JPH05337774A - Two-dimensional positioning device - Google Patents
Two-dimensional positioning deviceInfo
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- JPH05337774A JPH05337774A JP17759392A JP17759392A JPH05337774A JP H05337774 A JPH05337774 A JP H05337774A JP 17759392 A JP17759392 A JP 17759392A JP 17759392 A JP17759392 A JP 17759392A JP H05337774 A JPH05337774 A JP H05337774A
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- Japan
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- dimensional positioning
- positioning device
- fixed
- memory alloy
- shape memory
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、平板や円盤上物体等の
二次元位置決め装置に係わり、殊にクリ−ンな環境での
が要求されるウェ−ハやＬＣＤ等の位置決め装置に好適
な装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a two-dimensional positioning device for a flat plate, a disc-shaped object or the like, and is particularly suitable for a positioning device such as a wafer or LCD which is required in a clean environment. Regarding the device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】高密度及び高精度の加工が施されるウェ
−ハやＬＣＤの基板は、加工や検査を行うに当たって高
精度の位置決めが要求される。この位置決め機構は、Ｘ
方向及びＹ方向の押し付け基準面を設け、この押し付け
基準面に向けてウェ−ハやＬＣＤの基板を押し付けるこ
とによって位置決めするものである。この押し付けのた
めのアクチュエ−タとしては、エアシリンダやモ−タ等
が用いられていた。2. Description of the Related Art Wafers and LCD substrates which are processed with high density and high precision are required to have high precision positioning in performing processing and inspection. This positioning mechanism is
A pressing reference surface in the Y direction and the Y direction is provided, and the wafer or LCD substrate is pressed toward the pressing reference surface for positioning. An air cylinder, a motor or the like has been used as an actuator for this pressing.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来装置
においても、ダストが発生しないような材質の選択や構
造の改良が提案されているが、エアシリンダやモ−タ自
体の構造からしてその改良にも限界があり、一層の高密
度・高精度加工が要求されるに従って十分対応できない
という問題がある。さらに、これらの駆動機構は構造上
相当程度の空間が必要となるので、位置決め装置自体の
小形化や構造の簡素化にとっての大きな障害であった。Even in the above-mentioned conventional apparatus, it has been proposed to select a material that does not generate dust and to improve the structure. However, in view of the structure of the air cylinder or the motor itself, There is a limit to the improvement, and there is a problem that it cannot be sufficiently dealt with as higher density and higher precision processing is required. Furthermore, these drive mechanisms require a considerable amount of space structurally, which is a major obstacle to downsizing the positioning device itself and simplifying the structure.
【０００４】本発明の目的は、上記従来技術の問題点に
鑑み、ノイズやダストが発生しない二次元位置決め機構
を提供することにある。さらなる目的は、小形化され、
部品点数が少ない位置決め装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a two-dimensional positioning mechanism in which noise and dust do not occur in view of the above problems of the prior art. Further objectives are miniaturized,
It is to provide a positioning device having a small number of parts.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明の二次元位置決め
装置は、上記目的を達成するために、次のような構成を
有する。 （１） 固定された移動規制手段に薄板状の基板を押し
当てることによって二次元的な位置決めを行う二次元位
置決め装置において、基板を押圧するために所定の方向
に移動可能な移動部材と、形状記憶合金の熱変形を動作
力として前記移動部材を押圧する移動部材押圧手段と、
前記形状記憶合金に通電するための通電手段と、通電手
段の通電を制御する制御手段を有することを特徴とす
る。The two-dimensional positioning apparatus of the present invention has the following construction in order to achieve the above object. (1) In a two-dimensional positioning device that performs two-dimensional positioning by pressing a thin plate-shaped substrate against a fixed movement restricting means, a movable member that is movable in a predetermined direction to press the substrate, and a shape. Moving member pressing means for pressing the moving member using thermal deformation of the memory alloy as an operating force,
It is characterized in that it has an energizing means for energizing the shape memory alloy and a control means for controlling energization of the energizing means.
