JPH0560709A - ガス分析機能を備えた熱分析装置 - Google Patents
ガス分析機能を備えた熱分析装置Info
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- JPH0560709A JPH0560709A JP3253077A JP25307791A JPH0560709A JP H0560709 A JPH0560709 A JP H0560709A JP 3253077 A JP3253077 A JP 3253077A JP 25307791 A JP25307791 A JP 25307791A JP H0560709 A JPH0560709 A JP H0560709A
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- temperature
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- conduit
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 生成ガスを搬送するガス導管において生成ガ
スの熱分解及び凝縮を生じることのない、ガス分析機能
を備えた熱分析装置を提供する。 【構成】 試料１０を包囲する保護管３と、試料１０の
温度を変化させるヒータ５と、ガス導管１５を介して保
護管３に接続された質量分析装置２とを有するガス分析
機能を備えた熱分析装置であって、ガス導管１５の温度
を変化させるガス導管調温装置２１と、試料１０の温度
を検知する熱電対１１と、試料温度検知手段による温度
検知結果に基づいてガス導管調温装置２１を制御する制
御装置１２とを設けてある。そして制御装置１２は、ガ
ス導管１５の温度が試料１０の温度と等しくなるように
ガス導管調温装置２１を制御する。
スの熱分解及び凝縮を生じることのない、ガス分析機能
を備えた熱分析装置を提供する。 【構成】 試料１０を包囲する保護管３と、試料１０の
温度を変化させるヒータ５と、ガス導管１５を介して保
護管３に接続された質量分析装置２とを有するガス分析
機能を備えた熱分析装置であって、ガス導管１５の温度
を変化させるガス導管調温装置２１と、試料１０の温度
を検知する熱電対１１と、試料温度検知手段による温度
検知結果に基づいてガス導管調温装置２１を制御する制
御装置１２とを設けてある。そして制御装置１２は、ガ
ス導管１５の温度が試料１０の温度と等しくなるように
ガス導管調温装置２１を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料から発生するガス
の性質に関する分析を行なうことのできる熱分析装置に
関する。
の性質に関する分析を行なうことのできる熱分析装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】温度変化に従った試料の重量変化を測定
する熱重量測定装置（ＴＧ）、温度変化に従って試料に
出入りする熱を測定する示差熱分析装置（ＤＴＡ）等の
熱分析装置は広く知られている。
する熱重量測定装置（ＴＧ）、温度変化に従って試料に
出入りする熱を測定する示差熱分析装置（ＤＴＡ）等の
熱分析装置は広く知られている。
【０００３】また、上記形式の熱分析装置にガス分析装
置を付設し、試料から発生した生成ガスをそのガス分析
装置まで導いてガスに関する種々の性質をそのガス分析
装置によって測定するようにした、ガス分析機能を備え
た熱分析装置も、既に、知られている。例えば、ガス分
析装置として、いわゆる四重極質量分析装置を用いた場
合には、試料から発生したガスをその四重極質量分析装
置まで運び、その四重極質量分析装置においてガス成分
の質量数を測定することにより、そのガスの種類を同定
する。
置を付設し、試料から発生した生成ガスをそのガス分析
装置まで導いてガスに関する種々の性質をそのガス分析
装置によって測定するようにした、ガス分析機能を備え
た熱分析装置も、既に、知られている。例えば、ガス分
析装置として、いわゆる四重極質量分析装置を用いた場
合には、試料から発生したガスをその四重極質量分析装
置まで運び、その四重極質量分析装置においてガス成分
の質量数を測定することにより、そのガスの種類を同定
する。
【０００４】このように、四重極質量分析装置等といっ
