JPH0541588B2 - - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はセラミツク生シートを高周波により連
続乾燥するセラミツクシートの高周波連続乾燥装
置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a high-frequency continuous drying device for ceramic sheets that continuously dries raw ceramic sheets using high-frequency waves.
（従来技術）
一般に、各種電子部品に使用されているセラミ
ツク基板は、成型機の金型から押し出されるセラ
ミツク生シートを乾燥して所定の形状にパンチン
グした後、焼成炉で焼成することにより製造され
ている。(Prior art) Ceramic substrates used in various electronic components are generally manufactured by extruding a raw ceramic sheet from a mold of a molding machine, drying it and punching it into a predetermined shape, and then firing it in a firing furnace. ing.
従来、成型機の金型から連続的に押し出される
セラミツク生シートを乾燥する乾燥装置として
は、ベルト等により連続搬送されるセラミツク生
シートに熱風、赤外線もしくは遠赤外線を照射し
て乾燥するものが一般に知られている。 Conventionally, drying equipment for drying raw ceramic sheets that are continuously extruded from molds of molding machines has generally been one that irradiates hot air, infrared rays, or far infrared rays to dry ceramic raw sheets that are continuously conveyed by belts, etc. Are known.
ところで、熱風や赤外線を使用する乾燥装置で
は、セラミツク生シートの厚みやその他の条件に
よつてセラミツク生シートの内部と表面とで含水
率差を生じ、乾燥シートに反りや亀裂が生じる。
このような反りや亀裂のない均一な乾燥シートを
得るには、セラミツク生シートの乾燥速度を遅く
する必要があるが、乾燥速度を遅くすると、乾燥
時間が長くなるうえ、この乾燥時間に比例して乾
燥設備が長大となり、セラミツク基板の生産効率
が低下するという問題があつた。 By the way, in drying equipment that uses hot air or infrared rays, a difference in moisture content occurs between the inside and the surface of the raw ceramic sheet depending on the thickness of the raw ceramic sheet and other conditions, causing warping and cracks in the dried sheet.
In order to obtain a uniform dried sheet without warping or cracking, it is necessary to slow down the drying speed of the raw ceramic sheet, but slowing down the drying speed increases the drying time, and the drying time is proportional to the drying time. There was a problem that the drying equipment became long and the production efficiency of ceramic substrates decreased.
また、遠赤外線を使用する乾燥装置では、セラ
ミツク生シートを高速度で連続乾燥するとき、初
期の乾燥が甘くなるため、セラミツク生シートに
引張り力による変形が生じ易く、乾燥シートのシ
ート幅や厚みにばらつきが発生するという問題が
あつた。 In addition, with drying equipment that uses far infrared rays, when raw ceramic sheets are continuously dried at high speed, the initial drying is slow, and the raw ceramic sheets are likely to be deformed due to tensile force, causing the sheet width and thickness of the dried sheets to deteriorate. There was a problem that variations occurred.
ところで、近年、乾燥させる物を比較的短時間
でしかも均一に加熱することのできる高周波やマ
イクロ波を使用した乾燥装置が木材の乾燥等に実
用化されており、セラミツク生シートの乾燥にも
このような乾燥装置を使用することが考えられて
いる。 By the way, in recent years, drying equipment that uses high frequency waves or microwaves that can uniformly heat the material to be dried in a relatively short period of time has been put into practical use for drying wood, etc., and this type of drying equipment is also used for drying raw ceramic sheets. The use of drying equipment such as
しかしながら、この種の乾燥装置はバツチ処理
のものであり、成型機の金型から連続的に押し出
されてくるセラミツク生シートを連続乾燥させる
ものには適用することはできなかつた。 However, this type of drying apparatus is for batch processing and cannot be applied to continuous drying of raw ceramic sheets that are continuously extruded from a mold of a molding machine.
（発明の目的）
本発明はセラミツク生シートの乾燥における上
記問題点に鑑みてなされたものであつて、高周波
を使用してセラミツク生シートを高速度で連続的
に乾燥するとともに、安定した含水率を有する乾
燥シートを得るようにしたセラミツクシートの高
周波連続乾燥装置を提供することを目的としてい
る。(Object of the Invention) The present invention has been made in view of the above-mentioned problems in drying raw ceramic sheets. An object of the present invention is to provide a high-frequency continuous drying apparatus for ceramic sheets, which is capable of obtaining dry sheets having the following properties.
