JPH0538526Y2 - - Google Patents
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- JPH0538526Y2 JPH0538526Y2 JP13178987U JP13178987U JPH0538526Y2 JP H0538526 Y2 JPH0538526 Y2 JP H0538526Y2 JP 13178987 U JP13178987 U JP 13178987U JP 13178987 U JP13178987 U JP 13178987U JP H0538526 Y2 JPH0538526 Y2 JP H0538526Y2
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- JP
- Japan
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- irradiation
- window
- chamber
- vacuum chamber
- window flange
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- Expired - Lifetime
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 27
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 15
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000008531 maintenance mechanism Effects 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
この考案は電子線照射装置に関し、とくに照射
窓を形成する金属箔を取り換える際の窓フランジ
のメンテナンス機構を備えた電子線照射装置に関
する。
窓を形成する金属箔を取り換える際の窓フランジ
のメンテナンス機構を備えた電子線照射装置に関
する。
(ロ) 従来の技術
従来、電子線照射装置は、第4図に示すよう
に、電子を発生させ加速させる加速部を収納した
真空チヤンバ20と、電子を引き出すための照射
窓を形成する金属箔を張設する窓フランジ21
と、照射室22と、照射窓に対向する位置に配設
されるビームキヤツチヤ23とを具備している。
窓フランジ21はその側方に設けられたジヤツキ
などからなる取付機構により真空チヤンバ20に
着脱可能に取り着けられている。
に、電子を発生させ加速させる加速部を収納した
真空チヤンバ20と、電子を引き出すための照射
窓を形成する金属箔を張設する窓フランジ21
と、照射室22と、照射窓に対向する位置に配設
されるビームキヤツチヤ23とを具備している。
窓フランジ21はその側方に設けられたジヤツキ
などからなる取付機構により真空チヤンバ20に
着脱可能に取り着けられている。
上記構成の電子線照射装置では、劣化した金属
箔を取り換える場合、取付機構を操作して窓フラ
ンジ21を真空チヤンバ20より取り外し、その
窓フランジ21を作業者の手作業あるいは照射室
22内にその受台部分24aを搬入した取り出し
用台車24などにのせて照射室22外に取り出し
ておこなうものである。また、金属箔を取り換え
た後の窓フランジ21は上記のように手作業また
は取り出し用台車24にのせて照射室22内に搬
入し、取付機構により真空チヤンバ20に取り付
けられる。
箔を取り換える場合、取付機構を操作して窓フラ
ンジ21を真空チヤンバ20より取り外し、その
窓フランジ21を作業者の手作業あるいは照射室
22内にその受台部分24aを搬入した取り出し
用台車24などにのせて照射室22外に取り出し
ておこなうものである。また、金属箔を取り換え
た後の窓フランジ21は上記のように手作業また
は取り出し用台車24にのせて照射室22内に搬
入し、取付機構により真空チヤンバ20に取り付
けられる。
(ハ) 考案が解決しようとする問題点
しかしながら、窓フランジ21の真空チヤンバ
20への取り付けを取付機構にておこなつている
ので、照射室が必然的に大きくなるという欠点が
あつた。また取り出し用台車24を使用すること
を考慮して、ビームキヤツチヤ23と照射窓との
