JPH05335789A

JPH05335789A - 基板支持機構

Info

Publication number: JPH05335789A
Application number: JP4163611A
Authority: JP
Inventors: Munekazu Inoue; 宗和井上; Masaji Ota; 正司太田; Kenji Nemoto; 兼治根本
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1992-05-29
Filing date: 1992-05-29
Publication date: 1993-12-17
Anticipated expiration: 2014-11-10
Also published as: JP2977106B2

Abstract

(57)【要約】【目的】熱による基板の変形を矯正する基板支えガイ
ドを設け、基板支えガイドを装置本体を分解せずに着脱
可能とする。【構成】調整ネジ４を回転してリンクアーム９を回動
し、基板支えユニット１１を昇降させる。また基板支え
ユニット１１に設けられたネジ１７により、リンクアー
ム９に対する傾斜角を調整する。さらに基板１４の両側
をローラで押えて、そりの発生を防止する。また駆動力
伝達部を構成する各部材を２分割する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、熱風半田付け装置など
に設けられ、プリント基板を載置して搬送する基板支持
機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記のような基板支持機構は、従来は基
板を支持する基板支持部材が本体装置の駆動源により駆
動され、かつ、上下動するようになっており、かつ基板
幅に応じて左右にスライドするようになっていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】熱風半田装置などの高
温雰囲気内で搬送される基板は、熱による変形が発生
し、幅方向及び長さ方向にそりが生じる。特に基板が加
熱部外に進行するときに、進行方向の端部は自重により
下方にだれる可能性がある。しかしながら従来の基板支
持機構においては、このように基板の変形を防止するた
めの配慮がなされていなかった。また、基板を支持する
チェーン幅が広いため、電子部品と接触して応力が加わ
る恐れもあった。さらに、装置を使用していないときに
基板支持機構の取外しができない欠点もあった。

【０００４】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
もので、基板の変形による矯正量の調整を容易に行なう
ことができ、電子部品に応力が加わることを防止でき、
しかも装置本体からの取外しが容易な基板支持機構を提
供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の基板支
持機構は、装置本体１に取り付けられ、基板１４を支持
して搬送する搬送チェーン１３が設けられた基板支持部
材としての基板支えガイド１１を有する基板支持機構で
あって、基板支えガイド１１を昇降する昇降駆動手段
と、基板支えガイド１１の傾斜角を調整する傾斜角調整
手段と、搬送チェーン１３上に基板１４を押圧する押圧
手段とを備えることを特徴とする。

【０００６】請求項２に記載の基板支持機構は、昇降駆
動手段は、装置本体１と基板支えガイド１１とを連結す
るリンク機構としてのリンクアーム９と、リンクアーム
９を回動する調整ネジ４とを備えることを特徴とする。

【０００７】請求項３に記載の基板支持機構は、押圧手
段は、一端が装置本体１に回動可能に取り付けられたア
ーム６２と、アーム６２の他端に回転可能に装着された
ローラ６５とを備えることを特徴とする。

【０００８】請求項４に記載の基板支持機構は、搬送チ
ェーン１３を駆動するスプロケット１８と、スプロケッ
ト１８を同心状に固定する回転軸８６と、回転軸８６を
回転自在に支持する軸受８４とをそれぞれ２分割とした
ことを特徴とする。

【０００９】請求項５に記載の基板支持機構は、回転軸
８６の内周と回転軸８６の中心に挿通されたスプライン
軸１９との間に、内周がスプライン軸１９に噛合し、外
周が回転軸８６の内周に係止され、しかも周方向に複数
個に分割されたスプラインナット８９を設けたことを特
徴とする。

【００１０】

【作用】請求項１乃至３に記載の基板支持機構において
は、調整ネジ４を回転することによりリンクアーム９が
回動し、基板支えガイド１１を昇降駆動させることがで
き、基板１４の幅方向中心を支持して基板１４の高さの
微調整を行なうことができる。また、傾斜角調整手段に
より基板支えガイド１１の傾斜角を調整することがで
き、基板１３の搬送方向先端のだれの発生を防止するこ
とができる。さらに、一端が装置本体１に回動可能に取
り付けられたアーム６２の他端にローラ６５が装着され
ており、ローラ６５により基板１４の上面両側を押圧し
て、基板支えガイド１１とともに基板１４のそりの発生
を防止することができる。

【００１１】請求項４及び５に記載の基板支持機構にお
いては、スプロケット１８、回転軸８６、軸受８４及び
スプラインナット８９をそれぞれ分割可能としたので、
駆動力伝達機構を装置本体から容易に取外すことができ
る。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の基板支持機構の一実施例を図
面を参照して説明する。