【０００６】（２） （１）の移動部材押圧手段は形状
記憶合金からなる線材から構成され、該線材の両端は給
電端子に固定されていることを特徴とする。(2) The moving member pressing means of (1) is characterized in that it is composed of a wire rod made of a shape memory alloy, and both ends of the wire rod are fixed to power supply terminals.
【０００７】（３） （１）の移動部材押圧手段は形状
記憶合金からなる線材から構成され、該線材の一端は給
電端子を介して装置に固定され、また伸縮する調整部材
を介して装置に接続された給電端子に線材の他端が固定
されていることを特徴とする。(3) The moving member pressing means of (1) is composed of a wire rod made of a shape memory alloy, one end of the wire rod is fixed to the device via a power supply terminal, and is attached to the device via a stretchable adjusting member. The other end of the wire is fixed to the connected power supply terminal.
【０００８】（４） （１）又は（３）の二次元位置決
め装置において、前記移動部材の両翼に固定ロ−ラを設
け、該固定ロ−ラを介して前記移動部材を押圧するよう
に構成したことを特徴とする。(4) In the two-dimensional positioning device of (1) or (3), fixed rollers are provided on both wings of the moving member, and the moving member is pressed through the fixed rollers. It is characterized by having done.
【０００９】[0009]
【実施例１】以下、本発明の１実施例を図面に基づいて
説明する。図１は実施例１の装置の平面図である。１は
液晶基板であり、液晶基板１は図示しない搬送装置によ
り位置決め装置に搬送される。搬送された液晶基板１は
位置決め装置により点線部の位置に位置決めされる。２
はＸ方向の押し付けブロックであり、３はＹ方向の押し
付けブロックであり、中心に対向するブロックの面が位
置決めの基準面となっている。Embodiment 1 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of the device according to the first embodiment. Reference numeral 1 denotes a liquid crystal substrate, and the liquid crystal substrate 1 is transported to a positioning device by a transport device (not shown). The transported liquid crystal substrate 1 is positioned at the position indicated by the dotted line by the positioning device. Two
Is a pressing block in the X direction, 3 is a pressing block in the Y direction, and the surface of the block facing the center serves as a reference surface for positioning.
【００１０】４は形状記憶合金でできた線材であり、こ
の線材の固有の抵抗力により通電するとジュ−ル熱を発
生し、この熱作用により線材は収縮する。線材４の両端
は給電端子５，６に繋がれている。線材４は給電端子
５，６を介して通電可能であり、スイッチ７のオン・オ
フにより通電したり遮電したりする。また、８，９は押
し付けプ−リであり、プ−リ８，９はプ−リと接する線
材の接線方向と直交する方向に直動機構（図示せず）に
より移動可能に構成されている。また、プ−リ８，９に
は外方向（図上の矢印と反対方向）に向うバネ力が働い
ている。１０は固定プ−リであり、固定プ−リ１０を介
して線材４は押し付けプ−リ８，９に接しているので、
線材４の収縮により液晶基盤１をＸ−Ｙ方向にほぼ均等
に押圧することができる。Reference numeral 4 is a wire rod made of a shape memory alloy. Due to the inherent resistance of this wire rod, when it is energized, a Jule heat is generated, and this heat action causes the wire rod to contract. Both ends of the wire 4 are connected to the power supply terminals 5 and 6. The wire 4 can be energized via the power supply terminals 5 and 6, and is energized or cut off by turning on / off the switch 7. Further, 8 and 9 are pressing pulleys, and the pulleys 8 and 9 are configured to be movable by a linear motion mechanism (not shown) in a direction orthogonal to a tangential direction of a wire rod contacting the pulley. .. Further, a spring force acting in an outward direction (a direction opposite to the arrow in the drawing) acts on the pulleys 8 and 9. 10 is a fixed pulley, and the wire rod 4 is in contact with the pressing pulleys 8 and 9 through the fixed pulley 10,
The contraction of the wire 4 allows the liquid crystal substrate 1 to be pressed almost uniformly in the XY directions.
