JPH0587552A - Scale device - Google Patents
Scale deviceInfo
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- JPH0587552A JPH0587552A JP4573892A JP4573892A JPH0587552A JP H0587552 A JPH0587552 A JP H0587552A JP 4573892 A JP4573892 A JP 4573892A JP 4573892 A JP4573892 A JP 4573892A JP H0587552 A JPH0587552 A JP H0587552A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coupling member
- slider
- carrier
- side coupling
- error
- Prior art date
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば工作機械に取り
付けられる磁気スケール等に設けられた目盛りが読み取
られる際に好適なスケール装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scale device suitable for reading a scale provided on, for example, a magnetic scale attached to a machine tool.
【０００２】[0002]
【従来の技術】工作機械等の基準面側には、長尺のメイ
ンスケールが取り付けられ、メインスケールは、その長
さ方向に沿って例えば磁気のＮ極、Ｓ極が交互に着磁さ
れて目盛りが形成されている。2. Description of the Related Art A long main scale is attached to a reference surface side of a machine tool or the like, and the main scale is, for example, magnetic N poles and S poles alternately magnetized along its length direction. The scale is formed.
【０００３】一方、工具台（移動テーブル）側には、メ
インスケールと対向する位置にスライダが設けられてお
り、スライダの検出ヘッド（例えば、磁気ヘッド）によ
り目盛りが読み取られる。On the other hand, on the tool table (moving table) side, a slider is provided at a position facing the main scale, and a scale is read by a detection head (for example, a magnetic head) of the slider.
【０００４】この場合、メインスケールとスライダとが
相対的に移動され、その移動に伴って、目盛り検出信号
（例えば、電気信号）が検出ヘッドにより得られ、スケ
ール装置（リニアエンコーダ）として使用される。In this case, the main scale and the slider are moved relative to each other, and along with the movement, a scale detection signal (for example, an electric signal) is obtained by the detection head and used as a scale device (linear encoder). ..
【０００５】また、スライダが支持されるスライダ固定
部には、キャリアが設けられ、このキャリアによりスラ
イダが移動される。A carrier is provided on the slider fixing portion for supporting the slider, and the slider moves by the carrier.
【０００６】そして、スライダとキャリアとの間には、
キャリアとメインスケールとの間における機械的（構造
上発生する）位置ずれに起因するスライダの走行変動抑
制のために自在部材（バネ等で構成される）が介在され
ている。Further, between the slider and the carrier,
A free member (composed of a spring or the like) is interposed between the carrier and the main scale in order to suppress the traveling fluctuation of the slider due to the mechanical (structurally generated) positional deviation.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、メイン
スケールの固定部材（ハウジング）とキャリアとの取付
誤差、スケール装置等の構成部品が有する部品公差、あ
るいはそれら構成部品の組立誤差等により、自在部材に
傾きが生じる場合が有るとともに、スライダがメインス
ケールに対して斜め方向に移動される場合が有る。その
ため、目盛りの検出精度に大きな誤差が生ずるおそれが
有った。However, due to the mounting error between the fixing member (housing) of the main scale and the carrier, the component tolerance of the component parts such as the scale device, or the assembly error of these component parts, the flexible member becomes a flexible member. The slider may be tilted and the slider may be moved in an oblique direction with respect to the main scale. Therefore, there is a possibility that a large error may occur in the detection accuracy of the scale.