【００１３】図１に、本発明の一実施例による基板支え
ガイドの上昇、下降、傾斜機構の構成を示す。図１にお
いて、装置本体１に固定された台座２の一端には、コ字
状の支持ブロック３が取り付けられており、支持ブロッ
ク３には、台座２の面に平行に高さ調整ネジ４が回転自
在に支持されている。高さ調整ネジ４には、スライドコ
マ５が螺合しており、スライドコマ５は、高さ調整ネジ
４を回転することにより、支持ブロック３内において矢
印Ａ−Ａ方向に移動可能となっている。また台座２の支
持ブロック３に対して反対側の面には、連結スライド板
６が摺接しており、連結スライド板６には４本の連結ピ
ン７が平行に立設されている。そして連結ピン７は、台
座２に相互に平行に形成された４個の長孔２ａを介し
て、反対側に突出しており、図中右端の連結ピン７ａは
スライドコマ５と係合している。

【００１４】一方、台座２には、それぞれ支点ピン８を
介して２個のリンクアーム９の一端が回動可能に連結さ
れており、リンクアーム９にはそれぞれ長孔９ａが形成
されている。そして長孔９ａにはそれぞれ連結スライド
板６に立設された連結ピン７ｂ、７ｄが摺動自在に係合
している。またリンクアーム９の他端には、それぞれリ
ンクアームピン１０を介して基板支えガイド１１が回動
可能に連結されており、基板支えガイド１１の両端に
は、スプロケット１２が回転自在に設けられている。そ
してスプロケット１２には搬送チェーン１３が巻回され
ており、搬送チェーン１３上には基板１４が載置されて
いる。また装置本体１の両側壁（図１では片側のみ示
す）には、ガイドレール１５に案内されて走行する本体
チェーン１６が設けられている。

【００１５】基板支えガイド１１は、図中左側のリンク
アーム９のリンクアームピン１０ｂを介して回動可能に
連結されており、右側のリンクアーム９のリンクアーム
ピン１０ａは、基板支えガイド１１に形成された長孔１
１ａを介して基板支えガイド１１に連結されている。ま
た基板支えガイド１１には傾斜調整ネジ１７が植設され
ており、ネジ１７の先端はリンクアームピン１０ａに係
合している。そしてネジ１７を回転することにより、基
板支えガイド１１をリンクアームピン１０ａに対して昇
降させ、基板支えガイド１１の傾斜角度を調整できるよ
うになっている。

【００１６】本実施例によれば、高さ調整ネジ４を回転
することによりスライドコマ５が矢印Ａ−Ａ方向に移動
し、スライドコマ５に係合している連結ピン７ａを介し
て連結スライド板６も矢印Ａ−Ａ方向に移動する。この
結果、連結ピン７ｂ、７ｄを介してリンクアーム９が矢
印Ｂ−Ｂ方向に回動し、基板支えガイド１１の高さを調
整することができる。また、傾斜調整ネジ１７を回転す
ることにより、基板支えガイド１１をリンクアームピン
１０ｂを支点として回動させ、傾斜角度の微調整を行な
うことができる。

【００１７】図２乃至図４に、本発明の他の実施例によ
る基板支えガイド１１の上昇、下降、傾斜機構の構成を
示す。本実施例では、図１に示すリンクアーム９の代り
に、台座２に傾斜して１対の長孔２１を設けたものであ
る。台座２の上面には、２対の支持部２ａが突出して設
けられており、それぞれの支持部２ａ間に基板支えガイ
ド１１の脚部２２、２３が嵌合している。また、図中左
側の脚部２２には、連結ピン２４が植設されており、連
結ピン２４は支持部２ａに傾斜して形成された長孔２１
ａに係合している。

【００１８】台座２の図中右端には、駆動ブロック２５
が矢印Ａ−Ａ方向に移動可能に取り付けられており、台
座２の両側面に植設された１対のガイドピン２６が駆動
ブロック２５の両側に形成された１対の長孔２５ａにそ
れぞれ案内されている。また、台座２の右側端面にはボ
ルト２７が植設されており、ボルト２７にはロレットネ
ジ２８が螺合している。さらにロレットネジ２８は、駆
動ブロック２５の内側に回転自在に取り付けられてお
り、ロレットネジ２８を回転することにより、駆動ブロ
ック２５が矢印Ａ−Ａ方向に移動するようになってい
る。