【００１１】以上のような構成の装置において、次にそ
の動作を説明する。液晶基板１は搬送装置により収納位
置から位置決め装置に搬送される。搬送された液晶基板
１は押し付けブロック２，３の内側のほぼ一定の位置に
置かれるが、正確には位置出しされてはいない。スイッ
チ７がオフの時は、プ−リ８，９は外方向（図上の矢印
と反対方向）にバネ力により引っ張られているので、液
晶基板１を押圧しない。液晶基板１の位置決め装置への
搬送完了信号に基づいて、図示しない装置の制御装置に
よりスイッチ７をオンして線材４に通電させると、線材
４の固有の抵抗力によりジュ−ル熱が発生する。この熱
作用により線材４は収縮し、バネ力に抗してプ−リ８，
９を矢印方向に移動する。プ−リ８，９は押圧して液晶
基板１をブロック２，３に押し付けることによって二次
元的な位置決めをする。位置決めが完了したら吸着機構
により液晶基板１を吸着固定し、検査または加工工程に
進む。Next, the operation of the apparatus having the above-mentioned structure will be described. The liquid crystal substrate 1 is transported from the storage position to the positioning device by the transport device. The transported liquid crystal substrate 1 is placed at a substantially constant position inside the pressing blocks 2 and 3, but is not accurately positioned. When the switch 7 is off, the pulleys 8 and 9 are pulled in the outward direction (the direction opposite to the arrow in the drawing) by the spring force, so that the liquid crystal substrate 1 is not pressed. When the controller 7 (not shown) turns on the switch 7 to energize the wire 4 on the basis of a signal indicating that the liquid crystal substrate 1 has been conveyed to the positioning device, jule heat is generated due to the inherent resistance of the wire 4. .. This heat action causes the wire rod 4 to shrink, resisting the spring force and pulling the pulley 8.
Move 9 in the direction of the arrow. The pulleys 8 and 9 are pressed to press the liquid crystal substrate 1 against the blocks 2 and 3 for two-dimensional positioning. When the positioning is completed, the liquid crystal substrate 1 is sucked and fixed by the suction mechanism, and the inspection or processing process is performed.
【００１２】[0012]
【実施例２】実施例２は実施例１をさらに改良したもの
である。図２において、１１は装置のフレ−ムである。
給電端子１２はフレ−ム１１に固着され、給電端子１３
はスプリング１４を介してフレ−ム１１に固定されてい
る。１５は０．２mm径の形状記憶合金からなる線材であ
り、その両端は給電端子１２と１３に接続されている。
１６は固定ロ−ラであり、フレ−ム１１に固定配置され
る。１７はＸ軸用，１８はＹ軸用の押し付けロ−ラであ
り、それぞれＸ軸またはＹ軸方向に直動する。１９はＸ
軸方向の位置規定用ピンであり、２０はＹ軸方向の位置
規定用ピンである。実施例１に対する実施例２の装置の
特徴は、線材の伸縮による押し付けロ−ラの移動量が大
きくなるように構成にしたことと、基板に対する押圧力
をスプリング１４により調整可能にした点である。[Embodiment 2] Embodiment 2 is a modification of Embodiment 1. In FIG. 2, 11 is a frame of the apparatus.
The power supply terminal 12 is fixed to the frame 11, and the power supply terminal 13
Is fixed to the frame 11 via a spring 14. Reference numeral 15 is a wire rod made of a shape memory alloy having a diameter of 0.2 mm, and both ends thereof are connected to the power supply terminals 12 and 13.
A fixed roller 16 is fixedly arranged on the frame 11. Reference numeral 17 is a pressing roller for the X-axis and 18 is a pressing roller for the Y-axis, which move linearly in the X-axis or Y-axis direction. 19 is X
The reference numeral 20 is an axial position defining pin, and 20 is a Y axis position defining pin. The features of the device of the second embodiment relative to the first embodiment are that the pressing roller is configured to increase the movement amount due to expansion and contraction of the wire rod, and the pressing force against the substrate can be adjusted by the spring 14. ..
【００１３】以上の実施例は種々の変容が可能であり、
これらの変容も技術思想を同一にする限りで、本発明に
含まれるものである。。The above embodiment can be variously modified,
These changes are included in the present invention as long as the technical idea is the same. ..
