JPH05506422A - 反応焼結したムライト含有セラミック成形体、該成形体の製造方法および該成形体の使用法 - Google Patents

反応焼結したムライト含有セラミック成形体、該成形体の製造方法および該成形体の使用法

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 反応焼結したムライト含有セラミック成形体、該成形体の製造方法および該成形 体の使用法セラミックマトリックスを有する単相および多相の成形体は、耐熱性 および耐摩耗性の成分として機械および装置構造にますます使用されている。そ のような成形体は、圧縮および焼成による典型的な(すなわち、粉末冶金学的) セラミック製造法を介し、て製造するか、または金属のプレカーサーをガス状ま たは液状の相と反応させることにより製造する(たとえば、“Reaction −Formed Ceran+ics” 、 Am、Ceram、Soc、Bu ll、67(1988)356参照)、このいわゆる反応焼結セラミックは、従 来は、はとんど専らS ls N −(RB S N )およびSiC(RBS C)に限定された。特に多相セラミックを製造するもう1つの可能性は、多孔性 セラミックS地に金属またはセラミックの相を浸透させることである(たとえば 、”Melt Infiltration Aproach to Ceram ic Composites″、J、Arn、 Ceram、 Soc、 71  (1988)C−96参照)。
もう1つの新しい方法においては、多孔性のセラミック素地に、ガスを、多孔性 セラミック予備成形体に対して一方または多方面の通路を有する金属溶融物と反 応させることにより生じたセラミック相を成長させる(たとえば、”Forma tion of Lanxide Ceramic Comp。
5jta Materials”、J、Mater、Res、1(1986)8 1 DIMOX−Prozass参照)。
これらのすべてのセラミック種類およびその製造方法は特徴的な欠点を有する。
典型的に製造されたセラミックまたはセラミック複合材料の決定的な欠点は、生 素地と最終生成物との間に生じる高い線収縮である。
該収縮は一般に15〜25%である。この典型的な収縮は、成形部材の形状およ び寸法安定性に問題を生じ。
亀裂形成および他の品質を低下する欠点を生じる。セラミックマトリックスの収 縮は特に、強化素子、たとえば繊維、板片およびホイスカーまたはほかの同時に 収縮しない成分を埋め込む場合に、組織の団結に不利に作用する。収縮差のため に生じる高い張力は、はとんど常に有害な亀裂を生じる。特に典型的に製造され る酸化物セラミックのほかの特徴的な欠点は、焼成または圧縮工程を推進するが 、機械的高温特性を著しく損なうガラス状の中間顆粒相の形成である。
反応焼結セラミック、特にS i、N、(RBSN)および5jC1およびDI MOX工程を介して製造されたセラミック(たとえば、A1.O,およびAIN )は、全く収縮しないかまたはごくわずかの収縮を有するが、該製造工程はたび たびの何週間にもわたる反応時間により激しく損なわれる。RBSNのようなセ ラミックのほかの欠点は、85%より多い理論密度を有する素地をごくまれにし か製造することができないという事実であり、これは、気孔率の低下とともにま すます減少した窒素拡散に起因すべきである。
そのような少ない密度は、経験的に劣った機械特性を伴う(Review:Re action−Bonded 5ilicon Ni℃ride:its Fo rmation and Properties″、J、Mater、Sci、 14(1979) 1017参照)、溶融反応およびそれと結びついた多孔性セ ラミック予備成形体の成長により、A I 10 sおよびAINをペースとし たセラミック複合材料を製造する方法は、たとえば最近の、欧州特許公開第01 55831号明細書、同第0169067号明細書、同第0193292号明細 書および同第0234704号明細書に記載されている。該方法においても、反 応はきわめて緩慢に進行する。更に、成形体の寸法の制御は多くの経費と結びつ く。
ムライトセラミックは、その微分散性の多孔性、その良好な腐食安定性およびそ の良好な温度衝撃安定性により、高温かつ腐食性の条件下で使用するのに大きな 意義を有する。しかしながら、該セラミックは決定的な欠点を有する、それとい うのも、該セラミックは十分な密度および強度を得るために一般に高温(〉16 50℃)で焼成しなければならず、Sin、成分のために中間の顆粒のガラス相 を含有し、かつ多くの場合に15%より大きい焼成収縮を有する(Cerami c Transactions、Band 6.”Mullite and M ullite Matrix C。
mpos 1tes”、 Ed、 S、 Somiya、 R,F、 Davi s、 J、 A、 Pa5k、 The Awerican Ceramic  5ociety、Inc、Westervillelohio、1990参照) 。
本発明の課題は、前記欠点を有しない、反応焼結したムライト含有セラミック成 形体を提供することであった。
前記課題は、本発明により解決される。本発明の目的は、アルミニウム、A1. O,およびSt含有物質からなる微分散性の粉末混合物から成形された素地を、 酸素含有雰囲気内で熱旭理することにより得られた、反応焼結したムライト含有 セラミック成形体である。
***国特許出願公開第3812266号明細書から、粉末冶金学により製造され るセラミック成形体が公知であり、該成形体は、酸化アルミニウムおよび/また は窒化アルミニウムおよび/またはアルミニウムオキシニトリドからなる相に埋 め込まれている少なくとも1種の分散性の無機成分からなり、 (a)生状態に比べて±10%未満の長さの変化を有し、 (b)15%未満の気孔率を有し、 (C)ガラス相不含の粒界を有し、かつ焼成により、分散性の無機成分のほかに 少なくとも10容量%の、1種以上の合金元素、Mg、S i、Zn、Pb、N a。
Li、Seを有することができるアルミニウム粉末を含有する生素地から得られ ることを特徴とし、該粉末は、焼成処理後、部分的または完全に反応してAI。
Olおよび/またはAINおよび/またはアルミニウムオキシドニトリドを生じ る、その際、成形体中に分散した無機成分の形状は焼成工程により変化しない。
