JPH0560267A - 漏れのないブツシング - Google Patents
漏れのないブツシングInfo
- Publication number
- JPH0560267A JPH0560267A JP4036141A JP3614192A JPH0560267A JP H0560267 A JPH0560267 A JP H0560267A JP 4036141 A JP4036141 A JP 4036141A JP 3614192 A JP3614192 A JP 3614192A JP H0560267 A JPH0560267 A JP H0560267A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- bushing
- armature body
- transmission member
- armature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K41/00—Spindle sealings
- F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Acyclic And Carbocyclic Compounds In Medicinal Compositions (AREA)
- Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)
- Transition And Organic Metals Composition Catalysts For Addition Polymerization (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 流れにより負荷される管路の開閉もしくは閉
鎖状態及び開放状態を保証でき、更に、簡単に使用で
き、安価に製作できしかも負圧システム並びに過圧シス
テムにも適し、更に、流れ媒体の圧力勾配を最小限に減
少できるようにブッシングを改良することにある。 【構成】 フレキシブルなベローと可動なシールエレメ
ントと定置のシール座とを備えた、特に真空弁のアーマ
チュア体を貫通する漏れのないブッシングにおいて、ベ
ローの一端が漏れなしにアーマチュア体に結合されかつ
ベローの他端がベロー軸線に対して角度的な旋回運動を
実施するようになっており、更に、このように形成され
た可動な端部が漏れなしに閉鎖されしかも外側範囲にベ
ローを機械的に変位せしめる手段をかつ内側範囲にベロ
ー軸線に沿って伝達部材を有し、この伝達部材が外側の
機械的な変位を内室内に伝達するようになっている。
鎖状態及び開放状態を保証でき、更に、簡単に使用で
き、安価に製作できしかも負圧システム並びに過圧シス
テムにも適し、更に、流れ媒体の圧力勾配を最小限に減
少できるようにブッシングを改良することにある。 【構成】 フレキシブルなベローと可動なシールエレメ
ントと定置のシール座とを備えた、特に真空弁のアーマ
チュア体を貫通する漏れのないブッシングにおいて、ベ
ローの一端が漏れなしにアーマチュア体に結合されかつ
ベローの他端がベロー軸線に対して角度的な旋回運動を
実施するようになっており、更に、このように形成され
た可動な端部が漏れなしに閉鎖されしかも外側範囲にベ
ローを機械的に変位せしめる手段をかつ内側範囲にベロ
ー軸線に沿って伝達部材を有し、この伝達部材が外側の
機械的な変位を内室内に伝達するようになっている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、フレキシブルなベロー
と可動なシールエレメントと定置のシール座とを備え
た、特に真空密な弁のアーマチュアの漏れのないブッシ
ングに関する。
と可動なシールエレメントと定置のシール座とを備え
た、特に真空密な弁のアーマチュアの漏れのないブッシ
ングに関する。
【0002】
【従来の技術】真空技術においては長い間、漏れのない
弁及び回転ブッシングが使用されている。このような弁
は例えば可動な金属ベローを有し、この金属ベローはね
じ装置又は旋回装置をによって軸方向で、可動なシール
エレメントが定置のシール座から持ち上げられるか又は
定置のシール座に圧着されるように、伸長させられる。
弁及び回転ブッシングが使用されている。このような弁
は例えば可動な金属ベローを有し、この金属ベローはね
じ装置又は旋回装置をによって軸方向で、可動なシール
エレメントが定置のシール座から持ち上げられるか又は
定置のシール座に圧着されるように、伸長させられる。
【0003】この原理による弁は真空技術における以外
に過圧範囲におけるアーマチュアのばあいにも用いられ
る。
に過圧範囲におけるアーマチュアのばあいにも用いられ
る。
【0004】このアーマチュアのばあい不都合には、製
作費用が比較的嵩みひいてはこれに関連して、真空密で
ないアーマチュアに比して、高価なものとなる。更に別
の欠点は、弁を介して流れる媒体が弁体内部で著しく偏
向されねばならないということにある。これによって流
れ抵抗を一層増大させる渦流が生ずるようになる。
作費用が比較的嵩みひいてはこれに関連して、真空密で
ないアーマチュアに比して、高価なものとなる。更に別