たガス分析装置を用いる場合には、試料から発生した生
成ガスをガス分析装置まで運ぶ必要がある。そのため従
来より、試料を包囲する保護管とガス分析装置とをガス
導管で連結し、保護管内にキャリヤガスによるガス流を
形成し、試料から発生した生成ガスをそのキャリヤガス
によってガス分析装置まで運ぶという方法がしばしば用
いられている。
たガス分析装置を用いる場合には、試料から発生した生
成ガスをガス分析装置まで運ぶ必要がある。そのため従
来より、試料を包囲する保護管とガス分析装置とをガス
導管で連結し、保護管内にキャリヤガスによるガス流を
形成し、試料から発生した生成ガスをそのキャリヤガス
によってガス分析装置まで運ぶという方法がしばしば用
いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ガス導管を用いた従来
の熱分析装置において、コイル等の加熱手段をガス導管
に巻き付け、その加熱手段によってガス導管を加熱する
という方法は既に知られている。しかしながら、従来の
加熱方法はガス導管を常に一定の温度に加熱するという
ものであった。従って、試料温度に対してガス導管の温
度が高くなり過ぎたり、あるいは低くなり過ぎたりし
て、試料で発生した生成ガスがガス導管を流れる間に、
ガスの熱分解が促進されたり、ガスが凝縮するといった
問題が発生していた。このような現象が発生すると、ガ
ス分析装置に十分なガスが送られず、正確なガス分析が
できなくなるおそれがある。
の熱分析装置において、コイル等の加熱手段をガス導管
に巻き付け、その加熱手段によってガス導管を加熱する
という方法は既に知られている。しかしながら、従来の
加熱方法はガス導管を常に一定の温度に加熱するという
ものであった。従って、試料温度に対してガス導管の温
度が高くなり過ぎたり、あるいは低くなり過ぎたりし
て、試料で発生した生成ガスがガス導管を流れる間に、
ガスの熱分解が促進されたり、ガスが凝縮するといった
問題が発生していた。このような現象が発生すると、ガ
ス分析装置に十分なガスが送られず、正確なガス分析が
できなくなるおそれがある。
【０００６】本発明は、従来のガス分析機能を備えた熱
分析装置における上記の問題点に鑑みてなされたもので
あって、ガス導管においてガスの熱分解及び凝縮を生じ
ることのないガス分析機能を備えた熱分析装置を提供す
ることを目的とする。
分析装置における上記の問題点に鑑みてなされたもので
あって、ガス導管においてガスの熱分解及び凝縮を生じ
ることのないガス分析機能を備えた熱分析装置を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る熱分析装置は、試料（１０）を包囲す
る保護管（３）と、試料の温度を変化させる試料調温手
段（ヒータ５）と、ガス導管（１５）を介して保護管に
接続されたガス分析手段（四重極質量分析装置２）とを
有するガス分析機能を備えた熱分析装置において、ガス
導管の温度を変化させるガス導管調温手段（２１）と、
試料の温度を検知する試料温度検知手段（熱電対１１）
と、試料温度検知手段による温度検知結果に基づいてガ
ス導管調温手段を制御する制御手段（１２）とを設けて
ある。そして制御手段は、ガス導管の温度が試料の温度
と等しくなるようにガス導管調温手段を制御することを
特徴としている。
め、本発明に係る熱分析装置は、試料（１０）を包囲す
る保護管（３）と、試料の温度を変化させる試料調温手
段（ヒータ５）と、ガス導管（１５）を介して保護管に
接続されたガス分析手段（四重極質量分析装置２）とを
有するガス分析機能を備えた熱分析装置において、ガス
導管の温度を変化させるガス導管調温手段（２１）と、
試料の温度を検知する試料温度検知手段（熱電対１１）
と、試料温度検知手段による温度検知結果に基づいてガ
ス導管調温手段を制御する制御手段（１２）とを設けて
ある。そして制御手段は、ガス導管の温度が試料の温度
と等しくなるようにガス導管調温手段を制御することを
特徴としている。
【０００８】ガス分析手段とは、ガスの性質に関する分
析を行なうためのあらゆる装置のことであり、例えばガ
スの質量数を測定してガスの種類を同定する、いわゆる
質量分析装置とか、ガスクロマトグラフィー等といった
各種の装置が考えられる。
析を行なうためのあらゆる装置のことであり、例えばガ
スの質量数を測定してガスの種類を同定する、いわゆる
質量分析装置とか、ガスクロマトグラフィー等といった