（発明の構成）
このため、本発明は、セラミツク生シートを載
置して連続走行するベルト下部に配置された高周
波電極をベルトの走行方向にほゞ一定間隔に配置
し、これら高周波電極が発生する高周波電界中を
セラミツク生シートを通過させて連続乾燥を行な
う装置であつて、上記ベルトの横幅方向に高周波
に対する透過度の異なる部分が形成されているこ
とを特徴としている。すなわち、本発明は、セラ
ミツク生シートを搬送するベルトに高周波の通り
易い部分と通り難い部分とを形成し、セラミツク
生シートの横幅方向の乾燥傾向に応じて高周波の
投入パワー量を調節するようにしたものであり、
本発明によれば、ベルト上を搬送されるセラミツ
クシートを高周波により均一に連続乾燥させるこ
とができる。(Structure of the Invention) Therefore, in the present invention, high-frequency electrodes are arranged at substantially constant intervals in the running direction of the belt, and are arranged at a lower part of a belt that continuously runs with a raw ceramic sheet placed thereon. This device continuously dries a raw ceramic sheet by passing it through a high-frequency electric field, and is characterized by forming parts in the width direction of the belt that have different degrees of transmittance to high-frequency waves. That is, in the present invention, a belt for conveying a raw ceramic sheet is formed with parts through which high frequency waves can easily pass and parts where it is difficult to pass through, and the amount of input power of high frequency waves is adjusted according to the drying tendency of the raw ceramic sheet in the width direction. and
According to the present invention, a ceramic sheet conveyed on a belt can be uniformly and continuously dried by high frequency.
（実施例）
以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説
明する。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
本発明に係るセラミツクシートの高周波連続乾
燥装置の一実施例の全体構成を第１図に示す。 FIG. 1 shows the overall structure of an embodiment of a high-frequency continuous drying apparatus for ceramic sheets according to the present invention.
上記高周波連続乾燥装置は、トンネル状の第１
乾燥室１、第２乾燥室２、第３乾燥室３、および
第４乾燥室４がベース５上に設けられたものであ
る。上記第１乾燥室１は第４乾燥室４上に、ま
た、上記第２乾燥室２は第３乾燥室３上に夫々配
置されている。 The above-mentioned high frequency continuous drying device has a tunnel-shaped first
A drying chamber 1, a second drying chamber 2, a third drying chamber 3, and a fourth drying chamber 4 are provided on a base 5. The first drying chamber 1 is disposed above the fourth drying chamber 4, and the second drying chamber 2 is disposed above the third drying chamber 3.
第１乾燥室１の内部には、その入口１ａの外部
から出口１ｂの外部にかけて、セラミツク生シー
ト６を載置してこのセラミツク生シート６を搬送
する第１ベルト７が設けられている。この第１ベ
ルト７は、第１乾燥室１の入口１ａの外部に支持
体８ａにより回転可能に支持されたローラ９ａ
と、第１乾燥室１の出口１ｂの外部にて支持体８
ｂにより回転可能に支持されたローラ９ｂとの間
に張り渡されている。第１ベルト７には、図示し
ない成型機の金型から押し出されたセラミツク生
シート６が、第１乾燥室１の入口１ａの外部にて
支持体８ｃにより回転可能に支持されたローラ９
ｃと上記ローラ９ａとの間に張り渡されたベルト
７ａにより搬送される。 Inside the first drying chamber 1, a first belt 7 is provided extending from the outside of the inlet 1a to the outside of the outlet 1b, on which a raw ceramic sheet 6 is placed and for conveying the raw ceramic sheet 6. This first belt 7 includes a roller 9a rotatably supported by a support 8a outside the entrance 1a of the first drying chamber 1.
and a support 8 outside the outlet 1b of the first drying chamber 1.
The roller 9b is rotatably supported by the roller 9b. On the first belt 7, a raw ceramic sheet 6 extruded from a mold of a molding machine (not shown) is attached to a roller 9 rotatably supported by a support 8c outside the entrance 1a of the first drying chamber 1.
c and the roller 9a.
