embodiment, an example in which a carbon film is applied to a manufacturing process of an exposure mask in a lithography process, particularly an exposure mask having a phase shifter will be described. FIG.
FIG. 7A is a cross-sectional view showing the process of manufacturing the exposure mask according to the present embodiment.
【０１５３】まず、図１３（ａ）に示すように、透光性
の石英基板（厚さ約２．３ｍｍ）２００の表面にスパッ
タリング法により、膜厚１００ｎｍのＣｒ薄膜からなる
半透明の膜２０１を形成した。続いて、実施例１〜５に
て記述した如く、Ｃｒ薄膜２０１上に炭素膜２０４をス
パッタリング法にて５０ｎｍ堆積した後、炭素膜２０４
上にレジスト２０５を塗布し、ＥＢ露光を用いたリソグ
ラフィ工程によりレジスト２０５をパターニングした。First, as shown in FIG. 13A, a semitransparent film 201 made of a Cr thin film having a thickness of 100 nm is formed on the surface of a transparent quartz substrate (thickness: about 2.3 mm) 200 by a sputtering method. Formed. Then, as described in Examples 1 to 5, after depositing a carbon film 204 on the Cr thin film 201 by a sputtering method to a thickness of 50 nm, the carbon film 204 is deposited.
A resist 205 was applied on the above, and the resist 205 was patterned by a lithography process using EB exposure.
【０１５４】次いで、図１３（ｂ）に示すようにレジス
ト２０５をマスクとして、実施例１〜５で述べたドライ
エッチング技術により炭素膜２０４の加工を行った。エ
ッチング工程は、実施例２に記述したようにＨ2 ガス
（１００SCCM流量）を用い、圧力１．５Ｐａ、高周波電
力１．７Ｗ／ｃｍ2 、基板温度２５℃にて、前述のドラ
イエッチング装置を用いて行った。これにより、レジス
トパターンに対して、炭素膜２０４を垂直に加工するこ
とが可能であった。Next, as shown in FIG. 13B, the carbon film 204 was processed by the dry etching technique described in Examples 1 to 5 using the resist 205 as a mask. In the etching process, H 2 gas (100 SCCM flow rate) was used as described in Example 2, the pressure was 1.5 Pa, the high frequency power was 1.7 W / cm 2 , the substrate temperature was 25 ° C., and the dry etching apparatus was used. I went. As a result, it was possible to process the carbon film 204 perpendicularly to the resist pattern.
【０１５５】この場合、被エッチング材料である炭素膜
２０４が厚さ２．３ｍｍの厚い石英基板２００上に形成
されているために、石英基板２００の温度が２００℃程
度まで上昇する。被エッチング物である炭素膜２０４が
薄いために、上記エッチングにおいては、レジストパタ
ーンの劣化なく炭素膜２０４のドライエッチングが可能
であった。In this case, since the carbon film 204 which is the material to be etched is formed on the thick quartz substrate 200 having a thickness of 2.3 mm, the temperature of the quartz substrate 200 rises up to about 200.degree. Since the carbon film 204, which is the object to be etched, is thin, dry etching of the carbon film 204 was possible in the above etching without deterioration of the resist pattern.
【０１５６】次いで、炭素膜２０４上のレジスト２０５
を、ＣＦ4 ／Ｏ2 ガスを用いたダウンフロー型アッシン
グ装置によりアッシングして除去した。アッシング条件
は実施例２に示したように流量ＣＦ4 ／Ｏ2 ＝１５／５
００SCCM、圧力０．８Torr、アッシング時間は２分であ
った。これにより、炭素膜２０４及びＣｒ薄膜２０１に
全く損傷を与えない（Ｃｒ薄膜については表面が若干酸
化された）でレジスト２０５を除去することが可能であ
った。Next, the resist 205 on the carbon film 204.
Was removed by ashing with a downflow type ashing apparatus using CF 4 / O 2 gas. As the ashing condition, the flow rate CF 4 / O 2 = 15/5 as shown in the second embodiment.
The pressure was 00 SCCM, the pressure was 0.8 Torr, and the ashing time was 2 minutes. As a result, the resist 205 could be removed without damaging the carbon film 204 and the Cr thin film 201 (the surface of the Cr thin film was slightly oxidized).
【０１５７】次いで、上記のドライエッチング装置を用
い、炭素膜２０４をエッチングマスクとしてＣｒ薄膜２
０１のパターニングを行った。エッチングには、エッチ
ングガスとしてＣＨ2 ＣｌとＯ2 とを主成分とした混合
ガスを用いた。このときのエッチング圧力は１．５Ｐ
ａ、パワーは０．８Ｗ／ｃｍ2 、基板温度は２５℃であ
る。これにより、Ｃｒ薄膜２０１を残渣なく、垂直にエ
ッチングすることが可能であった。Then, using the dry etching apparatus described above, the Cr thin film 2 is formed using the carbon film 204 as an etching mask.
01 patterning was performed. For etching, a mixed gas containing CH 2 Cl and O 2 as main components was used as an etching gas. The etching pressure at this time is 1.5P
a, the power is 0.8 W / cm 2 , and the substrate temperature is 25 ° C. As a result, the Cr thin film 201 could be vertically etched without any residue.
【０１５８】このエッチングにおいても基板温度は上昇
するが、炭素膜２０４をマスクとした場合、炭素膜２０
４の形状が熱のために変形或いは劣化しないために、Ｃ
ｒ薄膜２０１の高精度の加工が可能であった。The substrate temperature also rises in this etching, but when the carbon film 204 is used as a mask, the carbon film 20 is removed.
Since the shape of 4 does not deform or deteriorate due to heat, C
It was possible to process the r thin film 201 with high accuracy.
【０１５９】その後、炭素膜２０４を前述した如くＯ2
ガスを用いたプラズマエッチングにより除去した。この
際、Ｃｒ薄膜２０１の極く表面が酸化され、表面にＣｒ
酸化物が形成されたが、光学的な透過率等を評価したと
ころ、透過率等には殆ど変化がなく、マスク材料として
は問題がないことが判った。また、石英基板２００には
何らダメージは生じないことを確認した。After that, the carbon film 204 is subjected to O 2 as described above.
It was removed by plasma etching using gas. At this time, the very surface of the Cr thin film 201 is oxidized, and
An oxide was formed, but when the optical transmittance and the like were evaluated, it was found that there was almost no change in the transmittance and the like, and there was no problem as a mask material. It was also confirmed that the quartz substrate 200 was not damaged at all.
【０１６０】次いで、図１３（ｃ）に示すように、露光
光に対して位相シフタとなる膜厚約３００ｎｍの酸化シ
リコン膜２０２を堆積する。ここで、位相シフタとして
の酸化シリコン膜２０２の膜厚は、１８０℃位相がずれ
るような値となっている。Next, as shown in FIG. 13C, a silicon oxide film 202 having a film thickness of about 300 nm which serves as a phase shifter for exposure light is deposited. Here, the film thickness of the silicon oxide film 202 as the phase shifter has a value such that the phase shifts by 180 ° C.
【０１６１】次いで、酸化シリコン膜２０２の上に前述
の如く炭素膜２０６をスパッタリング法により５０ｎｍ
堆積した。続いて、レジスト２０７を塗布し、ＥＢ露光
を用いたリソグラフィ工程によりレジスト２０７をパタ
ーニングした。Then, the carbon film 206 is sputtered on the silicon oxide film 202 as described above to a thickness of 50 nm.
Deposited. Subsequently, a resist 207 was applied, and the resist 207 was patterned by a lithography process using EB exposure.
【０１６２】次いで、図１３（ｄ）に示すように、レジ
スト２０７をマスクとして前述の如くドライエッチング
技術により炭素膜２０６のエッチングを行い、炭素膜２
０６の垂直な加工を行った。その後、ＣＦ4 ／Ｏ2 ガス
を用いたダウンフロー型アッシングによりレジスト２０
５を除去した。Next, as shown in FIG. 13D, the carbon film 206 is etched by the dry etching technique using the resist 207 as a mask as described above, and the carbon film 2 is removed.
06 vertical machining was performed. After that, the resist 20 is formed by down-flow type ashing using CF 4 / O 2 gas.
5 was removed.
【０１６３】次いで、図１３（ｅ）に示すように、前述
のドライエッチング装置にて、エッチングガスとしてＣ
ＨＦ3 ガスを用いて、反応性イオンエッチングによりＳ
ｉＯ2 膜２０３の加工を行った。Then, as shown in FIG. 13E, C was used as an etching gas in the above-mentioned dry etching apparatus.
S by reactive ion etching using HF 3 gas
The iO 2 film 203 was processed.
【０１６４】エッチング条件は、パワー１．４Ｗ／ｃｍ
2 、圧力４０ｍTorrである。この場合、エッチング中の
基板温度は２５０℃以上に上昇する。比較のためにエッ
チングマスクとしてレジストからなるパターンを形成
し、レジストパターンをマスクとして上記石英基板２０
０上に形成されたＳｉＯ2 膜２０３のドライエッチング
を上記と同一条件にて行ったところ、エッチング中の温
度上昇によりレジストパターンが変形し、さらにレジス
ト分解物が多量に発生するため、高精度のＳｉＯ2 膜２
０３のエッチング加工を実現することは不可能であっ
た。The etching condition is a power of 1.4 W / cm.
2. The pressure is 40 mTorr. In this case, the substrate temperature during etching rises to 250 ° C. or higher. For comparison, a resist pattern is formed as an etching mask, and the quartz substrate 20 is formed using the resist pattern as a mask.
When the dry etching of the SiO 2 film 203 formed on the SiO.sub.2 film is performed under the same conditions as described above, the resist pattern is deformed due to the temperature rise during the etching, and a large amount of resist decomposed products are generated. SiO 2 film 2
It was impossible to realize the etching process of No. 03.
【０１６５】また、レジスト分解物より発生するゴミが
多量に付着，残渣していることも判明した。一方、炭素
膜２０６をエッチングマスクとして用いた場合において
は、前記エッチング中の温度上昇にて炭素膜２０６を全
く変形しなく、耐熱性に優れたドライエッチングマスク
として作用するので、高精度のＳｉＯ2 膜２０３の加工
が可能であった。またエッチング後のゴミを評価したと
ころ全く観察されなかった。It was also found that a large amount of dust generated from the resist decomposition product was attached and remained. On the other hand, in the case of using a carbon film 206 as an etching mask, the not deformed at all the carbon film 206 at a temperature rise during etching, because they act as a dry etching mask having excellent heat resistance, high-precision SiO 2 It was possible to process the film 203. Further, when dust after etching was evaluated, it was not observed at all.
【０１６６】最後に、炭素膜２０６を除去することによ
り、図１３（ｅ）に示すような位相シフタ露光マスクが
完成する。Finally, by removing the carbon film 206, a phase shifter exposure mask as shown in FIG. 13E is completed.
【０１６７】このようにして形成した露光用マスクをＮ
Ａ＝０．４２の投影レンズを有するＫｒＦエキシマステ
ッパーに装置し、図１４（ａ）に示すようにエキシマレ
ーザ光を照射し、図１４（ｄ）に示すような被処理基板
上７００に塗布された０．５μｍ厚のノボラック系ポジ
レジスト（ＰＲ−１０２４）７０１を露光した。The exposure mask thus formed is
A KrF excimer stepper having a projection lens of A = 0.42 is installed, and is irradiated with excimer laser light as shown in FIG. 14 (a), and applied on a substrate 700 to be processed as shown in FIG. 14 (d). A 0.5 μm thick novolak-based positive resist (PR-1024) 701 was exposed.
【０１６８】この場合、図１４（ｂ）（ｃ）に示す如く
位相シフタを通過した光は位相が１８０°ずれており、
この光振幅と位相シフタのない部分を通過した光の振幅
が２つの透過部の境界で互いに打ち消し合うために、２
つの透過部の境界部の光強度は０となり、２つの透過部
よりウェハ上に形成されるパターンを分離することが可
能であった。In this case, as shown in FIGS. 14B and 14C, the light passing through the phase shifter is out of phase by 180 °,
Since this light amplitude and the amplitude of the light passing through the portion without the phase shifter cancel each other at the boundary between the two transmitting portions,
The light intensity at the boundary between the two transmissive portions was 0, and it was possible to separate the pattern formed on the wafer from the two transmissive portions.
【０１６９】従って、図１４（ｄ）に示すように０．２
μｍのパターンが極めて高精度に再現性よく得られた。
また、マスクの欠陥検査を行ったところ白黒の欠陥とも
に観察されなかった。ちなみに、炭素膜をマスクとして
用いず、レジストをマスクとして用いて作成した露光マ
スクでは所望のパターンが形成されておらず、露光マス
クとして使用することはできなかった。Therefore, as shown in FIG.
The μm pattern was obtained with extremely high accuracy and reproducibility.
In addition, when the mask was inspected for defects, neither black-and-white defects were observed. Incidentally, an exposure mask formed by using a resist as a mask without using a carbon film as a mask did not have a desired pattern and could not be used as an exposure mask.
【０１７０】位相シフタを用いた露光マスクにおいてマ
スク構造は種々提案されているがシフタ材料である例え
ばＳｉＯ2 の微細加工には、ドライエッチング技術が必
須である。しかし、石英基板は厚く形成されているため
に、エッチング中の基板の冷却は極めて困難になる。Although various mask structures have been proposed for an exposure mask using a phase shifter, a dry etching technique is indispensable for fine processing of a shifter material such as SiO 2 . However, since the quartz substrate is formed thick, it is extremely difficult to cool the substrate during etching.
【０１７１】従って、エッチング中の温度上昇は回避困
難であり、エッチングマスクとして有機質であるレジス
トを用いた場合には、耐熱性に乏しいため、レジストパ
ターンが変形劣化し、高精度のパターン形成及びゴミの
ない高信頼性マスクを得ることはできないことが判っ
た。Therefore, it is difficult to avoid the temperature rise during etching, and when an organic resist is used as an etching mask, the resist pattern is poor in heat resistance, so that the resist pattern is deformed and deteriorated, and highly accurate pattern formation and dust are prevented. It turns out that it is not possible to obtain a high-reliability mask.
【０１７２】一方、マスク材料として、耐熱性に優れた
種々の無機材料を用いることも可能であるが、これらの
材料の高精度の加工は極めて困難である。例えば、エッ
チング条件によっては、エッチング中の温度上昇により
前述の如くレジストが劣化するために、高精度の加工が
不可能である場合も生じる。On the other hand, it is possible to use various inorganic materials having excellent heat resistance as the mask material, but highly accurate processing of these materials is extremely difficult. For example, depending on the etching conditions, the resist deteriorates as described above due to the temperature rise during the etching, so that it may not be possible to perform highly accurate processing.
【０１７３】さらに、ＳｉＯ2 等をマスクとして用いた
場合、このマスクを除去する工程において、例えばＣＦ
4 ／Ｏ2 ガスを用いたエッチング又はＨＦ等のウェット
エッチング処理を施した場合には、位相シフタであるＳ
ｉＯ2 或いは石英基板も損傷を受け、マスク材料のみを
選択的に除去することは困難である。従って、高精度の
露光マスクを得ることはできない。Further, when SiO 2 or the like is used as a mask, in the step of removing this mask, for example, CF
When the etching using 4 / O 2 gas or the wet etching such as HF is performed, the phase shifter S
The io 2 or quartz substrate is also damaged, and it is difficult to selectively remove only the mask material. Therefore, a highly accurate exposure mask cannot be obtained.
【０１７４】〈実施例７〉次に、本発明の第７の実施例
として、半導体装置における上層金属配線と下層金属配
線との接続部（ＶＩＡコンタクト）を形成する工程にお
いて、炭素膜をエッチングマスクとして適用した例につ
いて、図１５，図１６及び図１７を用いて説明する。<Embodiment 7> Next, as a seventh embodiment of the present invention, in the step of forming a connecting portion (VIA contact) between an upper metal wiring and a lower metal wiring in a semiconductor device, the carbon film is used as an etching mask. An example applied as will be described with reference to FIGS. 15, 16 and 17.
【０１７５】まず、図１５（ａ）に示すように、素子が
形成された半導体基板４０１上に堆積された第１の層間
絶縁膜４０２上に、第１金属配線層４０３として、例え
ばＡｌ合金配線膜（Ｓｉ：１％，Ｃｕ：０．５％）を８
００ｎｍ程度スパッタ法により堆積する。さらに、第２
の層間絶縁膜として、低温プラズマＣＶＤ（気相成長）
装置でＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）等を用いてＳ
ｉＯ2膜４０４を堆積する。First, as shown in FIG. 15A, as a first metal wiring layer 403, for example, an Al alloy wiring is formed on a first interlayer insulating film 402 deposited on a semiconductor substrate 401 on which elements are formed. 8 films (Si: 1%, Cu: 0.5%)
About 00 nm is deposited by the sputtering method. Furthermore, the second
Low temperature plasma CVD (vapor phase growth) as an interlayer insulating film of
TEOS (tetraethoxysilane) etc. is used in the equipment
An iO 2 film 404 is deposited.
【０１７６】続いて、実施例１〜６で詳述した如く、Ｓ
ｉＯ2 膜４０４上にスパッタ法により炭素膜３００を２
００ｎｍ堆積する。この炭素膜上３００にフォトレジス
ト４０５を堆積し、通常のフォトリソグラフィ工程によ
り、第２の層間絶縁膜４０４の接続孔形成予定部上のみ
フォトレジスト４０５を除去する。Then, as described in detail in Examples 1 to 6, S
A carbon film 300 is formed on the iO 2 film 404 by sputtering.
00 nm is deposited. A photoresist 405 is deposited on the carbon film 300, and the photoresist 405 is removed only on a portion of the second interlayer insulating film 404 where a contact hole is to be formed by a normal photolithography process.
【０１７７】次いで、図１５（ｂ）に示す如く、フォト
レジスト４０５をマスクとして、実施例２で詳述した如
く、Ｈ2 ガスを用いたドライエッチング技術により炭素
膜３００を異方性エッチングする。次いで、図１５
（ｃ）に示す如く、実施例２と同様、ＣＦ4 ／Ｏ2 ガス
を用いたダウンフロー型アッシングにより、レジスト４
０５をエッチング除去した。Next, as shown in FIG. 15B, using the photoresist 405 as a mask, the carbon film 300 is anisotropically etched by the dry etching technique using H 2 gas as described in detail in the second embodiment. Then, in FIG.
As shown in (c), the resist 4 was formed by downflow ashing using CF 4 / O 2 gas as in Example 2.
05 was removed by etching.
【０１７８】次いで、図１５（ｄ）に示す如く、実施例
１〜６で用いたドライエッチング装置を用い、反応性イ
オンエッチング法により前述のＳｉＯ2 膜４０４を第１
の金属配線４０３が露出するまで異方性エッチングし、
接続孔４０６を形成した。Next, as shown in FIG. 15D, the above-mentioned SiO 2 film 404 is first formed by the reactive ion etching method using the dry etching apparatus used in the first to sixth embodiments.
Anisotropic etching is performed until the metal wiring 403 of
The connection hole 406 was formed.
【０１７９】このときのエッチングには、エッチングガ
スとしてＣＨＦ3 ガスを用い、パワー１．４Ｗ／ｃ
ｍ2 、圧力４０mTorr、ガス流量２０SCCM、基板温度１
５０℃とした。ＳｉＯ2 膜のエッチング速度を測定した
ところ、エッチング速度は２００ｎｍ／ｍｉｎであっ
た。このときの形状をＳＥＭにて観察したところ、形状
はほぼ垂直であった。しかし、エッチング時の基板温度
を１００℃以下に下げることによって、ＳｉＯ2 膜４０
４のエッチング形状はテーパ状にすることが可能であっ
た。For the etching at this time, CHF 3 gas was used as the etching gas, and the power was 1.4 W / c.
m 2 , pressure 40 mTorr, gas flow 20 SCCM, substrate temperature 1
It was set to 50 ° C. When the etching rate of the SiO 2 film was measured, the etching rate was 200 nm / min. When the shape at this time was observed by SEM, the shape was almost vertical. However, by lowering the substrate temperature during etching to 100 ° C. or lower, the SiO 2 film 40
The etching shape of No. 4 could be tapered.
【０１８０】エッチング形状が垂直の場合においては、
エッチング側面にわずかの堆積物４０８が形成されるが
エッチング時の基板温度を下げ、テーパ形状にした場
合、堆積物４０８は全く観察されなかった。When the etching shape is vertical,
Although a small amount of deposit 408 is formed on the etched side surface, no deposit 408 was observed when the substrate temperature during etching was lowered to form a taper shape.
【０１８１】次いで、実施例２で述べたように、Ｏ2 ガ
スプラズマエッチングにより炭素膜３００を除去した。
次いで、図１５（ｅ）に示すように、スパッタリング法
により、全面に第２金属配線層４０７（例えばＡｌＳｉ
Ｃｕ膜）を堆積し、これをパターニングして第２の金属
配線４０７を形成した。Then, as described in Example 2, the carbon film 300 was removed by O 2 gas plasma etching.
Then, as shown in FIG. 15E, the second metal wiring layer 407 (for example, AlSi
A Cu film) was deposited and patterned to form a second metal wiring 407.
【０１８２】ここで、比較のために、従来の製造方法で
あるレジストをエッチングマスクとして用いてＶＩＡコ
ンタクトを形成した。For comparison, a VIA contact was formed by using a resist as a conventional manufacturing method as an etching mask.
【０１８３】まず、図１６（ａ）に示す如く、素子が形
成された半導体基板４０１上に堆積された第１の層間絶
縁膜４０２上に、Ａｌ合金配線としてＡｌＳｉＣｕ膜４
０３（Ｓｉ：１％，Ｃｕ：０．５％）を８００ｎｍ程度
スパッタ法により堆積し、さらに第２の層間絶縁膜とし
て、低温プラズマＣＶＤ法によりＳｉＯ2 膜４０４を堆
積した。これまでの工程は図１５で示したものと全く同
一である。First, as shown in FIG. 16A, the AlSiCu film 4 is formed as an Al alloy wiring on the first interlayer insulating film 402 deposited on the semiconductor substrate 401 on which the element is formed.
03 (Si: 1%, Cu: 0.5%) was deposited by a sputtering method to a thickness of about 800 nm, and a SiO 2 film 404 was further deposited as a second interlayer insulating film by a low temperature plasma CVD method. The steps so far are exactly the same as those shown in FIG.
【０１８４】次いで、ＳｉＯ2 膜４０４上にフォトレジ
スト（１．６μｍ厚）４０５を堆積し、通常のフォトリ
ソグラフィ工程により第２の層間絶縁膜４０４の接続孔
形成予定部上のみレジスト４０５を除去する。次いで、
図１６（ｂ）に示す如く、レジスト４０５をマスクとし
て、前述した如く同一条件にてＳｉＯ2 膜４０４を第１
の金属配線４０３が露出するまでＣＨＦ3 ガスを用いて
異方性エッチングして接続孔４０６を形成した。Next, a photoresist (1.6 μm thick) 405 is deposited on the SiO 2 film 404, and the resist 405 is removed only on a portion of the second interlayer insulating film 404 where a contact hole is to be formed by a normal photolithography process. .. Then
As shown in FIG. 16B, using the resist 405 as a mask, the first SiO 2 film 404 is formed under the same conditions as described above.
Was anisotropically etched using CHF 3 gas until the metal wiring 403 was exposed to form a connection hole 406.
【０１８５】このとき、基板温度を１５０℃とした場
合、ＳｉＯ2 膜４０４の形状は、ほぼ垂直であった。し
かし、通常のＯ2 プラズマアッシングによりレジスト４
０５の除去を行ったところ、図１６（ｂ）に示す如くＳ
ｉＯ2 膜４０４の側壁にフェンスと呼ばれる堆積物４０
８が、図１５で示した如く炭素膜３００を用いたプロセ
スと比較して、多量に形成されていることが判明した。
エッチング時の基板温度を下げ、テーパ形状にした場
合、堆積物４０８は全く観察されなかった。At this time, when the substrate temperature was 150 ° C., the shape of the SiO 2 film 404 was almost vertical. However, the resist 4 is removed by normal O 2 plasma ashing.
As a result of removing 05, as shown in FIG.
Deposits 40 called fences on the sidewalls of the iO 2 film 404
It was found that 8 was formed in a large amount as compared with the process using the carbon film 300 as shown in FIG.
When the substrate temperature at the time of etching was lowered to form a taper shape, no deposit 408 was observed.
【０１８６】次いで、図１６（ｃ）に示すようにスパッ
タリング法により全面に第２の金属配線層であるＡｌＳ
ｉＣｕ膜４０７を堆積し、これをパターニングして第２
の金属４０７を形成した。Then, as shown in FIG. 16C, a second metal wiring layer of AlS is formed on the entire surface by a sputtering method.
The iCu film 407 is deposited and patterned to form a second
Of metal 407 was formed.
【０１８７】次に、炭素膜をマスクとして用いたプロセ
ス（図１５）とレジストをマスクとして用いたプロセス
（図１６）により形成したＶＩＡコンタクトの腐食特性
を評価した。評価は実施例２にて記述したように大気に
長時間放置し、チップ内で生じた腐食量を顕微鏡観察に
より調べることにより行った。図９に示すようにレジス
トをマスクとして用いたプロセスでは多量の腐食（コロ
ージョン）の発生が観察された。一方、カーボンを付着
したものは１週間放置してもコロージョンは全く認めら
れなかった。Next, the corrosion characteristics of the VIA contact formed by the process using the carbon film as a mask (FIG. 15) and the process using the resist as a mask (FIG. 16) were evaluated. The evaluation was performed by leaving it in the atmosphere for a long time as described in Example 2 and examining the amount of corrosion generated in the chip by microscopic observation. As shown in FIG. 9, a large amount of corrosion was observed in the process using the resist as a mask. On the other hand, no corrosion was observed at all for the one to which carbon was adhered even if left for one week.
【０１８８】この要因を調べるために、ＶＩＡコンタク
ト開孔後のウェハを純水に浸し、イオンクロマトグラフ
ィ法による分析を行ったところ、図１７に示すように不
純物として、Ｃｌ及びＦが検出された。特に、炭素膜マ
スクに比べレジストをマスクとして用いたものはＦ及び
Ｃｌの量が高いことが判明した。To investigate this factor, the wafer after the VIA contact opening was dipped in pure water and analyzed by ion chromatography. As a result, Cl and F were detected as impurities as shown in FIG. In particular, it was found that the amount of F and Cl was higher when the resist was used as the mask than the carbon film mask.
【０１８９】即ち、コロージョンの要因としては、接続
孔開口終了後に大気中に放置しておくと、第１金属配線
層４０３とその表面に存在するＦ及びＣｌを含む不純物
と空気中の水分によりＦ- 及びＣｌ- イオンが形成され
る。水分中にこれらのイオンが含まれると水は電解質と
なり、次のような反応が容易に生じる。That is, as a cause of corrosion, if the first metal wiring layer 403 and the surface thereof are left in the atmosphere after the opening of the contact hole, the impurities including F and Cl and the moisture in the air cause F. - and Cl - ions are formed. When these ions are contained in water, water becomes an electrolyte and the following reaction easily occurs.