各種の装置が考えられる。
【作用】保護管内の試料で発生した生成ガスは、ガス導
管を通ってガス分析手段に送られてガス分析される。ガ
ス導管の温度はガス導管調温手段によって試料の温度と
等しくなるように制御されているので、ガス導管内を流
れるガスについては熱分解が促進されることもなく、ガ
スが凝縮することもない。それ故、常に十分なガスがガ
ス分析装置に送り込まれて、正確なガス分析が行なわれ
る。
管を通ってガス分析手段に送られてガス分析される。ガ
ス導管の温度はガス導管調温手段によって試料の温度と
等しくなるように制御されているので、ガス導管内を流
れるガスについては熱分解が促進されることもなく、ガ
スが凝縮することもない。それ故、常に十分なガスがガ
ス分析装置に送り込まれて、正確なガス分析が行なわれ
る。
【０００９】
【実施例】図１は、熱重量−質量分析装置（ＴＧ−Ｍ
Ｓ）に本発明を適用した場合の実施例を示している。こ
のＴＧ−ＭＳ装置は、熱重量測定装置（ＴＧ）１と質量
分析装置（ＭＳ）２とを組み合わせた装置であって、温
度変化に伴う試料の重量変化をＴＧ装置１によって測定
すると共に、その重量変化の原因である試料から発生し
たガスの質量数の測定、すなわちそのガスの同定を質量
分析装置（ＭＳ）２によって行なうものである。
Ｓ）に本発明を適用した場合の実施例を示している。こ
のＴＧ−ＭＳ装置は、熱重量測定装置（ＴＧ）１と質量
分析装置（ＭＳ）２とを組み合わせた装置であって、温
度変化に伴う試料の重量変化をＴＧ装置１によって測定
すると共に、その重量変化の原因である試料から発生し
たガスの質量数の測定、すなわちそのガスの同定を質量
分析装置（ＭＳ）２によって行なうものである。
【００１０】同図において、熱重量測定装置（ＴＧ）１
は、石英等によって作られている保護管３と、その保護
管３の下に配置された重量測定ユニット４と、保護管３
のまわりに設けられたヒータ５とを有している。
は、石英等によって作られている保護管３と、その保護
管３の下に配置された重量測定ユニット４と、保護管３
のまわりに設けられたヒータ５とを有している。
【００１１】重量測定ユニット４の中には、天秤機構６
が設けられており、その天秤機構６によって支持されて
いる支持棒７が重量測定ユニット４のカバー開口８を通
って保護管３の中に延びている。支持棒７の上端には試
料皿９が固定されており、その試料皿９の中に試料１０
が収容されている。試料皿９には、試料の温度を検知す
るための温度検知手段、例えば熱電対１１が取り付けら
れている。この熱電対１１の検温信号は制御装置１２に
送られる。
が設けられており、その天秤機構６によって支持されて
いる支持棒７が重量測定ユニット４のカバー開口８を通
って保護管３の中に延びている。支持棒７の上端には試
料皿９が固定されており、その試料皿９の中に試料１０
が収容されている。試料皿９には、試料の温度を検知す
るための温度検知手段、例えば熱電対１１が取り付けら
れている。この熱電対１１の検温信号は制御装置１２に
送られる。
【００１２】ヒータ５は、制御装置１２内に予め記憶さ
れたプログラムに基づいて発熱し、これにより試料皿９
内の試料１０の温度が変化する。この温度変化により試
料１０に熱的な変化、例えばガスの発生が生じると、そ
の試料１０の重量が変化する。この変化は、周知の方法
により天秤機構６によって測定される。
れたプログラムに基づいて発熱し、これにより試料皿９
内の試料１０の温度が変化する。この温度変化により試
料１０に熱的な変化、例えばガスの発生が生じると、そ
の試料１０の重量が変化する。この変化は、周知の方法
により天秤機構６によって測定される。
【００１３】保護管３の上部には、細径の石英ガラス管
１３にアルミニウム１４を被覆することによって形成さ
れたガス導管１５が接続されている。アルミニウム被覆
１４の先端は保護管３の内部まで延びており、石英ガラ
ス管１３の先端は、さらに試料１０の直上位置まで延び
ている。
１３にアルミニウム１４を被覆することによって形成さ
れたガス導管１５が接続されている。アルミニウム被覆
１４の先端は保護管３の内部まで延びており、石英ガラ
ス管１３の先端は、さらに試料１０の直上位置まで延び
ている。
【００１４】保護管３の上方のガス導管１５上には、キ
ャリヤガス導入用の管１６が設けられている。図示しな
いガス供給源から供給されるキャリヤガス、例えばヘリ
ウム（Ｈｅ）ガスは、導入管１６を介して送り込まれ、