【００１９】基板支えガイド１１の図中右側の脚部２３
は、図４に示すように、上部脚部２９と下部脚部３０と
から構成されている。上部脚部２９は、連結ピン３１を
介して基板支えガイド１１に回動可能に連結されてお
り、上部脚部２９の下面中心には垂直方向にボルト３２
が植設されている。また上部脚部２９の下面には、回転
止めスラストピン３３が設けられており、スラストピン
３３の下端は下部脚部３０の上面に軸方向に移動可能に
挿通されている。さらに下部脚部３０には、ロレットネ
ジ３４が軸方向の移動が係止されて回転自在に装着され
ており、ロレットネジ３４の中心にボルト３２が螺合し
ている。そしてロレットネジ３４を回転することによ
り、上部脚部２９が矢印Ｃ−Ｃで示す方向に昇降するよ
うになっている。

【００２０】下部脚部３０は、台座２の右側の支持部２
ａ間に挿入されており、両側に突出して固定された連結
ピン３５が支持部２ａに傾斜して形成された長孔２１ｂ
に係合している。ここで左右の長孔２１ａ、２１ｂは、
平行に形成されている。また連結ピン３５の両端は支持
部２ａから突出しており、駆動ブロック２５の両側に形
成された長孔２５ｂに係合している。また長孔２５ｂは
長孔２１ｂに対して反対の方向に傾斜している。

【００２１】本実施例によれば、ロレットネジ２８を回
転することにより駆動ブロック２５が矢印Ａ−Ａ方向に
移動し、連結ピン３５を介して基板支えガイド１１を矢
印Ｃ−Ｃで示す方向に昇降させて高さ調整を行なうこと
ができる。またロレットネジ３４を回転することによ
り、連結ピン２４を支点として基板支えガイド１１を回
動させ、傾斜角度の微調整を行なうことができる。

【００２２】図５乃至図７に、本発明の別の実施例によ
る基板支えガイド１１の上昇、下降、傾斜機構の構成を
示す。図５に示す実施例では、１対のリンクアーム４１
の中間点を支点ピン４２を介して台座２に回動可能に支
持し、リンクアーム４１の下端をロッド４３で駆動する
ようにした。ロッド４３は台座２に取り付けられた３個
の軸受４４により矢印Ａ−Ａ方向に移動可能に支持され
ており、ロッド４３の右端には外径ネジが形成されてい
る。ロッド４３の外径ネジには、高さ調整ネジ４が螺着
されており、ネジ４は右端の軸受４４により軸方向の移
動が係止されている。

【００２３】リンクアーム４１の下端の４面には、長孔
４１ａ、４１ｂがそれぞれ貫通して設けられており、一
方の長孔４１ａには、ロット４３が貫通している。また
他方の長孔４１ｂには、ロッド４３の外周に突出して設
けられた連結ピン４５が係合しており、高さ調整ネジ４
４を回転することによりロッド４３が矢印Ａ−Ａ方向に
移動し、支点４２を中心としてリンクアーム４１を矢印
Ｂ−Ｂ方向に回動するようになっている。リンクアーム
４１のうち左側のリンクアーム４１の上端は、リンクア
ームピン４５を介して基板支えガイド１１に回動可能に
連結されている。また、右側のリンクアーム４１の上端
は、傾斜調整ネジ４６を介して基板支えガイド１１に回
動及び昇降可能に連結されている。なお、図５に示す符
号４７は、ロッド４３の回転を係止するロックネジであ
る。

【００２４】本実施例によっても、前記各実施例と同様
の作用効果を得ることができる。

【００２５】なお、基板支えガイド１１の傾斜機構を図
６または図７に示すように構成してもよい。図６におい
て、図５に示すリンクアーム４１の上端に切欠部４１ｃ
と角孔４１ｄを形成し、切欠部４１ｃにロレットナット
５１を回転自在に、かつ軸方向の移動を係止して装着す
る。またロレットナット５１の中心にはネジ軸５２が螺
合され、ネジ軸５２の上端には八角柱状のブロック５３
が固定されている。ブロック５３は角孔４１ｄ内に上下
動可能に装着されており、連結ピン５４を介して基板支
えガイド１１に連結されている。

【００２６】本実施例によれば、ロレットナット５１を
回転することによりネジ軸５２を上下動させ、ブロック
５３及び連結ピン５４を介して、連結ピン４５を支点と
して基板支えガイド１１を回動させることにより、ガイ
ド１１の傾斜角を調整することができる。

