JPH0560595A - 圧電型振動センサ - Google Patents
圧電型振動センサInfo
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- JPH0560595A JPH0560595A JP25317591A JP25317591A JPH0560595A JP H0560595 A JPH0560595 A JP H0560595A JP 25317591 A JP25317591 A JP 25317591A JP 25317591 A JP25317591 A JP 25317591A JP H0560595 A JPH0560595 A JP H0560595A
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- electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ３次元方向の振動を分離、測定することので
きる簡単な構造の圧電型振動センサを提供する。 【構成】膜状圧電体２の裏面にベタ電極、表面に３種類
の電極を設け、各電極に生じる電位に基づいてｘ軸、ｙ
軸、ｚ軸方向の振動を測定できるようにした。
きる簡単な構造の圧電型振動センサを提供する。 【構成】膜状圧電体２の裏面にベタ電極、表面に３種類
の電極を設け、各電極に生じる電位に基づいてｘ軸、ｙ
軸、ｚ軸方向の振動を測定できるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は圧電型振動センサに関
し、特に、一つのセンサによってｘ，ｙ，ｚ軸、３次元
方向の振動を検出することができる圧電型振動センサに
関するものである。
し、特に、一つのセンサによってｘ，ｙ，ｚ軸、３次元
方向の振動を検出することができる圧電型振動センサに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、圧電型振動センサは一方向の振
動のみを検出するようになっており、その他の方向の振
動は検出できない構造となっている。振動は方向と大き
さを持つものであり、振動センサとしてはその両方を評
価できることが望ましい。しかしながら、従来の振動セ
ンサの構造を用いてすべての方向の振動を評価するに
は、図８に示すように、少なくとも３つのセンサ５１，
５２，５３をその主感度軸が互いに直交するように組み
合わせるか、検知部を３つ互いに直交するように組み込
む必要がある。このような方法によると、きわめて複雑
な構造となりコスト的に高いものとなるばかりでなく、
大きなスペ−スを必要とし、また、汎用性に欠ける欠点
がある。
動のみを検出するようになっており、その他の方向の振
動は検出できない構造となっている。振動は方向と大き
さを持つものであり、振動センサとしてはその両方を評
価できることが望ましい。しかしながら、従来の振動セ
ンサの構造を用いてすべての方向の振動を評価するに
は、図８に示すように、少なくとも３つのセンサ５１，
５２，５３をその主感度軸が互いに直交するように組み
合わせるか、検知部を３つ互いに直交するように組み込
む必要がある。このような方法によると、きわめて複雑
な構造となりコスト的に高いものとなるばかりでなく、
大きなスペ−スを必要とし、また、汎用性に欠ける欠点
がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする課題は、３次元方向の振動を分離、測定すること
のできる簡単な構造の圧電型振動センサを提供すること
にある。
とする課題は、３次元方向の振動を分離、測定すること
のできる簡単な構造の圧電型振動センサを提供すること
にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決するため、図１に示すように、台座１上に膜状圧電体
