JPH0582518U - Stamper holder for optical disk substrate molding - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】成形基板におけるバンプの発生を防ぎ、それに
よって１枚のスタンパーで成形できる基板枚数を増やす
ことが可能になるスタンパー押さえを得る。 【構成】光ディスク基板を成形するためのスタンパー５
は、外周側用スタンパー押さえ７と内周側用スタンパー
押さえ８とによって、可動側金型２に押さえつけて固定
される。その際、外周側用スタンパー押さえ７と内周側
用スタンパー押さえ８とには、雰囲気の流通を遮断する
部材として、フッ素樹脂製のＯリング９と１０およびフ
ッ素樹脂製の円環状シート１１を設ける。 (57) [Abstract] [Purpose] To obtain a stamper presser capable of preventing the occurrence of bumps on a molded substrate and thereby increasing the number of substrates that can be molded by one stamper. [Structure] Stamper 5 for molding optical disk substrate
Is pressed and fixed to the movable mold 2 by the outer stamper holder 7 and the inner stamper holder 8. At this time, the outer peripheral side stamper holder 7 and the inner peripheral side stamper holder 8 are provided with fluororesin O-rings 9 and 10 and a fluororesin circular ring-shaped sheet 11 as members for blocking the circulation of the atmosphere. .

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、光ディスク基板成形用のスタンパーを金型に押しつけて固定する際 に用いるスタンパー押さえに関する。 The present invention relates to a stamper holder used when a stamper for molding an optical disk substrate is pressed against a mold and fixed.

【０００２】[0002]

【従来の技術】[Prior Art]

近年、情報記録媒体として、再生専用のコンパクトディスクやビデオディスク 、追記可能な光ディスク、更に記録再生や消去可能な光磁気記録ディスク、相変 化型ディスク等が利用されている。 In recent years, compact discs and video discs dedicated to reproduction, recordable optical discs, magneto-optical recording discs capable of recording / reproducing and erasing, phase-change discs, etc. have been used as information recording media.

【０００３】 これらディスクの基板は、生産性の面からポリカーボネート樹脂などプラステ ィック材料の射出成形や射出圧縮成形法により製造されていることが多い。これ らの方法では、２つの金型で空隙を形成し、そこに溶融樹脂を流し込むことによ って基板を成形している。このとき金型の１つには、スタンパーと呼ばれる成形 基板の型が取りつけられる。このスタンパーの片面には、成形基板に必要な情報 を転写して形成するための記録部が、基板の外周辺縁部と内周辺縁部を除く部分 に円環状に形成されている。記録部以外の外周辺縁部と内周辺縁部は、非記録部 となっている。From the viewpoint of productivity, the substrates of these disks are often manufactured by injection molding or injection compression molding of a plastic material such as polycarbonate resin. In these methods, a void is formed by two molds, and a molten resin is poured into the void to mold the substrate. At this time, a mold of a molded substrate called a stamper is attached to one of the molds. On one surface of the stamper, a recording portion for transferring and forming necessary information on the molded substrate is formed in an annular shape at a portion except the outer peripheral edge portion and the inner peripheral edge portion of the substrate. The outer peripheral edge and the inner peripheral edge other than the recording area are non-recording areas.

【０００４】 そして、長時間の連続成形を行ってもスタンパーの移動が起こらないように、 スタンパーの金型への固定にスタンパー押さえが用いられる。スタンパー押さえ は、内周側と外周側のスタンパー非記録部における円環状の範囲で、スタンパー を金型に押さえつける形で使用される。またスタンパーを固定する金型において 、スタンパーとの当たり面に設けた穴から排気を行い、金型／スタンパー間で減 圧状態を作り出して、これによって保持をさらに確実にすることなども行われる 。A stamper retainer is used to fix the stamper to the mold so that the stamper does not move even if it is continuously molded for a long time. The stamper retainer is used in such a manner that the stamper is pressed against the die in the annular area in the non-recording area of the stamper on the inner and outer circumference sides. In addition, in the die that fixes the stamper, exhaust is performed from the hole provided on the contact surface with the stamper, and a reduced pressure state is created between the die and stamper, which further secures the holding.

