JPH05334979A - Lens structure for charged beam - Google Patents
Lens structure for charged beamInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は複数の電極または磁極を
備えた荷電ビーム用のレンズ構体に関する。FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a lens assembly for a charged beam having a plurality of electrodes or magnetic poles.
【０００２】[0002]
【従来の技術】荷電ビーム装置におけるビーム光学系で
は、各レンズ間の軸合わせ精度及び各レンズを構成する
電極または磁極相互の軸合わせ精度が荷電ビームの集束
特性を大きく左右するため重要である。2. Description of the Related Art In a beam optical system in a charged beam apparatus, the alignment accuracy between lenses and the alignment accuracy between electrodes or magnetic poles forming each lens are important because they greatly influence the focusing characteristics of the charged beam.
【０００３】レンズ特性を左右する正確な軸合わせ（ア
ライメント）精度はレンズを構成する電極または磁極の
工作精度のみならず、レンズ構造に大きく依存する。荷
電ビームの飛翔方向を光軸（Ｚ軸）とすると、電子ビー
ムやイオンビーム装置で従来から使用されている荷電ビ
ーム用のレンズの多くは、光軸に対して軸（回転）対称
な形状を有する磁界レンズや電界レンズである。The accurate alignment accuracy that influences the lens characteristics largely depends not only on the working accuracy of the electrodes or magnetic poles constituting the lens but also on the lens structure. If the flight direction of the charged beam is the optical axis (Z axis), most of the charged beam lenses that have been conventionally used in electron beam and ion beam devices have a shape that is axial (rotational) symmetric with respect to the optical axis. These are a magnetic field lens and an electric field lens.
【０００４】図１は電界レンズの一例として、三枚電極
レンズの構造を示したものである。図中、１１，１２，
１３がビーム軸に対して軸対称な電極である。１４は中
央電極１２を上下の電極から絶縁して電圧を印加できる
ようにするための絶縁リングである。このレンズにおい
ては、電極１１，１３はアース電位である。中央電極１
２の取り付けにあたっては、絶縁リング１４の両端をメ
タライズ処理し、絶縁リング１４の一端に熔着された金
属リング１５と電極１１の一端を嵌合させると共に、絶
縁リング１４の他端に同様に熔着された金属リング１６
と電極１２を嵌合させるようにしている。そして、この
レンズにおいては、それぞれの嵌合部の同心度とそれぞ
れの嵌合部と電極開口部の同心度とによって軸合わせ精
度が規制されている。ここで１７は電圧印加用のシャフ
トである。FIG. 1 shows the structure of a three-electrode lens as an example of an electric field lens. In the figure, 11, 12,
An electrode 13 is axisymmetric with respect to the beam axis. Reference numeral 14 is an insulating ring for insulating the central electrode 12 from the upper and lower electrodes so that a voltage can be applied. In this lens, the electrodes 11 and 13 are at ground potential. Central electrode 1
In attaching 2, the both ends of the insulating ring 14 are metallized, the metal ring 15 welded to one end of the insulating ring 14 and one end of the electrode 11 are fitted together, and the other end of the insulating ring 14 is similarly welded. Worn metal ring 16
And the electrode 12 are fitted together. In this lens, the alignment accuracy is regulated by the concentricity of each fitting portion and the concentricity of each fitting portion and the electrode opening. Here, 17 is a shaft for voltage application.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の装置に
おいては、軸合わせ精度は、幾つかの嵌合部の嵌め合い
精度及び電極や磁極の開口部間の同心度精度に依存し、
これらの嵌合部での誤差の累積によって高精度化の達成
が困難であった。本発明はこのような従来の欠点を解決
し、レンズ極間の間隔を高精度に設定できると共に、各
レンズ極が高精度に軸合わせされた荷電ビーム用のレン
ズ構体を提供することを目的としている。In the above-mentioned conventional device, the alignment accuracy depends on the fitting accuracy of some fitting portions and the concentricity accuracy between the openings of electrodes and magnetic poles.