【０１９０】 Ａｌ＋３Ｃｌ- →ＡｌＣｌ3 ＋３ｅ- ２ＡｌＣｌ3 ＋６Ｈ2 Ｏ→２Ａｌ（ＯＨ）3 ＋６Ｈ+ ＋６Ｃｌ- この反応が一度始まると、生成されるＣｌによって、第
１金属配線層４０３のＡｌＳｉＣｕの腐食が促進される
と考えられる。[0190] Al + 3Cl - → AlCl 3 + 3e - 2AlCl 3 + 6H 2 O → 2Al (OH) 3 + 6H + + 6Cl - When this reaction once starts, by Cl produced, corrosion of AlSiCu the first metal wiring layer 403 is promoted It is thought to be done.
【０１９１】また、エッチングが下層の第１金属配線４
０３の表面まで達すると、第１金属配線中に含まれる金
属やマスク材料（４０５或いは３００）、ＳｉＯ2 膜４
０４に含まれる原子がスパッタされ、これらの物質は接
続孔４０６の側面や接続孔４０６の底面に付着する。こ
れらの付着物はＯ2 アッシングにより除去できないため
に、アッシング後、例えば側面での堆積物（フェンス）
４０８が生じる。これは、後工程での上層の第２の金属
配線層４０７のスパッタ時にオーバーハング形状が生じ
て配線等の問題が生じる。In addition, the etching is performed on the lower first metal wiring 4
03, the metal contained in the first metal wiring, the mask material (405 or 300), the SiO 2 film 4
The atoms contained in 04 are sputtered, and these substances adhere to the side surface of the connection hole 406 and the bottom surface of the connection hole 406. Since these deposits cannot be removed by O 2 ashing, after ashing, for example, deposits (fences) on the side surface
408 occurs. This causes a problem such as wiring due to an overhang shape when the upper second metal wiring layer 407 is sputtered in a later step.
【０１９２】これに対して、エッチングマスクとして炭
素膜を使用した場合、レジストをマスクとして用いた場
合に比べ、プラズマエッチング中の分解物が少ないため
に、ＶＩＡ側壁での堆積物を減少させることが可能であ
る。従って、上記した配線の段切れという問題は生じな
い。また、レジストをマスクとして用いた場合、レジス
ト除去後、空気中の水分との反応によりイオンが形成さ
れ、コロージョンが多量に発生する。これに対し、炭素
膜マスクでは、予め、レジストが除去されているため
に、コロージョンは殆ど生じない。On the other hand, when the carbon film is used as the etching mask, the amount of decomposed substances during the plasma etching is smaller than that when the resist is used as the mask, so that the deposits on the VIA side wall can be reduced. It is possible. Therefore, the problem of disconnection of the wiring described above does not occur. Further, when the resist is used as a mask, after the resist is removed, ions are formed by the reaction with moisture in the air, and a large amount of corrosion occurs. On the other hand, in the carbon film mask, since the resist has been removed in advance, corrosion hardly occurs.
【０１９３】さらに、炭素膜はＳｉＯ2 膜に対して高い
ドライエッチング選択比を示すために、マスクとしての
膜厚を薄くすることが可能である。従って、エッチング
時におけるアスペクト比を低減することができるため
に、エッチング速度のパターン寸法依存性（パターン寸
法の狭いパターンではエッチング速度が低下する）、い
わゆるマイクロローディング効果を低減させることが可
能であった。Further, since the carbon film exhibits a high dry etching selection ratio with respect to the SiO 2 film, it is possible to reduce the film thickness as a mask. Therefore, since it is possible to reduce the aspect ratio during etching, it is possible to reduce the pattern dimension dependence of the etching rate (the etching rate decreases in a pattern having a narrow pattern dimension), that is, the so-called microloading effect. ..
【０１９４】従って、本実施例のように炭素膜マスクを
用いることにより、高精度にてＶＩＡ開孔が可能とな
り、高信頼性を有する配線の形成が可能であった。 〈実施例８〉次に、本発明の第８の実施例として、半導
体装置における金属配線のコンタクト孔を開孔する工程
において、炭素膜をエッチングマスクとして適用した例
について、図１８を用いて説明する。Therefore, by using the carbon film mask as in the present embodiment, the VIA hole can be formed with high accuracy, and the wiring having high reliability can be formed. <Embodiment 8> Next, as an eighth embodiment of the present invention, an example in which a carbon film is applied as an etching mask in the step of opening a contact hole of a metal wiring in a semiconductor device will be described with reference to FIG. To do.
【０１９５】まず、図１８（ａ）に示すように、面方位
（１００）のＳｉ基板５０１上に不純物を導入して拡散
層５０２を形成する。次いで、図１８（ｂ）に示すよう
に、ＣＶＤ法によりＳｉＯ2 膜を３００ｎｍ程度堆積し
た後、ＳｉＯ2 膜上にＢＰＳＧ（ボロン，リン硅化ガラ
ス）を６００ｎｍ程度堆積し、低温リフロー工程を経て
表面を平坦化し、層間絶縁膜５０３を形成する。First, as shown in FIG. 18A, an impurity is introduced on a Si substrate 501 having a plane orientation (100) to form a diffusion layer 502. Next, as shown in FIG. 18B, a SiO 2 film is deposited to a thickness of about 300 nm by a CVD method, and then BPSG (boron, phosphide silicate glass) is deposited to a thickness of about 600 nm on the SiO 2 film, and the surface is subjected to a low temperature reflow process. Are planarized and an interlayer insulating film 503 is formed.
【０１９６】次いで、層間絶縁膜５０３に以下のように
して開孔を形成する。この工程においては、図１８
（ｃ）に示したように、層間絶縁膜５０３上にフォトレ
ジストを堆積し、通常のフォトリソグラフィ技術により
開孔しパターニングしたレジストを層間絶縁膜５０３の
エッチングマスク５０４として用い、実施例７で示した
ものと同一のドライエッチング技術により層間絶縁膜５
０３を開孔したものと、実施例７で示したように、図１
５（ａ）〜（ｄ）の工程により、炭素膜をマスク５０４
として層間絶縁膜５０３を開孔したものを作成した。Next, an opening is formed in the interlayer insulating film 503 as follows. In this step, as shown in FIG.
As shown in (c), a photoresist is deposited on the inter-layer insulation film 503, and the patterned resist is used as an etching mask 504 for the inter-layer insulation film 503 by opening and patterning with a normal photolithography technique. Interlayer insulating film 5 by the same dry etching technology as
No. 03 was opened, and as shown in Example 7, FIG.
The carbon film is masked 504 by the steps 5 (a) to (d).
An inter-layer insulating film 503 having holes was prepared as.
【０１９７】次いで、レジスト及び炭素膜等のマスク５
０４を除去した後、開孔部に拡散層５０２が露出したコ
ンタクト孔５０６を埋め込むように、配線用の金属膜で
あるＡｌＳｉＣｕ薄膜５０５をスパッタ法により全面に
堆積した。Next, a mask 5 such as a resist and a carbon film
After removing 04, an AlSiCu thin film 505, which is a metal film for wiring, was deposited on the entire surface by a sputtering method so as to fill the contact hole 506 in which the diffusion layer 502 was exposed in the opening.
【０１９８】このようにして形成したコンタクト孔の特
性を評価したところ、レジストをマスクとしてコンタク
トを開孔したものは、コンタクト抵抗の増大，接合破
壊，コンタクト抵抗のばらつき，さらにＡｌＳｉＣｕ配
線の腐食が生じた。腐食に関しては、図９に示したよう
にコンタクト部で放置時間とともに腐食量の増加が観察
された。これに対し、炭素膜をマスクとして用いたもの
は、接触抵抗の増大等の劣化及び腐食の発生はみられな
かった。When the characteristics of the contact hole thus formed were evaluated, when the contact was opened using the resist as a mask, increase in contact resistance, junction breakdown, variation in contact resistance, and corrosion of AlSiCu wiring occurred. It was Regarding corrosion, as shown in FIG. 9, an increase in the amount of corrosion was observed with the standing time at the contact portion. On the other hand, in the case of using the carbon film as a mask, deterioration such as increase in contact resistance and occurrence of corrosion were not observed.
【０１９９】これは、レジストマスクを用いた場合、反
応性イオンエッチング中に生じるレジストからの分解物
中の不純物がコンタクト孔中に付着し、電気的特性の劣
化を引き起こすためと考えられる。一方、炭素膜を用い
た場合はエッチング選択比が高いため、エッチング中に
おける炭素膜の劣化が少ない。さらに、コンタクト孔中
に付着した場合、マスクからの付着物は炭素であるた
め、腐食等の発生がなく、電気的特性を引き起こすこと
はないと考えられる。This is considered to be because when a resist mask is used, impurities in the decomposed product from the resist generated during the reactive ion etching adhere to the contact holes and cause deterioration of the electrical characteristics. On the other hand, when the carbon film is used, since the etching selectivity is high, the carbon film is less deteriorated during the etching. Further, when the metal adheres to the contact hole, since the adhered material from the mask is carbon, it is considered that there is no occurrence of corrosion or the like and no electrical characteristics are caused.
【０２００】また、エッチングガスとして、前述の如く
ＣＨＦ3 等の炭素を含有したハロゲンガスを用いた場合
は、ガス自体中にも炭素が含まれており、マスク材料か
らの炭素が特に電気的特性の劣化を生じさせることはな
い。 〈実施例９〉次に、本発明の第９の実施例として、炭素
膜をマスクとしてＳｉＯ2 膜のエッチングを行った例に
ついて、図１９を用いて説明する。When the halogen gas containing carbon such as CHF 3 is used as the etching gas as described above, the gas itself contains carbon, and the carbon from the mask material has a particularly high electrical characteristic. Does not cause deterioration of <Embodiment 9> Next, as a ninth embodiment of the present invention, an example of etching a SiO 2 film using a carbon film as a mask will be described with reference to FIG.
【０２０１】まず、Ｓｉ基板６０１上にＳｉＯ2 膜６０
２を熱酸化により０．８μｍ堆積する。次いで、実施例
２で示した如く、炭素膜（膜厚２００ｎｍ）６０３をス
パッタ法により形成した後、通常のフォトリソグラフィ
技術により所望パターンのレジスト６０４を形成した。First, the SiO 2 film 60 is formed on the Si substrate 601.
2 is deposited by thermal oxidation to 0.8 μm. Next, as shown in Example 2, a carbon film (film thickness 200 nm) 603 was formed by a sputtering method, and then a resist 604 having a desired pattern was formed by an ordinary photolithography technique.
【０２０２】次いで、図１９（ａ）に示すように、Ｈ2
ガスを用いたドライエッチング技術により、上記フォト
レジスト６０４（膜厚１μｍ）をマスクとして炭素膜６
０３の垂直加工を行い、ＣＦ4 ／Ｏ2 ガスを用いたダウ
ンフローアッシングにより残存するレジスト６０４を除
去した。これにより、図１９（ｂ）に示すように、Ｓｉ
Ｏ2 膜６０２上に炭素膜６０３のパターンを形成した。Then, as shown in FIG. 19A, H 2
A carbon film 6 was formed by a dry etching technique using gas using the photoresist 604 (film thickness 1 μm) as a mask.
The vertical processing of No. 03 was performed, and the remaining resist 604 was removed by downflow ashing using CF 4 / O 2 gas. As a result, as shown in FIG.
A pattern of carbon film 603 was formed on the O 2 film 602.
【０２０３】次いで、図１９（ｃ）に示すように、実施
例１〜８にて記述したドライエッチング装置を用いて、
ＳｉＯ2 膜６０２のドライエッチングを行った。エッチ
ングには、エッチングガスとして、ＣＨＦ3 とＣＯガス
との混合ガスを用いた。パワー１．４Ｗ／ｃｍ2 、圧力
４０mTorr 、ガス流量２０SCCM、基板温度を−５０℃か
ら３００℃まで変化させてエッチングした。Then, as shown in FIG. 19C, using the dry etching apparatus described in Examples 1 to 8,
The SiO 2 film 602 was dry-etched. In the etching, a mixed gas of CHF 3 and CO gas was used as an etching gas. The power was 1.4 W / cm 2 , the pressure was 40 mTorr, the gas flow rate was 20 SCCM, and the substrate temperature was changed from −50 ° C. to 300 ° C. for etching.
【０２０４】基板温度に対するＳｉＯ2 膜６０２のエッ
チング形状をＳＥＭにて測定したところ、基板温度の上
昇とともにテーパ形状から垂直形状まで変化することが
判明した。また、このときＳｉＯ2 膜のエッチング速度
２００ｎｍ／ｍｉｎに対し、Ｓｉのエッチング速度は６
ｎｍ／ｍｉｎ、このときのＳｉＯ2 とＳｉのエッチング
選択比は３０以上のものが得られた。When the etching shape of the SiO 2 film 602 with respect to the substrate temperature was measured by SEM, it was found that the shape changed from a taper shape to a vertical shape as the substrate temperature increased. At this time, the etching rate of Si is 6 nm while the etching rate of SiO 2 film is 200 nm / min.
nm / min, the etching selection ratio of SiO 2 and Si at this time was 30 or more.
【０２０５】次いで、図１５（ｄ）に示すように、Ｏ2
プラズマエッチングにより炭素膜６０３を選択的に除去
し、テーパ形状から垂直形状に至るＳｉＯ2 膜６０２の
高精度の加工が可能であった。[0205] Then, as shown in FIG. 15 (d), O 2
The carbon film 603 was selectively removed by plasma etching, and the SiO 2 film 602 having a tapered shape to a vertical shape could be processed with high precision.
【０２０６】比較のために、レジストをマスクとして、
前述と全く同一の条件にてＳｉＯ2 膜６０２のエッチン
グを行ったところ、基板温度−５０℃から１５０℃まで
はテーパ形状から垂直形状に向い、加工形状を制御する
ことが可能であった。しかし、基板温度を１５０℃以上
に上昇させた場合、レジストパターンが熱により変形す
るために、所望のパターン寸法のパターンを高精度にて
加工することは不可能であった。また、垂直形状のＳｉ
Ｏ2 膜をＳｉとの高選択比を保ちながら形成させること
は不可能であった。For comparison, using the resist as a mask,
When the SiO 2 film 602 was etched under exactly the same conditions as described above, it was possible to control the processed shape from the taper shape to the vertical shape from the substrate temperature of −50 ° C. to 150 ° C. However, when the substrate temperature is raised to 150 ° C. or higher, the resist pattern is deformed by heat, so that it is impossible to process a pattern having a desired pattern size with high accuracy. In addition, vertical shape Si
It was impossible to form an O 2 film while maintaining a high selection ratio with Si.
【０２０７】さらに、基板温度が１５０℃以下で、レジ
ストパターンの熱による劣化が観察されない領域におい
ては、垂直なパターン形成は得られない。また、レジス
トパターンとＳｉＯ2 との選択比が約１５と低く、さら
には、レジスト膜厚に対する開口寸法（アスペクト比）
がパターン寸法０．５μｍのところでは３以上と大き
く、図２０に示す如く、マイクロローディング効果によ
り、高精度のパターンを得ることができなかった。Further, in the region where the substrate temperature is 150 ° C. or lower and deterioration of the resist pattern due to heat is not observed, vertical pattern formation cannot be obtained. Further, the selection ratio between the resist pattern and SiO 2 is as low as about 15, and further, the opening dimension (aspect ratio) with respect to the resist film thickness.
Was as large as 3 or more at the pattern dimension of 0.5 μm, and as shown in FIG. 20, a highly accurate pattern could not be obtained due to the microloading effect.
【０２０８】一方、炭素膜をマスクとして用いた場合
は、炭素膜とＳｉＯ2膜とのエッチング選択比が２０以
上と高く、パターン寸法０．５μｍに対して炭素膜厚は
０．２μｍ以下（スペクト比０．４以下）にすることが
可能であるため、マイクロローディング効果の少ない、
高精度のエッチングが可能となった。 〈実施例１０〉次に、本発明の第１０の実施例につい
て、図面を参照して説明する。図２１及び図２２は、そ
の工程断面図である。On the other hand, when the carbon film is used as a mask, the etching selectivity between the carbon film and the SiO 2 film is as high as 20 or more, and the carbon film thickness is 0.2 μm or less for the pattern dimension of 0.5 μm (spect Ratio of 0.4 or less), which has less microloading effect,
High-precision etching has become possible. <Embodiment 10> Next, a tenth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 21 and 22 are sectional views of the steps.
【０２０９】まず、図２１（ａ）に示す如く、シリコン
基板８００上に酸化シリコン８０１を形成し、これに図
示の如く段差を形成したのち、この上層にスパッタリン
グ法によりＡｌＳｉＣｕ薄膜８０２（膜厚０．８μｍ）
を形成した。その後、実施例１に示す如く、ＡｌＳｉＣ
ｕ表面をＯ2 プラズマにより酸化した後、炭素膜８０３
（膜厚０．２μｍ）を形成し、Ｃ／ＡｌＳｉＣｕ／Ｓｉ
Ｏ2 ／Ｓｉ構造からなる試料を製作した。First, as shown in FIG. 21A, a silicon oxide 801 is formed on a silicon substrate 800, a step is formed on the silicon oxide 801 as shown in the figure, and then an AlSiCu thin film 802 (having a thickness of 0) is formed on the upper layer by sputtering. .8 μm)
Formed. Then, as shown in Example 1, AlSiC
After the u surface is oxidized by O 2 plasma, a carbon film 803
(Film thickness 0.2 μm) is formed and C / AlSiCu / Si
A sample having an O 2 / Si structure was manufactured.
【０２１０】次いで、図２１（ｂ）に示す如く、Ｃ／Ａ
ｌＳｉＣｕ薄膜を加工するために、レジスト８０４を３
層レジスト法により加工する。Then, as shown in FIG. 21B, C / A
In order to process the 1SiCu thin film, a resist 804 is applied to
Process by the layer resist method.
【０２１１】即ち、スピンコート法により膜厚３μｍの
感光性樹脂層からなる下層レジストを塗布する。ここで
は、下層レジストとして、ノボラック樹脂とナフトキノ
ンジアゾスルホン酸エステルを５：１で混合し、更に光
反射防止用色素を１０％混入させたレジストをエチルセ
ロソルブアセテートに溶解したものをスピンコート法に
より塗布して用いた。そして、この下層レジストに対し
て９０℃、５分のベーキングを行い、段差部の平坦化を
実現した。That is, a lower layer resist made of a photosensitive resin layer having a film thickness of 3 μm is applied by spin coating. Here, as the lower layer resist, a novolak resin and naphthoquinone diazosulfonic acid ester were mixed at a ratio of 5: 1, and a resist containing 10% of a dye for preventing light reflection was dissolved in ethyl cellosolve acetate and applied by spin coating. Used. Then, the lower layer resist was baked at 90 ° C. for 5 minutes to flatten the step portion.
【０２１２】次いで、この下層レジスト上に中間層とし
て膜厚１００ｎｍのＳＯＧ膜をスピンコートし、上層に
ノボラック系ポジレジスト（ＰＲ−１０２４）を０．５
μｍ塗布し、厚さ１．５μｍの上層レジストを塗布し、
９０℃，５分のベーキングを行った後、マスクを通して
ｇ線で露光，現像してレジストパターンを開口した。続
いて、開口したレジストパターンをマスクとして、ＣＦ
4 ／Ｏ2 混合ガスを用い、前述したドライエッチング装
置にて、ＳＯＧ膜をエッチングし、ＳＯＧに所望のパタ
ーニングを行った後、ＳＯＧ膜をマスクとして、図２１
（ｂ）に示すようにレジスト８０４を加工した。これに
より、パターン寸法０．５〜５μｍ、アスペクト比６〜
０．６を有するレジストパターン８０４の形成を行っ
た。Then, a SOG film having a film thickness of 100 nm was spin-coated as an intermediate layer on the lower layer resist, and a novolac positive resist (PR-1024) was formed on the upper layer by 0.5.
.mu.m, and a top layer resist of 1.5 .mu.m thick is applied.
After baking at 90 ° C. for 5 minutes, the resist pattern was opened by exposing with a g-line through a mask and developing. Then, using the opened resist pattern as a mask, CF
After the SOG film is etched by the above-mentioned dry etching apparatus using a 4 / O 2 mixed gas and desired patterning is performed on the SOG film, the SOG film is used as a mask as shown in FIG.
The resist 804 was processed as shown in FIG. As a result, the pattern size is 0.5 to 5 μm and the aspect ratio is 6 to
A resist pattern 804 having 0.6 was formed.
【０２１３】この工程により、シリコン基板上にＳｉＯ
2 ８０１やＡｌＳｉＣｕ薄膜８０２により生じた段差形
状部を平坦化した後、レジスト膜の露光を行うので、上
記パターン寸法を有したレジスト８０４のパターンを段
差部においても高精度で形成することが可能となる。By this step, SiO 2 is formed on the silicon substrate.
Since the resist film is exposed after flattening the step-shaped portion caused by 2801 or the AlSiCu thin film 802, it is possible to form the pattern of the resist 804 having the above-mentioned pattern dimensions with high accuracy even in the step portion. Become.
【０２１４】次いで、図２１（ｃ）に示すように、上記
ドライエッチング装置を用い、Ｏ2 ガスにて炭素膜８０
３を垂直加工し、パターン寸法０．５〜５μｍの炭素膜
８０３の加工を行った。Next, as shown in FIG. 21C, the carbon film 80 is filled with O 2 gas using the dry etching apparatus.
3 was vertically processed, and a carbon film 803 having a pattern size of 0.5 to 5 μm was processed.
【０２１５】次いで、ダウンフロー型のエッチング装置
にて、ＣＦ4 ／Ｏ2 ガスを用い、レジストパターン（３
層レジスト）８０４をアッシングした。このアッシング
処理により、図２２（ａ）に示すように、３層レジスト
は全て除去されるが、炭素膜８０３及び下層のＡｌＳｉ
Ｃｕ薄膜８０２は全くエッチングされなかった。Next, in a down-flow type etching apparatus, CF 4 / O 2 gas was used to form a resist pattern (3
Layer resist) 804 was ashed. By this ashing process, as shown in FIG. 22A, all the three-layer resist is removed, but the carbon film 803 and the lower AlSi layer are removed.
The Cu thin film 802 was not etched at all.
【０２１６】次いで、図２２（ｂ）に示すように、エッ
チングしてパターニングされた炭素膜８０３をマスクと
して、下地のＡｌＳｉＣｕ薄膜８０１をドライエッチン
グした。エッチング装置は実施例２にて前述したドライ
エッチング装置を用い、圧力１．５Ｐａ、高周波電力１
Ｗ／ｃｍ2 、基板温度２５℃にて、Ｃｌ2 ／ＢＣｌ3 の
混合ガスを放電させ、反応性イオンエッチングによりＡ
ｌＳｉＣｕ薄膜８０２を１２０秒間エッチングした。Next, as shown in FIG. 22B, the underlying AlSiCu thin film 801 was dry-etched using the etched and patterned carbon film 803 as a mask. As the etching apparatus, the dry etching apparatus described in Example 2 was used, and the pressure was 1.5 Pa and the high frequency power was 1.
A mixed gas of Cl 2 / BCl 3 was discharged at W / cm 2 and a substrate temperature of 25 ° C., and A was formed by reactive ion etching.
The 1SiCu thin film 802 was etched for 120 seconds.
【０２１７】このエッチング工程においては、実施例２
で記述したように炭素膜とＡｌＳｉＣｕ薄膜８０２との
エッチング選択比が約１０と大きいために、炭素膜８０
３はエッチング除去されず、ＡｌＳｉＣｕ膜８０２を垂
直加工することが可能であった。In this etching process, the second embodiment is used.
As described above, since the etching selection ratio between the carbon film and the AlSiCu thin film 802 is as large as about 10, the carbon film 80
No. 3 was not removed by etching, and the AlSiCu film 802 could be vertically processed.
【０２１８】次いで、図２２（ｃ）に示すように、通常
のＯ2 ガスを用いたプラズマエッチングにより炭素膜マ
スク８０３の除去を行った。この工程により形成された
ＡｌＳｉＣｕ薄膜パターンをＳＥＭにて評価したとこ
ろ、種々の段差形状部に渡ってパターン寸法０．５〜５
μｍのパターンが高精度に形成されていることが判明し
た。さらに、光学顕微鏡を用いて残渣物の観察したとこ
ろ、残渣は全く認められなかった。Next, as shown in FIG. 22 (c), the carbon film mask 803 was removed by plasma etching using ordinary O 2 gas. When the AlSiCu thin film pattern formed by this process was evaluated by SEM, the pattern dimension was 0.5 to 5 over various step shape portions.
It was found that the μm pattern was formed with high accuracy. Furthermore, when the residue was observed using an optical microscope, no residue was observed.
【０２１９】また、実施例７にて説明したように、大気
に放置し、腐食（コロージョン）の評価を行ったとこ
ろ、図９に示したものと同様、予めレジストパターンを
除去するために、レジスト中に含まれる不純物がＡｌＳ
ｉＣｕ膜のエッチングパターン中に付着しないので、一
週間経ても、コロージョンの発生は全くみられなかっ
た。Further, as described in Example 7, when left in the atmosphere and evaluated for corrosion (corrosion), the resist pattern was previously removed in the same manner as that shown in FIG. Impurities contained in AlS
Since it did not adhere to the etching pattern of the iCu film, no corrosion was observed even after one week.
【０２２０】さらに、ＡｌＳｉＣｕ膜のエッチングにお
いて、エッチングマスクとして膜厚２００ｎｍの炭素膜
パターンを用いるので、アスペクト比が０．２〜２にな
る。従って、３層レジスト８０４を用いた場合のアスペ
クト比０．６〜６に比べて大幅に低減される。Further, in the etching of the AlSiCu film, the carbon film pattern having a film thickness of 200 nm is used as the etching mask, so that the aspect ratio becomes 0.2 to 2. Therefore, the aspect ratio is greatly reduced as compared with the case where the three-layer resist 804 is used.
【０２２１】従って、図２０に示すように、エッチング
速度のパターン寸法依存性（マイクロローディング効
果）は殆どなかった。エッチング速度のパターン寸法依
存性をデバイス素子寸法精度から考慮した場合、デバイ
ス寸法精度のスペック（３σ／ｘ）＜１０％であること
が必要である。図２０に示す如く、エッチング速度のパ
ターン寸法依存性特性により、上記スペックはアスペク
ト比２より小さいことが必要である。このようなアスペ
クト比は、本実験における炭素膜マスクを形成すること
により容易に達成することが可能であった。Therefore, as shown in FIG. 20, there was almost no pattern dimension dependency of the etching rate (microloading effect). When the pattern dimension dependence of the etching rate is taken into consideration from the device element dimensional accuracy, it is necessary that the device dimensional accuracy specification (3σ / x) <10%. As shown in FIG. 20, it is necessary that the above spec be smaller than the aspect ratio 2 due to the pattern size dependence characteristic of the etching rate. Such an aspect ratio could be easily achieved by forming the carbon film mask in this experiment.