アルミニウム被覆１４と保護管３との間に形成されたわ
ずかな間隙を通って矢印Ａのように保護管３の内部へ送
り込まれる。送り込まれたキャリヤガスは、試料１０か
ら発生するガスを取り込んで、試料１０の直上に位置す
る石英ガラス管１３の先端開口からその石英ガラス管１
３内へ入る。試料１０から発生した生成ガスは、キャリ
ヤガスに乗って石英ガラス管１３内を搬送され、質量分
析装置（ＭＳ）２へと運ばれる。
ャリヤガス導入用の管１６が設けられている。図示しな
いガス供給源から供給されるキャリヤガス、例えばヘリ
ウム（Ｈｅ）ガスは、導入管１６を介して送り込まれ、
アルミニウム被覆１４と保護管３との間に形成されたわ
ずかな間隙を通って矢印Ａのように保護管３の内部へ送
り込まれる。送り込まれたキャリヤガスは、試料１０か
ら発生するガスを取り込んで、試料１０の直上に位置す
る石英ガラス管１３の先端開口からその石英ガラス管１
３内へ入る。試料１０から発生した生成ガスは、キャリ
ヤガスに乗って石英ガラス管１３内を搬送され、質量分
析装置（ＭＳ）２へと運ばれる。
【００１５】質量分析装置（ＭＳ）２は、本実施例の場
合、いわゆる四重極質量分析装置によって構成されてい
る。この質量分析装置２は、真空ケース１７を備えてお
り、その真空ケース１７の中には、イオン源１８、四重
極１９、そしてイオン検知器２０が配設されている。真
空ケース１７の内部は、図示しない真空吸引手段によっ
て真空状態とされている。
合、いわゆる四重極質量分析装置によって構成されてい
る。この質量分析装置２は、真空ケース１７を備えてお
り、その真空ケース１７の中には、イオン源１８、四重
極１９、そしてイオン検知器２０が配設されている。真
空ケース１７の内部は、図示しない真空吸引手段によっ
て真空状態とされている。
【００１６】キャリヤガスに乗ってガス導管１５を通っ
て送られる生成ガスは、まず、イオン源１８へ送り込ま
れ、そのイオン源１８内においてそのガスを構成するガ
ス成分がイオン化される。この場合、イオン化されたガ
ス成分が有する電荷は、そのガス成分の質量数、すなわ
ちガスの種類に対応した固有の値となる。イオン化され
たガス成分は、その後、四重極１９によって形成される
電場内を通過する。このときそのガス成分は、自らが有
する電荷に応じた曲線を描きながら進行する。
て送られる生成ガスは、まず、イオン源１８へ送り込ま
れ、そのイオン源１８内においてそのガスを構成するガ
ス成分がイオン化される。この場合、イオン化されたガ
ス成分が有する電荷は、そのガス成分の質量数、すなわ
ちガスの種類に対応した固有の値となる。イオン化され
たガス成分は、その後、四重極１９によって形成される
電場内を通過する。このときそのガス成分は、自らが有
する電荷に応じた曲線を描きながら進行する。
【００１７】イオン化されたガスが、測定しようとして
いる特定種類のガスである場合には、四重極１９を通過
したガス成分がイオン検知器２０によって検知される。
一方、四重極１９を通過したガス成分がそのような特定
のものでない場合は、四重極１９内におけるガス成分の
進行曲線がイオン検知器２０へ向かう進行路から外れ、
その結果、イオン検知器２０はそのガス成分を検知しな
い。このようにイオン検知器２０によってイオン化した
ガス成分を検知するか否かにより、イオン源１８へ送ら
れたガス、すなわち保護管３内の試料１から発生した生
成ガスの種類が同定される。
いる特定種類のガスである場合には、四重極１９を通過
したガス成分がイオン検知器２０によって検知される。
一方、四重極１９を通過したガス成分がそのような特定
のものでない場合は、四重極１９内におけるガス成分の
進行曲線がイオン検知器２０へ向かう進行路から外れ、
その結果、イオン検知器２０はそのガス成分を検知しな
い。このようにイオン検知器２０によってイオン化した
ガス成分を検知するか否かにより、イオン源１８へ送ら
れたガス、すなわち保護管３内の試料１から発生した生
成ガスの種類が同定される。
【００１８】以上、熱重量測定装置（ＴＧ）１及び質量
分析装置（ＭＳ）２によって行なわれる上記の処理によ
り、試料１０に関する熱分析、すなわち、熱重量測定及
び生成ガスの同定が同時に行なわれる。
分析装置（ＭＳ）２によって行なわれる上記の処理によ
り、試料１０に関する熱分析、すなわち、熱重量測定及
び生成ガスの同定が同時に行なわれる。
【００１９】上記の熱分析装置において、ガス導管１５
