JPH0538526Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 この考案は電子線照射装置に関し、とくに照射
窓を形成する金属箔を取り換える際の窓フランジ
のメンテナンス機構を備えた電子線照射装置に関
する。

(ロ) 従来の技術 従来、電子線照射装置は、第４図に示すよう
に、電子を発生させ加速させる加速部を収納した
真空チヤンバ２０と、電子を引き出すための照射
窓を形成する金属箔を張設する窓フランジ２１
と、照射室２２と、照射窓に対向する位置に配設
されるビームキヤツチヤ２３とを具備している。
窓フランジ２１はその側方に設けられたジヤツキ
などからなる取付機構により真空チヤンバ２０に
着脱可能に取り着けられている。

上記構成の電子線照射装置では、劣化した金属
箔を取り換える場合、取付機構を操作して窓フラ
ンジ２１を真空チヤンバ２０より取り外し、その
窓フランジ２１を作業者の手作業あるいは照射室
２２内にその受台部分２４ａを搬入した取り出し
用台車２４などにのせて照射室２２外に取り出し
ておこなうものである。また、金属箔を取り換え
た後の窓フランジ２１は上記のように手作業また
は取り出し用台車２４にのせて照射室２２内に搬
入し、取付機構により真空チヤンバ２０に取り付
けられる。

(ハ) 考案が解決しようとする問題点 しかしながら、窓フランジ２１の真空チヤンバ
２０への取り付けを取付機構にておこなつている
ので、照射室が必然的に大きくなるという欠点が
あつた。また取り出し用台車２４を使用すること
を考慮して、ビームキヤツチヤ２３と照射窓との
間隔を大きくしなければならなかつた。そのた
め、照射室の温度上昇や不活性ガスなどの冷却ガ
ス量の増大といつた不都合があつた。

この考案は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、金属箔のメンテナンスのための機構を予め具
備し照射室を小さくすることが可能な電子線照射
装置を提供しようとするものである。

(ニ) 問題点を解決するための手段 この考案は、窓フランジとビームキヤツチヤと
を所定の間隔をあけて連結する連結部材と、窓フ
ランジを真空チヤンバに着脱する際にビームキヤ
ツチヤを電子線照射方向と同一方向に往復移動さ
せる第１移動機構と、真空チヤンバから取り外さ
れている窓フランジを照射室内に搬入出させる第
２移動機構とを具備したことを特徴とする。

(ホ) 作用 窓フランジを真空チヤンバから取り外す場合、
第１移動機構は操作されると、ビームキヤツチヤ
を電子線照射方向と同一方向に移動させ、連結部
材によつてビームキヤツチヤに連結されている窓
フランジを真空チヤンバから取り外す。取り外さ
れた窓フランジは、ビームキヤツチヤが第２移動
機構により移動されることにより照射室外へと搬
出される。

また、窓フランジを真空チヤンバに取り付ける
場合、第２移動機構によりビームキヤツチヤを照
射室内に搬入し、第１移動機構により真空チヤン
バ方向に移動させることにより、窓フランジを真
空チヤンバに取り付けることができる。

(ヘ) 実施例 以下この考案の実施例を図面にて詳述するが、
この考案は以下の実施例に限定されるものではな
い。

第１図に示す電子線照射装置は、加速した電子
を操作しないエリアビーム形の電子線照射装置で
ある。

第１図において、１は真空チヤンバで、ステン
レス製の円筒であり、その内部中央に電子を発生
させるカソードフイラメント２とそのカソードフ
イラメント２をとり囲むように配設させるカソー
ドシールド３を具備し、下方の開口に窓フランジ
４が着脱可能に取り付けられている。窓フランジ
４は、真空チヤンバ１の開口に密着される照射窓
枠４ａと、真空チヤンバ１内で加速した電子を取
り出す照射窓５を形成する金属箔５ａを照射窓枠
４ａに取り外し可能に密着して張設する金属箔押
え枠４ｂとで構成される。照射窓枠４ａと金属箔
押え枠４ｂとは金属箔５ａを挟んだ状態で、たと
えばボルト・ナツト（図示しない）にて一体にな
つている。６は連結部材で、窓フランジ４の金属
箔押え枠４ｂとビームキヤツチヤ７とに所定の間
隔をあけてたとえば溶接などにて固定されてそれ
ぞれを連結している。連結部材６の長さは、電子
線が照射される被照射物、たとえば磁気テープな
どの厚み寸法などにより適宜決定すればよい。ビ
ームキヤツチヤ７は、照射室８内の照射窓５に対
向する位置、つまり照射窓５の下方に設けられ、
被照射物を突き抜けてきた利用されない電子を吸
収する。９は第１移動機構で、ビームキヤツチヤ
７の前端側面に回動可能に設けられる雌ねじ部材
９ａと雌ねじ部材９ａに螺合される雄ねじ部材９
ｂと、第２移動機構１０を構成する台車１０ａの
上面に立設されたフラツトバー１０ｂとビームキ
ヤツチヤ７の下面に立設されたフラツトバー７ａ
とのそれぞれにピン１１により両端部を回動可能
に取り付けられてビームキヤツチヤ７と台車１０
ａとを連結する複数の支持部材９ｃと、台車１０
ａの前端側面に設けられ雄ねじ部材９ｂの下方端
を回動可能に保持する保持部材９ｄとで構成され
る。また第２移動機構１０は、台車１０ａと、台
車下面に設けられる複数（この実施例では４個）
のキヤスタ１０ｃとで構成される。第２図はそれ
ぞれの移動機構９，１０の側面図である。

