JPH0566832A - ２軸駆動アクチユエータ - Google Patents
２軸駆動アクチユエータInfo
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- JPH0566832A JPH0566832A JP22785891A JP22785891A JPH0566832A JP H0566832 A JPH0566832 A JP H0566832A JP 22785891 A JP22785891 A JP 22785891A JP 22785891 A JP22785891 A JP 22785891A JP H0566832 A JPH0566832 A JP H0566832A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 一方向駆動時の他方向による動作干渉をなく
し光軸制御の精度向上を図ることが可能な２軸駆動アク
チュエータを提供する。 【構成】 レーザビームの入射光軸のずれをコーナーキ
ューブ８を用いて検出し、その検出された光軸ずれの信
号をもとに、２軸方向に動作するＸ方向可動体１７とＹ
方向可動体２８とを備えたアクチュエータによりコーナ
ーキューブ８をＸ，Ｙの２軸方向の光軸制御を行うこと
により、レーザビームの入射光軸のずれを補正する２軸
駆動アクチュエータにおいて、Ｘ方向可動体１７及びＹ
方向可動体２８に各々独立してＸ方向駆動コイル１６及
びＹ方向駆動コイル２７を設け、これら各々のコイルに
電磁力を発生させるためのＸ方向磁気回路２０及びＹ方
向磁気回路３１をその磁気ギャップ部の断面形状を矩形
として形成しベース２１上に固定配置した。
し光軸制御の精度向上を図ることが可能な２軸駆動アク
チュエータを提供する。 【構成】 レーザビームの入射光軸のずれをコーナーキ
ューブ８を用いて検出し、その検出された光軸ずれの信
号をもとに、２軸方向に動作するＸ方向可動体１７とＹ
方向可動体２８とを備えたアクチュエータによりコーナ
ーキューブ８をＸ，Ｙの２軸方向の光軸制御を行うこと
により、レーザビームの入射光軸のずれを補正する２軸
駆動アクチュエータにおいて、Ｘ方向可動体１７及びＹ
方向可動体２８に各々独立してＸ方向駆動コイル１６及
びＹ方向駆動コイル２７を設け、これら各々のコイルに
電磁力を発生させるためのＸ方向磁気回路２０及びＹ方
向磁気回路３１をその磁気ギャップ部の断面形状を矩形
として形成しベース２１上に固定配置した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光軸制御装置に用いら
れるミラーやコーナーキューブ等をＸ，Ｙの２軸駆動制
御する２軸駆動アクチュエータに関する。
れるミラーやコーナーキューブ等をＸ，Ｙの２軸駆動制
御する２軸駆動アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光軸制御装置に用いられるアクチ
ュエータは、その駆動制御方式によって種々のものがあ
る。例えば、光軸制御にミラーを用いた場合、特開平２
−１２０８１６号公報に開示されているように、直交す
る２軸に対して回動させるいわゆる「ジンバル機構」が
用いられているものがある。また、光軸制御にコーナー
キューブを用いた場合、電子情報通信学会ＭＲ８３−２
４に開示されているように、「２軸ボイスコイルアクチ
ュエータ」が用いられているものがある。
ュエータは、その駆動制御方式によって種々のものがあ
る。例えば、光軸制御にミラーを用いた場合、特開平２
−１２０８１６号公報に開示されているように、直交す
る２軸に対して回動させるいわゆる「ジンバル機構」が
用いられているものがある。また、光軸制御にコーナー
キューブを用いた場合、電子情報通信学会ＭＲ８３−２
４に開示されているように、「２軸ボイスコイルアクチ
ュエータ」が用いられているものがある。
【０００３】そこで、今、具体例として、コーナーキュ
ーブを用いた場合の光軸制御の基本的な動作原理を図６
に基づいて説明する。入射光であるレーザビームはリレ
ーレンズ１、コリメータレンズ２を順次通過することに
より平行光とされ、その平行光はミラー３により反射さ
れコーナーキューブ４に入射し、これにより光路を逆方
向とされたレーザビームはλ／４板５を介してＰＢＳ６
により２分割され、その一方の直進したレーザビームは
４分割受光素子７に導かれこれにより検出された信号は
光軸ずれ検出用の信号として用いられ、また、他方の反
射されたレーザビームは出射光として進行していきその
後図示しない光ディスク原盤の露光用ビーム等に利用さ
れる。