の欠点は、弁を介して流れる媒体が弁体内部で著しく偏
向されねばならないということにある。これによって流
れ抵抗を一層増大させる渦流が生ずるようになる。
【0005】更に、ベローの角度的な運動を利用した真
空密なブッシングが公知である。このようなブッシング
は一層高額な製作費用を必要とする。それというのも角
度的な運動は少なくとも1つの回転軸線を介して支持さ
れねばならないからである。
空密なブッシングが公知である。このようなブッシング
は一層高額な製作費用を必要とする。それというのも角
度的な運動は少なくとも1つの回転軸線を介して支持さ
れねばならないからである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は冒頭に
述べた形式のブッシングを改良して、流れにより負荷さ
れる管路の開閉もしくは閉鎖状態及び開放状態を保証で
き、更に、簡単に使用でき、安価に製作できしかも負圧
システム並びに過圧システムにも適し、更に、流れ媒体
の圧力勾配を最小限に減少できるようにすることにあ
る。
述べた形式のブッシングを改良して、流れにより負荷さ
れる管路の開閉もしくは閉鎖状態及び開放状態を保証で
き、更に、簡単に使用でき、安価に製作できしかも負圧
システム並びに過圧システムにも適し、更に、流れ媒体
の圧力勾配を最小限に減少できるようにすることにあ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記課題は冒頭に述べた
形式のブッシングにおいて、特許請求の範囲請求項1の
特徴部分に記載の本発明の構成によって解決された。
形式のブッシングにおいて、特許請求の範囲請求項1の
特徴部分に記載の本発明の構成によって解決された。
【0008】
【発明の効果】ベロー材料を適当に選択したばあい、特
に0,5乃至2の範囲でベロー長さ対ベロー直径の比の
弾性率を選択したばあい、弁の迅速な開閉が得られる。
に0,5乃至2の範囲でベロー長さ対ベロー直径の比の
弾性率を選択したばあい、弁の迅速な開閉が得られる。
【0009】本発明によるブッシングによって、別の支
持又は偏向装置を用いずに、任意の平面内で長さ変化も
しくは角度変化を実施することもできる。通常角度的な
ベロー運動は一平面内で行われる。
持又は偏向装置を用いずに、任意の平面内で長さ変化も
しくは角度変化を実施することもできる。通常角度的な
ベロー運動は一平面内で行われる。
【0010】更に、例えば任意の位置でロックできるよ
うにするために、可動なベロー端部が垂直平面から変位
させられると特に有利である。
うにするために、可動なベロー端部が垂直平面から変位
させられると特に有利である。
【0011】ベロー弾性率を適当に選択することによっ
て広い範囲で戻し力もしくは引張り力を自由に選ぶこと
もできる。
て広い範囲で戻し力もしくは引張り力を自由に選ぶこと
もできる。
【0012】本発明によるブッシングの製作には、2つ
のろう接過程もしくは溶接過程を必要とするに過ぎな
い。一方ではベローの一端はアーマチュア体に気密に取
り付けられかつ他方では自由なベロー端部は例えばプレ
ートにろう接され、このプレートは有利にはベロー軸方
向で伝達ピンを有している。
のろう接過程もしくは溶接過程を必要とするに過ぎな
い。一方ではベローの一端はアーマチュア体に気密に取
り付けられかつ他方では自由なベロー端部は例えばプレ
ートにろう接され、このプレートは有利にはベロー軸方
向で伝達ピンを有している。
【0013】原則的には自由なベロー端部はアーマチュ
ア体の内側範囲並びに外側範囲に配置することができ
る。アーマチュア体、例えば直線的な管片の外側に配置
したばあい、管内流は伝達部材によって妨げられないか
又はほとんど妨げられない。
ア体の内側範囲並びに外側範囲に配置することができ
る。アーマチュア体、例えば直線的な管片の外側に配置
したばあい、管内流は伝達部材によって妨げられないか
又はほとんど妨げられない。
【0014】漏れのないブッシングは負圧システム、特
に冷たいもしくは過熱された水蒸気を遮断せねばならな
い吸着システムにおいて特に有利に使用される。この使
用ケースでは流れ抵抗のできるだけわずかな大きな流れ
横断面が必要である。このばあい気密に閉鎖された装置
が使用されるので、高い漏れ防止性が所望される。
に冷たいもしくは過熱された水蒸気を遮断せねばならな
い吸着システムにおいて特に有利に使用される。この使
用ケースでは流れ抵抗のできるだけわずかな大きな流れ
横断面が必要である。このばあい気密に閉鎖された装置
が使用されるので、高い漏れ防止性が所望される。
【0015】伝達部材は比較的長い行程間隔を介してシ
ールエレメントを確実に操作することができる。これに
よって熱に敏感なシールを熱から防護された装置範囲に
組み込むことができ、他面、ベロー及び操作部材を、こ
れら部材に容易に接近できる過熱される範囲に、設ける
ことができる。
ールエレメントを確実に操作することができる。これに
よって熱に敏感なシールを熱から防護された装置範囲に
組み込むことができ、他面、ベロー及び操作部材を、こ
れら部材に容易に接近できる過熱される範囲に、設ける
ことができる。
【0016】公知のロック装置の原理を補って伝達部材
の位置を任意の位置で固定することができる。