Accumulation of errors in these fitting portions made it difficult to achieve high precision. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above conventional drawbacks and to provide a charged beam lens structure in which the distance between lens poles can be set with high accuracy and each lens pole is aligned with high accuracy. There is.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】そのため本発明は、電極
または磁極となる複数のレンズ極と、円筒状の内面を有
し前記複数のレンズ極を収容するハウジングと、前記複
数のレンズ極間に配置されこれらレンズ極の軸方向の位
置を合わせるための第１のスペーサと、前記ハウジング
の内面と前記レンズ極の円形外周面との間に配置された
ボール状または円柱状の複数の第２のスペーサを備え、
第２のスペーサが前記レンズ極を取り囲んで配置される
ことにより前記レンズ極が前記ハウジングに対して軸合
わせされている荷電ビーム用レンズ構体を特徴としてい
る。Therefore, according to the present invention, a plurality of lens poles to be electrodes or magnetic poles, a housing having a cylindrical inner surface for accommodating the plurality of lens poles, and a plurality of lens poles are provided between the plurality of lens poles. A first spacer that is arranged to match the axial positions of these lens poles, and a plurality of ball-shaped or column-shaped second spacers that are arranged between the inner surface of the housing and the circular outer peripheral surface of the lens pole. With spacers,
A charged beam lens assembly is characterized in that a second spacer is disposed around the lens pole so that the lens pole is axially aligned with the housing.
【０００７】[0007]
【作用】第１のスペーサを前記複数のレンズ極の光軸方
向位置を規定するように複数のレンズ極間に配置させる
と共に、前記第２のスペーサのそれぞれを前記レンズ極
の外周面とハウジングの円筒状内面に接触させるように
配置させる。第１のスペーサを平行度良く所定の厚みで
製作することにより各レンズ極の光軸方向位置が高精度
に規定されると共に、高精度に製作することが容易なボ
ール状または円柱状の第２のスペーサによって光軸方向
の位置合わせとは独立に各レンズ極の同心度を得る。そ
れにより、光軸方向位置合わせ及び軸合わせを共に高精
度に達成する。The first spacer is arranged between the plurality of lens poles so as to define the positions of the plurality of lens poles in the optical axis direction, and each of the second spacers is formed on the outer peripheral surface of the lens pole and the housing. It is arranged so as to contact the inner surface of the cylinder. By manufacturing the first spacer with a high degree of parallelism and a predetermined thickness, the position of each lens pole in the optical axis direction is precisely defined, and at the same time, the ball-shaped or column-shaped second spacer is easily manufactured with high accuracy. By the spacer of 1, the concentricity of each lens pole is obtained independently of the alignment in the optical axis direction. Thereby, both the optical axis direction alignment and the axis alignment are achieved with high accuracy.
【０００８】[0008]
【実施例】図２は、三枚電極を備えたレンズ構体に本発
明を適用した実施例を示すためのものである。２１，２
２，２３はビーム軸に対して軸対称な電極である。２
４，２５はリング状の第１のスペーサであり、第１のス
ペーサ２４，２５は絶縁物で形成されている。第１のス
ペーサ２４，２５は電極間隔を規制するためのスペーサ
としての役割と電極間を絶縁する役割を有している。２
６，２７，２８は電極相互の同心度を得るための第２の
スペーサであり、ボール状をしている。２９はレンズ系
を固定するための筒状ハウジングである。電極２１，２
３の電位はアース電位であり、ハウジング２９が金属製
である場合には、ボール状の第２のスペーサ２６，２８
は金属製でもよい。ハウジング２９をセラミックなどの
絶縁物で製作することによって、同心度を得るための第
２のスペーサの直径を小さくし、それにより全体の寸法
を小さくすることができる。また、電極の同心度を得る
ための第２のスペーサは、電極の軸合わせのために各電
極につき３個以上必要である。電極に電圧を印加するた
めのリード線等は図示していないが、第２のスペーサの
取付け位置でハウジング２９に穴加工を施して取り付け
ることが可能である。EXAMPLE FIG. 2 shows an example in which the present invention is applied to a lens assembly having three electrodes. 21,2
Reference numerals 2 and 23 are electrodes that are axisymmetric with respect to the beam axis. Two
Reference numerals 4 and 25 are ring-shaped first spacers, and the first spacers 24 and 25 are made of an insulating material. The first spacers 24 and 25 have a role as a spacer for regulating the electrode interval and a role for insulating between the electrodes. Two
Reference numerals 6, 27, and 28 are second spacers for obtaining concentricity between the electrodes, and have a ball shape. Reference numeral 29 denotes a cylindrical housing for fixing the lens system. Electrodes 21,2
The potential of 3 is earth potential, and when the housing 29 is made of metal, the ball-shaped second spacers 26, 28 are provided.