２および荷重体３、４を積層した構造を持つ圧電型振動
センサにおいて、前記膜状圧電体２の一方の面に第１の
電極をほぼ一様に設けるとともに、他方の面に垂直なほ
ぼ中心を通る直線をｚ軸、この他方の面内にあってｚ軸
に垂直な互いに直交する２本の直線をそれぞれｘ軸、ｙ
軸としたとき、この他方の面にｚ軸を中心とするほぼ点
対称な形状の第２の電極と、ｘ軸およびｙ軸に関してそ
れぞれ線対称な形状の第３および第４の電極を設け、各
電極に生じる電位に基づいてｘ軸、ｙ軸、ｚ軸方向の振
動を測定できるようにしたものである。
決するため、図１に示すように、台座１上に膜状圧電体
２および荷重体３、４を積層した構造を持つ圧電型振動
センサにおいて、前記膜状圧電体２の一方の面に第１の
電極をほぼ一様に設けるとともに、他方の面に垂直なほ
ぼ中心を通る直線をｚ軸、この他方の面内にあってｚ軸
に垂直な互いに直交する２本の直線をそれぞれｘ軸、ｙ
軸としたとき、この他方の面にｚ軸を中心とするほぼ点
対称な形状の第２の電極と、ｘ軸およびｙ軸に関してそ
れぞれ線対称な形状の第３および第４の電極を設け、各
電極に生じる電位に基づいてｘ軸、ｙ軸、ｚ軸方向の振
動を測定できるようにしたものである。
【０００５】前記台座１としては、繊維強化型樹脂な
ど、充分剛性を持つ材料であればよく、膜状圧電体２と
しては、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレ
ンとトリフルオロエチレンとの共重合体、チタン酸金属
塩、ジルコン酸金属塩など各種の圧電材料を用いること
ができる。荷重体３、４としては、真ちゅう、その他の
金属など、比較的比重の大きな材料を用いることが好ま
しい。しかしながら、ｘ軸方向およびｙ軸方向の振動成
分を高いＳ／Ｎ比とともに得るためには、圧電体２上の
荷重の重心を圧電体２の対称点からなるべく離すことが
好ましいため、荷重体２を複数層で構成し、圧電体２に
近い方を繊維強化型樹脂などの比重の小さな材料で、遠
い方を真ちゅうなどの比重の大きな材料で構成すること
もできる。また、第２、第３、第４の電極からの出力電
圧を高くするため、それぞれの電極面積をほぼ等しく構
成することが好ましい。
ど、充分剛性を持つ材料であればよく、膜状圧電体２と
しては、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレ
ンとトリフルオロエチレンとの共重合体、チタン酸金属
塩、ジルコン酸金属塩など各種の圧電材料を用いること
ができる。荷重体３、４としては、真ちゅう、その他の
金属など、比較的比重の大きな材料を用いることが好ま
しい。しかしながら、ｘ軸方向およびｙ軸方向の振動成
分を高いＳ／Ｎ比とともに得るためには、圧電体２上の
荷重の重心を圧電体２の対称点からなるべく離すことが
好ましいため、荷重体２を複数層で構成し、圧電体２に
近い方を繊維強化型樹脂などの比重の小さな材料で、遠
い方を真ちゅうなどの比重の大きな材料で構成すること
もできる。また、第２、第３、第４の電極からの出力電
圧を高くするため、それぞれの電極面積をほぼ等しく構
成することが好ましい。
【０００６】
【作用】どのような方向の振動でも３次元直交座標系に
おけるｘ軸、ｙ軸、ｚ軸方向成分に分解することができ
る。図２および図３に示すように、前記膜状圧電体２の
他方の面の中央に設けられた第２の電極１２は原点Ｏに
関して点対称な形状を有しているため、ｚ軸以外の軸方
向振動成分により生じる回転モーメントによる出力をキ
ャンセルし、指向性を向上させる。また、第３および第
４の電極１３，１４は、それぞれｘ軸およびｙ軸に関し
てそれぞれ線対称な形状となっているため、各軸方向の
振動成分により生じる回転モーメントによる出力はキャ
ンセルされる。この振動のｘ軸方向成分は、前記第１お