の位置を任意の位置で固定することができる。
【0017】このために特に簡単かつ有利にはベローの
弾性作用が利用される。従って例えば、ロック部材を所
定の位置で固定するために、ベローの弾性作用を程度の
差こそあれ軸方向で利用することができる。つまりこの
ばあいベローは角度的に変位させられるばかりでなく、
程度の差こそあれ軸方向でも伸長させられる。
弾性作用が利用される。従って例えば、ロック部材を所
定の位置で固定するために、ベローの弾性作用を程度の
差こそあれ軸方向で利用することができる。つまりこの
ばあいベローは角度的に変位させられるばかりでなく、
程度の差こそあれ軸方向でも伸長させられる。
【0018】伝達部材は例えば線材片から安価に成形す
ることがきでる。線材がばね弾性的な材料から形成され
るばあいには、これによって閉じられる弁は同時に逆止
弁として作業することもできる。
ることがきでる。線材がばね弾性的な材料から形成され
るばあいには、これによって閉じられる弁は同時に逆止
弁として作業することもできる。
【0019】特に、吸着反作用及び離脱反作用の原理に
従って作業する吸着装置においては本発明による漏れの
ないブッシングが特に有利に使用される。それというの
もこのばあい作業媒体流は流れ方向で完全に遮断されね
ばならないが、反対方向では弁閉鎖状態でも安全性上の
理由から対抗圧で開放できねばならないからである。
従って作業する吸着装置においては本発明による漏れの
ないブッシングが特に有利に使用される。それというの
もこのばあい作業媒体流は流れ方向で完全に遮断されね
ばならないが、反対方向では弁閉鎖状態でも安全性上の
理由から対抗圧で開放できねばならないからである。
【0020】つまりこのばあい、流れ方向では完全に密
に閉鎖されねばならないが、反対方向では閉鎖状態でも
いわばばね弾性的な逆止弁として作用する弁を構成する
ことができる。
に閉鎖されねばならないが、反対方向では閉鎖状態でも
いわばばね弾性的な逆止弁として作用する弁を構成する
ことができる。
【0021】金属ベローは例えば、ポルツハイム在、ウ
ィッツマン GmbH社発行、ポケットブック第441
頁で記載されている。これによれば多数の使用分野、材
料基準、弾性特性及び荷重作用が記載されている。
ィッツマン GmbH社発行、ポケットブック第441
頁で記載されている。これによれば多数の使用分野、材
料基準、弾性特性及び荷重作用が記載されている。
【0022】特に高級鋼、黄銅及び青銅から成るベロー
が有利である。更に、高真空技術以外の使用分野のため
にプラスチック又はゴムベローを有利に使用することも
できる。
が有利である。更に、高真空技術以外の使用分野のため
にプラスチック又はゴムベローを有利に使用することも
できる。
【0023】
【実施例】図1で図示の管形状のアーマチュア体1は容
器の側方部分2内にろう接されている。アーマチュア体
1の右側端部はシール座3として加工されていて、この
シール座内部では可動なシールエレメント4が案内され
ている。
器の側方部分2内にろう接されている。アーマチュア体
1の右側端部はシール座3として加工されていて、この
シール座内部では可動なシールエレメント4が案内され
ている。
【0024】シールエレメント4はシール5と加圧板6
と案内シリンダ7とから構成されていて、この案内シリ
ンダ7は流れ範囲で孔8を備えている。開放状態ではこ
の孔8を介して媒体が容器からアーマチュア体1内に流
入する。
と案内シリンダ7とから構成されていて、この案内シリ
ンダ7は流れ範囲で孔8を備えている。開放状態ではこ
の孔8を介して媒体が容器からアーマチュア体1内に流
入する。
【0025】案内シリンダ7とシール5と加圧板6とは
ナット9及びねじピン10を介して締結されている。カ
ルダン式結合部11を介してねじピン10は伝達部材1
2にフレキシブルに結合されている。伝達部材12はア
イ13を介して結合される線材片から形成されていて、
伝達部材12の一端は閉鎖板14に伝力接続的にかつ真
空密に結合されている。
ナット9及びねじピン10を介して締結されている。カ
ルダン式結合部11を介してねじピン10は伝達部材1
2にフレキシブルに結合されている。伝達部材12はア
イ13を介して結合される線材片から形成されていて、
伝達部材12の一端は閉鎖板14に伝力接続的にかつ真
空密に結合されている。
【0026】閉鎖板14自体はベロー15の可動な端部
にろう接されている。ベロー15の第2の端部はろう接
支持リング16を使用してアーマチュア体1にろう接さ
れている。ベローとは反対の閉鎖板側には操作ノブ17
が被せ嵌められている。漏れのないブッシングを操作す
るために操作ノブ17は角度的なベロー運動で手動操作
される。
にろう接されている。ベロー15の第2の端部はろう接
支持リング16を使用してアーマチュア体1にろう接さ
れている。ベローとは反対の閉鎖板側には操作ノブ17
が被せ嵌められている。漏れのないブッシングを操作す
るために操作ノブ17は角度的なベロー運動で手動操作
される。
【0027】図2は図1によるブッシングを別の位置で
図示している。右方向への操作ノブ17の変位に基づき
ベロー特性に応じて伝達部材12はアーマチュア体内部
で左向きに運動する。このような変位は図1で図示のシ