【０００５】[0005]

【考案が解決しようとする課題】 上記の方法を用いることで、数週間に渡る連続成形においてもスタンパーの移 動や回転は生じないが、成形枚数が進むにつれて成形された基板表面のまずは外 周部や内周部の非記録部に、バンプと呼ばれる微少凹凸が生じるようになる。そ して成形枚数がさらに増えると、バンプは次第に大きく深くなると共に非記録部 に挟まれた記録部にも発生してくる。このバンプの発生は、スタンパーを新しい ものに取り替えるまでおさまることがない。[Problems to be Solved by the Invention] By using the method described above, the stamper does not move or rotate even during continuous molding for several weeks, but as the number of molded plates increases, the outer circumference of the surface of the molded substrate is first observed. Fine irregularities called bumps are formed in the non-recording portion of the inner portion and the inner peripheral portion. Then, as the number of molded sheets increases, the bumps gradually become larger and deeper and also appear in the recording area sandwiched between the non-recording areas. The occurrence of this bump does not subside until the stamper is replaced with a new one.

【０００６】 このようなバンプの生じた基板を用いて形成した光記録媒体では、エラーレー トが大きくなったり機械特性が悪化してしまう。このため、バンプが発生すると それ以上は同じスタンパーを用いて基板を成形することができなくなり、１枚の スタンパーで成形できる基板の数が限られてしまうという課題があった。In an optical recording medium formed using a substrate having such bumps, the error rate becomes large and the mechanical characteristics deteriorate. For this reason, if bumps occur, it is impossible to mold substrates using the same stamper any more, and there is a problem that the number of substrates that can be molded with one stamper is limited.

【０００７】 本考案は、かかる現状に鑑みなされたものであり、基板成形におけるバンプの 発生を防ぎ、１枚のスタンパーで成形できる基板の枚数を増やすことができるス タンパー押さえを得ることを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to obtain a stamper presser capable of preventing the occurrence of bumps in the molding of substrates and increasing the number of substrates that can be molded by one stamper. To do.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案にかかる光ディスク基板成形用のスタンパー押さえは、光ディスク基板 成形用のスタンパーを金型に押さえつけて固定するためのスタンパー押さえにお いて、少なくともスタンパー外周側との接触部に、雰囲気の流通を遮断する部材 が設けられていることを特徴としている。 The stamper holder for molding an optical disk substrate according to the present invention is a stamper holder for fixing a stamper for molding an optical disk substrate to a mold by fixing the stamper holder. It is characterized in that it is provided with a member.

【０００９】 本考案者は前述した課題点の原因解明について鋭意検討した結果、上記バンプ はスタンパーの裏面に、基板成形材料に用いたポリマーが付着することによりス タンパーが変形し、変形したスタンパー表面形状が基板表面に反映されているこ とを見いだした。そしてさらに、このポリマーの付着は、金型／スタンパー／ス タンパー押さえ間での雰囲気の遮断が不十分であるため、雰囲気中に存在するポ リマー蒸気が金型周辺の雰囲気と共に、スタンパー／スタンパー押さえ間の隙間 を通って金型／スタンパー間に入り込み、それがまず内周部と外周部の非記録部 に凝縮し始め、次第に内側の記録部にまで至ることに基因していることを突き止 めた。As a result of diligent study on the cause of the above-mentioned problems, the present inventor has found that the bump deforms the stamper due to the polymer used for the substrate molding material adhering to the back surface of the stamper. We found that the shape was reflected on the substrate surface. Furthermore, because of the insufficient adhesion of the polymer between the mold / stamper / stamper press, the polymer vapor present in the atmosphere is not only blocked by the atmosphere around the mold but also the stamper / stamper press. It is found that it is caused by the fact that it enters between the mold and the stamper through the gap between them, and that it first begins to condense in the inner and outer non-recording areas and gradually reaches the inner recording area. I have

【００１０】 この発見に基づき、スタンパー／スタンパー押さえ間の雰囲気遮断を十分に行 うことでスタンパー／金型間にポリマー蒸気が入り込むことを防ぎ、スタンパー 裏面にポリマーの付着が起こらないようにして、１枚のスタンパーで成形できる 枚数を飛躍的に延ばせると考え、本考案に到達した。Based on this discovery, by sufficiently blocking the atmosphere between the stamper / stamper holder, it is possible to prevent the polymer vapor from entering between the stamper / die and prevent the polymer from adhering to the back surface of the stamper. We have reached the present invention by thinking that the number of sheets that can be molded with one stamper can be dramatically extended.