よび第２の電極１１，１２間に生じる電位差と第１およ
び第３の電極１１，１３間に生じる電位差との差Ｖx に
基づいて評価、測定される。また、ｙ軸方向成分は、第
１および第２の電極１１，１２間に生じる電位差と第１
および第４の電極１１，１４間に生じる電位差との差Ｖ
y に基づいて評価、測定される。ｚ軸方向成分は第１お
よび第２の電極１１，１２間に生じる電位差Ｖz に基づ
いて評価、測定される。
おけるｘ軸、ｙ軸、ｚ軸方向成分に分解することができ
る。図２および図３に示すように、前記膜状圧電体２の
他方の面の中央に設けられた第２の電極１２は原点Ｏに
関して点対称な形状を有しているため、ｚ軸以外の軸方
向振動成分により生じる回転モーメントによる出力をキ
ャンセルし、指向性を向上させる。また、第３および第
４の電極１３，１４は、それぞれｘ軸およびｙ軸に関し
てそれぞれ線対称な形状となっているため、各軸方向の
振動成分により生じる回転モーメントによる出力はキャ
ンセルされる。この振動のｘ軸方向成分は、前記第１お
よび第２の電極１１，１２間に生じる電位差と第１およ
び第３の電極１１，１３間に生じる電位差との差Ｖx に
基づいて評価、測定される。また、ｙ軸方向成分は、第
１および第２の電極１１，１２間に生じる電位差と第１
および第４の電極１１，１４間に生じる電位差との差Ｖ
y に基づいて評価、測定される。ｚ軸方向成分は第１お
よび第２の電極１１，１２間に生じる電位差Ｖz に基づ
いて評価、測定される。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の圧電型振動センサを実施例
に基づいて詳細に説明する。 （実施例１）図１は、この発明の圧電型振動センサの一
実施例を示すものである。この図において、１は、縦５
ｍｍ，横５ｍｍ，厚さ１．５ｍｍの繊維強化型樹脂板か
らなる台座であり、圧電型振動センサのケ−スなどに固
定される。この台座１の上面に、縦５ｍｍ，横５ｍｍ，
厚さ０．１１ｍｍのポリフッ化ビニリデン膜で形成され
た膜状圧電体２を固着した。また、この膜状圧電体２の
上面に、縦５ｍｍ，横５ｍｍ，厚さ１．５ｍｍの繊維強
化型樹脂板からなる荷重体３を、そして、さらにその上
に、縦５ｍｍ，横５ｍｍ，厚さ３．０ｍｍの真ちゅう製
の荷重体４をそれぞれ固着して圧電型振動センサを試作
した。
に基づいて詳細に説明する。 （実施例１）図１は、この発明の圧電型振動センサの一
実施例を示すものである。この図において、１は、縦５
ｍｍ，横５ｍｍ，厚さ１．５ｍｍの繊維強化型樹脂板か
らなる台座であり、圧電型振動センサのケ−スなどに固
定される。この台座１の上面に、縦５ｍｍ，横５ｍｍ，
厚さ０．１１ｍｍのポリフッ化ビニリデン膜で形成され
た膜状圧電体２を固着した。また、この膜状圧電体２の
上面に、縦５ｍｍ，横５ｍｍ，厚さ１．５ｍｍの繊維強
化型樹脂板からなる荷重体３を、そして、さらにその上
に、縦５ｍｍ，横５ｍｍ，厚さ３．０ｍｍの真ちゅう製
の荷重体４をそれぞれ固着して圧電型振動センサを試作
した。
【０００８】また、膜状圧電体２の表裏面には、それぞ
れ図２に示すような電極（Ｃｕ箔、厚さ３５μｍ）を形
成した。すなわち、裏面には全面にほぼ一様に第１の電
極（ベタ電極、面積２５ｍｍ2 ）１１を設け、表面には
第２の電極１２、第３の電極１３、第２の電極１４を設
けた。膜状圧電体２の表面の中心を原点とし、この表面
に垂直な直線をｚ軸、この面内のｚ軸に垂直な互いに直
交する２本の直線をそれぞれｘ軸、ｙ軸としたとき、前
記第２の電極１２はｚ軸を中心とするほぼ点対称な形状
を持ち（この例では正方形、面積７．９ｍｍ2 ）、第３
および第４の電極１３，１４は、この第２の電極１２の
周囲にｘ軸およびｙ軸に関してそれぞれ線対称な形状を
持つように設けられた（それぞれの面積７．８ｍｍ
2 ）。 このようにして形成した圧電型振動センサに対