ールエレメント4に伝達され、これによってシール5は
シール座3に圧着される。図示の弁はこの位置で閉鎖さ
れる。
図示している。右方向への操作ノブ17の変位に基づき
ベロー特性に応じて伝達部材12はアーマチュア体内部
で左向きに運動する。このような変位は図1で図示のシ
ールエレメント4に伝達され、これによってシール5は
シール座3に圧着される。図示の弁はこの位置で閉鎖さ
れる。
【0028】開放するためには操作ノブ17は左向きに
図1による出発位置に移動させられねばならない。この
出発位置を越えて操作ノブ17を操作することによって
シールエレメント4は引き続き開放される。
図1による出発位置に移動させられねばならない。この
出発位置を越えて操作ノブ17を操作することによって
シールエレメント4は引き続き開放される。
【0029】図3は本発明の別の実施例を図示してい
る。同様に断面図で図示された円筒状の管20内には管
軸線に対して垂直方向でベロー21がろう接されてい
る。この実施例ではベロー21の可動な端部は管20の
内室内に突入している。
る。同様に断面図で図示された円筒状の管20内には管
軸線に対して垂直方向でベロー21がろう接されてい
る。この実施例ではベロー21の可動な端部は管20の
内室内に突入している。
【0030】閉鎖板22は可動なベロー端部を閉鎖しか
つ角度的な旋回運動をロック薄板23に伝達する。この
ロック薄板23はローラ24を介して管内面に接触して
いる。ベロー21の角度的な旋回運動においてはローラ
24は管内面に沿って左向きに移動する。
つ角度的な旋回運動をロック薄板23に伝達する。この
ロック薄板23はローラ24を介して管内面に接触して
いる。ベロー21の角度的な旋回運動においてはローラ
24は管内面に沿って左向きに移動する。
【0031】図3では別の2つのローラ位置A,Bを図
示している。管内面には凹所25又は突起26が設けら
れている。ローラ24はベローの弾性力によって凹所2
5内に押し込まれて、固定される。突起26を越えて転
動する際のローラ24の持ち上げは程度の差こそあれ軸
方向でのベロー圧縮によって行われる。
示している。管内面には凹所25又は突起26が設けら
れている。ローラ24はベローの弾性力によって凹所2
5内に押し込まれて、固定される。突起26を越えて転
動する際のローラ24の持ち上げは程度の差こそあれ軸
方向でのベロー圧縮によって行われる。
【図1】弁体用の漏れのないブッシングの断面図。
【図2】図1のブッシングを変位状態で示した図。
【図3】ロック部材を有する漏れのないブッシングを示
す図。
す図。
1 アーマチュア体 2 側方部分 3 シール座 4 シールエレメント 5 シール 6 加圧板 7 案内シリンダ 8 孔 9 ナット 10 ピン 11 カルダン式結合部 12 伝達部材 13 アイ 14,22 閉鎖板 15,21 ベロー 16 ろう接支持リング 17 操作ノブ 20 管 23 ロック薄板 24 ローラ 25 凹所 26 突起
Claims (8)
- 【請求項1】 フレキシブルなベロー(15)を備え
た、特に真空弁のアーマチュア体を貫通する漏れのない
ブッシングにおいて、ベロー(15)の一端が漏れなし
にアーマチュア体(1)に結合されていてかつベロー
(15)の他端がベロー軸線に対して角度的な旋回運動
を実施するようになっており、更に、このように形成さ
れた可動な端部が漏れなしに閉鎖されていて、かつ、外
側範囲にベローを機械的に変位せしめる手段をかつ内側
範囲にベロー軸線に沿って伝達部材(12)を有してい
て、この伝達部材が外側の機械的な変位を内室内に伝達
するようになっていることを特徴とする、漏れのないブ
ッシング。 - 【請求項2】 シールエレメント(4)をシール座
(3)に圧着するために、伝達部材(12)がシールエ
レメント(4)に作用していることを特徴とする、請求
項1記載のブッシング。 - 【請求項3】 可動なベロー端部がアーマチュア体
(1)の内室内に突入していることを特徴とする、請求
項1又は2記載のブッシング。 - 【請求項4】 可動なベロー端部に、所定の位置で旋回
運動をロックするロック部材(23,24)が設けられ
ていることを特徴とする、請求項1から3までのいずれ
か1記載のブッシング。 - 【請求項5】 ロック部材(23,24)が圧縮又は引
張り時に軸方向でのベローの弾性作用を利用しているこ
とを特徴とする、請求項4記載のブッシング。 - 【請求項6】 アーマチュア体(1)に取り付けられる
ベロー端部がアーマチュア体(1)に溶接又はろう接さ
れていることを特徴とする、請求項1から5までのいず
れか1記載のブッシング。 - 【請求項7】 伝達部材(12)がフレキシブルに構成
されていることを特徴とする、請求項1から6までのい
ずれか1記載のブッシング。 - 【請求項8】 ブッシングが吸着装置において使用され
ることを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1
記載のブッシング。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4105944.1 | 1991-02-26 | ||
