JPH053977U - Vacuum container for storing samples such as electron microscope samples - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単に酸化防止ができ、また、持ち運びがで
きる電子顕微鏡用試料などの試料保存用真空容器を提供
すること。 【構成】 電子顕微鏡から取り出した試料９を蓋２を開
けて容器１の中に入れ、蓋２を閉め、試料保存用真空容
器を電子顕微鏡のリークされたカメラ室１０にセットす
る。次に、カメラ室１０の真空引きを始める。カメラ室
１０の真空度が上がるに従い、容器内外の圧力差は大き
くなっていく。この為、栓５は下から押され、この押す
力がバネ４が栓５を押す力を越えたとき、栓５は上が
る。この為、栓５と蓋２の間に隙間ができ、開孔部Ｏに
より容器内が真空に引かれる。容器内外の圧力差が無く
なるとバネ４の力で栓５は再び押し下げられる。次に、
カメラ室１０をリークしてカメラ室１０を開け試料保存
用真空容器を取り出す。試料保存用真空容器を大気に晒
してもＯリング６，７により容器中は真空シールされる
ので、試料９は真空中に保存され酸化は防止される。 (57) [Summary] [Purpose] To provide a vacuum container for sample storage, such as a sample for an electron microscope, which can be easily prevented from oxidation and can be carried. [Structure] A sample 9 taken out from an electron microscope is put in a container 1 by opening a lid 2, the lid 2 is closed, and a vacuum container for sample storage is set in a leaked camera chamber 10 of the electron microscope. Next, the evacuation of the camera room 10 is started. As the degree of vacuum in the camera chamber 10 increases, the pressure difference inside and outside the container increases. Therefore, the stopper 5 is pushed from below, and when the pushing force exceeds the pushing force of the spring 4 by the spring 4, the stopper 5 rises. Therefore, a gap is created between the stopper 5 and the lid 2, and the inside of the container is evacuated by the opening O. When the pressure difference between the inside and the outside of the container disappears, the force of the spring 4 pushes down the stopper 5 again. next,
The camera chamber 10 is leaked, the camera chamber 10 is opened, and the vacuum container for sample storage is taken out. Even if the vacuum container for sample storage is exposed to the atmosphere, the inside of the container is vacuum-sealed by the O-rings 6 and 7, so that the sample 9 is stored in vacuum and oxidation is prevented.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】 本考案は、電子顕微鏡用試料などの酸化を防止する試料 保存用真空容器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample storage vacuum container for preventing oxidation of a sample for an electron microscope.

【０００２】[0002]

【従来の技術】 酸化作用を伴なう電子顕微鏡用試料などは真空デシケーターに 保存し、試料の酸化を防止している。あるいは、試料に脱酸素剤封入によるビニ ール特殊包装を行っている。2. Description of the Related Art A sample for an electron microscope accompanied by an oxidizing action is stored in a vacuum desiccator to prevent the sample from being oxidized. Alternatively, the sample is packaged in a special vinyl bag with an oxygen absorber.

【０００３】[0003]

【考案が解決しようとする課題】 上記したように、電子顕微鏡用試料などの酸 化を防止するには真空デシケーター装置やビニール特殊包装装置が必要であり、 このような装置を用意しなければならない。また、真空デシケーター装置は大変 大型であるので、試料の持ち運びはできない。[Problems to be Solved by the Invention] As described above, a vacuum desiccator device and a vinyl special packaging device are required to prevent the oxidation of a sample for an electron microscope, and such a device must be prepared. .. Moreover, the vacuum desiccator device is so large that the sample cannot be carried.