第1の構成により、セラミック成形体の分散性の無機成分は、大部分または全部 が粉末状、板片状および/または針状の粒子の形のA1.O,および/*たはA INからなる。もう1つの有利な構成によれば、該成形体の分散性の相は、繊維 、ホイスカーまたは板片の “形のムライト、S i C,B4C,T i C ,S 1zNaまたはこれらからなる合金を含有し、その際、成形体に対する総 量は5〜50容量%である。この場合に、分散性の相は、単独に、前記のm維、 ホイスカーまたは板片からなっていてもよいし、AIto3および/またはAI N、および場合によりZrO*からなる前記の粒子と混合して存在していてもよ い、もう1つの有利な構成においては、分散性の無機成分は、単独のまたは前記 の粒子の形のA1.O,および/またはAINと混合した、1種以上の、炭化物 相S ! C* B a C、TiC,WC,TaCおよび/または窒化物相5 txN4および/または硼化物相Z r B tおよびT j B、からなる粉 末粒子からなる。成形体を製造する場合に使用されるプレス圧およびA1.O, と金属アルミニウムとの比を適当に選択することにより、線収縮または伸びを生 状態に比べて1%未満に減少することができる。
該成形体は、1種以上の無機分散性の相、有利にはAlxOs粉末をアルミニウ ム粉末と混合し、その後加圧し、引続き900〜1600℃の温度で空気に接触 させて焼成することにより製造する。その際、金属相はA 1 ! Os粉末粒 子(またはほかの無機粒子)と結合し、同時に反応しながらA1.O,を生成す る。その際、この反応と結びついた体積の膨張がプレス成形体中に存在する大部 分の気孔を充填し、かつ焼成により引き起こされる収縮を補償する。生素地のプ レス圧およびA I x Ox (またはほかの無機相または相混合物)とAl 粉末との比を適当に選択した場合に、生素地と完成した素地との体積変化を完全 に回避することができる。
生成物は、反応焼結したSi、N、と同様に反応焼結しりA I ! O−(R B A O) ト称スルコトがテキル。
成形体の形成は意想外である、というのは、純粋のA1粉末は、圧縮および焼成 条件下で爆発的に反応する(極端なAl粉末度、すなわち約10μm未満)か、 または生成したA l x Os粒子間に団結を生じないで、パンケーキのよう に膨張するからである。すなわち、硬質の成形体を生じないことが予想された。
しかしながら、純粋のAIとAl□0.とからなる粉末の組合せは、相対的に硬 質の反応焼結した成形体を生じる。少なくとも40容量%のA 1 x 03粉 末またはAINと一緒の、場合により少量のMg粉末、S1粉末およびZn粉末 を有する、使用されるA1粉末の形は、なお比較的密のかつ比較的硬質の成形体 を生じる。 W、Thiele(Aluminium、38(1962)707 )、S、Ba1icki(Trace [nst、Hutn、 10(1958 )208) 、M、DrouzyおよびC,Mascare(Metallur gical Reviews、131(+969)25)、M、R4chard およびR,Emery(Fonderie 373(1977)389)の研究 からおよび前記のLanxideによる特許明細書(たとえば、欧州特許第02 34704号明細書を参照)から、特にMg、Na。
Se、Zn、MnおよびStの添加がAI溶融物の酸化を促進することは公知で あるが、それだけ多くのパンケーキのように膨張した成形体を製造することが必 要である。約0.1〜約5重量%の量のZnOおよびMgOを加える場合にも、 純粋のAl粉末は硬質の成形体を生じる。特に、金属相が完全に酸化し、AI。
0、を生じることは、Lanwideによる方法の生成物と比較すると意想外で ある。考えられる解釈は、酸素拡散路として提供される、成形体中に存在する粒 界の高い密度にある。従来の解釈に見い出せなかったもう1つの意外性は、*** 国特許出願公開第3812266号明細書による成形体中にガラス相を有しない 粒界が認められたという事実である。この現象は、少なくとも30%の検査した 粒界に認められる。
焼成は、有利には空気に接触させて、900〜1550℃の温度で、0.05〜 0.3MPaの全圧力で行う。
生素地を製造するために使用されるAl粉末の量は、分散性無機成分との混合物 に対して有利には10〜5O容量%である。A1合金粉末を使用する場合は、該 粉末をそのまま前記の合金成分と一緒に使用するか、または純粋のアルミニウム 粉末と、合金元素またはその場で焼成条件下で合金を形成する合金元素の化合物 との混合物からなることができる。この場合に、特に、純粋の合金されていない Al粉末を合金元素の酸化物と一緒に加えることができ、その際、MgOまたは MgA 110.の形ノマグネシウム、S i 0x(D形)81およびZnO の形のZnを、合金元素の0.1〜10重量%、有利には0.5〜20重量%に 相当する量で使用することができる。その結果として、A1合金中の金属合金元 素の有利な含量は、Mgおよび/またはStおよび/またはZnおよび/または pbおよび/またはSeおよび/またはNaおよび/またはLi0゜5〜10重 量%である。 A 110!粉末は、有利には1〜100μmのIII囲内の粒 度で使用する。
出発成分を、有利にはボールミル内で、特にアトリッター内で均質化するかまた は機械的に合金し、その後得られた粉末を生素地に加工する。金属/セラミック 粉末混合物からなる生素地は、乾燥圧縮、鋳込成形、射出成形または押出し成形 により製造することができる。粉砕または磨砕は、有利には成分に比して不活性 の液状媒体、たとえばアセトンまたはアルコール、たとえばイソプロパツール中 で行う。
焼成工程自体は、酸素および窒素含有雰囲気内で0105〜10MPaの圧力で 行う、0.08〜0.5MPaの範囲が有利であり、0.09〜0.11MPa の範囲が特に有利である。
本発明による方法の特に有利な構成によれば、焼成処理後なおホットアイソスタ ティック後圧縮をAr・N2またはArおよび0□からなる混合物からなる圧力 伝達媒体中で行う(HIP)。