【０２２２】さらに、通常の３層レジストをマスクとし
てＡｌＳｉＣｕをエッチングした場合、アスペクト比が
高く、レジスト分解物とＡｌＳｉＣｕのエッチング生成
物との堆積物がレジストパターン側面に多量に付着し、
アッシング後、これらに起因する残留物が多量に生じ
る。この残留物をＡｌＳｉＣｕパターンに損傷を与えな
いで、完全にとり除くことは不可能であった。しかし、
この実施例においては図２０（ｆ）に示したように、エ
ッチングマスクが炭素膜であるため、アスペクト比が低
く、さらに炭素膜とＡｌＳｉＣｕとのエッチング生成物
との堆積物がエッチング側面に形成されない。従って、
Ｏ2 プラズマアッシングにより、残留物なく完全にレジ
ストパターンの除去が可能であった。Furthermore, when AlSiCu is etched using a normal three-layer resist as a mask, the aspect ratio is high, and a large amount of deposits of the resist decomposition product and the AlSiCu etching product adhere to the side surface of the resist pattern.
After ashing, a large amount of residue is generated due to these. It was impossible to completely remove this residue without damaging the AlSiCu pattern. But,
In this embodiment, as shown in FIG. 20 (f), since the etching mask is a carbon film, the aspect ratio is low, and a deposit of the carbon film and the etching product of AlSiCu is not formed on the etching side surface. .. Therefore,
By O 2 plasma ashing, the resist pattern could be completely removed without residue.
【０２２３】従って本実施例では、断面形状垂直の線幅
０．５μｍの高精度Ａｌ膜のエッチングが段差形状部に
おいても実現できた。 〈実施例１１〉次に、本発明の第１１の実施例につい
て、図２３を参照して説明する。Therefore, in this example, etching of a high-precision Al film having a line width of 0.5 μm perpendicular to the sectional shape could be realized even in the step-shaped portion. <Embodiment 11> Next, an eleventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【０２２４】この実施例では、薄膜トランジスタ（ＴＦ
Ｔ）の製造工程に炭素膜を適用した例について説明す
る。この実施例は、第６の実施例と同様、透光性絶縁基
板上に素子を形成する際の反応性イオンエッチング用マ
スクとして耐熱効果の大きな炭素膜を用いたものであ
る。In this embodiment, a thin film transistor (TF
An example in which a carbon film is applied to the manufacturing process of T) will be described. Similar to the sixth embodiment, this embodiment uses a carbon film having a large heat resistance effect as a mask for reactive ion etching when forming an element on a translucent insulating substrate.
【０２２５】まず、例えばガラス基板からなる厚さ数mm
の透明性絶縁基体５０１上に、スパッタリング法により
厚さ約２００ｎｍのＭｏ或いはＭｏＴａ合金等の金属膜
を形成する。続いて、スパッタリング法により炭素膜４
０ｎｍを形成した後、フォトレジストパターンを形成す
る。その後、実施例１〜１０で述べた如く、レジストを
マスクとして炭素膜パターンを反応性イオンエッチング
ＲＩＥにより形成し、ホトレジストパターンを選択的に
剥離する。First, for example, a glass substrate having a thickness of several mm
A metal film such as Mo or MoTa alloy having a thickness of about 200 nm is formed on the transparent insulating substrate 501 by the sputtering method. Then, the carbon film 4 is formed by the sputtering method.
After forming 0 nm, a photoresist pattern is formed. Then, as described in Examples 1 to 10, a carbon film pattern is formed by reactive ion etching RIE using the resist as a mask, and the photoresist pattern is selectively stripped.
【０２２６】次いで、炭素膜パターンをマスクとして用
い上記金属膜のＲＩＥを行い、図２３（ａ）に示すよう
なゲート電極５０２を形成する。この際、炭素膜パター
ンを形成せず、レジストパターンをマスクとして、金属
膜のＲＩＥを行った場合、実施例７で示したように基板
５０１の厚さが数ｍｍと厚いために充分基板の冷却がで
きない。従って、ＲＩＥ中の基板温度が２００℃以上ま
で上昇するので、レジストパターンが熱のために変形
し、高精度の加工はできない。Then, RIE of the above metal film is performed using the carbon film pattern as a mask to form a gate electrode 502 as shown in FIG. At this time, when RIE of the metal film is performed using the resist pattern as a mask without forming the carbon film pattern, the thickness of the substrate 501 is as thick as several mm as shown in Example 7, so that the substrate is sufficiently cooled. I can't. Therefore, since the substrate temperature during RIE rises to 200 ° C. or higher, the resist pattern is deformed due to heat, and high-precision processing cannot be performed.
【０２２７】一方、炭素膜の加工においても、同様のＲ
ＩＥを行っているが、炭素膜の膜厚が４０ｎｍと薄いの
で、エッチング中にレジストの劣化は生じない。炭素膜
パターンをマスクとして金属膜５０２のＲＩＥを行った
場合、炭素膜マスクパターンは十分な耐熱性を有してい
るために、基板温度上昇により変形することなく、良好
なＲＩＥが可能である。On the other hand, when processing a carbon film, the same R
Although the IE is performed, since the carbon film is as thin as 40 nm, deterioration of the resist does not occur during etching. When the RIE of the metal film 502 is performed using the carbon film pattern as a mask, the carbon film mask pattern has sufficient heat resistance, so that good RIE is possible without being deformed due to a rise in the substrate temperature.
【０２２８】次いで、Ｏ2 ガスを用いたプラズマエッチ
ングにより炭素膜を除去した後、図２３（ｂ）に示すよ
うに、プラズマＣＶＤにより第１のゲート絶縁膜である
ＳｉＮx 膜５０３を約３００ｎｍ堆積する。Next, after removing the carbon film by plasma etching using O 2 gas, as shown in FIG. 23B, a SiN x film 503 which is a first gate insulating film is deposited to a thickness of about 300 nm by plasma CVD. To do.
【０２２９】次いで、図２３（ｃ）に示すように、厚さ
２００ｎｍのＩＴＯ（Indium Tin Oxide ）等の透明導
電膜をスパッタリング法により堆積させ、前述の如く炭
素膜によるマスクパターンをマスクとしてＲＩＥし、画
素電極５０９を形成する。Next, as shown in FIG. 23C, a transparent conductive film such as ITO (Indium Tin Oxide) having a thickness of 200 nm is deposited by the sputtering method, and RIE is performed using the mask pattern of the carbon film as a mask as described above. The pixel electrode 509 is formed.
【０２３０】次いで、図２３（ｄ）に示すように、ゲー
ト電極５０２の位置するところに、非晶質シリコン（ａ
−Ｓｉ）の半導体膜（膜厚１００ｎｍ）５０４を形成
し、フォトレジストパターンをマスクとしてＲＩＥによ
りパターニングした。Next, as shown in FIG. 23D, amorphous silicon (a) is formed at the position of the gate electrode 502.
A -Si) semiconductor film (film thickness 100 nm) 504 was formed and patterned by RIE using the photoresist pattern as a mask.
【０２３１】次いで、図２３（ｅ）に示すように、上記
非晶質シリコン膜５０４上にプラズマＣＶＤ法により第
２の保護膜であるＳｉＮx 膜（膜厚２００ｍｎ）を形成
し、図２３（ｂ）と同様に炭素膜をマスクパターンとし
て、ＲＩＥによりゲート電極５０２上に位置するように
保護膜５０５を形成する。Then, as shown in FIG. 23E, a SiN x film (film thickness 200 mn) as a second protective film is formed on the amorphous silicon film 504 by the plasma CVD method. Similar to b), a protective film 505 is formed by RIE so as to be located on the gate electrode 502 by using a carbon film as a mask pattern.
【０２３２】次いで、図２３（ｆ）に示すように、非晶
質シリコン膜５０４及び後述するソース・ドレイン電極
とのオーミック接触を得るために、ｎ+ 非晶質シリコン
膜（膜厚５０ｎｍ）５０８を形成し、前述の如くレジス
トパターンをマスクとして、ＲＩＥ加工しパターニング
した。Next, as shown in FIG. 23F, in order to obtain ohmic contact with the amorphous silicon film 504 and the source / drain electrodes described later, an n + amorphous silicon film (film thickness 50 nm) 508 is formed. Was formed, and using the resist pattern as a mask as described above, RIE processing was performed and patterning was performed.
【０２３３】最後に、図２３（ｇ）に示す如く、スパッ
タリング法等を用いて、Ｍｏ膜を約５０ｎｍ、その上に
Ａｌ膜を約１μｍ形成し、ソース電極５０６とともに画
素電極５０９に接続するドレイン電極５０７を形成す
る。ソース電極５０６及びドレイン電極５０７は、図２
３（ｂ）の工程で示した如く、炭素膜マスクパターンを
Ａｌ／Ｍｏ膜上に形成し、炭素膜をマスクとしてＲＩＥ
した。その後、炭素膜マスクをＯ2 プラズマエッチング
により剥離した。Finally, as shown in FIG. 23 (g), a Mo film is formed to a thickness of about 50 nm and an Al film is formed to a thickness of about 1 μm on the Mo film by a sputtering method or the like, and the drain connected to the pixel electrode 509 together with the source electrode 506 is formed. The electrode 507 is formed. The source electrode 506 and the drain electrode 507 are shown in FIG.
As shown in step 3 (b), a carbon film mask pattern is formed on the Al / Mo film, and the carbon film is used as a mask for RIE.
did. Then, the carbon film mask was removed by O 2 plasma etching.
【０２３４】以上のような工程により、石英基板５０１
上に画素電極５０９を設けたＴＦＴが完成する。Through the above steps, the quartz substrate 501
The TFT having the pixel electrode 509 provided thereon is completed.
【０２３５】このようなＴＦＴの形成工程では、ゲート
電極５０２，保護膜５０５及び電極膜のパターン形成を
実現するためにＲＩＥを用いる。しかし、ＲＩＥ中に基
板温度が上昇し、レジストパターンをこれらのエッチン
グマスクとして使用した場合は、熱のためにパターンが
変形し、微細なパターンの高精度な加工はできない。し
かし、炭素膜からなるパターンを形成し、ＲＩＥマスク
として用いることにより、高精度な加工が実現できた。In such a TFT forming process, RIE is used to realize pattern formation of the gate electrode 502, the protective film 505 and the electrode film. However, when the substrate temperature rises during RIE and the resist pattern is used as an etching mask for these, the pattern is deformed due to heat, and it is impossible to process a fine pattern with high precision. However, by forming a pattern made of a carbon film and using it as an RIE mask, highly accurate processing could be realized.
【０２３６】また、基板温度上昇に伴い、レジストから
は種々の不純物が発生し、ゴミ等の発生要因となってい
たが、炭素膜は高純度であるため、エッチング中のガス
発生量が極めて小さく、ゴミの発生も少ない。従って、
歩留りが向上し、信頼性の大きなＴＦＴを高生産率を持
って得ることが可能であった。 〈実施例１２〉次に、本発明の第１２の実施例として素
子間の分離領域を形成する例について示す。図２４は、
その工程を示す断面図である。Further, as the substrate temperature rises, various impurities are generated from the resist, which causes dust and the like. However, since the carbon film is of high purity, the amount of gas generated during etching is extremely small. Also, there is little garbage. Therefore,
It was possible to obtain a TFT with improved yield and high reliability with a high production rate. <Embodiment 12> Next, an example of forming an isolation region between elements will be described as a twelfth embodiment of the present invention. Figure 24 shows
It is sectional drawing which shows the process.
【０２３７】まず、図２４（ａ）に示すように、例えば
ｐ型の比抵抗１０Ωｃｍのシリコンウェハ基板９０１上
に炭素膜９０２をマスクとするパターンを形成する。炭
素膜のパターン方法は、実施例１〜１１で述べた如く、
レジストパターンをマスクとして、反応性イオンエッチ
ング法により垂直加工した。First, as shown in FIG. 24A, a pattern using the carbon film 902 as a mask is formed on a silicon wafer substrate 901 having a p-type specific resistance of 10 Ωcm, for example. The patterning method of the carbon film is as described in Examples 1 to 11.
Using the resist pattern as a mask, vertical processing was performed by the reactive ion etching method.
【０２３８】次いで、図２４（ｂ）に示す如く、実施例
３で述べた如く、Ｃｌ2 とＳｉＣｌ4 の混合ガスを用い
た反応性イオンエッチングにより、炭素膜９０２をマス
クとしてシリコンウェハ９０１を選択エッチングし、幅
１μｍ、深さ０．５μｍの溝９０３を形成する。Next, as shown in FIG. 24B, as described in the third embodiment, the silicon wafer 901 is selected by the reactive ion etching using the mixed gas of Cl 2 and SiCl 4 with the carbon film 902 as a mask. Etching is performed to form a groove 903 having a width of 1 μm and a depth of 0.5 μm.
【０２３９】次いで、図２４（ｃ）に示す如く、溝９０
３の内壁にＢ+ 等のイオンを加速電圧３０ｋｅＶ，ドー
ズ量５×１０13ｃｍ-2でイオン注入し、ｐ型の反転防止
層９０４を形成した。Then, as shown in FIG. 24C, the groove 90 is formed.
Ions such as B + were implanted into the inner wall of No. 3 at an acceleration voltage of 30 keV and a dose amount of 5 × 10 13 cm -2 to form a p-type inversion prevention layer 904.
【０２４０】さらに、図２４（ｄ）に示す如く、炭素膜
９０２をＯ2 ガスを用いたプラズマエッチングにより除
去した後、溝９０３内部にＳｉＯ2 膜９０５をＣＶＤ法
等により埋めこんで、素子分離領域９０６を形成した。Further, as shown in FIG. 24 (d), after removing the carbon film 902 by plasma etching using O 2 gas, a SiO 2 film 905 is embedded in the groove 903 by the CVD method or the like, and element isolation is performed. Region 906 was formed.
【０２４１】実際の半導体装置では、その後、例えば図
２４（ｅ）に示すように、前記形成された素子分離領域
９０６の両側には、基板９０１表面にｎ-層９０７が形
成され、さらにその上に酸化膜９０８を介して多結晶シ
リコン電極９０９が形成されてＭＯＳキャパシタ９１０
が構成される。さらに、基板９０１表面にソース、ドレ
インとなるｎ- 層９１１，ゲート酸化膜９１２及び多結
晶シリコンゲート電極９１３が形成されて、ＭＯＳＦＥ
Ｔが構成される。In an actual semiconductor device, thereafter, as shown in FIG. 24E, for example, an n − layer 907 is formed on the surface of the substrate 901 on both sides of the formed element isolation region 906, and further thereon. A polycrystalline silicon electrode 909 is formed on the surface of the MOS capacitor 910 via an oxide film 908.
Is configured. Further, an n − layer 911 serving as a source and a drain, a gate oxide film 912, and a polycrystalline silicon gate electrode 913 are formed on the surface of the substrate 901, and the MOSFE is formed.
T is constructed.
【０２４２】この工程において、反応性イオンエッチン
グのためのエッチングマスクとして作用するマスクパタ
ーンをレジスト膜で形成した場合、レジスト膜中に含有
される不純物がプラズマにより分解され、溝部９０３の
内部に付着する。これらの付着した不純物は、後の洗浄
工程等では完全に除去できない、或いは弗酸を含有する
ウェットエッチング液等にて長時間エッチングすると溝
部側面９０３表面が荒れ損傷を受けるので、ＭＯＳＦＥ
Ｔを形成した場合表面準位密度が増大し、少数キャリア
の生成効率を増加させる要因となる。In this step, when a mask pattern acting as an etching mask for reactive ion etching is formed of a resist film, impurities contained in the resist film are decomposed by plasma and attached inside the groove 903. .. These adhered impurities cannot be completely removed in a subsequent cleaning step or the like, or the surface of the groove side surface 903 is roughened and damaged when etched for a long time with a wet etching solution containing hydrofluoric acid.
When T is formed, the surface state density increases, which becomes a factor of increasing the generation efficiency of minority carriers.
【０２４３】また、図２４（ｄ）に示したように、レジ
スト膜もＯ2 ガスを用いたプラズマエッチングにより除
去可能であるが、上記レジスト膜剥離工程中に、レジス
ト膜中の不純物が溝部９０３に付着し、これも、デバイ
スの特性を劣化させる要因となる。As shown in FIG. 24D, the resist film can also be removed by plasma etching using O 2 gas. However, during the resist film stripping process, impurities in the resist film are removed by the groove 903. Adheres to the surface, which also causes deterioration of device characteristics.
【０２４４】一方、炭素膜は極めて高純度（ＳＩＭＳ分
析により炭素以外の元素は検出されない）のマスク材料
であるために、ＲＩＥ或いはＯ2 ガスプラズマエッチン
グ中に溝部９０３或いは反転防止層９０４を汚染するこ
とはない。従って、良好なＭＯＳＦＥＴの形成が可能と
なる。On the other hand, since the carbon film is a mask material of extremely high purity (elements other than carbon are not detected by SIMS analysis), it contaminates the groove portion 903 or the inversion prevention layer 904 during RIE or O 2 gas plasma etching. There is no such thing. Therefore, a good MOSFET can be formed.
【０２４５】また、エッチングマスクとして、ＳｉＯ2
膜を用いた場合、例えばＲＩＥ終了後、ＳｉＯ2 マスク
パターンを除去するために弗素を含有するガスを用いて
エッチング除去すると、例えば図２４（ｃ）に示す如く
溝部９０３の反転防止層９０４が除去されたりし、溝部
９０３に弗素等が付着されるのでデバイス特性を劣化さ
せる要因となる。As an etching mask, SiO 2 is used.
In the case of using a film, for example, after the RIE is completed, when the SiO 2 mask pattern is removed by etching using a gas containing fluorine, the inversion prevention layer 904 of the groove 903 is removed as shown in FIG. In addition, fluorine or the like adheres to the groove 903, which causes deterioration of device characteristics.
【０２４６】これらを回避するために、図２４（ｄ）に
示す如く、溝部９０３をＣＶＤ法等によって埋め込んだ
後、ＳｉＯ2 マスクパターン９０２を剥離する方法も考
えられるが、溝部９０３を埋め込む場合、ＳｉＯ2 膜の
厚さだけ溝部のアスペクト比が増大するので、微細な溝
になるに従い埋め込みが困難となり、溝部にボイドが形
成されたりし、デバイス特性に劣化をもたらす。In order to avoid these, as shown in FIG. 24D, a method of removing the SiO 2 mask pattern 902 after filling the groove portion 903 by the CVD method or the like can be considered. Since the aspect ratio of the groove portion increases by the thickness of the SiO 2 film, it becomes more difficult to fill as the groove becomes finer, voids are formed in the groove portion, and device characteristics deteriorate.
【０２４７】これらの結果から、炭素膜をエッチングマ
スクパターンに用いた本実施例を、ダイナミックメモリ
に適用すれば、デバイスへの信頼性が飛躍的に向上し、
キャパシタの保持特性が大幅に向上する。From these results, when the present embodiment using the carbon film as the etching mask pattern is applied to the dynamic memory, the reliability of the device is dramatically improved,
The holding characteristics of the capacitor are significantly improved.
【０２４８】以上説明した実施例１〜１２においては、
平行平板電極を有したマグネトロン型の反応性イオンエ
ッチング装置を用いているが、マイクロ波を印加したＥ
ＣＲ放電を用いた反応性イオンエッチング装置、又はマ
イクロ波若しくは電子線を印加することによって生成さ
れた放電プラズマ下で被エッチング基体に電圧を印加し
た反応性イオンエッチング装置を用いてもよい。In Examples 1 to 12 described above,
A magnetron-type reactive ion etching device having parallel plate electrodes is used, but microwave applied E
A reactive ion etching apparatus using CR discharge or a reactive ion etching apparatus in which a voltage is applied to the substrate to be etched under discharge plasma generated by applying a microwave or an electron beam may be used.
【０２４９】また、炭素膜の形成方法として、スパッタ
リング法を用いてきたが、真空蒸着法を用いて形成して
もよい。実施例１及び実施例２において、ＡｌＳｉＣｕ
膜のエッチングにおいて、エッチングガスとしてＣｌ2
とＢＣｌ3 の混合ガスを用いたが、Ｂｒ2 、ＨＢｒ、Ｂ
Ｂｒ3 等の臭素を主成分とするハロゲンガスや、上記Ｃ
ｌ2 を主成分とするガスとの混合ガスをエッチングに使
用することも可能である。さらに、上記ガス中に、Ａ
ｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｈｅ、Ｎｅなどの希ガスを導入しても
かまわない。Although the sputtering method has been used as the method for forming the carbon film, it may be formed by using the vacuum vapor deposition method. In Example 1 and Example 2, AlSiCu
In etching the film, Cl 2 is used as an etching gas.
And a mixed gas of BCl 3 were used, Br 2 , HBr, B
Halogen gas containing bromine as a main component such as Br 3 or the above C
It is also possible to use a mixed gas of a gas of l 2 as a main component on etching. Furthermore, in the above gas, A
A rare gas such as r, Kr, Xe, He or Ne may be introduced.
【０２５０】実施例では、ＡｌＳｉＣｕ膜のエッチング
について述べたが、ＡｌＳｉＣｕ／ＴｉＮ／Ｔｉ等のバ
リアメタルとの積層構造のエッチングに適用することも
可能である。さらに、ＡｌＳｉＣｕ膜エッチングにおい
て、レジストを剥離した後、被処理基体を清浄する工程
を施した後、ＡｌＳｉＣｕ膜をエッチングするようにし
てもよい。その他、タングステン或いはモリブデン等の
高融点金属、又は高融点金属硅化物等に適用することも
可能である。In the embodiment, the etching of the AlSiCu film is described, but it can be applied to the etching of a laminated structure with a barrier metal such as AlSiCu / TiN / Ti. Further, in the AlSiCu film etching, the AlSiCu film may be etched after removing the resist and then performing a step of cleaning the substrate to be processed. In addition, it is also possible to apply to a high melting point metal such as tungsten or molybdenum, or a high melting point metal silicide.
【０２５１】ＡｌＳｉＣｕのエッチングにおける圧力，
高周波電力密度，基板温度等は、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲で種々変形して実施することができる。炭素膜
を剥離する工程において、円筒型のプラズマエッチング
装置を用いているが、平行平板型電極を有したエッチン
グ装置を用いてもよい。Pressure in AlSiCu etching,
The high frequency power density, the substrate temperature, etc. can be variously modified and implemented without departing from the scope of the present invention. Although a cylindrical plasma etching apparatus is used in the step of peeling off the carbon film, an etching apparatus having parallel plate electrodes may be used.
【０２５２】レジスト膜を炭素膜に対して選択的に剥離
する工程において、ＣＦ4 ／Ｏ2 ガスを用いたダウンフ
ロー型アッシング装置を用いているが、エッチングガス
として、ＳＦ6 、ＮＦ3 等、少なくともフッ素を含有し
ているガスと酸素との混合ガスであればよい。In the step of selectively peeling the resist film from the carbon film, a downflow type ashing apparatus using CF 4 / O 2 gas is used, but SF 6 , NF 3, etc. are used as etching gas. A mixed gas of a gas containing at least fluorine and oxygen may be used.
【０２５３】実施例３及び１２において、Ｓｉ基板に溝
を穿設している工程において、エッチングガスとしてＣ
ｌ2 とＳｉＣｌ4 との混合ガスを用いているが、Ｃｌ2
とＨＢｒ等、臭素を含むガスを添加してもよく、少なく
ともＣｌ2 を主成分とするガスであればよい。In Examples 3 and 12, C was used as an etching gas in the step of forming a groove in the Si substrate.
Although a mixed gas of l 2 and SiCl 4, Cl 2
And a gas containing bromine, such as HBr, may be added, and any gas containing at least Cl 2 as a main component may be used.
【０２５４】実施例６においては、リソグラフィに用い
る露光マスク或いはＴＦＴの形成のために、石英基板を
用いているが、透光性に優れていれば、誘電体基板を用
いてもよい。露光マスクにおいて不透明なパターンとし
てＣｒを用いたが、酸化クロム或いはモリブデン硅化物
等の高融点金属硅化物を用いてもよい。In Example 6, a quartz substrate is used to form an exposure mask or TFT used for lithography, but a dielectric substrate may be used as long as it has excellent light-transmitting properties. Although Cr is used as the opaque pattern in the exposure mask, a refractory metal silicide such as chromium oxide or molybdenum silicide may be used.
【０２５５】さらに、上記露光マスクの製造工程におい
て、不透明なパターンとしてＣｒを選択した。本実施例
において用いたＣｒ膜の膜厚が１００ｎｍと薄いため、
本実施例においては、レジストをマスクとしてＣｒをエ
ッチングした。しかし、この不透明のエッチングプロセ
スにおいても、エッチング条件及びエッチング物の膜厚
さらに材質に応じ、炭素膜をマスクパターンとしてエッ
チングするプロセスを適用してもよい。Further, Cr was selected as the opaque pattern in the manufacturing process of the exposure mask. Since the thickness of the Cr film used in this example is as thin as 100 nm,
In this example, Cr was etched using the resist as a mask. However, also in this opaque etching process, a process of etching using a carbon film as a mask pattern may be applied depending on the etching conditions, the film thickness of the etching product, and the material.
【０２５６】実施例９において、ＳｉＯ2 膜のエッチン
グガスとしてＣＨＦ3 とＣＯとの混合ガスを用いている
が、少なくともフッ素を含有する炭化水素ガスであれば
他のガスを用いてもよい。また、Ｈ2 ガスを上記ガス中
に添加した混合ガスを用いてもよい。In Example 9, a mixed gas of CHF 3 and CO is used as the etching gas for the SiO 2 film, but another gas may be used as long as it is a hydrocarbon gas containing at least fluorine. Alternatively, a mixed gas obtained by adding H 2 gas to the above gas may be used.
【０２５７】また、上記露光マスクの製造プロセスにお
いて、レジスト膜を剥離して炭素膜からなるマスクパタ
ーンにてエッチングを行っているが、エッチング条件に
応じてレジストを除去しないで、レジストが被着した炭
素膜パターンをマスクとしてエッチングを行ってもよ
い。In the process of manufacturing the above-mentioned exposure mask, the resist film is peeled off and etching is performed with the mask pattern made of the carbon film. However, the resist is not removed according to the etching conditions, and the resist is deposited. Etching may be performed using the carbon film pattern as a mask.
【０２５８】同様にして、厚い基板上でのエッチング工
程（ＴＦＴ製造工程）においても、非晶質Ｓｉの膜厚が
薄いため、レジストをマスクとしてエッチングを行った
が、エッチング条件等に応じて、レジストを剥離し、炭
素膜をマスクパターンとしてエッチングする或いは、レ
ジストを除去しないでレジストが被着した炭素膜パター
ンをマスクとしてエッチングを行ってもよい。Similarly, in the etching process (TFT manufacturing process) on a thick substrate, etching was performed using the resist as a mask because the film thickness of amorphous Si was thin. However, depending on the etching conditions, etc. The resist may be peeled off and etched using the carbon film as a mask pattern, or the carbon film pattern on which the resist is deposited may be used as a mask without removing the resist.