【０００４】 本考案はこの様な点に鑑みて成されたもので、酸化防止装置を用意しなくても 簡単に酸化防止ができ、且つ、持ち運びができる電子顕微鏡用試料などの試料保 存用真空容器を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above points, and can be used for sample storage such as electron microscope samples that can be easily oxidized and can be carried without providing an antioxidant device. The purpose is to provide a vacuum container.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本考案の電子顕微鏡用試料 などの試料保存用真空容器は、試料を入れるための気密を維持し得る容器と、容 器に設けられた開口と、前記容器を真空中に配置した際に容器内外の圧力差によ り駆動されて前記開口を開くように移動する弁体と、大気を容器内に導入するた めのリーク機構を備えている。Means for Solving the Problems A vacuum container for storing a sample such as a sample for an electron microscope of the present invention which achieves this object is a container capable of maintaining airtightness for containing a sample and an opening provided in a container. A valve body that is driven by a pressure difference between the inside and outside of the container to open the opening when the container is placed in a vacuum; and a leak mechanism for introducing the atmosphere into the container. There is.

【０００６】[0006]

【実施例】 図１は本考案の一実施例の断面図を示したものである。図において 、１は試料を入れるための気密を維持し得る容器、２は開口部Ｏを有する蓋であ る。３は開口Ｐを有するバネ当てで、このバネ当て３にはバネ４の一端が固定さ れている。５はバネ４の他端が固定された弁体となる栓で、この栓５はバネ４の 力で蓋２に押し当てられている。６，７はＯリング、８は容器内部に大気を導く 際に栓５を開けるためのテコ体、９は試料である。Embodiment FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a container capable of maintaining airtightness for containing a sample, and 2 is a lid having an opening O. Reference numeral 3 is a spring pad having an opening P, and one end of a spring 4 is fixed to the spring pad 3. Reference numeral 5 denotes a stopper that serves as a valve body to which the other end of the spring 4 is fixed. The stopper 5 is pressed against the lid 2 by the force of the spring 4. Reference numerals 6 and 7 are O-rings, 8 is a lever body for opening the stopper 5 when introducing the atmosphere into the container, and 9 is a sample.

【０００７】 以下、図１に示した試料保存用真空容器へ電子顕微鏡用試料を保存する場合に ついて詳細に説明する。Hereinafter, the case of storing an electron microscope sample in the sample storage vacuum container shown in FIG. 1 will be described in detail.

【０００８】 先ず、電子顕微鏡から取り出した試料９を蓋２を開けて容器１の中に入れる。 次に、蓋２を閉め、試料保存用真空容器を例えば電子顕微鏡のリークされたカメ ラ室１０にセットする（図２参照）。カメラ室１０への試料保存用真空容器のセ ットが終了すると、カメラ室１０の真空引きを始める。カメラ室１０の真空度が 上がるに従い、容器内外の圧力差は大きくなっていく。この為、栓５は下から押 され、この押す力がバネ４が栓５を押す力を越えたとき、栓５は上がる（図３参 照）。この為、栓５と蓋２の間に隙間ができ、開孔部Ｏにより容器内が真空に引 かれる。そして、容器内外の圧力差が無くなるとバネ４の力で栓５は再び押し下 げられる（図４参照）。次に、カメラ室１０をリークしてカメラ室１０を開け試 料保存用真空容器を取り出す。試料保存用真空容器を大気に晒してもＯリング６ ，７により容器中は真空シールされるので、試料９は真空中に保存され酸化は防 止される。また、試料を容器から取り出す場合は、テコ体８で容器中をリークし 、蓋２を開ける。First, the sample 2 taken out from the electron microscope is put into the container 1 with the lid 2 opened. Next, the lid 2 is closed, and the vacuum container for sample storage is set in, for example, the leaked camera chamber 10 of the electron microscope (see FIG. 2). When the setting of the vacuum container for storing the sample in the camera chamber 10 is completed, the vacuuming of the camera chamber 10 is started. As the degree of vacuum in the camera chamber 10 increases, the pressure difference inside and outside the container increases. Therefore, the stopper 5 is pushed from below, and when the pushing force exceeds the pushing force of the spring 4 by the spring 4, the stopper 5 rises (see FIG. 3). Therefore, a gap is created between the stopper 5 and the lid 2, and the inside of the container is evacuated by the opening O. When the pressure difference between the inside and the outside of the container disappears, the stopper 5 pushes the plug 5 down again (see FIG. 4). Next, the camera room 10 is leaked, the camera room 10 is opened, and the vacuum container for storing the sample is taken out. Even if the vacuum container for sample storage is exposed to the atmosphere, the inside of the container is vacuum-sealed by the O-rings 6 and 7, so that the sample 9 is stored in vacuum and oxidation is prevented. When the sample is taken out from the container, the lever 8 is used to leak the inside of the container and the lid 2 is opened.