ーブを用いた場合の光軸制御の基本的な動作原理を図６
に基づいて説明する。入射光であるレーザビームはリレ
ーレンズ１、コリメータレンズ２を順次通過することに
より平行光とされ、その平行光はミラー３により反射さ
れコーナーキューブ４に入射し、これにより光路を逆方
向とされたレーザビームはλ／４板５を介してＰＢＳ６
により２分割され、その一方の直進したレーザビームは
４分割受光素子７に導かれこれにより検出された信号は
光軸ずれ検出用の信号として用いられ、また、他方の反
射されたレーザビームは出射光として進行していきその
後図示しない光ディスク原盤の露光用ビーム等に利用さ
れる。
【０００４】この場合、今、実線ａで示した入射光が一
点鎖線ｂで示すように光軸ずれを生じた場合、その光軸
ずれ量が４分割受光素子７により検出され、そのずれ量
をもとに図示しないアクチュエータによりコーナーキュ
ーブ４を矢印方向Ｘの破線で示すように移動制御させ、
これによりレーザビームの出射光の位置を常に一定に保
つように制御する。なお、ここでは、コーナーキューブ
４の移動方向を一軸（Ｘ方向）のみとして示したが、実
際には紙面に垂直な方向にも同様な光軸制御を行うこと
ができる。
点鎖線ｂで示すように光軸ずれを生じた場合、その光軸
ずれ量が４分割受光素子７により検出され、そのずれ量
をもとに図示しないアクチュエータによりコーナーキュ
ーブ４を矢印方向Ｘの破線で示すように移動制御させ、
これによりレーザビームの出射光の位置を常に一定に保
つように制御する。なお、ここでは、コーナーキューブ
４の移動方向を一軸（Ｘ方向）のみとして示したが、実
際には紙面に垂直な方向にも同様な光軸制御を行うこと
ができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述したようなジンバ
ル機構においては、一軸の駆動を行った場合、他方の軸
側にも変位を生じる。その変位の動作量が少ない場合は
問題ないが、光軸制御装置に用いる場合にはｍｍオーダ
ーの可動量を必要とするため、動作時に他軸への動作干
渉を生じてしまうことになる。
ル機構においては、一軸の駆動を行った場合、他方の軸
側にも変位を生じる。その変位の動作量が少ない場合は
問題ないが、光軸制御装置に用いる場合にはｍｍオーダ
ーの可動量を必要とするため、動作時に他軸への動作干
渉を生じてしまうことになる。
【０００６】また、前述した２軸ボイスコイルアクチュ
エータでは、磁気回路を円筒形としているため、その磁
気ギャップが円筒断面となる。この場合、その磁気ギャ
ップ中に配置されたコイルも円筒形となり、他軸を駆動
した場合、コイルがその中心からずれ、コイルに生じる
発生力が小さくなり、これにより駆動感度が低下し、そ
の制御上において必ずしも好ましいものとは言えない。
エータでは、磁気回路を円筒形としているため、その磁
気ギャップが円筒断面となる。この場合、その磁気ギャ
ップ中に配置されたコイルも円筒形となり、他軸を駆動
した場合、コイルがその中心からずれ、コイルに生じる
発生力が小さくなり、これにより駆動感度が低下し、そ
の制御上において必ずしも好ましいものとは言えない。
【０００７】さらに、１軸駆動に用いる磁気回路をその
可動体に取り込もうとすると、可動体重量が倍加し、他
軸の発生力を大きく取らなければならなくなり、これに
より駆動部が大型化してしまい、しかも、そのコイルの
発熱が大きくなってしまい不経済なものとなる。
可動体に取り込もうとすると、可動体重量が倍加し、他
軸の発生力を大きく取らなければならなくなり、これに
より駆動部が大型化してしまい、しかも、そのコイルの
発熱が大きくなってしまい不経済なものとなる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、レーザビームの入射光軸のずれをコーナーキューブ
を用いて検出し、その検出された光軸ずれの信号をもと
に、２軸方向に動作するＸ方向可動体とＹ方向可動体と
を備えたアクチュエータにより前記コーナーキューブを
Ｘ，Ｙの２軸方向の光軸制御を行うことにより、前記レ
ーザビームの入射光軸のずれを補正する２軸駆動アクチ
ュエータにおいて、前記Ｘ方向可動体及び前記Ｙ方向可
動体に各々独立してＸ方向駆動コイル及びＹ方向駆動コ
イルを設け、これら各々のコイルに電磁力を発生させる
ためのＸ方向磁気回路及びＹ方向磁気回路をその磁気ギ
ャップ部の断面形状を矩形として形成しベース上に固定
配置した。
は、レーザビームの入射光軸のずれをコーナーキューブ
を用いて検出し、その検出された光軸ずれの信号をもと
に、２軸方向に動作するＸ方向可動体とＹ方向可動体と