同様に、第２乾燥室２の内部には、第１乾燥室
１の出口１ｂに隣接する入口２ａの外部から出口
２ｂの外部にかけて、第１乾燥室１から送り込ま
れたセラミツク生シート６を搬送する第２ベルト
１０が設けられている。この第２ベルト１０は、
第２乾燥室２の入口２ａの外部にて支持体１１ａ
により回転可能に支持されたローラ１２ａと、第
２乾燥室２の出口２ｂの外部にて支持体１１ｂに
より回転可能に支持されたローラ１２ｂとの間に
張り渡されている。 Similarly, the green ceramic sheet 6 fed from the first drying chamber 1 is conveyed into the second drying chamber 2 from the outside of the inlet 2a adjacent to the outlet 1b of the first drying chamber 1 to the outside of the outlet 2b. A second belt 10 is provided. This second belt 10 is
Support 11a outside the entrance 2a of the second drying chamber 2
It is stretched between a roller 12a rotatably supported by a roller 12a and a roller 12b rotatably supported by a support 11b outside the outlet 2b of the second drying chamber 2.
また、第３乾燥室３の内部には、第２乾燥室２
の出口２ｂの下部に位置する入口３ａの外部から
出口３ｂにかけて、第２乾燥室２から送り込まれ
たセラミツク生シート６を搬送する第３ベルト１
３が設けられている。この第３ベルト１３は、第
３乾燥室３の入口３ａの外部にて支持体１４ａに
回転可能に支持されたローラ１５ａと、第３乾燥
室３の出口３ｂの外部にて支持体１４ｂにより回
転可能に支持されたローラ１５ｂとの間に張り渡
されている。 Furthermore, inside the third drying chamber 3, a second drying chamber 2 is provided.
The third belt 1 conveys the raw ceramic sheet 6 fed from the second drying chamber 2 from the outside of the inlet 3a located at the lower part of the outlet 2b to the outlet 3b.
3 is provided. This third belt 13 is rotated by a roller 15a rotatably supported by a support 14a outside the entrance 3a of the third drying chamber 3, and by a support 14b outside the exit 3b of the third drying chamber 3. It is stretched between the rollers 15b, which are supported by the rollers 15b.
第４乾燥室４の内部には、第３乾燥室３の出口
３ｂに隣接する入口４ａの外部から出口４ｂの外
部にかけて、第３乾燥室３から送り込まれたセラ
ミツク生シート６を搬送する第４ベルト１６が設
けられている。この第４ベルト１６は、第４乾燥
室４の入口４ａの外部にて支持体１７ａにより回
転可能に支持されたローラ１８ａと、第４乾燥室
４の出口４ｂの外部にて支持体１７ｂにより回転
可能に支持されたローラ１８ｂとの間に張り渡さ
れている。 Inside the fourth drying chamber 4, there is a fourth drying chamber 4 for conveying the raw ceramic sheet 6 fed from the third drying chamber 3 from the outside of the inlet 4a adjacent to the outlet 3b of the third drying chamber 3 to the outside of the outlet 4b. A belt 16 is provided. This fourth belt 16 is rotated by a roller 18a rotatably supported by a support 17a outside the entrance 4a of the fourth drying chamber 4, and by a support 17b outside the exit 4b of the fourth drying chamber 4. It is stretched between the rollers 18b, which are supported by the rollers 18b.
上記第１ベルト７、第２ベルト１０、第３ベル
ト１３および第４ベルト１６の下部には、第２図
ａおよび第２図ｂに夫々正面図および平面図を示
すように、矢印A1およびA2で示す第１ベルト７、
第２ベルト１０、第３ベルト１３および第４ベル
ト１６の走行方向に、ほゞ一定間隔ｄをおいて、
正（プラス）の高周波電極１９と棒状の負（マイ
ナス）の高周波電極２０とが交互に配置されてい
る。 The lower portions of the first belt 7, second belt 10, third belt 13 and fourth belt 16 are marked with arrows A1 and A1, as shown in the front and top views of FIGS. 2a and 2b , respectively. a first belt 7 indicated by A 2 ;
At approximately constant intervals d in the running direction of the second belt 10, the third belt 13, and the fourth belt 16,
Positive (plus) high frequency electrodes 19 and bar-shaped negative (minus) high frequency electrodes 20 are alternately arranged.
