JPH0538916U - 固体撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 固体撮像装置のフレア特性を向上すると共
に、フレア防止板の取付け作業性を向上させる。 【構成】 パッケージ内に配設されるＣＣＤ素子１１の
上方に、フレア防止板１２を設けると共に、ＣＣＤ素子
の有効画素領域１１Ａに対応する位置にフレア防止板１
２の開口部を下方に向けて拡開するように形成する。こ
の開口部の開口面は、下方に向けて有効画素領域１１Ａ
の外側方向へ傾斜するテーパ面となり、固体撮像装置の
上側方より入射する光が開口面に当たっても、その反射
光は、有効画素領域から外れた所に入射するように設定
した。このため、ＣＣＤ素は、その反射光によって画像
を乱されることなく撮像することが可能となる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、固体撮像装置に関し、フレア防止機能の高いフレア防止板を備え た固体撮像装置に係わる。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種の固体撮像装置としては、図３に示すようなものが知られている 。同図中、Ａは固体撮像装置であり、絶縁性材料で形成されたパッケージ１内に ＣＣＤチップ２を固設し、所定のワイヤ３で配線されている。このＣＣＤチップ ２の上方には、ステンレス製のフレア防止板４が設けられ、さらに、その上方に は、封止ガラス５が設けられている。フレア防止板４は、図４に示すように、Ｃ ＣＤチップ２の有効画素領域に対応する位置に開口部が形成されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような従来の固体撮像装置においては、フレア防止板４に 開口部を形成する方法として上下両表面からのエッチング（ウェットエッチング ）を同時に行なうものであるため、上下両表面のエッチングマスクのズレや、僅 かなエッチング条件の違いで、図５に示すような開口面４Ａの形状は変化してし まう。このような、フレア防止板４の開口面４Ａの断面形状の変化に伴ない、フ レア防止板４のパッケージ１への取付け位置，フレア防止板４の向き等によって フレア特性が左右される問題があった。また、このような開口面４Ａの断面形状 を勘案して、取付ける向きを決めるなどの作業努力を要請されるため、作業性に 大きな問題があった。特に、フレア防止板４の開口面４Ａに入射した光は、その 断面形状に起因して不当な反射を起こし、ＣＣＤチップ２の有効画素領域に入射 して、ＣＣＤの画像を乱すなどフレア特性を悪化させる問題を有している。

【０００４】 本考案は、このような従来の問題点に着目して創案されたものであって、フレ ア特性を向上し、フレア防止板取付けの作業性を高める固体撮像装置を得んとす るものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

そこで、本考案は、固体撮像素子の有効画素の上方に、光入射を許容する開口 部が形成されたフレア防止板を備えて成る固体撮像装置において、上記フレア防 止板の開口部が上記固体撮像素子側に向けて拡開するように内壁面を傾斜させた ことを、その解決手段としている。

【０００６】

【作用】

フレア防止板の開口部が固体撮像素子側に向けて拡開しているため、開口部の 内壁面に入射した光が固体撮像素子の有効画素領域に入射するのを防止する。こ のため、固体撮像装置のフレア特性は向上する。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案に係る固体撮像装置の詳細を図面に示す実施例に基づいて説明す る。

【０００８】 図１及び図２は、本考案の実施例を示している。本実施例に係る固体撮像装置 は、パッケージ（図示省略する）内に設けたＣＣＤ素子１１の上方にフレア防止 板１２，封止ガラス（図示省略する）等を設ける構成は、上記した従来例と同様 である。本実施例においては、ＣＣＤ素子１１の有効画素領域１１Ａに対応して 開口させたフレア防止板１２の開口部を、下方に向けて拡開して形成し、開口部 の内壁面である開口面をテーパ状に形成する。

【０００９】 なお、本実施例においては、厚さ０．２ｍｍのフレア防止板１２の表面のみに レジストマスクをパターニングして、これをマスクとしてエッチングを行なうこ とにより、下方に向けて拡開する開口部を得ることができた。図２に示す拡開角 度（θ）は２０°〜４５°の範囲で、上側方より入射する光をＣＣＤ素子の有効 画素領域１１Ａに入射しないようにできる。このように、本実施例においては、 パッケージ上部から入射する斜め方向からの光りがフレア防止板１２の開口面で 反射してＣＣＤ素子の有効画素領域１１Ａに入射することが防止できるため、Ｃ ＣＤの画像にシミ状の画像が生ずる弊害を防止出来る。

【００１０】 また、斯かるフレア防止板１２をパッケージに取付ける場合は、開口径の大き い面を下向きにして、有効画素領域１１Ａの平面形状（縦横）に留意して組み付 けるだけでよいため、従来のような確実性の小さい煩雑な作業を行なう必要がな くなる。このため、製品の歩留まりを向上することができる。

【００１１】 なお、本実施例の他の構成は従来例と同様である。

【００１２】 以上、実施例について説明したが、本考案は、これに限定されるものではなく 、構成の要旨、即ち、固体撮像素子の有効画素の上方に、光入射を許容する開口 部が形成されたフレア防止板を備えて成る固体撮像装置において、上記フレア防 止板の開口部が上記固体撮像素子側に向けて拡開するように内壁面を傾斜させた ものであれば、その開口部の加工方法，寸法等は、適宜変更可能である。

【００１３】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案によれば、ＣＣＤ素子への不当な光入 射を防止でき、フレア特性を向上できる効果を有する。

【００１４】 また、本考案においては、フレア防止板の取付け作業性を向上できる効果があ る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の断面図。

【図２】本考案の実施例の部分拡大断面図。

【図３】従来の固体撮像装置の断面図。

【図４】従来のフレア防止板の斜視図。

【図５】従来のフレア防止板の部分断面図。

【符号の説明】

１１…ＣＣＤ素子、１１Ａ…有効画素領域、１２…フレ
ア防止板、１２Ａ…開口面。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 固体撮像素子の有効画素の上方に、光入
   射を許容する開口部が形成されたフレア防止板を備えて
   成る固体撮像装置において、 上記フレア防止板の開口部が上記固体撮像素子側に向け
   て拡開するように内壁面を傾斜させたことを特徴とする
   固体撮像装置。