May be made of metal. By making the housing 29 out of an insulator such as ceramic, the diameter of the second spacer for achieving concentricity can be reduced, thereby reducing the overall size. Moreover, three or more second spacers for obtaining the concentricity of the electrodes are required for each electrode for axial alignment of the electrodes. Although a lead wire or the like for applying a voltage to the electrode is not shown, it is possible to make a hole in the housing 29 at the attachment position of the second spacer and attach it.
【０００９】このような構成において、第１のスペーサ
２４，２５により各電極２１，２２，２３それぞれの軸
方向位置は高精度に規制される。また、電極２１とハウ
ジング２９との間の間隙に第２のスペーサ２６が双方の
面に接触するように配置され、しかも第２のスペーサ２
６は電極２１を取り囲むように３個以上配置されるた
め、電極２１の軸方向の位置決めとは独立に軸合わせが
なされる。各電極２２，２３もそれぞれ第２のスペーサ
２７，２８によって全く同様に軸合わせされるため、各
電極２１，２２，２３はハウジング２９に対して高精度
に軸合わせされる。In such a structure, the axial positions of the electrodes 21, 22 and 23 are regulated with high accuracy by the first spacers 24 and 25. In addition, the second spacer 26 is arranged in the gap between the electrode 21 and the housing 29 so as to contact both surfaces, and the second spacer 2
Since three or more 6 are arranged so as to surround the electrode 21, the axis alignment is performed independently of the axial positioning of the electrode 21. The electrodes 22, 23 are also aligned in exactly the same manner by the second spacers 27, 28, so that the electrodes 21, 22, 23 are aligned with the housing 29 with high precision.
【００１０】上述した実施例は軸対称レンズ構体に関す
るものであったが、軸非対称レンズ構体に対しても本発
明は適用できる。軸非対称レンズの代表例として四極子
レンズがある。四極子レンズは光軸に平行に４個の電極
や磁極を配置したレンズである。電界あるいは磁界の主
成分が光軸に対して垂直であるため、四極子レンズは強
いレンズ作用が得られることが特徴である。その反面、
一段の四極子レンズは、ＸＺ面では発散（凹）レンズ作
用、ＹＺ面では集束（凸）レンズ作用を有する極端な非
対称レンズである。このため、ビームを軸対称に集束さ
せるには、通常３個以上の四極子を組み合わせた多段レ
ンズ構体とする必要がある。Although the above-described embodiments relate to the axially symmetric lens structure, the present invention can be applied to the axially asymmetric lens structure. A quadrupole lens is a typical example of the axially asymmetric lens. The quadrupole lens is a lens in which four electrodes and magnetic poles are arranged in parallel with the optical axis. Since the main component of the electric field or magnetic field is perpendicular to the optical axis, the quadrupole lens is characterized by a strong lens action. On the other hand,
The one-stage quadrupole lens is an extremely asymmetric lens having a diverging (concave) lens action on the XZ plane and a focusing (convex) lens action on the YZ plane. For this reason, in order to focus the beam axially symmetrically, it is usually necessary to form a multistage lens structure in which three or more quadrupoles are combined.
【００１１】四極子レンズ系では、八極子レンズ作用と
組み合わせることによって、一般に、軸対称レンズでは
補正することのできない開口収差（球面収差と同義）を
補正することが可能である。四極子は八極子と組み合わ
せなくとも、四極子と光軸を同じくする開口電極と組み
合わせることによって八極子レンズ作用を励起すること
ができる。In the quadrupole lens system, by combining with the octupole lens action, it is possible to correct an aperture aberration (synonymous with spherical aberration) which cannot be generally corrected by an axisymmetric lens. Even if the quadrupole is not combined with the octupole, the octupole lens action can be excited by combining it with an aperture electrode having the same optical axis as the quadrupole.