焼成処理のために、生素地は、一般に、加熱段階で本来の焼成温度に加熱するこ とができる。しかしながら、加熱段階を省くことができ、生素地を直接900〜 1200℃の温度で加熱炉に導入し、この温度にA1粉末の少なくとも一部が反 応するまで保持し、引続き冷却する。Al粉末の完全な反応が行われるように保 持時間を有利に調整する。この目的のために、焼成および場合によりアルミニウ ムの完全な反応を保証するために、900−1200℃での本来の焼成処理に続 いてなお1300〜1600℃で後加熱する。
***国特許出願公開$3812266号明細書によるセラミック成形体は、ホイ スカー、繊維またはほかの強化材を埋め込むためのマトリックスとして、異なる 無機物を使用することができる。この場合に、分散性の無機成分およびAl粉末 の混合物に対して、有利には5〜50容量%の、繊維、ホイスカーまたは板片を 加える、これらはまた、A 1 x Ox、ムライト、Zr01、S iC,B 4C,T iC,S L1N4、AIN*たはこれらの物質の合金からなってい てもよい。
AlzOsおよびAINの形のすでに記載の有利な無機成分のほかに、分散性の 無機成分として、1種以上の、炭化物相S i C,B4C,T i C,WC ,TaCおよび/または窒化物相5isNaおよび/または硼化物相ZrB□ま たはTiBxからなる粉末粒子を使用することもできる。成形体の物理的特性の もう1つの改良は、製造した成形体に液状のアルミニウムを浸透させることによ り達成することができる。この場合に、なお存在する気孔を液状のアルミニウム により充填し、従って、完全に密な成形体が得られる。
本発明によるセラミック成形体は、***国特許出願公開第3812266号明細 書による前記の成形体に比べて高い割合の温度安定性ムライトを含有し、そのた め実際になおガラス相を含まないことが判明した。
このことは、ムライト含有成形体にとっては全く異例のことである。更に、常に 存在するZ r Ox粉砕球(3Y−TZP : Y、0.2モル%含有のZr 0t)の摩耗が反応工程に決定的な影響を与えることが判明した。
すなわち、AI、03粉砕球を使用する場合に2〜10容量%の量のZr0zを 加えなければならない。
珪素含有物質、たとえばS i、S iC,S 1sN4またはZr5iO,を 有する本発明によるムライト含有セラミック成形体を製造する場合の金属アルミ ニウムを、場合によりA1.O,部分と一緒に、微細に粉砕し、粉末冶金学によ り成形し、引続き、空気に接触させて700〜1300℃の温度で反応焼成する ことにより、Si含有物質を反応性のS f O,に変化させ、一部は、液状A Iから生成したA l * Osと反応して、式:%式%) によりムライトを形成する。
このムライト形□成は公知の反応であるが、ごくわずかの無定形の珪酸塩の中間 顆粒のガラス相を生じるという事実は、全く意想外であり、なお解明されていな い、このことは、おそら<5hotの反応のために液状のアルミニウムによりム ライト形成に有利な過渡的状態が生じることに関連すると思われる。すなわち、 そのほかの、ムライトを反応焼結するためにS i O。
粉末およびA l 20 s粉末を一般的に使用する場合に、常に無定形の中間 顆粒相を生じる。しかしながら、この無定形相は、ムライトセラミックの高温特 性をかなり低下させる。
***特許出願公開第3812266号明細書から公知のセラミック成形体を製造 する基礎となる反応、Al−lA1.O,は、28%の体積増加と結びついてい る0本発明によるムライト含有のセラミック成形体を製造する際に生じる、5i c−*sio、の移行においては、約108%の体積増加を生じる。特に、この 第2の膨張反応は、1300℃より高い温度で引続き焼成する際に生じる収縮を 、たとえば、***特許出願公開第3812266号明細書によるセラミック成形 体の基礎となるような反応Al→A1□0.における体積増加のみをペースとす るよりも容易に補償できることに寄与する。その場合に、焼成工程において、残 りのStowは、A I ! Oiと同様に反応し、ムライトを生じる0反応の 際に生じる微細なムライト結晶により、本発明によるムライトセラミックのため に、約り300℃〜約1500℃にすぎない、かなり低い焼結温度を使用するこ とが可能である。その除虫じるきわめて微細な孔(1μm未#)はほとんど強度 に影響しなしλ。
しかしながら、気孔率は>1500℃〜約1700℃の温度で更になお低下する ことがありうる。 At ! Osおよび/またはZ r O2またはZrSi O4の添加は、反応および焼結挙動ならびにセラミック成形体の機械的特性のた めに特に有利に作用する。そのようなA1、o3およびZr0zの多い、本発明 による方法により得られたムライトセラミックはまた、ガラス相をほとんど有し ない(反応 Zr5iO,÷^l、0.→ムラ4 ト+ZrO,の場合は自体公 知反応を使用する:たとえば、J、Am、Cerm、Soc、63 (1980 )、228および***特許出願公開第2920795号明細書を参照)。
出発成分は、本発明により、***特許出願公開第3812266号明細書による セラミック成形体を製造するために、前記のように、ボールミル内で、特tこア トリッター内で、均質化または機械的に合金し、その後、得られた粉末を生素地 に加工することができる。
粗粒のAI出発粉末の有効な粉砕は、特に有利には、全部の粉末混合物が0.1 〜3μmの粒度を達成するまで、粗粒のSiC粉末および/またはA I !  Os粉末(3〜30μm)といっしょに磨砕することにより達成することができ る。焼結および反応を改良するために、AI:o3を一部分、微分散性の形(1 μm未満)で加えることができる。Si含有成分はできるだけ微粒子(すなわち 直径5μm未満)の形で加えるべきである。
粉砕補助物として粗粒のA I 20 s粉末を使用する場合は、たとえば1μ m未満の粉末粒子を有するSiCの添加が特に有利に作用する。TZP粉砕球( 四角形のZrO□)を使用する場合は、該工程に特に有利に作用するZrO,摩 耗を導入する。たとえばアセトンまたはイソプロパツール中で粉砕する場合は、 微細な、ナノメーターの大きさの酸化物粒子を混入したA1粒子の周りにA 1  * 03膜を形成し、従って粒子は不活性化し、それにより問題のない処理、 すなわち乾燥およびほかの粉末混合物の処理を、空気に接触させてまたはほかの 酸化雰囲気内で実施することができる。