【００１１】 バンプ発生は基板の内周及び外周の端部から発生する。ところで通常の基板に おいては、記録部を挟み込む形で外周部側と内周部側とに非記録部が設けられて いる。それら非記録部は、外周側では幅が数ｍｍ程度しかないが、内周側では外 周側より広い幅となっている。従って多量の基板を成形するためには、特に外周 側からのバンプ発生を防止することが有効である。スタンパーは、通常内周側、 外周側別個にスタンパー押さえによって固定されるが、この理由で本考案のスタ ンパー押さえを少なくとも外周側に用いることが必要である。内周側にも使用す ればなお一層好ましいことは言うまでもない。Bumps are generated from the inner and outer ends of the substrate. By the way, in a normal substrate, a non-recording portion is provided on the outer peripheral side and the inner peripheral side so as to sandwich the recording portion. The non-recording portions have a width of only a few mm on the outer peripheral side, but are wider on the inner peripheral side than on the outer peripheral side. Therefore, in order to mold a large number of substrates, it is effective to prevent the bumps from being generated especially from the outer peripheral side. The stamper is usually fixed by the stamper retainer separately on the inner peripheral side and the outer peripheral side, but for this reason, it is necessary to use the stamper retainer of the present invention at least on the outer peripheral side. It goes without saying that it is even more preferable to use it on the inner peripheral side.

【００１２】 本考案の特徴は、スタンパー押さえとスタンパーとの接触部に、雰囲気の流通 を遮断する部材を設けることであるが、従来のスタンパー押さえにおいても、ネ ジなどで締めることによりスタンパー押さえとスタンパーはマクロ的には接触し ていた。しかし、ニッケル、ステンレスなどの比較的硬い材料間の接触であるた め、その表面平滑性の不充分さとも相まって、雰囲気の通り抜けは容易であった 。そこで本考案の雰囲気流通遮断用の部材としては、ゴム弾性を示すプラスティ ックや、銅、しんちゅう、銀、金、アルミニウム等の比較的柔らかい金属材料を 用いることが好ましい。中でも、高いゴム弾性を示す材料が雰囲気の遮断性が優 れている点から好ましい。その点からは、プラスチック系のゴム弾性材料が好ま しい。A feature of the present invention is that a member for blocking the circulation of the atmosphere is provided at the contact portion between the stamper retainer and the stamper. However, even in the conventional stamper retainer, the stamper retainer can be secured by tightening with a screw or the like. The stampers were in macro contact. However, due to the contact between relatively hard materials such as nickel and stainless steel, it was easy to pass through the atmosphere due to insufficient surface smoothness. Therefore, it is preferable to use a plastic exhibiting rubber elasticity or a relatively soft metal material such as copper, brass, silver, gold and aluminum as the member for blocking the atmosphere flow of the present invention. Among them, a material having high rubber elasticity is preferable because it has an excellent atmosphere barrier property. From this point of view, a plastic rubber elastic material is preferable.

【００１３】 そして金型などは、使用目的によって１００℃以上の温度で使用する場合もあ るため、雰囲気遮断用部材としては耐熱性の高い材料であることが好ましい。そ の点ではプラスチック系のゴム弾性材料の中でも、シリコンゴムとフッソ樹脂系 ゴムが好ましい。そしてこれらの中でも、ガス透過性がより低いフッ素樹脂系ゴ ムが好ましい。Since the mold and the like may be used at a temperature of 100 ° C. or higher depending on the purpose of use, it is preferable that the atmosphere blocking member is made of a material having high heat resistance. From this point of view, among the rubber elastic materials of plastic type, silicone rubber and fluorine resin type rubber are preferable. Among these, fluororesin rubber having a lower gas permeability is preferable.

【００１４】 これら雰囲気流通遮断用部材は、スタンパーとスタンパー押さえとの接触面に おいて、その全面にシートの形で張り付けられていたり、あるいはコーティング の形で設けられていても良い。またリング状に接触面の一部に設けられても良い 。These atmosphere flow blocking members may be attached to the entire surface of the contact surface between the stamper and the stamper retainer in the form of a sheet, or may be provided in the form of a coating. It may also be provided in a ring shape on a part of the contact surface.