間隔を大きくしなければならなかつた。そのた
め、照射室の温度上昇や不活性ガスなどの冷却ガ
ス量の増大といつた不都合があつた。
20への取り付けを取付機構にておこなつている
ので、照射室が必然的に大きくなるという欠点が
あつた。また取り出し用台車24を使用すること
を考慮して、ビームキヤツチヤ23と照射窓との
間隔を大きくしなければならなかつた。そのた
め、照射室の温度上昇や不活性ガスなどの冷却ガ
ス量の増大といつた不都合があつた。
この考案は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、金属箔のメンテナンスのための機構を予め具
備し照射室を小さくすることが可能な電子線照射
装置を提供しようとするものである。
で、金属箔のメンテナンスのための機構を予め具
備し照射室を小さくすることが可能な電子線照射
装置を提供しようとするものである。
(ニ) 問題点を解決するための手段
この考案は、窓フランジとビームキヤツチヤと
を所定の間隔をあけて連結する連結部材と、窓フ
ランジを真空チヤンバに着脱する際にビームキヤ
ツチヤを電子線照射方向と同一方向に往復移動さ
せる第1移動機構と、真空チヤンバから取り外さ
れている窓フランジを照射室内に搬入出させる第
2移動機構とを具備したことを特徴とする。
を所定の間隔をあけて連結する連結部材と、窓フ
ランジを真空チヤンバに着脱する際にビームキヤ
ツチヤを電子線照射方向と同一方向に往復移動さ
せる第1移動機構と、真空チヤンバから取り外さ
れている窓フランジを照射室内に搬入出させる第
2移動機構とを具備したことを特徴とする。
(ホ) 作用
窓フランジを真空チヤンバから取り外す場合、
第1移動機構は操作されると、ビームキヤツチヤ
を電子線照射方向と同一方向に移動させ、連結部
材によつてビームキヤツチヤに連結されている窓
フランジを真空チヤンバから取り外す。取り外さ
れた窓フランジは、ビームキヤツチヤが第2移動
機構により移動されることにより照射室外へと搬
出される。
第1移動機構は操作されると、ビームキヤツチヤ
を電子線照射方向と同一方向に移動させ、連結部
材によつてビームキヤツチヤに連結されている窓
フランジを真空チヤンバから取り外す。取り外さ
れた窓フランジは、ビームキヤツチヤが第2移動
機構により移動されることにより照射室外へと搬
出される。
また、窓フランジを真空チヤンバに取り付ける
場合、第2移動機構によりビームキヤツチヤを照
射室内に搬入し、第1移動機構により真空チヤン
バ方向に移動させることにより、窓フランジを真
空チヤンバに取り付けることができる。
場合、第2移動機構によりビームキヤツチヤを照
射室内に搬入し、第1移動機構により真空チヤン
バ方向に移動させることにより、窓フランジを真
空チヤンバに取り付けることができる。
(ヘ) 実施例
以下この考案の実施例を図面にて詳述するが、
この考案は以下の実施例に限定されるものではな
い。
この考案は以下の実施例に限定されるものではな
い。
第1図に示す電子線照射装置は、加速した電子
を操作しないエリアビーム形の電子線照射装置で
ある。
を操作しないエリアビーム形の電子線照射装置で
ある。
第1図において、1は真空チヤンバで、ステン
レス製の円筒であり、その内部中央に電子を発生
させるカソードフイラメント2とそのカソードフ
イラメント2をとり囲むように配設させるカソー
ドシールド3を具備し、下方の開口に窓フランジ
4が着脱可能に取り付けられている。窓フランジ
4は、真空チヤンバ1の開口に密着される照射窓
枠4aと、真空チヤンバ1内で加速した電子を取
り出す照射窓5を形成する金属箔5aを照射窓枠
4aに取り外し可能に密着して張設する金属箔押
え枠4bとで構成される。照射窓枠4aと金属箔
押え枠4bとは金属箔5aを挟んだ状態で、たと
えばボルト・ナツト(図示しない)にて一体にな
つている。6は連結部材で、窓フランジ4の金属
箔押え枠4bとビームキヤツチヤ7とに所定の間
隔をあけてたとえば溶接などにて固定されてそれ
ぞれを連結している。連結部材6の長さは、電子
線が照射される被照射物、たとえば磁気テープな
どの厚み寸法などにより適宜決定すればよい。ビ
ームキヤツチヤ7は、照射室8内の照射窓5に対
向する位置、つまり照射窓5の下方に設けられ、
被照射物を突き抜けてきた利用されない電子を吸
収する。9は第1移動機構で、ビームキヤツチヤ
7の前端側面に回動可能に設けられる雌ねじ部材