【００１４】[0014]
【発明の効果】本発明によれば、ノイズやダストが発生
しない二次元位置決め機構を提供でき、さらには、小形
化され、部品点数が少ない位置決め装置を提供すること
ができる。According to the present invention, it is possible to provide a two-dimensional positioning mechanism in which noise and dust are not generated, and further it is possible to provide a miniaturized positioning device having a small number of parts.
【図１】実施例１の二次元位置決め装置を示す説明図で
ある。FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a two-dimensional positioning device according to a first embodiment.
【図２】実施例２の二次元位置決め装置を示す説明図で
ある。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a two-dimensional positioning device according to a second embodiment.
１ 液晶基板 ２，３ 押し付けブロック ４ 線材 ５，６ 給電端子 ７ スイッチ ８，９ プ−リ １０ 固定プ−リ 1 Liquid Crystal Substrate 2,3 Pressing Block 4 Wire Rod 5,6 Feeding Terminal 7 Switch 8,9 Pulley 10 Fixed Pulley
Claims (4)
を押し当てることによって二次元的な位置決めを行う二
次元位置決め装置において、基板を押圧するために所定
の方向に移動可能な移動部材と、形状記憶合金の熱変形
を動作力として前記移動部材を押圧する移動部材押圧手
段と、前記形状記憶合金に通電するための通電手段と、
通電手段の通電を制御する制御手段を有することを特徴
とする二次元位置決め装置。1. A two-dimensional positioning device for performing two-dimensional positioning by pressing a thin plate-shaped substrate against a fixed movement regulating means, and a movable member movable in a predetermined direction to press the substrate. A moving member pressing unit that presses the moving member by using the thermal deformation of the shape memory alloy as an operating force; and an energizing unit for energizing the shape memory alloy,
A two-dimensional positioning device comprising control means for controlling energization of an energization means.
合金からなる線材から構成され、該線材の両端は給電端
子に固定されていることを特徴とする二次元位置決め装
置。2. The two-dimensional positioning device according to claim 1, wherein the moving member pressing means is composed of a wire rod made of a shape memory alloy, and both ends of the wire rod are fixed to power supply terminals.
合金からなる線材から構成され、該線材の一端は給電端
子を介して装置に固定され、また伸縮する調整部材を介
して装置に接続された給電端子に線材の他端が固定され
ていることを特徴とする二次元位置決め装置。3. The moving member pressing means according to claim 1 is composed of a wire rod made of a shape memory alloy, one end of the wire rod is fixed to the device via a power supply terminal, and is connected to the device via a stretchable adjusting member. A two-dimensional positioning device characterized in that the other end of the wire is fixed to the supplied power supply terminal.
おいて、前記移動部材の両翼に固定ロ−ラを設け、該固
定ロ−ラを介して前記移動部材を押圧するように構成し
たことを特徴とする二次元位置決め装置。4. The two-dimensional positioning apparatus according to claim 2 or 3, wherein fixed blades are provided on both blades of the moving member, and the moving member is pressed through the fixed rollers. Characteristic two-dimensional positioning device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17759392A JPH05337774A (en) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | Two-dimensional positioning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17759392A JPH05337774A (en) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | Two-dimensional positioning device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05337774A true JPH05337774A (en) | 1993-12-21 |
Family
ID=16033709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17759392A Pending JPH05337774A (en) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | Two-dimensional positioning device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05337774A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015139855A (en) * | 2014-01-29 | 2015-08-03 | ファナック株式会社 | Workpiece positioning device for positioning workpiece on two reference planes |
-
1992
- 1992-06-10 JP JP17759392A patent/JPH05337774A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015139855A (en) * | 2014-01-29 | 2015-08-03 | ファナック株式会社 | Workpiece positioning device for positioning workpiece on two reference planes |
| US9333610B2 (en) | 2014-01-29 | 2016-05-10 | Fanuc Corporation | Workpiece positioning device positioning workpiece at two reference surfaces |
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