【００１５】 一般的に、雰囲気流通遮断用部材は一部に設けられている方がスタンパー押さ えを締めつけたときにそこに大きな力が加わることになり、雰囲気遮断の効果が 大きくなり好ましい。そしてリング状に接触面の一部に設けられている場合、そ の断面形状が円、楕円のような丸状の方が、スタンパーとの接触が連続的な線状 になるため大きな雰囲気遮断の効果をもたらし一層好ましい。In general, it is preferable that a part of the atmosphere flow blocking member is provided with a large force when the stamper retainer is tightened, and the effect of blocking the atmosphere is increased. If it is provided in a part of the contact surface in a ring shape, a circular shape such as a circle or an ellipse in cross section makes a continuous linear contact with the stamper, so that a large atmosphere can be prevented. It brings about an effect and is more preferable.

【００１６】 リング状の雰囲気流通遮断用部材を用いる場合には、スタンパー押さえ側の表 面に、雰囲気流通遮断用部材の位置がずれないようにするための、Ｕ字型、Ｖ字 型、凹型などの形状の溝を設けることが好ましい。When a ring-shaped atmosphere circulation blocking member is used, a U-shaped, V-shaped, or concave shape is formed on the surface of the stamper pressing side so as not to shift the position of the atmosphere circulation blocking member. It is preferable to provide a groove having such a shape.

【００１７】 なお外周側のスタンパー押さえが可動側金型と直に接触する部分、あるいは２ つの金型が結合した状態にて外周側のスタンパー押さえが固定側金型と直に接触 するような部分にも、必要に応じて雰囲気流通遮断用部材としてＯリングを設け ても良い。そしてこのとき、金型間の空隙部に樹脂が導入される前に空隙部を真 空引きするタイプの成形機では、外周側のスタンパー押さえが固定側金型と直に 接触するような部分に、Ｏリングを設けることが好ましい。また樹脂導入によっ て空隙部の空気が押し出されるタイプのものでは、固定側金型と直に接触するよ うな部分には設けないことが好ましい。It should be noted that the outer peripheral side stamper retainer is in direct contact with the movable mold, or the outer peripheral stamper retainer is in direct contact with the fixed mold when the two molds are combined. Also, an O-ring may be provided as a member for blocking the circulation of the atmosphere, if necessary. At this time, in a molding machine of a type in which the voids are vacuum drawn before the resin is introduced into the voids between the molds, the stamper holder on the outer peripheral side is directly contacted with the fixed mold. , O-rings are preferably provided. Further, in the case of the type in which the air in the void is pushed out by the introduction of the resin, it is preferable not to provide it in the part which comes into direct contact with the fixed side mold.

【００１８】 本考案における光ディスク用基板とは、再生専用のコンパクトディスクやビデ オディスク、追記可能な光ディスク、更に記録、再生、消去の繰り返し可能な光 磁気記録、相変化型ディスク等、レーザー等の光を用いた記録媒体用の基板を意 味する。なかでも、情報の記録密度が高く基板の変形等に影響を受けやすい光磁 気記録媒体に好適に用いられる。The optical disk substrate in the present invention means a read-only compact disk, a video disk, a write-once optical disk, a magneto-optical recording capable of repeating recording, reproducing and erasing, a phase change type disk, a laser, etc. A substrate for a recording medium that uses light. Among them, it is suitably used for a magneto-optical recording medium which has a high information recording density and is easily affected by the deformation of the substrate.

【００１９】[0019]

【実施例】【Example】

図１は、本考案の一実施例によるスタンパー押さえを取りつけた、光ディスク 基板成形装置における成形部分の概略断面図である。図中、１は固定側金型、２ は可動側金型、３は固定側金型１と可動側金型２との間に形成された空隙、４は 基板材料を空隙３に射出するための導入路、５は可動側金型２に取りつけられた スタンパー、６は成形基板に所定パターンを転写するためにスタンパー５に設け られた記録部、７はスタンパー５の外周側用スタンパー押さえ、８はスタンパー ５の内周側用スタンパー押さえ、９と１０はフッ素樹脂製のＯリング、１１はフ ッ素樹脂製の円環状シートである。なお装置構成の理解を助けるため、図１は寸 法比を部分的に誇張して作成してある。 FIG. 1 is a schematic sectional view of a molding portion in an optical disk substrate molding apparatus to which a stamper holder according to an embodiment of the present invention is attached. In the figure, 1 is a fixed-side mold, 2 is a movable-side mold, 3 is a space formed between the fixed-side mold 1 and the movable-side mold 2, and 4 is for injecting a substrate material into the space 3. Introducing path, 5 is a stamper attached to the movable-side mold 2, 6 is a recording portion provided on the stamper 5 for transferring a predetermined pattern to a molding substrate, 7 is a stamper presser for the outer peripheral side of the stamper 5, and 8 Is a stamper for the inner peripheral side of the stamper 5, 9 and 10 are O-rings made of fluorine resin, and 11 is an annular sheet made of fluorine resin. In addition, in order to help understanding of the device configuration, FIG. 1 is created by partially exaggerating the dimension ratio.