【００２７】また図７に示すように、リンクアーム４１
の上端にレバー５５を回動可能に設け、レバー５５の先
端に偏心して円板５６を固定し、基板支えガイド１１に
形成された角孔５７に円板５６を嵌合し、レバー５５の
回動により基板支えガイド１１を昇降移動させてもよ
い。

【００２８】次に図８を参照して、本発明の一実施例に
よる基板押圧機構の構成を説明する。図８において、図
１に示す実施例の部分に対応する部分には同一の符号を
付してあり、その説明は適宜省略する。装置本体の両側
に設けられ、本体チェーン１６を案内するガイドレール
１５には、左右対称の位置に切込部１５ａが形成されて
いる。また、切込部１５ａに近接してガイドレール１５
上にブラケット６１が固定されており、ブラケット６１
には、上下アーム６２の基端が回動可能に連結されてい
る。上下アーム６２の先端には、それぞれ軸６３が設け
られており、軸６３には、動力伝達スプロケット６４及
び回転押えローラ６５が一体的に同心状に回転自在に支
持されている。

【００２９】動力伝達スプロケット６４は、本体チェー
ン１６と係合して回転力が与えられ、スプロケット６４
と一体に組み込まれた押えローラ６５も回転する。基板
１４の下面は、本体チェーン１６の内側に延長されたピ
ン６６上に支持されており、基板１４の上面には回転押
えローラ６５が当接し、自重により回転送りを行なう。
また上下アーム６２には、ウエイトネジ６７が着脱可能
に取り付けられており、ブラケット６１には、ウエイト
ネジ６１に係合して押えローラ６５の高さを規制する高
さ調整ネジ６８が軸方向に移動可能に装着されている。

【００３０】本実施例によれば、基板１４が変形により
本体チェーン１６のピン６６から浮いた場合に、アーム
６２の円弧運動により押えローラ６５が基板１４を上面
から押えるので、基板浮きの発生を防止することができ
る。また基板１４の幅方向中心を支持する基板支えガイ
ド１１とともに、基板１４のそりの矯正を行なうことが
できる。

【００３１】また、基板１４の変形を少くすることがで
きるので、基板１４を製品に組み込み易くなり、しかも
半田の他回路への流れ込みや回路の断線の発生を防止で
きる。さらに、押えローラ６５が基板１４を押圧する荷
重は、ウエイトネジ６７を交換することにより容易に調
整することができる。また、押えローラ６５で基板１４
を押圧する必要のない場合には、高さ調整ネジ６８を前
進させてウエイトネジ６７と係合させることにより、押
えローラ６５を押し上げて下降端の位置決めを行なうこ
とができる。しかも、基板１４は搬送チェーン１３に設
けられた幅の狭い突起部１３ａに支持されているので、
基板１４と突起部１３ａとが線接触となり、電子部品に
応力が加わることを防止できる。

【００３２】図９及び図１０に、本発明の別の実施例に
よる基板押圧機構の構成を示す。本実施例は図８に示す
上下アーム６２及び回転押えローラ６５の代りに、キャ
タピラ式ローラチェーン７１を用いたものである。ロー
ラチェーン７１は無端ループ状となっており、１対のス
プロケット７２間に張架されている。スプロケット７２
は、動力伝達スプロケット６４の軸６３に固定されて回
転力の伝達が行なわれる。またチェーン７１の各部の外
側にはトップローラ７３が回転自在に支持されており、
トップローラ７３が基板１４の上面を押圧している。こ
のときの押圧荷重は、図１０に示すように、スプリング
７４によって回動付勢されているレバー７５の先端にロ
ーラ７６を設け、ローラ７６により矢印Ｄで示す方向に
チェーン７１を押圧することにより与えられる。

【００３３】本実施例によっても、図８に示す実施例と
同様の効果を得ることができる。

【００３４】なお、図１、２、５に示す符号１８は、搬
送チェーン１３を走行駆動するスプロケットであり、符
号１９は、スプロケット１８の中心に嵌合してスプロケ
ット１８を回転駆動するスプライン軸である。

【００３５】図１１乃至図１３に、本発明の一実施例に
よる駆動力伝達機構の構成を示す。これらの図におい
て、図１に示す実施例の部分と対応する部分には同一の
符号を付してある。台座２の中心下部には切欠部８１が
形成されており、切欠部８１を中心として円形の凹部８
２が形成されている。また凹部８２内には、上下１対の
扇形の無給油スラストワッシヤ８３がねじ止めされてい
る。台座２の表面には、凹部８２と等しい半径の軸受面
８４ａを有する上下１対の軸受８４がねじ止めされてお
り、上下１対の軸受８４はピン８５により同心状に位置
決めされている。また軸受８４の軸受面８４ａの外側
は、縮径された軸受面８４ｂとなっている。