DE4105944A DE4105944A1 (de) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | Leckagefreie durchfuehrung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0560267A true JPH0560267A (ja) | 1993-03-09 |
Family
ID=6425878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4036141A Pending JPH0560267A (ja) | 1991-02-26 | 1992-02-24 | 漏れのないブツシング |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5197712A (ja) |
EP (1) | EP0501145B1 (ja) |
JP (1) | JPH0560267A (ja) |
AT (1) | ATE141393T1 (ja) |
DE (2) | DE4105944A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4202125A1 (de) * | 1992-01-27 | 1993-07-29 | Bruker Franzen Analytik Gmbh | Einlassventil fuer ein hochvakuum-analysengeraet mit bypass-bepumpung |
FI117063B (fi) * | 2003-06-06 | 2006-05-31 | Outokumpu Oy | Venttiilin tiiviste |
US8066256B2 (en) * | 2008-02-01 | 2011-11-29 | Danfoss A/S | Valve actuator assembly |
US8123196B1 (en) * | 2009-10-07 | 2012-02-28 | Chernoff Larry J | Integrated valve system |
EP2431638B1 (en) * | 2010-09-15 | 2017-02-01 | General Electric Technology GmbH | Sealing device and method |
WO2020243637A1 (en) | 2019-05-31 | 2020-12-03 | Gobi Technologies Inc. | Thermal regulation system |
US20210310711A1 (en) | 2019-05-31 | 2021-10-07 | Gobi Technologies Inc. | Temperature-controlled sorption system |
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GB907876A (en) * | 1958-12-19 | 1962-10-10 | Phillips & Rabone Ltd | Improvements relating to control means for valves for hand basins |
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-
1991
- 1991-02-26 DE DE4105944A patent/DE4105944A1/de not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-01-25 DE DE59206880T patent/DE59206880D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-25 AT AT92101219T patent/ATE141393T1/de not_active IP Right Cessation
- 1992-01-25 EP EP92101219A patent/EP0501145B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-02-13 US US07/834,937 patent/US5197712A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-02-24 JP JP4036141A patent/JPH0560267A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0501145A1 (de) | 1992-09-02 |
DE4105944A1 (de) | 1992-08-27 |
DE59206880D1 (de) | 1996-09-19 |
EP0501145B1 (de) | 1996-08-14 |
ATE141393T1 (de) | 1996-08-15 |
US5197712A (en) | 1993-03-30 |
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