【０２５９】さらに、ＡｌＳｉＣｕ膜，Ｓｉ基板，Ｓｉ
Ｏ2 膜のエッチングにおいて、実施例ではエッチング
後、マスクとして用いた炭素膜は剥離したが、場合によ
っては炭素膜を除去しないで、そのまま残してその後の
プロセス工程を施しても構わない。 〈実施例１３〉次に、本発明の第１３の実施例につい
て、図２５を参照して説明する。Further, AlSiCu film, Si substrate, Si
In the etching of the O 2 film, the carbon film used as the mask was peeled off after the etching in the embodiment, but in some cases, the carbon film may not be removed and may be left as it is for subsequent process steps. <Embodiment 13> Next, a thirteenth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【０２６０】先ず、図２５（ａ）に示すように、面方位
（１００）のシリコン半導体基板１０００上に不純物を
導入して拡散層１００２を形成する。次に、ＣＶＤ法
（化学気相成長）によりＳｉＯ2 膜を３００ｎｍ程度、
ＳｉＯ2 膜上にＢＰＳＧ膜（ボロン・リン・硅化ガラ
ス）を６００ｎｍ程度堆積し、低温リフロー工程を経て
表面を平坦化し層間絶縁膜１００１を形成する。First, as shown in FIG. 25A, an impurity is introduced into a silicon semiconductor substrate 1000 having a plane orientation (100) to form a diffusion layer 1002. Next, a SiO 2 film of about 300 nm is formed by a CVD method (chemical vapor deposition),
A BPSG film (boron / phosphorus / silicided glass) having a thickness of about 600 nm is deposited on the SiO 2 film and the surface is flattened through a low temperature reflow process to form an interlayer insulating film 1001.
【０２６１】次に、層間絶縁膜１００１を異方性エッチ
ングで選択的に開孔して拡散層１００２の一部上面が露
出するコンタクト孔を形成する。Next, the interlayer insulating film 1001 is selectively opened by anisotropic etching to form a contact hole in which a part of the upper surface of the diffusion layer 1002 is exposed.
【０２６２】次に、金属ターゲットを用いたスパッタ法
によって、配線用の金属薄膜、例えばＴｉＮ／Ｔｉ膜
（７０／２０ｎｍ）とＡｌＳｉＣｕ膜（８００ｎｍ）の
積層構造膜１００３を順次堆積する。Next, a metal thin film for wiring, for example, a laminated structure film 1003 of a TiN / Ti film (70/20 nm) and an AlSiCu film (800 nm) is sequentially deposited by a sputtering method using a metal target.
【０２６３】次いで、図２５（ｂ）に示す如く、有機薄
膜、例えばノボラック樹脂１００４を全面に２．０μm
程度塗布し、コンタクト孔を完全に埋め込む。Next, as shown in FIG. 25 (b), an organic thin film, for example, novolac resin 1004, is applied to the entire surface to a thickness of 2.0 μm.
Apply approximately to completely fill the contact hole.
【０２６４】次いで、図２５（ｃ）に示す如く、Ｏ2 ガ
スを用いた反応性イオンエッチング技術により、ノボラ
ック樹脂１００４を層間絶縁膜１００１の表面まで異方
性エッチング（エッチバック）した。Next, as shown in FIG. 25C, the novolac resin 1004 was anisotropically etched (etched back) to the surface of the interlayer insulating film 1001 by the reactive ion etching technique using O 2 gas.
【０２６５】このときのエッチングには、マグネトロン
載置の反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）装置を用い、
Ｏ2 ガス流量１００SCCM、圧力６Pa、高周波電力１．７
Ｗ／cm2 、基板温度２５℃において行なった。For the etching at this time, a reactive ion etching (RIE) device mounted on a magnetron was used.
O 2 gas flow rate 100 SCCM, pressure 6 Pa, high frequency power 1.7
It was performed at W / cm 2 and a substrate temperature of 25 ° C.
【０２６６】ノボラック樹脂のエッチング速度を測定し
たところ、エッチング速度は１．５μm/min であった。
又、このときのコンタクト孔の断面をＳＥＭにて観察し
たところ図２５（ｃ）に示す如く、コンタクト孔が完全
にノボラック樹脂にて埋め込まれ、さらに、コンタクト
孔におけるノボラック樹脂の上面と層間絶縁膜１００３
の上面とが一致しており、平坦化されていることが判明
した。When the etching rate of the novolac resin was measured, the etching rate was 1.5 μm / min.
When the cross section of the contact hole at this time is observed by SEM, as shown in FIG. 25C, the contact hole is completely filled with the novolac resin, and further, the upper surface of the novolac resin in the contact hole and the interlayer insulating film. 1003
It was found that the upper surface of the layer coincided with the upper surface and was flattened.
【０２６７】次いで、図２５（ｄ）に示すように、スパ
ッタ法により炭素膜１００５をＡｌＳｉＣｕ膜１００３
上に堆積した。炭素膜の膜厚は２００ｎｍである。Next, as shown in FIG. 25D, the carbon film 1005 and the AlSiCu film 1003 are formed by the sputtering method.
Deposited on top. The thickness of the carbon film is 200 nm.
【０２６８】次に、炭素膜１００５上にフォトレジスト
１００６を膜厚１．６μm 塗布し、通常のリソグラフィ
技術を用いて、レジスト１００６を露光し、現像するこ
とによりレジストパターン１００６を形成した。Next, a photoresist 1006 having a film thickness of 1.6 μm was applied on the carbon film 1005, and the resist 1006 was exposed and developed by a usual lithography technique to form a resist pattern 1006.
【０２６９】この工程では、現像液としてアルカリ性有
機溶液を用いたが、現像時に炭素膜１０５、ＡｌＳｉＣ
ｕ膜１００３、ノボラック樹脂膜１００４の溶出、剥離
などの問題は生じなかった。In this step, an alkaline organic solution was used as the developing solution, but the carbon film 105 and AlSiC were used during the development.
Problems such as elution and peeling of the u film 1003 and the novolac resin film 1004 did not occur.
【０２７０】次いで、図２５（ｅ）に示すように、マグ
ネトロン載置のＲＩＥ装置を使用し、エッチングガスと
してＯ2 あるいはＨ2 を用いて、被エッチング材料であ
る炭素膜１００５をレジストパターン１００６をマスク
としてエッチングした。Next, as shown in FIG. 25E, a carbon film 1005 as a material to be etched is formed into a resist pattern 1006 by using a magnetron-mounted RIE device and using O 2 or H 2 as an etching gas. Etched as a mask.
【０２７１】エッチングガスにＯ2 を用いた場合、エッ
チング条件はＯ2 ガス流量１００SCCM、圧力１．５Pa、
高周波電力を１．７Ｗ／cm2 印加し、基板温度を−７５
℃に保持した。When O 2 is used as the etching gas, the etching conditions are O 2 gas flow rate 100 SCCM, pressure 1.5 Pa,
High frequency power of 1.7 W / cm 2 is applied and the substrate temperature is -75.
Hold at 0 ° C.
【０２７２】このとき、炭素膜１００５が約３００ｎｍ
/minでエッチングされたのに対して、レジスト１００６
は約１．０μm/min であり、炭素膜１００５とレジスト
１００６との選択比は約０．３であった。エッチングさ
れた炭素膜１００５の形状をＳＥＭにて観察したところ
ほぼ垂直形状が得られた。At this time, the carbon film 1005 has a thickness of about 300 nm.
/ min, but resist 1006
Was about 1.0 μm / min, and the selection ratio between the carbon film 1005 and the resist 1006 was about 0.3. When the shape of the etched carbon film 1005 was observed with the SEM, a substantially vertical shape was obtained.
【０２７３】また、エッチングガスとしてＨ2 を用いた
場合では、Ｈ2 ガス流量１００SCCM、圧力１．５Pa、高
周波電力１．７Ｗ／cm2 、基板温度２５℃にて、炭素膜
１００５が３３ｎｍ/min、レジスト１００６が６７０ｎ
ｍ/minでエッチングされた。この場合も、エッチングし
た炭素膜の形状はほぼ垂直であった。When H 2 was used as the etching gas, the carbon film 1005 was 33 nm / min at the H 2 gas flow rate of 100 SCCM, the pressure of 1.5 Pa, the high frequency power of 1.7 W / cm 2 , and the substrate temperature of 25 ° C. , Resist 1006 is 670n
Etched at m / min. Also in this case, the shape of the etched carbon film was almost vertical.
【０２７４】次に、炭素膜１００５に対して選択的にレ
ジスト１００６を除去した。レジストパターンのエッチ
ングには、マイクロ波励起を用いたダウンフロー型のエ
ッチング装置を用いた。エッチング条件は、エッチング
ガスとしてＣＦ4 とＯ2 との混合ガスを用い、ＣＦ4 ／
Ｏ2の流量は１５／５００SCMM一定とした。圧力は０．
３Torrに保持し、基板温度は室温に保った。マイクロ波
を印加（電力６００Ｗ）して放電を生じさせ、エッチン
グを行なった。Next, the resist 1006 was selectively removed with respect to the carbon film 1005. A down-flow type etching apparatus using microwave excitation was used for etching the resist pattern. As the etching conditions, a mixed gas of CF 4 and O 2 is used as an etching gas, and CF 4 /
The flow rate of O 2 was constant at 15/500 SCMM. The pressure is 0.
The temperature was kept at 3 Torr and the substrate temperature was kept at room temperature. Microwaves were applied (power 600 W) to generate discharge and etching was performed.
【０２７５】このエッチングによりレジストは、０．８
μm/min でエッチングされるのに対して、炭素膜、Ａｌ
ＳｉＣｕ膜は全くエッチングされない。By this etching, the resist becomes 0.8
Etching at μm / min, whereas carbon film, Al
The SiCu film is not etched at all.
【０２７６】次いで、図２５（ｆ）に示す如く、マグネ
トロン載置のＲＩＥ装置を用いて、カーボン膜１００５
をマスクとしてＡｌＳｉＣｕ膜とＴｉＮ／Ｔｉ膜の積層
構造膜１００３の選択エッチングを行なった。エッチン
グ条件は、基板温度を５０℃に保持し、エッチングガス
としてＣｌ2 ／ＢＣｌ3 との混合ガス（流量１００SCC
M）を用いた。エッチング圧力は１．５Pa、高周波電力
は０．８Ｗ／cm2 である。Next, as shown in FIG. 25 (f), a carbon film 1005 is formed by using a magnetron-mounted RIE apparatus.
Using the as a mask, the selective etching of the laminated structure film 1003 of the AlSiCu film and the TiN / Ti film was performed. The etching condition is that the substrate temperature is kept at 50 ° C. and a mixed gas of Cl 2 / BCl 3 is used as an etching gas (flow rate 100 SCC).
M) was used. The etching pressure is 1.5 Pa, and the high frequency power is 0.8 W / cm 2 .
【０２７７】これより、ＡｌＳｉＣｕ膜１００３が３５
０ｎｍ/minでエッチングされるが、炭素膜１００５は約
２５ｎｍ/minであり、選択比１４が得られた。このとき
の形状をＳＥＭにより評価したところ、テーパ角８８°
でＡｌＳｉＣｕ膜１００３はテーパ形状であることが分
った。As a result, the AlSiCu film 1003 has a thickness of 35.
Although etched at 0 nm / min, the carbon film 1005 was about 25 nm / min, and a selectivity ratio of 14 was obtained. When the shape at this time was evaluated by SEM, the taper angle was 88 °.
It was found that the AlSiCu film 1003 had a tapered shape.
【０２７８】最後に、図２５（ｇ）に示す如く、バレル
型のプラズマエッチング装置を用いて、Ｏ2 プラズマア
ッシング処理を施した。Finally, as shown in FIG. 25 (g), an O 2 plasma ashing process was performed using a barrel type plasma etching apparatus.
【０２７９】これにより、炭素膜及びコンタクトホール
内に埋め込まれていたノボラック樹脂は容易に剥離され
ることが確認できた。又、ＡｌＳｉＣｕ膜のパターン端
等にフェンス等の残留物は全く残っていなかった。From this, it was confirmed that the novolak resin embedded in the carbon film and the contact hole was easily peeled off. Further, no residue such as a fence remained on the pattern edge of the AlSiCu film.
【０２８０】次に、低温プラズマＣＶＤ法によりＳｉＯ
2 膜からなる絶縁膜１００７を堆積し、ＡｌＳｉＣｕ膜
パターン間の埋め込みを行なった。ＳＥＭにて、この断
面形状を観察したところ、０．５μm ラインアンドスペ
ースのＡｌＳｉＣｕ膜パターンにＳｉＯ2 膜１００７が
完全に埋め込まれることが判明した。Next, SiO 2 is formed by a low temperature plasma CVD method.
An insulating film 1007 consisting of two films was deposited and embedded between AlSiCu film patterns. When the cross-sectional shape was observed by SEM, it was found that the SiO 2 film 1007 was completely embedded in the AlSiCu film pattern of 0.5 μm line and space.
【０２８１】フェンスが生じない要因としては、ＡｌＳ
ｉＣｕエッチングのマスクが炭素膜であり、炭素膜のエ
ッチング速度が小さく、エッチング生成物の量が少ない
ことと炭素膜から生じるエッチング生成分とＡｌＳｉＣ
ｕのエッチング生成分とは容易に反応しない。アスペク
ト比が小さい為、パターン側壁での付着物量が極めて少
ない為と考えられる。AlS is a factor that does not cause a fence.
The iCu etching mask is a carbon film, the etching rate of the carbon film is low, the amount of etching products is small, and the etching products generated from the carbon film and AlSiC
It does not easily react with the etching product of u. It is considered that the amount of the deposit on the sidewall of the pattern is extremely small because the aspect ratio is small.
【０２８２】上記プロセスにより形成されたＡｌＳｉＣ
ｕ／ＴｉＮ／Ｔｉ積層構造上に対してエッチングを行な
った（図２５（ｆ））。AlSiC formed by the above process
Etching was performed on the u / TiN / Ti laminated structure (FIG. 25 (f)).
【０２８３】更に、この実施例においては、ＡｌＳｉＣ
ｕ膜のエッチングにおいてエッチングマスクとして膜厚
２００ｎｍの炭素膜パタ−ンを用いているので、パタ−
ンのアスペクト比が０．２〜２．０となる。従って、従
来のフォトレジストをマスクとして用いた場合のアスペ
クト比１．６〜１６に比べ、大幅に低減される。エッチ
ング速度のパタア−ン寸法依存性（マイクロロ−ディン
グ効果）は、上記プロセスにおいては全く見られなかっ
た。 〈実施例１４〉次に、本発明の第１４の実施例として、
半導体装置における上層金属配線と下層金属配線との接
続部（ＶＩＡコンタクト）を形成する工程において、図
２６に示した工程断面図を用いて説明する。Further, in this embodiment, AlSiC
Since a carbon film pattern with a thickness of 200 nm is used as an etching mask in etching the u film, the pattern is
Aspect ratio is 0.2 to 2.0. Therefore, the aspect ratio is significantly reduced as compared with the aspect ratio of 1.6 to 16 when the conventional photoresist is used as a mask. The pattern size dependence of the etching rate (microloading effect) was not found at all in the above process. <Embodiment 14> Next, as a fourteenth embodiment of the present invention,
In the step of forming a connecting portion (VIA contact) between the upper layer metal wiring and the lower layer metal wiring in the semiconductor device, description will be given using the step cross-sectional views shown in FIG.
【０２８４】まず、図２６（ａ）に示すように、素子が
形成された半導体基板上に堆積された第１の層間絶縁膜
１１００上に、第１の金属配線層１１０１として例えば
ＡｌＳｉＣｕ膜（膜厚８０００Ａ）１１０１をスパッタ
法により堆積する。First, as shown in FIG. 26A, for example, an AlSiCu film (film) is formed as the first metal wiring layer 1101 on the first interlayer insulating film 1100 deposited on the semiconductor substrate on which the element is formed. A thickness of 8000 A) 1101 is deposited by sputtering.
【０２８５】さらに、第２の層間絶縁膜として、低温プ
ラズマＣＶＤ（気相成長）装置でＴＥＯＳ（テトラエト
キシシラン）等を用いてＳｉＯ2 膜１１０２を堆積す
る。Further, as a second interlayer insulating film, a SiO 2 film 1102 is deposited using TEOS (tetraethoxysilane) or the like with a low temperature plasma CVD (vapor phase growth) apparatus.
【０２８６】次いで、ＳｉＯ2 膜１１０２上にフォトレ
ジスト（膜厚１．６μm ）を堆積し、通常のフォトリソ
グラフィ工程により、第２の層間絶縁膜２０２の接続孔
形成予定部上のみレジストを除去し、このレジストをマ
スクとして、ＳｉＯ2 膜１１０２を第１の金属配線１１
０１が露出するまで異方性エッチングし、ビアコンタク
トを開孔した。Next, a photoresist (film thickness: 1.6 μm) is deposited on the SiO 2 film 1102, and the resist is removed only on a portion of the second interlayer insulating film 202 where a contact hole is to be formed by a normal photolithography process. Using the resist as a mask, the SiO 2 film 1102 is used as the first metal wiring 11
The via contact was opened by anisotropically etching until 01 was exposed.
【０２８７】次いで、スパッタリング法により全面に第
２の金属配線層であるＴｉＮ／Ｔｉ（膜厚７００／２０
０Ａ）１１０３及びＡｌＳｉＣｕ膜（膜厚０．８μm ）
１１０４を順次堆積した。Then, the second metal wiring layer of TiN / Ti (film thickness 700/20 is formed over the entire surface by a sputtering method.
0A) 1103 and AlSiCu film (film thickness 0.8 μm)
1104 was sequentially deposited.
【０２８８】次いで図２６（ｂ）に示すように、ビアコ
ンタクトホール部を埋めるべく、全面に有機薄膜、例え
ばノボラック樹脂１１０５を膜厚２．０μm 程度塗布し
た。又、ノボラック樹脂中の溶媒を除去すべく、２５０
℃、２分間のベーキング処理を施し、ノボラック樹脂か
らなる平坦化層１１０５を形成した。Then, as shown in FIG. 26B, an organic thin film, for example, a novolac resin 1105 is applied to a thickness of about 2.0 μm on the entire surface to fill the via contact hole portion. In addition, in order to remove the solvent in the novolac resin, 250
A baking treatment was performed at 2 ° C. for 2 minutes to form a flattening layer 1105 made of a novolac resin.
【０２８９】次いで、図２６（ｃ）に示すように、炭素
膜１１０６の堆積を行なった。炭素膜１１０６の堆積に
は、平行平板型のプラズマエッチング装置を用い、カソ
ード電極にウエハを保持し、ガスとしてＣＯを用い、圧
力２０mTorr 、高周波電力１．４Ｗ／cm2 、基板温度２
５℃、ガス流量１００SCCMにて放電させ、炭素膜（膜厚
２０００Ａ）１１０６をノボラック樹脂膜１１０５上に
堆積した。このときの炭素膜の堆積速度は、１５０Ａ/m
inであった。Then, as shown in FIG. 26C, a carbon film 1106 was deposited. A parallel plate type plasma etching apparatus was used to deposit the carbon film 1106, a wafer was held on the cathode electrode, CO was used as a gas, a pressure was 20 mTorr, a high frequency power was 1.4 W / cm 2 , and a substrate temperature was 2
By discharging at 5 ° C. and a gas flow rate of 100 SCCM, a carbon film (film thickness 2000 A) 1106 was deposited on the novolac resin film 1105. The deposition rate of the carbon film at this time is 150 A / m
It was in.
【０２９０】次いで、図２６（ｄ）に示すように、炭素
膜１１０６上にフォトレジスト１１０７を膜厚１．６μ
m 塗布し、通常のリソグラフィ技術を用いてレジスト１
１０７を露光し、現像することによりレジストパターン
１１０７を形成した。Next, as shown in FIG. 26D, a photoresist 1107 having a film thickness of 1.6 μm is formed on the carbon film 1106.
m coating and resist 1 using ordinary lithographic technique
A resist pattern 1107 was formed by exposing and developing 107.
【０２９１】次いで、図２６（ｅ）に示すようにマグネ
トロン載置のＲＩＥ装置を使用し、エッチングガスとし
てＯ2 を用いて、レジストパターン１１０７をマスクと
して炭素膜１１０６及びノボラック樹脂膜１１０５のエ
ッチングを行なった。Then, as shown in FIG. 26 (e), the carbon film 1106 and the novolac resin film 1105 are etched using the resist pattern 1107 as a mask by using O 2 as an etching gas using a magnetron-mounted RIE apparatus. I did.
【０２９２】エッチング条件は、Ｏ2 ガス流量１００SC
CM、圧力６．０Pa、高周波電力１．７Ｗ／cm2 印加し、
基板温度を−５０℃に保持した。The etching conditions are O 2 gas flow rate of 100 SC.
CM, pressure 6.0Pa, high frequency power 1.7W / cm 2 applied,
The substrate temperature was kept at -50 ° C.
【０２９３】このとき、炭素膜１１０５は約３０００Ａ
/minでエッチングされたのに対してレジスト１１０６は
約１．０μm/min 、ノボラック樹脂１１０５は約１．０
μm/min でエッチングされた。このエッチングにより上
層のレジスト１１０７はほとんどエッチングされ、炭素
膜１１０６とノボラック樹脂１１０５から構成されるパ
ターンが形成された。At this time, the carbon film 1105 has a thickness of about 3000A.
The resist 1106 is about 1.0 μm / min, and the novolac resin 1105 is about 1.0, while the etching rate is 1.0 / min.
Etched at μm / min. By this etching, the upper layer resist 1107 was almost etched, and a pattern composed of the carbon film 1106 and the novolac resin 1105 was formed.
【０２９４】このエッチング形状をＳＥＭにて観察した
ところ、垂直形状のパターンであることが判明した。When this etching shape was observed by SEM, it was found to be a vertical pattern.
【０２９５】次いで、図２６（ｆ）に示すように、マグ
ネトロン載置のＲＩＥ装置を用いて、カーボン膜１１０
６／ノボラック樹脂膜１１０５をマスクとして、ＡｌＳ
ｉＣｕ膜１１０４及びＴｉＮ／Ｔｉ１１０３積層構造膜
のエッチングを行なった。Next, as shown in FIG. 26 (f), a carbon film 110 is formed by using a RIE apparatus mounted on a magnetron.
6 / Novolak resin film 1105 as a mask, AlS
The iCu film 1104 and the TiN / Ti1103 laminated structure film were etched.
【０２９６】エッチング条件は、実施例１３と同様で、
圧力１．５Pa、高周波電力０．８Ｗ／cm2 、基板温度５
０℃、エッチングガスとしてＣｌ2 とＢＣｌ3 の混合ガ
ス（流量１００SCCM）を用いた。The etching conditions are the same as in Example 13,
Pressure 1.5Pa, high frequency power 0.8W / cm 2 , substrate temperature 5
A mixed gas of Cl 2 and BCl 3 (flow rate 100 SCCM) was used as an etching gas at 0 ° C.
【０２９７】エッチングの形状をＳＥＭにて観察したと
ころ、テーパ角８８°で、ＡｌＳｉＣｕ膜１１０３及び
ＴｉＮ／Ｔｉ膜がテーパ形状でエッチングされているこ
とが分った。When the etching shape was observed by SEM, it was found that the AlSiCu film 1103 and the TiN / Ti film were etched in a taper shape at a taper angle of 88 °.
【０２９８】最後に、図２６（ｇ）に示す如く、バレル
型のプラズマエッチング装置を用いて、Ｏ2 ガスによる
プラズマアッシングを施した。Finally, as shown in FIG. 26G, plasma ashing with O 2 gas was performed using a barrel type plasma etching apparatus.
【０２９９】これより、炭素膜１１０６及びノボラック
樹脂層１１０５は容易に剥離されることが確認できた。From this, it was confirmed that the carbon film 1106 and the novolac resin layer 1105 were easily peeled off.
【０３００】次に、低温プラズマＣＶＤ法によりＳｉＯ
2 膜からなる絶縁膜１１０７を堆積し、ＡｌＳｉＣｕ膜
パターン間への埋め込みを行なった。Next, SiO 2 is formed by a low temperature plasma CVD method.
An insulating film 1107 composed of two films was deposited and embedded between the AlSiCu film patterns.
【０３０１】ＳＥＭにてこの断面形状を観察したところ
０．５μm ラインアンドスペースのＡｌＳｉＣｕ膜パタ
ーンにＳｉＯ2 膜１１０８が完全に埋め込まれているこ
とを確認した。When this cross-sectional shape was observed by SEM, it was confirmed that the SiO 2 film 1108 was completely embedded in the AlSiCu film pattern of 0.5 μm line and space.
【０３０２】又、ＡｌＳｉＣｕ膜のパターンにフェンス
等の残留物は全く観察されなかったが、この要因として
は、実施例１３で前述したように、ＡｌＳｉＣｕ膜エッ
チング中のマスクが炭素膜であり、炭素膜のエッチング
速度が小さく炭素膜から生じるエッチング分解物の付着
量が従来のフォトレジストに比べ非常に少ない為と考え
られる。Further, no residue such as fences was observed in the pattern of the AlSiCu film. This is due to the fact that the mask during the etching of the AlSiCu film is the carbon film and the carbon It is considered that the etching rate of the film is small and the amount of the etching decomposition products generated from the carbon film is much smaller than that of the conventional photoresist.
【０３０３】又、塗布するノボラック樹脂１１０５の膜
厚を励起する（少なくともヴィアコンタクト部が全て埋
め込まれていればよい）ことにより、アスペクト比を
２．５以下にすることが可能であり、マイクロローディ
ング効果を大幅に低減可能である。By exciting the film thickness of the novolac resin 1105 to be applied (at least all the via contact portions need to be buried), the aspect ratio can be set to 2.5 or less, and the microloading can be performed. The effect can be greatly reduced.
【０３０４】これらの結果から、炭素膜をエッチングマ
スクパターンに用いた本実施例を半導体集積回路用配線
構造工程に適用すれば、デバイスへの信頼性が飛躍的に
向上することがわかる。From these results, it is understood that if the present embodiment using the carbon film as the etching mask pattern is applied to the wiring structure process for the semiconductor integrated circuit, the reliability of the device is dramatically improved.
【０３０５】実施例１３及び１４では、有機薄膜１００
４、１００５としてハロゲン原子等を含有しないことが
望ましい。In Examples 13 and 14, the organic thin film 100 was used.
4, 1005 preferably does not contain a halogen atom or the like.
【０３０６】以上説明した実施例１３及び１４では、有
機薄膜の堆積方法として回転塗布法を用いているが、ダ
ウンフロー型プラズマＣＶＤ装置あるいは平行平板型の
プラズマＣＶＤ装置を用い、基板温度を冷却し、制御
し、ガスとして有機質モノマー等を導入することによ
り、コンタクトホールやビアホールの溝の底面より順に
堆積が生じる液相ＣＶＤ法を利用することにより、溝部
にハロゲン原子等を含有しない有機質薄膜を堆積させる
ことが可能となる。In Examples 13 and 14 described above, the spin coating method was used as the method for depositing the organic thin film, but the downflow type plasma CVD apparatus or the parallel plate type plasma CVD apparatus was used to cool the substrate temperature. By controlling and introducing organic monomer etc. as a gas, deposition is performed in order from the bottom surface of the groove of the contact hole or via hole. By using the liquid phase CVD method, an organic thin film containing no halogen atom is deposited in the groove. It becomes possible.
