JPH0543416Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案はプリント基板のパターンの導通・短
絡等を検査するプリント基板検査装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] This invention relates to a printed circuit board inspection device that inspects patterns on a printed circuit board for continuity, short circuits, etc.

さらにこの考案はプリント基板上特に２箇所に
設けた画像認識用マークまたはパターンを２個の
光学カメラによつて位置検出し、その後治具に設
けた多数のスプリングプローブによつて被検査プ
リント基板を検査するに当り治具とプリント基板
の位置関係を検出データに基づいて微調整する型
の検査装置に関する。 Furthermore, this idea uses two optical cameras to detect the positions of image recognition marks or patterns provided at two locations on the printed circuit board, and then detects the position of the printed circuit board to be inspected using a large number of spring probes installed on a jig. The present invention relates to a type of inspection device that finely adjusts the positional relationship between a jig and a printed circuit board based on detection data during inspection.

［従来の技術］ 従来のプリント基板検査装置は例えば第４図の
様に構成され、例えばアクリルの厚板等に多数の
スプリングプローブ３２を取付け正確な位置に保
持されている上側検査治具３１、またこの上側検
査治具３１に対して正確な再現性をもつて上下移
動できる上下動装置１３に取付けたＸ−Ｙ−θ可
動テーブル１、その上に固定された下側位置規定
用検査治具１５を有し、それの系合ピンによつて
被検査プリント基板２０を位置決め固定してその
上面に設けられている被検査パターン２２をスプ
リングプローブ３２によつて検査するものであ
る。[Prior Art] A conventional printed circuit board inspection apparatus is configured as shown in FIG. 4, for example, and includes an upper inspection jig 31 in which a large number of spring probes 32 are attached to, for example, a thick acrylic plate and held at precise positions; In addition, an X-Y-θ movable table 1 is attached to a vertical movement device 13 that can move up and down with accurate reproducibility with respect to the upper inspection jig 31, and a lower position defining inspection jig is fixed on the table 1. 15, the printed circuit board 20 to be inspected is positioned and fixed by the mating pin thereof, and the pattern 22 to be inspected provided on the upper surface thereof is inspected by the spring probe 32.

［考案が解決しようとする課題］ このようなプリント基板検査装置においてはプ
リント基板の配線ワイヤリングの間隔が0.5mm間
隔程度であるから、プリント基板２０の下側位置
規定用検査治具１５上への取付け誤差が約0.3mm
以上生ずると正しく作られている被検査プリント
基板であつても配線切断あるいはパターン不良と
同様の検査結果が生じる。このため従来は、検査
治具１５上の位置決め基準ピン１６，１６に人が
目視により被検査プリント基板を正確にセツトし
かつそのセツト状態を確認しつつ導通短絡検査を
するということが必要であつた。[Problem to be solved by the invention] In such a printed circuit board inspection device, since the intervals between the wiring wirings of the printed circuit board are approximately 0.5 mm, it is difficult to place the printed circuit board 20 on the inspection jig 15 for determining the lower position of the printed circuit board 20. Installation error is approximately 0.3mm
If the above occurs, even if the printed circuit board to be inspected is manufactured correctly, the same inspection result as wiring disconnection or pattern defect will occur. For this reason, conventionally, it has been necessary for a person to visually visually set the printed circuit board to be inspected accurately on the positioning reference pins 16, 16 on the inspection jig 15, and to perform continuity and short circuit inspection while checking the set state. Ta.

さらにこのような従来例においては数枚ないし
数十枚の被検査プリント基板の検査を行つた後下
側位置規定用検査治具１５の位置及びＸ−Ｙ−θ
可動テーブル１が上側検査治具３１に対して正確
な位置関係にあるかどうかを検査し、それらの位
置関係に狂いが生じている場合には再微調整を行
う必要があつた。このような従来の装置において
は、例えば被検査プリント基板の装着載置が前記
の約0.3mm以上の位置誤差を生じた場合には、プ
リント基板が良品であつても不良品と判定され、
その場合には被検査プリント基板は一度後退し再
び検査位置に載置され再びスプリングプローブ３
２，３２……により検査を繰り返して受ける。こ
のためプリント基板の表面のワイヤリングパター
ンはスプリングプローブ等の接触子により検査パ
ターンの表面にいくつもの傷がつけられるという
問題点があつた。 Furthermore, in such a conventional example, the position of the inspection jig 15 for defining the rear lower position and the X-Y-θ
It was necessary to inspect whether the movable table 1 was in an accurate positional relationship with the upper inspection jig 31, and to perform fine adjustment again if the positional relationship was out of order. In such conventional devices, for example, if the printed circuit board to be inspected is mounted and placed with a positional error of approximately 0.3 mm or more, the printed circuit board is determined to be defective even if it is a good product.
In that case, the printed circuit board to be inspected is once moved back, placed in the inspection position again, and then the spring probe 3 is placed again.
2, 32... Repeat the test. For this reason, the wiring pattern on the surface of the printed circuit board has a problem in that the surface of the test pattern is scratched by contacts such as spring probes.

さらに第４図において仮想線で示したように複
数の光学カメラ４０，４０をアーム４９，４９に
よつてそれぞれ移動可能に上側検査治具３１の上
部に設け、この光学カメラ４０，４０によつて上
側検査治具３１に設けた開口部３９，３９を通し
てその下にある被検査プリント基板２０のアライ
ンメント用マーク２３，２３の位置を検出しそれ
によつて上側検査治具３１に対する被検査プリン
ト基板２０の位置のずれを検出し、その検出デー
タに基づいてＸ−Ｙ−θ可動テーブル１を微調整
して被検査プリント基板２０の位置のずれを補正
するようにした、可動型のアラインメントカメラ
を用いたプリント基板検査装置もあつた。このよ
うな可動型の光学カメラ４０，４０は上側検査治
具３１に対して相対的に移動可能なアーム４９，
４９に取付けられているため、その光学カメラ４
０，４０の位置自体に誤差を生ずる恐れがあり、
カメラアームにＸ−Ｙ−θ可動機構を必要とする
ことはもとよりスプリングプローブの配線部が光
学カメラ４０，４０の光束に干渉する欠点があ
る。また可動アーム４９，４９によつて取付けら
れている光学カメラ４０，４０は例えばＸ−Ｙ−
θ可動テーブル１の上下動を行う上下装置、ある
いは被検査プリント基板２０の着脱装置の動きに
よる振動を受けて光学像による認識制度誤差が大
きく、さらに光学カメラ４０，４０がスプリング
プローブの配線より上を移動するように相当上の
方に設けられているため光学カメラ４０，４０に
外乱光が入るという欠点があつた。 Furthermore, as shown by imaginary lines in FIG. The positions of the alignment marks 23, 23 on the printed circuit board 20 to be inspected below are detected through the openings 39, 39 provided in the upper inspection jig 31, and thereby the alignment marks 23, 23 of the printed circuit board 20 to be inspected relative to the upper inspection jig 31 are detected. A movable alignment camera is used that detects a positional deviation and finely adjusts the X-Y-θ movable table 1 based on the detected data to correct the positional deviation of the printed circuit board 20 to be inspected. Printed circuit board inspection equipment was also installed. Such movable optical cameras 40, 40 include arms 49, which are movable relative to the upper inspection jig 31;
49, the optical camera 4
There is a possibility that an error may occur in the position of 0,40 itself,
Not only does the camera arm require an X-Y-θ movable mechanism, but it also has the disadvantage that the wiring portion of the spring probe interferes with the light beams of the optical cameras 40, 40. Further, the optical cameras 40, 40 attached by the movable arms 49, 49 are, for example,
θ The recognition precision error due to the optical image is large due to vibrations caused by the movement of the vertical device that moves the movable table 1 up and down, or the device that attaches and detaches the printed circuit board 20 to be inspected. Since the optical cameras 40, 40 are provided at a considerably higher position so as to be moved, there is a drawback that disturbance light enters the optical cameras 40, 40.

また他の従来例として光学カメラ４０，４０を
設けたアーム４９′，４９′を、上側治具の下で被
検査プリント基板２０の上に手入させてプリント
基板２０の位置確認をするものもあつた。しかし
この例でも上記従来例と殆ど同様の問題点があつ
た。 Another conventional example is one in which arms 49', 49' equipped with optical cameras 40, 40 are placed over the printed circuit board 20 to be inspected under an upper jig to confirm the position of the printed circuit board 20. It was hot. However, this example also had almost the same problems as the above-mentioned conventional example.

［課題を解決するための手段］ この考案は上述の従来のプリント基板検査装置
における上記の問題点を解決するために、被検査
プリント基板上のアラインメント用マークの光学
的に検出して認識データ出力を出すための光学カ
メラを、上側検査治具に埋込固定して設けた筒状
体に対して、すきまばめにより取付けるようにし
たものである。[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned problems in the conventional printed circuit board inspection equipment, this invention optically detects alignment marks on the printed circuit board to be inspected and outputs recognition data. The optical camera for displaying the image is attached to a cylindrical body embedded and fixed in the upper inspection jig by a loose fit.

即ち本件の第１の考案のプリント基板検査装置
は次の要素を具備して構成される： 所定の多数の位置に被検査プリント基板検査用
スプリングプローブを有するとともにオプトエレ
クトロニクス的に被検査プリント基板の光像を検
出するカメラを所定位置に取付けられる上部治具
板、 上記の上部治具板に固着保持されたカメラ、 被検査プリント基板を上面に載置保持するべき
Ｘ−Ｙ−θ可動テーブル、 上記のＸ−Ｙ−θ可動テーブルを正確な位置再
現性をもつて上部治具板に押圧するべく上昇しま
た下降する上下動装置、 上記の上部治具板上に貫入埋設固着されたカメ
ラ保持用の筒状体であつて、その内面は上記カメ
ラの外筒をすきるばめ関係で保持する寸法に仕上
げられ、その筒面の一部にカメラの外筒に設けた
位置方向規制キーを受けれる溝を有し、その筒状
体上端縁面がカメラの外筒の高さ規制つばに当接
する高さ規制面をなしているところの、カメラ保
持用の筒状体。 That is, the printed circuit board inspection apparatus of the first invention of the present invention is constructed with the following elements: It has spring probes for inspecting the printed circuit board to be inspected at a plurality of predetermined positions, and also has spring probes for inspecting the printed circuit board to be inspected in an optoelectronic manner. An upper jig plate on which a camera for detecting an optical image is mounted at a predetermined position, a camera fixedly held on the upper jig plate, an X-Y-θ movable table on which a printed circuit board to be inspected is placed and held, A vertical movement device that ascends and descends to press the above-mentioned X-Y-θ movable table against the upper jig plate with accurate position repeatability, and a camera holder embedded and fixed on the above-mentioned upper jig plate. It is a cylindrical body for use, and its inner surface is finished with dimensions to hold the outer barrel of the camera in a clearance fit relationship, and a part of the cylindrical surface has a position/direction regulating key provided on the outer barrel of the camera. A cylindrical body for holding a camera, the cylindrical body having a groove for holding the camera, and the upper end edge surface of the cylindrical body forming a height regulating surface that comes into contact with a height regulating collar of an outer cylinder of the camera.

また本件の第２の考案のプリント基板検査装置
は次の要素を具備して構成される： 所定の多数の位置に被検査プリント基板検査用
スプリングプローブを有するとともにオプトエレ
クトロニクス的に被検査プリント基板の光像を検
出するカメラを所定位置に取付けられる上部治具
板、 被検査プリント基板を上面に載置保持するべき
Ｘ−Ｙ−θ可動テーブル、 上記のＸ−Ｙ−θ可動テーブルを正確な位置再
現性をもつて上部治具板に押圧するべく上昇しま
た下降する上下動装置、 上記の上部治具板上に貫入埋設固着されたカメ
ラ保持用の筒状体であつて、その内面は上記カメ
ラの外筒をすきまばめ関係で保持する寸法に仕上
げられ、その筒面の一部にカメラの外筒に設けた
位置方向規制キーを受けれる溝を有し、その筒状
体上端縁面がカメラの外筒の高さ規制つばに当接
する高さ規制面をなしているところの、カメラ保
持用の筒状体。 Further, the printed circuit board inspection apparatus of the second invention of the present invention is configured with the following elements: It has spring probes for inspecting the printed circuit board to be inspected at a number of predetermined positions, and also has an optoelectronic method for inspecting the printed circuit board to be inspected. An upper jig plate on which the camera that detects the optical image can be mounted in a predetermined position, an X-Y-θ movable table on which the printed circuit board to be inspected should be placed and held, and an accurate position for the X-Y-θ movable table. A vertical movement device that rises and descends to press against the upper jig plate with reproducibility, and a cylindrical body for holding a camera that is embedded and fixed on the upper jig plate, the inner surface of which is fixed to the upper jig plate. Finished with dimensions to hold the camera's outer barrel in a loose fit relationship, a part of the barrel surface has a groove that can receive the position and direction regulating key provided on the camera's outer barrel, and the upper edge surface of the tubular body A cylindrical body for holding a camera, which forms a height regulating surface that comes into contact with the height regulating collar of the camera's outer cylinder.

［作用］ 上部治具板３１に固定された筒状体３４，３４
にCCDカメラ等の光学カメラ４０，４０の鏡胴
４１，４１がすきまばめによつて正確な再現性を
もつて挿入され、しかもそのカメラレンズ鏡胴４
１，４１に設けたキー４７，４７が上側検査治具
３１に固着した筒状体３４，３４の溝３４１，３
４１に挿入されこれによつて光学カメラ４０，４
０の軸周りの角度位置が正確に規定される。[Function] Cylindrical bodies 34, 34 fixed to the upper jig plate 31
The lens barrels 41, 41 of optical cameras 40, 40 such as CCD cameras are inserted with accurate reproducibility by loose fit, and the camera lens barrels 4
Grooves 341, 3 of the cylindrical bodies 34, 34 where the keys 47, 47 provided in the cylindrical bodies 34, 34 are fixed to the upper inspection jig 31.
41, thereby optical cameras 40, 4
The angular position around the zero axis is precisely defined.

［実施例］ この考案の実施例を第１図ないし第３図に従つ
て説明する。[Example] An example of this invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

上側検査治具３１は装置基台のフレーム等に強
固にかつ正確に保持されたアクリルの厚板等に多
数のスプリングプローブ３２，３２を取付けたも
のである。また後述するようにこの上部検査治具
３１に対して正確な再現性をもつて上下移動でき
る上下動装置が設けられ、それに取付けたＸ−Ｙ
−θ可動テーブル１の上に下側位置規定用検査治
具１５を固定しさらにそれによつて被検査プリン
ト基板２０を固定するように構成してある。この
上側検査治具３１には少なくとも２個の筒状体３
４，３４が、その下端部をたとえばテーパー状に
研削した後上側検査治具３１に設けた穴に圧貫入
されさらにその下端に接着剤を塗布して強固に固
定されている。 The upper inspection jig 31 has a large number of spring probes 32 attached to a thick acrylic plate or the like that is firmly and precisely held on the frame of the apparatus base. Further, as will be described later, a vertical movement device is provided that can move the upper inspection jig 31 up and down with accurate reproducibility, and an X-Y
A lower position defining inspection jig 15 is fixed on the -θ movable table 1, and the printed circuit board 20 to be inspected is fixed therewith. This upper inspection jig 31 includes at least two cylindrical bodies 3.
4 and 34 have their lower ends ground into a tapered shape, for example, and then are press-fitted into holes provided in the upper inspection jig 31, and are firmly fixed by applying adhesive to their lower ends.