【００２０】 本考案によるスタンパー押さえの効果を確認するため、次のようにして連続基 板成形を行い、成形基板におけるバンプ発生状況を観測した。In order to confirm the effect of pressing the stamper according to the present invention, continuous substrate molding was performed as follows, and the occurrence of bumps on the molded substrate was observed.

【００２１】 基板を成形するための装置としては、射出圧縮型成形装置を用いた。この射出 圧縮型成形装置には、固定側金型１と可動側金型２とが設けられており、この２ つの金型の間で空隙３が形成される構成になっている。加熱溶融された基板材料 は、導入路４を通って空隙３に射出される。するとその射出圧力により可動側金 型２が動いて、２つの金型の間が所定寸法だけ開く。その後開いた金型間を圧縮 して、その圧力により金型間の基板材料が押し広げられて基板の成形が行われる 。An injection compression molding apparatus was used as an apparatus for molding the substrate. The injection compression molding apparatus is provided with a fixed mold 1 and a movable mold 2, and a gap 3 is formed between the two molds. The heated and melted substrate material is injected into the void 3 through the introduction path 4. Then, the injection pressure causes the movable mold 2 to move, and the space between the two molds opens by a predetermined dimension. After that, the open molds are compressed, and the pressure spreads the substrate material between the molds to form the substrate.

【００２２】 このとき可動側金型２には、外周側用スタンパー押さえ７と内周側用スタンパ ー押さえ８とによってスタンパー５が固定されている。スタンパー５には、所定 のパターンが記録部６として設けられており、基板成形の際にそのパターンが基 板の記録部に転写されることになる。At this time, the stamper 5 is fixed to the movable mold 2 by the outer peripheral side stamper presser 7 and the inner peripheral side stamper presser 8. The stamper 5 is provided with a predetermined pattern as the recording portion 6, and the pattern is transferred to the recording portion of the base plate when the substrate is molded.

【００２３】 成形する基板は、外周の直径が１３０ｍｍで内周の直径が１５ｍｍの円環形状 をしており、その厚みは１．２ｍｍのものである。そして基板材料としては、ポ リカーボネート樹脂を用いた。The substrate to be molded has an annular shape with an outer diameter of 130 mm and an inner diameter of 15 mm, and its thickness is 1.2 mm. Polycarbonate resin was used as the substrate material.

【００２４】 これに対してスタンパー５は、外周の直径が１４５ｍｍで内周の直径が３５ｍ ｍの円環形状をしており、その厚みは３００μｍである。そして基板を成形する 側の面には、成形する基板に必要なパターンを転写するための記録部６が、直径 １２０ｍｍ以内から直径６０ｍｍ以上の範囲に円環状に形成されている。このス ンパー５には、材料がニッケルのものを用いた。On the other hand, the stamper 5 has an annular shape with an outer diameter of 145 mm and an inner diameter of 35 mm, and its thickness is 300 μm. A recording portion 6 for transferring a pattern required for the substrate to be molded is formed in an annular shape in a range from 120 mm in diameter to 60 mm or more in diameter on the surface on which the substrate is molded. The material for this damper 5 was nickel.

【００２５】 外周側用スタンパー押さえ７は、スタンパー５の外周側から直径１３０ｍｍま での円環状の範囲で、スタンパー５を可動側金型２に押さえつける構造となって いる。一方内周側用スタンパー押さえ８は、スタンパー５の内周側から直径４０ ｍｍまでの円環状の範囲で、スタンパー５を可動側金型２に押さえつける構造と なっている。The outer-peripheral-side stamper presser 7 has a structure in which the stamper 5 is pressed against the movable-side mold 2 within an annular range up to a diameter of 130 mm from the outer peripheral side of the stamper 5. On the other hand, the inner-peripheral-side stamper presser 8 has a structure in which the stamper 5 is pressed against the movable-side die 2 within an annular range having a diameter of 40 mm from the inner peripheral side of the stamper 5.

