JPH0572259A - 半導体集積回路装置の測定方法 - Google Patents
半導体集積回路装置の測定方法Info
- Publication number
- JPH0572259A JPH0572259A JP3231439A JP23143991A JPH0572259A JP H0572259 A JPH0572259 A JP H0572259A JP 3231439 A JP3231439 A JP 3231439A JP 23143991 A JP23143991 A JP 23143991A JP H0572259 A JPH0572259 A JP H0572259A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- semiconductor integrated
- measured
- circuit device
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 入力段トランジスタのベース電流を精度よく
測定する。 【構成】 定電圧源6を測定対象の半導体集積回路装置
1の定格値に設定する。リレー11をオフさせて定電圧
源12より抵抗器13、14で分割された電圧V1を電
圧計15で測定する。次に、リレー11をオンさせて半
導体集積回路装置1の入力段のトランジスタ4を能動状
態にした状態で、定電圧源12より抵抗器13、14で
分割された電圧V2を電圧計15で測定する。リレー1
1のオンによりトランジスタ4にベース電流が流れ、電
圧降下分が測定値の差となって現れ、ベース電流IBは
次式で求めることができる(ただしR14:抵抗14の抵
抗値)。 IB=V1−V2/R14
測定する。 【構成】 定電圧源6を測定対象の半導体集積回路装置
1の定格値に設定する。リレー11をオフさせて定電圧
源12より抵抗器13、14で分割された電圧V1を電
圧計15で測定する。次に、リレー11をオンさせて半
導体集積回路装置1の入力段のトランジスタ4を能動状
態にした状態で、定電圧源12より抵抗器13、14で
分割された電圧V2を電圧計15で測定する。リレー1
1のオンによりトランジスタ4にベース電流が流れ、電
圧降下分が測定値の差となって現れ、ベース電流IBは
次式で求めることができる(ただしR14:抵抗14の抵
抗値)。 IB=V1−V2/R14
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路装置の測
定方法に関するものである。
定方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の、半導体集積回路装置の入力段ト
ランジスタのベースが直接端子に接続された状態で、入
力段トランジスタのベース電流を測定する方法につい
て、図2に示した回路図を用いて説明する。
ランジスタのベースが直接端子に接続された状態で、入
力段トランジスタのベース電流を測定する方法につい
て、図2に示した回路図を用いて説明する。
【0003】測定対象である半導体集積回路装置1の内
部回路5がエミッタに接続された入力段トランジスタ4
であって、そのベースが入力端子3に直接に接続された
状態にある。ベースの入力端子3には電流計7を通して
外部印加定電圧源8が接続されている。電源端子2には
電源6が接続されている。なお、9はグランドラインで
ある。
部回路5がエミッタに接続された入力段トランジスタ4
であって、そのベースが入力端子3に直接に接続された
状態にある。ベースの入力端子3には電流計7を通して
外部印加定電圧源8が接続されている。電源端子2には
電源6が接続されている。なお、9はグランドラインで
ある。
【0004】電源端子2には外部印加定電圧源6より半
導体集積回路装置1の定格で定められた電圧VCCを印加
し、入力端子3には外部印加定電圧源8によって入力段
トランジスタ4を能動状態とするに十分な電圧を印加す
る。このとき、電流計7で入力段トランジスタ4のベー
ス電流を測定する。
導体集積回路装置1の定格で定められた電圧VCCを印加
し、入力端子3には外部印加定電圧源8によって入力段
トランジスタ4を能動状態とするに十分な電圧を印加す
る。このとき、電流計7で入力段トランジスタ4のベー
ス電流を測定する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このような測定方法で
は、電流計7の測定誤差(オフセット)が重大な影響を
及ぼす。特に電流増幅率hFEの値が大きい場合には、ベ
ース電流がきわめて小さな値になるので、電流計の測定
誤差は無視できなくなるほど大きくなる。
は、電流計7の測定誤差(オフセット)が重大な影響を
及ぼす。特に電流増幅率hFEの値が大きい場合には、ベ
ース電流がきわめて小さな値になるので、電流計の測定
誤差は無視できなくなるほど大きくなる。
【0006】本発明は上記従来の問題を解決するもの
で、外部印加定電圧源の電流計誤差がベース電流測定時
に影響を及ぼすことを考慮し、その誤差分を少なくする
ことによりベース電流を精度よく測定できる方法を提供
することを目的とするものである。
で、外部印加定電圧源の電流計誤差がベース電流測定時
に影響を及ぼすことを考慮し、その誤差分を少なくする
ことによりベース電流を精度よく測定できる方法を提供
することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
装置の測定方法は、定電圧源に直列に接続された第1、