本発明の構成により、一部のアルミニウムを、Go。
Cr r Ce + F e + M g + M n * N b 、N i r T a +Ti、Zn、Zr、St、SiC,SisN4およびVの群から なる1種以上の金属またはメタロイドにより代用することができる。その際、粉 末として本来使用されるA1の50%までを、これらの群からなる金属粉末また は金属混合物により代用する。以下の表には、これらの金属またはメタロイドの 酸化の際に行われる反応およびその化学的/物理的データを記載した。
本発明による粉末混合物は、特に可延性のA】粉末部分により、結合助剤または 圧縮助剤を使用せずにすべての粉末冶金学的方法を使用して、たとえばアイソス タティックプレス、押出し成形、射出成形または鋳込成形により成形することが できる。
生素地の熱処理は有利には700〜1700℃の温度で行う、特に、熱処理を2 工程で、すなわち、特に生素地をまず約700〜1300℃の温度で反応焼成し 、引続き、約1300〜1700℃の温度で焼成するように行うのが有利である 。藁l工程<Too−1300’C)で、開気孔においては、5insおよび部 分的にムライトまたはA1.osおよびムライトを生じる反応を約2〜20時間 の時間で実施する0反応時間は、生密度、相割合、粉末粒度および温度に依存す る。
混合物ZrO,を含有する場合は、反応時間は、たとえばZrO,約15容量% においては、約1/4に著しく短縮することができる。この場合も、たいていは 、1工程の反応焼成で十分である。第2工程(1300℃より高い熱処理)にお いては、別のSfO□をAI。
0、と反応させてムライトを生成し、かつセラミック成形体を所望の密度にまで 焼成する。この場合に、通常の焼成時間、有利には0.5〜5時間が必要である 。
第1工程の反応は、酸素含有雰囲気が湿っている、たとえば水蒸気を含有する場 合、該雰囲気が流動する場合、純粋の酸素を使用する場合または酸素をArおよ び/またはHeと混合して使用する場合に、明らかに促進される。この場合に、 この有利な促進特性は単独でまたは1種以上のほかの促進剤と一緒に使用するこ とができる。これにより、生じた生素地組成物においては、第1加熱工程の反応 時間を静止した空気中で8〜15時間から1〜3時間にまで短縮することができ る。
そのためにすでに記載された条件の枠内で、適当な熱処理を選択することにより 、きわめて徽細な(1μm未満)開気孔を有するセラミック素地が得られる。
そのような素地は、金属またはほかの無機相を浸透するために、およびフィルタ としても適当である。そのような多孔性素地を製造するために、有利には反応段 階を短い焼成段階と組み合わせて熱処理を実施するか、またはかなり高い反応温 度により焼成を完全に省略する。
本発明によるムライト含有セラミックの、fIIi整可能な、きわめて少ない収 縮により、強度を低下する応力を生じないで、粒子、繊蔵、板片等の形の非収縮 性の第2の相を埋め込むことができる。従って、本発明によるセラミックは、強 化相および/または摩耗低下相のための、およびほかの(たとえば電気的)作用 に耐えることができる相のための理想的なマトリックスである。そのような相の 埋込みは、低い反応温度により有利に行われる。従って、たとえばきわめて粗粒 のSiC板片(約10〜200μm)を、同時に著しい反応を生じないで、ムラ イト/A1.O,−rトリックス中に空気に接触させて埋め込むことができる。
同様の比は、ほかの相、たとえばTic、TiBx、B2O等の場合にも認める ことができる。
適当な実施形式により、AIto3およびSiCからなる混合物においては、S iC粒その外鍔の層のみをムライトセラミック形成のために利用することができ るが、一方SiC粒子の内側は、純粋のSiCとして製造したセラミック成形体 中に残留する。3μmより大きい直径を有するSiC粒子の場合は、内側のSt Cコアが反応および焼成後はとんど常に残留する。
本発明により使用される微分散性出発混合物は、Alおよび/またはSi含有の A1合金を、有利には〉lO容量%、特に25〜50容量%含有する。
有利な構成においては、本発明によるセラミック成形体は熱処理後、ムライト5 〜100容量%、AI。
0、および/またはZr0tおよび/またはジルコンおよび/またはA1.Ti O,および/またはコーディエライトおよび/またはMgA1.Onおよび/ま たは第1表に記載のほかの酸化物O〜80容量%からなる。
Si含有物質は、有利には1種以上の以下の物質から選択される:元素のS i 、 S iC,S isN、、 Zr5104(ジルコン) + M g S  + Os 、コーディエライト。
該物質の量は、出発混合物中に5〜30容量%の量で、有利には少なくとも10 容量%の量で存在する。
本発明により使用されるアルミニウム粉末は、全部または一部分、81含有アル ミニウム合金粉末により代用することができ、付加的にA1.O!を加えること もできる。
生素地と熱処理した成形体との間の長さの変化(特に収紬)は、有利には±10 %未満、特に±1%未満である。
有利な構成においては、本発明によるセラミック成形体は、球、板片または繊維 状の粒子の形の非収縮性の強化素子および/または機能素子を含有し、特に5〜 50%の体積割合および/または5〜500μmの寸法で埋め込まれて含有する 。該埋込み素子は、有利には酸化物、炭化物、窒化物、珪化物および/または硼 化物からなる。
本発明の対象はまた、AIおよびSi含有物質からなる微分散性混合物から成形 した生素地を酸素含有雰囲気内で熱処理することを特徴とする、本発明によるセ ラミック成形体を製造するための、請求の範囲12に記載の方法である。
アルミニウムおよびSi含有物質からなる混合物は、有利には磨砕し、引続き、 該混合物から生素地を成形する。特に少なくとも1時間、特に1〜8時間磨砕す る。
もう1つの有利な構成においては、AI粉末を一部分、第1表に記載の金属によ り代用する、その際、特に酸化の際に大きな体積変化を有するもの、たとえばC r (iCr、0.102%)またはNb(→Nb、0゜174%)が有利であ る。
これらの方法の有利な構成は、請求の範囲13から26までに記載の対象である 。
有利な構成においては、微分散性の粉末混合物を製造するために、特に3〜30 μmの大きさの、AIおよびStおよび/または粗粒のA I 10 x粉末を 有するSi含有化合物を液状媒体中で、有利にはZrO,粉砕体、特にTZP粉 砕体を使用して磨砕する。この場合に生じる粉砕体摩耗(全混合物の約2〜6容 量%)は該方法に有利な影響を有する、すなわち予想される触媒特性である。そ の際、粗粒のA 1 z O+粉末は、全部または一部分が、有利には同じ粒度 を有する、粉砕補助物としての粗粒のSiC粉末および/またはSt、N4粉末 により代用することができる。しかしながら、その後、微細な形の、有利には1 μm未満のA 1 z Oxを混合しなければならない、粗粒のA l x O s粉末を使用する場合は、Si含有成分(たとえば5iC)はきわめて微細な( 111m未満)形で加えることができる。
廖素地の熱処理は、有利には700〜1700℃の温度で実施する。その場合に 、生素地をまず約700〜1300℃の温度で反応焼成し、引続き、約1300 ℃〜1700℃の温度で焼成することにより、熱処理を2工程で行うのが特に有 利である。そのようにして、達成された密のおよび硬い素地が得られる。その際 、所望の場合は、一定の微細な開気孔が得られるように、熱処理条件を選択する ことが可能である。このことは、得られたセラミック成形体中で気孔に液体を、 真空中または加圧下で、特に0.1〜l OOMP aのアルゴン圧で浸透させ ることを可能にする。浸透するための液体は、有利にはAI、A1合金、Stお よび/またはSi合金の群から選択される。特に該液体はAIおよび/またはA 1合金であるか、またはStおよび/またはSi合金である。
表面処理のために、該成形体は、酸素または窒素含有雰囲気内で焼成するのが有 利である。
本発明の構成はまた、反応焼結したムライト含有のセラミック成形体または、該 セラミック成形体および該成形体の製造方法に関して、***国特許出願公開第3 812266号明細書に記載の出発生成物、反応混合物および反応条件を、本発 明によるSi含有物質の使用と組み合わせて、特に、有利として記載された本発 明による構成と組み合わせて使用した製造方法に関する。
本発明の対象はまた、前記の有利な構成またはそれらの組合せにより得られたセ ラミック成形体である。
本発明のもう1つの対象は、本発明によるセラミック成形体を、機械構造、装置 構造およびエンジン構造における耐摩耗性部品および/または耐高温性部品(構 成部材)として、切断工具として、軸受は部材およびバッキング部材、および/ または電気器具における機能部材として使用することである。
前記の、本発明による反応焼結したムライト含有セラミック成形体の使用可能性 は、そのすぐれた特性、特に以下の特性にもとづく。
■、収縮が常に105未満、特に1%未満、一般には0〜4%である。
2、本発明によるセラミック成形体は実際に無定形の中間顆粒相を有しない。
3、きわめて微細な開気孔、特に1μm未満の大きさに調整することができる。
4、粗粒の第2の相を応力を使用せずに埋め込むことができる。
5、実施温度がムライトセラミックのために比較的低い。
6、安価で容易に得られる未精製の粗製物を使用することができる。
第1図には、5iC20容量%、Al50容量%およびAI、o、3Q容量%の 出発組成物に関する、最終密度(焼成密度)および生密度に依存した直線的寸法 の変化(L)が示されている。生密度が70%TDの密度を有する場合に、焼成 密度95%TDにおいてO収縮が生じる。
%における直線的収縮(L)は以下の関係により表すことができる。
式中、ρ。は生密度およびρは反応および焼成後の最終密度を表す。
K−Δ+ v r + a s V 1 + Δx v s + V A l、  o 、 (2>式中、Δは反応の際に生じる体積総量を表し、かつVは相当す る出発段階の体積の係数を表す、5iC(Sin、の形成下で)の使用に関して は、たとえばΔ5iC−2,08(体積増加108%)を適用する。
AI (AI!ojの形成下で)に関しては、ΔA!讃1.28 (28%) を適用し、かつジルコン(Zr、Oおよびムライトの形成下で)に関しては、 ΔZ、rS io、〜1.27 (27%)を適用する。
鎖側i、−13イテハ、5iC20容量%(V、、、= 0 。
2)、A150容量%(VAI−0,5)およびAI。
o、30容量%(v −0,3) カラナル’lL合’1ttA1.0! を使用し、それによりに値が得られる。
K=2.08X0.2+1.28X0.5+0.3第2図には、A 1.oi/  S i C/A I ’11合物ニ関スる、SiC割合とA1割合との関連お よびO収縮と仮定しての生密度と最終密度が示されている。破線は100%TD  (TD−理論密度)を有する成形体に適用され、かつ実線は95%TDを有す る成形体に適用される。斜線の部分は、相当する生密度をたとえば300〜70 0 M P aのアイソスタティックプレスで達成できる、技術的に重要な領域 を表している。112図の斜線部分中に示された点は、セラミック成形体を5i C22,5容量%、A1401F量%おJ:びAl1os35.5容量%からな る混合物から製造する場合に、O収縮のために95%TDの最#密度を有するセ ラミック成形体は70%TDの生密度を有する必要がある(相当するプレス圧に より調整可能である)ことを表している。(この場合に、StowおよびA 1  z O2を反応させてムライトを生じる際の、13%であるわずかの体積増m および粉砕の際に生じるAlfi子の肩りのA1.Os膜の割合は考慮しない、 該割合は粉砕時間に応じて使用されるAI粉末の40%までである。)以下の実 施例により本発明の詳細な説明する0本発明は実施例に限定されない、ほかにこ とわりのない限り、%は容量%を表し、温度は摂氏目盛りを表す。
例I AI粉末(Alcan105.20〜50 μm 、A1 can社1Mont real/Canada) 45容量%、A l 、 Os (Dycron1 3゜直径13 μm、 Huels社、 Troisdolf) 35容量%、 Si C(NortonlOOOGrit、直径5 、0 μm 、 Nort on、USA)15容量%およびZ r Ox (TZ−2Y、東ソー、日本。
直径1gm未満)5容量%からなる粉末150gをアトリッターミル内でアセト ン中の3mmのTZP粉砕球を使用して8時間粉砕した。TZP球(3YtOx −Z r O! = 3 Y T Z Pからなる)の粉砕摩耗のために、全部 の混合物に対して4容量%のZr0zを更に導入した。それにより平均粉末粒度 は1μm未満に低下した。その後、混合物を回転式乾燥機内で乾燥し、引続き、 300〜500MPaの圧力下で40X40X8mmの寸法を有する板にアイソ スタティックプレスした。引続き、試料をIOK/min、で空気に接触させて 1150℃に加熱し、かつこの焼成工程に8時間保持した。その後、第2の焼成 工程で1500℃で5時間熱処理した。
それにより、すべての試料は94%TD(理論密度)より多い密度を有した。そ の際、直径0.1μm未満のきわめて微細な閉気孔が得られた。該成形体はもは やSiCを含有しなかった。該成形体は大部分が微細な(0,5μm未満の)粒 度を有するムライトおよびA1□O1および微細に分布したZ r O,からな っていた、微量のジルコン(ZrSiO,)も同様に検出することができた0粒 界はほとんど珪酸塩のガラス相を有しなかフた。収Jim(生素地の寸法と焼成 成形体の寸法との直線的差)は、500 M P aのアイソスタティックプレ スにおいて0.4%であり、300 M P aにおいて2.9%であった。平 均的4点曲げ強さは340 M P aであった。
例2 例1と同様に、Al40容量%および5iC60容量%からなる混合物を6時間 磨砕し、乾燥し、かつ300MP aでアイソスタティックプレスした。第1の 焼成工程は1100℃で10時間であり、ff2工程は1500℃で5時間であ った。それにより、収縮は約95%TDの密度で2.5%であった。焼結成形体 は、ムライト中に埋め込まれたSiC約30容量%からなっていた。すなわち、 SiC粒子の外側の膜のみが酸化され、かつムライト形成工程に導入された。Z rO工約4容量%を粉砕球摩耗のために導入した。
例3 例1に記載のように、AI 50容量%、AI、O!30容量%および5iC2 0容量%からなる混合物を磨砕し、乾燥し、かつ300MPaでアイソスタティ ックプレスした。以下のように熱処理を実施した:第1工程:1300℃で8時 間、第2工程:1650℃で3時間、それにより、収縮は約96%TDの密度で 0゜5%であった。焼結成形体は、主に微細な結晶のムライトおよびAlzCL からなり、微量のSiCを有していた。
例4 鎖側は第2図に記載の試験を実施するために用いる。
例1に記載のように、5iC22,5容量%、Al40容量%およびA1.0. 37.5容量%からなる混合物を磨砕し、かつ熱処理した。400MPaのアイ ソスタティックプレスで、70.3%TDの生密度が得られた。焼成密度は収縮 2.1%において約94%TDであった。すなわち、このために計算されたO収 縮は完全には達成されなかった。それというのも、該方程式において、磨砕の際 に生じるA1粒子の周りの酸化物膜を考慮しなかったためである。
例5 例1に記載のように、Al40容量%、AI、o、40容量%、5iC10容量 %およびジルコン(Zirkosil 1.Auer−Remy、I ALm未 満)10容量%からなる混合物を磨砕し、乾燥し、かつ熱MJIした。700M Paのアイソスタティックプレスにおいて、焼結成形体の最終密度は収縮0%に おいて約94%TDであった。
それにより、該成形体は、A l 103および微細に分布した四角形のZ r  01を有するムライトからなっていた。レントゲン検査により微量のジルコン を同様に確認することができた。無定形の中間顆粒相はT’EMにおいては確認 できなかった。
例6 例1に記載のように、A145容量%、AI:O*16容量%、5iC30容量 %、ジルコン4容量%およびZr0.5容量%からなる混合物を磨砕し、かつ熱 処理した。300 M P aのアイソスタティックプレス後、収縮0.9%に おいて約94%TDの密度を有する成形体が得られた。引続き得られた焼結成形 体は、微細に分布したZrO,およびジルコンを有するムライトからなっていた 。
例7 例6にもとづき300MP aでプレスした生素地に、1600℃で3時間の1 工程の熱処理を実施した。加熱速度はIOK/min、であった、焼結成形体は 、ムライト、Zr0zおよびジルコンからなる部分を有するA1.CLマトリッ クス中に埋め込まれた、20容量%より多いSiCからなっていた。
例8 例1に記載のように、Al 30容量%、AI、0.55容量%およびジルコン 25容量%からなる混合物を磨砕し、かつ熱処理した。収縮3.5%および焼成 密度約95%TDにおいて、成形体は、900 M P aのアイソスタティッ ク前圧縮後、微細に分布したA l zOlおよび四角形のZ r Oxを有す るムライトマトリックスからなっていた。
例9 例5の磨砕した粉末混合物を、500 M P aおよび700 M P aで アイソスタティックプレスし、引続き第1工程で1200℃で6時間および第2 工程で1550℃で3時間焼成した0両方の場合とも収縮4.5%(500M  P aのアイソスタティックプレス)および2.7%(700MPaのアイソス タティックプレス)で約95%TDが達成された。焼結成形体は、ムライトおよ び微細に分布したt−Zr0tおよび微量のジルコンを有するAlzosからな っていた。
例10 例1に記載のように、Al451F量%、A I t Os 30容量%、5i C15容量%およびZr0,10容量%からなる混合物を磨砕し、300 M  P aでプレスし、1200℃で6時間および1550℃で2時間然想理した。
約96%TDの密度において、収縮2.5%であり、かつ成形体はほぼ等しい割 合のムライトおよびA I ! 01からなり、微細に分布した四角形のZrO 。
を有し、中間顆粒のガラス相を有しなかった。平均的4点曲げ強さは380MP aであった。
例11 例10に記載の混合物を、WEl工程で1200℃で6時間および第2工程で1 300℃で1時間焼成した。
+0.8%のわずかの膨張において、密度約75%TDであり、その際、成形体 は0.1〜0.7μmの範囲内の微細な開気孔を有していた。
例12 例11により製造した成形体に、60barで900℃の温度下で、液状のアル ミニウムを浸透させた。