上記高周波電極１９および２０は夫々第１ベル
ト７、第２ベルト１０、第３ベルト１３および第
４ベルト１６の各一側および各他側から引き出さ
れ、図示しない高周波発振器の正（プラス）側の
出力端子および負（マイナス）側の出力端子に
夫々接続されている。 The high frequency electrodes 19 and 20 are drawn out from one side and the other side of the first belt 7, second belt 10, third belt 13 and fourth belt 16, respectively, and are connected to the positive side of a high frequency oscillator (not shown). Connected to the output terminal and the negative (minus) side output terminal, respectively.
第１乾燥室１、第２乾燥室２、第３乾燥室３お
よび第４乾燥室４はいずれも電波漏洩を防止する
ため、シールドされている。 The first drying chamber 1, the second drying chamber 2, the third drying chamber 3, and the fourth drying chamber 4 are all shielded to prevent radio wave leakage.
ところで、上記のような全体構成を有する高周
波連続乾燥装置において、第１乾燥室１、第２乾
燥室２、第３乾燥室３および第４乾燥室４を通過
して連続乾燥されるセラミツク生シート６が高周
波電界中を通過すると、セラミツク生シート６の
両側部に高周波電界が集中する傾向がある。この
ため、セラミツク生シート６はその幅方向の中央
部よりも両側部の乾燥が進み、実質上、セラミツ
ク生シート６の部位により横幅方向に乾燥勾配が
生じる。 By the way, in the high-frequency continuous drying apparatus having the overall configuration as described above, the raw ceramic sheet is continuously dried after passing through the first drying chamber 1, the second drying chamber 2, the third drying chamber 3, and the fourth drying chamber 4. When the raw ceramic sheet 6 passes through a high-frequency electric field, the high-frequency electric field tends to concentrate on both sides of the raw ceramic sheet 6. For this reason, the green ceramic sheet 6 dries more on both sides than the center in the width direction, and a drying gradient is substantially generated in the width direction depending on the portion of the green ceramic sheet 6.
このため、本発明では、第１ベルト７、第２ベ
ルト１０、第３ベルト１３および第４ベルト１６
のうち、少くとも一つは、セラミツク生シート６
の上記乾燥勾配に対応して高周波の透過度の異な
る部分を形成したベルトを使用している。ここ
で、高周波の透過度とは、上記ベルトの誘電体損
に対応して定まる値のことである。 Therefore, in the present invention, the first belt 7, the second belt 10, the third belt 13, and the fourth belt 16
At least one of them is ceramic raw sheet 6
A belt is used in which portions with different high-frequency transmittances are formed in accordance with the above-mentioned drying gradient. Here, the high frequency transmittance is a value determined in accordance with the dielectric loss of the belt.
より具体的には、上記ベルトは、セラミツク生
シート６の乾燥度を低くしたい両側部が配置され
る部分およびその近傍をぬれ性のない、高周波が
通り難い材料、たとえばナイロン繊維にテフロン
コーテイングしたものにより形成し、セラミツク
生シート６の上記両側部の間に位置する部分を高
周波が通り易い材料、たとえば麻により形成して
いる。 More specifically, the belt is made of a non-wettable material, such as nylon fiber, coated with Teflon, in which the both sides of the raw ceramic sheet 6 where the degree of dryness is to be lowered is arranged, and in the vicinity thereof. The portion located between the above-mentioned both sides of the raw ceramic sheet 6 is made of a material through which high frequencies can easily pass, such as hemp.
上記のような構成を有する高周波連続乾燥装置
では、図示しない成型機の金型から連続的に押し
出されたセラミツク生シート６は、ベルト７ａに
より第１ベルト７上に供給され、第１乾燥室１内
に送り込まれる。この第１乾燥室１内では、セラ
ミツク生シート６は第１ベルト７の下面に接触し
て配置された高周波電極１９，２０により発生さ
れる高周波電界中を通過し、誘電加熱による乾燥
が行なわれる。セラミツク生シート６は第１乾燥
室１の入口１ａから入つて出口１ｂから出るまで
上記高周波電界中を通過し、従つて、この間でセ
ラミツク生シート６は連続的に乾燥される。 In the high-frequency continuous drying apparatus having the above configuration, the raw ceramic sheet 6 continuously extruded from a mold of a molding machine (not shown) is supplied onto the first belt 7 by the belt 7a, and is transferred to the first drying chamber 1. sent inside. In the first drying chamber 1, the raw ceramic sheet 6 passes through a high-frequency electric field generated by high-frequency electrodes 19 and 20 placed in contact with the lower surface of the first belt 7, and is dried by dielectric heating. . The raw ceramic sheet 6 enters the first drying chamber 1 through the inlet 1a and passes through the high-frequency electric field until it exits through the outlet 1b, so that the raw ceramic sheet 6 is continuously dried during this period.