【０００８】本発明の目的は、取付誤差、部品公差、あ
るいは組立誤差等に起因する検出精度誤差を修正可能と
されたスケール装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a scale device capable of correcting a detection accuracy error caused by a mounting error, a component tolerance, an assembly error or the like.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明に係るスケール装
置は、例えば図１、図２に示す如く、キャリア９と対向
可能な位置とされてスライダ３に突出形成されたスライ
ダ側カップリング部材１３Ａと、このスライダ３の移動
方向に沿う姿勢とされてこのキャリア９に突出形成さ
れ、この突出端部に球状凸部１３ａが設けられたキャリ
ア側カップリング部材１３Ｂと、このキャリア側カップ
リング部材１３Ｂの突出方向に沿う一方端部にこのスラ
イダ側カップリング部材１３Ａの突出端面上を摺動可能
とされた第１連結部が設けられると共に、他方端部にこ
の球状凸部１３ａの外周側面と線接触可能とされた凹状
の第２連結部１３ｂが各々設けられ、このスライダ側カ
ップリング部材１３Ａとキャリア側カップリング部材１
３Ｂとの間に介在される中間カップリング部材１３Ｃ
と、を有するものである。また本発明スケール装置は例
えば図１、図６、図７に示す如く上述において、中間カ
ップリング部材１３Ｃの凹状側の、キャリア側カップリ
ング部材１３Ｂの端部球状凸部１３ａの外周側面と接触
する内接円１３ｓの略内側に、少なくとも１か所の貫通
部１３ｈを有するものである。The scale device according to the present invention is, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, a slider-side coupling member 13A projectingly formed on the slider 3 at a position facing the carrier 9. And a carrier-side coupling member 13B which is formed in a projecting manner on the carrier 9 in a posture along the moving direction of the slider 3 and has a spherical projection 13a at the projecting end, and this carrier-side coupling member 13B. Is provided at one end along the protruding direction of the slider coupling member 13A on the protruding end surface of the slider-side coupling member 13A, and at the other end thereof, the outer peripheral side surface of the spherical convex portion 13a and the line. Recessable second connecting portions 13b are provided respectively, and the slider side coupling member 13A and the carrier side coupling member 1 are provided.
3C, intermediate coupling member 13C interposed between
And have. Further, the scale device of the present invention is in contact with the outer peripheral side surface of the end spherical projection 13a of the carrier side coupling member 13B on the concave side of the intermediate coupling member 13C in the above description as shown in FIGS. 1, 6 and 7, for example. At least one penetrating portion 13h is provided substantially inside the inscribed circle 13s.
【００１０】[0010]
【作用】本発明に係るスケール装置では、スライダ側カ
ップリング部材１３Ａとキャリア側カップリング部材１
３Ｂとが中間カップリング部材１３Ｃを介して連結さ
れ、中間カップリング部材１３Ｃの一方端部はスライダ
側カップリング部材１３Ａの突出端面に対して摺動可能
とされると共に、他方端部はキャリア側カップリング部
材１３Ｂの球状凸部１３ａに接触可能とされているの
で、スライダ３がメインスケール１７の長手方向に対し
て斜め方向に移動された場合、あるいは装置の使用中に
スライダ固定部とメインスケール１７との離間距離が変
化した場合（平行偏差）には、中間カップリング部材１
３Ｃが移動し、且つこの中間カップリング部材１３Ｃは
常時キャリア側カップリング部材１３Ｂと確実に接触さ
れている。In the scale device according to the present invention, the slider side coupling member 13A and the carrier side coupling member 1 are provided.
3B is connected via an intermediate coupling member 13C, one end of the intermediate coupling member 13C is slidable with respect to the protruding end surface of the slider-side coupling member 13A, and the other end thereof is on the carrier side. Since the spherical projection 13a of the coupling member 13B can be brought into contact with the spherical scale 13a, when the slider 3 is moved in an oblique direction with respect to the longitudinal direction of the main scale 17, or during use of the apparatus, the slider fixing portion and the main scale are not in contact with each other. When the separation distance from 17 changes (parallel deviation), the intermediate coupling member 1
3C has moved, and this intermediate coupling member 13C is always in reliable contact with the carrier-side coupling member 13B.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明に係るスケール装置の好適な実
施例を図面に基づいて説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of a scale device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１２】図１は本例によるスケール装置を示し、こ
のスケール装置は、検出ヘッド５が設けられたスライダ
３と、スライダ３が支持されるスライダ固定部７とを有
している。FIG. 1 shows a scale device according to this embodiment, which has a slider 3 provided with a detection head 5 and a slider fixing portion 7 for supporting the slider 3.
【００１３】検出ヘッド５ではスライダ３が長尺のメイ
ンスケール１７上を移動されたときに、メインスケール
１７に形成された目盛りが検出される構成とされてい
る。The detection head 5 is configured to detect the scale formed on the main scale 17 when the slider 3 is moved on the long main scale 17.