9aと雌ねじ部材9aに螺合される雄ねじ部材9
bと、第2移動機構10を構成する台車10aの
上面に立設されたフラツトバー10bとビームキ
ヤツチヤ7の下面に立設されたフラツトバー7a
とのそれぞれにピン11により両端部を回動可能
に取り付けられてビームキヤツチヤ7と台車10
aとを連結する複数の支持部材9cと、台車10
aの前端側面に設けられ雄ねじ部材9bの下方端
を回動可能に保持する保持部材9dとで構成され
る。また第2移動機構10は、台車10aと、台
車下面に設けられる複数(この実施例では4個)
のキヤスタ10cとで構成される。第2図はそれ
ぞれの移動機構9,10の側面図である。
レス製の円筒であり、その内部中央に電子を発生
させるカソードフイラメント2とそのカソードフ
イラメント2をとり囲むように配設させるカソー
ドシールド3を具備し、下方の開口に窓フランジ
4が着脱可能に取り付けられている。窓フランジ
4は、真空チヤンバ1の開口に密着される照射窓
枠4aと、真空チヤンバ1内で加速した電子を取
り出す照射窓5を形成する金属箔5aを照射窓枠
4aに取り外し可能に密着して張設する金属箔押
え枠4bとで構成される。照射窓枠4aと金属箔
押え枠4bとは金属箔5aを挟んだ状態で、たと
えばボルト・ナツト(図示しない)にて一体にな
つている。6は連結部材で、窓フランジ4の金属
箔押え枠4bとビームキヤツチヤ7とに所定の間
隔をあけてたとえば溶接などにて固定されてそれ
ぞれを連結している。連結部材6の長さは、電子
線が照射される被照射物、たとえば磁気テープな
どの厚み寸法などにより適宜決定すればよい。ビ
ームキヤツチヤ7は、照射室8内の照射窓5に対
向する位置、つまり照射窓5の下方に設けられ、
被照射物を突き抜けてきた利用されない電子を吸
収する。9は第1移動機構で、ビームキヤツチヤ
7の前端側面に回動可能に設けられる雌ねじ部材
9aと雌ねじ部材9aに螺合される雄ねじ部材9
bと、第2移動機構10を構成する台車10aの
上面に立設されたフラツトバー10bとビームキ
ヤツチヤ7の下面に立設されたフラツトバー7a
とのそれぞれにピン11により両端部を回動可能
に取り付けられてビームキヤツチヤ7と台車10
aとを連結する複数の支持部材9cと、台車10
aの前端側面に設けられ雄ねじ部材9bの下方端
を回動可能に保持する保持部材9dとで構成され
る。また第2移動機構10は、台車10aと、台
車下面に設けられる複数(この実施例では4個)
のキヤスタ10cとで構成される。第2図はそれ
ぞれの移動機構9,10の側面図である。
以上の構成において、窓フランジ4を真空チヤ
ンバ1より取り外す場合、たとえばそれぞれのね
じ部材9a,9bが右ねじであれば、雄ねじ部材
9bを反時計方向に回転させる。これによつて、
雌ねじ部材9aと保持部材9dとの間が短かくな
り、それぞれの支持部材9cが前傾してビームキ
ヤツチヤ7と台車10aとの距離が短かくなる。
したがつて前記の距離が短かくなつた分だけ窓フ
ランジ4は降下し、真空チヤンバ1より取り外さ
れることとなる。この状態で台車10aを移動さ
せることにより、窓フランジ4をビームキヤツチ
ヤ7とともに照射室8外へ搬出する。
ンバ1より取り外す場合、たとえばそれぞれのね
じ部材9a,9bが右ねじであれば、雄ねじ部材
9bを反時計方向に回転させる。これによつて、
雌ねじ部材9aと保持部材9dとの間が短かくな
り、それぞれの支持部材9cが前傾してビームキ
ヤツチヤ7と台車10aとの距離が短かくなる。
したがつて前記の距離が短かくなつた分だけ窓フ
ランジ4は降下し、真空チヤンバ1より取り外さ
れることとなる。この状態で台車10aを移動さ
せることにより、窓フランジ4をビームキヤツチ
ヤ7とともに照射室8外へ搬出する。
次に窓フランジ4を真空チヤンバ1に取り付け
る場合、まず台車10aを照射室8内に向つて移
動させて窓フランジ4を照射室8内に搬入する。
そして窓フランジ4がほぼ真空チヤンバ1の窓フ
ランジ4取付位置下方に搬入された時点で台車1
0aの移動を停止する。次に雄ねじ部材9bを時
計方向に回転させることにより、雌ねじ部材9a
と保持部材9dとの距離が長くなり、これによつ
てビームキヤツチヤ7は上昇して真空チヤンバ1
に密着固定される。
る場合、まず台車10aを照射室8内に向つて移
動させて窓フランジ4を照射室8内に搬入する。
そして窓フランジ4がほぼ真空チヤンバ1の窓フ