第１乾燥室１の出口１ｂから出たセラミツク生
シート６は、順次、第２乾燥室２、第３乾燥室３
および第４乾燥室４中を通過し、上記と同様に、
高周波電界中を通過して乾燥され、第４乾燥室４
の出口４ｂから乾燥シート６ａとして送り出され
る。 The raw ceramic sheet 6 that comes out from the outlet 1b of the first drying chamber 1 is sequentially transferred to the second drying chamber 2 and the third drying chamber 3.
and passes through the fourth drying chamber 4, and in the same manner as above,
The fourth drying chamber 4 is dried by passing through a high frequency electric field.
The drying sheet 6a is sent out from the outlet 4b of the drying sheet 6a.
この乾燥の過程で、セラミツク生シート６の乾
燥勾配に対応して高周波の通り易い部分と通り難
い部分とを備えたベルト上にセラミツク生シート
６が到達すると、セラミツク生シート６には、そ
の両側部よりも中央部に投入される高周波エネル
ギーが大きくなる。このため、上記ベルト上で
は、セラミツク生シート６は、その中央部が両側
部と同様に乾燥が促進され、均一な乾燥を行うこ
とができる。 During this drying process, when the raw ceramic sheet 6 reaches the belt, which has areas through which high frequency waves can easily pass and areas through which it cannot pass, corresponding to the drying gradient of the raw ceramic sheet 6, the raw ceramic sheet 6 is The high frequency energy applied to the central part is greater than that to the central part. Therefore, on the belt, drying of the ceramic green sheet 6 is accelerated in the central portion as well as on both sides, and uniform drying can be achieved.
次に、本発明の具体的な実施例について説明す
る。 Next, specific examples of the present invention will be described.
実施例 １
第１図の高周波連続乾燥装置において、チタン
酸バリウムからなるセラミツク生シート（厚み
0.30mm、巾100mm）を入口１ａより連続的に供給
し、シート速度は12m／分とした。第１乾燥室
１、第２乾燥室２は40MHz、第３乾燥室３、第４
乾燥室４は30MHzの周波数の高周波を高周波電極
１９，２０よりかけた。ベルト幅は140mmとした。
第３ベルト１３について両側より35mm中央部にか
けて、ナイロン繊維でベルトを構成し、中央部70
mmは麻繊維よりなるシートベルトとした。また、
ナイロン繊維部に対しては、テフロン樹脂により
コートしたものを使用した。第１ベルト７、第２
ベルト１０および第４ベルト１６については麻ベ
ルトを使用した。第２乾燥室２の高周波電極１
９，２０としては、第３図ａに示すように、中央
部に長さl1が80mm、直径が12mmφの大径部２１を
有し、この大径部２１の両端面から夫々突出する
直径が７mmφの小径部２１ａおよび２１ｂにテフ
ロンの絶縁チユーブ２２を被せた、全長l2が220
mmのアルミニウム製の電極棒２３を使用した。ま
た、第１乾燥室１、第３乾燥室３および第４乾燥
室４の高周波電極１９，２０としては、直径が12
mmφ、長さが220mmφの、第３図ｂに示すような
アルミニウムの電極棒２４を使用した。Example 1 In the high-frequency continuous drying apparatus shown in Fig. 1, a raw ceramic sheet (thickness
0.30 mm, width 100 mm) was continuously supplied from the inlet 1a, and the sheet speed was 12 m/min. 1st drying room 1, 2nd drying room 2 are 40MHz, 3rd drying room 3, 4th
In the drying chamber 4, a high frequency wave with a frequency of 30 MHz was applied from high frequency electrodes 19 and 20. The belt width was 140mm.
Regarding the third belt 13, the belt is made of nylon fiber from both sides to the central part by 35 mm, and the central part is 70 mm.
mm is a seatbelt made of hemp fiber. Also,
The nylon fiber portion was coated with Teflon resin. 1st belt 7, 2nd belt
As for the belt 10 and the fourth belt 16, hemp belts were used. High frequency electrode 1 in second drying chamber 2
9 and 20, as shown in FIG. 3a, have a large diameter part 21 in the center with a length l1 of 80 mm and a diameter of 12 mmφ, and diameters protruding from both end faces of this large diameter part 21, respectively. The small diameter portions 21a and 21b with a diameter of 7 mmφ are covered with a Teflon insulating tube 22, and the total length l 2 is 220 mm.