を備えたアクチュエータにより前記コーナーキューブを
Ｘ，Ｙの２軸方向の光軸制御を行うことにより、前記レ
ーザビームの入射光軸のずれを補正する２軸駆動アクチ
ュエータにおいて、前記Ｘ方向可動体及び前記Ｙ方向可
動体に各々独立してＸ方向駆動コイル及びＹ方向駆動コ
イルを設け、これら各々のコイルに電磁力を発生させる
ためのＸ方向磁気回路及びＹ方向磁気回路をその磁気ギ
ャップ部の断面形状を矩形として形成しベース上に固定
配置した。
【０００９】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、２軸方向に電磁力を発生するＸ方向駆動
コイル及びＹ方向駆動コイルの駆動方向直角断面形状を
矩形として形成し、電磁力の発生部位をその対辺として
その中央部を通る駆動方向軸線上にＸ方向可動体及びＹ
方向可動体の重心が位置するように配置した。
発明において、２軸方向に電磁力を発生するＸ方向駆動
コイル及びＹ方向駆動コイルの駆動方向直角断面形状を
矩形として形成し、電磁力の発生部位をその対辺として
その中央部を通る駆動方向軸線上にＸ方向可動体及びＹ
方向可動体の重心が位置するように配置した。
【００１０】請求項３記載の発明では、請求項１記載の
発明において、２軸方向の支持機構を各軸２枚の板バネ
とし、これら板バネの中心を通る軸線上にＸ方向可動体
及びＹ方向可動体の重心が位置するように配置した。
発明において、２軸方向の支持機構を各軸２枚の板バネ
とし、これら板バネの中心を通る軸線上にＸ方向可動体
及びＹ方向可動体の重心が位置するように配置した。
【００１１】請求項４記載の発明では、請求項１記載の
発明において、２軸方向の支持機構における板バネを固
定するブッシュを弾性体とした。
発明において、２軸方向の支持機構における板バネを固
定するブッシュを弾性体とした。
【００１２】
【作用】請求項１記載の発明においては、各軸の駆動用
の磁気回路の磁気ギャップを矩形として形成しこれによ
り他軸の動作時における動作干渉をなくしているため、
光軸制御の精度向上を図ることが可能となる。
の磁気回路の磁気ギャップを矩形として形成しこれによ
り他軸の動作時における動作干渉をなくしているため、
光軸制御の精度向上を図ることが可能となる。
【００１３】請求項２記載の発明においては、駆動力に
よる可動体の重心回りモーメント力が釣り合うようにし
て可動体の不要振動をなくしているため、光軸制御の精
度向上を図ることができる。
よる可動体の重心回りモーメント力が釣り合うようにし
て可動体の不要振動をなくしているため、光軸制御の精
度向上を図ることができる。
【００１４】請求項３記載の発明においては、板バネの
反力による可動体の重心回りのモーメント力が釣り合う
ようにして可動体の不要振動をなくしているため、光軸
制御の精度向上を図ることができる。
反力による可動体の重心回りのモーメント力が釣り合う
ようにして可動体の不要振動をなくしているため、光軸
制御の精度向上を図ることができる。
【００１５】請求項４記載の発明においては、ブッシュ
を弾性体とすることにより、可動方向に対する減衰力に
よる可動体の重心回りのモーメント力が釣り合うように
して可動体の不要振動をなくしているため、光軸制御の
精度向上を図ることが可能となる。
を弾性体とすることにより、可動方向に対する減衰力に
よる可動体の重心回りのモーメント力が釣り合うように
して可動体の不要振動をなくしているため、光軸制御の
精度向上を図ることが可能となる。
【００１６】
【実施例】本発明の一実施例を図１〜図５に基づいて説
明する。図１は、２軸駆動アクチュエータの全体構成を
分解して示すものである。以下、その構成について説明
する。まず、コーナーキューブ８は内ホルダ９の上面に
固着されており、その内ホルダー９の側面のＸ−Ｘ´方
向には円筒突起１０が形成されている。その内ホルダー
９は、外ホルダー１１内に収納されると共に、その側面
のホルダープレート１２の板バネ受け部にてＸ方向板バ
ネ１３によってブッシュ１４で固着されている。また、
前記内ホルダー９には、前記ブッシュ１４の内筒を介し
てＸ方向ボビン１５がＸ−Ｘ´方向に固着されている。
このＸ方向ボビン１５には、Ｘ方向駆動コイル１６が巻
回した形で取付けられており、これによりＸ方向可動体
１７を構成している。さらに、前記Ｘ方向ボビン１５
は、矩形中空となっており、その中空部には継鉄１８と
永久磁石１９とより構成されたＸ方向磁気回路２０の中
央突起部１８ａが配置されている。これにより、Ｘ方向
駆動コイル１６の対辺がそのＸ方向磁気回路２０の磁気
ギャップ中に位置することになる。このＸ方向磁気回路