【００３６】回転軸８６は、直径上において軸方向に２
分割されており、一端の拡径部８６ａの外周が軸受８４
の拡径された軸受面８４ａに嵌合している。また拡径部
８６ａの端面はスラットワッシャ８３に摺接している。
さらに拡径部８６ａの内周には段差部８６ｂが同心状に
形成されており、段差部８６ｂ内には半円弧状に２分割
された押え板８７が同心状にねじ止めされている。また
２分割された回転軸８６はピン８８を介して同心状に位
置決めされており、ねじ孔８６ｃを介して図示しないね
じにより一体に固定されている。そして回転軸８６の外
周は軸受８４の軸受面８４ｂに嵌合している。

【００３７】回転軸８６の内周面には、直交する直径上
において軸方向に４個の突起部８６ｄが設けられてお
り、各突起部８６ｄ間にはそれぞれ扇形の分割スプライ
ンナット８９が嵌合されている。分割スプラインナット
８９の中心にはスプライン軸１９が挿通されており、分
割スプラインナット８９の内周には、図１２に示すよう
に、スプライン軸１９の外周に形成された歯１９ａと噛
合するそれぞれ３個の歯８９ａが形成されている。

【００３８】回転軸８６の外側の端面には、段差部８６
ｅが同心状に形成されており、段差部８６ｅには、直径
上で２分割されたスプロケット１８が同心状に嵌合され
ている。またスプロケット１８は、回転軸８６の段差部
８６ｅの端面に立設されたピン９０により同心状に位置
決めされる。さらにスプロケット１８の外側の面には、
２分割されたスプロケット締付け板９１が設けられてお
り、図示しないねじにより締付け板９１及びスプロケッ
ト１８が回転軸８６の段差部８６ｅの端面に、同心上に
締め付け固定されている。そして分割スプラインナット
８９は押え板８７と締付け板９１との間に挟持され、脱
落が防止されている。

【００３９】次に、本実施例の作用を説明する。スプラ
イン軸１９の外周に形成された歯１９ａと分割スプライ
ンナット８９の内周に形成された歯８９ａとが噛合して
いるので、図示しない駆動源によって回転駆動されるス
プライン軸１９の回転力は分割スプラインナット８９に
伝達される。また分割スプラインナット８９の両側面８
９ｂは回転軸８６の内周に形成された突起部８６ｄに当
接しているので、分割スプラインナット８９の回転力は
回転軸８６に伝達される。

【００４０】このとき図１３に示すように、分割スプラ
インナット８９が扇形に形成されているので、ナット８
９に伝達される回転力Ｆの分力Ｆａは外側に作用する。
この結果、分割スプラインナット８９がスプライン軸１
９を締め付ける力が作用せず、常に歯１９ａと歯８９ａ
の側面が接触し、かじりが発生することはない。また分
割スプラインナット８９から回転軸８６に伝達される回
転力により、回転軸８６は内側へ移動しようとする。し
かしこのスラスト荷重は軸受８４によって受け止められ
るので、スプライン軸１９に負荷がかかることはない。

【００４１】本実施例によれば、スプロケット１８、ス
ラストワッシャ８３、軸受８４、回転軸８６、押さ板８
７及びスプロケット締付け板９１をそれぞれ２分割と
し、分割スプラインナット８９を４分割としたので、装
置本体を分解することなく駆動力伝達機構を容易に取り
外すことができる。この結果、台座２とともに基板支持
機構を容易に装置本体から取り外すことができる。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１乃至３に
記載の基板支持機構によれば、基板を支持して搬送する
搬送チェーンが設けられた基板支持部材を昇降駆動し、
基板の両側を押圧するようにしたので、熱などによる基
板の変形を容易に矯正することができる。また基板支持
部材の傾斜を調整できるようにしたので、基板の搬送方
向先端のだれの発生を防止することができる。この結
果、基板の変形の発生を防止し、基板の製品への組み込
みを容易にし、しかも半田の他回路への流れ込みや回路
の断線の発生を防止できる。

【００４３】また請求項４、５に記載の基板支持機構に
よれば、搬送チェーンを駆動する駆動部材をスプライン
軸に対して分割可能としたので、装置本体を分解するこ
となく駆動力伝達機構を容易に取り外すことができ、基
板支持機構も装置本体から取り外すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板支持機構の一実施例の構成を示す
斜視図である。