【０３０７】更に、実施例１３では有機薄膜のエッチバ
ックを行なっているが、膜厚の制御あるいは上述の液相
ＣＶＤ法を用いることにより、エッチバックを用いない
で、コンタクト孔やビアホールのみを埋め込むことが可
能である。Further, although the organic thin film is etched back in the thirteenth embodiment, only the contact hole or the via hole is filled without using the etch back by controlling the film thickness or by using the liquid phase CVD method described above. It is possible.
【０３０８】実施例１３ではコンタクトホール、実施例
１４ではビアホールについての適用を記述したが、それ
ぞれどちらの構造にたいしてもこれらの実施例を適用し
てもよい。又、実施例１ではシリコン半導体基板上で行
なわれたが、ウエル領域上でもよく拡散層は基板と同一
導電型でも逆導電型でもかまわない。Although the application of the contact hole is described in the thirteenth embodiment and the via hole is described in the fourteenth embodiment, these embodiments may be applied to either structure. Further, in the first embodiment, it is performed on the silicon semiconductor substrate, but the diffusion layer may have the same conductivity type as the substrate or the opposite conductivity type to the well region.
【０３０９】実施例１３，１４においては、有機膜１１
０５によりコンタクト孔やビアホールを埋め込んだ後、
炭素膜１１０６を形成したが、その逆に、図２６（ｈ）
に示すように、全面に炭素膜１１０６を被着した後、全
面に有機膜１１０５を形成し、更にこの有機膜１１０５
をエッチバックして表面を平坦化し、その後、その上に
レジストパタ−ン１１０７を形成してもよい。In Examples 13 and 14, the organic film 11 was used.
After filling the contact holes and via holes with 05,
A carbon film 1106 was formed, but conversely, as shown in FIG.
, A carbon film 1106 is deposited on the entire surface, an organic film 1105 is formed on the entire surface, and the organic film 1105 is further formed.
May be etched back to flatten the surface, and then a resist pattern 1107 may be formed thereon.
【０３１０】実施例１３，１４においては、平行平板電
極を有したマグネトロン型の反応性イオンエッチング装
置を用いているが、マイクロ波を印加したＥＣＲ放電を
用いた反応性イオンエッチング装置、又はマイクロ波若
しくは電子線を印加することによって生成された放電プ
ラズマ下で、被エッチング基体に電圧を印加した反応性
イオンエッチング装置を用いてもよい。In Examples 13 and 14, a magnetron type reactive ion etching apparatus having parallel plate electrodes was used. However, a reactive ion etching apparatus using ECR discharge to which a microwave was applied, or a microwave was used. Alternatively, a reactive ion etching apparatus in which a voltage is applied to the substrate to be etched under the discharge plasma generated by applying an electron beam may be used.
【０３１１】又、炭素膜の形成方法として、スパッタリ
ング法あるいはＣＯガスを用いたＣＶＤ法を用いてきた
が、真空蒸着法を用いて形成してもよい。Although the sputtering method or the CVD method using CO gas has been used as the method for forming the carbon film, the carbon film may be formed by using the vacuum evaporation method.
【０３１２】更に、炭化水素ガスを用いたプラズマＣＶ
Ｄ、光ＣＶＤ、又は電子線ＣＶＤによって形成してもよ
い。Furthermore, plasma CV using hydrocarbon gas
It may be formed by D, photo CVD, or electron beam CVD.
【０３１３】更にまた、形成した有機質薄膜表面にイオ
ン注入する、あるいはプラズマ、電磁波、荷電粒子を照
射し、これらの有機質薄膜表面を改質し、例えば炭化さ
せてもよい。Furthermore, the surface of the formed organic thin film may be ion-implanted or irradiated with plasma, electromagnetic waves, or charged particles to modify the surface of these organic thin films, for example, carbonized.
【０３１４】また、有機ガスに電磁波（レーザ、光、Ｘ
線）や荷電粒子（イオン電子）を照射したＣＶＤ法を用
いて全面に堆積あるいは選択堆積させてもよい。Electromagnetic waves (laser, light, X
Line) or charged particles (ion electrons) may be used for the CVD method to deposit or selectively deposit the entire surface.
【０３１５】実施例１３，１４において、ＡｌＳｉＣｕ
膜のエッチングにおいて、エッチングガスとしてＣｌ2
とＢＣｌ3 の混合ガスを用いたがＢｒ2 、ＨＢｒ、ＢＢ
ｒ3 等の臭素を主成分とするハロゲンガスや、Ｃｌ2 を
主成分とするガスとの混合ガスをエッチングして使用す
ることも可能である。In Examples 13 and 14, AlSiCu
In etching the film, Cl 2 is used as an etching gas.
A mixed gas of BCl 3 and BCl 3 was used, but Br 2 , HBr, BB
It is also possible to etch and use a mixed gas of a halogen gas mainly containing bromine such as r 3 or a gas mainly containing Cl 2 .
【０３１６】更に上記ガス中にＡｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｈ
ｅ、Ｎｅなどの希ガスを導入してもかまわない。Further, Ar, Kr, Xe, H are added to the above gas.
A rare gas such as e or Ne may be introduced.
【０３１７】実施例１３，１４では、ＡｌＳｉＣｕ／Ｔ
ｉＮ／Ｔｉ等のバリアメタルの積層構造のエッチングに
ついて述べたが、ＡｌＳｉＣｕ膜あるいは他の高融点金
属材料、高融点金属材料の窒化物、高融点金属硅化物と
の積層構造、更に多結晶シリコン、絶縁物等、半導体材
料全てに適用することも可能である。In Examples 13 and 14, AlSiCu / T
Although the etching of the laminated structure of the barrier metal such as iN / Ti has been described, the laminated structure of the AlSiCu film or another refractory metal material, the nitride of the refractory metal material, the refractory metal silicide, the polycrystalline silicon, It is also possible to apply to all semiconductor materials such as insulators.
【０３１８】更に、金属膜のエッチングにおいて、レジ
ストを剥離した後、被処理基体を清浄する工程を施した
後、ＡｌＳｉＣｕ／ＴｉＮ／Ｔｉ膜をエッチングするよ
うにしてもよい。Further, in the etching of the metal film, the AlSiCu / TiN / Ti film may be etched after removing the resist and then performing the step of cleaning the substrate to be processed.
【０３１９】ＡｌＳｉＣｕあるいは炭素膜のエッチング
における圧力、高周波電力密度、基板温度等は本発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することがで
きる。The pressure, the high frequency power density, the substrate temperature, etc. in the etching of the AlSiCu or carbon film can be variously modified and implemented without departing from the scope of the present invention.
【０３２０】炭素膜を剥離する工程において、円筒型の
プラズマエッチング装置を用いているが、平行平板型電
極を有したエッチング装置を用いてもよい。In the step of peeling the carbon film, a cylindrical plasma etching apparatus is used, but an etching apparatus having parallel plate type electrodes may be used.
【０３２１】レジスト膜を炭素膜に対して、選択的に剥
離する工程において、ＣＦ4 ／Ｏ2 ガスを用いたダウン
フロー型アッシング装置を用いているが、エッチングガ
スとして、ＳＦ6 、ＮＦ3 等、少なくともフッ素を含有
しているガスと少なくとも酸素を含有しているガス（例
えばＨ2 Ｏ）との混合ガスであればよい。In the step of selectively peeling the resist film from the carbon film, a downflow type ashing apparatus using CF 4 / O 2 gas is used, but SF 6 , NF 3, etc. are used as etching gas. A mixed gas of a gas containing at least fluorine and a gas containing at least oxygen (for example, H 2 O) may be used.
【０３２２】有機薄膜として、ノボラック樹脂を用いた
が、他の有機質材料を用いてもよい。 〈実施例１５〉図２７は、本発明の第１５の実施例に係
わるＡｌ合金膜パターンの形成工程を示す断面図であ
る。まず、図２７（ａ）に示すように、Ｓｉ基板１２０
１上にＳｉＯ2 膜１２０２を形成し、このＳｉＯ2 膜１
２０２上にＡｌＳｉＣｕ（Ｓｉ濃度１ｗｔ％、Ｃｕ濃度
０．５ｗｔ％）薄膜１２０３を堆積する。次いで、図２
７（ｂ）に示す如く、薄膜１２０３上に炭素膜１２０４
（膜厚２００ｎｍ）を形成する。Although the novolac resin is used as the organic thin film, other organic materials may be used. <Embodiment 15> FIG. 27 is a sectional view showing a step of forming an Al alloy film pattern according to a fifteenth embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 27A, the Si substrate 120
The SiO 2 film 1202 is formed on 1, the SiO 2 film 1
An AlSiCu (Si concentration 1 wt%, Cu concentration 0.5 wt%) thin film 1203 is deposited on 202. Then, FIG.
7 (b), a carbon film 1204 is formed on the thin film 1203.
(Film thickness 200 nm) is formed.
【０３２３】ここで、炭素膜１２０４はマグネトロンス
パッタリング装置にて堆積した。スパッタリング前の真
空度は１０-8Torr台であり、スパッタリングガスとして
Ａｒガスを用い、Ａｒガスを５×１０-3Torrまで導入し
た後、高周波電力１ｋＷで炭素ターゲットをＡｒイオン
にてスパッタリングすることにより堆積した。堆積膜の
厚さは、スパッタリング時間を変化させることにより制
御可能であった。しかし、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１２０３上
に上記方法にて炭素膜１２０４を形成したところ、Ｓｉ
基板上部分的に炭素膜１２０４が剥れるという現象が生
じた。Here, the carbon film 1204 was deposited by a magnetron sputtering device. The degree of vacuum before sputtering is in the order of 10 -8 Torr, Ar gas is used as a sputtering gas, and after introducing Ar gas up to 5 × 10 -3 Torr, a carbon target is sputtered with Ar ions at a high frequency power of 1 kW. Deposited by. The thickness of the deposited film could be controlled by changing the sputtering time. However, when the carbon film 1204 was formed on the AlSiCu thin film 1203 by the above method,
The phenomenon that the carbon film 1204 was partially peeled off on the substrate occurred.
【０３２４】従って、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１２０３と炭素
膜１２０４との密着性を向上させるために、炭素膜堆積
前に、ＡｌＳｉＣｕ薄膜表面を酸素ガスを用いたプラズ
マに晒すことにより、ＡｌＳｉＣｕ薄膜表面の改質を行
った。酸素ガスプラズマ処理をしたＡｌＳｉＣｕ膜と処
理をしないＡｌＳｉＣｕ膜とをオージェ電子分光法（Ａ
ＥＳ）により分析したところ、プラズマ処理を実施した
ＡｌＳｉＣｕ膜では表面の酸素濃度の増大が観察され
た。Therefore, in order to improve the adhesion between the AlSiCu thin film 1203 and the carbon film 1204, the surface of the AlSiCu thin film is exposed to plasma using oxygen gas before the carbon film is deposited, so that the surface of the AlSiCu thin film is modified. went. Auger electron spectroscopy (A) of the AlSiCu film treated with oxygen gas plasma and the AlSiCu film not treated
When analyzed by ES), an increase in the oxygen concentration on the surface was observed in the AlSiCu film subjected to the plasma treatment.
【０３２５】次に、酸素ガスプラズマ処理を施したＡｌ
ＳｉＣｕ膜上に前述した如く同一条件にて、炭素膜（２
０００ｎｍ厚）の堆積を行った。炭素膜堆積後、膜の剥
がれを観察したところ、Ｓｉ基板上全域に渡って、炭素
膜の剥がれは見当たらなかった。形成した炭素膜の結晶
構造を明らかにするため、Ｘ線回析法（ＸＲＤ）による
膜分析を行ったところ、膜は非晶質構造であることが判
明した。さらに、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）に
より形成した炭素膜を分析したところ、炭素以外の他の
不純物原子は、膜中にてＡＥＳ法の検出感度以下である
ことが判明した。次いで、図２７（ｃ）に示すように、
炭素膜１２０４上にフォトレジスト１２０５（膜厚１．
６μｍ）を塗布し、通常のリソグラフィ技術を用いて、
レジスト１２０５を露光した。続いて、図２７（ｄ）に
示す如く、レジスト１２０５を現像して、レジストパタ
ーン１２０５を形成した。この図２７（ｄ）に示す工程
では、現像液として、アルカリ性有機溶済を用いたが、
現像時に炭素膜１２０４の溶出，剥離などの問題は生じ
なかった。Next, Al subjected to oxygen gas plasma treatment
Under the same conditions as described above, the carbon film (2
000 nm thick) was deposited. When the peeling of the film was observed after depositing the carbon film, no peeling of the carbon film was found over the entire area of the Si substrate. In order to clarify the crystal structure of the formed carbon film, film analysis by X-ray diffraction (XRD) was conducted, and it was found that the film had an amorphous structure. Furthermore, when the carbon film formed by secondary ion mass spectrometry (SIMS) was analyzed, it was found that the impurity atoms other than carbon were below the detection sensitivity of the AES method in the film. Then, as shown in FIG. 27 (c),
Photoresist 1205 (film thickness 1.
6 μm), and using ordinary lithographic techniques,
The resist 1205 was exposed. Subsequently, as shown in FIG. 27D, the resist 1205 was developed to form a resist pattern 1205. In the step shown in FIG. 27D, alkaline organic solution is used as the developing solution.
No problems such as elution and peeling of the carbon film 1204 occurred during development.
【０３２６】次いで、図２７（ｅ）及び（ｆ）に示すよ
うに、レジストパターンをマスクとして、ＲＩＥにて、
炭素膜１２０４及びＡｌＳｉＣｕ膜１２０３を選択エッ
チングし、ＡｌＳｉＣｕ膜１２０３をパターニングし
た。Then, as shown in FIGS. 27E and 27F, RIE is performed using the resist pattern as a mask.
The carbon film 1204 and the AlSiCu film 1203 were selectively etched to pattern the AlSiCu film 1203.
【０３２７】上記、図２７（ｅ）及び（ｆ）の工程につ
いて詳細に説明する。まず、図２８を用いて、この実施
例に適用したドライエッチング装置から説明する。The above steps of FIGS. 27E and 27F will be described in detail. First, the dry etching apparatus applied to this embodiment will be described with reference to FIG.
【０３２８】この装置は、エッチング室１３２０，導入
用予備室１３３０及び排出用予備室１３４０から構成さ
れており、エッチング室１３２０と導入用予備室１３３
０及び排出用予備室１３４０との間は、ゲートバルブ１
３３１及び１３４１によりそれぞれ仕切られている。そ
して、エッチング室１３２０を真空に保持したまま、導
入用予備室１３３０に配置されたゲートバルブ１３３２
から被処理基体を導入し、排出用予備室１３４０に配置
されたゲートバルブ１３４２から被処理基体を排出する
ことにより、大気中の水分や酸素等の悪影響を避けるこ
とができるようになっている。また、予備室１３３０，
１３４０内には、基板載置台１３３３及び１３４３がそ
れぞれ設置されている。This apparatus comprises an etching chamber 1320, a preliminary chamber 1330 for introduction, and a preliminary chamber 1340 for discharge, and the etching chamber 1320 and the preliminary chamber 133 for introduction.
0 and the discharge preliminary chamber 1340 are connected to each other by the gate valve 1
It is partitioned by 331 and 1341, respectively. Then, with the etching chamber 1320 kept in a vacuum, the gate valve 1332 arranged in the introduction preliminary chamber 1330.
By introducing the substrate to be treated from above and discharging the substrate to be treated from the gate valve 1342 disposed in the discharge preliminary chamber 1340, it is possible to avoid adverse effects of moisture and oxygen in the atmosphere. In addition, the spare room 1330,
Substrate platforms 1333 and 1343 are installed in 1340, respectively.
【０３２９】エッチング室１３２０は、真空容器１３２
０ａ内に配置された被処理基板１３２１を載置するため
の第１の電極１３２２と、この第１の電極１３２２に１
３．５６ＭＨｚの高周波電力を印加すべく、ブロッキン
グキャパシタ１３２９を介して接続された高周波電源１
３２４と、第１の電極１３２２を冷却し、被処理基板１
３２１の基板温度を所望の温度に制御するための冷却管
１３２５とを具備している。The etching chamber 1320 has a vacuum container 132.
0a, a first electrode 1322 for mounting the substrate 1321 to be processed, and a first electrode 1322
A high frequency power supply 1 connected via a blocking capacitor 1329 to apply a high frequency power of 3.56 MHz.
324 and the first electrode 1322 are cooled, and the substrate to be processed 1 is processed.
And a cooling pipe 1325 for controlling the substrate temperature of 321 to a desired temperature.
【０３３０】また、塩素ガス（Ｃｌ2 ）供給ライン１３
２８ａ，三塩化硼素（ＢＣｌ3 ）供給ライン１３２８
ｂ，臭化水素ガス（ＨＢｒ）供給ライン１３２８ｃ，酸
素ガス（Ｏ2 ）供給ライン２８ｄ，不活性ガス（Ｈｅ、
Ａｒ或いはＫｒ）供給ライン１３２８ｅ，水素ガス（Ｈ
2 ）供給ライン１３２８ｆ及び一酸化炭素（ＣＯ）供給
ライン１３２８ｇから、真空容器１３２０ａ内にＣ
ｌ2 ，ＢＣｌ3 ，ＨＢｒ，Ｏ2 ，Ｈ2 ，Ｈｅ（或いはＡ
ｒ，Ｋｒ）を導入しつつ、第１の電極１３２２と第２の
電極を兼ねた真空容器１３２０ａの内壁（上壁）との間
に高周波電圧が印加されるようになっている。Also, chlorine gas (Cl 2 ) supply line 13
28a, boron trichloride (BCl 3 ) supply line 1328
b, hydrogen bromide gas (HBr) supply line 1328c, oxygen gas (O 2 ) supply line 28d, inert gas (He,
Ar or Kr) supply line 1328e, hydrogen gas (H
2 ) C from the supply line 1328f and the carbon monoxide (CO) supply line 1328g into the vacuum container 1320a.
l 2 , BCl 3 , HBr, O 2 , H 2 , He (or A
r, Kr) is introduced, and a high frequency voltage is applied between the first electrode 1322 and the inner wall (upper wall) of the vacuum container 1320a which also serves as the second electrode.
【０３３１】ここで、真空容器１３２０ａはアースに接
続されている。ガス供給ライン１３２８ａ〜１３２８ｇ
は、各々バルブと流量調整器１３２９ａ〜１３２９ｇを
具備し、流量及びガス圧を所望の値に調整できるように
なっている。Here, the vacuum vessel 1320a is connected to the ground. Gas supply lines 1328a to 1328g
Are equipped with valves and flow rate adjusters 1329a to 1329g, respectively, so that the flow rate and gas pressure can be adjusted to desired values.
【０３３２】また、真空容器１３２０ａの第２の電極部
分の上方には、永久磁石１３２６が設置されており、モ
ータにより回転軸１３２７のまわりで偏心回転せしめら
れ、この永久磁石１３２６の発する１００〜５００ガウ
スの磁界により１０-3Torr台、又はそれ以下の高真空で
も高密度のプラズマを発生維持することが可能となるよ
うに構成されている。このようにして生成された高密度
プラズマから大量のイオンが引出され、被処理基板１３
２１に照射されエッチングが行われる。Further, a permanent magnet 1326 is installed above the second electrode portion of the vacuum container 1320a, and is eccentrically rotated about a rotary shaft 1327 by a motor, and the permanent magnet 1326 emits 100 to 500. The Gauss magnetic field is configured so that high-density plasma can be generated and maintained even in a high vacuum of the order of 10 −3 Torr or less. A large amount of ions are extracted from the high-density plasma thus generated, and
21 is irradiated and etching is performed.
【０３３３】次に上述のドライエッチング装置を使用
し、図２７（ｅ）に示す如く、Ｏ2 ガスを用い、基板温
度を−７５℃に保持し、炭素膜１２０４をエッチングし
た。エッチング条件は、Ｏ2 ガス（流量100SCCM ）、圧
力は40mTorr とし、高周波電力を17ｗ／cm2 印加するよ
うにした。エッチングした炭素膜１２０４の形状をＳＥ
Ｍにて観察したところ、炭素膜１２０４はほぼ垂直にエ
ッチング可能であることが判った。Next, using the dry etching apparatus described above, as shown in FIG. 27 (e), the substrate temperature was kept at -75 ° C. with O 2 gas to etch the carbon film 1204. The etching conditions were O 2 gas (flow rate 100 SCCM), pressure was 40 mTorr, and high frequency power was applied at 17 w / cm 2 . The shape of the etched carbon film 1204 is SE
Observation with M revealed that the carbon film 1204 can be etched almost vertically.
【０３３４】次いで、図２７（ｆ）に示す如く、レジス
トパターン１２０５の除去を行った。エッチング装置と
マてダウンフロー型エッチング装置を用い、エッチング
ガスとして、ＣＦ4 ／Ｏ2 混合ガスを用いた。ＣＦ4 ／
Ｏ2 の流量は15／500SCCM 一定とし、圧力0.3Torr に保
持した。温度は室温として、マイクロ波を印加して放電
を生じさせ、エッチングした。Next, as shown in FIG. 27F, the resist pattern 1205 was removed. An etching apparatus and a down-flow type etching apparatus were used, and CF 4 / O 2 mixed gas was used as an etching gas. CF 4 /
The O 2 flow rate was kept constant at 15/500 SCCM, and the pressure was maintained at 0.3 Torr. The temperature was set to room temperature, and a microwave was applied to generate discharge, which was then etched.
【０３３５】レジスト剥離後、炭素膜パターン１２０４
をＳＥＭにて観察したところ、図２７（ｆ）に示す如
く、レジストパターンは残存物が生じず完全に除去可能
であった。After removing the resist, the carbon film pattern 1204
When observed by SEM, the resist pattern was completely removed without any residue as shown in FIG. 27 (f).
【０３３６】次いで、図２７（ｆ）に示す如く、炭素膜
１２０４をエッチングマスクとして、ＡｌＳｉＣｕ膜１
２０３の選択エッチングを行った。このＡｌＳｉＣｕ膜
１２０３のエッチングにおいても、前述したドライエッ
チング装置を用いた。Then, as shown in FIG. 27F, the AlSiCu film 1 is formed using the carbon film 1204 as an etching mask.
The selective etching of 203 was performed. Also in the etching of the AlSiCu film 1203, the dry etching apparatus described above was used.
【０３３７】エッチング条件は、基板温度50℃に保持
し、エッチングガスとして、Ｃｌ2 とＢｃｌ3 との混合
ガス（流量100SCCM ）あるいは、Ｃｌ2 とＨＢｒあるい
はＣｌ2 とＢＢｒ3 の混合ガス（流量100SCCM ）を用い
た。推積ガスとしてＣＯ（流量０〜100SCCM ）を用い
た。The etching conditions are that the substrate temperature is kept at 50 ° C., and the etching gas is a mixed gas of Cl 2 and Bcl 3 (flow rate 100 SCCM), a mixed gas of Cl 2 and HBr, or a mixed gas of Cl 2 and BBr 3 (flow rate 100 SCCM). ) Was used. CO (flow rate 0 to 100 SCCM) was used as the deposition gas.
【０３３８】エッチング圧力は、2.0pa 、ＲＦ電圧密度
0.8 ｗ／cm2 でエッチングを行なった。Etching pressure is 2.0 pa, RF voltage density
Etching was performed at 0.8 w / cm 2 .
【０３３９】図２９は、推積ガスＣＯの流量を変化させ
て、エッチングした膜のエッチング速度及び形状を測定
した結果を示す図である。ＣＯ流量が０ＳＣＣＭの時を
０％、１００ＳＣＣＭの時を１００％として示す。この
ときの圧力は、2.0pa 、ＲＦ電力は0.8 ｗ／cm2 ガスＣ
ｌ2 ／ＢＣｌ3 混合ガス（流量50／50SCCM）、基板温度
50℃である。ＣＯ流量増加とともに、ＡｌＳｉＣｕ膜パ
ターンのテーパ角が90°から77°まで変化し、ＣＯ流量
によって、形状を制御できることが判明した。カーボン
のエッチング速度は、ＣＯ流量にかかわらず、一定であ
るのにたいし、ＡｌＳｉＣｕ膜のエッチング速度は、Ｃ
Ｏ流量の増加とともにわずかであるが減少した。FIG. 29 is a diagram showing the results of measuring the etching rate and shape of the etched film by changing the flow rate of the deposition gas CO. The CO flow rate is 0% when the flow rate is 0 SCCM and 100% when the CO flow rate is 100 SCCM. At this time, the pressure was 2.0 pa and the RF power was 0.8 w / cm 2 gas C
l 2 / BCl 3 mixed gas (flow rate 50 / 50SCCM), substrate temperature
It is 50 ° C. It was found that the taper angle of the AlSiCu film pattern changed from 90 ° to 77 ° as the CO flow rate increased, and the shape could be controlled by the CO flow rate. The etching rate of carbon is constant regardless of the CO flow rate, whereas the etching rate of the AlSiCu film is C
It decreased slightly as the O flow rate increased.
【０３４０】しかし、炭素にたいするＡｌのエッチング
選択比は、ＣＯ流量100 ％の場合でも10であり、高選択
比が得られることが分かった。However, the etching selectivity of Al to carbon was 10 even at a CO flow rate of 100%, and it was found that a high selectivity was obtained.
【０３４１】また、エッチング後、残存物を光学顕微鏡
にて、観察したところ、ＣＯ流量50％までは全く、残存
物はみられなかったが、50％以上では、残存物の発生が
観察された。After etching, the residue was observed with an optical microscope. No residue was observed up to a CO flow rate of 50%, but at 50% or more, the occurrence of residue was observed. ..
【０３４２】これにより、ＣＯの添加量は、エッチング
ガス流量の50％以下であることが有効であることが分か
った。From this, it was found that it is effective that the amount of CO added is 50% or less of the etching gas flow rate.
【０３４３】次に、エッチング圧力を1.0pa 〜10paまで
変化させ、高周波電力密度0.8 ｗ／cm2 、基板温度50
℃、エッチングガスとしてＣｌ2 とＢＣｌ3 の混合ガス
（流量50／50SCCM）にＣＯを約30％（３０SCCM ）添加
して、エッチングを行なった。Next, the etching pressure was changed from 1.0 pa to 10 pa, the high frequency power density was 0.8 w / cm 2 , and the substrate temperature was 50.
Etching was performed by adding about 30% (30 SCCM) of CO to a mixed gas of Cl 2 and BCl 3 (flow rate 50/50 SCCM) as an etching gas at ℃.
【０３４４】図３０に圧力を変化させたときのＡｌＳｉ
Ｃｕ及び炭素膜のエッチング速度、ＡｌＳｉＣｕ膜のテ
ーパ角を測定した結果を示す。FIG. 30 shows AlSi when the pressure is changed.