An electrode rod 23 made of aluminum was used. Furthermore, the high frequency electrodes 19 and 20 of the first drying chamber 1, the third drying chamber 3 and the fourth drying chamber 4 have a diameter of 12
An aluminum electrode rod 24 having a diameter of 220 mm and a length of 220 mm was used as shown in FIG. 3b.
その結果、セラミツク生シート６の含水率は
26wt％であり、乾燥後は3.5wt％の波打ちのない
乾燥シート６ａが得られた。また、乾燥シート６
ａの中央部と両側部はほとんど含水率の差はなか
つた。 As a result, the moisture content of ceramic raw sheet 6 was
26 wt%, and after drying, a dry sheet 6a with no waviness of 3.5 wt% was obtained. In addition, the drying sheet 6
There was almost no difference in moisture content between the center and both sides of sample a.
実施例 ２
実施例１と同じ高周波連続乾燥装置において、
第１ベルト７を第３ベルト１３と同一構成ベルト
を使用し、第２ベルト１０については、第１ベル
ト７、第３ベルト１３とは逆に、両側部70mmをナ
イロン繊維、、テフロンコートよりなるベルトを
使用した。Example 2 In the same high frequency continuous drying apparatus as Example 1,
The first belt 7 has the same structure as the third belt 13, and the second belt 10 is made of nylon fiber and Teflon coat on both sides 70 mm, contrary to the first belt 7 and the third belt 13. I used a belt.
使用したセラミツク生シート６はチタン酸バリ
ウム主成分で、シート厚0.15mm、シート幅100mm
とし、送りスピードは12m／分とした。第２乾燥
室２、第３乾燥室３通過後もセラミツク生シート
６の波打ち、シワはなく、きれいな乾燥シート６
ａが得られた。また、乾燥スピードが早く、シー
ト厚みが薄いにもかかわらず、厚みの変動は少な
く、2.5wt％の均一な含水率を得た。 The ceramic raw sheet 6 used is mainly composed of barium titanate, with a sheet thickness of 0.15 mm and a sheet width of 100 mm.
The feed speed was 12 m/min. Even after passing through the second drying chamber 2 and the third drying chamber 3, the drying sheet 6 remains clean with no waves or wrinkles.
A was obtained. In addition, the drying speed was fast, and despite the thin sheet thickness, there was little variation in thickness, and a uniform moisture content of 2.5 wt% was obtained.
実施例 ３
実施例１と同じ高周波連続乾燥装置で、第１ベ
ルト７、第２ベルト１０、第４ベルト１６は通常
の麻ベルトを使用し、第３ベルト１３については
実施例１と同じベルトを使用した。また、高周波
電極については、第３図ａのものを第１乾燥室
１、第２乾燥室２に使用した。Example 3 Using the same high-frequency continuous drying device as in Example 1, the first belt 7, second belt 10, and fourth belt 16 were made of ordinary linen belts, and the third belt 13 was the same as in Example 1. used. Regarding the high frequency electrodes, those shown in FIG. 3a were used in the first drying chamber 1 and the second drying chamber 2.
シート厚みは0.40mmでシート幅100mm、送りス
ピードは8mとした。乾燥シート６ａの波打ち、
シワはなく、第４乾燥室４通過後の含水率は
1.8wt％であつた。含水率のバラツキは0.2wt％
で、乾燥度が高いシートであるが均一な乾燥シー
トを得ることができた。 The sheet thickness was 0.40 mm, the sheet width was 100 mm, and the feeding speed was 8 m. Waving of the drying sheet 6a,
There are no wrinkles, and the moisture content after passing through the fourth drying chamber 4 is
It was 1.8wt%. Variation in moisture content is 0.2wt%
Although the sheet had a high degree of dryness, it was possible to obtain a uniformly dried sheet.
上記実施例と比較するため、次の比較例１から
比較例４の実験を行い、セラミツク生シート６の
含水率を測定するとともに、シート性状を観察し
た。 In order to compare with the above examples, the following experiments were conducted in Comparative Examples 1 to 4, and the water content of the raw ceramic sheet 6 was measured, and the sheet properties were observed.