２０はベース２１上に固着される。
明する。図１は、２軸駆動アクチュエータの全体構成を
分解して示すものである。以下、その構成について説明
する。まず、コーナーキューブ８は内ホルダ９の上面に
固着されており、その内ホルダー９の側面のＸ−Ｘ´方
向には円筒突起１０が形成されている。その内ホルダー
９は、外ホルダー１１内に収納されると共に、その側面
のホルダープレート１２の板バネ受け部にてＸ方向板バ
ネ１３によってブッシュ１４で固着されている。また、
前記内ホルダー９には、前記ブッシュ１４の内筒を介し
てＸ方向ボビン１５がＸ−Ｘ´方向に固着されている。
このＸ方向ボビン１５には、Ｘ方向駆動コイル１６が巻
回した形で取付けられており、これによりＸ方向可動体
１７を構成している。さらに、前記Ｘ方向ボビン１５
は、矩形中空となっており、その中空部には継鉄１８と
永久磁石１９とより構成されたＸ方向磁気回路２０の中
央突起部１８ａが配置されている。これにより、Ｘ方向
駆動コイル１６の対辺がそのＸ方向磁気回路２０の磁気
ギャップ中に位置することになる。このＸ方向磁気回路
２０はベース２１上に固着される。
【００１７】また、前記外ホルダー１１のＹ−Ｙ´方向
の側面には円筒突起部２２が形成されており、この円筒
突起部２２は前記ベース２１及びベースプレート２３上
に位置してＹ方向板バネ２４によってブッシュ２５を介
して固着されている。また、前記外ホルダー１１には前
記ブッシュ２５の内筒を介してＹ方向ボビン２６がＹ−
Ｙ´方向に固着されている。このＹ方向ボビン２６に
は、Ｙ方向駆動コイル２７が巻回した形で取付けられて
おり、これによりＹ方向可動体２８を構成している。さ
らに、前記Ｙ方向ボビン２６は、矩形中空となってお
り、その中空部には継鉄２９と永久磁石３０とより構成
されたＹ方向磁気回路３１の中央突起部２９ａが配置さ
れている。これにより、Ｙ方向駆動コイル２７の対辺が
そのＹ方向磁気回路３１の磁気ギャップ中に位置するこ
とになる。そのＹ方向磁気回路３１は、前記ベース２
１、前記ベースプレート２３に固着される。
の側面には円筒突起部２２が形成されており、この円筒
突起部２２は前記ベース２１及びベースプレート２３上
に位置してＹ方向板バネ２４によってブッシュ２５を介
して固着されている。また、前記外ホルダー１１には前
記ブッシュ２５の内筒を介してＹ方向ボビン２６がＹ−
Ｙ´方向に固着されている。このＹ方向ボビン２６に
は、Ｙ方向駆動コイル２７が巻回した形で取付けられて
おり、これによりＹ方向可動体２８を構成している。さ
らに、前記Ｙ方向ボビン２６は、矩形中空となってお
り、その中空部には継鉄２９と永久磁石３０とより構成
されたＹ方向磁気回路３１の中央突起部２９ａが配置さ
れている。これにより、Ｙ方向駆動コイル２７の対辺が
そのＹ方向磁気回路３１の磁気ギャップ中に位置するこ
とになる。そのＹ方向磁気回路３１は、前記ベース２
１、前記ベースプレート２３に固着される。
【００１８】そして、ここでは、Ｘ，Ｙ方向駆動コイル
１６，２７の対辺の中点を通る軸線、及び、Ｘ，Ｙ方向
板バネ１３，２４の中心を通る軸線は一致しており、そ
の延長線上にＸ，Ｙ方向可動体１７，２８の重心Ｇがあ
るように配置されている。
１６，２７の対辺の中点を通る軸線、及び、Ｘ，Ｙ方向
板バネ１３，２４の中心を通る軸線は一致しており、そ
の延長線上にＸ，Ｙ方向可動体１７，２８の重心Ｇがあ
るように配置されている。
【００１９】このような構成において、Ｘ，Ｙ方向駆動
コイル１６，２７の端末より通電すれば、Ｘ−Ｘ´及び
Ｙ−Ｙ´方向に移動自在となる。この時、Ｘ，Ｙ方向の
動作は独立しているため、一軸動作が他軸に干渉するよ
うなことはない。また、図２に示すように、磁気ギャッ
プはその断面形状が矩形であり、これと平行にＸ，Ｙ方
向駆動コイル１６，２７が位置しており、Ｙ方向駆動時
のＸ方向駆動コイル１６の対辺は磁気ギャップ中を平行
移動するだけで、Ｘ方向発生力の低下はなく、これによ
り感度低下は生じない。
コイル１６，２７の端末より通電すれば、Ｘ−Ｘ´及び
Ｙ−Ｙ´方向に移動自在となる。この時、Ｘ，Ｙ方向の
動作は独立しているため、一軸動作が他軸に干渉するよ
うなことはない。また、図２に示すように、磁気ギャッ
プはその断面形状が矩形であり、これと平行にＸ，Ｙ方
向駆動コイル１６，２７が位置しており、Ｙ方向駆動時
のＸ方向駆動コイル１６の対辺は磁気ギャップ中を平行
移動するだけで、Ｘ方向発生力の低下はなく、これによ
り感度低下は生じない。
【００２０】また、Ｘ，Ｙ方向可動体１７，２８の内部
に磁気回路を取り込んでいないため可動体重量が軽量化