の適所に、コイルその他任意の加熱要素によって構成さ
れたガス導管調温装置２１が設けられている。この調温
装置２１は、制御装置１２からの指令に基づいて発熱し
てガス導管１５の温度を昇温あるいは降温させる。
の適所に、コイルその他任意の加熱要素によって構成さ
れたガス導管調温装置２１が設けられている。この調温
装置２１は、制御装置１２からの指令に基づいて発熱し
てガス導管１５の温度を昇温あるいは降温させる。
【００２０】制御装置１２は、試料皿９に取り付けた熱
電対１１から送られる温度信号により試料１０の温度を
検知し、ガス導管１５の温度が試料１０の温度と等しく
なるように調温装置２１の発熱量を制御する。一般に、
ガス導管１５の温度が試料１０よりも高過ぎると、試料
１０から発生してガス導管１５内を流れる生成ガスが熱
分解されてしまい、純粋な生成ガスを質量分析装置２に
送り込むことができなくなるおそれがある。また、ガス
導管１５の温度が低過ぎると、生成ガスがガス導管１５
内で凝縮してガス導管１５を詰まらせるおそれがある。
これに対して本実施例では、ガス導管１５の温度を試料
１０の温度に追従してそれに等しくなるように制御して
いるので、生成ガスの熱分解も、生成ガスの凝縮も起こ
らない。これにより、質量分析装置２によって正確なガ
ス分析が行なわれる。
電対１１から送られる温度信号により試料１０の温度を
検知し、ガス導管１５の温度が試料１０の温度と等しく
なるように調温装置２１の発熱量を制御する。一般に、
ガス導管１５の温度が試料１０よりも高過ぎると、試料
１０から発生してガス導管１５内を流れる生成ガスが熱
分解されてしまい、純粋な生成ガスを質量分析装置２に
送り込むことができなくなるおそれがある。また、ガス
導管１５の温度が低過ぎると、生成ガスがガス導管１５
内で凝縮してガス導管１５を詰まらせるおそれがある。
これに対して本実施例では、ガス導管１５の温度を試料
１０の温度に追従してそれに等しくなるように制御して
いるので、生成ガスの熱分解も、生成ガスの凝縮も起こ
らない。これにより、質量分析装置２によって正確なガ
ス分析が行なわれる。
【００２１】調温装置２１をガス導管１５へ取り付ける
位置は、特定の位置に限定されない。
位置は、特定の位置に限定されない。
【００２２】ガス導管１５は、石英ガラス管１３にアル
ミニウム１４を被覆することによって形成されている。
この他に、石英ガラスに高分子被覆を施したガス導管も
考えられる。しかしながら、アルミニウム被覆を施した
場合は、高分子被覆を施した場合に比べて、石英ガラス
管をより高温に保温することができる。従って、アルミ
ニウム被覆を用いた本実施例は、試料１０から高温の生
成ガスが発生する場合に適している。
ミニウム１４を被覆することによって形成されている。
この他に、石英ガラスに高分子被覆を施したガス導管も
考えられる。しかしながら、アルミニウム被覆を施した
場合は、高分子被覆を施した場合に比べて、石英ガラス
管をより高温に保温することができる。従って、アルミ
ニウム被覆を用いた本実施例は、試料１０から高温の生
成ガスが発生する場合に適している。
【００２３】以上、１つの実施例をあげて本発明を説明
したが、本発明はその実施例に限定されるものではな
い。例えば、保護管３に付随して設けられる熱分析機器
は、熱重量測定装置（ＴＧ）に限らず、示差熱分析装置
（ＤＴＡ）、示差熱重量測定装置（ＴＧ−ＤＴＡ）等と
いった任意の機器とすることができる。なお、示差熱分
析装置（ＤＴＡ）とは、熱的に安定な基準物質を試料と
同じ温度環境下に置き、基準物質と試料との間に生じる
温度差を測定するものである。また、示差熱重量測定装
置（ＴＧ−ＤＴＡ）とは、熱重量測定装置（ＴＧ）と上
記の示差熱分析装置（ＤＴＡ）を組み合わせたものであ
る。
したが、本発明はその実施例に限定されるものではな
い。例えば、保護管３に付随して設けられる熱分析機器
は、熱重量測定装置（ＴＧ）に限らず、示差熱分析装置
（ＤＴＡ）、示差熱重量測定装置（ＴＧ−ＤＴＡ）等と
いった任意の機器とすることができる。なお、示差熱分
析装置（ＤＴＡ）とは、熱的に安定な基準物質を試料と
同じ温度環境下に置き、基準物質と試料との間に生じる
温度差を測定するものである。また、示差熱重量測定装
置（ＴＧ−ＤＴＡ）とは、熱重量測定装置（ＴＧ）と上
記の示差熱分析装置（ＤＴＡ）を組み合わせたものであ
る。
【００２４】ガス分析手段としては、四重極質量分析装