それにより試料は導電性となり、圧縮破壊靭性7.5MPaを有し、かつ4点曲 げ強さ740 M P aを有し例13 例10により磨砕した粉末混合物70容量%を、SiC板片(A I Ca n  、直径20〜100μm)30容量%と混合した。混合をアトリッターミル内 で半減した回転数(500Upm)で30分の時間で実施した。300MPaで プレスした生素地を例1Oに記載のように熱処理した。それにより、収縮は最終 密度約85%TDにおいて0.4%であった。引続き、試料に例12に記載のよ うにAIを浸透させた。それにより、平均的曲げ強さは590MPaであった。
例14 例13に記載のように、例1により磨砕した粉末混合物にA1!0!板片(昭和 アルミニウム、東京1日本。
15〜20μm、)40容量%を混合した。その後、500 M P aでアイ ソスタティックプレスした成形体を1200℃で8時間オヨび1350’ct” 2時間、空気に接触させて熱処理した。それにより、開気孔率は15%より大き かった0例12に記載のように、試料にAIを浸透させた。それにより、平均的 4点曲げ強さは750MP aであった。
例15 例1に記載のように、AI 45容量%、A110340容量%およびS i  C(Lonza、スイス0F15.0.5μm未満)15容量%からなる混合物 を磨砕し、300MP aでアイソスタティックプレスした。その後、試料を第 1工程で1200℃で6時間およびtJ2工程で1700℃で2時間焼成した。
引続き、該成形体は20容量%より多い微細な結晶のムライトを有するA1 *  O!からなっていた。該成形体は、約95%TDの密度を有した。収縮は2. 1%であった。
例16 例2に記載の粉末混合物に、Zr0.15容量%を加え、8時間磨砕し、かつ3 00MP aでプレスした。
その後、該成形体を1100℃で3時間および1500℃で1.5時間焼成した 。収縮は、約94%TDの密度において2.1%であった。SiC粒子のほかに 四角形のZrOx粒子がムライトマトリックス中に微細に分布して存在した。
例17 例15に記載のように実施した。
Al40容量%、5iC(1μm未満、5ikarII、5ika社、ノルウx −)15容量%、AI。
Os (Dycron13.例1参照)22.5容量%、AIzO+(1μm未 満、 CT3000.Alcoa IJsA) 22 、5容量%からなる混合 物。
例1と同様の加熱サイクル: 第1工程: 1100℃で15時間 第2工程:1400℃で8時間 収縮:2% 4点曲げ強さ:355MPa。
該物質を再び1600℃で焼成した。
収縮:1.2% 4点曲げ強さは430MPaに上昇した。
例18 例1で製造した粉末混合物を300 M P aでアイソスタティックプレスし 、流動性の湿らせた空気(50cm”/min、水により搬送した)に接触させ てまず1050℃で2時間反応させ、引続き1550℃で2時間焼成した。その 際、収縮は93%TDの最終密度において3%であった。試料は大部分が、きわ めて微細な粒度(0,2μm未満)を有するムライトからなっていた。
例19 例1に記載と同様の、ただし、5iC15容量%の代わりにSt粉末(H,C, 5tarck、Bsrlin、 〜l 3 μm )15容量%を使朋すること だけが異なる粉末混合物を。
160MPaでアイソスタティックプレスし、引続き、純粋酸素下で1050℃ でlN間反応させ、その後。
1550℃で2時間焼成した。その際、試料は91%TDの密度において2.5 %の収縮を示した。該試料は大部分がムライトからなっていた。
例20 例19で製造した粉末混合物100gを粗粒のA120−11子(〜53μm、 Kl融隋玉、 H,C,5tarck、BerIin)loogとドラムミキサ ー内でアセトン中で6時間混合し、引続き、乾燥棚内で95℃で乾燥させ、その 後、160MPaでアイソスタティックプレスした。
反応焼結工程は例19に記載と同様に選択した。それにより、大きなAt、O, 粒子がムライト橋を介して結合した、硬質の、開気孔の成形体(孔径10〜20 μ+i)が生じた。収縮は反応焼結の際には生じなかった。
(該実験は、本発明が微細な濾過担体を製造するために適していることを示す、 ) 例21 例20に記載のように、ただし溶融鋼玉粒子の代わりに、乾燥凝集および引き続 く密閉焼成により製造したA I ! Os球片(〜100gm)を使用した。
それにより生じた濾過担体は、曲げ強さ95MP aにおいて気孔率28%(気 孔径20〜30μm)を有していた。
例22 例1で製造した混合物に、分散剤(MDIT、Hoecbst社)0.4重量% 、結合剤(D79.Mon5anto) 0 、7重量%、結合剤(B98.M on5anto) 6重量%、可塑剤(PEG300.Merck社)3.2重 量%および可塑剤(ジブチルフタレート、Merck社)2.5重量%を加えた 。この組成物(35容量%)を溶剤(MEKおよびエタノール)65容量%と混 合し、テープキャスターで厚さ250μmの薄膜に成形した。10個の薄膜の層 を120℃で積層化し、引続き、550℃で燃焼させた。その後、試料成形体を 例1に記載のように度広焼結した。収縮0.5%において密度91%であった。
構造は例1に記載と同様であった。
例23 AI(例1と同様の)45容量%、Cr (VentronChemie) 1 0容量%、S i (H,C,5tarck) 5容量%およびA I r O s (CT3000.Alcoa、USA) 40容量%からなる粉末混合物1 50gを例19に記載のように処理した。はとんどOの収縮において、試料は大 部分が(AI/Cr)、0.(ルビー)および若干のムライトを含有していた。
例24 例23のように実施した。ただし、Crの代わりにZ r (Ventron  ChemIe) 10容量%を使用した。生じた成形体は微細に分布した四角形 のZ r O,を有するA1.0,93%TDおよび若干のムライトを有した。
第1図 最終密度(%) 第2図 A1 割合(6屋%) 要 約 書 アルミニウム、AI、○、およびS1含有物質からなる微分散性の粉末混合物か ら成形された素地を酸素含有#囲気内で熱処理することにより得られる度広焼結 したムライト含有セラミック成形体であり、該成形体はその特性、特に平均して 0〜4%の少ない収縮のために、機械構造、装置構造、エンジン構造の耐摩耗性 部品および/または耐高温性部品として、切断工具、軸受は部材、バッキング部 材、および電気器具の機能部材としての使用に好適である。