2の抵抗器の接続点にスイッチング装置を介して測定対
象のトランジスタのベースを接続するとともに、電圧計
を接続して、スイッチング装置をオフさせた時の電圧を
測定し、次にそれをオンさせた時の電圧を測定するもの
である。
装置の測定方法は、定電圧源に直列に接続された第1、
2の抵抗器の接続点にスイッチング装置を介して測定対
象のトランジスタのベースを接続するとともに、電圧計
を接続して、スイッチング装置をオフさせた時の電圧を
測定し、次にそれをオンさせた時の電圧を測定するもの
である。
【0008】
【作用】この方法では、スイッチング装置を切り換えて
電圧計で電圧を同一測定レンジで測定し、その電圧差を
調べることで、測定器のオフセット誤差をほぼ0にする
ことができる。
電圧計で電圧を同一測定レンジで測定し、その電圧差を
調べることで、測定器のオフセット誤差をほぼ0にする
ことができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図1を用
いて説明する。
いて説明する。
【0010】図1は半導体集積回路装置の入力段トラン
ジスタのベースを端子に接続して、その入力段トランジ
スタのベース電流を測定するための回路図である。
ジスタのベースを端子に接続して、その入力段トランジ
スタのベース電流を測定するための回路図である。
【0011】半導体集積回路装置1の入力段トランジス
タ4のベースが、直接、端子3に接続されている。さら
に、入力段トランジスタ4のエミッタが内部回路5に接
続されている。さらに、入力段トランジスタ4のコレク
タが電源端子2に接続されている。
タ4のベースが、直接、端子3に接続されている。さら
に、入力段トランジスタ4のエミッタが内部回路5に接
続されている。さらに、入力段トランジスタ4のコレク
タが電源端子2に接続されている。
【0012】外部印加定電圧源12に抵抗器13、14
が直列に接続され、抵抗器14の他端がグランドライン
に接続されている。抵抗器13、14の接続点が、入力
段トランジスタ4のベースの入力端子3に、スイッチン
グ装置としてのリレー11を介して接続されている。さ
らに、その接続点とグランドライン9との間に電圧計1
5が接続されている。
が直列に接続され、抵抗器14の他端がグランドライン
に接続されている。抵抗器13、14の接続点が、入力
段トランジスタ4のベースの入力端子3に、スイッチン
グ装置としてのリレー11を介して接続されている。さ
らに、その接続点とグランドライン9との間に電圧計1
5が接続されている。
【0013】このような構成の回路において、電源端子
2に外部印加定電圧源6から半導体集積回路装置1の定
格で定められた値の電圧を印加する。この状態でリレー
11をオフ(不導通)させておいて、外部印加定電圧源
12から抵抗器13、14で分割された電圧を電圧計1
5で測定する。この時の電圧をV1とする。
2に外部印加定電圧源6から半導体集積回路装置1の定
格で定められた値の電圧を印加する。この状態でリレー
11をオフ(不導通)させておいて、外部印加定電圧源
12から抵抗器13、14で分割された電圧を電圧計1
5で測定する。この時の電圧をV1とする。
【0014】次に、リレー11をオン(導通)させて、
抵抗器13、14で分割された電圧を、電圧V1を測定
した時と同一の測定レンジで電圧計15で測定する。こ
の時の電圧をV2とする。
抵抗器13、14で分割された電圧を、電圧V1を測定
した時と同一の測定レンジで電圧計15で測定する。こ
の時の電圧をV2とする。
【0015】リレー11をオンさせることで抵抗器1
3、14の抵抗分割によって発生する電圧が、入力段ト
ランジスタ4のベース端子3に印加される。この結果、
入力段トランジスタ4は能動状態となり、抵抗器14の
両端には、リレー11がオフされていた時に発生する電
圧からベース端子3に流れる電流分の電圧降下を差し引
いた電圧が発生する。
3、14の抵抗分割によって発生する電圧が、入力段ト
ランジスタ4のベース端子3に印加される。この結果、
入力段トランジスタ4は能動状態となり、抵抗器14の
両端には、リレー11がオフされていた時に発生する電
圧からベース端子3に流れる電流分の電圧降下を差し引
いた電圧が発生する。
【0016】したがって、トランジスタ4のベース電流
IBは次式から求めることができる。
IBは次式から求めることができる。
【0017】IB=V1−V2/R14 ただし、R14は抵抗14の抵抗値である。
【0018】以上のように、本実施例ではリレー11を
切り換えて電圧計15を使用して同一測定レンジで測定
電圧差を調べることにより、測定器のオフセット誤差を
ほぼ0にすることができる。このことにより、測定誤差
が少なくなり、トランジスタの電流増幅率hFEが高い場
合でもトランジスタ4のベース電流を精度よく測定する
ことができる。
切り換えて電圧計15を使用して同一測定レンジで測定
電圧差を調べることにより、測定器のオフセット誤差を
ほぼ0にすることができる。このことにより、測定誤差
が少なくなり、トランジスタの電流増幅率hFEが高い場
合でもトランジスタ4のベース電流を精度よく測定する
ことができる。
【0019】
【発明の効果】本発明の方法によれば、定電圧源に電圧
分割のための抵抗器を接続し、この分割電圧をスイッチ
ング装置を通して測定対象のトランジスタのベースに供
給するよう構成するとともに、スイッチング装置のオフ
時とオン時におけるベースへの供給電圧を電圧計でそれ
ぞれ測定するので、同一測定レンジでの測定電圧差を調