され、これによりＹ方向駆動部も小型化でき、しかも、
そのＹ方向のコイル発熱も小さくすることが可能とな
る。
に磁気回路を取り込んでいないため可動体重量が軽量化
され、これによりＹ方向駆動部も小型化でき、しかも、
そのＹ方向のコイル発熱も小さくすることが可能とな
る。
【００２１】さらに、図３に示すように、Ｘ，Ｙ方向可
動体１７，２８に生じるモーメント力が重心Ｇに対して
釣り合い状態にあるため不要振動の発生がなく、図４の
ボード線図に示すように可動体の周波数特性に副次共振
（図中点線で示す）が生じない。なお、図３における重
心Ｇに対するモーメント力の釣り合い状態は、次のよう
な式の値から理解できる。
動体１７，２８に生じるモーメント力が重心Ｇに対して
釣り合い状態にあるため不要振動の発生がなく、図４の
ボード線図に示すように可動体の周波数特性に副次共振
（図中点線で示す）が生じない。なお、図３における重
心Ｇに対するモーメント力の釣り合い状態は、次のよう
な式の値から理解できる。
【００２２】 −（Ｆｌ／２）＋（ＲＳ／２）−（ＲＳ／２）＋（Ｆｌ／２）＝０ さらにまた、図５に示すように、ブッシュ１４，２５を
弾性体とすることにより、２軸方向駆動時の減衰力も重
心Ｇ回りに対して釣り合い状態で構成されるため、これ
による不要共振の発生もなくすことができる。
弾性体とすることにより、２軸方向駆動時の減衰力も重
心Ｇ回りに対して釣り合い状態で構成されるため、これ
による不要共振の発生もなくすことができる。
【００２３】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、レーザビームの
入射光軸のずれをコーナーキューブを用いて検出し、そ
の検出された光軸ずれの信号をもとに、２軸方向に動作
するＸ方向可動体とＹ方向可動体とを備えたアクチュエ
ータにより前記コーナーキューブをＸ，Ｙの２軸方向の
光軸制御を行うことにより、前記レーザビームの入射光
軸のずれを補正する２軸駆動アクチュエータにおいて、
前記Ｘ方向可動体及び前記Ｙ方向可動体に各々独立して
Ｘ方向駆動コイル及びＹ方向駆動コイルを設け、これら
各々のコイルに電磁力を発生させるためのＸ方向磁気回
路及びＹ方向磁気回路をその磁気ギャップ部の断面形状
を矩形として形成しベース上に固定配置したので、この
ように各軸の駆動用の磁気回路の磁気ギャップを矩形と
して形成しこれにより他軸の動作時における動作干渉を
なくしているため、光軸制御の精度向上を図ることが可
能となり、また、磁気回路をベースに固定しているため
駆動部の小型化を図ることができるものである。
入射光軸のずれをコーナーキューブを用いて検出し、そ
の検出された光軸ずれの信号をもとに、２軸方向に動作
するＸ方向可動体とＹ方向可動体とを備えたアクチュエ
ータにより前記コーナーキューブをＸ，Ｙの２軸方向の
光軸制御を行うことにより、前記レーザビームの入射光
軸のずれを補正する２軸駆動アクチュエータにおいて、
前記Ｘ方向可動体及び前記Ｙ方向可動体に各々独立して
Ｘ方向駆動コイル及びＹ方向駆動コイルを設け、これら
各々のコイルに電磁力を発生させるためのＸ方向磁気回
路及びＹ方向磁気回路をその磁気ギャップ部の断面形状
を矩形として形成しベース上に固定配置したので、この
ように各軸の駆動用の磁気回路の磁気ギャップを矩形と
して形成しこれにより他軸の動作時における動作干渉を
なくしているため、光軸制御の精度向上を図ることが可
能となり、また、磁気回路をベースに固定しているため
駆動部の小型化を図ることができるものである。
【００２４】請求項２記載の発明は、２軸方向に電磁力
を発生するＸ方向駆動コイル及びＹ方向駆動コイルの駆
動方向直角断面形状を矩形として形成し、電磁力の発生
部位をその対辺としてその中央部を通る駆動方向軸線上
にＸ方向可動体及びＹ方向可動体の重心が位置するよう
に配置したので、駆動力による可動体の重心回りモーメ
ント力が釣り合うようにして可動体の不要振動をなくす
ことが可能なため、これにより光軸制御の精度向上を図
ることができるものである。
を発生するＸ方向駆動コイル及びＹ方向駆動コイルの駆
動方向直角断面形状を矩形として形成し、電磁力の発生
部位をその対辺としてその中央部を通る駆動方向軸線上
にＸ方向可動体及びＹ方向可動体の重心が位置するよう
に配置したので、駆動力による可動体の重心回りモーメ
ント力が釣り合うようにして可動体の不要振動をなくす
ことが可能なため、これにより光軸制御の精度向上を図
ることができるものである。
【００２５】請求項３記載の発明は、２軸方向の支持機
構を各軸２枚の板バネとし、これら板バネの中心を通る
軸線上にＸ方向可動体及びＹ方向可動体の重心が位置す