【図２】本発明の他の実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図３】図２の側面図である。

【図４】図２の脚部の構成を示す斜視図である。

【図５】本発明の別の実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図６】本発明の傾斜調整機構の一例の構成を示す斜視
図である。

【図７】本発明の傾斜調整機構の他の一例の構成を示す
斜視図である。

【図８】本発明の基板押圧機構の一例の構成を示す斜視
図である。

【図９】本発明の基板押圧機構の他の一例の要部の構成
を示す斜視図である。

【図１０】図９のローラチェーン押圧機構を示す正面図
である。

【図１１】本発明の一実施例による駆動力伝達機構の構
成を示す分解斜視図である。

【図１２】図１１のスプライン軸と分割スプラインナッ
トとの構成を示す正面図である。

【図１３】図１２の分割スプラインナットに作用する回
転力を示す説明図である。

【符合の説明】

１装置本体４調整ネジ９リンクアーム（リンク機構）１１基板支えガイド（基板支持部材）１３搬送チェーン１４基板１８スプロケット１９スプライン軸６２アーム６５ローラ８４軸受８６回転軸８９スプラインナット

【手続補正書】

【提出日】平成４年１０月２日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】

【作用】請求項１乃至３に記載の基板支持機構におい
ては、調整ネジ４を回転することによりリンクアーム９
が回動し、基板支えガイド１１を昇降駆動させることが
でき、基板１４の幅方向中心を支持して基板１４の高さ
の微調整を行なうことができる。また、傾斜角調整手段
により基板支えガイド１１の傾斜角を調整することがで
き、基板１４の搬送方向先端のだれの発生を防止するこ
とができる。さらに、一端が装置本体１に回動可能に取
り付けられたアーム６２の他端にローラ６５が装着され
ており、ローラ６５により基板１４の上面両側を押圧し
て、基板支えガイド１１とともに基板１４のそりの発生
を防止することができる。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２９】動力伝達スプロケット６４は、本体チェ
ーン１６と係合して回転力が与えられ、スプロケット６
４と一体に組み込まれた押えローラ６５も回転する。基
板１４の下面は、本体チェーン１６の内側に延長された
ピン６６上に支持されており、基板１４の上面には回転
押えローラ６５が当接し、自重により回転送りを行な
う。また上下アーム６２には、ウエイトネジ６７が着脱
可能に取り付けられており、ブラケット６１には、ウエ
イトネジ６７に係合して押えローラ６５の高さを規制す
る高さ調整ネジ６８が軸方向に移動可能に装着されてい
る。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４１】本実施例によれば、スプロケット１８、
スラストワッシャ８３、軸受８４、回転軸８６、押え板
８７及びスプロケット締付け板９１をそれぞれ２分割と
し、分割スプラインナット８９を４分割としたので、装
置本体を分解することなく駆動力伝達機構を容易に取り
外すことができる。この結果、台座２とともに基板支持
機構を容易に装置本体から取り外すことができる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図８

【補正方法】変更

【補正内容】

【図８】

【手続補正７】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１３】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】装置本体に取り付けられ、基板を支持し
て搬送する搬送チェーンが設けられた基板支持部材を有
する基板支持機構であって、前記基板支持部材を昇降する昇降駆動手段と、前記基板支持部材の傾斜角を調整する傾斜角調整手段
と、前記搬送チェーン上に前記基板を押圧する押圧手段とを
備えることを特徴とする基板支持機構。
【請求項２】昇降駆動手段は、装置本体と基板支持部
材とを連結するリンク機構と、前記リンク機構を回動する調整ネジとを備えることを特
徴とする請求項１記載の基板支持機構。
【請求項３】押圧手段は、一端が装置本体に回動可能
に取り付けられたアームと、アームの他端に回転可能に装着されたローラとを備える
ことを特徴とする請求項１または２記載の基板支持機
構。
【請求項４】搬送チェーンを駆動するスプロケット
と、前記スプロケットを同心状に固定する回転軸と、前記回転軸を回転自在に支持する軸受とをそれぞれ２分
割としたことを特徴とする請求項１または２または３記
載の基板支持機構。
【請求項５】回転軸の内周と回転軸の中心に挿通され
たスプライン軸との間に、内周が前記スプライン軸に噛
合し、外周が前記回転軸の内周に係止され、しかも周方
向に複数個に分割されたスプラインナットを設けたこと
を特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載
の基板支持機構。