【００１２】図３は四極子と開口電極から構成される開
口収差補正レンズ構体に本発明を適用した場合の実施例
を示すものである。このような多段軸非対称レンズで
は、僅かなミスアライメントから残留収差が大きくな
り、また、ミスアライメントに起因する機械的な収差に
よって補正特性が著しく損なわれるため高精度なレンズ
系の実現が不可欠である。FIG. 3 shows an embodiment in which the present invention is applied to an aperture aberration correction lens assembly composed of a quadrupole and an aperture electrode. In such a multi-stage axis asymmetric lens, residual aberration increases from slight misalignment, and correction characteristics are significantly impaired by mechanical aberration resulting from misalignment, so it is essential to realize a highly accurate lens system. ..
【００１３】図３において、３１，３２，３３，３４，
３５は中央部に開口を有する開口電極である。３６，３
７，３８，３９は四極子電極の位置決めと開口電極の間
隔を規制する第１のスペーサである。この第１のスペー
サはセラミックで形成されており、円筒状をしている。
図３のＡ−Ａ´断面を示す図４から明らかなように、第
１のスペーサ３９はハウジング５０の内面に接して８本
備えられている。他の第１のスペーサ３６，３７，３８
も全く同様に８本ずつ備えられている。In FIG. 3, 31, 32, 33, 34,
Reference numeral 35 is an opening electrode having an opening in the center. 36,3
Reference numerals 7, 38 and 39 denote first spacers for positioning the quadrupole electrodes and regulating the distance between the opening electrodes. The first spacer is made of ceramic and has a cylindrical shape.
As is clear from FIG. 4 showing the AA ′ cross section of FIG. 3, eight first spacers 39 are provided in contact with the inner surface of the housing 50. Other first spacers 36, 37, 38
Is also equipped with eight each.
【００１４】４０，４１，４２，４３，４４は第２のス
ペーサである。これら第２のスペーサはセラミックで形
成されており、ボール状をしている。図３のＢ−Ｂ´断
面を示す図５から明らかなように、第２のスペーサ４４
は第３のスペーサ５９に収容されることにより、開口電
極３５の外周面とハウジング５０の内面に接触するよう
に開口電極３５を取り囲んで位置づけられている。上記
接触を可能にするため、第３のスペーサ５９の径方向の
幅は第２のスペーサ４４の径より小さく設定されてい
る。第２のスペーサ４４と同様に第２のスペーサ４０，
４１，４２，４３は、それぞれ第３のスペーサ５５，５
６，５７，５８に収容されている。Reference numerals 40, 41, 42, 43 and 44 are second spacers. These second spacers are made of ceramic and have a ball shape. As is apparent from FIG. 5 showing the BB ′ cross section of FIG.
By being accommodated in the third spacer 59, is positioned so as to surround the opening electrode 35 so as to contact the outer peripheral surface of the opening electrode 35 and the inner surface of the housing 50. In order to enable the contact, the radial width of the third spacer 59 is set smaller than the diameter of the second spacer 44. Similarly to the second spacer 44, the second spacer 40,
41, 42, 43 are third spacers 55, 5 respectively.
It is housed at 6, 57 and 58.
【００１５】第２のスペーサ４０，４１，４２，４３，
４４は開口電極３１，３２，３３，３４，３５の同心度
を得るための位置決めと開口電極３１，３２，３３，３
４，３５を絶縁するために兼用されている。ハウジング
５０に内接して金属製の通しシャフト４６，４７，４
８，４９が四極子電極５１，５２，５３，５４の段間の
回転エラーを規制するために設けられている。従って、
前記開口電極３５は図５から明らかなように、シャフト
４６，４７，４８，４９を通すため切り欠いた形状を有
している。開口電極３１，３２，３３，３４も全く同様
である。The second spacers 40, 41, 42, 43,
Reference numeral 44 is a positioning for obtaining concentricity of the opening electrodes 31, 32, 33, 34, 35 and the opening electrodes 31, 32, 33, 3
It is also used to insulate 4, 35. Metal through shafts 46, 47, 4 inscribed in the housing 50
Reference numerals 8 and 49 are provided in order to prevent a rotation error between the quadrupole electrodes 51, 52, 53, and 54. Therefore,
As is clear from FIG. 5, the opening electrode 35 has a notched shape so that the shafts 46, 47, 48 and 49 can be inserted therethrough. The same applies to the aperture electrodes 31, 32, 33, 34.