るように配置したので、板バネの反力による可動体の重
心回りのモーメント力が釣り合うようにして可動体の不
要振動をなくすことが可能なため、これにより光軸制御
の精度向上を図ることができるものである。
構を各軸２枚の板バネとし、これら板バネの中心を通る
軸線上にＸ方向可動体及びＹ方向可動体の重心が位置す
るように配置したので、板バネの反力による可動体の重
心回りのモーメント力が釣り合うようにして可動体の不
要振動をなくすことが可能なため、これにより光軸制御
の精度向上を図ることができるものである。
【００２６】請求項４記載の発明は、２軸方向の支持機
構における板バネを固定するブッシュを弾性体としたの
で、可動方向に対する減衰力による可動体の重心回りの
モーメント力が釣り合うようにして可動体の不要振動を
なくすことが可能なため、これにより光軸制御の精度向
上を図ることができるものである。
構における板バネを固定するブッシュを弾性体としたの
で、可動方向に対する減衰力による可動体の重心回りの
モーメント力が釣り合うようにして可動体の不要振動を
なくすことが可能なため、これにより光軸制御の精度向
上を図ることができるものである。
【図１】本発明の一実施例を示す２軸駆動アクチュエー
タの分解斜視図である。
タの分解斜視図である。
【図２】Ｙ方向駆動時のＸ方向駆動コイルの動作状態を
示す動作説明図である。
示す動作説明図である。
【図３】モーメント力の釣り合い状態を示す説明図であ
る。
る。
【図４】可動体の周波数特性を示す特性図である。
【図５】ブッシュによる減衰力の様子を示す側面図であ
る。
る。
【図６】コーナーキューブを用いた場合の光軸制御の原
理を示す光路図である。
理を示す光路図である。
８ コーナーキューブ １６ Ｘ方向駆動コイル １７ Ｘ方向可動体 ２０ Ｘ方向磁気回路 ２１ ベース ２７ Ｙ方向駆動コイル ２８ Ｙ方向可動体 ３１ Ｙ方向磁気回路 Ｇ 重心
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザビームの入射光軸のずれをコーキ
ューブを用いて検出し、その検出された光軸ずれの信号
をもとに、２軸方向に動作するＸ方向可動体とＹ方向可
動体とを備えたアクチュエータにより前記コーナーキュ
ーブをＸ，Ｙの２軸方向の光軸制御を行うことにより、
前記レーザビームの入射光軸のずれを補正する２軸駆動
アクチュエータにおいて、前記Ｘ方向可動体及び前記Ｙ
方向可動体に各々独立してＸ方向駆動コイル及びＹ方向
駆動コイルを設け、これら各々のコイルに電磁力を発生
させるためのＸ方向磁気回路及びＹ方向磁気回路をその
磁気ギャップ部の断面形状を矩形として形成しベース上
に固定配置したことを特徴とする２軸駆動アクチュエー
タ。 - 【請求項２】 ２軸方向に電磁力を発生するＸ方向駆動
コイル及びＹ方向駆動コイルの駆動方向直角断面形状を
矩形として形成し、電磁力の発生部位をその対辺として
その中央部を通る駆動方向軸線上にＸ方向可動体及びＹ
方向可動体の重心が位置するように配置したことを特徴
とする請求項１記載の２軸駆動アクチュエータ。 - 【請求項３】 ２軸方向の支持機構を各軸２枚の板バネ
とし、これら板バネの中心を通る軸線上にＸ方向可動体
及びＹ方向可動体の重心が位置するように配置したこと
を特徴とする請求項１記載の２軸駆動アクチュエータ。 - 【請求項４】 ２軸方向の支持機構における板バネを固
定するブッシュを弾性体としたことを特徴とする請求項
１記載の２軸駆動アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22785891A JPH0566832A (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | ２軸駆動アクチユエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22785891A JPH0566832A (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | ２軸駆動アクチユエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0566832A true JPH0566832A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=16867470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22785891A Pending