ランジ4取付位置下方に搬入された時点で台車1
0aの移動を停止する。次に雄ねじ部材9bを時
計方向に回転させることにより、雌ねじ部材9a
と保持部材9dとの距離が長くなり、これによつ
てビームキヤツチヤ7は上昇して真空チヤンバ1
に密着固定される。
第3図はこの考案の他の実施例の要部の構成を
示す図である。
示す図である。
この他の実施例においては、第1移動機構12
は照射室8の床面に固定されている。第1移動機
構12は、上面にビームキヤツチヤ7を摺動可能
となす摺動部材12aを設けた上板部材12b
と、上板部材12bの前端側面に回動可能に設け
られる雌ねじ部材12cと、雌ねじ部材12cに
螺合される雄ねじ部材12dと、照射室8の床面
にたとえばボルトで固定される基台12eと、上
板部材12bの下面に立設されたフラツトバー
(図示しない)と基台12eの上面に立設された
フラツトバー13とのそれぞれにピン14により
両端部を回動可能に取り付けられて上板部材12
bと基台12eとを連結する複数の支持部材12
fと、基台12eの前端側面に設けられ雄ねじ部
材12dの下方端を回動可能に保持する保持部材
12gとで構成される。また第2移動機構15は
ビームキヤツチヤ7下面に取り付けられた複数の
車輪で構成される。
は照射室8の床面に固定されている。第1移動機
構12は、上面にビームキヤツチヤ7を摺動可能
となす摺動部材12aを設けた上板部材12b
と、上板部材12bの前端側面に回動可能に設け
られる雌ねじ部材12cと、雌ねじ部材12cに
螺合される雄ねじ部材12dと、照射室8の床面
にたとえばボルトで固定される基台12eと、上
板部材12bの下面に立設されたフラツトバー
(図示しない)と基台12eの上面に立設された
フラツトバー13とのそれぞれにピン14により
両端部を回動可能に取り付けられて上板部材12
bと基台12eとを連結する複数の支持部材12
fと、基台12eの前端側面に設けられ雄ねじ部
材12dの下方端を回動可能に保持する保持部材
12gとで構成される。また第2移動機構15は
ビームキヤツチヤ7下面に取り付けられた複数の
車輪で構成される。
この他の実施例においても上記実施例同様、雄
ねじ部材12dを時計方向あるいは反時計方向に
回転させることにより、上板部材12b上に載置
されたビームキヤツチヤ7延いては窓フランジ4
を上昇あるいは降下させることができる。また第
2移動機構15の車輪は、第1移動機構12の最
低高さ寸法より大きな車輪径を有するものを使用
すれば、上記実施例同様、ビームキヤツチヤ7と
ともに窓フランジ4を移動させることができる。
また前記最低高さ寸法より小さな車輪径の車輪を
使用する場合は、車輪をたとえばレールに載置す
ることによつてビームキヤツチヤ7を移動可能と
させる構成にしてもよい。
ねじ部材12dを時計方向あるいは反時計方向に
回転させることにより、上板部材12b上に載置
されたビームキヤツチヤ7延いては窓フランジ4
を上昇あるいは降下させることができる。また第
2移動機構15の車輪は、第1移動機構12の最
低高さ寸法より大きな車輪径を有するものを使用
すれば、上記実施例同様、ビームキヤツチヤ7と
ともに窓フランジ4を移動させることができる。
また前記最低高さ寸法より小さな車輪径の車輪を
使用する場合は、車輪をたとえばレールに載置す
ることによつてビームキヤツチヤ7を移動可能と
させる構成にしてもよい。
なお第1移動機構としては、上記のそれぞれの
実施例のほかに、1つのハンドルで連動するねじ
ジヤツキや油圧ジヤツキを複数使用して構成する
ものであつてもよく、また、パンタグラフのよう
なリンク機構であつてもよい。
実施例のほかに、1つのハンドルで連動するねじ
ジヤツキや油圧ジヤツキを複数使用して構成する
ものであつてもよく、また、パンタグラフのよう
なリンク機構であつてもよい。
また上記実施例ではエリアビーム形の電子線照
射装置について説明したが、スキヤンビーム形の
電子線照射装置であつてもよい。
射装置について説明したが、スキヤンビーム形の
電子線照射装置であつてもよい。
(ト) 考案の効果
この考案によれば、それぞれの移動機構をビー
ムキヤツチヤ下部の窓フランジやビームキヤツチ
ヤ水冷用の配管などの空間を利用して設けるの
で、窓フランジ着脱のためのメンテナンス作業が
容易にでき、照射室を従来の装置に比べて小さく
設計することができる電子線照射装置が得られ
る。