【０００９】 尚、本考案は上記実施例に限定されない。上記実施例ではバネを設けたが、バ ネを設けずに重力により栓を蓋の開口にしてもよい。また、上記実施例では蓋を 設けたが、蓋に設けた開口より少し大きい開口を容器に設け、この開口を試料の 出し入れに兼用してもよい。The present invention is not limited to the above embodiment. Although the spring is provided in the above-mentioned embodiment, the stopper may be opened by gravity without using the bane. Further, although the lid is provided in the above embodiment, an opening slightly larger than the opening provided in the lid may be provided in the container, and this opening may also be used for loading and unloading the sample.

【００１０】 また、上記実施例では、試料保存用真空容器を電子顕微鏡のカメラ室にセット したが、走査電子顕微鏡用試料を入れた容器であればこの走査電子顕微鏡の試料 室に、また、真空蒸着装置やイオンコーティング装置で用いられる材料を入れた 容器であればこれらの装置の排気室にセットすればよい。Further, in the above-mentioned embodiment, the vacuum container for sample storage is set in the camera room of the electron microscope. However, if the container for the sample for the scanning electron microscope is placed in the sample room of the scanning electron microscope, A container containing materials used in a vapor deposition device or an ion coating device may be set in the exhaust chamber of these devices.

【００１１】[0011]

【考案の効果】 本考案の電子顕微鏡用試料などの試料保存用真空容器は、容器 を真空中に配置した際に容器内外の圧力差により駆動されて容器に設けられた開 口を開くように移動する弁体を有しているので、この容器を排気およびリーク手 段を有するチャンバーの中に入れるだけで容器内を真空にでき、この容器をチャ ンバーから取り出しても前記弁体により容器内は真空に保たれるので試料の酸化 を防止できる。この為、真空デシケーター装置やビニール特殊包装装置は不要で ある。また、本考案の試料保存用真空容器は小型なので持ち運びができる。EFFECTS OF THE INVENTION The vacuum container for storing a sample such as a sample for an electron microscope of the present invention is configured so that when the container is placed in a vacuum, the opening provided in the container is opened by being driven by the pressure difference between the inside and the outside of the container. Since it has a moving valve element, the inside of the container can be evacuated simply by putting it in a chamber that has exhaust and leak means. Is kept in a vacuum, preventing oxidation of the sample. Therefore, no vacuum desiccator device or vinyl special packaging device is required. Also, the vacuum container for sample storage of the present invention is small, so it can be carried.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本考案の一実施例の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention.

【図２】 試料保存用真空容器をカメラ室に入れた状態
を示したものである。FIG. 2 shows a state in which a vacuum container for storing a sample is put in a camera chamber.

【図３，４】 本考案の試料保存用真空容器の動作を説
明するために示したものである。3 and 4 are provided for explaining the operation of the sample storage vacuum container of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…容器、２…蓋、３…バネ当て、４…バネ、５…栓、
６，７…Ｏリング、８…テコ体、９…試料、１０…カメ
ラ室1 ... container, 2 ... lid, 3 ... spring contact, 4 ... spring, 5 ... stopper,
6, 7 ... O-ring, 8 ... Lever, 9 ... Sample, 10 ... Camera room

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 試料を入れるための気密を維持し得る容
器と、容器に設けられた開口と、前記容器を真空中に配
置した際に容器内外の圧力差により駆動されて前記開口
を開くように移動する弁体と、大気を容器内に導入する
ためのリーク機構を備えた電子顕微鏡用試料などの試料
保存用真空容器。[Claims for utility model registration] [Claim 1] A container capable of maintaining airtightness for containing a sample, an opening provided in the container, and a pressure difference between the inside and the outside of the container when the container is placed in a vacuum. A vacuum container for storing a sample such as a sample for an electron microscope, which is equipped with a valve body which is driven to move so as to open the opening and a leak mechanism for introducing the atmosphere into the container.