し、ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸方向にそれぞれ別々に、８０Ｈ
ｚ，１Ｇの正弦振動を加え、各軸の出力を測定した。そ
の結果を表１に示す。
れ図２に示すような電極（Ｃｕ箔、厚さ３５μｍ）を形
成した。すなわち、裏面には全面にほぼ一様に第１の電
極（ベタ電極、面積２５ｍｍ2 ）１１を設け、表面には
第２の電極１２、第３の電極１３、第２の電極１４を設
けた。膜状圧電体２の表面の中心を原点とし、この表面
に垂直な直線をｚ軸、この面内のｚ軸に垂直な互いに直
交する２本の直線をそれぞれｘ軸、ｙ軸としたとき、前
記第２の電極１２はｚ軸を中心とするほぼ点対称な形状
を持ち（この例では正方形、面積７．９ｍｍ2 ）、第３
および第４の電極１３，１４は、この第２の電極１２の
周囲にｘ軸およびｙ軸に関してそれぞれ線対称な形状を
持つように設けられた（それぞれの面積７．８ｍｍ
2 ）。 このようにして形成した圧電型振動センサに対
し、ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸方向にそれぞれ別々に、８０Ｈ
ｚ，１Ｇの正弦振動を加え、各軸の出力を測定した。そ
の結果を表１に示す。
【０００９】（実施例２）次に、表面の電極を図４のよ
うに、すなわち、ｚ軸を中心とするほぼ点対称な形状の
第２の電極２２を円形に、第３および第４の電極２３，
２４は、この第２の電極２２の周囲に設け、その他の構
成および条件については実施例１と同様にして各軸の出
力を測定した。その結果を表１に示す。
うに、すなわち、ｚ軸を中心とするほぼ点対称な形状の
第２の電極２２を円形に、第３および第４の電極２３，
２４は、この第２の電極２２の周囲に設け、その他の構
成および条件については実施例１と同様にして各軸の出
力を測定した。その結果を表１に示す。
【００１０】（実施例３）次に、表面の電極を図５に示
すように、裏面には全面にほぼ一様に第１の電極（ベタ
電極）３１を設け、表面にはｚ軸を中心とするほぼ点対
称な形状の第２の電極３２を正方形に、その周囲にそれ
ぞれ一対の第３の電極３３ａ，３３ｂ、第４の電極３４
ａ，３４ｂを設けた。膜状圧電体２の表面の中心である
原点と各辺の中点を結ぶ２本の直線をそれぞれｘ軸、ｙ
軸としたとき、第３の電極３３ａ，３３ｂおよび第４の
電極３４ａ，３４ｂは、それぞれ第２の電極３２の周囲
にｘ軸およびｙ軸に関してそれぞれ線対称な形状を持つ
ように対称な位置に設けられた。このようにして形成し
た圧電型振動センサに対し、実施例１と同様に、ｘ軸、
ｙ軸、ｚ軸方向にそれぞれ別々に、８０Ｈｚ，１Ｇの正
弦振動を加え、各軸の出力を測定した。その結果を表１
に示す。図６に示すように、この振動のｘ軸方向成分
は、前記第１および第３の一方の電極３１，３３ａ間に
生じる電位差と第１および第３の他方の電極３１，３３
ｂ間に生じる電位差との差Ｖx に基づいて評価、測定さ
れる。また、ｙ軸方向成分は、第１および第４の一方の
電極３１，３４ａ間に生じる電位差と第１および第４の
他方の電極３４ｂ間に生じる電位差との差Ｖy に基づい
て評価、測定される。ｚ軸方向成分は第１および第２の
電極３１，３２間に生じる電位差Ｖz に基づいて評価、
測定される。
すように、裏面には全面にほぼ一様に第１の電極（ベタ
電極）３１を設け、表面にはｚ軸を中心とするほぼ点対
称な形状の第２の電極３２を正方形に、その周囲にそれ
ぞれ一対の第３の電極３３ａ，３３ｂ、第４の電極３４
ａ，３４ｂを設けた。膜状圧電体２の表面の中心である
原点と各辺の中点を結ぶ２本の直線をそれぞれｘ軸、ｙ
軸としたとき、第３の電極３３ａ，３３ｂおよび第４の
電極３４ａ，３４ｂは、それぞれ第２の電極３２の周囲
にｘ軸およびｙ軸に関してそれぞれ線対称な形状を持つ
ように対称な位置に設けられた。このようにして形成し