置２以外に、他の形式の質量分析装置や、ガスクロマト
グラフイ等を採用することもできる。
置２以外に、他の形式の質量分析装置や、ガスクロマト
グラフイ等を採用することもできる。
【００２５】
【発明の効果】請求項１記載の熱分析装置によれば、ガ
ス導管の温度を試料の温度と等しくしたので、試料から
発生した生成ガスがガス導管において熱分解したり、凝
縮したりすることを防止できる。
ス導管の温度を試料の温度と等しくしたので、試料から
発生した生成ガスがガス導管において熱分解したり、凝
縮したりすることを防止できる。
【００２６】請求項２記載の熱分析装置によれば、石英
ガラス管をより高温に保持できる。
ガラス管をより高温に保持できる。
【図１】本発明に係る熱分析装置の一実施例を示す正面
断面図である。
断面図である。
２ 四重極質量分析装置 ３ 保護管 ５ ヒータ １０ 試料 １１ 熱電対 １２制御装置 １３ 石英ガラス管 １４ アルミ
ニウム被覆 １５ ガス導管 ２１ ガス導
管調温装置
ニウム被覆 １５ ガス導管 ２１ ガス導
管調温装置
Claims (2)
- 【請求項１】 試料を包囲する保護管と、試料の温度を
変化させる試料調温手段と、ガス導管を介して保護管に
接続されたガス分析手段とを有するガス分析機能を備え
た熱分析装置において、 ガス導管の温度を変化させるガス導管調温手段と、試料
の温度を検知する試料温度検知手段と、試料温度検知手
段による温度検知結果に基づいてガス導管調温手段を制
御する制御手段とを有しており、 制御手段は、ガス導管の温度が試料の温度と等しくなる
ようにガス導管調温手段を制御することを特徴とする熱
分析装置。 - 【請求項２】 ガス導管は、石英ガラス管にアルミニウ
ム被覆を施すことにより形成されていることを特徴とす
る請求項１記載の熱分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3253077A JPH0560709A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | ガス分析機能を備えた熱分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3253077A JPH0560709A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | ガス分析機能を備えた熱分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560709A true JPH0560709A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=17246175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3253077A Pending JPH0560709A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | ガス分析機能を備えた熱分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0560709A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009008664A (ja) * | 2007-05-25 | 2009-01-15 | Shiseido Co Ltd | 成分分析方法 |
| CN107064214A (zh) * | 2017-06-15 | 2017-08-18 | 天津大学 | 一种固定结合面接触热阻的测量装置 |
-
1991
- 1991-09-04 JP JP3253077A patent/JPH0560709A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009008664A (ja) * | 2007-05-25 | 2009-01-15 | Shiseido Co Ltd | 成分分析方法 |
| CN107064214A (zh) * | 2017-06-15 | 2017-08-18 | 天津大学 | 一种固定结合面接触热阻的测量装置 |
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