比較例 １
実施例１と同じ高周波連続乾燥装置において、
第１ベルト７から第４ベルト１６は通常の麻ベル
トを使用し、高周波電極１９，２０は第３図ｂの
ものを使用した。シート厚み0.30mm、シート幅
100mm、送りスピード13m／分で連続乾燥した。
第２乾燥室２通過後よりシワが発生、第４乾燥室
４では激しい波打ちシートが得られた。含水率は
シート中央部が5.2wt％、端部が2.0wt％であつ
た。Comparative Example 1 In the same high frequency continuous drying device as Example 1,
The first belt 7 to the fourth belt 16 were ordinary hemp belts, and the high frequency electrodes 19 and 20 were those shown in FIG. 3b. Seat thickness 0.30mm, seat width
Continuous drying was carried out at 100 mm and a feed speed of 13 m/min.
Wrinkles appeared after passing through the second drying chamber 2, and a severely corrugated sheet was obtained in the fourth drying chamber 4. The moisture content was 5.2wt% at the center of the sheet and 2.0wt% at the edges.
比較例 ２
実施例１と同じ高周波連続乾燥装置において、
第１ベルト７から第４ベルト１６は麻ベルトを用
い、第１乾燥室１、第２乾燥室２の高周波電極１
９，２０は第３図ｂのものを使用した。Comparative Example 2 In the same high frequency continuous drying device as Example 1,
The first belt 7 to the fourth belt 16 are made of hemp belts, and the high frequency electrodes 1 of the first drying chamber 1 and the second drying chamber 2 are
9 and 20 used those shown in Fig. 3b.
シート厚みは0.35mmで、シート幅100mm、シー
ト送り速度12m／分で行なつた。第２乾燥室２通
過後、シート中央部にシワがみられ、第４乾燥室
４通過後も消えることはなかつた。 The sheet thickness was 0.35 mm, the sheet width was 100 mm, and the sheet feeding speed was 12 m/min. After passing through the second drying chamber 2, wrinkles were observed in the center of the sheet, which did not disappear even after passing through the fourth drying chamber 4.
比較例 ３
比較例２と同じ高周波連続乾燥装置で、第１乾
燥室１の高周波電極１９，２０を第３図ｂのもの
を使用し、シート乾燥条件は同一条件で行なつ
た。その結果、第２乾燥室２通過後、中央部のシ
ワの発生は止まりシート性状としては良好なもの
を得た。しかし、第４乾燥室４通過後のシートの
含水率にバラツキがみられ、シート厚の変動が生
じた。Comparative Example 3 The sheet was dried using the same high frequency continuous drying apparatus as in Comparative Example 2, using the high frequency electrodes 19 and 20 shown in FIG. 3b in the first drying chamber 1, and under the same sheet drying conditions. As a result, after passing through the second drying chamber 2, the occurrence of wrinkles in the center part stopped, and good sheet properties were obtained. However, variations were observed in the moisture content of the sheets after passing through the fourth drying chamber 4, and variations in sheet thickness occurred.
比較例 ４
比較例３と同一の乾燥パターンにおいて、シー
ト厚みを0.15mm、幅100mm、送りスピード16m／
分とした。その結果、シートに波打ちが生じ、小
さなシワとなり、第４乾燥室４通過後も消えなか
つた。含水率は3.5wt％でシート中央部と両側部
で含水率の差が生じ、両側部で1.2wt％とかなり
乾燥が進んでいた。Comparative Example 4 In the same drying pattern as Comparative Example 3, the sheet thickness was 0.15 mm, the width was 100 mm, and the feeding speed was 16 m/min.
It was a minute. As a result, the sheet became wavy and had small wrinkles, which did not disappear even after passing through the fourth drying chamber 4. The moisture content was 3.5wt%, and there was a difference in the moisture content between the center and both sides of the sheet, and the moisture content was 1.2wt% on both sides, indicating that the sheet had dried considerably.
上記比較例１ないし比較例４では、シート性状
および含水率特性とも、本発明の具体的な実施例
１ないし実施例３におけるシート性状および含水
率特性よりも劣つていることが分る。 It can be seen that in Comparative Examples 1 to 4, both sheet properties and moisture content characteristics are inferior to those in specific Examples 1 to 3 of the present invention.