【００２６】 雰囲気遮断用部材としては、外周側用スタンパー押さえ７にはフッ素樹脂製の Ｏリング９と１０を使用した。また内周側用スタンパー押さえ８にはフッ素樹脂 製の円環状シート１１を使用した。O-rings 9 and 10 made of fluororesin were used for the stamper holder 7 for the outer peripheral side as the atmosphere blocking member. An annular sheet 11 made of fluororesin was used for the stamper holder 8 for the inner peripheral side.

【００２７】 ここで雰囲気遮断用部材を設ける外周側用スタンパー押さえ７としては、スタ ンパーとの接触部および可動側金型との接触部とに、Ｏリング９と１０とを取り 付ける構造とし、その際にはＯリング取りつけ用溝を設けたものを用いた。Here, the outer peripheral side stamper retainer 7 provided with the atmosphere blocking member has a structure in which the O-rings 9 and 10 are attached to the contact portion with the stamper and the contact portion with the movable mold, respectively. At that time, an O-ring mounting groove was used.

【００２８】 そして実施例１としては、内周側と外周側の両方のスタンパー押さえに前述の 雰囲気遮断用部材を設けた。さらに実施例２としては、外周側のスタンパー押さ えにだけ雰囲気遮断用部材を設けた。In Example 1, the atmosphere blocking member is provided on both the inner and outer stamper holders. Further, in Example 2, an atmosphere blocking member was provided only on the outer side of the stamper holder.

【００２９】 一方比較例１としては、内周側のスタンパー押さえにだけ雰囲気遮断用部材を 設けた。さらに比較例２としては、内周側と外周側の両方のスタンパー押さえに 雰囲気遮断用部材を設けなかった。On the other hand, in Comparative Example 1, the atmosphere blocking member was provided only on the stamper holder on the inner peripheral side. Further, as Comparative Example 2, no atmosphere blocking member was provided on both the inner and outer stamper holders.

【００３０】 上記の条件によって基板の連続成形を行った。連続成形は、上限を３０，００ ０枚として基板の記録部にバンプの発生が確認されるまで行った。その際、１， ０００枚ごとにサンプルを抜き出して、基板へのバンプ発生状況の確認を水銀ラ ンプの透過光による目視観測で行った。その際、基板を内周側と外周側とに区分 けし、さらにそれらを非記録部と記録部とに区分けしバンプ発生状況を記録した 。その結果を表１に示す。The substrate was continuously molded under the above conditions. The continuous molding was performed until the generation of bumps was confirmed in the recording portion of the substrate with the upper limit of 30,000 sheets. At that time, a sample was taken out every 1,000 sheets, and the state of bump generation on the substrate was confirmed by visual observation with the transmitted light of the mercury lamp. At that time, the substrate was divided into an inner peripheral side and an outer peripheral side, and they were further divided into a non-recording area and a recording area to record the bump occurrence state. The results are shown in Table 1.

【００３１】 表１に示すとおり、雰囲気遮断用部材を内周側と外周側の両方のスタンパー押 さえに設けた実施例１の場合には、３０，０００枚でもバンプの発生は観測され なかった。As shown in Table 1, in the case of Example 1 in which the atmosphere blocking member was provided on both the inner and outer stampers, no bumps were observed even with 30,000 sheets. ..

【００３２】 また雰囲気遮断用部材を外周側スタンパー押さえにだけ設けた実施例２の場合 には、７，０００枚で内周側の非記録部にバンプが発生したが、内周側の記録部 にバンプが発生したのは１５，０００枚の時点であった。そしてこの場合、外周 側にはバンプ発生は観測されなかった。Further, in the case of the embodiment 2 in which the atmosphere blocking member is provided only on the outer stamper holder, bumps are generated in the non-recording portion on the inner circumference side with 7,000 sheets, but the recording portion on the inner circumference side is formed. The bumps were generated at 15,000 sheets. In this case, no bump was observed on the outer peripheral side.

【００３３】 一方雰囲気遮断用部材を内周側スタンパー押さえにだけ設けた比較例１の場合 には、８，０００枚で外周側の非記録部にバンプが発生し、さらに１０，０００ 枚で外周側の記録部にバンプの発生が観測された。ただしこの場合、内周側には バンプ発生は観測されなかった。On the other hand, in the case of Comparative Example 1 in which the atmosphere blocking member was provided only on the inner side stamper holder, bumps were generated in the non-recording area on the outer peripheral side at 8,000 sheets and the outer peripheral side was made at 10,000 sheets. Occurrence of bumps was observed in the recording part on the side. However, in this case, no bump was observed on the inner circumference side.