た圧電型振動センサに対し、実施例１と同様に、ｘ軸、
ｙ軸、ｚ軸方向にそれぞれ別々に、８０Ｈｚ，１Ｇの正
弦振動を加え、各軸の出力を測定した。その結果を表１
に示す。図６に示すように、この振動のｘ軸方向成分
は、前記第１および第３の一方の電極３１，３３ａ間に
生じる電位差と第１および第３の他方の電極３１，３３
ｂ間に生じる電位差との差Ｖx に基づいて評価、測定さ
れる。また、ｙ軸方向成分は、第１および第４の一方の
電極３１，３４ａ間に生じる電位差と第１および第４の
他方の電極３４ｂ間に生じる電位差との差Ｖy に基づい
て評価、測定される。ｚ軸方向成分は第１および第２の
電極３１，３２間に生じる電位差Ｖz に基づいて評価、
測定される。
【００１１】（実施例４）次に、表面の電極を図７に示
すように、すなわち、膜状圧電体２の表面の中心である
原点と各頂点を結ぶ２本の直線をそれぞれｘ軸、ｙ軸と
したとき、第３の電極４３ａ，４３ｂおよび第４の電極
４４ａ，４４ｂは、それぞれ第２の電極４２の周囲にｘ
軸およびｙ軸に関してそれぞれ線対称な形状を持つよう
に対称な位置に設けられた。このようにして形成した圧
電型振動センサに対し、実施例１と同様に、ｘ軸、ｙ
軸、ｚ軸方向にそれぞれ別々に、８０Ｈｚ，１Ｇの正弦
振動を加え、各軸の出力を測定した。その結果を表１に
示す。
すように、すなわち、膜状圧電体２の表面の中心である
原点と各頂点を結ぶ２本の直線をそれぞれｘ軸、ｙ軸と
したとき、第３の電極４３ａ，４３ｂおよび第４の電極
４４ａ，４４ｂは、それぞれ第２の電極４２の周囲にｘ
軸およびｙ軸に関してそれぞれ線対称な形状を持つよう
に対称な位置に設けられた。このようにして形成した圧
電型振動センサに対し、実施例１と同様に、ｘ軸、ｙ
軸、ｚ軸方向にそれぞれ別々に、８０Ｈｚ，１Ｇの正弦
振動を加え、各軸の出力を測定した。その結果を表１に
示す。
【００１２】（比較例）膜状圧電体２の表裏面の電極を
共に一様に（ベタ電極）形成し、その他は図１と同様に
して圧電型振動センサを構成し、これを３個用意した。
これら３個の圧電型振動センサ５１，５２，５３を、図
８に示すように、それぞれの感知軸が互いに直交するよ
うに立方体のブロックに取り付けた。このようにして形
成した圧電型振動センサに対し、実施例１と同様に、ｘ
軸、ｙ軸、ｚ軸方向にそれぞれ別々に、８０Ｈｚ，１Ｇ
の正弦振動を加え、各軸の出力を測定した。その結果を
表１に示す。
共に一様に（ベタ電極）形成し、その他は図１と同様に
して圧電型振動センサを構成し、これを３個用意した。
これら３個の圧電型振動センサ５１，５２，５３を、図
８に示すように、それぞれの感知軸が互いに直交するよ
うに立方体のブロックに取り付けた。このようにして形
成した圧電型振動センサに対し、実施例１と同様に、ｘ
軸、ｙ軸、ｚ軸方向にそれぞれ別々に、８０Ｈｚ，１Ｇ
の正弦振動を加え、各軸の出力を測定した。その結果を
表１に示す。
【００１３】
【表１】
【００１４】表１の結果から明らかなように、実施例１
〜４のいずれの場合も、３個の圧電型振動センサにより
構成した比較例の場合と同等の指向性を示しており、ｘ
軸、ｙ軸、ｚ軸方向の振動成分を分離、測定できている
ことが分かる。また、実施例１の各軸方向の主軸出力を
それぞれ１とすると、実施例３、４の各軸成分の出力は
ｚ軸方向で１と変化ないが、ｘ軸、ｙ軸方向ではおよそ
１．８と感度が上昇した。
〜４のいずれの場合も、３個の圧電型振動センサにより
構成した比較例の場合と同等の指向性を示しており、ｘ
軸、ｙ軸、ｚ軸方向の振動成分を分離、測定できている
ことが分かる。また、実施例１の各軸方向の主軸出力を
それぞれ１とすると、実施例３、４の各軸成分の出力は
ｚ軸方向で１と変化ないが、ｘ軸、ｙ軸方向ではおよそ
１．８と感度が上昇した。
【００１５】また、実施例１および２のような電極構造
によると、熱ノイズによる焦電出力が大きく、急激な温