【００１４】なお、メインスケール１７に形成される目
盛りとしては、メインスケール１７の長手方向に沿って
磁気のＮ極、Ｓ極が交互に着磁された方式のもの、光学
式、容量式のもの等が挙げられ、検出ヘッド５は各々の
方式に対応して、例えば磁気ヘッドで構成される。The scales formed on the main scale 17 are of a type in which magnetic N poles and S poles are alternately magnetized along the longitudinal direction of the main scale 17, an optical type, a capacitive type. The detection head 5 is composed of, for example, a magnetic head corresponding to each method.
【００１５】また、スライダ３、メインスケール１７等
は、図２から理解されるように、管状のアルミ製ハウジ
ング１０内に収納され、ハウジング１０には、スライダ
固定部７を移動させるための開口溝１２が形成されてい
る。Further, as understood from FIG. 2, the slider 3, the main scale 17, etc. are housed in a tubular aluminum housing 10, and the housing 10 has an opening groove for moving the slider fixing portion 7. 12 are formed.
【００１６】そして、開口溝１２にはハウジング１０内
に切削油等の侵入防止用部材１２Ａ（ゴム等で形成され
ている）が設けられている。A member 12A (made of rubber or the like) for preventing cutting oil or the like from entering the housing 10 is provided in the opening groove 12.
【００１７】なお、スライダ３は、ベアリング１５、１
５Ａ、２３を介してメインスケール１７と接触され、ベ
アリング１５、１５Ａをメインスケール１７に圧接させ
る押圧バネ１９、ベアリング２３をメインスケール１７
に圧接させるための押圧バネ２１がスライダ固定部７に
各々設けられている。The slider 3 includes bearings 15, 1
The pressure spring 19 and the bearing 23, which are brought into contact with the main scale 17 via 5A and 23 to press the bearings 15 and 15A into pressure contact with the main scale 17,
The slider fixing portion 7 is provided with a pressing spring 21 for press-contacting with each other.
【００１８】そして、スライダ３は、スライダ固定部７
に形成された支持部１１とキャリア９を介してスライダ
固定部７に支持されており、支持部１１とキャリア９と
は、各々押圧バネ２０、カップリング１３によりスライ
ダ３と連結されている。The slider 3 has a slider fixing portion 7
It is supported by the slider fixing portion 7 via a support portion 11 and a carrier 9 formed on the slider 3. The support portion 11 and the carrier 9 are connected to the slider 3 by a pressing spring 20 and a coupling 13, respectively.
【００１９】また、カップリング１３はスライダ３に形
成されたスライダ側カップリング部材１３Ａ、キャリア
９に形成されたキャリア側カップリング部材１３Ｂ、お
よびカップリング部材１３Ａと１３Ｂとの間に介在され
る中間カップリング部材１３Ｃとを有している。The coupling 13 is a slider-side coupling member 13A formed on the slider 3, a carrier-side coupling member 13B formed on the carrier 9, and an intermediate portion interposed between the coupling members 13A and 13B. It has a coupling member 13C.
【００２０】そして、押圧バネ２０がスライダ３をキャ
リア９方向に押圧する押圧力により、カップリング１３
が一体的に連結される構成とされている。The pressing spring 20 presses the slider 3 toward the carrier 9 by the pressing force.
Are integrally connected.
【００２１】ここで、カップリング部材１３Ａはキャリ
ア９と対向可能な位置とされてスライダ３に形成される
一方、カップリング部材１３Ｂはスライダ３が移動され
る方向（メインスケール１７の長手方向）に沿う姿勢と
されてキャリア９から棒状に突出形成されている。Here, the coupling member 13A is formed on the slider 3 at a position where it can be opposed to the carrier 9, while the coupling member 13B is formed in the direction in which the slider 3 is moved (longitudinal direction of the main scale 17). The carrier 9 is formed so as to be in a posture to follow and is formed so as to project from the carrier 9 in a rod shape.
【００２２】また、カップリング部材１３Ｂの突出端部
には球状の凸部１３ａが設けられている。A spherical convex portion 13a is provided on the protruding end of the coupling member 13B.
【００２３】この場合、凸部１３ａはカップリング部材
１３Ｂと一体に形成される場合、カップリング部材１３
Ｂにベアリング等の球状体が取り付けられる場合等が挙
げられる。In this case, when the convex portion 13a is formed integrally with the coupling member 13B, the coupling member 13 is formed.
The case where a spherical body such as a bearing is attached to B is mentioned.
【００２４】そして、カップリング部材１３Ｃがカップ
リング部材１３Ａと対向する端部は、カップリング部材
１３Ｃがカップリング部材１３Ａの突出端面に対して摺
動可能（すなわち、スライダ３が移動される方向に垂直
な平面上で移動可能）とされ、カップリング部材１３Ｃ
の一方端部は、その突出端面に連結されている（第１連
結部）。The end of the coupling member 13C facing the coupling member 13A is slidable with respect to the protruding end surface of the coupling member 13A (that is, in the direction in which the slider 3 is moved). (Movable on a vertical plane), and the coupling member 13C
The one end portion is connected to the protruding end surface (first connecting portion).
【００２５】この場合、カップリング部材１３Ｃがカッ
プリング部材１３Ａの突出端面に対して摺動可能とする
構成としては、両部材の間にベアリングが介裝される方
式などが挙げられる。In this case, as the structure in which the coupling member 13C is slidable with respect to the projecting end face of the coupling member 13A, there may be mentioned a system in which a bearing is interposed between the two members.
【００２６】次に、カップリング部材１３Ｃの他方端部
には円錐状凹面の第２連結部（以下、凹部と称する）１
３ｂが形成されており、カップリング部材１３Ｂの凸部
１３ａが凹部１３ｂ内に圧接されることにより、両カッ
プリング部材１３Ｂ、１３Ｃとが各々連結される。Next, at the other end of the coupling member 13C, a second conical portion having a conical concave surface (hereinafter referred to as a concave portion) 1 is formed.
3b is formed, and the convex portion 13a of the coupling member 13B is pressed into the concave portion 13b, whereby the coupling members 13B and 13C are connected to each other.
【００２７】この場合、中間カップリング部材１３Ｃの
凹部１３ｂとキャリア側カップリング部材１３Ｂ端部の
球状凸部１３ａとは押圧バネ２０により常に接触し、接
触部はそれぞれ内接・外接しその接触部は略円形１３ｓ
の線接触となる。中間カップリング部材１３Ｃの凹部１
３ｂの内接円１３ｓの内側に相当する部分に、図６、図
７Ａに示す如く円筒状の貫通孔１３ｈを設ける。この貫
通孔１３ｈとして図７Ｂに示す如く複数個例えば３個設
けても良いし、図７Ｃに示す如く角柱状例えば四角柱状
であっても良い。またこのカップリング部材１３Ｃが図
７Ｄに示す如く四角柱状であっても良い。In this case, the concave portion 13b of the intermediate coupling member 13C and the spherical convex portion 13a at the end of the carrier side coupling member 13B are always in contact with each other by the pressing spring 20, and the contact portions are inscribed and circumscribed respectively. Is approximately 13s
Line contact. Recess 1 of the intermediate coupling member 13C
A cylindrical through hole 13h is provided in a portion corresponding to the inside of the inscribed circle 13s of 3b, as shown in FIGS. 6 and 7A. As the through holes 13h, a plurality of holes, for example, three holes may be provided as shown in FIG. 7B, or a prismatic shape, for example, a quadrangular prismatic shape, as shown in FIG. 7C. Further, the coupling member 13C may have a quadrangular prism shape as shown in FIG. 7D.
【００２８】この貫通孔１３ｈの空洞及び中間カップリ
ング部材１３Ｃの凹部１３ｂとキャリアカップリング部
材１３Ｂの球状凸部１３ａとの接触部略内側部分にグリ
ース等の粘性の高い潤滑材２４を蓄える如くする。この
ようにすることによりスライダカップリング部材１３Ａ
と中間カップリング部材１３Ｃとキャリア側カップリン
グ部材１３Ｂとが押圧バネ２０により接し組合わさると
きに、グリースは各カップリング部材の接触面内に略密
封される。よって、各カップリングの接触面に常に潤滑
材２４が接触することにより、各カップリング間の接触
抵抗を減らすことができ、常にカップリングは理想的に
動作する。A highly viscous lubricant 24, such as grease, is stored in the cavity of the through hole 13h and a substantially inner portion of the contact portion between the concave portion 13b of the intermediate coupling member 13C and the spherical convex portion 13a of the carrier coupling member 13B. .. By doing so, the slider coupling member 13A
When the intermediate coupling member 13C and the carrier-side coupling member 13B are brought into contact with each other by the pressing spring 20 and combined with each other, the grease is substantially sealed in the contact surface of each coupling member. Therefore, since the lubricant 24 is always in contact with the contact surface of each coupling, the contact resistance between the couplings can be reduced, and the coupling always operates ideally.
【００２９】またこの場合、凸部１３ａの外周側面と、
凹部１３ｂの内周側面とは内接円１３ｓの線接触される
構成とされているので、凸部１３ａと凹部１３ｂとの単
位面積当たりの圧力が小さくなる。Further, in this case, the outer peripheral side surface of the convex portion 13a,
Since the inner peripheral side surface of the concave portion 13b is in line contact with the inscribed circle 13s, the pressure per unit area between the convex portion 13a and the concave portion 13b becomes small.
【００３０】従って、凸部１３ａと凹部１３ｂとの摩耗
が極めて小さく、耐久性が向上される結果、精度の高い
連結状態が安定して維持される。Therefore, the abrasion between the convex portion 13a and the concave portion 13b is extremely small, and the durability is improved. As a result, the highly accurate connected state is stably maintained.
【００３１】なお、凹部１３ｂとしては、カップリング
部材１３Ｃに円錐状凹面を形成する他に、カップリング
部材１３Ｃにリング状部材を設ける方法等が挙げられ
る。As the concave portion 13b, a method of forming a conical concave surface on the coupling member 13C or a method of providing a ring-shaped member on the coupling member 13C can be mentioned.
【００３２】また、カップリング部材１３Ｃがカップリ
ング部材１３Ａ、１３Ｂと対向する位置に、各々スラス
トベアリング、ピボット軸受が設けられる構成も好適で
ある。It is also preferable that a thrust bearing and a pivot bearing are provided at positions where the coupling member 13C faces the coupling members 13A and 13B, respectively.
【００３３】以上のように構成されたスケール装置で
は、図３から理解されるように、装置のスライダ固定部
７（キャリア９）がメインスケール１７に対して角度α
だけ傾斜した場合、押圧バネ２０の可撓性により、支持
部１１はその位置がずれるが、凹部１３ｂと凸部１３ａ
とが確実に連結されているので、スライダ３はメインス
ケール１７に対して適正な姿勢で保持される。In the scale device constructed as described above, as can be understood from FIG. 3, the slider fixing portion 7 (carrier 9) of the device makes an angle α with respect to the main scale 17.
When it is tilted only, the position of the supporting portion 11 is displaced due to the flexibility of the pressing spring 20, but the concave portion 13b and the convex portion 13a are displaced.
And are reliably connected, the slider 3 is held in an appropriate posture with respect to the main scale 17.
【００３４】また、図４から理解されるように、スライ
ダ固定部７がメインスケール１７から図中Ｐ方向へ移動
（平行偏差；通常の離間位置よりもメインスケール１７
から離間した位置となった）場合、カップリング部材１
３Ｃがスライダ固定部７の移動距離に対応する距離Ｘだ
け移動される。加えて、凸部１３ａと凹部１３ｂとの連
結も確実に維持されるため、スライダ３はメインスケー
ル１７に対して適正な姿勢で保持される。Further, as can be seen from FIG. 4, the slider fixing portion 7 moves from the main scale 17 in the P direction in the figure (parallel deviation;
The position away from the coupling member 1)
3C is moved by a distance X corresponding to the moving distance of the slider fixing portion 7. In addition, the connection between the convex portion 13a and the concave portion 13b is reliably maintained, so that the slider 3 is held in an appropriate posture with respect to the main scale 17.
【００３５】さらに、図５から理解されるように、メイ
ンスケール１７が所定の姿勢位置（図中、２点鎖線で示
されている）から角度βだけ傾いている場合には、押圧
バネ２０、カップリング部材１３Ｂが移動してその傾き
が修正される結果、スライダ３は適正な姿勢で保持され
ている。なお、検出誤差をΔε、メインスケール１７の
変位量をＹとした場合、誤差Δε＝Ｙｔａｎβとなる。Further, as will be understood from FIG. 5, when the main scale 17 is tilted by an angle β from a predetermined posture position (shown by a chain double-dashed line in the figure), the pressing spring 20, As a result of the coupling member 13B moving and its inclination being corrected, the slider 3 is held in a proper posture. When the detection error is Δε and the displacement amount of the main scale 17 is Y, the error Δε = Ytan β.
【００３６】以上説明したようにこの実施例では、スラ
イダ３が押圧バネ２０、カップリング部材１３Ａ、１３
Ｂ、１３Ｃを介してスライダ固定部７に取り付けられて
いる。従って、スケール装置の取付誤差、部品公差、あ
るいは組立誤差等に起因して、スライダ３がメインスケ
ール１７に対して斜め方向に移動された場合、あるいは
平行偏差が生じた場合にも、スライダ３が常時メインス
ケール１７に対して適正な姿勢で保持される。As described above, in this embodiment, the slider 3 includes the pressing spring 20 and the coupling members 13A and 13A.
It is attached to the slider fixing portion 7 via B and 13C. Therefore, even if the slider 3 is moved in an oblique direction with respect to the main scale 17 or a parallel deviation occurs due to an attachment error of the scale device, a component tolerance, an assembly error, or the like, the slider 3 will not move. The main scale 17 is always held in a proper posture.
【００３７】すなわち、取付誤差、部品公差あるいは組
立誤差等に起因する検出精度誤差が修正されるととも
に、キャリア９とスライダ３との間で伝達される力が高
精度に維持される結果、極めて精度の高い測定が可能と
なる。尚、本発明は上述実施例に限ることなく本発明の
要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得る
ことは勿論である。That is, the detection accuracy error due to the mounting error, the component tolerance or the assembly error is corrected, and the force transmitted between the carrier 9 and the slider 3 is maintained with high accuracy. Higher measurement is possible. The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that various other configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.
【００３８】[0038]
【発明の効果】以上の説明で理解されるように、この発
明に係るスケール装置では、スライダ側カップリング部
材とキャリア側カップリング部材とが中間カップリング
部材を介して連結され、中間カップリング部材の一方端
部はスライダ側カップリング部材の突出端面に対して摺
動可能とされるとともに、他方端部はキャリア側カップ
リング部材の球状凸部に接触可能とされている。As can be understood from the above description, in the scale device according to the present invention, the slider side coupling member and the carrier side coupling member are connected via the intermediate coupling member, and the intermediate coupling member is formed. One end is slidable on the protruding end surface of the slider-side coupling member, and the other end is slidable on the spherical projection of the carrier-side coupling member.
【００３９】従って、取付誤差、部品公差、あるいは組
立誤差等に起因して、スライダがメインスケールの長手
方向に対して斜め方向に移動された場合、あるいは装置
の使用中にスライダ固定部とメインスケールとの離間距
離が変化した場合（平行偏差）には、中間カップリング
部材が移動し、かつ中間カップリング部材は常時キャリ
ア側カップリング部材と確実に接触されている。Therefore, when the slider is moved in an oblique direction with respect to the longitudinal direction of the main scale due to an attachment error, a component tolerance, an assembly error, or the like, or during use of the apparatus, the slider fixing portion and the main scale are in contact with each other. When the separation distance from and changes (parallel deviation), the intermediate coupling member moves, and the intermediate coupling member is always reliably in contact with the carrier-side coupling member.