本発明は第１図において説明した全体構成を有
する高周波連続乾燥装置に限定されず、１段式の
ものや任意段数のものに適用することができる。 The present invention is not limited to the high-frequency continuous drying apparatus having the overall configuration explained in FIG. 1, but can be applied to a one-stage drying apparatus or one having an arbitrary number of stages.
また、本発明における高周波連続乾燥装置の高
周波の意味はマイクロ波領域を含むものであるこ
とを付記しておく。 Additionally, it should be noted that the meaning of the high frequency in the high frequency continuous drying apparatus in the present invention includes the microwave region.
（発明の効果）
以上、詳述したことからも明らかなように、本
発明は、高周波によるセラミツク生シートの連続
乾燥装置において、セラミツク生シートを搬送す
るベルトに工夫を加えてこのベルトの下側からセ
ラミツク生シートに投入される高周波エネルギー
が局所的に集中しないようにしたので、セラミツ
ク生シートは均一に加熱され、安定した乾燥度を
有する寸法精度が良好でシート強度が強く、シー
トの破断や湾曲のない良好な乾燥シートを得るこ
とができる。(Effects of the Invention) As is clear from the above detailed description, the present invention provides a continuous drying device for raw ceramic sheets using high frequency, in which a belt for conveying raw ceramic sheets is modified so that the lower side of the belt is This prevents the high-frequency energy input into the raw ceramic sheet from being locally concentrated, so the raw ceramic sheet is heated uniformly, has stable dryness, good dimensional accuracy, strong sheet strength, and prevents sheet breakage. A good dry sheet without curvature can be obtained.
また、本発明によれば、高周波加熱によるセラ
ミツク生シートの連続乾燥が可能となり、各種電
子部品に使用されるセラミツク基板の生産性を大
巾に向上させることができる。 Further, according to the present invention, it is possible to continuously dry ceramic green sheets by high-frequency heating, and the productivity of ceramic substrates used in various electronic components can be greatly improved.
第１図は本発明に係るセラミツクシートの高周
波連続乾燥装置の全体を示す説明図、第２図ａお
よび第２図ｂは夫々第１図のセラミツクシートの
高周波連続乾燥装置のベルトに対する高周波電極
の配置関係を示す正面図および平面図、第３図ａ
および第３図ｂは夫々高周波電極の説明図であ
る。
６…セラミツク生シート、７…第１ベルト、１
０…第２ベルト、１３…第３ベルト、１６…第４
ベルト、１９，２０…高周波電極。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing the entire high-frequency continuous drying device for ceramic sheets according to the present invention, and FIGS. Front view and plan view showing arrangement relationship, Figure 3a
and FIG. 3b are explanatory diagrams of the high frequency electrodes, respectively. 6... Ceramic raw sheet, 7... First belt, 1
0...Second belt, 13...Third belt, 16...Fourth belt
Belt, 19, 20...high frequency electrode.
Claims (1)
ク生シートをベルト下部に配置された高周波電極
により発生される高周波電界中を通過させて連続
乾燥するセラミツクシートの高周波連続乾燥装置
であつて、上記ベルトの横幅方向に高周波に対す
る透過度の異なる部分が形成されていることを特
徴とするセラミツクシートの高周波連続乾燥装
置。1. A high-frequency continuous drying device for ceramic sheets, which continuously dries a raw ceramic sheet placed on a continuously running belt by passing it through a high-frequency electric field generated by a high-frequency electrode placed at the bottom of the belt. 1. A high-frequency continuous drying device for ceramic sheets, characterized in that portions having different transmittance to high-frequency waves are formed in the width direction of the ceramic sheet.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59185132A JPS6163561A (en) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | High frequency continuous drying device for ceramic sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59185132A JPS6163561A (en) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | High frequency continuous drying device for ceramic sheet |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6163561A JPS6163561A (en) | 1986-04-01 |
| JPH0541588B2 true JPH0541588B2 (en) | 1993-06-23 |
Family
ID=16165429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59185132A Granted JPS6163561A (en) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | High frequency continuous drying device for ceramic sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6163561A (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5104156A (en) * | 1990-10-18 | 1992-04-14 | Teleflex Incorporated | Male end fitting |
| JP4290132B2 (en) * | 2005-03-03 | 2009-07-01 | 三洋電機株式会社 | Dryer |
-
1984
- 1984-09-03 JP JP59185132A patent/JPS6163561A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6163561A (en) | 1986-04-01 |
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