度変化を生じるような場所での使用は難しいが、実施例
３あるいは４のような電極構造とすることによって、焦
電効果の低減および出力感度の向上を図ることができ
る。実施例１、３、４および比較例について、焦電出力
の評価を行った。その結果を表２に示す。各センサのｚ
軸方向の高さ１５ｃｍの位置から６０Ｗの白熱灯を１／
８秒照射した時、各軸成分の出力を、主軸方向８０Ｈ
ｚ，１Ｇの正弦振動を加えた場合の出力で割った値を性
能指数として評価した。
によると、熱ノイズによる焦電出力が大きく、急激な温
度変化を生じるような場所での使用は難しいが、実施例
３あるいは４のような電極構造とすることによって、焦
電効果の低減および出力感度の向上を図ることができ
る。実施例１、３、４および比較例について、焦電出力
の評価を行った。その結果を表２に示す。各センサのｚ
軸方向の高さ１５ｃｍの位置から６０Ｗの白熱灯を１／
８秒照射した時、各軸成分の出力を、主軸方向８０Ｈ
ｚ，１Ｇの正弦振動を加えた場合の出力で割った値を性
能指数として評価した。
【００１６】
【表２】
【００１７】表２の結果から明らかなように、実施例の
場合には、比較例と較べ焦電効果が低下していることが
分かる。特に、実施例３および４の場合にはｘ軸、ｙ軸
方向で大幅に焦電効果が低減されている。
場合には、比較例と較べ焦電効果が低下していることが
分かる。特に、実施例３および４の場合にはｘ軸、ｙ軸
方向で大幅に焦電効果が低減されている。
【００１８】また、上記実施例においては膜状圧電体の
電極配置について数例のみ説明してきたが、図９（Ａ）
〜（Ｄ）あるいは図１０（Ａ）〜（Ｄ）に示すような電
極配置によっても、前記実施例１〜２あるいは３〜４と
同様の効果を得ることができる。なお、これらの図にお
いて、６２，７２，８２，９２，１０２，１１２，１２
２および１３２は、ｚ軸を中心とするほぼ点対称な形状
の第２の電極、６３，７３，８３，９３，１０３，１１
３，１２３，１３３、および６４，７４，８４，９４，
１０４，１１４，１２４，１３４は、それぞれｘ軸およ
びｙ軸に関してそれぞれ線対称な形状の第３および第４
の電極を示している。
電極配置について数例のみ説明してきたが、図９（Ａ）
〜（Ｄ）あるいは図１０（Ａ）〜（Ｄ）に示すような電
極配置によっても、前記実施例１〜２あるいは３〜４と
同様の効果を得ることができる。なお、これらの図にお
いて、６２，７２，８２，９２，１０２，１１２，１２
２および１３２は、ｚ軸を中心とするほぼ点対称な形状
の第２の電極、６３，７３，８３，９３，１０３，１１
３，１２３，１３３、および６４，７４，８４，９４，
１０４，１１４，１２４，１３４は、それぞれｘ軸およ
びｙ軸に関してそれぞれ線対称な形状の第３および第４
の電極を示している。
【００１９】
【発明の効果】以上に記載したように、この発明の圧電
型振動センサによれば、きわめて簡単な構造で３次元方
向の振動を分離、測定することが可能となる。
型振動センサによれば、きわめて簡単な構造で３次元方
向の振動を分離、測定することが可能となる。
【図１】この発明の圧電型振動センサの一実施例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】この発明における膜状圧電体の電極配置の第１
の実施例を示す斜視図である。
の実施例を示す斜視図である。
【図３】この発明における膜状圧電体の各電極間の出力
電圧を説明するための回路図である。
電圧を説明するための回路図である。
【図４】この発明における膜状圧電体の電極配置の第２
の実施例を示す斜視図である。
の実施例を示す斜視図である。
【図５】この発明における膜状圧電体の電極配置の第３
の実施例を示す斜視図である。
の実施例を示す斜視図である。
【図６】第３の実施例における膜状圧電体の各電極間の
出力電圧を説明するための回路図である。