The results of measuring the etching rates of the Cu and carbon films and the taper angle of the AlSiCu film are shown.
【０３４５】圧力の上昇とともにＡｌのエッチング速度
は増大する。逆に炭素膜のエッチング速度は減少した。
従って、圧力を上昇させることにより、選択比を大きく
することが可能であることが判った。一方、圧力を6.0p
a よりも上昇させるとエッチング後、残存物が生じるこ
とがわかった。しかし、ＣＯを全く添加しない場合、圧
力3.0pa 以上でエッチングしたＡｌＳｉＣｕ膜パターン
にサイドエッチングが生じ、形状が逆テーパになること
が判明した。そこで、ＣＯを０〜５％まで添加し、エッ
チングを行ったところ、ＣＯ流量50％の下では、７paま
でサイドエッチングが生じなく順テーパ形状が得られる
ことが判った。The etching rate of Al increases as the pressure increases. On the contrary, the etching rate of the carbon film decreased.
Therefore, it was found that it is possible to increase the selection ratio by increasing the pressure. Meanwhile, the pressure is 6.0p
It was found that a residue was generated after etching when the temperature was raised above a. However, it was found that when CO was not added at all, side etching occurred in the AlSiCu film pattern etched at a pressure of 3.0 pa or more, and the shape became an inverse taper. Then, when CO was added in an amount of 0 to 5% and etching was performed, it was found that under a CO flow rate of 50%, side etching did not occur up to 7 pa and a forward tapered shape was obtained.
【０３４６】次に、エッチングガスとして、Ｃｌ2 とＨ
Ｂｒの混合ガス（Ｃｌ2 ／ＨＢｒ／50／50SCCM）を用
い、エッチングガス圧力を1.0pa 〜10paまで変化させ、
高周波電力密度2.5 ｗ／cm2 、基板温度70℃でエッチン
グを行なった。Next, Cl 2 and H are used as etching gases.
Using a mixed gas of Br (Cl 2 / HBr / 50 / 50SCCM), the etching gas pressure is changed from 1.0pa to 10pa,
Etching was performed at a high frequency power density of 2.5 w / cm 2 and a substrate temperature of 70 ° C.
【０３４７】エッチング圧力６paにおいて、ＡｌＳｉＣ
ｕ膜のエッチング速度7000 オングストロウム／min 炭
素膜のエッチング速度700 オングストロウム／min が得
られ、残存物なく、テーパ形状でＡｌＳｉＣｕ膜をエッ
チングできることが判明した。At an etching pressure of 6 pa, AlSiC
A u film etching rate of 7,000 Å / min and a carbon film etching rate of 700 Å / min were obtained, and it was found that the AlSiCu film can be etched in a tapered shape without any residue.
【０３４８】しかし、エッチング圧力を７pa以上にする
とエッチングされたＡｌＳｉＣｕ膜のパターン表面が荒
れ、高精度のエッチングができないことが分かった。そ
こで、上記条件において、総ガス流量の約30％ＣＯを添
加し、エッチングを行った。エッチングパターン形状は
テーパ角85°のテーパ形状であった。エッチングしたパ
ターンの側壁形態をＳＥＭにて観察したところ、表面荒
れはなく、平滑な表面形態であることがわかった。上記
ＣＯ流量において、残存物の発生は全くみられなかっ
た。However, it was found that when the etching pressure was set to 7 pa or more, the pattern surface of the etched AlSiCu film was roughened and high-precision etching could not be performed. Therefore, under the above conditions, etching was performed by adding about 30% CO of the total gas flow rate. The etching pattern had a taper angle of 85 °. When the sidewall morphology of the etched pattern was observed by SEM, it was found that the surface morphology was smooth without surface roughness. No generation of remnants was observed at the above CO flow rate.
【０３４９】エッチング後のＡｌＳｉＣｕ膜パターンを
ＳＥＭにて観察したところ図２７（ｇ）に示すように0.
4 μm Ｌ／Ｓ（ラインアンドスペース）のパターンが良
好にエッチングされていることが判った。また、Ｌ／Ｓ
パターン端部でテーパ角を調べた結果、Ｌ／Ｓパターン
中央部と端部とでテーパ角に変化はなく、エッチング形
状は左右対称であることがわかった。When the AlSiCu film pattern after etching was observed by SEM, as shown in FIG.
It was found that the pattern of 4 μm L / S (line and space) was well etched. Also, L / S
As a result of examining the taper angle at the end of the pattern, it was found that there was no change in the taper angle between the center and the end of the L / S pattern, and the etching shape was bilaterally symmetric.
【０３５０】最後に、図２７（ｈ）に示す如く、炭素膜
１２０４の除去を行った。エッチング装置として通常の
バレル型プラズマエッチング装置を用いエッチングガス
としてＯ2 を用い、プラズマアッシング処理を施したと
ころ、炭素膜１２０４は容易に剥離されることが確認で
きた。Finally, as shown in FIG. 27H, the carbon film 1204 was removed. It was confirmed that the carbon film 1204 was easily peeled off when the plasma ashing process was performed using O 2 as the etching gas and the usual barrel type plasma etching device as the etching device.
【０３５１】剥離後、ＡｌＳｉＣｕパターンをＳＥＭに
て評価したところ、Ｃｌ2 とＢＣｌ3 混合ガスあるい
は、Ｃｌ2 とＨＢｒの混合ガスを用いた場合も、テーパ
形状でライン／スペースの線幅0.4 μｍ／0.4 μｍのＡ
ｌＳｉＣｕ膜が良好に形成されていることが判った。After the peeling, the AlSiCu pattern was evaluated by SEM. As a result, when the mixed gas of Cl 2 and BCl 3 or the mixed gas of Cl 2 and HBr was used, the line width of the line / space was 0.4 μm / 0.4 μm A
It was found that the 1SiCu film was well formed.
【０３５２】また、ＡｌＳｉＣｕ表面には全く残存物は
観測されなかった。炭素膜のパターニング方法として、
レジストをマスクとして、Ｈ2 、不活性ガスや、これら
の混合ガスを用いて、炭素膜のドライエッチングを行な
ったが、上記ガスあるいは混合ガスのいずれを用いてエ
ッチングした場合も良好な炭素膜の加工が可能であり、
これらのプロセスを用いて形成されたＡｌＳｉＣｕ薄膜
パターンについて良好な形状で残渣のないものを得た。No residue was observed on the surface of AlSiCu. As a method of patterning a carbon film,
Although the carbon film was dry-etched using H 2 and an inert gas or a mixed gas thereof using the resist as a mask, a good carbon film can be obtained by etching using any of the above gas or mixed gas. Can be processed,
AlSiCu thin film patterns formed by using these processes were obtained in good shape and without residue.
【０３５３】次にエッチング試料として、ＡｌＳｉＣｕ
／ＴｉＮ／Ｔｉ／ＳｉＯ2 の種層構造の薄膜にたいし
て、前述のＣＯを添加した条件で、エッチングした後、
炭素膜パターンを剥離した試料を大気中に放置し、腐食
の様子を光学顕微鏡により評価したところ、１週間放置
しても、コロージョンの発生を全く認められなかった。Next, as an etching sample, AlSiCu
/ TiN / Ti / SiO 2 seed layer thin film is etched under the above-mentioned CO addition condition,
When the sample from which the carbon film pattern was peeled was left in the air and the state of corrosion was evaluated by an optical microscope, no corrosion was observed even after left for 1 week.
【０３５４】〈実施例１６〉次に本発明の第１６の実施
例としてｎ+ Ｓｉ膜パターンの形成方法について図３１
を用いて説明する。図３１は、本発明の一実施例方法に
係わるｎ+ Ｓｉ膜のパターンの形成工程を示す断面図で
ある。<Embodiment 16> Next, as a sixteenth embodiment of the present invention, a method of forming an n + Si film pattern will be described with reference to FIG.
Will be explained. FIG. 31 is a sectional view showing a step of forming a pattern of an n + Si film according to the method of the embodiment of the present invention.
【０３５５】まず、図３１（ａ）に示すようにＳｉ基板
１４０１上にＳｉＯ2 膜１４０２を膜厚100 オングスト
ロウム形成し、このＳｉＯ2 膜１４０２上にＣＶＤ法に
より、膜膜3000オングストロームの多結晶シリコン膜１
４０３を堆積する。この多結晶シリコン膜１４０３中に
リンを拡散し、ｎ+ 型の多結晶シリコン膜１４０３を形
成する。First, as shown in FIG. 31A, a SiO 2 film 1402 having a film thickness of 100 Å is formed on a Si substrate 1401, and a film having a film thickness of 3000 Å is formed on the SiO 2 film 1402 by the CVD method. Crystalline silicon film 1
403 is deposited. Phosphorus is diffused into this polycrystalline silicon film 1403 to form an n + -type polycrystalline silicon film 1403.
【０３５６】図３１（ｂ）に示すように、スパッタリン
グ法により、炭素膜（膜厚1500オングストロウム）１４
０４を形成する。As shown in FIG. 31B, a carbon film (thickness 1500 Å) 14 was formed by the sputtering method.
To form 04.
【０３５７】次に、図３１（ｃ）に示すように、炭素膜
１４０４上にフォトレジスト１４０５（膜厚16μｍ）を
塗布し、通常のリソグラフィ技術を用いて、フォトレジ
スト55を露光した。続いて、図３１（ｄ）に示す如く、
レジスト１４０５を現像して、レジストパターン１４０
５を形成した。この図３１（ｄ）に示す工程では、現像
液として、アルカリ溶液を用いたが、炭素膜１４０４の
溶出、剥離などの問題は生じなかった。Next, as shown in FIG. 31C, a photoresist 1405 (film thickness: 16 μm) was applied on the carbon film 1404, and the photoresist 55 was exposed by using a normal lithography technique. Then, as shown in FIG.
The resist 1405 is developed to form the resist pattern 140.
Formed 5. In the step shown in FIG. 31D, an alkaline solution was used as the developing solution, but no problems such as elution and peeling of the carbon film 1404 occurred.
【０３５８】次いで、図３１（ｅ）及び（ｆ）に示すよ
うに、レジストパターンをマスクとして、前述のドライ
エッチング装置を使用して、ＲＩＥにて、炭素膜１４０
４及び、ｎ+ Ｓｉ膜１４０３を選択エッチングし、ｎ+
Ｓｉ膜１４０３をＳｉＯ2 膜１４０２に対してパターニ
ングした。Next, as shown in FIGS. 31E and 31F, the carbon film 140 is formed by RIE using the above-described dry etching apparatus with the resist pattern as a mask.
4 and n + Si film 1403 are selectively etched to obtain n +
The Si film 1403 was patterned on the SiO 2 film 1402.
【０３５９】炭素膜１４０４のエッチングはＯ2 ガスを
用い、実施例１５で述べたように基板温度を冷却してエ
ッチングし、垂直形状の炭素膜１４０４のパターニング
が可能であった。The carbon film 1404 was etched by using O 2 gas and cooling the substrate temperature as described in Example 15, and the carbon film 1404 having a vertical shape could be patterned.
【０３６０】次いで、図３１（ｆ）に示すように、レジ
ストパターン１４０５及び炭素膜１４０４をエッチング
マスクとして、ｎ+ Ｓｉ膜１４０３のエッチングを行っ
た。このｎ+ Ｓｉ膜１４０３のエッチングにおいても前
述したドライエッチング装置を用いた。エッチング条件
は、圧力75mTorr に保ち、総量100SCCM 一定とし、Ｃｌ
2 ガス、ＳＦ6 ガス及びＣＯガスの分圧を変えた。ま
た、電極１３２２の温度は一30℃であり、高周波電力は
100 ｗである。Then, as shown in FIG. 31F, the n + Si film 1403 was etched using the resist pattern 1405 and the carbon film 1404 as an etching mask. The dry etching apparatus described above was also used for the etching of the n + Si film 1403. The etching conditions were kept at a pressure of 75 mTorr, the total amount was kept constant at 100 SCCM, and Cl
The partial pressures of 2 gas, SF 6 gas and CO gas were changed. Moreover, the temperature of the electrode 1322 is 30 ° C., and the high frequency power is
It is 100 w.
【０３６１】ＳＦ6 ガス（100 ％）のもとでは、図３２
（ａ）に示すようにｎ+ Si膜１４０３にアンダーセット
が発生する。そこで、ＳＦ6 ガス中にＣＯガスを添加
し、エッチング形状をＳＥＭにより観察したところ、Ｃ
Ｏ（30％）以上の添加でアンダーカットはなくなり、図
３２（ｂ）に示すようにＣＯの添加量３０〜７０％では
ほぼ垂直な形状の加工が可能となる。Under SF 6 gas (100%), FIG.
As shown in (a), underset occurs in the n + Si film 1403. Therefore, when CO gas was added to SF 6 gas and the etching shape was observed by SEM, C
When O (30%) or more is added, the undercut disappears, and as shown in FIG. 32 (b), when the amount of CO added is 30 to 70%, a substantially vertical shape can be processed.
【０３６２】さらに、ＣＯの添加量を増加させた場合、
ｎ+ Ｓｉ膜１４０３のパターンにすそひきが生じること
がわかった。また、ＣＯ（100％）のもとでは、図３２
（ｃ）に示すようにパターン側壁に堆積物１４０６が生
成する。従って、適度にＣＯの添加量を制御することに
より、ｎ+ Ｓｉ膜のパターン形状を制御することが可能
であることが判った。Further, when the amount of CO added is increased,
It was found that the pattern of the n + Si film 1403 has a tail. In addition, under CO (100%),
As shown in (c), a deposit 1406 is generated on the side wall of the pattern. Therefore, it was found that the pattern shape of the n + Si film can be controlled by appropriately controlling the amount of CO added.
【０３６３】次に、基板温度を上昇させてエッチングす
る為に、電極１３２２の温度60℃に保ち、反応容器の圧
力を150mTorr以下に保ち、臭化水素（ＨＢｒ）ガスある
いは塩素（Ｃｌ2 ）ガスにＣＯガスを添加しながらエッ
チングし、形状を評価した。Next, in order to raise the substrate temperature and perform etching, the temperature of the electrode 1322 was kept at 60 ° C., the pressure of the reaction vessel was kept at 150 mTorr or less, and hydrogen bromide (HBr) gas or chlorine (Cl 2 ) gas was used. The shape was evaluated by etching while adding CO gas.
【０３６４】ＨＢｒ（100 ％）あるいはＣｌ2 （100
％）でｎ+ Ｓｉ膜１４０３をエッチングしたところ、図
３２（ａ）に示す如く、パターンにアンダーカットが生
じた。そこでＣＯガスを添加したところ、ＣＯガス（15
〜60％）添加することにより、ＨＢｒ、Ｃｌ2 あるい
は、ＨＢｒ／Ｃｌ2 混合ガスにおいても、パターン形状
を垂直にエッチングすることが可能であることがわかっ
た。また、ＣＯガス添加量70％以上では、ｎ+ Ｓｉ膜の
エッチング速度が低下し、パターン形状もすそを引いた
り、堆積物の発生が観察された。HBr (100%) or Cl 2 (100
%), The n + Si film 1403 was etched, and as shown in FIG. 32A, an undercut was generated in the pattern. When CO gas was added, CO gas (15
It was found that the pattern shape can be vertically etched even in HBr, Cl 2 or HBr / Cl 2 mixed gas by adding (.about.60%). Further, when the amount of CO gas added was 70% or more, the etching rate of the n + Si film decreased, the pattern shape was trailing, and deposits were observed.
【０３６５】最後に図３１（ｇ）に示す如く、レジスト
パターン及び炭素膜パターン１４０４の除去を行った。
前述の如くエッチング装置としてダウンフロー型エッチ
ング装置を用いて、ＣＦ4 ／Ｏ2 ガスにてレジストパタ
ーンのエッチングを行った後、通常のバレル型プラズマ
エッチング装置にてＯ2 ガスを用いて、炭素膜パターン
１４０４をエッチングすることにより、炭素膜パターン
１４０４は容易に剥離されることが確認できた。Finally, as shown in FIG. 31G, the resist pattern and the carbon film pattern 1404 were removed.
As described above, the down flow type etching apparatus is used as the etching apparatus, the resist pattern is etched with CF 4 / O 2 gas, and the carbon film is then removed with the usual barrel type plasma etching apparatus using O 2 gas. It was confirmed that the carbon film pattern 1404 was easily peeled off by etching the pattern 1404.
【０３６６】剥離は、ｎ+ Ｓｉ膜パターンをＳＥＭにて
評価したところ、垂直形状で0.1 μｍの線幅のパターン
が良好に形成されていることが判った。For the peeling, when the n + Si film pattern was evaluated by SEM, it was found that a vertical pattern having a line width of 0.1 μm was well formed.
【０３６７】〈実施例１７〉次に本発明の第１７の実施
例について、タングステンのパターン形成方法について
図３３を用いて説明する。<Embodiment 17> Next, a method for forming a tungsten pattern in a seventeenth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【０３６８】即ち、実施例１６と同様に、図３３（ａ）
に示すようにシリコン基板１５０１上に熱酸化により膜
厚１０ｎｍの酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）膜１５０２を形
成した後、ＣＶＤ法により膜厚１５０ｎｍの多結晶シリ
コン膜１５０３を堆積する。この多結晶シリコン膜１５
０３中にリンを拡散し、ｎ型の多結晶シリコン膜１５０
３を形成した後、さらにスパッタ法により膜厚２００ｎ
ｍのタングステン膜（ｗ）１５０４を形成する。That is, as in the sixteenth embodiment, FIG.
As shown in FIG. 4, a silicon oxide (SiO 2 ) film 1502 having a film thickness of 10 nm is formed on the silicon substrate 1501 by thermal oxidation, and then a polycrystalline silicon film 1503 having a film thickness of 150 nm is deposited by the CVD method. This polycrystalline silicon film 15
And phosphorus is diffused into the n-type polycrystalline silicon film 150.
3 is formed, and then a film thickness of 200 n is further formed by the sputtering method.
A tungsten film (w) 1504 of m is formed.
【０３６９】そして、図３３（ｂ）に示すようにこの上
層にスパッタ法により、炭素膜（1500オングストロウ
ム）１５０５を形成する。次に、図３３（ｃ）に示すよ
うに、炭素膜１５０５上にフォトレジストを塗布し、通
常のリソグラフィ技術を用いて、フォトレジストパター
ン１５０６を形成する。Then, as shown in FIG. 33B, a carbon film (1500 Å) 1505 is formed on this upper layer by the sputtering method. Next, as shown in FIG. 33C, a photoresist is applied on the carbon film 1505, and a photoresist pattern 1506 is formed by using an ordinary lithography technique.
【０３７０】次に、図３３（ｃ）に示すように、フォト
レジストパターン１５０６をマスクとして、Ｏ2 ガスを
用いたＲＩＥ法により炭素膜１５０５を垂直形状に加工
する。Next, as shown in FIG. 33C, with the photoresist pattern 1506 as a mask, the carbon film 1505 is processed into a vertical shape by the RIE method using O 2 gas.
【０３７１】次に、図３３（ｄ）に示すように、レジス
トパターン１５０６及び炭素膜１５０５をエッチングマ
スクとして、Ｗ膜１５０４のエッチングを行った。この
Ｗ膜１５０４のエッチングにおいても、前述した図２８
に示すドライエッチング装置を用いた。Next, as shown in FIG. 33D, the W film 1504 was etched using the resist pattern 1506 and the carbon film 1505 as etching masks. Also in the etching of the W film 1504, as shown in FIG.
The dry etching apparatus shown in was used.
【０３７２】エッチング条件は、基板温度を140 ℃に保
ち、反応容器内のガス圧力10mTorrで、Ｃｌ2 ガスある
いはＳＦ6 ガスあるいはこの混合ガス中にＣＯを添加
し、添加量を変化させ、高周波電力100 ｗにて行った。As the etching conditions, the substrate temperature was kept at 140 ° C., CO was added to Cl 2 gas or SF 6 gas or a mixed gas thereof at a gas pressure of 10 mTorr in the reaction vessel, and the addition amount was changed to change the high frequency power. It went at 100 w.
【０３７３】エッチング形状は、ＳＥＭにて観察した。
その結果、ＳＦ6 ガス（100 ％）あるいはＣｌ2 ガス
（100 ％）のもとでは、図３２（ａ）に示すようにＷ層
１５０４にアンダーカットが発生し、高精度のパターニ
ングができなかった。The etching shape was observed by SEM.
As a result, under SF 6 gas (100%) or Cl 2 gas (100%), an undercut occurred in the W layer 1504 as shown in FIG. ..
【０３７４】エッチング電極温度を添加し、基板温度を
下げたところ、Ｃｌ2 ガス（100 ％）では、垂直パター
ンが得られるものの、堆積物の発生が観察された。When the etching electrode temperature was added and the substrate temperature was lowered, with the Cl 2 gas (100%), although vertical patterns were obtained, the generation of deposits was observed.
【０３７５】また、ＳＦ6 ガス（100 ％）で基板温度を
−30℃まで下げても垂直形状のパターンは、得られず、
パターンにアンダーカットが生じた。Even if the substrate temperature is lowered to -30 ° C. with SF 6 gas (100%), a vertical pattern is not obtained.
The pattern undercuts.
【０３７６】そこで、ＳＦ6 ガスとＣｌ2 ガスの混合ガ
スを用いてエッチングしたところ、基板温度145 ℃、Ｃ
ｌ2 とＳＦ6 のガス分圧７対３において、図３２（ｂ）
に示すような垂直形状のパターニングが可能であった。
しかし、ＳＦ6 （100 ％）の場合、Ｗのエッチング速度
が４５０ｎｍ／min であるのに対してＣｌ2 ／ＳＦ6 ：
70／30においては、エッチング速度が２００ｎｍ／min
まで減少する。さらに、ウェハ内でのエッチング速度の
分布を測定したところ、周辺部でのエッチング速度が速
く、均一性が極めて低い（３λ／ｘ：平均のエッチング
速度＝50％）ことがわかった。Then, when etching was performed using a mixed gas of SF 6 gas and Cl 2 gas, the substrate temperature was 145 ° C., and C
32 (b) at a gas partial pressure of 7: 3 for l 2 and SF 6 .
The vertical patterning as shown in (3) was possible.
However, in the case of SF 6 (100%), the etching rate of W is 450 nm / min, whereas that of Cl 2 / SF 6 :
At 70/30, etching rate is 200 nm / min
Decrease to. Furthermore, when the distribution of the etching rate within the wafer was measured, it was found that the etching rate in the peripheral portion was high and the uniformity was extremely low (3λ / x: average etching rate = 50%).
【０３７７】また、周辺部でのエッチング速度が速い
為、下地材料であるｎ+ Ｓｉ膜１５０３もエッチングさ
れてしまうことが判明した。It was also found that the n + Si film 1503 which is the base material is also etched because the etching rate in the peripheral portion is high.
【０３７８】そこで、ＳＦ6 ガス（100 ％）にＣＯを添
加し、エッチングを行った。ＣＯの添加量（30〜50％）
にて、基板温度150 ℃にて、Ｗ膜１５０４は図３２
（ｃ）に示す如く垂直形状にエッチングできることが判
った。同様にＣｌ2 ガス（100 ％）にＣＯガスを添加し
たところ、基板温度150 ℃にてＣＯ（10〜30％）にて、
垂直形状のパターン形成が可能であった。Then, CO was added to SF 6 gas (100%) to carry out etching. CO addition amount (30-50%)
At the substrate temperature of 150 ° C., the W film 1504 is shown in FIG.
It was found that vertical etching can be performed as shown in (c). Similarly, when CO gas was added to Cl 2 gas (100%), CO (10 to 30%) at a substrate temperature of 150 ° C.
It was possible to form a vertical pattern.
【０３７９】また、ＳＦ6 ／Ｃｌ2 の混合ガス比を変化
させ、エッチング速度の均一化を計りながら、ＣＯガス
を添加していったところ、ウェハ内でのエッチング速度
分布（３λ／ｘ＝５％）で、垂直形状のパターンを得る
ことが可能であった。さらに、ＣＯガスを添加量に対す
るｎ+ Ｓｉ膜１５０３のエッチング速度を調べたとこ
ろ、ＣＯガスの添加量に対して、Ｗ膜１５０４のエッチ
ング速度も除去に減少するが、ｎ+ Ｓｉ膜１５０３のエ
ッチング速度は大幅に減少することが判った。従って適
度にエッチング条件を選択することによりＣＯガス添加
により、ｎ+ Ｓｉ膜１５０３に対して、Ｗ膜１５０４を
選択的にエッチングすることが可能であることがわかっ
た。Further, when the CO gas was added while changing the SF 6 / Cl 2 mixed gas ratio and making the etching rate uniform, the etching rate distribution in the wafer (3λ / x = 5 %), It was possible to obtain a vertically shaped pattern. Further, when the etching rate of the n + Si film 1503 with respect to the added amount of CO gas was examined, the etching rate of the W film 1504 also decreased to the removal with respect to the added amount of CO gas, but the etching of the n + Si film 1503 was reduced. It has been found that the speed is significantly reduced. Therefore, it was found that it is possible to selectively etch the W film 1504 with respect to the n + Si film 1503 by adding the CO gas by appropriately selecting the etching conditions.
【０３８０】次に図３３（ｅ）に示す如く、レジストパ
ターン１５０６をダウンフロー型エッチング装置にて、
ＣＦ4 ／Ｏ2 ガスを用いてエッチングした後、通常のバ
レル型プラズマエッチング装置にてＯ2 ガスを用いて、
炭素膜パターン１５０５をエッチングすることにより、
マスクパターンの剥離を行った。Next, as shown in FIG. 33E, the resist pattern 1506 is formed by a down flow type etching apparatus.
After etching with CF 4 / O 2 gas, using an ordinary barrel type plasma etching apparatus with O 2 gas,
By etching the carbon film pattern 1505,
The mask pattern was peeled off.
【０３８１】剥離後、Ｗ膜パターンをＳＥＭにて評価し
たところ、垂直形状で0.5 μｍの線幅のパターンが良好
に形成されていることが判った。After the peeling, when the W film pattern was evaluated by SEM, it was found that a vertical pattern having a line width of 0.5 μm was well formed.
【０３８２】また、Ｗの膜パターニング後、実施例１６
で示した如く下地のｎ+ Ｓｉ膜１５０３をＳｉＯ2 膜１
５０２に対して選択することにより、Ｗ／ｎ+ Ｓｉ構造
を有するパターンの加工も高精度にて実現できることが
わかった。After patterning the W film, Example 16
As shown in, the underlying n + Si film 1503 is replaced with the SiO 2 film 1
It was found that the pattern having the W / n + Si structure can be processed with high accuracy by selecting 502.
【０３８３】〈実施例１８〉次に、本発明の第１８の実
施例について説明する。<Embodiment 18> Next, an eighteenth embodiment of the present invention will be described.
【０３８４】この実施例は、炭素膜をＳｉ基板のエッチ
ングマスクとして用いた例である。This embodiment is an example in which a carbon film is used as an etching mask for a Si substrate.
【０３８５】図３４は、炭素膜をエッチングマスクとし
て採用した、本実施例に係わるトレンチキャパシタの形
成工程を示す断面図である。FIG. 34 is a sectional view showing a step of forming a trench capacitor according to the present embodiment, which uses a carbon film as an etching mask.
【０３８６】まず、図３４（ａ）に示す如く、Ｓｉ基板
１６０１上に実施例１５−１７で述べたように上層にレ
ジストパターン１６０２、下層に炭素膜パターン１６０
３より成るマスクパターンを形成した。炭素膜の膜厚は
２００ｎｍである。次いで、図３４（ｂ）に示す如く、
反応性イオンエッチングにより所要の深さのトレンチ１
６０４を穿設した。エッチング装置は前述の如くマグネ
トロンを載置したものを用いた。エッチングガスとして
は、Ｃｌ2 とＣＯとの混合ガスを用いた、エッチング中
のガス圧は、７×10-3Torr、高周波印加電力は3.0 ｗ／
cm2 である。基板表面の温度はほぼ100 ℃となるように
保持した。このとき、Ｃｌ2 ガス（100 ％）にてエッチ
ングした場合、トレンチ側壁に荒れが生じた。そこでＣ
ｌ2 ガスにＣＯガス（20％）を添加した混合ガスを用い
てエッチングしたところ、垂直形状にて、平滑な平面を
有するトレンチ１６０４が得られる。First, as shown in FIG. 34A, a resist pattern 1602 is formed on the upper layer and a carbon film pattern 160 is formed on the lower layer on the Si substrate 1601 as described in Example 15-17.
A mask pattern of 3 was formed. The thickness of the carbon film is 200 nm. Then, as shown in FIG. 34 (b),
Trench 1 of required depth by reactive ion etching
604 was drilled. As the etching device, the one on which the magnetron was placed as described above was used. A mixed gas of Cl 2 and CO was used as an etching gas, the gas pressure during etching was 7 × 10 −3 Torr, and the high frequency applied power was 3.0 w /
It is cm 2 . The temperature of the substrate surface was maintained at about 100 ° C. At this time, when etching was performed with Cl 2 gas (100%), the sidewall of the trench was roughened. So C
When etching was performed using a mixed gas in which CO gas (20%) was added to l 2 gas, a trench 1604 having a vertical shape and a smooth flat surface was obtained.
【０３８７】このとき、エッチングマスクとＳｉ基板の
エッチング選択比を測定したところ選択比20が得られ
た。また、添加するＣＯ量（10〜40％）の範囲では、選
択比に大きな違いはみられなかった。At this time, when the etching selectivity between the etching mask and the Si substrate was measured, a selectivity of 20 was obtained. Further, within the range of the amount of CO to be added (10 to 40%), no significant difference was observed in the selection ratio.
【０３８８】次いで図３４（ｃ）に示すように、ドライ
エッチング時に発生する欠陥や汚染物を除去するため
に、トレンチ１６０４の側壁に薄いＳｉＯ2 膜１６０５
を熱酸化により形成し、続いて、図３４（ｄ）に示すよ
うに、フッ化アンモニア水（ＮＨ4 Ｆ）等の溶液を用い
てＳｉＯ2 膜１６０５を除去した。Next, as shown in FIG. 34C, a thin SiO 2 film 1605 is formed on the side wall of the trench 1604 in order to remove defects and contaminants generated during dry etching.
Was formed by thermal oxidation, and subsequently, as shown in FIG. 34D, the SiO 2 film 1605 was removed using a solution of aqueous ammonium fluoride (NH 4 F) or the like.
【０３８９】この場合、薄いＳｉＯ2 膜を熱酸化により
形成する工程においても炭素等のＳｉ膜中への拡散は生
じなかった。In this case, diffusion of carbon or the like into the Si film did not occur even in the step of forming a thin SiO 2 film by thermal oxidation.
【０３９０】次いで、図３４（ｅ）に示すように、トレ
ンチ１６０２の側壁に不純物拡散を行って、拡散層１６
０６を形成する。これにより、トレンチ側壁部のみに拡
散層１６０６が形成される。Then, as shown in FIG. 34E, impurity diffusion is performed on the sidewall of the trench 1602 to form the diffusion layer 16
06 is formed. As a result, the diffusion layer 1606 is formed only on the side wall of the trench.
【０３９１】次いで、エッチングマスク１６０１を除去
したのち、誘電体になる薄いシリコン酸化膜或いは酸化
膜と窒化膜との積層構造１６０７を形成する。Next, after removing the etching mask 1601, a thin silicon oxide film which becomes a dielectric or a laminated structure 1607 of an oxide film and a nitride film is formed.
【０３９２】次いで図３４（ｆ）に示す如く、多結晶シ
リコン１６０８を堆積し、不純物拡散を行って、導電性
とし、前述のドライエッチング装置を用いて、多結晶シ
リコン膜１６０６をＣｌ2 ガスを用いたドライエッチン
グによりパターニングして、所要の容量を有するトレン
チキャパシタを構成した。Then, as shown in FIG. 34 (f), polycrystalline silicon 1608 is deposited, impurities are diffused to make it conductive, and the polycrystalline silicon film 1606 is purged with Cl 2 gas by using the above-mentioned dry etching apparatus. Patterning was performed by the dry etching used to form a trench capacitor having a required capacitance.
【０３９３】最後にトレンチキャパシタの電気特性を評
価したところ、高い絶縁耐圧で、低リーク電流特性とす
ることが可能であった。Finally, when the electrical characteristics of the trench capacitor were evaluated, it was possible to obtain a high withstand voltage and a low leakage current characteristic.
【０３９４】以上説明した実施例１５〜１８において
は、平行平板電極を有したマグネトロン型の反応性イオ
ンエッチング装置を用いているが、マイクロ波を印加し
たＥＣＲ放電を用いた反応性イオンエッチング装置、又
はマイクロ波若しくは電子線を印加することによって生
成された放電プラズマ下で被エッチング基体に電圧を印
加した反応性イオンエッチング装置を用いてもよい。In Examples 15 to 18 described above, a magnetron type reactive ion etching apparatus having parallel plate electrodes was used, but a reactive ion etching apparatus using ECR discharge with microwave applied, Alternatively, a reactive ion etching apparatus in which a voltage is applied to the substrate to be etched under discharge plasma generated by applying a microwave or an electron beam may be used.
【０３９５】また、炭素膜の形成方法として、スパッタ
リング法を用いてきたが、真空蒸着法，ＣＶＤ法を用い
て形成してもよい。更に、ＡｌＳｉＣｕ膜のエッチング
において、エッチングガスとしてＣｌ2 とＢＣｌ3 の混
合ガス又はＣｌ2 とＨＢｒの混合ガスを用いたが、Ｂｒ
2 、ＢＢｒ3 等の臭素を主成分とするハロゲンガスや、
上記Ｃｌ2 を主成分とするガスとの混合ガスをエッチン
グに使用することも可能である。さらに、上記ガス中
に、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｈｅ、Ｎｅなどの希ガスを導入
してもかまわない。Although the sputtering method has been used as the method for forming the carbon film, it may be formed by using the vacuum evaporation method or the CVD method. Furthermore, in etching the AlSiCu film, a mixed gas of Cl 2 and BCl 3 or a mixed gas of Cl 2 and HBr was used as an etching gas.
2 , halogen gas mainly containing bromine such as BBr 3 ,
It is also possible to use a mixed gas with the gas containing Cl 2 as a main component for etching. Further, a rare gas such as Ar, Kr, Xe, He or Ne may be introduced into the above gas.
【０３９６】実施例１５〜１８では、ＡｌＳｉＣｕ膜、
Ｓｉ基板、ｎ+ −Ｓｉ膜、タングステンのエッチングに
ついて述べたが、ＡｌＳｉＣｕ／ＴｉＮ／Ｔｉ等のバリ
アメタルとの積層構造のエッチングに適用することも可
能である。さらに、ＡｌＳｉＣｕ膜エッチングにおい
て、レジストを剥離した後、被処理基体を清浄する工程
を施した後、ＡｌＳｉＣｕ膜をエッチングするようにし
てもよい。その他、銅、ＳｉＯ2 等の絶縁膜、或いはモ
リブデン等の高融点金属、又はタングステンやモリブデ
ン等の高融点金属の硅化物等に適用することも可能であ
る。In Examples 15 to 18, the AlSiCu film,
Although the etching of the Si substrate, the n + -Si film, and the tungsten has been described, the present invention can be applied to the etching of a laminated structure with a barrier metal such as AlSiCu / TiN / Ti. Further, in the AlSiCu film etching, the AlSiCu film may be etched after removing the resist and then performing a step of cleaning the substrate to be processed. In addition, it is also possible to apply it to an insulating film such as copper or SiO 2 , a high melting point metal such as molybdenum, or a silicide of a high melting point metal such as tungsten or molybdenum.
【０３９７】ＡｌＳｉＣｕのエッチングにおける圧力，
高周波電力密度，基板温度等は、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲で種々変形して実施することができる。炭素膜
を剥離する工程において、円筒型のプラズマエッチング
装置を用いているが、平行平板型電極を有したエッチン
グ装置を用いてもよい。Pressure in AlSiCu etching,
The high frequency power density, the substrate temperature, etc. can be variously modified and implemented without departing from the scope of the present invention. Although a cylindrical plasma etching apparatus is used in the step of peeling off the carbon film, an etching apparatus having parallel plate electrodes may be used.
【０３９８】レジスト膜を炭素膜に対して選択的に剥離
する工程において、ＣＦ4 ／Ｏ2 ガスを用いたダウンフ
ロー型アッシング装置を用いているが、エッチングガス
として、ＳＦ6 、ＮＦ3 等、少なくともフッ素を含有し
ているガスと酸素との混合ガス、或いは少なくとも弗素
を含有しているガスと水との混合ガス、或いは基板温度
を上昇させて、少なくともＯ2 を含有するガスを用いて
もよい。In the step of selectively peeling the resist film from the carbon film, a down-flow type ashing apparatus using CF 4 / O 2 gas is used, but SF 6 , NF 3, etc. are used as etching gas. It is also possible to use a mixed gas of at least fluorine-containing gas and oxygen, a mixed gas of at least fluorine-containing gas and water, or a gas containing at least O 2 by raising the substrate temperature. Good.
【０３９９】更に、ＡｌＳｉＣｕ膜のエッチングにおい
て、実施例１５〜１８では、エッチング後、マスクとし
て用いた炭素膜は剥離したが、場合によっては、炭素膜
を除去しないで、そのまま残してその後のプロセス工程
を施しても構わない。Further, in etching the AlSiCu film, in Examples 15 to 18, the carbon film used as the mask was peeled off after the etching, but in some cases, the carbon film was not removed but was left as it was, and the subsequent process steps were performed. May be given.
【０４００】また、実施例（１６〜１８）では、レジス
トを剥離しないで、レジストと炭素膜の積層構造をマス
クパターンとしてエッチングしたが、エッチング条件等
に応じて、レジストを除去して、レジストが被着してい
ない炭素膜パターンをマスクとしてエッチングを行って
もよい。Further, in the examples (16 to 18), the resist was not peeled off and the laminated structure of the resist and the carbon film was used as a mask pattern for etching. However, the resist was removed according to the etching conditions and the like. Etching may be performed by using the carbon film pattern not deposited as a mask.
【０４０１】実施例１５〜１８では、堆積ガスとして一
酸化炭素を用いているが、メタン，エチンアセチレン等
の炭化水素ガス，少なくとも１つの炭素を含有するガス
であれば、いずれを適用してもよい。In Examples 15 to 18, carbon monoxide was used as the deposition gas, but any hydrocarbon gas such as methane or ethyneacetylene, or any gas containing at least one carbon may be applied. Good.
【０４０２】炭素の膜厚として実施例１５では2000オン
グストロウムあるいは実施例１６〜１８では1500オング
ストロウムを用いているが、膜厚は適度に可変してもよ
い。As the film thickness of carbon, 2000 angstroms are used in Example 15 and 1500 angstroms in Examples 16 to 18, but the film thickness may be appropriately changed.
【０４０３】〈実施例１９〉図３５は、本発明の第１９
の実施例に係わるＡｌ合金膜パターンの形成工程を示す
断面図である。まず、図３５（ａ）に示すように、Ｓｉ
基板１７０１にＳｉＯ2 膜１７０２を形成し、このＳｉ
Ｏ2 膜１７０２上にＡｌＳｉＣｕ（Ｓｉ濃度１wt％、Ｃ
ｕ濃度0.5wt ％）薄膜１７０３を堆積する。次いで、図
３５（ｂ）に示すごとく、薄膜１７０３上にダイヤモン
ド膜１７０４（膜厚2000オングストロウム）を形成す
る。<Embodiment 19> FIG. 35 shows a nineteenth embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a process of forming an Al alloy film pattern according to the example of FIG. First, as shown in FIG.
A SiO 2 film 1702 is formed on the substrate 1701 and the Si 2
O 2 film 1702 on the AlSiCu (Si concentration 1 wt%, C
A thin film 1703 having a u concentration of 0.5 wt% is deposited. Next, as shown in FIG. 35B, a diamond film 1704 (film thickness 2000 angstrom) is formed on the thin film 1703.
【０４０４】ここで、ダイヤモンド膜１７０４は、有磁
場マイクロ波ＣＶＤ装置により堆積した。反応ガスとし
てＨ2 とメタン（濃度２％）を用いた。ガス圧力２×10
4 Ｐａ、ガス流量100SCCM 、基板温度400 ℃、マイクロ
波電力1200Ｗ、バイアス電圧10〜50Ｖの条件で、ＡｌＳ
ｉＣｕ薄膜１７０３上に作成した薄膜の走査電子顕微鏡
を観察したところ、粒径約200 オングストロウムの粒子
から形成されていることが判明した。次に、形成した薄
膜の結晶構造を明らかにするため、Ｘ線回析法（ＸＲ
Ｄ）およびラマン分光分析をおこなった。ＸＲＤの結果
から、作成された膜は、ダイヤモンドの回析ピークと一
致した。ラマン分光分析の結果を図３６に示す。図３６
より、1333cm−１にダイヤモンドの鋭いピークが大きく
見られた。1500cm−１付近に、僅かであるが非晶質のブ
ロードなピークが観察された。Here, the diamond film 1704 was deposited by a magnetic field microwave CVD apparatus. H 2 and methane (concentration 2%) were used as reaction gases. Gas pressure 2 × 10
AlS under the conditions of 4 Pa, gas flow rate of 100 SCCM, substrate temperature of 400 ° C., microwave power of 1200 W and bias voltage of 10 to 50 V.
Observation of a thin film formed on the iCu thin film 1703 with a scanning electron microscope revealed that the thin film was formed from particles having a particle size of about 200 Å. Next, in order to clarify the crystal structure of the formed thin film, an X-ray diffraction method (XR
D) and Raman spectroscopy. From the XRD result, the formed film coincided with the diffraction peak of diamond. The result of the Raman spectroscopic analysis is shown in FIG. Fig. 36
As a result, a sharp diamond peak was observed at 1333 cm-1. A slight but broad amorphous peak was observed near 1500 cm −1.
【０４０５】さらに、赤外分析法により、上記作成した
薄膜の分析をしたところ炭化水素に起因するピークが40
0 から1200cm−１付近に観察され、水素を含有する構造
であることが判明した。Further, when the above-prepared thin film was analyzed by infrared analysis, a peak due to hydrocarbon was 40
It was observed in the vicinity of 0 to 1200 cm −1 and was found to be a structure containing hydrogen.
【０４０６】従って、形成された薄膜は不純物として水
素を含有するが、多結晶構造から成るダイヤモンド膜で
あることが判明した。Therefore, it was found that the formed thin film was a diamond film having a polycrystalline structure although it contained hydrogen as an impurity.
【０４０７】次いで、図３５（ｃ）に示すようにダイヤ
モンド膜１７０４上にフォトレジスト１７０５（膜厚2.
0 μm ）を塗布し、通常のリソグラフィ技術を用いて、
レジスト１７０５を露光した。続いて、図３５（ｄ）に
示す工程では、現像液として、アルカリ性有機溶液を用
いたが、現像時に、ダイヤモンド膜１７０４の溶出・剥
離、あるいはＡｌ膜の溶出などの問題は生じなかった。Next, as shown in FIG. 35C, a photoresist 1705 (film thickness 2.
0 μm) and using ordinary lithographic techniques,
The resist 1705 was exposed. Subsequently, in the step shown in FIG. 35D, an alkaline organic solution was used as the developing solution, but no problems such as elution and peeling of the diamond film 1704 or elution of the Al film occurred during the development.
【０４０８】次いで、図３５（ｅ）及び（ｆ）に示すよ
うに、レジストパターンをマスクとして、ＲＩＥにて、
ダイヤモンド膜１７０４及びＡｌＳｉＣｕ膜１７０３を
選択エッチングし、ＡｌＳｉＣｕ膜をパターニングし
た。Then, as shown in FIGS. 35 (e) and 35 (f), RIE is performed using the resist pattern as a mask.
The diamond film 1704 and the AlSiCu film 1703 were selectively etched to pattern the AlSiCu film.
【０４０９】上記、図３５（ｅ）の工程について詳細に
説明する。ドライエッチング装置は、マグネトロンを載
置した平行平板型の装置を用いた。エッチングに用いた
ガスは、酸素、塩素、四弗化炭素、水素である。容器の
圧力は、2.0pa 、カソードに印加した高周波電力（13.5
6MHz）の密度は、0.8 Ｗ／cm2 であった。The above step of FIG. 35E will be described in detail. As the dry etching device, a parallel plate type device on which a magnetron was placed was used. The gases used for etching are oxygen, chlorine, carbon tetrafluoride and hydrogen. The container pressure was 2.0 pa, and the high frequency power (13.5
The density (at 6 MHz) was 0.8 W / cm 2 .
【０４１０】先ず、エッチングガスにＯ2 を用い、図３
５（ｅ）に示す如く、ダイヤモンド膜14をエッチングし
た。基板温度を−50℃〜−100 ℃に保持した場合、ダイ
ヤモンド膜１７０４が約1500オングストロウム／min の
速度でエッチングされたのに対して、レジスト１７０５
は、1.0 μｍ／min であり、ダイヤモンド膜１７０４と
レジスト１７０５との選択比は0.15である。またエッチ
ングされたダイヤモンド膜１７０４の形状をＳＥＭにて
観察したところ、ほぼ垂直形状が得られた。First, using O 2 as an etching gas,
The diamond film 14 was etched as shown in FIG. When the substrate temperature was kept at -50 ° C to -100 ° C, the diamond film 1704 was etched at a rate of about 1500 Å / min, while the resist 1705 was etched.
Is 1.0 μm / min, and the selection ratio between the diamond film 1704 and the resist 1705 is 0.15. Further, when the shape of the etched diamond film 1704 was observed with a SEM, a substantially vertical shape was obtained.
【０４１１】次に比較の為に、熱分解炭素膜（グラファ
イト構造）についても上記条件で、エッチングされるこ
とが判った。熱分解炭素膜のエッチング形状も垂直なも
のが得られた。Next, for comparison, it was found that the pyrolytic carbon film (graphite structure) was also etched under the above conditions. The etching shape of the pyrolytic carbon film was also vertical.
【０４１２】エッチングガスに塩素、四弗化炭素、水素
を用い、レジスト膜、ダイヤモンド膜、熱分解炭素膜の
エッチング速度を上記条件にて調べた。図３７はその結
果を示す特性図である。塩素及び四弗化炭素を用いて熱
分解炭素膜を、約500 〜1000オングストロウム／min で
エッチングしたところ、熱分解炭素膜のエッチング速度
は、約200 オングストロウム／min のであり、レジスト
膜のエッチング速度は、約2000オングストロウム／min
であった。Chlorine, carbon tetrafluoride and hydrogen were used as etching gases, and the etching rates of the resist film, diamond film and pyrolytic carbon film were examined under the above conditions. FIG. 37 is a characteristic diagram showing the result. When the pyrolytic carbon film was etched with chlorine and carbon tetrafluoride at about 500 to 1000 angstrom / min, the etching rate of the pyrolytic carbon film was about 200 angstrom / min. Etching rate is about 2000 Å / min
Met.
【０４１３】一方、水素ガスに対しては、ダイヤモンド
膜及びグラファイト膜は、約300 オングストロウム／mi
n でエッチングされるのに対してレジスト膜は、600 オ
ングストロウム／min であった。On the other hand, for hydrogen gas, the diamond film and the graphite film are about 300 Å / mi.
The resist film was 600 angstroms / min while it was etched by n 2.
【０４１４】次いで、図３５（ｆ）に示す如く、レジス
トパターン１７０５及びダイヤモンド膜１７０４をエッ
チングマスクとして、ＡｌＳｉＣｕ膜１７０３の選択エ
ッチングを行った。このＡｌＳｉＣｕ膜１７０３のエッ
チングにおいても、前述したドライエッチング装置を用
いた。エッチング条件は、基板温度を50℃に保持し、エ
ッチングガスとして、塩素と三塩化ホウ素との混合ガス
（流量100SCCM ）を用いた。エッチング圧力は、2.0Pa
高周波電力は、0.8 ｗ／cm2 〜３Ｗ／cm2 まで変化させ
た。Next, as shown in FIG. 35F, the AlSiCu film 1703 was selectively etched using the resist pattern 1705 and the diamond film 1704 as an etching mask. The dry etching apparatus described above was also used for the etching of the AlSiCu film 1703. As the etching conditions, the substrate temperature was kept at 50 ° C., and a mixed gas of chlorine and boron trichloride (flow rate 100 SCCM) was used as an etching gas. Etching pressure is 2.0Pa
High frequency power was changed from 0.8 w / cm 2 ~3W / cm 2.
【０４１５】図３７は、高周波電力を変化させてエッチ
ングした膜のエッチング速度を測定した結果を示す図で
ある。FIG. 37 is a diagram showing the results of measuring the etching rate of the film etched by changing the high frequency power.
【０４１６】これより、高周波電力0.8 Ｗ／cm2 にて、
ＡｌＳｉＣｕ膜１７０３のエッチング速度が約3500オン
グストロウム／min 、ダイヤモンド膜１７０４のエッチ
ング速度は、100 オングストロウム／min であり、ダイ
ヤモンド膜１７０４とＡｌＳｉＣｕ膜１７００３との選
択比は約35である。一方、このとき、レジスト膜１７０
５及びグラファイト膜は、各々1600オングストロウム／
min 、250 オングストロウム／min であり、いずれもダ
イヤモンド膜よりもエッチング速度が大きい値であっ
た。From this, at high frequency power 0.8 W / cm 2 ,
The etching rate of the AlSiCu film 1703 is about 3500 Å / min, the etching rate of the diamond film 1704 is 100 Å / min, and the selection ratio between the diamond film 1704 and the AlSiCu film 17003 is about 35. On the other hand, at this time, the resist film 170
5 and graphite film are 1600 angstrom /
min and 250 angstrom / min, both of which had a higher etching rate than the diamond film.
【０４１７】高周波電力0.8 ｗ／cm2 にてエッチングし
たＡｌＳｉＣｕ薄膜１７０３の形状をＳＥＭにより評価
したところ、テーパ角88°でテーパ形状であることが判
った。また、高周波電力の増大とともにダイヤモンド膜
１７０４とＡｌＳｉＣｕ膜１７０３との選択比は小さく
なるものの、テーパ形状は大きく（テーパ角が小さく）
なることが分かった。When the shape of the AlSiCu thin film 1703 etched with high frequency power of 0.8 w / cm 2 was evaluated by SEM, it was found to be a taper shape with a taper angle of 88 °. Further, although the selection ratio between the diamond film 1704 and the AlSiCu film 1703 becomes smaller as the high frequency power increases, the taper shape becomes larger (the taper angle becomes smaller).
I found out.
【０４１８】また、高周波電力1.5 ｗ／cm2 以上でエッ
チングしたＡｌＳｉＣｕ薄膜１７０３においては、エッ
チング後、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１７０３上にレジスト１７
０５は、残存していないことが、上記同様ＳＥＭにより
確認された。In the AlSiCu thin film 1703 which is etched with high frequency power of 1.5 w / cm 2 or more, the resist 17 is formed on the AlSiCu thin film 1703 after etching.
It was confirmed by SEM that No. 05 did not remain as in the above.
【０４１９】これより、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１７０３とレ
ジスト１７０５との選択比は、図３５に示した如く、高
周波電力とともに減少して行くため、電力1.5 ｗ／cm2
以上では、レジスト１７０５は全て消失する。従って、
ＡｌＳｉＣｕ薄膜１７０３のエッチングマスクは、ダイ
ヤモンド１７０４となる。即ち、レジスト１７０５のみ
をマスクとして用いた場合では、選択比が小さいために
ＡｌＳｉＣｕ薄膜１７０３を全てエッチングするまで、
良好なエッチングマスクとして作用しない。しかし、ダ
イヤモンド14をエッチングマスクとして適用することに
より、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１７０３とダイヤモンド１７０
４との選択比が高周波電力1.5 ｗ／cm2 では17あるため
に、ＡｌＳｉＣｕ薄膜１７０３の良好なエッチングが可
能となることが分かる。From this, the selection ratio between the AlSiCu thin film 1703 and the resist 1705 decreases with the high frequency power as shown in FIG. 35, so the power is 1.5 w / cm 2
As described above, all the resist 1705 disappears. Therefore,
The etching mask of the AlSiCu thin film 1703 becomes diamond 1704. That is, when only the resist 1705 is used as a mask, since the selection ratio is small, until the AlSiCu thin film 1703 is completely etched,
Does not act as a good etching mask. However, by applying the diamond 14 as an etching mask, the AlSiCu thin film 1703 and the diamond 170 are
It can be seen that the AlSiCu thin film 1703 can be satisfactorily etched because the selection ratio with respect to 4 is 17 at high frequency power of 1.5 w / cm 2 .
【０４２０】最後に図３５（ｇ）に示す如く、レジスト
パターン及びダイヤモンド１７０４の除去を行った。エ
ッチング装置として、通常のバレル型プラズマエッチン
グ装置とダウンフロー型エッチング装置を用いた。Finally, as shown in FIG. 35G, the resist pattern and diamond 1704 were removed. As the etching apparatus, a normal barrel type plasma etching apparatus and a downflow type etching apparatus were used.
【０４２１】バレル型プラズマエッチング装置にて、通
常の酸素プラズマにより、アッシングしたところ、レジ
ストパターン端部や中央部に残存物が生じ完全に除去す
ることは困難であった。一方、ダイヤモンド膜１７０４
は上記酸素プラズマアッシングにより容易に除去できる
ことが判明した。When ashing was performed with ordinary oxygen plasma in a barrel type plasma etching apparatus, it was difficult to completely remove residual substances at the end portions and the central portion of the resist pattern and to completely remove them. On the other hand, diamond film 1704
It has been found that can be easily removed by the above oxygen plasma ashing.
【０４２２】次に、ダウンフロー型エッチング装置にて
前述の試料におけるレジスト膜１７０５及びダイヤモン
ド膜１７０４の剥離を行った。Next, the resist film 1705 and the diamond film 1704 in the above-described sample were peeled off using a downflow type etching apparatus.
【０４２３】エッチングガスとして、ＣＦ4 ／Ｏ2 の混
合ガスあるいは、ＮＦ3 ／Ｈ2 Ｏの混合ガスを導入し、
基板温度は室温に保持し、エッチング圧力0.3Torr の下
で、マイクロ波を印加して放電を生じさせ、エッチング
を行った。又、基板温度を100 ℃に保持し、Ｏ2 ガスを
用いて、上記条件にてエッチングを行った。As the etching gas, a mixed gas of CF 4 / O 2 or a mixed gas of NF 3 / H 2 O is introduced,
The substrate temperature was kept at room temperature, and under the etching pressure of 0.3 Torr, microwaves were applied to cause discharge, and etching was performed. Further, the substrate temperature was kept at 100 ° C., and etching was performed under the above conditions using O 2 gas.
【０４２４】この工程により、レジストパターンは残存
物が生じず、完全に除去可能であった。また、ダイヤモ
ンド膜は、全くエッチングされなかった。従って、レジ
ストパターンが残存している場合のマスクパターンを剥
離するに際してはは、ＣＦ4 ／Ｏ2 の混合ガスあるいは
ＮＦ3 ／Ｏ2 の混合ガスあるいは、基板温度を上昇させ
て、Ｏ2 ガスを用いたダウンフロー型エッチングにてレ
ジストを除去した後、前述の如く、バレル型エッチング
装置を用い、通常のＯ2 プラズマアッシング処理を施す
ことによってダイヤモンド膜は剥離されることが確認で
きた。Through this step, the resist pattern was completely removed without any residue. Also, the diamond film was not etched at all. Therefore, when stripping the mask pattern when the resist pattern remains, the CF 4 / O 2 mixed gas or the NF 3 / O 2 mixed gas or the substrate temperature is raised to remove the O 2 gas. It was confirmed that the diamond film was peeled off by removing the resist by the down-flow type etching used and then performing the normal O 2 plasma ashing treatment using the barrel type etching apparatus as described above.
【０４２５】剥離後、ＡｌＳｉＣｕパターンをＳＥＭに
て評価したところ、テーパー形状で、ライン／スペース
の線幅400nm ／400nm のＡｌＳｉＣｕ薄膜が良好に形成
されることが判った。After the peeling, the AlSiCu pattern was evaluated by SEM, and it was found that an AlSiCu thin film having a taper shape and a line / space line width of 400 nm / 400 nm was excellently formed.
【０４２６】また、エッチング後、上記試料を大気中に
移置し、腐食の様子を光学顕微鏡により評価したとこ
ろ、レジストをマスクとして用いてエッチングしたもの
は、放置後、24時間後にコロージョンの発生が観察され
た。これに対して、ダイヤモンドをマスクとして用いて
エッチングしたものは、１週間放置してもコロージョン
の発生は全く認められなかった。After the etching, the sample was transferred to the atmosphere and the state of corrosion was evaluated by an optical microscope. As a result, it was found that corrosion occurred after 24 hours in the case of etching using the resist as a mask. Was observed. On the other hand, in the case of etching using diamond as a mask, no corrosion was observed even if left for one week.
【０４２７】なお、実施例１９においては、ＡｌＳｉＣ
ｕ膜のエッチングについて、述べたが、ＳｉＯ2 、Ｓ
ｉ、タングステンあるいはモリブデン等の高融点金属、
高融点金属硅化物等のエッチングマスクとして、ダイヤ
モンドを適用することも可能である。In Example 19, AlSiC was used.
Although the etching of the u film has been described, SiO 2 , S
i, refractory metal such as tungsten or molybdenum,
It is also possible to apply diamond as an etching mask for refractory metal silicide or the like.
【０４２８】またレジストとダイヤモンドとの積層構造
を用いてＡｌＳｉＣｕ膜のエッチングを行ってきたが、
レジストマスクに用いて、ダイヤモンドをエッチングし
た後、ダウンフロー型エッチング装置にて、レジストを
剥離し、ダイヤモンド膜パターンをマスクとしてＡｌＳ
ｉＣｕ膜のエッチングを行ってもよい。Although the AlSiCu film has been etched using the laminated structure of resist and diamond,
After the diamond is etched using the resist mask, the resist is stripped off using a down-flow type etching device, and the diamond film pattern is used as a mask to remove AlS.
The iCu film may be etched.
【０４２９】ＡｌＳｉＣｕ膜のエッチング装置として、
平行平板電極を有したマグネトロン型の反応性イオンエ
ッチング装置を用いているが、マイクロ波を印加したＥ
ＣＲ放電を用いた反応性イオンエッチング装置、又は、
マイクロ波若しくは電子線を印加することによって生成
された放電プラズマ下で被エッチング基体に電圧を印加
して反応性イオンエッチング装置を用いてもよい。As an etching apparatus for the AlSiCu film,
A magnetron-type reactive ion etching device having parallel plate electrodes is used, but microwave applied E
Reactive ion etching device using CR discharge, or
A reactive ion etching apparatus may be used by applying a voltage to the substrate to be etched under the discharge plasma generated by applying a microwave or an electron beam.
【０４３０】エッチングガスとしてＣｌ2 とＢＣｌ3 の
混合ガスを用いたが、Ｂｒ2 、ＨＢｒ、ＢＢｒ3 等の臭
素を主成分とするハロゲンガスや上記Ｃｌ2 を主成分と
するガスとの混合ガスをエッチングに使用することも可
能である。さらに、ＳｉＯ2 、Ｓｉあるいはタングステ
ン、モリブデン等の高融点金属あるいは、高融点金属の
硅化物をエッチングする場合には、ＳＦ6 、ＣＦ4 、Ｎ
Ｆ3 、フルオロカ−ボン系ガス、例えばＣｘＨｍＦｎ
（ｍ＋ｎ＝２×２）で表わされるガス等のフッ素を主成
分とするハロゲンガスをエッチングに使用することも可
能である。Although a mixed gas of Cl 2 and BCl 3 was used as the etching gas, a mixed gas of a halogen gas mainly containing bromine such as Br 2 , HBr, BBr 3 or the above gas mainly containing Cl 2 is used. Can also be used for etching. Further, when etching refractory metal such as SiO 2 , Si or tungsten, molybdenum, or silicide of refractory metal, SF 6 , CF 4 , N
F 3 , fluorocarbon type gas such as CxHmFn
It is also possible to use a halogen gas containing fluorine as a main component such as a gas represented by (m + n = 2 × 2) for etching.
【０４３１】上記ガス中にＡｒ・Ｋｒ・Ｘｅ・Ｈｅ・Ｎ
ｅなどの希ガスを導入してもかまわない。ＡｌＳｉＣｕ
のエッチングにおける圧力・高周波電力、基板温度等
は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形した実
施することができる。Ar, Kr, Xe, He, N in the above gas
A rare gas such as e may be introduced. AlSiCu
The pressure, the high frequency power, the substrate temperature, etc. in the etching can be variously modified without departing from the scope of the present invention.
【０４３２】レジスト膜をダイヤモンド膜に対して選択
的に剥離する工程においては、エッチングガスとしてＳ
Ｆ6 、Ｆ2 等少なくともフッ素を含有しているガスと酸
素との混合ガスであればよい。In the step of selectively peeling the resist film from the diamond film, S gas is used as an etching gas.
Any mixed gas of oxygen and a gas containing at least fluorine such as F 6 and F 2 may be used.
【０４３３】[0433]
【発明の効果】本発明による炭素膜をドライエッチング
時のマスクパターン（特に、反応性イオンエッチング等
のエッチングマスク）として用いる方法によれば、ドラ
イエッチング時のエッチングマスクと被エッチング材料
とのエッチング選択比を大きくすることが可能である。
また、マスク材料が導電性薄膜であるため、エッチング
中の荷電粒子の照射により、マスクパターンがチャージ
アップを生じることはない。従って、高精度な微細加工
が可能である。また、炭素膜は高純度化が可能であるた
め、プラズマ等のエネルギーの大きな粒子の衝突によ
り、分解されたエッチング生成物中にデバイスに悪影響
を与える不純物（例えば、重金属，ハロゲン等）が含ま
れることがないため、金属配線等の腐食等は生じない。According to the method of using the carbon film according to the present invention as a mask pattern for dry etching (particularly, an etching mask for reactive ion etching, etc.), the etching selection between the etching mask and the material to be etched during dry etching is performed. It is possible to increase the ratio.
Moreover, since the mask material is a conductive thin film, the mask pattern does not cause charge-up due to irradiation of charged particles during etching. Therefore, highly precise microfabrication is possible. In addition, since the carbon film can be highly purified, impurities (eg, heavy metals, halogens, etc.) that adversely affect the device are contained in the decomposed etching product due to collision of particles with high energy such as plasma. Since it does not occur, corrosion of metal wiring does not occur.
【０４３４】また、Ｏ2 ガスを用いたプラズマエッチン
グにより、炭素膜は選択的に容易に剥離することが可能
であるため、剥離工程中に他の材料へダメージ等を与え
ることがない。さらに、炭素膜は耐熱性を有しているた
め、露光マスクやＴＦＴの製造工程における石英基板等
の膜厚の厚い絶縁基板上の薄膜をＲＩＥする際に生じる
基板の温度上昇によって、エッチングマスクパターンが
変形を受けることもない。Further, since the carbon film can be selectively and easily peeled off by the plasma etching using O 2 gas, other materials are not damaged during the peeling process. Further, since the carbon film has heat resistance, the temperature of the substrate rises during RIE of a thin film on a thick insulating substrate such as a quartz substrate in the process of manufacturing an exposure mask or a TFT, so that the etching mask pattern Will not be deformed.
【０４３５】従って、半導体集積回路製造工程におい
て、微細なパターンを高精度に加工することが可能とな
る。さらに、配線やトレンチ素子等を高信頼性を持って
形成することが可能である。Therefore, a fine pattern can be processed with high precision in the semiconductor integrated circuit manufacturing process. Furthermore, it is possible to form wiring, trench elements, etc. with high reliability.
【図１】 本発明の第１の実施例に係わるパターン形成
工程を示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a pattern forming step according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 第１の実施例に用いたエッチング装置の概略
構成を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of an etching apparatus used in the first embodiment.
【図３】 第１の実施例におけるパターン形状の変化を
示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing a change in pattern shape according to the first embodiment.
【図４】 ＲＦ印加電力を変化させたときの、エッチン
グ速度とエッチング選択比の関係を示す特性図。FIG. 4 is a characteristic diagram showing the relationship between the etching rate and the etching selection ratio when the RF applied power is changed.
【図５】 第１の実施例方法に用いたダウンフロー型エ
ッチング装置の概略を示す図。FIG. 5 is a diagram showing an outline of a downflow type etching apparatus used in the method of the first embodiment.
【図６】 本発明の第２の実施例に係わるパターン形成
工程を示す断面図。FIG. 6 is a sectional view showing a pattern forming step according to the second embodiment of the present invention.
【図７】 チャージアップ現象を説明するためのパター
ン断面図。FIG. 7 is a pattern cross-sectional view for explaining a charge-up phenomenon.
【図８】 直流電圧とエッチングパターンのテーパ角の
関係を示す特性図。FIG. 8 is a characteristic diagram showing a relationship between a DC voltage and a taper angle of an etching pattern.
【図９】 大気放置時間と腐食量との関係を示す特性
図。FIG. 9 is a characteristic diagram showing the relationship between the atmospheric exposure time and the amount of corrosion.
【図１０】本発明の第３の実施例に係わるトレンチキャ
パシタの形成工程を示す断面図。FIG. 10 is a sectional view showing a step of forming a trench capacitor according to the third embodiment of the present invention.
【図１１】従来方法にてトレンチ構造を形成したときの
パターン形状を示す断面図。FIG. 11 is a cross-sectional view showing a pattern shape when a trench structure is formed by a conventional method.
【図１２】本発明の第５の実施例に係わるＬＤＤ構造の
ＭＯＳトランジスタの製造工程を示す断面図。FIG. 12 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of an LDD structure MOS transistor according to a fifth embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第６の実施例に係わる位相シフト露
光マスクの形成工程を示す断面図。FIG. 13 is a sectional view showing a step of forming a phase shift exposure mask according to the sixth embodiment of the present invention.
【図１４】第６の実施例で作成した位相シフトマスクを
用いて露光したときの様子を示す模式図。FIG. 14 is a schematic diagram showing a state when exposure is performed using the phase shift mask created in the sixth embodiment.
【図１５】本発明の第７の実施例に係わるＶＩＡホール
形成工程を示す断面図。FIG. 15 is a sectional view showing a VIA hole forming step according to the seventh embodiment of the present invention.
【図１６】従来の方法を用いてＶＩＡホールを形成した
ときのパターン形状を示す断面図。FIG. 16 is a cross-sectional view showing a pattern shape when a VIA hole is formed by using a conventional method.
【図１７】炭素膜マスクとレジストマスクにおける不純
物量の比較を示す特性図。FIG. 17 is a characteristic diagram showing a comparison of the amounts of impurities in a carbon film mask and a resist mask.
【図１８】本発明の第８の実施例に係わるコンタクトホ
ール形成工程を示す断面図。FIG. 18 is a sectional view showing a contact hole forming step according to the eighth embodiment of the present invention.
【図１９】本発明の第９の実施例に係わるＳｉＯ2 膜の
エッチング工程を示す断面図。FIG. 19 is a sectional view showing an etching process of a SiO 2 film according to a ninth embodiment of the present invention.
【図２０】アスペクト比とエッチングした深さとの関係
を示す特性図。FIG. 20 is a characteristic diagram showing the relationship between the aspect ratio and the etched depth.
【図２１】本発明の第１０の実施例に係わる多層レジス
トを用いたパターン形成工程を示す断面図。FIG. 21 is a sectional view showing a pattern forming process using a multilayer resist according to a tenth embodiment of the present invention.
【図２２】本発明の第１０の実施例に係わる多層レジス
トを用いたパターン形成工程を示す断面図。FIG. 22 is a sectional view showing a pattern forming process using a multilayer resist according to a tenth embodiment of the present invention.
【図２３】本発明の第１１の実施例に係わる薄膜トラン
ジスタの製造工程を示す断面図。FIG. 23 is a cross-sectional view showing the manufacturing process of the thin film transistor according to the eleventh embodiment of the present invention.
【図２４】本発明の第１２の実施例に係わるトレンチ構
造による素子分離領域の形成工程を示す断面図。FIG. 24 is a sectional view showing a process of forming an element isolation region with a trench structure according to a twelfth embodiment of the present invention.
【図２５】本発明の第１３実施例に係わる半導体集積回
路用金属配線の製造工程を示す断面図。性図。FIG. 25 is a cross-sectional view showing the manufacturing process of the metal wiring for semiconductor integrated circuit according to the thirteenth embodiment of the present invention. Sex chart.
【図２６】本発明の第１４実施例に係わる半導体装置の
上層金属配線と下層金属配線との接続部を形成する工程
を示す断面図。FIG. 26 is a sectional view showing a step of forming a connection portion between an upper metal wiring and a lower metal wiring of a semiconductor device according to a fourteenth embodiment of the present invention.
【図２７】本発明の第１５の実施例に係わるＡｌ合金膜
パターンの形成工程を示す断面図。FIG. 27 is a sectional view showing the process of forming an Al alloy film pattern according to the fifteenth embodiment of the present invention.
【図２８】第１５の実施例に用いたエッチング装置の概
略構成を示す図。FIG. 28 is a diagram showing a schematic configuration of an etching apparatus used in a fifteenth embodiment.
【図２９】推積ガスＣＯの流量を変化させて、エッチン
グした膜のエッチング速度及び形状を測定した結果を示
す特性図。FIG. 29 is a characteristic diagram showing the results of measuring the etching rate and shape of an etched film by changing the flow rate of the deposition gas CO.
【図３０】圧力を変化させたときのＡｌＳｉＣｕ及び炭
素膜のエッチング速度、ＡｌＳｉＣｕ膜のテーパ角を測
定した結果を示す特性図。FIG. 30 is a characteristic diagram showing the results of measuring the etching rate of the AlSiCu and carbon films and the taper angle of the AlSiCu film when the pressure is changed.
【図３１】本発明の第１６の実施例に係わるＡｌ合金膜
パターンの形成工程を示す断面図。FIG. 31 is a sectional view showing the step of forming an Al alloy film pattern according to the sixteenth embodiment of the present invention.
【図３２】ＣＯガスの流量とエッチング形状との関係を
示す断面図。FIG. 32 is a cross-sectional view showing the relationship between the flow rate of CO gas and the etching shape.
【図３３】本発明の第１７の実施例に係わるタングステ
ンのパターン形成工程を示す断面図。FIG. 33 is a sectional view showing a tungsten pattern forming step according to the seventeenth embodiment of the present invention.
【図３４】本発明の第１８の実施例に係わるトレンチキ
ャパシタの形成工程を示す断面図FIG. 34 is a sectional view showing the step of forming a trench capacitor according to the eighteenth embodiment of the present invention.
【図３５】本発明の第１９の実施例に係わるＡｌ合金膜
パターンの形成工程を示す断面図。FIG. 35 is a sectional view showing the step of forming an Al alloy film pattern according to the nineteenth embodiment of the present invention.
【図３６】本発明の第１９の実施例により形成したダイ
ヤモンド薄膜の結晶構造を示すラマン分光分析の結果を
示す特性図。FIG. 36 is a characteristic diagram showing the result of Raman spectroscopic analysis showing the crystal structure of the diamond thin film formed according to the nineteenth embodiment of the present invention.
【図３７】高周波電力を変化させてエッチングした膜の
エッチング速度を測定した結果を示す特性図。FIG. 37 is a characteristic diagram showing the results of measuring the etching rate of a film etched by changing the high frequency power.
１１…Ｓｉ基板、 １２…ＳｉＯ2 膜、 １３…ＡｌＳ
ｉＣｕ薄膜、１４…炭素膜、 １５…フォトレジスト。11 ... Si substrate, 12 ... SiO 2 film, 13 ... AlS
iCu thin film, 14 ... Carbon film, 15 ... Photoresist.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡野 晴雄 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株 式会社東芝総合研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Haruo Okano 1 Komukai Toshiba-cho, Sachi-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Stock company Toshiba Research Institute
Claims (3)
酸化膜が形成された被処理基体上に炭素膜を被着する工
程と、前記炭素膜上に有機レジストパターンを形成する
工程と、前記レジストパターンをマスクとして前記炭素
膜をエッチングする工程と、次いで前記被処理基体を真
空容器内に設置し、該容器内にハロゲンを主成分とした
エッチングガスを導入すると共に放電を誘起してプラズ
マを生成し、前記炭素膜パターンに沿って前記不透明膜
又はシリコン酸化膜を異方性エッチングする工程とを含
むことを特徴とする半導体装置の製造方法。1. A step of depositing a carbon film on a substrate to be processed having an opaque film or a silicon oxide film formed on the surface of a transparent substrate, and a step of forming an organic resist pattern on the carbon film. A step of etching the carbon film using the resist pattern as a mask, and then placing the substrate to be processed in a vacuum container, introducing an etching gas containing halogen as a main component into the container, and inducing discharge to generate plasma. And anisotropically etching the opaque film or the silicon oxide film along the carbon film pattern, the method of manufacturing a semiconductor device.
体上に膜を被着し、被処理基体表面を平坦化する工程
と、全面に炭素膜を被着する工程と、前記炭素膜上に第
１のマスクパターンを形成する工程と、前記第１のマス
クパターンをマスクとして前記炭素膜をエッチングし、
前記炭素膜からなる第２のマスクパタ−ンを形成する工
程と、前記被処理基体を真空容器内に設置し、該容器内
にハロゲンを主成分としたエッチングガスを導入すると
共に放電を誘起してプラズマを生成し、前記第２のマス
クパターンに沿って前記被処理基体を異方性エッチング
する工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方
法。2. A step of depositing a film on a substrate to be treated having a groove and / or a step on the surface to flatten the surface of the substrate to be treated, a step of depositing a carbon film on the entire surface, and the carbon film. Forming a first mask pattern on the carbon film, and etching the carbon film using the first mask pattern as a mask,
A step of forming a second mask pattern made of the carbon film, the substrate to be processed is placed in a vacuum container, an etching gas containing halogen as a main component is introduced into the container, and a discharge is induced. Generating plasma and anisotropically etching the substrate to be processed along the second mask pattern.
体上に炭素膜を被着する工程と、この炭素膜を被着した
被処理基体上に膜を形成する工程と、前記炭素膜が露出
するまでエッチングし、炭素膜を被着した被処理基体表
面を平坦化する工程と、前記炭素膜上に第１のマスクパ
ターンを形成する工程と、前記第１のマスクパターンを
マスクとして前記炭素膜をエッチングし、前記炭素膜か
らなる第２のマスクパタ−ンを形成する工程と、前記被
処理基体を真空容器内に設置し、該容器内にハロゲンを
主成分としたエッチングガスを導入すると共に放電を誘
起してプラズマを生成し、前記第２のマスクパターンに
沿って前記被処理基体を異方性エッチングする工程とを
含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。3. A step of depositing a carbon film on a substrate to be treated having a groove and / or a step on the surface, a step of forming a film on the substrate to be treated having the carbon film deposited thereon, and the carbon film. Etching to expose the carbon film to flatten the surface of the substrate to be treated, forming a first mask pattern on the carbon film, and using the first mask pattern as a mask A step of etching the carbon film to form a second mask pattern made of the carbon film, the substrate to be treated is placed in a vacuum container, and an etching gas containing halogen as a main component is introduced into the container. Together with the step of inducing discharge to generate plasma and anisotropically etching the substrate to be processed along the second mask pattern.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02901892A JP3183929B2 (en) | 1991-01-22 | 1992-01-21 | Method for manufacturing semiconductor device |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-21569 | 1991-01-22 | ||
| JP2156991 | 1991-01-22 | ||
| JP21130291 | 1991-07-30 | ||
| JP3-211302 | 1991-07-30 | ||
| JP02901892A JP3183929B2 (en) | 1991-01-22 | 1992-01-21 | Method for manufacturing semiconductor device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0590226A true JPH0590226A (en) | 1993-04-09 |
| JP3183929B2 JP3183929B2 (en) | 2001-07-09 |
Family
ID=27283476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02901892A Expired - Fee Related JP3183929B2 (en) | 1991-01-22 | 1992-01-21 | Method for manufacturing semiconductor device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3183929B2 (en) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6878619B2 (en) | 2002-05-14 | 2005-04-12 | Fujitsu Limited | Method for fabricating semiconductor device |
| JP2005277235A (en) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Casio Comput Co Ltd | Multilayer thin film, and thin-film inspection and forming methods |
| JP2005311016A (en) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Nec Electronics Corp | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
| JP2006303496A (en) * | 2006-04-14 | 2006-11-02 | Fujitsu Ltd | Method for manufacturing semiconductor device |
| JP2007096295A (en) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Applied Materials Inc | Method of plasma-etching chromium layer through carbon hard mask suitable for manufacturing photomask |
| JP2007234942A (en) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Nissan Motor Co Ltd | Method of manufacturing semiconductor device |
| JP2009010230A (en) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Fujitsu Microelectronics Ltd | Semiconductor device, and manufacturing method thereof |
| JP2009540372A (en) * | 2006-06-05 | 2009-11-19 | エリコン ユーエスエイ、インコーポレイテッド | Temperature control method for optical lithography substrate |
| JP2011517089A (en) * | 2008-04-08 | 2011-05-26 | マイクロン テクノロジー， インク． | High aspect ratio opening |
| JPWO2021084706A1 (en) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 |
-
1992
- 1992-01-21 JP JP02901892A patent/JP3183929B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6878619B2 (en) | 2002-05-14 | 2005-04-12 | Fujitsu Limited | Method for fabricating semiconductor device |
| JP2005277235A (en) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Casio Comput Co Ltd | Multilayer thin film, and thin-film inspection and forming methods |
| JP2005311016A (en) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Nec Electronics Corp | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
| JP2007096295A (en) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Applied Materials Inc | Method of plasma-etching chromium layer through carbon hard mask suitable for manufacturing photomask |
| US7718539B2 (en) | 2005-09-28 | 2010-05-18 | Applied Materials, Inc. | Method for photomask fabrication utilizing a carbon hard mask |
| JP2007234942A (en) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Nissan Motor Co Ltd | Method of manufacturing semiconductor device |
| JP2006303496A (en) * | 2006-04-14 | 2006-11-02 | Fujitsu Ltd | Method for manufacturing semiconductor device |
| JP2009540372A (en) * | 2006-06-05 | 2009-11-19 | エリコン ユーエスエイ、インコーポレイテッド | Temperature control method for optical lithography substrate |
| JP2009010230A (en) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Fujitsu Microelectronics Ltd | Semiconductor device, and manufacturing method thereof |
| JP2011517089A (en) * | 2008-04-08 | 2011-05-26 | マイクロン テクノロジー， インク． | High aspect ratio opening |
| JPWO2021084706A1 (en) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | ||
| WO2021084706A1 (en) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | Polishing solution, polishing method, and semiconductor component manufacturing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3183929B2 (en) | 2001-07-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5302240A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
| KR960000372B1 (en) | Fabricating method of semiconductor device | |
| KR960000375B1 (en) | Fabricating method of semiconductor device | |
| US6284149B1 (en) | High-density plasma etching of carbon-based low-k materials in a integrated circuit | |
| US5942446A (en) | Fluorocarbon polymer layer deposition predominant pre-etch plasma etch method for forming patterned silicon containing dielectric layer | |
| US5411631A (en) | Dry etching method | |
| US5447598A (en) | Process for forming resist mask pattern | |
| US5269879A (en) | Method of etching vias without sputtering of underlying electrically conductive layer | |
| US6187689B1 (en) | Manufacture of semiconductor device with fine patterns | |
| WO2000014793A2 (en) | In-situ integrated oxide etch process particularly useful for copper dual damascene | |
| JPH09148314A (en) | Etching process of silicified titanium | |
| US5254213A (en) | Method of forming contact windows | |
| JP3277394B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
| JPH10242278A (en) | Manufacture of semiconductor device, and semiconductor device | |
| JP3183929B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
| US6020111A (en) | Method of manufacturing semiconductor device with patterned lamination of Si film and metal film | |
| JPH06151385A (en) | Method for plasma-etching of siox material and method for generation of interlayer metal connection part at inside of integrated circuit | |
| JP3318801B2 (en) | Dry etching method | |
| US4937643A (en) | Devices having tantalum silicide structures | |
| JPH0590225A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
| US6756315B1 (en) | Method of forming contact openings | |
| JP3160389B2 (en) | Dry etching method | |
| JPH05343366A (en) | Dry etching method | |
| JPH0637058A (en) | Dry etching method | |
| JP2005327873A (en) | Semiconductor device and its manufacturing method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080427 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090427 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100427 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |