JPH054211A - Method and apparatus for drying ceramic green sheet - Google Patents
Method and apparatus for drying ceramic green sheetInfo
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- JPH054211A JPH054211A JP3156697A JP15669791A JPH054211A JP H054211 A JPH054211 A JP H054211A JP 3156697 A JP3156697 A JP 3156697A JP 15669791 A JP15669791 A JP 15669791A JP H054211 A JPH054211 A JP H054211A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサ等のセラミック電子部品の製造に使用されるセラミ
ックグリーンシートの乾燥方法およびその装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for drying a ceramic green sheet used for manufacturing a ceramic electronic component such as a laminated ceramic capacitor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、この種のセラミックグリーンシ
ートの製造には、ドクタブレード法やリバースロールコ
ータ法と呼ばれる方法等が採用されている。2. Description of the Related Art In general, a method called a doctor blade method or a reverse roll coater method is adopted for manufacturing a ceramic green sheet of this type.
【０００３】ドクタブレード法は、一つの方向に搬送さ
れるキャリヤフィルム上にセラミックスラリが溜められ
たスラリダムを配置し、キャリヤフィルムの移動に伴っ
て、上記スラリダム内のセラミックスラリがドクタブレ
ードとキャリヤフィルムとの間に形成されたギャップか
らキャリヤフィルム上に引き出してキャリヤフィルム上
に塗布し、このキャリヤフィルム上のセラミックスラリ
を乾燥装置で乾燥させてセラミックグリーンシートと
し、このセラミックグリーンシートを上記キャリヤフィ
ルムから剥離させて、セラミックグリーンシートを製造
するものである。In the doctor blade method, a slurry dam in which a ceramic slurry is stored is arranged on a carrier film conveyed in one direction, and the ceramic slurry in the slurry dam moves along with the doctor blade and the carrier film as the carrier film moves. Is drawn out from the gap formed between the carrier film and applied onto the carrier film, and the ceramic slurry on the carrier film is dried by a dryer to form a ceramic green sheet. It is peeled off to produce a ceramic green sheet.
【０００４】従来、上記ドクタブレード法によるセラミ
ックグリーンシートの製造に際して、キャリヤフィルム
上に塗布されたセラミックスラリの乾燥には、電気ヒー
タから発生する熱風を熱風乾燥、赤外線源から放射され
る赤外線を用いる赤外線乾燥あるいはマイクロ波乾燥が
採用されてきた。Conventionally, when the ceramic green sheet is manufactured by the doctor blade method, the hot air generated by the electric heater is dried by hot air, and infrared rays emitted from an infrared source are used to dry the ceramic slurry coated on the carrier film. Infrared or microwave drying has been used.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、熱風乾燥や
赤外線乾燥では、キャリヤフィルム上に塗布されたセラ
ミックスラリの表面から熱が伝わるため、キャリヤフィ
ルム上のセラミックスラリの表面から乾燥して皮膜が形
成され、乾燥に時間がかかったり、セラミックスラリの
乾燥により得られるセラミックグリーンシートに反りや
クラックあるいは波打ち等が生じる。また、マイクロ波
乾燥では、温度制御が難しく、キャリヤフィルムに塗布
されたセラミックスラリの温度分布を制御することが困
難であるといった問題があった。By the way, in hot air drying or infrared drying, heat is transferred from the surface of the ceramic slurry coated on the carrier film, so that the film is formed by drying from the surface of the ceramic slurry on the carrier film. As a result, it takes a long time to dry, and the ceramic green sheet obtained by drying the ceramic slurry is warped, cracked or wavy. In addition, microwave drying has a problem that it is difficult to control the temperature and it is difficult to control the temperature distribution of the ceramic slurry applied to the carrier film.
【０００６】このような問題を解消するため、キャリヤ
フィルムの上側ばかりでなく下側からも温水等を用いて
キャリヤフィルム上のセラミックスラリを加熱し、セラ
ミックスラリを上下から均一に加熱することも行われて
いるが、乾燥装置が複雑になり、設備コストが高くなる
という問題があった。In order to solve such a problem, the ceramic slurry on the carrier film may be heated not only from the upper side of the carrier film but also from the lower side of the carrier film by using hot water or the like to uniformly heat the ceramic slurry from above and below. However, there is a problem that the drying device becomes complicated and the equipment cost increases.
【０００７】本発明の目的は、反りやクラックあるいは
波打ち等の欠陥がない品質の高いセラミックグリーンシ
ートを得ることができるセラミックグリーンシートの乾
燥方法を提供することである。An object of the present invention is to provide a method for drying a ceramic green sheet which can obtain a high quality ceramic green sheet free from defects such as warpage, cracks and waviness.
【０００８】本発明のいま一つの目的は、セラミックス
ラリの温度分布の制御が容易で、乾燥温度を精度よく制
御することができる設備コストの低いセラミックグリー
ンシートの乾燥装置を提供することである。Another object of the present invention is to provide a drying device for a ceramic green sheet in which the temperature distribution of the ceramic slurry can be easily controlled and the drying temperature can be controlled with high accuracy and which has a low equipment cost.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願の請求項１に記載の発明は、キャリヤフィルム
上にドクタブレード法を用いてセラミックスラリを塗布
し、乾燥装置を通過させてキャリヤフィルム上のセラミ
ックスラリを乾燥させてセラミックグリーンシートを得
るセラミックグリーンシートの乾燥方法であって、下側
に配置した複数の電磁誘導コイルにより発熱する金属製
プレートの上側を、キャリヤフィルム上に塗布されたセ
ラミックグリーンシートを通過させて乾燥させることを
特徴としている。In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 of the present application is to apply a ceramic slurry on a carrier film by using a doctor blade method, and then pass it through a drying device to carry the carrier. A method for drying a ceramic green sheet, which comprises drying a ceramic slurry on a film to obtain a ceramic green sheet, wherein the upper side of a metal plate that generates heat by a plurality of electromagnetic induction coils arranged on the lower side is applied onto a carrier film. It is characterized by passing through a ceramic green sheet and drying.
【００１０】また、上記いま一つの目的を達成するた
め、本願の請求項２に記載の発明は、キャリヤフィルム
上に塗布されたセラミックスラリを乾燥させてセラミッ
クグリーンシートを得るセラミックグリーンシートの乾
燥装置であって、セラミックスラリが塗布されたキャリ
ヤフィルムの下側に配置された金属製プレートと、この
金属製プレートの下側に配置され、電磁誘導により上記
金属製プレートを発熱させる複数の電磁誘導コイルとか
らなる電磁誘導乾燥装置を備えたことを特徴としてい
る。In order to achieve the above-mentioned another object, the invention according to claim 2 of the present application is a device for drying a ceramic green sheet for drying a ceramic slurry coated on a carrier film to obtain a ceramic green sheet. And a plurality of electromagnetic induction coils arranged below the carrier film coated with the ceramic slurry and the metal plate arranged below the metal plate to generate heat by electromagnetic induction. And an electromagnetic induction drying device including.
【００１１】[0011]
【作用】上記キャリヤフィルムに塗布されたセラミック
スラリは、キャリヤフィルムにより、金属製プレートの
上を搬送される。このとき、金属製プレートは電磁誘導
コイルにより加熱されているので、キャリヤフィルム上
のセラミックスラリは、その下側から、金属製プレート
の熱を受けて乾燥する。The ceramic slurry applied to the carrier film is carried on the metal plate by the carrier film. At this time, since the metal plate is heated by the electromagnetic induction coil, the ceramic slurry on the carrier film receives the heat of the metal plate from its lower side and is dried.
【００１２】[0012]
【発明の効果】本発明によれば、キャリヤフィルム上の
セラミックスラリの乾燥状態に応じて、誘導加熱により
金属製プレートの温度および温度分布を制御し、反りや
クラックあるいは波打ち等の欠陥のない高品質なセラミ
ックグリーンシートを製造することができる。According to the present invention, the temperature and the temperature distribution of the metal plate are controlled by induction heating according to the dry state of the ceramic slurry on the carrier film, so that there is no defect such as warp, crack or corrugation. A quality ceramic green sheet can be manufactured.
【００１３】また、本発明によれば、誘導コイルにより
金属プレートに発生する誘導電流を容易に制御すること
ができるので、金属プレートの温度および温度分布を制
御し、キャリヤフィルム上のセラミックスラリの乾燥状
態に応じて乾燥温度を精度よく制御することができるう
え、構造が簡単な電磁誘導乾燥装置を用いた設備コスト
の低い乾燥装置を得ることができる。Further, according to the present invention, since the induction current generated in the metal plate can be easily controlled by the induction coil, the temperature and temperature distribution of the metal plate can be controlled to dry the ceramic slurry on the carrier film. It is possible to accurately control the drying temperature according to the state, and to obtain a drying device that uses an electromagnetic induction drying device having a simple structure and has a low equipment cost.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、添付の図面を参照して本発明の実施例
を説明する。本発明に係るセラミックグリーンシートの
乾燥装置を備えたセラミックグリーンシートの製造装置
を図１に示す。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a ceramic green sheet manufacturing apparatus equipped with a ceramic green sheet drying apparatus according to the present invention.
【００１５】図１に示すセラミックグリーンシートの製
造装置は、電磁誘導加熱を用いた本発明に係るセラミッ
クグリーンシートの電磁誘導乾燥装置１とそれに続いて
配置された電気ヒータによる熱風乾燥装置２を併用した
ものである。The apparatus for producing a ceramic green sheet shown in FIG. 1 uses both an electromagnetic induction drying apparatus 1 for ceramic green sheets according to the present invention using electromagnetic induction heating and a hot air drying apparatus 2 provided subsequently with an electric heater. It was done.
【００１６】上記電磁誘導乾燥装置１および熱風乾燥装
置２を間にして、キャリヤフィルム３の供給ロール４と
巻取りロール５とが配置される。上記キャリヤフィルム
３は、ほぼ一定幅を有する樹脂フィルムよりなり、上記
供給ロール４に巻装されている。キャリヤフィルム３
は、ガイドローラ６により案内されて、図１において矢
印Ａ１で示すように、上記電磁誘導乾燥装置１および熱
風乾燥装置２を通過したのち、巻取ロール５に巻き取ら
れる。A supply roll 4 and a winding roll 5 for the carrier film 3 are arranged with the electromagnetic induction drying device 1 and the hot air drying device 2 in between. The carrier film 3 is made of a resin film having a substantially constant width and is wound around the supply roll 4. Carrier film 3
Is guided by a guide roller 6, passes through the electromagnetic induction drying device 1 and the hot air drying device 2 as shown by an arrow A1 in FIG. 1, and is then wound around a winding roll 5.
【００１７】上記キャリヤフィルム３は、電磁誘導乾燥
装置１では、この電磁誘導乾燥装置２の構成要素である
後に説明する金属プレート７により下方から支持され、
また、熱風乾燥装置２では、キャリヤフィルム３の下に
配置された一対のロール８，９に張り渡された無端ベル
ト１１により支持される。一対の上記ロール８，９は、
矢印Ａ２，Ａ３で示すように駆動され、キャリヤフィル
ム３の移動に合致して無端ベルト１１を移動させる。In the electromagnetic induction drying device 1, the carrier film 3 is supported from below by a metal plate 7 which is a component of the electromagnetic induction drying device 2 and will be described later.
In the hot-air drying device 2, the endless belt 11 stretched over a pair of rolls 8 and 9 arranged below the carrier film 3 is supported. The pair of rolls 8 and 9 are
Driven as indicated by arrows A2 and A3, the endless belt 11 is moved in conformity with the movement of the carrier film 3.
【００１８】上記電磁誘導乾燥装置１とキャリヤフィル
ム３の供給ロール４との間には、キャリヤフィルム３の
上に、セラミックスラリ１２が溜められたスラリダム１
３を配置している。このスラリダム１３内に貯蔵された
セラミックスラリ１２は、キャリヤフィルム３の上記移
動に伴って、ドクタブレード１４とキャリヤフィルム３
との間に形成されたギャップ（図示せず。）からキャリ
ヤフィルム３上に引き出される。これにより、スラリダ
ム１３内のセラミックスラリ１２は、キャリヤフィルム
３上に一定厚さで塗布される。A slurry dam 1 in which a ceramic slurry 12 is stored on the carrier film 3 between the electromagnetic induction drying device 1 and the supply roll 4 of the carrier film 3.
3 are arranged. The ceramic slurry 12 stored in the slurry dam 13 is moved by the doctor blade 14 and the carrier film 3 as the carrier film 3 moves.
It is drawn out on the carrier film 3 from a gap (not shown) formed between and. As a result, the ceramic slurry 12 in the slurry dam 13 is applied on the carrier film 3 with a constant thickness.
【００１９】キャリヤフィルム３の上に塗布されたセラ
ミックスラリ１２は、キャリヤフィルム３の移動に伴っ
て、上記電磁誘導乾燥装置１および熱風乾燥装置２にて
乾燥されてラミックグリーンシート１５となり、このセ
ラミックグリーンシート１５が剥離ローラ１６にて上記
キャリヤフィルム３から剥離されて、一対のローラ１
７，１８の間から取り出される。The ceramic slurry 12 coated on the carrier film 3 is dried by the electromagnetic induction drying device 1 and the hot air drying device 2 as the carrier film 3 moves to become a lamic green sheet 15, and this ceramic The green sheet 15 is peeled off from the carrier film 3 by the peeling roller 16, and the pair of rollers 1
It is taken out between 7 and 18.
【００２０】上記電磁誘導乾燥装置１は、セラミックス
ラリ１２が塗布されたキャリヤフィルム３の下側に配置
された上記金属製プレート７と、この金属製プレート７
の下側に配置され、電磁誘導により上記金属製プレート
７を発熱させる複数の電磁誘導コイル２１，２１，…と
からなる。The electromagnetic induction drying apparatus 1 includes the metal plate 7 arranged below the carrier film 3 coated with the ceramic slurry 12 and the metal plate 7.
And a plurality of electromagnetic induction coils 21, 21 ... Which heat the metal plate 7 by electromagnetic induction.
【００２１】上記金属製プレート７は、たとえば鉄等の
金属材料からなり、キャリヤフィルム３の幅よりもやや
大きな幅を有する。The metal plate 7 is made of a metal material such as iron and has a width slightly larger than the width of the carrier film 3.
【００２２】上記金属製プレート３の下側には、上記電
磁誘導コイル２１，２１，…が配置される。これら電磁
誘導コイル２１，２１，…は、たとえば図２に示すよう
に、樹脂２２でモールドされ、キャリヤフィルム３の搬
送方向Ａ１に間隔をおいて配置される。そして、これら
電磁誘導コイル２１，２１，…のコイルの巻回数は、電
磁誘導乾燥装置１（図１参照）の入口側に近いものほ
ど、コイルの巻回数が少なく、出口側に向かうほどコイ
ルの巻回数が多くなるように設定している。The electromagnetic induction coils 21, 21, ... Are arranged below the metal plate 3. As shown in FIG. 2, these electromagnetic induction coils 21, 21, ... Are molded with resin 22 and are arranged at intervals in the transport direction A1 of the carrier film 3. The number of windings of the electromagnetic induction coils 21, 21, ... Is closer to the inlet side of the electromagnetic induction drying device 1 (see FIG. 1), the smaller the number of windings of the coil, and the closer to the outlet side, the closer to the outlet side. It is set to increase the number of windings.
【００２３】このような構成を有する電磁誘導乾燥装置
１を有するセラミックグリーンシート１５の製造装置を
用い、セラミック粉体と有機溶剤、もしくは水とバイン
ダとを混合したセラミックスラリを、ドクタブレード法
によりキャリヤフィルム３上に塗布し、電磁誘導乾燥装
置１を通過させて乾燥を行った。Using the apparatus for manufacturing the ceramic green sheet 15 having the electromagnetic induction dryer 1 having the above-mentioned structure, the ceramic slurry obtained by mixing the ceramic powder and the organic solvent or the water and the binder is carried by the doctor blade method. It was applied onto the film 3 and passed through the electromagnetic induction dryer 1 to be dried.
【００２４】この乾燥の過程で、キャリヤフィルム３上
に塗布されたセラミックスラリ１２は、電磁誘導乾燥装
置１の金属製プレート７の上を搬送されるにつれて、各
電磁誘導コイル２１の巻回数に応じた加熱温度で徐々に
加熱され、キャリヤフィルム３の幅方向の全体がほぼ同
時に乾燥が進行し、セラミックスラリ１２の均一な乾燥
が行われる。これにより、反りやクラックあるいは波打
ちのない品質の良好なセラミックグリーンシート１５を
得ることができる。上記電磁誘導乾燥装置１と従来の乾
燥装置の比較例を次の表１に示す。During the drying process, the ceramic slurry 12 applied on the carrier film 3 is conveyed on the metal plate 7 of the electromagnetic induction drying apparatus 1 according to the number of turns of each electromagnetic induction coil 21. The carrier film 3 is gradually heated at different heating temperatures, and the entire widthwise direction of the carrier film 3 is dried substantially at the same time, so that the ceramic slurry 12 is uniformly dried. As a result, it is possible to obtain a ceramic green sheet 15 of good quality without warpage, cracks or waviness. Table 1 below shows a comparative example of the electromagnetic induction dryer 1 and a conventional dryer.
【００２５】[0025]
【表１】 [Table 1]
【００２６】表１から、上記電磁誘導乾燥装置１が、温
度ばらつき、温度傾斜のつけやすさ、温度制御のしやす
さ、およびコスト等の面で、従来の電磁誘導乾燥装置よ
りもすぐれていることがわかる。From Table 1, the electromagnetic induction drying device 1 is superior to the conventional electromagnetic induction drying device in terms of temperature variation, temperature gradient, temperature control, and cost. I understand.
【００２７】上記実施例では、電磁誘導コイル２１，２
１，…は、図２に示すように、キャリヤフィルム３の搬
送方向に間隔をおいて配置し、これら電磁誘導コイル２
１，２１，…のコイルの巻回数を、電磁誘導乾燥装置１
の入口側に近いものほど、コイルの巻回数が少なく、出
口側に向かうほどコイルの巻回数が多くなるように設定
したが、セラミックスラリ１２は、キャリヤフィルム３
の両端部分よりも、キャリヤフィルム３の中央部分にな
るほど乾燥しにくいことを考慮し、図３に示すように、
キャリヤフィルム３の幅方向にも複数の電磁誘導コイル
２１，２１，…を配置し、これら電磁誘導コイル２１，
２１，…を、キャリヤフィルム３の両側に近いものほ
ど、コイルの巻回数が少なく、中央に近いものほど、コ
イルの巻回数を多くなるように設定してもよい。In the above embodiment, the electromagnetic induction coils 21 and 2 are used.
2, the electromagnetic induction coils 2 are arranged at intervals in the transport direction of the carrier film 3 as shown in FIG.
The number of windings of the coils 1, 2, ...
The number of windings of the coil is set to be smaller toward the inlet side of the carrier film, and the number of windings of the coil is set to increase toward the outlet side.
Considering that the central film of the carrier film 3 is less likely to dry than the both end parts of the film, as shown in FIG.
A plurality of electromagnetic induction coils 21, 21, ... Are arranged also in the width direction of the carrier film 3, and the electromagnetic induction coils 21,
It is possible to set 21, ... so that the number of turns of the coil is smaller as it is closer to both sides of the carrier film 3, and the number of turns of the coil is greater as it is closer to the center.
【００２８】また、金属製プレート７によるキャリヤフ
ィルム３上のセラミックスラリ１２の加熱条件は、上記
のように、各電磁誘導コイル２１の巻数、配置を変える
ことにより制御することができるほか、各電磁誘導コイ
ル２１の電流を変化させたり、金属製プレート７と電磁
誘導コイル２１との間隔を調整することによっても制御
することができる。Further, the heating conditions of the ceramic slurry 12 on the carrier film 3 by the metal plate 7 can be controlled by changing the number of windings and the arrangement of each electromagnetic induction coil 21 as described above. It can also be controlled by changing the current of the induction coil 21 or adjusting the distance between the metal plate 7 and the electromagnetic induction coil 21.
【図１】本発明に係る電磁誘導乾燥装置を備えたセラミ
ックグリーンシートの製造装置の概略構造を示す説明図
である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a schematic structure of a ceramic green sheet manufacturing apparatus provided with an electromagnetic induction drying apparatus according to the present invention.
【図２】金属製プレートに対する電磁誘導コイルの配置
の一例の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of an example of arrangement of electromagnetic induction coils with respect to a metal plate.
【図３】金属製プレートに対する電磁誘導コイルの配置
の一例の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of an example of arrangement of electromagnetic induction coils with respect to a metal plate.
１ 電磁誘導乾燥装置 ３ キャリヤフィルム ７ 金属製プレート １２ セラミックスラリ １３ スラリダム １４ ドクタブレード １５ セラミックグリーンシート １６ 剥離ローラ ２１ 電磁誘導コイル 1 Electromagnetic induction dryer 3 Carrier film 7 Metal plate 12 ceramics slurry 13 slurry dam 14 Doctor blade 15 Ceramic green sheet 16 peeling roller 21 Electromagnetic induction coil
Claims (2)
を用いてセラミックスラリを塗布し、乾燥装置を通過さ
せてキャリヤフィルム上のセラミックスラリを乾燥させ
てセラミックグリーンシートを得るセラミックグリーン
シートの乾燥方法であって、下側に配置した複数の電磁
誘導コイルにより発熱する金属製プレートの上側を、キ
ャリヤフィルム上に塗布されたセラミックグリーンシー
トを通過させて乾燥させることを特徴とするセラミック
グリーンシートの乾燥方法。1. A method for drying a ceramic green sheet, which comprises applying a ceramic slurry on a carrier film by using a doctor blade method and passing the slurry through a drying device to dry the ceramic slurry on the carrier film to obtain a ceramic green sheet. A method of drying a ceramic green sheet, characterized in that the upper side of a metal plate that generates heat by a plurality of electromagnetic induction coils arranged on the lower side is passed through a ceramic green sheet coated on a carrier film to dry.
ックスラリを乾燥させてセラミックグリーンシートを得
るセラミックグリーンシートの乾燥装置であって、セラ
ミックスラリが塗布されたキャリヤフィルムの下側に配
置された金属製プレートと、この金属製プレートの下側
に配置され、電磁誘導により上記金属製プレートを発熱
させる複数の電磁誘導コイルとからなる電磁誘導乾燥装
置を備えたことを特徴とするセラミックグリーンシート
の乾燥装置。2. A ceramic green sheet drying device for obtaining a ceramic green sheet by drying a ceramic slurry applied on a carrier film, comprising a metal disposed under a carrier film applied with the ceramic slurry. An apparatus for drying a ceramic green sheet, comprising: a plate; and an electromagnetic induction drying device that is disposed below the metal plate and that includes a plurality of electromagnetic induction coils that heat the metal plate by electromagnetic induction. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3156697A JPH054211A (en) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | Method and apparatus for drying ceramic green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3156697A JPH054211A (en) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | Method and apparatus for drying ceramic green sheet |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH054211A true JPH054211A (en) | 1993-01-14 |
Family
ID=15633365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3156697A Pending JPH054211A (en) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | Method and apparatus for drying ceramic green sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH054211A (en) |
Cited By (5)
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-
1991
- 1991-06-27 JP JP3156697A patent/JPH054211A/en active Pending
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