以上の構成において、窓フランジ４を真空チヤ
ンバ１より取り外す場合、たとえばそれぞれのね
じ部材９ａ，９ｂが右ねじであれば、雄ねじ部材
９ｂを反時計方向に回転させる。これによつて、
雌ねじ部材９ａと保持部材９ｄとの間が短かくな
り、それぞれの支持部材９ｃが前傾してビームキ
ヤツチヤ７と台車１０ａとの距離が短かくなる。
したがつて前記の距離が短かくなつた分だけ窓フ
ランジ４は降下し、真空チヤンバ１より取り外さ
れることとなる。この状態で台車１０ａを移動さ
せることにより、窓フランジ４をビームキヤツチ
ヤ７とともに照射室８外へ搬出する。

次に窓フランジ４を真空チヤンバ１に取り付け
る場合、まず台車１０ａを照射室８内に向つて移
動させて窓フランジ４を照射室８内に搬入する。
そして窓フランジ４がほぼ真空チヤンバ１の窓フ
ランジ４取付位置下方に搬入された時点で台車１
０ａの移動を停止する。次に雄ねじ部材９ｂを時
計方向に回転させることにより、雌ねじ部材９ａ
と保持部材９ｄとの距離が長くなり、これによつ
てビームキヤツチヤ７は上昇して真空チヤンバ１
に密着固定される。

第３図はこの考案の他の実施例の要部の構成を
示す図である。

この他の実施例においては、第１移動機構１２
は照射室８の床面に固定されている。第１移動機
構１２は、上面にビームキヤツチヤ７を摺動可能
となす摺動部材１２ａを設けた上板部材１２ｂ
と、上板部材１２ｂの前端側面に回動可能に設け
られる雌ねじ部材１２ｃと、雌ねじ部材１２ｃに
螺合される雄ねじ部材１２ｄと、照射室８の床面
にたとえばボルトで固定される基台１２ｅと、上
板部材１２ｂの下面に立設されたフラツトバー
（図示しない）と基台１２ｅの上面に立設された
フラツトバー１３とのそれぞれにピン１４により
両端部を回動可能に取り付けられて上板部材１２
ｂと基台１２ｅとを連結する複数の支持部材１２
ｆと、基台１２ｅの前端側面に設けられ雄ねじ部
材１２ｄの下方端を回動可能に保持する保持部材
１２ｇとで構成される。また第２移動機構１５は
ビームキヤツチヤ７下面に取り付けられた複数の
車輪で構成される。

この他の実施例においても上記実施例同様、雄
ねじ部材１２ｄを時計方向あるいは反時計方向に
回転させることにより、上板部材１２ｂ上に載置
されたビームキヤツチヤ７延いては窓フランジ４
を上昇あるいは降下させることができる。また第
２移動機構１５の車輪は、第１移動機構１２の最
低高さ寸法より大きな車輪径を有するものを使用
すれば、上記実施例同様、ビームキヤツチヤ７と
ともに窓フランジ４を移動させることができる。
また前記最低高さ寸法より小さな車輪径の車輪を
使用する場合は、車輪をたとえばレールに載置す
ることによつてビームキヤツチヤ７を移動可能と
させる構成にしてもよい。

なお第１移動機構としては、上記のそれぞれの
実施例のほかに、１つのハンドルで連動するねじ
ジヤツキや油圧ジヤツキを複数使用して構成する
ものであつてもよく、また、パンタグラフのよう
なリンク機構であつてもよい。

また上記実施例ではエリアビーム形の電子線照
射装置について説明したが、スキヤンビーム形の
電子線照射装置であつてもよい。

(ト) 考案の効果 この考案によれば、それぞれの移動機構をビー
ムキヤツチヤ下部の窓フランジやビームキヤツチ
ヤ水冷用の配管などの空間を利用して設けるの
で、窓フランジ着脱のためのメンテナンス作業が
容易にでき、照射室を従来の装置に比べて小さく
設計することができる電子線照射装置が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例の構成を示す一部縦
断面正面図、第２図は実施例の要部の構成を示す
側面図、第３図はこの考案の他の実施例の要部の
構成を示す正面図、第４図は従来例の構成を示す
一部縦断面側面図である。 １……真空チヤンバ、４……窓フランジ、５…
…照射窓、５ａ……金属箔、６……連結部材、７
……ビームキヤツチヤ、８……照射室、９，１２
……第１移動機構、１０，１５……第２移動機
構。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空チヤンバ内で加速した電子を、真空チヤン
   バに着脱可能に設けられる窓フランジにより張設
   されて照射窓を形成する金属箔を介して、照射室
   内の照射窓に対向する位置に設けられるビームキ
   ヤツチヤと照射窓との照射室内空間にある被照射
   物に照射する電子線照射装置において、窓フラン
   ジとビームキヤツチヤとを所定の間隔をあけて連
   結する連結部材と、窓フランジを真空チヤンバに
   着脱する際にビームキヤツチヤを電子線照射方向
   と同一方向に往復移動させる第１移動機構と、真
   空チヤンバから取り外されている窓フランジを照
   射室内に搬入出させる第２移動機構とを具備した
   ことを特徴とする電子線照射装置。