第２図Ｂは上記の筒状体３４の構造を示す。図
示のように筒状体３４は下部３４９をわずかにテ
ーパー状に先細りとしまた上部にはキー溝３４１
が設けられこのキー溝の下部には連通溝３４２を
経て丸穴部３４３が設けられて、正確なキー溝の
寸法を常に保持しつつ、光学カメラ４０のレンズ
鏡胴４１が無理なく着脱できるようにしてある。
筒状体の内面３４５は精密に仕上げられている。
この筒状体３４にはCCDカメラ等の光学カメラ
４０の下部に設けられたレンズ鏡胴４１がすきま
ばめの関係で挿入されるように、光学カメラの外
径が選ばれている。光学カメラ４０のレンズ鏡胴
４１の上部には光学カメラ４０の高さ方向の位置
決めをするつば状体４８が設けられまたつば状体
４８の下面の一部にはレンズ鏡胴４１から突出す
る形でキー４７が設けられ、このキー４７は前述
のキー溝３４１にすきまばめの関係で挿入される
ように幅を選ばれている。それによつてキー４７
がキー溝３４１にはまることによつて光学カメラ
４０はその光軸のまわりでの角度方向位置を正確
に規制される。また鏡胴４１の下面には照明光を
伝送する光フアイバーの出力端（必要に応じて小
レンズを含む）４５が対物レンズ４９を取り巻く
形で多数設けられ、光フアイバーケーブル４２を
通して送られてくる照明光によつて被検査プリン
ト基板２０の上のマーク２３を照射する。筒状体
３４の上面３４８は上記つば４８の下面と当接し
て光学カメラ４０の高さ方向の位置決めを行う。 FIG. 2B shows the structure of the cylindrical body 34 described above. As shown in the figure, the cylindrical body 34 has a slightly tapered lower part 349 and a key groove 341 in the upper part.
A round hole 343 is provided at the bottom of this keyway through a communication groove 342 so that the lens barrel 41 of the optical camera 40 can be attached and detached without difficulty while always maintaining accurate keyway dimensions. It is set as.
The inner surface 345 of the cylindrical body is precisely finished.
The outer diameter of the optical camera 40 such as a CCD camera is selected so that a lens barrel 41 provided at the bottom of the optical camera 40 such as a CCD camera can be inserted into the cylindrical body 34 with a clearance fit. A collar-like body 48 for positioning the optical camera 40 in the height direction is provided on the upper part of the lens barrel 41 of the optical camera 40, and a part of the lower surface of the collar-like body 48 has a shape that projects from the lens barrel 41. A key 47 is provided, and the width of the key 47 is selected so that it can be inserted into the key groove 341 with a loose fit. Thereby key 47
By fitting into the keyway 341, the angular position of the optical camera 40 around its optical axis is precisely regulated. Further, on the lower surface of the lens barrel 41, a large number of output ends 45 of optical fibers (including small lenses as necessary) for transmitting illumination light are provided surrounding the objective lens 49, and the illumination light is sent through an optical fiber cable 42. The mark 23 on the printed circuit board 20 to be inspected is irradiated with the illumination light. The upper surface 348 of the cylindrical body 34 comes into contact with the lower surface of the collar 48 to position the optical camera 40 in the height direction.

第３図はこの考案のプリント基板検査装置の全
体のブロツクダイアグラムであり光学カメラ４
０，４０からケーブル４２，４２によつて取り出
された検出データは信号ケーブル４４，４４を経
て画像処理コントローラ１０１に与えられる。画
像処理コントローラ１０１はその２つの光学カメ
ラからの入力データをデータ処理して、被検査プ
リント基板２０上のマーク２３，２３が光学カメ
ラの視野の中心からずれている場合、そのずれ量
及びずれ方向に基づいてＸ−Ｙ−θ可動テーブル
１を駆動するＸ−Ｙ−θテーブルコントローラ１
０２に必要な調整用の出力を与える。この出力に
よりＸ−Ｙ−θ可動テーブル１は下側検査治具１
５をＸ方向、Ｙ方向及びθ方向に微調整して被検
査プリント基板２０をあるべき正しい位置に置
く。このようにして被検査プリント基板２０が正
確な位置に載置された後、エアーシリンダ１３等
の上下装置によつて正確な再現性をもつてＸ−Ｙ
−θ可動テーブル１を上昇し被検査プリント基板
２０の被検査パターンに上側検査治具３１に設け
られた多数の検査プローブ３２，３２……の尖端
を当接させる。各スプリングプローブ３２，３２
……から得られた電気的信号は導通短絡検査器１
０３に導かれ公知の手法によつて被検査プリント
基板２０の導通短絡検査を行う。 Figure 3 is an overall block diagram of the printed circuit board inspection device of this invention.
Detection data taken out from 0 and 40 by cables 42 and 42 is given to the image processing controller 101 via signal cables 44 and 44. The image processing controller 101 processes the input data from the two optical cameras, and if the marks 23, 23 on the printed circuit board 20 to be inspected are shifted from the center of the field of view of the optical camera, the amount and direction of the shift are determined. An X-Y-θ table controller 1 that drives an X-Y-θ movable table 1 based on
02 with the necessary adjustment output. This output causes the X-Y-θ movable table 1 to move to the lower inspection jig 1.
5 in the X direction, Y direction, and θ direction to place the printed circuit board 20 to be inspected at the correct position. After the printed circuit board 20 to be inspected is placed at an accurate position in this manner, it is
-θ The movable table 1 is raised to bring the tips of a large number of test probes 32, 32, . . . provided on the upper test jig 31 into contact with the test pattern of the printed circuit board 20 to be tested. Each spring probe 32, 32
The electrical signal obtained from ...... is the continuity short circuit tester 1.
03, the printed circuit board 20 to be inspected is tested for continuity and short circuits using a known method.

［考案の効果］ この考案のプリント基板検査装置においてはプ
リント基板２０の装着位置を検出するための２つ
またはそれ以上の光学カメラ４０，４０を、上側
検査治具３１の面に強固にかつ高い精度をもつて
固着した筒状体３４に、光学カメラ４０，４０の
レンズ鏡胴４１，４１をすきまばめによつて精度
よく取付けかつキー４７をキー溝３４１に挿入し
た。このためこのカメラの光軸は振動等によつて
変化を生じることがなく、また多数回の被検査プ
リント基板の装着取り出しを重ねてもそれらの振
動によつてカメラの位置（３次元的）あるいはそ
の光軸の方向、あるいは光軸まわりの方向が変化
してマーカー２３，２３を検出したデータが誤差
を生じるようなことはない。[Effect of the invention] In the printed circuit board inspection apparatus of this invention, two or more optical cameras 40, 40 for detecting the mounting position of the printed circuit board 20 are mounted firmly and high on the surface of the upper inspection jig 31. The lens barrels 41, 41 of the optical cameras 40, 40 were attached to the accurately fixed cylindrical body 34 by a clearance fit, and the key 47 was inserted into the keyway 341. Therefore, the optical axis of this camera does not change due to vibrations, etc., and even if the printed circuit board to be inspected is mounted and removed many times, the camera's position (three-dimensional) or There is no possibility that the data obtained by detecting the markers 23, 23 will be erroneous due to a change in the direction of the optical axis or the direction around the optical axis.

また光学カメラのレンズ鏡胴４１の先端及びそ
の下面に設けられた照明用光フアイバー出力端４
５が上側検査治具３１の下面近くに存在するた
め、光学カメラ４０，４０の視野内にスプリング
プローブ３２，３２の配線が存在することによる
無用の反射光の照射を受けることがなく、また照
明も適性強力な照明が鏡胴の下端部から行われ
て、外乱光に対して充分の強度で照明するため、
外乱光による誤り検出データを生じる恐れも全く
ない。 Also, an illumination optical fiber output end 4 provided at the tip and bottom surface of the lens barrel 41 of the optical camera.
5 is located near the bottom surface of the upper inspection jig 31, the spring probes 32, 32 are not exposed to unnecessary reflected light due to the wiring of the spring probes 32, 32 being within the field of view of the optical cameras 40, 40, and the illumination Powerful illumination is performed from the bottom end of the lens barrel, and the illumination is strong enough to counter ambient light.
There is no possibility that erroneous detection data will be generated due to disturbance light.

また光学カメラ４０，４０は筒状体３４を介し
て直接的に上側検査治具３１に固着されるため、
従来のＸ−Ｙ可動アームに光学カメラを取付けて
いた場合のような可動アームが不要となり、複雑
な機構が省略されてコストダウンされると共に、
Ｘ−Ｙ可動アームの停止位置誤差による検出デー
タの誤差が入り込む恐れがなくなる。 Further, since the optical cameras 40, 40 are directly fixed to the upper inspection jig 31 via the cylindrical body 34,
This eliminates the need for a movable arm, which is required when an optical camera is attached to a conventional X-Y movable arm, and eliminates complicated mechanisms, reducing costs.
There is no possibility that an error in detection data due to an error in the stop position of the X-Y movable arm will be introduced.

光学カメラの対物レンズは上側検査治具３１の
下面付近に装着することができるため、スプリン
グプローブ３３，３３と同様アラインメントマー
ク２３，２３との距離はわずかに10mm前後と身近
くすることができこのため誤差の位置検出ができ
る。 Since the objective lens of the optical camera can be mounted near the bottom surface of the upper inspection jig 31, the distance from the alignment marks 23, 23, like the spring probes 33, 33, can be kept close to the body, with the distance to the alignment marks 23, 23 being only around 10 mm. Therefore, the position of the error can be detected.

この装置によれば極めて正確に固定された光学
カメラ４０，４０により被検査プリント基板２０
の取付け位置は正確に検出され、そのため従来の
プリント基板検査装置におけるように光学カメラ
による検出誤差のためにプリント基板の装着位置
が不正確に認識される恐れがない。したがつて良
品の被検査プリント基板であれば一度の検査でそ
のプリントパターン上にスプリングプローブの先
端が接触できる。このため従来装置の場合に多か
つた、被検査プリント基板の装着しなおしによる
複数回のスプリングプローブ接触による無用な多
数の接触傷の発生を防ぐことができ、検査時間も
著しく短縮できる。 According to this device, the printed circuit board 20 to be inspected is inspected by optical cameras 40, 40 which are fixed very accurately.
The mounting position of the printed circuit board is accurately detected, and therefore there is no possibility that the mounting position of the printed circuit board may be incorrectly recognized due to a detection error caused by an optical camera, unlike in conventional printed circuit board inspection equipment. Therefore, if the printed circuit board to be inspected is of good quality, the tip of the spring probe can come into contact with the printed pattern in one inspection. Therefore, it is possible to prevent a large number of unnecessary contact scratches caused by contacting the spring probe multiple times due to remounting of the printed circuit board to be inspected, which was common in the case of the conventional apparatus, and the inspection time can be significantly shortened.

さらに光学カメラを有せず目視及び手作業によ
る被検査プリント基板の位置調整をするような原
始的方法に比べて著しく検査能率が向上する。 Furthermore, the inspection efficiency is significantly improved compared to the primitive method of adjusting the position of the printed circuit board to be inspected visually and manually without using an optical camera.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図はこの考案を実施したプリント基板検査
装置の斜面図である。第２図Ａ及び第２図Ｂはそ
れぞれこの考案のプリント基板検査装置の光学カ
メラ及びこれを上側検査治具に固着するための筒
状体の斜面図である。第３図は上記実施例の電気
的回路配置を関連部品と共に示すブロツクダイア
グラムである。第４図は従来のプリント基板検査
装置の例を示す斜面図である。 FIG. 1 is a perspective view of a printed circuit board inspection device implementing this invention. FIGS. 2A and 2B are perspective views of an optical camera of the printed circuit board inspection apparatus of this invention and a cylindrical body for fixing it to the upper inspection jig, respectively. FIG. 3 is a block diagram showing the electrical circuit arrangement of the above embodiment together with related parts. FIG. 4 is a perspective view showing an example of a conventional printed circuit board inspection device.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 所定の多数の位置に被検査プリント基板検査
用スプリングプローブを有するとともにオプト
エレクトロニクス的に被検査プリント基板の光
像を検出するカメラを所定位置に取付けられる
上部治具板、 上記の上部治具板に固着保持されたカメラ、 被検査プリント基板を上面に載置保持するべ
きＸ−Ｙ−θ可動テーブル、 上記のＸ−Ｙ−θ可動テーブルを正確な位置
再現性をもつて上部治具板に押圧するべく上昇
しまた下降する上下動装置、 上記の上部治具板上に貫入埋設固着されたカ
メラ保持用の筒状体であつて、その内面は上記
カメラの外筒をすきまばめ関係で保持する寸法
に仕上げられ、その筒面の一部にカメラのレン
ズ鏡胴に設けた位置方向規制キーを受けれる溝
を有し、その筒状体上端縁面がカメラのレンズ
鏡胴の高さ規制つばに当接する高さ規制面をな
しているところの、カメラ保持用の筒状体、 を具備してなるプリント基板検査装置。 (2) 所定の多数の位置に被検査プリント基板検査
用スプリングプローブを有するとともにオプト
エレクトロニクス的に被検査プリント基板の光
像を検出するカメラを所定位置に取付けられる
上部治具板、 被検査プリント基板を上面に載置保持するべ
きＸ−Ｙ−θ可動テーブル、 上記のＸ−Ｙ−θ可動テーブルを正確な位置
再現性をもつて上部治具板に押圧するべく上昇
しまた下降する上下動装置、 上記の上部治具板上に貫入埋設固着されたカ
メラ保持用の筒状体であつて、その内面は上記
カメラの外筒をすきまばめ関係で保持する寸法
に仕上げられ、その筒面の一部にカメラのレン
ズ鏡胴に設けた位置方向規制キーを受けれる溝
を有し、その筒状体上端縁面がカメラのレンズ
鏡胴の高さ規制つばに当接する高さ規制面をな
しているところの、カメラ保持用の筒状体、 を具備してなるプリント基板検査装置。 (3) 第１請求項又は第２請求項において、カメラ
のレンズ鏡胴の下面に被検査プリント基板を照
射するための光を伝送する光フアイバーの出力
端部を、対物レンズ開口部の周囲に環状に配置
したことを特徴とするプリント基板検査装置。 (4) 第１請求項又は第２請求項において、前記筒
状体のキー受入溝の下側にはさらに弾力付与用
の細幅の連通溝及びその下の拡大丸穴部を設け
たことを特徴とするプリント基板検査装置。[Claims for Utility Model Registration] (1) An upper part having spring probes for inspecting a printed circuit board to be inspected at a number of predetermined positions, and a camera for detecting an optical image of the printed circuit board to be inspected optoelectronically mounted at a predetermined position. A jig plate, a camera fixedly held on the above upper jig plate, an X-Y-θ movable table on which the printed circuit board to be inspected is to be placed and held, and an accurate positioning of the above-mentioned X-Y-θ movable table. A vertical movement device that rises and descends to press against the upper jig plate with reproducibility, and a cylindrical body for holding a camera that is embedded and fixed on the upper jig plate, the inner surface of which is fixed to the upper jig plate. It is sized to hold the camera's outer barrel in a loose fit relationship, and has a groove on a part of its barrel surface that can receive the position and direction regulating key provided on the camera's lens barrel, and the upper edge of the barrel. A printed circuit board inspection device comprising: a cylindrical body for holding a camera, the surface of which forms a height regulating surface that comes into contact with the height regulating collar of a camera lens barrel; (2) An upper jig plate having spring probes for inspecting the printed circuit board to be inspected at a number of predetermined positions and on which a camera for detecting an optical image of the printed circuit board to be inspected is mounted at a predetermined position, and a printed circuit board to be inspected. an X-Y-θ movable table to place and hold the X-Y-θ movable table on the upper surface, and a vertical movement device that ascends and descends to press the above-mentioned X-Y-θ movable table against the upper jig plate with accurate positional repeatability. , a cylindrical body for holding a camera that is embedded and fixed on the upper jig plate, the inner surface of which is finished to a dimension that holds the outer cylinder of the camera in a loose fit relationship, and the cylindrical surface of the body is A part of the cylindrical body has a groove that can receive the position and direction regulating key provided on the lens barrel of the camera, and the upper edge surface of the cylindrical body forms a height regulating surface that comes into contact with the height regulating collar of the lens barrel of the camera. A printed circuit board inspection device comprising: a cylindrical body for holding a camera; (3) In the first or second claim, the output end of the optical fiber that transmits light for irradiating the printed circuit board to be inspected onto the lower surface of the lens barrel of the camera is placed around the objective lens opening. A printed circuit board inspection device characterized by being arranged in a ring. (4) In the first claim or the second claim, it is provided that the lower side of the key receiving groove of the cylindrical body is further provided with a narrow communication groove for imparting elasticity and an enlarged round hole portion below the communication groove. Features of printed circuit board inspection equipment.