国際調査報告

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.アルミニウム、Al2O3およびSi含有物質からなる微分散性の粉末混合 物から成形された素地を酸素含有雰囲気内で熱処理することにより得られる反応 焼結したムライト含有セラミック成形体。
  2. 2.粉末混合物がアルミニウムを少なくとも10容量%含有する、請求の範囲1 記載のセラミック成形体。
  3. 3.熱処理後、ムライト5〜100容量%、Al2O3および/またはZrO2 および/またはジルコンおよび/またはコーディエライトおよび/またはMgA l2O40〜80容量%からなる、請求の範囲1または2記載のセラミック成形 体。
  4. 4.Si含有物質が1種以上の以下の物質:元素のSi,SiC,Si3N4, ZrSiO4,MgSiO3,コーディエライト から選択される、請求の範囲1から3までのいずれか1項記載のセラミック成形 体。
  5. 5.アルミニウム粉末が全部または一部分、Si含有アルミニウム合金粉末によ り代用されている、請求の範囲1から4までのいずれか1項記載のセラミック成 形体。
  6. 6.アルミニウム粉末、Al2O3および/またはSi含有アルミニウム合金粉 末に対して付加的に平均直径1μm未満の微粒子のSiC粉末を加える、請求の 範囲5記載のセラミック成形体。
  7. 7.生素地と熱処理した素地との長さの変化が10%未満である、請求の範囲1 から6までのいずれか1項記載のセラミック成形体。
  8. 8.球状、板片状または繊維状の粒子の形の非収縮性強化素子および/または機 能素子を含有する、請求の範囲1から7までのいずれか1項記載のセラミック成 形体。
  9. 9.5〜50容量%の割合の強化素子および/または機能素子を含有する、請求 の範囲8記載のセラミック成形体。
  10. 10.強化素子および/または機能素子が5〜500μmの寸法を有する、請求 の範囲8または9記載のセラミック成形体。
  11. 11.強化素子および/または機能素子が酸化物、炭化物、窒化物、珪化物およ び/または硼化物からなる、請求の範囲8から10までのいずれか1項記載のセ ラミック成形体。
  12. 12.アルミニウムが一部分、Co,Cr,Cu,Fe,Mg,Mn,Nb,N i,Ta,Ti,V,Zn,Zrの群からなる1種以上の粉末状金属またはメタ ロイドにより代用されている、請求の範囲1から11までのいずれか1項記載の セラミック成形体。
  13. 13.50%までのアルミニウムが代用されている、請求の範囲12記載のセラ ミック成形体。
  14. 14.Al,Al2O3およびSi含有物質からなる微分散性の混合物から成形 された生素地を酸素含有雰囲気内で熱処理することを特徴とする、請求の範囲1 から13までのいずれか1項記載のセラミック成形体の製造方法。
  15. 15.アルミニウム、Al2O3およびSi含有物質からなる混合物を磨砕し、 引続き該混合物から生素地を成形する、請求の範囲14記載の方法。
  16. 16.少なくとも1時間、磨砕する、請求の範囲5記載の方法。
  17. 17.AlおよびSiおよび/または粗粒のAl2O3粉末を有するSi含有化 合物を液状媒体中で磨砕する、請求の範囲15または16記載の方法。
  18. 18.Al2O3粉末が3〜30μmの粒度を有する、請求の範囲17記載の方 法。
  19. 19.Si含有物質として、微細な(1μm未満)形のSiCまたはSi3N4 を加える、請求の範囲15から18までのいずれか1項記載の方法。
  20. 20.粗粒のAl2O3粉末を全部または一部分、粗粒のSiC粉末および/ま たはSi3N4粉末により代用する、請求の範囲17または18記載の方法。
  21. 21.粗粒のAl2O3を全部または一部分、微細な(1μm未満)Al2O3 により代用する、請求の範囲20記載の方法。
  22. 22.熱処理を700〜1700℃の温度で実施する、請求の範囲14から21 までのいずれか1項記載の方法。
  23. 23.生素地をまず約700〜1300℃の温度で反応焼成し、引続き約130 0〜17000℃の温度で焼成する、請求の範囲22記載の方法。
  24. 24.熱処理を酸素含有雰囲気内で実施し、該雰囲気が、湿っているおよび/ま たは流動するおよび/または純粋の酸素からなりおよび/またはアルゴンおよび /またはヘリウムと混合した酸素からなる、請求の範囲14,20または21の いずれか1項記載の方法。
  25. 25.熱処理条件を、一定の微細な開気孔が得られるように選択する、請求の範 囲22または23に記載の方法。
  26. 26.得られたセラミック成形体において、真空中でまたは加圧下で気孔に液体 を浸透させる、請求の範囲14から25までのいずれか1項記載の方法。
  27. 27.0.1〜100MPaのアルゴン圧で浸透させる、請求の範囲26記載の 方法。
  28. 28.液体をAl,Al合金,Siおよび/またはSi合金の群から選択する、 請求の範囲26または27記載の方法。
  29. 29.成形体を表面処理のために酸素または窒素含有雰囲気内で焼成する、請求 の範囲19から28までのいずれか1項記載の方法。
  30. 30.請求の範囲1から13までのいずれか1項記載のセラミック成形体または 請求の範囲14から29までのいずれか1項記載の方法により製造されたセラミ ック成形体の、機械構造、装置構造およびエンジン構造における耐摩耗性部品お よび/または耐高温性部品としての使用法。
  31. 31.請求の範囲1から13までのいずれか1項記載のセラミック成形体または 請求の範囲14から29までのいずれか1項記載の方法により製造されたセラミ ック成形体の、切断工具、軸受け部材およびパッキング部材としての使用法。
  32. 32.請求の範囲1から13までのいずれか1項記載のセラミック成形体または 請求の範囲14から29までのいずれか1項記載の方法により製造されたセラミ ック成形体の、電気器具における機能部材としての使用法。
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