出力電圧を説明するための回路図である。
【図７】この発明における膜状圧電体の電極配置の第４
の実施例を示す斜視図である。
の実施例を示す斜視図である。
【図８】膜状圧電体の電極配置の比較例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図９】この発明における膜状圧電体電極配置の他の実
施例を示す斜視図である。
施例を示す斜視図である。
【図１０】この発明における膜状圧電体電極配置の他の
実施例を示す斜視図である。
実施例を示す斜視図である。
１…台座、２…膜状圧電体、３…荷重体、４…荷重体、
１１…第１の電極、１２…第 ２の電極、１３…第３の
電極、１４…第４の電極
１１…第１の電極、１２…第 ２の電極、１３…第３の
電極、１４…第４の電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 今井 隆之 東京都江東区木場一丁目５番１号 藤倉電 線株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 台座上に膜状圧電体および荷重体を積層
した構造を持つ圧電型振動センサにおいて、前記膜状圧
電体の一方の面に第１の電極を設けるとともに、他方の
面に垂直なほぼ中心を通る直線をｚ軸、この他方の面内
にあってｚ軸に垂直な互いに直交する２本の直線をそれ
ぞれｘ軸、ｙ軸としたとき、この他方の面にｚ軸を中心
とするほぼ点対称な形状の第２の電極と、ｘ軸およびｙ
軸に関してそれぞれ線対称な形状の第３および第４の電
極を設け、各電極に生じる電位に基づいてｘ軸、ｙ軸、
ｚ軸方向の振動を測定できるようにしたことを特徴とす
る圧電型振動センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25317591A JPH0560595A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 圧電型振動センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25317591A JPH0560595A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 圧電型振動センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560595A true JPH0560595A (ja) | 1993-03-09 |
Family
ID=17247584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25317591A Withdrawn JPH0560595A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 圧電型振動センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0560595A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019059049A1 (ja) * | 2017-09-19 | 2019-03-28 | 株式会社デンソー | 振動検出器 |
-
1991
- 1991-09-04 JP JP25317591A patent/JPH0560595A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019059049A1 (ja) * | 2017-09-19 | 2019-03-28 | 株式会社デンソー | 振動検出器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |