JPH0548107A - 薄膜電界効果トランジスタ及びその製造方法並びに高耐圧薄膜電界効果トランジスタ - Google Patents
薄膜電界効果トランジスタ及びその製造方法並びに高耐圧薄膜電界効果トランジスタInfo
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- JPH0548107A JPH0548107A JP22967891A JP22967891A JPH0548107A JP H0548107 A JPH0548107 A JP H0548107A JP 22967891 A JP22967891 A JP 22967891A JP 22967891 A JP22967891 A JP 22967891A JP H0548107 A JPH0548107 A JP H0548107A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 イオン注入による結晶欠陥がない薄膜電界効
果トランジスタ及びその製造方法並びに遷移領域のない
信頼性の高い高耐圧電界効果トランジスタを提供する。 【構成】 ゲ−ト電極6とソ−ス・ドレイン電極7a,
7bは、略同一平面に設けられている。また、アモルフ
ァスシリコン層2には、イオン注入によりソ−ス及びド
レイン領域3a,3bが形成されており、これら2つの
領域3a,3bとゲ−ト絶縁層5との間には金属層4
a,4bがそれぞれ形成されている。このため、アモル
ファスシリコン層2へのイオン注入によるソ−ス・ドレ
イン領域3a,3bの形成は、ゲ−ト絶縁層5の形成前
に行われるような構造となっている。
果トランジスタ及びその製造方法並びに遷移領域のない
信頼性の高い高耐圧電界効果トランジスタを提供する。 【構成】 ゲ−ト電極6とソ−ス・ドレイン電極7a,
7bは、略同一平面に設けられている。また、アモルフ
ァスシリコン層2には、イオン注入によりソ−ス及びド
レイン領域3a,3bが形成されており、これら2つの
領域3a,3bとゲ−ト絶縁層5との間には金属層4
a,4bがそれぞれ形成されている。このため、アモル
ファスシリコン層2へのイオン注入によるソ−ス・ドレ
イン領域3a,3bの形成は、ゲ−ト絶縁層5の形成前
に行われるような構造となっている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリンタヘッド、エレ
クトロ・ルミネッセンス・ディスプレイ等の駆動に利用
される薄膜電界効果トランジスタ及びその製造方法、さ
らには、高耐圧薄膜電界効果トランジスタに係り、特
に、イオン注入を用いてソ−ス・ドレイン領域を形成し
た薄膜電界効果トランジスタにあって、イオン注入によ
るゲ−ト絶縁膜とシリコン層との境界面の結晶欠陥のな
い薄膜電界効果トランジスタ及びその製造方法並びに遷
移領域のない高耐圧薄膜電界効果トランジスタの構造に
関するものである。
クトロ・ルミネッセンス・ディスプレイ等の駆動に利用
される薄膜電界効果トランジスタ及びその製造方法、さ
らには、高耐圧薄膜電界効果トランジスタに係り、特
に、イオン注入を用いてソ−ス・ドレイン領域を形成し
た薄膜電界効果トランジスタにあって、イオン注入によ
るゲ−ト絶縁膜とシリコン層との境界面の結晶欠陥のな
い薄膜電界効果トランジスタ及びその製造方法並びに遷
移領域のない高耐圧薄膜電界効果トランジスタの構造に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、薄膜電界効果トランジスタとして
は、いわゆる逆スタガ構造のものが多く用いられてい
る。図9には、この様な構造を有する薄膜電界効果トラ
ンジスタの一例が示されており、以下、同図を参照しつ
つその構造等について説明する。図9において、薄膜電
界効果トランジスタは、絶縁基板10と、この絶縁基板
10上にクロム(Cr)等を着膜してなるゲ−ト電極1
1と、このゲ−ト電極11を被覆するシリコン窒化膜
(SiNx)からなるゲ−ト絶縁層12と、このゲ−ト
絶縁層12の上面に着膜されたアモルファスシリコン
(a−Si)層13と、アモルファスシリコン(a−S
i)層13の所定の部位にプラズマを用いたイオン注入
法によりイオンが注入されたソ−ス・ドレイン領域とし
てのイオンド−プ領域14a,14bと、このイオンド
−プ領域14a,14bが形成されていないアモルファ
スシリコン(a−Si)層13の部位を保護する窒化シ
リコン(SiN)からなる上部保護層15と、アルミニ
ウム(Al)からなるソ−ス電極16a及びドレイン電
極16bと、から構成されているものである。このよう
な逆スタガ構造は、製造の際、各層を形成する毎に真空
状態を解除することなく、続けて数層の形成作業を行う
ことができ、製造過程において幾度か真空装置の真空状
態を解除することがあるプレ−ナ構造の製造に比べて、
作業効率が良いことから、多く採用されているものであ
る。
は、いわゆる逆スタガ構造のものが多く用いられてい
る。図9には、この様な構造を有する薄膜電界効果トラ
ンジスタの一例が示されており、以下、同図を参照しつ
つその構造等について説明する。図9において、薄膜電
界効果トランジスタは、絶縁基板10と、この絶縁基板
10上にクロム(Cr)等を着膜してなるゲ−ト電極1
1と、このゲ−ト電極11を被覆するシリコン窒化膜
(SiNx)からなるゲ−ト絶縁層12と、このゲ−ト
絶縁層12の上面に着膜されたアモルファスシリコン
(a−Si)層13と、アモルファスシリコン(a−S
i)層13の所定の部位にプラズマを用いたイオン注入
法によりイオンが注入されたソ−ス・ドレイン領域とし
てのイオンド−プ領域14a,14bと、このイオンド
−プ領域14a,14bが形成されていないアモルファ
スシリコン(a−Si)層13の部位を保護する窒化シ
リコン(SiN)からなる上部保護層15と、アルミニ
ウム(Al)からなるソ−ス電極16a及びドレイン電
極16bと、から構成されているものである。このよう
な逆スタガ構造は、製造の際、各層を形成する毎に真空
状態を解除することなく、続けて数層の形成作業を行う
ことができ、製造過程において幾度か真空装置の真空状
態を解除することがあるプレ−ナ構造の製造に比べて、
作業効率が良いことから、多く採用されているものであ
る。
【0003】また、近年、上述のような逆スタガ構造の
薄膜電界効果トランジスタの高耐圧化を図ったものとし
て、ゲ−ト電極とドレインとの間に高抵抗のいわゆるオ
フセット領域を形成したものが提案されている。図10
にはこの様な高耐圧薄膜電界効果トランジスタの一例が
縦断面図により示されており、以下、同図を参照しつつ
その構造概略について説明する。尚、図9で説明した薄
膜電界効果トランジスタと同一の構成要素については同
一符号を付すものとする。同図において、高耐圧電界効
果トランジスタは、絶縁基板10に配されたゲ−ト電極
11と、このゲ−ト電極11を覆うように形成されたゲ
−ト絶縁層12と、このゲ−ト絶縁層12の上面に配さ
れたアモルファスシリコン(a−Si)層13と、さら
に、このアモルファスシリコン(a−Si)層13を保
護する上部絶縁層15と、アモルファスシリコン(a−
Si)層13から上部絶縁層15の端部に渡って形成さ
れたドレイン電極17等を有して構成されているもので
ある。尚、図10においては、ソ−ス電極側については
図示を省略してある。また、ドレイン電極17は、実際
には、オ−ミックコンタクト層、拡散防止層及びアルミ
ニウム層を積層してなるもので、図10においてはこの
積層状態については図示を省略してある。そして、ゲ−
ト電極11とドレイン電極17とは、ゲ−ト絶縁層12
等の積層方向でみると、同一の積層方向にはなく、横方
向(図10において紙面左右方向)にずれており、この
ため、ゲ−ト電極11のドレイン側の端部からドレイン
電極17にかけて、アモルファスシリコン(a−Si)
層13の内部はいわゆるオフセット領域となる(図10
において区間cd)一方、ゲ−ト電極11の積層方向に
位置するアモルファスシリコン(a−Si)層13の部
分はいわゆるチャンネル領域となっている。
薄膜電界効果トランジスタの高耐圧化を図ったものとし
て、ゲ−ト電極とドレインとの間に高抵抗のいわゆるオ
フセット領域を形成したものが提案されている。図10
にはこの様な高耐圧薄膜電界効果トランジスタの一例が
縦断面図により示されており、以下、同図を参照しつつ
その構造概略について説明する。尚、図9で説明した薄
膜電界効果トランジスタと同一の構成要素については同
一符号を付すものとする。同図において、高耐圧電界効
果トランジスタは、絶縁基板10に配されたゲ−ト電極
11と、このゲ−ト電極11を覆うように形成されたゲ
−ト絶縁層12と、このゲ−ト絶縁層12の上面に配さ
れたアモルファスシリコン(a−Si)層13と、さら
に、このアモルファスシリコン(a−Si)層13を保
護する上部絶縁層15と、アモルファスシリコン(a−
Si)層13から上部絶縁層15の端部に渡って形成さ
れたドレイン電極17等を有して構成されているもので
ある。尚、図10においては、ソ−ス電極側については
図示を省略してある。また、ドレイン電極17は、実際
には、オ−ミックコンタクト層、拡散防止層及びアルミ
ニウム層を積層してなるもので、図10においてはこの
積層状態については図示を省略してある。そして、ゲ−
ト電極11とドレイン電極17とは、ゲ−ト絶縁層12
等の積層方向でみると、同一の積層方向にはなく、横方
向(図10において紙面左右方向)にずれており、この
ため、ゲ−ト電極11のドレイン側の端部からドレイン
電極17にかけて、アモルファスシリコン(a−Si)
層13の内部はいわゆるオフセット領域となる(図10
において区間cd)一方、ゲ−ト電極11の積層方向に
位置するアモルファスシリコン(a−Si)層13の部
分はいわゆるチャンネル領域となっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前者(図9
示した電界効果トランジスタ)において、イオン注入
は、上部保護層15を設けた後に行われるが、この際、
イオンが上部保護膜15を突き抜けて、その下層のアモ
ルファスシリコン(a−Si)層13とゲ−ト電極11
近傍まで侵入して、アモルファスシリコン(a−Si)
層13に結晶欠陥を発生させるいわゆるイオンド−プダ
メ−ジと言われる現象が生じることが知られている。こ
のため、アモルファスシリコン(a−Si)層13にイ
オン注入する際のイオンの加速電圧の大きさが、ドレイ
ン電流が流れ始める際のゲ−ト電圧、すなわち、しきい
値を大きく変動させることになり、所望のしきい値を得
ることのできる加速電圧と、所望する薄膜電界効果トラ
ンジスタの電気的特性等から定まるイオン注入の深さに
必要な加速電圧とが異なる場合には、このイオン注入法
によるソ−ス・ドレイン領域の形成ができない場合があ
り、イオン注入法の適用範囲が比較的狭いという問題が
あった。
示した電界効果トランジスタ)において、イオン注入
は、上部保護層15を設けた後に行われるが、この際、
イオンが上部保護膜15を突き抜けて、その下層のアモ
ルファスシリコン(a−Si)層13とゲ−ト電極11
近傍まで侵入して、アモルファスシリコン(a−Si)
層13に結晶欠陥を発生させるいわゆるイオンド−プダ
メ−ジと言われる現象が生じることが知られている。こ
のため、アモルファスシリコン(a−Si)層13にイ
オン注入する際のイオンの加速電圧の大きさが、ドレイ
ン電流が流れ始める際のゲ−ト電圧、すなわち、しきい
値を大きく変動させることになり、所望のしきい値を得
ることのできる加速電圧と、所望する薄膜電界効果トラ
ンジスタの電気的特性等から定まるイオン注入の深さに
必要な加速電圧とが異なる場合には、このイオン注入法
によるソ−ス・ドレイン領域の形成ができない場合があ
り、イオン注入法の適用範囲が比較的狭いという問題が
あった。
【0005】また、イオン注入法は、逆スタガ構造の薄
膜電界効果トランジスタだけでなくプレ−ナ構造の薄膜
電界効果トランジスタにイオンにも用いられるが、この
場合でも、ゲ−ト絶縁膜形成後にイオン注入を行うとす
れば、イオンがゲ−ト絶縁膜を突き抜けてアモルファス
シリコン(a−Si)層へ侵入することがあり、アモル
ファスシリコン(a−Si)層内に結晶欠陥を作ること
があり、その結果、上述の逆スタガ構造の場合同様に、
所望のしきい値を有する薄膜電界効果トランジスタが得
られなくなることが経験的に知られている。
膜電界効果トランジスタだけでなくプレ−ナ構造の薄膜
電界効果トランジスタにイオンにも用いられるが、この
場合でも、ゲ−ト絶縁膜形成後にイオン注入を行うとす
れば、イオンがゲ−ト絶縁膜を突き抜けてアモルファス
シリコン(a−Si)層へ侵入することがあり、アモル
ファスシリコン(a−Si)層内に結晶欠陥を作ること
があり、その結果、上述の逆スタガ構造の場合同様に、
所望のしきい値を有する薄膜電界効果トランジスタが得
られなくなることが経験的に知られている。
【0006】一方、上述した後者(図10で説明した
例)の従来例にあっては、ソ−ス・ドレイン間の電子の
走行経路を考えると、例えば、図10に点線で示すよう
に、ソ−スからドレインへ向かう電子は、チャンネル領
域においては、アモルファスシリコン(a−Si)層1
3内のゲ−ト絶縁層12との境界面に近い面に略平行し
つつ走行するが、チャンネル領域とオフセット領域との
間には電圧分布が不均一な遷移領域(図10において区
間bc)が生ずるために、電子は、アモルファスシリコ
ン(a−Si)層13をその堆積方向(図10において
紙面上下方向)に横断して上部絶縁層15との境界面近
傍へ向かい、オフセット領域において、上部絶縁層15
との境界面に平行して走行することが知られている。そ
して、上述の遷移領域においては、電圧降下が大きいの
で、遷移領域のアモルファスシリコン(a−Si)にギ
ャップ準位が生成される結果、高耐圧電界効果トランジ
スタの特性劣化、すなわち、具体的にはドレイン電流対
ドレイン電圧特性曲線が使用に伴い変動し、安定した動
作が得られないばかりか、ひいては寿命が短くなるとい
う問題があった。
例)の従来例にあっては、ソ−ス・ドレイン間の電子の
走行経路を考えると、例えば、図10に点線で示すよう
に、ソ−スからドレインへ向かう電子は、チャンネル領
域においては、アモルファスシリコン(a−Si)層1
3内のゲ−ト絶縁層12との境界面に近い面に略平行し
つつ走行するが、チャンネル領域とオフセット領域との
間には電圧分布が不均一な遷移領域(図10において区
間bc)が生ずるために、電子は、アモルファスシリコ
ン(a−Si)層13をその堆積方向(図10において
紙面上下方向)に横断して上部絶縁層15との境界面近
傍へ向かい、オフセット領域において、上部絶縁層15
との境界面に平行して走行することが知られている。そ
して、上述の遷移領域においては、電圧降下が大きいの
で、遷移領域のアモルファスシリコン(a−Si)にギ
ャップ準位が生成される結果、高耐圧電界効果トランジ
スタの特性劣化、すなわち、具体的にはドレイン電流対
ドレイン電圧特性曲線が使用に伴い変動し、安定した動
作が得られないばかりか、ひいては寿命が短くなるとい
う問題があった。
【0007】本発明は上記実情に鑑みてなされたもの
で、イオン注入によるイオンド−プダメジがない薄膜電
界効果トランジスタ及びかかる薄膜電界効果トランジス
タの製造方法を提供することを目的とする。
で、イオン注入によるイオンド−プダメジがない薄膜電
界効果トランジスタ及びかかる薄膜電界効果トランジス
タの製造方法を提供することを目的とする。
【0008】また、本発明の他の目的は、走行電子の経
路が途中で屈曲することがなく、特性劣化を招く原因と
なる遷移領域がない信頼性の高い高耐圧薄膜電界効果ト
ランジスタを提供することにある。
路が途中で屈曲することがなく、特性劣化を招く原因と
なる遷移領域がない信頼性の高い高耐圧薄膜電界効果ト
ランジスタを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め請求項1記載の発明に係る薄膜電界効果トランジスタ
は、絶縁基板上に、ソ−ス・ドレイン領域となる高濃度
の不純物注入領域を一部に有する非結晶質シリコン層
と、ゲ−ト絶縁層と、ゲ−ト電極とを順次積層すると共
に、前記非結晶質シリコン層とゲ−ト絶縁層との界面で
あってソ−ス・ドレイン領域に位置する部位には金属層
を配し、該金属層にそれぞれ接合されるソ−ス・ドレイ
ン電極を前記ゲ−ト電極と略同一平面上に設けたもので
ある。また、請求項2記載の発明に係る薄膜電界効果ト
ランジスタの製造方法は、非結晶質シリコン層に形成さ
れるソ−ス領域とドレイン領域との間に位置する非結晶
質シリコン層の表面にフォトレジスト材を着膜してフォ
トレジスト層を形成する第1の工程と、前記レジスト層
に整合して前記非結晶質シリコン層にイオン注入により
ソ−ス・ドレイン領域を形成する第2の工程と、前記第
2の工程により形成されたソ−ス・ドレイン領域及び前
記フォトレジスト層の各々に金属材を着膜して金属層を
形成する第3の工程と、前記第3の工程により金属層が
形成された前記フォトレジスト層を該フォトレジスト層
に着膜された金属層と共に除去する第4の工程と、前記
フォトレジスト層が除去された面及び前記金属層に絶縁
部材を着膜してゲ−ト絶縁層を形成する第5の工程と、
前記ゲ−ト絶縁層の表面に導電部材を着膜してゲ−ト電
極を形成する第6の工程と、を具備してなるものであ
る。さらに、請求項3記載の発明に係る高耐圧薄膜電界
効果トランジスタは、絶縁基板上に、ソ−ス・ドレイン
領域となる高濃度の不純物注入領域を一部に有する非結
晶質シリコン層と、ゲ−ト絶縁層と、ゲ−ト電極とを順
次積層すると共に、ソ−ス・ドレイン領域にそれぞれ接
合されるソ−ス・ドレイン電極を前記ゲ−ト電極と略同
一平面上に設けかつ前記ゲ−ト電極とドレイン電極との
間にオフセット領域を設け、前記非結晶質シリコン層の
一部を占めるソ−ス・ドレイン領域はイオン注入により
形成されたものである。
め請求項1記載の発明に係る薄膜電界効果トランジスタ
は、絶縁基板上に、ソ−ス・ドレイン領域となる高濃度
の不純物注入領域を一部に有する非結晶質シリコン層
と、ゲ−ト絶縁層と、ゲ−ト電極とを順次積層すると共
に、前記非結晶質シリコン層とゲ−ト絶縁層との界面で
あってソ−ス・ドレイン領域に位置する部位には金属層
を配し、該金属層にそれぞれ接合されるソ−ス・ドレイ
ン電極を前記ゲ−ト電極と略同一平面上に設けたもので
ある。また、請求項2記載の発明に係る薄膜電界効果ト
ランジスタの製造方法は、非結晶質シリコン層に形成さ
れるソ−ス領域とドレイン領域との間に位置する非結晶
質シリコン層の表面にフォトレジスト材を着膜してフォ
トレジスト層を形成する第1の工程と、前記レジスト層
に整合して前記非結晶質シリコン層にイオン注入により
ソ−ス・ドレイン領域を形成する第2の工程と、前記第
2の工程により形成されたソ−ス・ドレイン領域及び前
記フォトレジスト層の各々に金属材を着膜して金属層を
形成する第3の工程と、前記第3の工程により金属層が
形成された前記フォトレジスト層を該フォトレジスト層
に着膜された金属層と共に除去する第4の工程と、前記
フォトレジスト層が除去された面及び前記金属層に絶縁
部材を着膜してゲ−ト絶縁層を形成する第5の工程と、
前記ゲ−ト絶縁層の表面に導電部材を着膜してゲ−ト電
極を形成する第6の工程と、を具備してなるものであ
る。さらに、請求項3記載の発明に係る高耐圧薄膜電界
効果トランジスタは、絶縁基板上に、ソ−ス・ドレイン
領域となる高濃度の不純物注入領域を一部に有する非結
晶質シリコン層と、ゲ−ト絶縁層と、ゲ−ト電極とを順
次積層すると共に、ソ−ス・ドレイン領域にそれぞれ接
合されるソ−ス・ドレイン電極を前記ゲ−ト電極と略同
一平面上に設けかつ前記ゲ−ト電極とドレイン電極との
間にオフセット領域を設け、前記非結晶質シリコン層の
一部を占めるソ−ス・ドレイン領域はイオン注入により
形成されたものである。
【0010】
【作用】したがって、請求項1記載の発明に係る薄膜電
界効果トランジスタにおいては、非結晶質シリコン層内
に形成されるソ−ス・ドレイン領域の上部、すなわち、
ゲ−ト絶縁層が積層される側の面には、金属層が配さ
れ、この金属層を介してゲ−ト絶縁層が積層される構造
となっているために、イオン注入により非結晶質シリコ
ン層内にソ−ス・ドレイン領域を形成するためには、金
属層の形成前、すなわち、ゲ−ト絶縁層の形成前に行わ
なければならないので、イオン注入によりゲ−ト絶縁層
を劣化させることがないものである。
界効果トランジスタにおいては、非結晶質シリコン層内
に形成されるソ−ス・ドレイン領域の上部、すなわち、
ゲ−ト絶縁層が積層される側の面には、金属層が配さ
れ、この金属層を介してゲ−ト絶縁層が積層される構造
となっているために、イオン注入により非結晶質シリコ
ン層内にソ−ス・ドレイン領域を形成するためには、金
属層の形成前、すなわち、ゲ−ト絶縁層の形成前に行わ
なければならないので、イオン注入によりゲ−ト絶縁層
を劣化させることがないものである。
【0011】また、請求項2記載の発明に係る薄膜電界
効果トランジスタの製造方法においては、フォトレジス
ト層を非結晶質シリコン層へイオン注入する際のマスク
として使用し、イオン注入後、さらに、このフォトレジ
スト層を残したまま、金属層を着膜し、その後にフォト
レジスト層を除去することで、このフォトレジスト層に
着膜した金属層は除去されて、金属層が必要とされるソ
−ス・ドレイン領域の表面にのみ金属層が残り、その
後、ゲ−ト絶縁層が形成されることで、イオン注入によ
りゲ−ト絶縁層の劣化を招くことがないものである。
効果トランジスタの製造方法においては、フォトレジス
ト層を非結晶質シリコン層へイオン注入する際のマスク
として使用し、イオン注入後、さらに、このフォトレジ
スト層を残したまま、金属層を着膜し、その後にフォト
レジスト層を除去することで、このフォトレジスト層に
着膜した金属層は除去されて、金属層が必要とされるソ
−ス・ドレイン領域の表面にのみ金属層が残り、その
後、ゲ−ト絶縁層が形成されることで、イオン注入によ
りゲ−ト絶縁層の劣化を招くことがないものである。
【0012】さらに、請求項3記載の発明に係る高耐圧
薄膜電界効果トランジスタにおいては、ゲ−ト電極、ソ
−ス電極及びドレイン電極が略同一の平面上に設けられ
ることにより、ソ−ス・ドレイン間を移動する電子は、
ゲ−ト電極、ソ−ス電極及びドレイン電極が位置する側
の非結晶質シリコン層とゲ−ト絶縁層との界面に近い非
結晶シリコン層内を界面に略平行して走行することとな
り、遷移領域が生じないよう作用するものである。
薄膜電界効果トランジスタにおいては、ゲ−ト電極、ソ
−ス電極及びドレイン電極が略同一の平面上に設けられ
ることにより、ソ−ス・ドレイン間を移動する電子は、
ゲ−ト電極、ソ−ス電極及びドレイン電極が位置する側
の非結晶質シリコン層とゲ−ト絶縁層との界面に近い非
結晶シリコン層内を界面に略平行して走行することとな
り、遷移領域が生じないよう作用するものである。
【0013】
【実施例】以下、請求項1記載の発明に係る薄膜電界効
果トランジスタの一実施例について図1を参照しつつ説
明する。ここで、図1は薄膜電界効果トランジスタの縦
断面図である。この薄膜電界効果トランジスタは、ガラ
ス等の絶縁性部材からなる絶縁基板1と、この絶縁基板
1上に積層された非結晶質アモルファスシリコンとして
のアモルファスシリコン(a−Si)層2と、このアモ
ルファスシリコン(a−Si)層2にイオン注入法によ
り形成された(詳細は後述)ソ−ス・ドレイン領域3
a,3bにあたる面に形成された金属層4a,4bと、
前記アモルファスシリコン(a−Si)層2及び前記金
属層4a,4bの上面に積層されたゲ−ト絶縁層5と、
このゲ−ト絶縁層5に積層されたゲ−ト電極6と、前記
ゲ−ト絶縁層5を介して前記金属層4a,4bに接合す
るソ−ス電極7a及びドレイン電極7bとから構成され
た、いわゆるプレ−ナ構造の薄膜電界効果トランジスタ
である。この薄膜電界効果トランジスタは、後述する高
耐圧薄膜電界効果トランジスタと異なり、ゲ−ト電極6
は、ソ−ス領域3aとドレイン電極7bとの略中間に位
置するように設けられており、このため、いわゆるオフ
セット領域を有していないものである。
果トランジスタの一実施例について図1を参照しつつ説
明する。ここで、図1は薄膜電界効果トランジスタの縦
断面図である。この薄膜電界効果トランジスタは、ガラ
ス等の絶縁性部材からなる絶縁基板1と、この絶縁基板
1上に積層された非結晶質アモルファスシリコンとして
のアモルファスシリコン(a−Si)層2と、このアモ
ルファスシリコン(a−Si)層2にイオン注入法によ
り形成された(詳細は後述)ソ−ス・ドレイン領域3
a,3bにあたる面に形成された金属層4a,4bと、
前記アモルファスシリコン(a−Si)層2及び前記金
属層4a,4bの上面に積層されたゲ−ト絶縁層5と、
このゲ−ト絶縁層5に積層されたゲ−ト電極6と、前記
ゲ−ト絶縁層5を介して前記金属層4a,4bに接合す
るソ−ス電極7a及びドレイン電極7bとから構成され
た、いわゆるプレ−ナ構造の薄膜電界効果トランジスタ
である。この薄膜電界効果トランジスタは、後述する高
耐圧薄膜電界効果トランジスタと異なり、ゲ−ト電極6
は、ソ−ス領域3aとドレイン電極7bとの略中間に位
置するように設けられており、このため、いわゆるオフ
セット領域を有していないものである。
【0014】この薄膜電界効果トランジスタの製造プロ
セスについて、図2乃至図4を参照しつつ説明する。先
ず、絶縁基板1の上にプラズマCVD法を用い、絶縁基
板1の温度として200乃至300℃、反応ガスとして
シラン(SiH4 )、反応圧力として0.1乃至1.0
Torr、放電電圧として0.01乃至0.1W/cm
の着膜条件の下で、アモルファスシリコン(a−Si)
を500オングストロ−ム乃至1μm程度の厚さで着膜
して、アモルファスシリコン(a−Si)層2を形成す
る。尚、着膜の厚さとしては、2000乃至3000オ
ングストロ−ムが好適である。次に、アモルファスシリ
コン(a−Si)層2の上面(図2のおいて紙面上側)
に、後述するイオン注入によりソ−ス・ドレイン領域3
a,3bとなる部分を除いて、フォトレジストを塗布し
てフォトレジスト層8を形成し、その後、このフォトレ
ジスト層8をマスクとして、次のような条件の下、アモ
ルファスシリコン(a−Si)層2にイオン注入(図2
において点線表示)を行い、ソ−ス・ドレイン領域3
a,3bを形成する(図2参照)。すなわち、本実施例
におけるイオン注入の条件としては、反応ガスとして水
素気中に1%のホスフィン(PH3)を混合したもの、
加速電圧として1乃至20KV、基板温度として室温乃
至100℃である。尚、水素気中に1%のホスフィン
(PH3 )を混合したものに代えて、水素気体中に1%
のジボラン(B2 H6 )を混合したものであってもよ
い。
セスについて、図2乃至図4を参照しつつ説明する。先
ず、絶縁基板1の上にプラズマCVD法を用い、絶縁基
板1の温度として200乃至300℃、反応ガスとして
シラン(SiH4 )、反応圧力として0.1乃至1.0
Torr、放電電圧として0.01乃至0.1W/cm
の着膜条件の下で、アモルファスシリコン(a−Si)
を500オングストロ−ム乃至1μm程度の厚さで着膜
して、アモルファスシリコン(a−Si)層2を形成す
る。尚、着膜の厚さとしては、2000乃至3000オ
ングストロ−ムが好適である。次に、アモルファスシリ
コン(a−Si)層2の上面(図2のおいて紙面上側)
に、後述するイオン注入によりソ−ス・ドレイン領域3
a,3bとなる部分を除いて、フォトレジストを塗布し
てフォトレジスト層8を形成し、その後、このフォトレ
ジスト層8をマスクとして、次のような条件の下、アモ
ルファスシリコン(a−Si)層2にイオン注入(図2
において点線表示)を行い、ソ−ス・ドレイン領域3
a,3bを形成する(図2参照)。すなわち、本実施例
におけるイオン注入の条件としては、反応ガスとして水
素気中に1%のホスフィン(PH3)を混合したもの、
加速電圧として1乃至20KV、基板温度として室温乃
至100℃である。尚、水素気中に1%のホスフィン
(PH3 )を混合したものに代えて、水素気体中に1%
のジボラン(B2 H6 )を混合したものであってもよ
い。
【0015】ここで、従来の逆スタガ構造を有する薄膜
電界効果トランジスタを製造する場合に、ソ−ス・ドレ
イン領域をイオンオン注入法を用いて形成する場合と、
本実施例に係る薄膜電界効果トランジスタの製造プロセ
スにおけるイオン注入法によるソ−ス・ドレイン領域を
形成する場合とを比較すると、従来の製造プロセスにお
いては、ゲ−ト絶縁層の形成後にイオン注入を行ってい
たのに対して、本実施例の製造プロセスにおいては、上
述のようにゲ−ト絶縁層5の形成前にイオン注入を行う
ので、従来の製造プロセスにおいてゲ−ト絶縁層と非結
晶質シリコンとの界面に生じていた、結晶欠陥等のいわ
ゆるイオンダメ−ジと称されるイオン注入に起因する欠
陥が発生ぜず、特性劣化が少なく、信頼性の高い薄膜電
界効果トランジスタ提供できるものである。そして、上
述のイオン注入の後は、フォトレジスト層8を残したま
まの状態で、クロム(Cr)を100乃至1000オン
グストロ−ム蒸着して、金属層4a,4b,4cを形成
する(図3参照)。尚、この時、フォトレジスト層8の
上面にも金属層4cが形成される。また、本実施例にお
いては、クロム(Cr)を用いて金属層4a〜4cを形
成したが、クロム(Cr)に限られる必要はなく、他に
チタン(Ti)、タンタル(Ta)、モリブデン(M
o)、タングステン(W)等であってもよい。
電界効果トランジスタを製造する場合に、ソ−ス・ドレ
イン領域をイオンオン注入法を用いて形成する場合と、
本実施例に係る薄膜電界効果トランジスタの製造プロセ
スにおけるイオン注入法によるソ−ス・ドレイン領域を
形成する場合とを比較すると、従来の製造プロセスにお
いては、ゲ−ト絶縁層の形成後にイオン注入を行ってい
たのに対して、本実施例の製造プロセスにおいては、上
述のようにゲ−ト絶縁層5の形成前にイオン注入を行う
ので、従来の製造プロセスにおいてゲ−ト絶縁層と非結
晶質シリコンとの界面に生じていた、結晶欠陥等のいわ
ゆるイオンダメ−ジと称されるイオン注入に起因する欠
陥が発生ぜず、特性劣化が少なく、信頼性の高い薄膜電
界効果トランジスタ提供できるものである。そして、上
述のイオン注入の後は、フォトレジスト層8を残したま
まの状態で、クロム(Cr)を100乃至1000オン
グストロ−ム蒸着して、金属層4a,4b,4cを形成
する(図3参照)。尚、この時、フォトレジスト層8の
上面にも金属層4cが形成される。また、本実施例にお
いては、クロム(Cr)を用いて金属層4a〜4cを形
成したが、クロム(Cr)に限られる必要はなく、他に
チタン(Ti)、タンタル(Ta)、モリブデン(M
o)、タングステン(W)等であってもよい。
【0016】金属層4a〜4cの形成の後は、フォトレ
ジスト層8を除去することで、このフォトレジスト層8
の上面の金属層4cをも同時に除去する(以下、この作
業を「リフトオフ」と言う。)。尚、フォトレジスト層
8とアモルファスシリコン層2との間に段差があるため
に、このフォトレジスト層8の上に形成される金属層4
cと、アモルファスシリコン層2に形成された金属層4
a,4bとは、理想的には図3に示されたように、完全
に分離された状態となるが、実際には、金属層4cと金
属層4a,4bとが連続してしまう場合もあるので、こ
のような場合に、リフトオフを容易にするために、フォ
トレジスト層8を形成する際に、重クロム酸カリ等によ
りフォトレジストの表面を処理して、図3に示されるフ
ォトレジスト層8の断面形状がアモルファスシリコン層
2へ向かって除々に細くなるようなテ−パを形成する
と、金属層4cと金属層4a,4cとが着膜の際、連続
するようなことがなくなる。次に、プラズマCVD法に
より、窒化シリコン(SiNx)又は酸化シリコン(S
iOx)を、膜厚0.1乃至1.0μm程度に着膜し
て、ゲ−ト絶縁層5を形成する(図4参照)。ここで、
膜厚は、上述の範囲内でも特に、0.2乃至0.5μm
が好適である。尚、このゲ−ト絶縁層5の形成は、EC
R(Electron Cyclotron Resonance)プラズマCVD法
により、上述の窒化シリコン等さらには、SiOxNy
を着膜するようにしてもよい。そして、ゲ−ト絶縁層5
を形成した後は、金属層4a,4bと各ソ−ス、ドレイ
ン電極7a,7bとを連結するためのコンタクト孔9
a,9bを、ゲ−ト絶縁層5が金属層4a,4bと接し
ている部分に形成する(図4参照)。この後、スパッタ
法又は蒸着法により、アルミニウム(Al)を0.5乃
至1.5μmの膜厚で着膜し、その後、フォトリソ法に
より、ゲ−ト電極6をゲ−ト絶縁層5の略中央に島状
に、また、ソ−ス、ドレインの各電極7a,7bをそれ
ぞれコンタクト孔9a,9bの周囲に島状にそれぞれ形
成することにより、図1に示されたような断面構造を有
する薄膜電界効果トランジスタを得ることができる。
尚、上述のゲ−ト電極6及びソ−ス・ドレイン電極7
a,7bを形成する際の着膜材としては、例えば、Al
Si、AlSiCu等の低抵抗部材であれば、上述のア
ルミニウムに限られる必要はない。
ジスト層8を除去することで、このフォトレジスト層8
の上面の金属層4cをも同時に除去する(以下、この作
業を「リフトオフ」と言う。)。尚、フォトレジスト層
8とアモルファスシリコン層2との間に段差があるため
に、このフォトレジスト層8の上に形成される金属層4
cと、アモルファスシリコン層2に形成された金属層4
a,4bとは、理想的には図3に示されたように、完全
に分離された状態となるが、実際には、金属層4cと金
属層4a,4bとが連続してしまう場合もあるので、こ
のような場合に、リフトオフを容易にするために、フォ
トレジスト層8を形成する際に、重クロム酸カリ等によ
りフォトレジストの表面を処理して、図3に示されるフ
ォトレジスト層8の断面形状がアモルファスシリコン層
2へ向かって除々に細くなるようなテ−パを形成する
と、金属層4cと金属層4a,4cとが着膜の際、連続
するようなことがなくなる。次に、プラズマCVD法に
より、窒化シリコン(SiNx)又は酸化シリコン(S
iOx)を、膜厚0.1乃至1.0μm程度に着膜し
て、ゲ−ト絶縁層5を形成する(図4参照)。ここで、
膜厚は、上述の範囲内でも特に、0.2乃至0.5μm
が好適である。尚、このゲ−ト絶縁層5の形成は、EC
R(Electron Cyclotron Resonance)プラズマCVD法
により、上述の窒化シリコン等さらには、SiOxNy
を着膜するようにしてもよい。そして、ゲ−ト絶縁層5
を形成した後は、金属層4a,4bと各ソ−ス、ドレイ
ン電極7a,7bとを連結するためのコンタクト孔9
a,9bを、ゲ−ト絶縁層5が金属層4a,4bと接し
ている部分に形成する(図4参照)。この後、スパッタ
法又は蒸着法により、アルミニウム(Al)を0.5乃
至1.5μmの膜厚で着膜し、その後、フォトリソ法に
より、ゲ−ト電極6をゲ−ト絶縁層5の略中央に島状
に、また、ソ−ス、ドレインの各電極7a,7bをそれ
ぞれコンタクト孔9a,9bの周囲に島状にそれぞれ形
成することにより、図1に示されたような断面構造を有
する薄膜電界効果トランジスタを得ることができる。
尚、上述のゲ−ト電極6及びソ−ス・ドレイン電極7
a,7bを形成する際の着膜材としては、例えば、Al
Si、AlSiCu等の低抵抗部材であれば、上述のア
ルミニウムに限られる必要はない。
【0017】以上述べた本実施例の製造プロセスと、従
来の製造プロセス、特に、逆スタガ構造の薄膜電界効果
トランジスタの製造プロセスとを、各々の製造過程にお
いて必要とされるマスク数の違いで比較してみると、以
下に示す表1の通りである。
来の製造プロセス、特に、逆スタガ構造の薄膜電界効果
トランジスタの製造プロセスとを、各々の製造過程にお
いて必要とされるマスク数の違いで比較してみると、以
下に示す表1の通りである。
【0018】
【表1】 従来 本実施例 ゲ−ト電極パタ−ニング n+ マスクパタ−ニング(L.O) 上部絶縁膜パタ−ニング ゲ−ト絶縁層パタ−ニング n+ 層パタ−ニング SD、ゲ−ト電極パタ−ニング コンタクト孔パタ−ニング *** SD電極パタ−ニング ***
【0019】表1の本発明の欄において、n+ マスクパ
タ−ニングの記載の後に括弧書きでL.Oとあるのは、
n+ マスクパタ−ニング、すなわち、ソ−ス・ドレイン
領域のパタ−ニングは、先の製造プロセスで説明したよ
うに、フォトレジスト層8を設けた後にイオン注入を行
いその後、このフォトレジスト層8を除去する、すなわ
ち、リフトオフすることにより所望のパタ−ニングが行
われることを示すものである。また、同表中、SDとあ
るのは、ソ−ス、ドレインの各電極7a,7bを意味し
ており、本実施例においては、このソ−ス、ドレインの
各電7a,7bのパタ−ニングとゲ−ト電極6のパタ−
ニングとは一つのマスクを用いてなされる。そして、本
実施例の製造過程においては、n+ マスクパタ−ニング
とゲ−ト絶縁層パタ−ニングに加えて、ゲ−ト絶縁層5
のパタ−ニングにマスクを必要とすることから、結局、
表1に示されたように、3つのマスクで足りるものであ
る。
タ−ニングの記載の後に括弧書きでL.Oとあるのは、
n+ マスクパタ−ニング、すなわち、ソ−ス・ドレイン
領域のパタ−ニングは、先の製造プロセスで説明したよ
うに、フォトレジスト層8を設けた後にイオン注入を行
いその後、このフォトレジスト層8を除去する、すなわ
ち、リフトオフすることにより所望のパタ−ニングが行
われることを示すものである。また、同表中、SDとあ
るのは、ソ−ス、ドレインの各電極7a,7bを意味し
ており、本実施例においては、このソ−ス、ドレインの
各電7a,7bのパタ−ニングとゲ−ト電極6のパタ−
ニングとは一つのマスクを用いてなされる。そして、本
実施例の製造過程においては、n+ マスクパタ−ニング
とゲ−ト絶縁層パタ−ニングに加えて、ゲ−ト絶縁層5
のパタ−ニングにマスクを必要とすることから、結局、
表1に示されたように、3つのマスクで足りるものであ
る。
【0020】これに対して、従来の逆スタガ構造のもの
において必要とされるマスクの種類は、表1の通りで、
必要とされるマスク数は、本発明より2つ多い、5つの
マスクが必要である。換言すれば、本発明の製造方法に
よれば、従来に比してマスク数が少なくて済むので、そ
の分、作業工程が少なくて済み、歩留まりが向上し、ひ
いては製造コストの低減となるものである。尚、従来の
製造過程における個々のマスクの内容については、公知
・周知であるのでここでの詳細な説明は省略する。
において必要とされるマスクの種類は、表1の通りで、
必要とされるマスク数は、本発明より2つ多い、5つの
マスクが必要である。換言すれば、本発明の製造方法に
よれば、従来に比してマスク数が少なくて済むので、そ
の分、作業工程が少なくて済み、歩留まりが向上し、ひ
いては製造コストの低減となるものである。尚、従来の
製造過程における個々のマスクの内容については、公知
・周知であるのでここでの詳細な説明は省略する。
【0021】次に、請求項3記載の発明に係る高耐圧薄
膜電界効果トランジスタについて図5を参照しつつ説明
する。尚、この実施例に係る高耐圧薄膜電界効果トラン
ジスタは、図1で説明した薄膜電界効果トランジスタと
一部を除いて大半の部分が共通する構造であるので、同
一構成要素については、同一符号を付してその説明を省
略し、以下、異なる点を中心に説明する。この高耐圧薄
膜電界効果トランジスタは、図5に一例が示されるよう
に、ゲート電極6が、ソ−ス電極7a寄りの位置に設け
られており、このような構成を有することにより、アモ
ルファスシリコン層2の内部には図6に示されるよう
に、ゲ−ト電極6とドレイン領域7bとの間に位置する
部分が、よく知られているように抵抗値の高いオフセッ
ト領域となって、遷移領域を介してチャンネル領域に続
いているいる点を除けば、図1で説明した薄膜電界効果
トランジスタと同様な構造を有するものである。
膜電界効果トランジスタについて図5を参照しつつ説明
する。尚、この実施例に係る高耐圧薄膜電界効果トラン
ジスタは、図1で説明した薄膜電界効果トランジスタと
一部を除いて大半の部分が共通する構造であるので、同
一構成要素については、同一符号を付してその説明を省
略し、以下、異なる点を中心に説明する。この高耐圧薄
膜電界効果トランジスタは、図5に一例が示されるよう
に、ゲート電極6が、ソ−ス電極7a寄りの位置に設け
られており、このような構成を有することにより、アモ
ルファスシリコン層2の内部には図6に示されるよう
に、ゲ−ト電極6とドレイン領域7bとの間に位置する
部分が、よく知られているように抵抗値の高いオフセッ
ト領域となって、遷移領域を介してチャンネル領域に続
いているいる点を除けば、図1で説明した薄膜電界効果
トランジスタと同様な構造を有するものである。
【0022】この高耐圧電界効果トランジスタの製造プ
ロセスは、ゲ−ト電極6の位置が、上述したように、図
1に示された薄膜電界効果トランジスタと異なることに
対応してパタ−ニングのマスク形状が変わるだけで、図
1乃至図4を用いて説明した薄膜電界効果トランジスタ
の製造プロセスと基本的に同一であるので、ここでの詳
細な説明は省略する。
ロセスは、ゲ−ト電極6の位置が、上述したように、図
1に示された薄膜電界効果トランジスタと異なることに
対応してパタ−ニングのマスク形状が変わるだけで、図
1乃至図4を用いて説明した薄膜電界効果トランジスタ
の製造プロセスと基本的に同一であるので、ここでの詳
細な説明は省略する。
【0023】次に、上記構成におけるこの高耐圧薄膜電
界効果トランジスタの動作、特に、ドレイン電流の経路
について、図6を参照しつつ説明する。この高耐圧電界
効果トランジスタは、ゲ−ト電極6とソ−ス・ドレイン
電極7a,7bが略同一平面上に位置するプレ−ナ構造
であるために、ソ−ス領域3aからドレイン領域3bへ
向かう電子は図6に点線で示されるようにゲ−ト絶縁層
5に近いアモルファスシリコン層2の界面に略平行して
走行し、ドレイン領域3bに至るので、ゲ−ト電極6の
略下部に位置するアモルファスシリコン層2のチャンネ
ル領域(図6参照)と、オフセット領域(図6参照)と
の間には、従来の逆スタガ構造の高耐圧薄膜電界トラン
ジスタにおいて存在したような遷移領域(図10参照)
が存在しない。したがって、遷移領域がなくなった分、
ギャップ準位の生成が大幅に低減され、従来このギャッ
プ準順位の生成に起因して発生していたドレイン電流対
ドレイン電圧特性の変動がなくなるばかりでなく、特
に、遷移領域でアモルファスシリコンに大きい電圧降下
が生じることによるアモルファスシリコンの劣化を促進
することがなくなり、信頼性の高い高耐圧薄膜電界効果
トランジスタとなる。
界効果トランジスタの動作、特に、ドレイン電流の経路
について、図6を参照しつつ説明する。この高耐圧電界
効果トランジスタは、ゲ−ト電極6とソ−ス・ドレイン
電極7a,7bが略同一平面上に位置するプレ−ナ構造
であるために、ソ−ス領域3aからドレイン領域3bへ
向かう電子は図6に点線で示されるようにゲ−ト絶縁層
5に近いアモルファスシリコン層2の界面に略平行して
走行し、ドレイン領域3bに至るので、ゲ−ト電極6の
略下部に位置するアモルファスシリコン層2のチャンネ
ル領域(図6参照)と、オフセット領域(図6参照)と
の間には、従来の逆スタガ構造の高耐圧薄膜電界トラン
ジスタにおいて存在したような遷移領域(図10参照)
が存在しない。したがって、遷移領域がなくなった分、
ギャップ準位の生成が大幅に低減され、従来このギャッ
プ準順位の生成に起因して発生していたドレイン電流対
ドレイン電圧特性の変動がなくなるばかりでなく、特
に、遷移領域でアモルファスシリコンに大きい電圧降下
が生じることによるアモルファスシリコンの劣化を促進
することがなくなり、信頼性の高い高耐圧薄膜電界効果
トランジスタとなる。
【0024】図7には、本実施例に係る高耐圧電界効果
トランジスタと従来の高耐圧電界効果トランジスタの電
圧ストレスに対する試験結果がそれぞれ示されている。
すなわち、この電圧ストレス試験は、図8に示されるよ
うに、ドレインに抵抗を介して400Vの電圧を、ゲ−
トに1Vの電圧(しきい値電圧より小)を、それぞれ印
加した状態、すなわち、高耐圧薄膜電界効果トランジス
タを非導通状態にして放置した際のドレイン電圧VoL
の時間の経過に伴う変化を実測したものである。図7に
おいて、実線は本実施例に係る高耐圧薄膜電界効果トラ
ンジスタの試験結果を、二点鎖線は従来の高耐圧薄膜電
界効果トランジスタの試験結果をそれぞれ示しており、
上述の条件の下で、試験開始後40時間経過時における
各々のVoL を比較してみると、本実施例に係る高耐圧
薄膜電界効果トランジスタのVoL が約15V程度であ
ったのに対して、従来の高耐圧薄膜電界効果トランジス
タのVoL は約38Vと、本実施例に係る高耐圧薄膜電
界効果トランジスタより約24Vも高くなっていた。
トランジスタと従来の高耐圧電界効果トランジスタの電
圧ストレスに対する試験結果がそれぞれ示されている。
すなわち、この電圧ストレス試験は、図8に示されるよ
うに、ドレインに抵抗を介して400Vの電圧を、ゲ−
トに1Vの電圧(しきい値電圧より小)を、それぞれ印
加した状態、すなわち、高耐圧薄膜電界効果トランジス
タを非導通状態にして放置した際のドレイン電圧VoL
の時間の経過に伴う変化を実測したものである。図7に
おいて、実線は本実施例に係る高耐圧薄膜電界効果トラ
ンジスタの試験結果を、二点鎖線は従来の高耐圧薄膜電
界効果トランジスタの試験結果をそれぞれ示しており、
上述の条件の下で、試験開始後40時間経過時における
各々のVoL を比較してみると、本実施例に係る高耐圧
薄膜電界効果トランジスタのVoL が約15V程度であ
ったのに対して、従来の高耐圧薄膜電界効果トランジス
タのVoL は約38Vと、本実施例に係る高耐圧薄膜電
界効果トランジスタより約24Vも高くなっていた。
【0025】このように、本実施例に係る高耐圧薄膜電
界効果トランジスタは、プレ−ナ構造を採ることによ
り、ソ−ス・ドレイン間の電子の走行経路が途中で屈曲
することのないようにしたので、チャンネル領域とオフ
セット領域との間に従来のような遷移領域が発生せず、
このため、従来、遷移領域があることに起因して生じて
いたドレイン電流対ドレイン電圧特性の変動がなくな
り、また、アモルファスシリコン内の電圧分布が略均一
となり、従来と異なりアモルファスシリコンの特定の部
分が早期に劣化して、高耐圧薄膜電界効果トランジスタ
の特性が低下することがないので、安定した動作を得る
ことができ、ひいては信頼性が向上するものである。
界効果トランジスタは、プレ−ナ構造を採ることによ
り、ソ−ス・ドレイン間の電子の走行経路が途中で屈曲
することのないようにしたので、チャンネル領域とオフ
セット領域との間に従来のような遷移領域が発生せず、
このため、従来、遷移領域があることに起因して生じて
いたドレイン電流対ドレイン電圧特性の変動がなくな
り、また、アモルファスシリコン内の電圧分布が略均一
となり、従来と異なりアモルファスシリコンの特定の部
分が早期に劣化して、高耐圧薄膜電界効果トランジスタ
の特性が低下することがないので、安定した動作を得る
ことができ、ひいては信頼性が向上するものである。
【0026】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、プレ−ナ
構造を採ることにより、ゲ−ト絶縁層を形成する前に非
結晶シリコンにイオン注入を行い、ソ−ス・ドレイン領
域を形成する構造としたので、従来と異なりゲ−ト絶縁
層と非結晶シリコン層の境界面にイオン注入による結晶
欠陥を発生させることがなくなり、使用の際に電気的特
性が変動するような従来の欠点がなくなり、動作の安定
化ひいては信頼性の高い薄膜電界効果トランジスタを提
供することができるという効果を奏するものである。
構造を採ることにより、ゲ−ト絶縁層を形成する前に非
結晶シリコンにイオン注入を行い、ソ−ス・ドレイン領
域を形成する構造としたので、従来と異なりゲ−ト絶縁
層と非結晶シリコン層の境界面にイオン注入による結晶
欠陥を発生させることがなくなり、使用の際に電気的特
性が変動するような従来の欠点がなくなり、動作の安定
化ひいては信頼性の高い薄膜電界効果トランジスタを提
供することができるという効果を奏するものである。
【0027】また、請求項2記載の発明によれば、非結
晶質シリコン層の表面にゲ−ト絶縁層を形成する前に非
結晶質シリコンへのイオン注入を行うようにし、しか
も、イオン注入の際のマスクとして、フォトレジスタを
用いることにより、イオン注入後に行うソ−ス・ドレイ
ン領域への金属層の形成時のパタ−ニングを、いわゆる
リフトオフにより行えるので、従来のようなイオン注入
に起因する非結晶質シリコン層とゲ−ト絶縁層との界面
におけるいわゆるイオンド−プダメ−ジの発生がなく、
安定した特性の高耐圧薄膜電界効果トランジスタを、従
来に比して少ない作業工程により得ることができるとい
う効果を奏するものである。
晶質シリコン層の表面にゲ−ト絶縁層を形成する前に非
結晶質シリコンへのイオン注入を行うようにし、しか
も、イオン注入の際のマスクとして、フォトレジスタを
用いることにより、イオン注入後に行うソ−ス・ドレイ
ン領域への金属層の形成時のパタ−ニングを、いわゆる
リフトオフにより行えるので、従来のようなイオン注入
に起因する非結晶質シリコン層とゲ−ト絶縁層との界面
におけるいわゆるイオンド−プダメ−ジの発生がなく、
安定した特性の高耐圧薄膜電界効果トランジスタを、従
来に比して少ない作業工程により得ることができるとい
う効果を奏するものである。
【0028】さらに、請求項3記載の発明によれば、ソ
−ス・ドレイン間の電子の走行経路が非結晶質シリコン
層の堆積方向に横切るようなことがないようにしたこと
により、従来の逆スタガ構造の高耐圧薄膜電界効果トラ
ンジスタにあった遷移領域をなくすことができたので、
非結晶シリコン層内の特定の部分に大きな電圧降下が発
生することにより、非結晶シリコンを劣化させるような
ことがなくなり、従来より特性の安定した高耐圧薄膜電
界効果トランジスタを提供することができるものであ
る。
−ス・ドレイン間の電子の走行経路が非結晶質シリコン
層の堆積方向に横切るようなことがないようにしたこと
により、従来の逆スタガ構造の高耐圧薄膜電界効果トラ
ンジスタにあった遷移領域をなくすことができたので、
非結晶シリコン層内の特定の部分に大きな電圧降下が発
生することにより、非結晶シリコンを劣化させるような
ことがなくなり、従来より特性の安定した高耐圧薄膜電
界効果トランジスタを提供することができるものであ
る。
【図1】 請求項1記載の発明に係る薄膜電界効果トラ
ンジスタの一実施例における主要部の縦断面図である。
ンジスタの一実施例における主要部の縦断面図である。
【図2】 請求項1記載の発明に係る薄膜電界効果トラ
ンジスタの製造プロセス中、イオン注入の前後を説明す
るための説明図である。
ンジスタの製造プロセス中、イオン注入の前後を説明す
るための説明図である。
【図3】 請求項1記載の発明に係る薄膜電界効果トラ
ンジスタの製造プロセス中、金属層の形成を説明するた
めの説明図である。。
ンジスタの製造プロセス中、金属層の形成を説明するた
めの説明図である。。
【図4】 請求項1記載の発明に係る薄膜電界効果トラ
ンジスタの製造プロセス中、ゲ−ト電極形成直前の状態
を説明するための説明図である。
ンジスタの製造プロセス中、ゲ−ト電極形成直前の状態
を説明するための説明図である。
【図5】 請求項3記載の高耐圧電界効果トランジスタ
の一実施例における主要部の縦断面図である。
の一実施例における主要部の縦断面図である。
【図6】 図5に示された高耐圧電界効果トランジスタ
における電子の走行経路を説明するための説明図であ
る。
における電子の走行経路を説明するための説明図であ
る。
【図7】 図5に示された高耐圧電界効果トランジスタ
と従来の高耐圧薄膜電界効果トランジスタの電圧ストレ
ス試験における出力電圧対経過時間特性を示す特性図で
ある。
と従来の高耐圧薄膜電界効果トランジスタの電圧ストレ
ス試験における出力電圧対経過時間特性を示す特性図で
ある。
【図8】 図7の試験デ−タを取得するために用いた試
験回路図である。
験回路図である。
【図9】 従来の逆スタガ構造の薄膜電界効果トランジ
スタの縦断面図である。
スタの縦断面図である。
【図10】 従来の高耐圧電界効果トランジスタにおけ
る電子の走行経路を説明するための説明図である。
る電子の走行経路を説明するための説明図である。
1…絶縁基板、2…アモルファスシリコン層、3a…ソ
−ス領域、3b…ドレイン領域、4a,4b,4c…金
属層、5…ゲ−ト絶縁層、6…ゲ−ト電極、7a…ソ−
ス電極、7b…ドレイン電極、8…フォトレジスト層
−ス領域、3b…ドレイン領域、4a,4b,4c…金
属層、5…ゲ−ト絶縁層、6…ゲ−ト電極、7a…ソ−
ス電極、7b…ドレイン電極、8…フォトレジスト層
Claims (3)
- 【請求項1】 絶縁基板上に、ソ−ス・ドレイン領域と
なる高濃度の不純物注入領域を一部に有する非結晶質シ
リコン層と、ゲ−ト絶縁層と、ゲ−ト電極とを順次積層
すると共に、前記非結晶質シリコン層とゲ−ト絶縁層と
の界面であってソ−ス・ドレイン領域に位置する部位に
は金属層を配し、該金属層にそれぞれ接合されるソ−ス
・ドレイン電極を前記ゲ−ト電極と略同一平面上に設け
たことを特徴とする薄膜電界効果トランジスタ。 - 【請求項2】 非結晶質シリコン層に形成されるソ−ス
領域とドレイン領域との間に位置する非結晶質シリコン
層の表面にフォトレジスト材を着膜してフォトレジスト
層を形成する第1の工程と、前記フォトレジスト層に整
合して前記非結晶質シリコン層にイオン注入によりソ−
ス・ドレイン領域を形成する第2の工程と、前記第2の
工程により形成されたソ−ス・ドレイン領域及び前記フ
ォトレジスト層の各々に金属材を着膜して金属層を形成
する第3の工程と、前記第3の工程により金属層が形成
された前記フォトレジスト層を該フォトレジスト層に着
膜された金属層と共に除去する第4の工程と、前記フォ
トレジスト層が除去された面及び前記金属層に絶縁部材
を着膜してゲ−ト絶縁層を形成する第5の工程と、前記
ゲ−ト絶縁層の表面に導電部材を着膜してゲ−ト電極を
形成する第6の工程と、を具備することを特徴とする薄
膜電界効果トランジスタの製造方法。 - 【請求項3】 絶縁基板上に、ソ−ス・ドレイン領域と
なる高濃度の不純物注入領域を一部に有する非結晶質シ
リコン層と、ゲ−ト絶縁層と、ゲ−ト電極とを順次積層
すると共に、ソ−ス・ドレイン領域にそれぞれ接合され
るソ−ス・ドレイン電極を前記ゲ−ト電極と略同一平面
上に設けかつ前記ゲ−ト電極とドレイン電極との間にオ
フセット領域を設け、前記非結晶質シリコン層の一部を
占めるソ−ス・ドレイン領域はイオン注入により形成さ
れたことを特徴する高耐圧薄膜電界効果トランジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22967891A JPH0548107A (ja) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | 薄膜電界効果トランジスタ及びその製造方法並びに高耐圧薄膜電界効果トランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22967891A JPH0548107A (ja) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | 薄膜電界効果トランジスタ及びその製造方法並びに高耐圧薄膜電界効果トランジスタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0548107A true JPH0548107A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16895978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22967891A Pending JPH0548107A (ja) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | 薄膜電界効果トランジスタ及びその製造方法並びに高耐圧薄膜電界効果トランジスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0548107A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6417057B1 (en) | 1994-06-14 | 2002-07-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of forming a semiconductor device having a TFT utilizing optical annealing before a gate electrode is formed |
US6481879B1 (en) | 1999-10-21 | 2002-11-19 | Koito Manufacturing Co., Ltd. | Head lamp for automotive vehicle with movable reflector |
JP2004327777A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Fujitsu Ltd | ショットキーソース・ドレイン構造を有する電界効果トランジスタの製造方法 |
JP2008153387A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Mitsubishi Electric Corp | 表示装置とその製造方法 |
JP2008218626A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | Tftアレイ基板及びその製造方法 |
KR20140049934A (ko) * | 2012-10-17 | 2014-04-28 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제작 방법 |
-
1991
- 1991-08-16 JP JP22967891A patent/JPH0548107A/ja active Pending
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