【００１６】金属製シャフト４６，４７，４８，４９の
径と前記第１のスペーサ３６，３７，３８，３９の径は
同一にされており、前記図４から明らかなように、金属
製シャフト４６，４７，４８，４９と前記８本の第１の
スペーサ３９はハウジング５０の内面に接触して並んで
配置されている。開口電極３４と３５の間に配置される
四極子電極５４のそれぞれは、隣接し合う第２のスペー
サ３９によって形成される凹部に接触する状態で取り付
けられることにより精度良く位置づけられている。他の
四極子電極５１，５２，５３も全く同様に取り付けられ
ている。これら四極子電極５１，５２，５３，５４の位
置決めの詳細については、特公昭６３−３１８９５号に
開示されている。The metal shafts 46, 47, 48, 49 and the first spacers 36, 37, 38, 39 have the same diameter. As is apparent from FIG. , 47, 48, 49 and the eight first spacers 39 are arranged side by side in contact with the inner surface of the housing 50. Each of the quadrupole electrodes 54 arranged between the opening electrodes 34 and 35 is accurately positioned by being attached in contact with the concave portion formed by the adjacent second spacer 39. The other quadrupole electrodes 51, 52, 53 are also attached in exactly the same manner. The details of the positioning of these quadrupole electrodes 51, 52, 53, 54 are disclosed in JP-B-63-31895.
【００１７】上述した構成において、上面と下面の平行
度が充分なものとなるように第１のスペーサ３６，３
７，３８，３９を製作し、これらを各開口電極の段間に
介在させて開口電極を積層する。その結果、開口電極３
１，３２，３３，３４，３５の光軸方向位置は高精度で
規定される。また、開口電極３１，３２，３３，３４，
３５の円形の外周面とハウジング５０の円筒状内面との
間に第２のスペーサ４１，４２，４３，４４，４５が配
置されるが、第２のスペーサを真球度および寸法公差が
０．１μｍより小さくなるように製造することは容易で
あるため、各開口電極３１，３２，３３，３４，３５は
充分な精度で軸合わせされる。In the above structure, the first spacers 36, 3 are arranged so that the parallelism between the upper surface and the lower surface is sufficient.
7, 38, 39 are manufactured, and the opening electrodes are laminated by interposing them between the steps of the opening electrodes. As a result, the aperture electrode 3
The positions of 1, 32, 33, 34, and 35 in the optical axis direction are defined with high accuracy. In addition, the aperture electrodes 31, 32, 33, 34,
The second spacers 41, 42, 43, 44, 45 are arranged between the outer circumferential surface of the circular shape of 35 and the cylindrical inner surface of the housing 50, and the second spacers have sphericity and dimensional tolerance of 0. Since it is easy to manufacture the opening electrodes to be smaller than 1 μm, the respective aperture electrodes 31, 32, 33, 34, 35 are aligned with sufficient accuracy.
【００１８】なお、上述した実施例は本発明の実施例の
一部に過ぎず、本発明は変形して実施できる。例えば、
上述した実施例は複数の電極を備えた荷電ビーム用レン
ズ構体に本発明を適用した例であったが、複数の磁極を
備えた荷電ビーム用レンズ構体にも本発明は同様に適用
できる。The above-described embodiment is only a part of the embodiment of the present invention, and the present invention can be modified and implemented. For example,
Although the above-described embodiment is an example in which the present invention is applied to the charged-beam lens structure including a plurality of electrodes, the present invention can be similarly applied to a charged-beam lens structure including a plurality of magnetic poles.