JPH0566832A (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | ２軸駆動アクチユエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0566832A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6257782B1 (en) | 1998-06-18 | 2001-07-10 | Fujitsu Limited | Key switch with sliding mechanism and keyboard |
| US6376789B2 (en) | 2000-04-14 | 2002-04-23 | Fujitsu Takamisawa Component Ltd. | Key switch and keyboard |
| US8779308B2 (en) | 2011-02-07 | 2014-07-15 | Fujitsu Component Limited | Key switch device and keyboard |
| US10410806B2 (en) | 2013-12-13 | 2019-09-10 | Fujitsu Component Limited | Reaction force generating member for a key switch device |
| US11004627B2 (en) | 2017-03-30 | 2021-05-11 | Fujitsu Component Limited | Reaction force generating member and key switch device |
| US11862415B2 (en) | 2013-05-14 | 2024-01-02 | Fujitsu Component Limited | Keyswitch device and keyboard |
-
1991
- 1991-09-09 JP JP22785891A patent/JPH0566832A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6257782B1 (en) | 1998-06-18 | 2001-07-10 | Fujitsu Limited | Key switch with sliding mechanism and keyboard |
| US6376789B2 (en) | 2000-04-14 | 2002-04-23 | Fujitsu Takamisawa Component Ltd. | Key switch and keyboard |
| US8779308B2 (en) | 2011-02-07 | 2014-07-15 | Fujitsu Component Limited | Key switch device and keyboard |
| US11862415B2 (en) | 2013-05-14 | 2024-01-02 | Fujitsu Component Limited | Keyswitch device and keyboard |
| US10410806B2 (en) | 2013-12-13 | 2019-09-10 | Fujitsu Component Limited | Reaction force generating member for a key switch device |
| US11011329B2 (en) | 2013-12-13 | 2021-05-18 | Fujitsu Component Limited | Reaction force generating member for a key switch device |
| US11004627B2 (en) | 2017-03-30 | 2021-05-11 | Fujitsu Component Limited | Reaction force generating member and key switch device |
| US11355293B2 (en) | 2017-03-30 | 2022-06-07 | Fujitsu Component Limited | Reaction force generating member and key switch device |
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