【００４０】その結果、取付誤差、部品公差、あるいは
組立誤差等に起因する検出精度誤差が修正されるととも
に、キャリアとスライダとの間で伝達される力が高い精
度となるので、極めて精度の高い測定が可能となる。As a result, the detection accuracy error due to the mounting error, the component tolerance, the assembly error, etc. is corrected, and the force transmitted between the carrier and the slider becomes highly accurate, so that the accuracy is extremely high. It becomes possible to measure.
【図１】本発明に係るスケール装置の好適な実施例の構
成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a preferred embodiment of a scale device according to the present invention.
【図２】図１におけるII矢視を示す構成説明図である。FIG. 2 is a structural explanatory view showing an arrow II in FIG.
【図３】スライダ固定部が傾いた状態の説明図である。FIG. 3 is an explanatory view of a state where a slider fixing portion is tilted.
【図４】平行偏差が生じた状態の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a state where parallel deviation occurs.
【図５】メインスケールが傾いた状態の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a state where the main scale is tilted.
【図６】本発明の要部の例の拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of an example of a main part of the present invention.
【図７】図６のＡ−Ａ線断面図である。7 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
１ スケール装置 ３ スライダ ７ スライダ固定部 ９ キャリア １３Ａ スライダ側カップリング部材 １３Ｂ キャリア側カップリング部材 １３Ｃ 中間カップリング部材 １３ａ 凸部 １３ｂ 凹部 １３ｈ 貫通孔 １３ｓ 内接円 ２０ 押圧バネ ２４ 潤滑材 1 Scale Device 3 Slider 7 Slider Fixing Part 9 Carrier 13A Slider Side Coupling Member 13B Carrier Side Coupling Member 13C Intermediate Coupling Member 13a Projection 13b Recess 13h Through Hole 13s Inscribed Circle 20 Pressing Spring 24 Lubricant
Claims (2)
イダに突出形成されたスライダ側カップリング部材と、 前記スライダの移動方向に沿う姿勢とされて前記キャリ
アに突出形成され、該突出端部に球状凸部が設けられた
キャリア側カップリング部材と、 前記キャリア側カップリング部材の突出方向に沿う一方
端部に前記スライダ側カップリング部材の突出端面上を
摺動可能とされた第１連結部が設けられると共に、他方
端部に前記球状凸部の外周側面と接触可能とされた凹状
の第２連結部が各々設けられ、前記スライダ側カップリ
ング部材とキャリア側カップリング部材との間に介在さ
れる中間カップリング部材と、 を有することを特徴とするスケール装置。1. A slider-side coupling member projectingly formed on a slider at a position where it can face a carrier, and a projection formed on the carrier in a posture along the moving direction of the slider, at the projecting end portion. A carrier-side coupling member provided with a spherical convex portion, and a first connecting portion slidable on the protruding end face of the slider-side coupling member at one end portion along the protruding direction of the carrier-side coupling member. And a second concave connecting portion that is capable of contacting the outer peripheral side surface of the spherical convex portion is provided at the other end, and is interposed between the slider-side coupling member and the carrier-side coupling member. And an intermediate coupling member that is formed.
リア側カップリング部材の端部球状凸部の外周側面と接
触する内接円の略内側に、少なくとも１か所の貫通部を
有することを特徴とする請求項１に記載のスケール装
置。2. A concave portion of the intermediate coupling member, which has at least one penetrating portion substantially inside an inscribed circle that comes into contact with an outer peripheral side surface of an end spherical convex portion of the carrier-side coupling member. The scale device according to claim 1, wherein the scale device is a scale device.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7800191 | 1991-04-10 | ||
| JP3-78001 | 1991-04-10 |
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| JP3019585B2 JP3019585B2 (en) | 2000-03-13 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3019585B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013234978A (en) * | 2012-05-11 | 2013-11-21 | Mori Seiki Co Ltd | Scale device |
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| EP2056074A3 (en) * | 2007-10-31 | 2016-01-13 | Mori Seiki Co., Ltd. | Position detector |
-
1992
- 1992-03-03 JP JP04045738A patent/JP3019585B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3019585B2 (en) | 2000-03-13 |
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