ムキヤツチヤ下部の窓フランジやビームキヤツチ
ヤ水冷用の配管などの空間を利用して設けるの
で、窓フランジ着脱のためのメンテナンス作業が
容易にでき、照射室を従来の装置に比べて小さく
設計することができる電子線照射装置が得られ
る。
第1図はこの考案の実施例の構成を示す一部縦
断面正面図、第2図は実施例の要部の構成を示す
側面図、第3図はこの考案の他の実施例の要部の
構成を示す正面図、第4図は従来例の構成を示す
一部縦断面側面図である。 1……真空チヤンバ、4……窓フランジ、5…
…照射窓、5a……金属箔、6……連結部材、7
……ビームキヤツチヤ、8……照射室、9,12
……第1移動機構、10,15……第2移動機
構。
断面正面図、第2図は実施例の要部の構成を示す
側面図、第3図はこの考案の他の実施例の要部の
構成を示す正面図、第4図は従来例の構成を示す
一部縦断面側面図である。 1……真空チヤンバ、4……窓フランジ、5…
…照射窓、5a……金属箔、6……連結部材、7
……ビームキヤツチヤ、8……照射室、9,12
……第1移動機構、10,15……第2移動機
構。
Claims (1)
- 真空チヤンバ内で加速した電子を、真空チヤン
バに着脱可能に設けられる窓フランジにより張設
されて照射窓を形成する金属箔を介して、照射室
内の照射窓に対向する位置に設けられるビームキ
ヤツチヤと照射窓との照射室内空間にある被照射
物に照射する電子線照射装置において、窓フラン
ジとビームキヤツチヤとを所定の間隔をあけて連
結する連結部材と、窓フランジを真空チヤンバに
着脱する際にビームキヤツチヤを電子線照射方向
と同一方向に往復移動させる第1移動機構と、真
空チヤンバから取り外されている窓フランジを照
射室内に搬入出させる第2移動機構とを具備した
ことを特徴とする電子線照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13178987U JPH0538526Y2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13178987U JPH0538526Y2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6435654U JPS6435654U (ja) | 1989-03-03 |
JPH0538526Y2 true JPH0538526Y2 (ja) | 1993-09-29 |
Family
ID=31388176
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13178987U Expired - Lifetime JPH0538526Y2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0538526Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011051064A (ja) * | 2009-09-02 | 2011-03-17 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
JP5707286B2 (ja) * | 2011-09-21 | 2015-04-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の調整方法、および試料の検査若しくは試料の観察方法。 |
JP6207824B2 (ja) * | 2012-10-01 | 2017-10-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、隔膜の位置調整方法および隔膜位置調整ジグ |
JP5976147B2 (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の調整方法、および試料の検査若しくは試料の観察方法。 |
-
1987
- 1987-08-28 JP JP13178987U patent/JPH0538526Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6435654U (ja) | 1989-03-03 |
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