【００３４】 さらに雰囲気遮断用部材を内周側と外周側の両方のスタンパー押さえに設けな かった比較例２の場合には、６，０００枚で内周側非記録部、７，０００枚で外 周側非記録部、９，０００枚で外周側記録部、１４，０００枚で内周側記録部に それぞれバンプが発生していた。Further, in the case of Comparative Example 2 in which the atmosphere blocking member was not provided on both the inner and outer stamper holders, 6,000 sheets were recorded on the inner non-recording portion, and 7,000 sheets were recorded. Bumps were generated on the outer peripheral side non-recorded area, on the outer peripheral side recorded area on 9,000 sheets, and on the inner peripheral side recorded area on 14,000 sheets.

【００３５】 基板としては、少なくとも記録部にバンプが発生しないことが必要であり、そ のためには上記の結果から、少なくとも外周側のスタンバー押さえに雰囲気遮断 用の部材を設けることが有効であることがわかる。As the substrate, it is necessary that at least the bumps do not occur in the recording portion, and for that reason, it is effective from the above results to provide an atmosphere shielding member at least on the outer side stamper holder. I understand.

【００３６】[0036]

【表１】 [Table 1]

【００３７】[0037]

【考案の効果】[Effect of the device]

以上説明したように、本考案のスタンパー押さえを用いることにより、金型周 辺の雰囲気に存在するポリマ−蒸気がスタンパ−裏面へ回り込むこと防止できる 。その結果、基板成形中におけるスタンパ−の変形が起こりにくくなり、１枚の スタンパーで成形できる基板枚数を増やすことが可能になる。 As described above, by using the stamper holder of the present invention, it is possible to prevent the polymer vapor existing in the atmosphere around the mold from flowing around to the back surface of the stamper. As a result, the stamper is less likely to be deformed during the molding of the substrate, and the number of substrates that can be molded by one stamper can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】光ディスク基板成形装置における成形部分の概
略断面図FIG. 1 is a schematic sectional view of a molding portion in an optical disk substrate molding apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 固定側金型 ２ 可動側金型 ３ ２つの金型で形成された空隙 ４ 基板材料の導入路 ５ スタンパー ６ スタンパーの記録部 ７ 外周側用スタンパー押さえ ８ 内周側用スタンバー押さえ ９ Ｏリング １０ Ｏリング １１ 円環状シート 1 Fixed-side mold 2 Movable-side mold 3 Void formed by two molds 4 Board material introduction path 5 Stamper 6 Stamper recording part 7 Outer peripheral side stamper presser 8 Inner peripheral side stamper presser 9 O-ring 10 O-ring 11 annular sheet

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項１】光ディスク基板成形用のスタンパーを金型
に押さえつけて固定するためのスタンパー押さえにおい
て、少なくともスタンパー外周側との接触部に、雰囲気
の流通を遮断する部材が設けられていることを特徴とす
る光ディスク基板成形用のスタンパー押さえ。1. A stamper presser for pressing and fixing a stamper for molding an optical disk substrate on a mold, wherein at least a contact portion with an outer peripheral side of the stamper is provided with a member for interrupting circulation of an atmosphere. A stamper holder for molding optical disk substrates. 【請求項２】スタンパー外周側との接触部および内周側
との接触部のそれぞれに、雰囲気の流通を遮断する部材
が設けられていることを特徴とする請求項１記載の光デ
ィスク基板成形用のスタンパー押さえ。2. The optical disk substrate molding according to claim 1, wherein a member for blocking the circulation of the atmosphere is provided at each of the contact portion with the outer peripheral side of the stamper and the contact portion with the inner peripheral side. Of the stamper. 【請求項３】雰囲気の流通を遮断する部材が、プラステ
ィック系のゴム弾性材料からなることを特徴とする、請
求項１〜２のいずれかに記載の光ディスク基板成形用の
スタンパー押さえ。3. The stamper holder for molding an optical disk substrate according to claim 1, wherein the member for blocking the circulation of the atmosphere is made of a plastic rubber elastic material. 【請求項４】雰囲気の流通を遮断する部材が、シリコン
ゴム材料あるいはフッ素樹脂ゴム材料からなることを特
徴とする、請求項３記載の光ディスク基板成形用のスタ
ンパー押さえ。4. The stamper holder for molding an optical disk substrate according to claim 3, wherein the member for blocking the circulation of the atmosphere is made of a silicone rubber material or a fluororesin rubber material.