べることで、測定器のオフセット誤差をなくすことがで
きる。このことにより、測定誤差が少なくなり、トラン
ジスタの電流増幅率hFEが高い場合でもそのベース電流
を精度よく測定することができる。
分割のための抵抗器を接続し、この分割電圧をスイッチ
ング装置を通して測定対象のトランジスタのベースに供
給するよう構成するとともに、スイッチング装置のオフ
時とオン時におけるベースへの供給電圧を電圧計でそれ
ぞれ測定するので、同一測定レンジでの測定電圧差を調
べることで、測定器のオフセット誤差をなくすことがで
きる。このことにより、測定誤差が少なくなり、トラン
ジスタの電流増幅率hFEが高い場合でもそのベース電流
を精度よく測定することができる。
【図1】本発明の一実施例における半導体集積回路装置
の測定方法を示す回路図
の測定方法を示す回路図
【図2】従来の測定方法を示す回路図
1 半導体集積回路装置 2 電源端子 3 入力端子 4 入力段トランジスタ 5 内部回路 6、12 定電圧源 9 グランドライン 11 リレー 13、14 抵抗器 15 電圧計
Claims (2)
- 【請求項1】定電圧源と、前記定電圧源に直列に接続さ
れた第1、2の抵抗器と、前記第1、2の抵抗器の接続
点にスイッチング装置を介してベースが接続されたトラ
ンジスタと、前記第1、第2の抵抗の接続点に一端が接
続された電圧計とを備え、前記スイッチング装置をオフ
させた時の電圧を測定し、次に前記スイッチング装置を
オンした時の電圧を測定することを特徴とする半導体集
積回路装置の測定方法。 - 【請求項2】スイッチング装置をオフ、オンさせてそれ
ぞれの時の電圧を同一測定レンジで電圧計で測定するこ
とを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路装置の測
定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3231439A JPH0572259A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 半導体集積回路装置の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3231439A JPH0572259A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 半導体集積回路装置の測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0572259A true JPH0572259A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=16923563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3231439A Pending JPH0572259A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 半導体集積回路装置の測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0572259A (ja) |
-
1991
- 1991-09-11 JP JP3231439A patent/JPH0572259A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH07244125A (ja) | Ic試験装置 | |
US6968249B2 (en) | Current measuring circuit for measuring drive current to load | |
JPH0572259A (ja) | 半導体集積回路装置の測定方法 | |
JPH1172529A (ja) | コンデンサの絶縁抵抗測定装置 | |
JP3143036B2 (ja) | 抵抗率測定回路 | |
JPH04244974A (ja) | 半導体集積回路の測定方法 | |
JPS61110064A (ja) | 回路定数測定器 | |
JP3147486B2 (ja) | 半導体素子測定回路 | |
JPS649594B2 (ja) | ||
JPH10293154A (ja) | 半導体試験装置用バイアス電源回路 | |
JPH0572243A (ja) | 集積回路装置の計測方法 | |
JPH1123664A (ja) | 半導体デバイスの測定回路 | |
JP2000258509A (ja) | 半導体集積回路のテスト方法 | |
JPH0519819Y2 (ja) | ||
JPH0514935U (ja) | 電力計 | |
JPH08320346A (ja) | 電気量測定装置 | |
JPH09243715A (ja) | 集積回路装置の電圧測定方法 | |
JP2509631Y2 (ja) | 多チャネル抵坑測定装置 | |
JP3545260B2 (ja) | 半導体集積回路試験装置 | |
JPS5823590B2 (ja) | ソクテイソウチ | |
JPH11304877A (ja) | 電圧印加電流測定回路 | |
JPS63253266A (ja) | 微少電流測定法 | |
GB2307753A (en) | Determining electrical impedance | |
JPH0366622B2 (ja) | ||
JPS58124973A (ja) | 測定装置 |