【００１９】また、上述した実施例においては、第２の
スペーサをボール状に形成するようにしたが、このボー
ルと同じ径を有する円筒状に形成するようにしても良
い。また、ハウジングはレンズ構体の為に専用に設けて
も良いし、荷電ビーム装置の鏡筒をハウジングとしても
良い。Further, in the above-mentioned embodiment, the second spacer is formed in a ball shape, but it may be formed in a cylindrical shape having the same diameter as the ball. Further, the housing may be provided exclusively for the lens structure, or the barrel of the charged particle beam device may be used as the housing.
【００２０】[0020]
【発明の効果】第１のスペーサが前記複数のレンズ極の
光軸方向位置を規定するように複数のレンズ極間に配置
されていると共に、前記第２のスペーサを前記レンズ極
の外周面とハウジングの円筒状内面に接触させることに
より前記レンズ極が前記ハウジングに対して軸合わせさ
れるように構成されているため、第１のスペーサを平行
度良く所定の厚みで製作することにより各レンズ極の光
軸方向位置を高精度に規定することができると共に、高
精度に製作することが容易なボール状または円柱状の第
２のスペーサをハウジングとレンズ極との間に介在させ
ることによって、光軸方向とは独立に、ハウジングに対
する各レンズ極の同心度をとるようにしているため、工
作精度や組み立て誤差の累積が生じることがない。その
ため、本発明により、光軸方向及び同心度ともアライメ
ントを高精度に達成する荷電ビーム用レンズ構体を実現
することができる。The first spacer is arranged between the plurality of lens poles so as to define the positions of the plurality of lens poles in the optical axis direction, and the second spacer serves as the outer peripheral surface of the lens pole. Since the lens poles are axially aligned with the housing by contacting the cylindrical inner surface of the housing, each lens pole is manufactured by manufacturing the first spacer with a good parallelism and a predetermined thickness. The position of the optical axis in the direction of the optical axis can be defined with high accuracy, and a ball-shaped or columnar second spacer, which can be easily manufactured with high accuracy, is interposed between the housing and the lens pole. Since the concentricity of each lens pole with respect to the housing is set independently of the axial direction, accumulation of working accuracy and assembly error does not occur. Therefore, according to the present invention, it is possible to realize a charged-beam lens assembly that achieves alignment with high accuracy in both the optical axis direction and the concentricity.
【図１】三枚電極を備えた軸対称な従来の荷電ビーム用
レンズ構体の一例を示す図である。FIG. 1 is a view showing an example of a conventional axially symmetrical charged-beam lens structure including three electrodes.
【図２】三枚電極を備えた軸対称な荷電ビーム用レンズ
構体に本発明を適用した実施例を示すための図である。FIG. 2 is a diagram showing an embodiment in which the present invention is applied to an axially symmetric charged-beam lens structure including three electrodes.
【図３】四極子と開口電極を備えた軸非対称な収差補正
レンズ構体に本発明を適用した実施例を示すための図で
ある。FIG. 3 is a diagram showing an example in which the present invention is applied to an axially asymmetric aberration correction lens structure including a quadrupole element and an aperture electrode.
【図４】図３のＡ−Ａ´断面を示すための図である。FIG. 4 is a diagram showing a cross section taken along the line AA ′ of FIG. 3;
【図５】図３のＢ−Ｂ´断面を示すための図である。5 is a diagram showing a cross section taken along the line BB ′ of FIG. 3;
１１，１２，１３，２１，２２，２３ ビーム軸に対し
て軸対称な電極 １４ 絶縁リング １５，１６ 金属リング １７ 電圧印加用シャフト ２６，２７，２８，４０，４１，４２，４３，４４ 第
２のスペーサ ２９，５０ ハウジング ３１，３２，３３，３４，３５ 開口電極 ２６，２７，２８，３６，３７，３８，３９ 第１のス
ペーサ ４６，４７，４８，４９ シャフト ５１，５２，５３，５４ 四極子電極 ５５，５６，５７，５８，５９ 第３のスペーサ11,12,13,21,22,23 Axisymmetrical to the beam axis 14 Insulating ring 15,16 Metal ring 17 Voltage applying shaft 26,27,28,40,41,42,43,44 Second Spacers 29, 50 housings 31, 32, 33, 34, 35 opening electrodes 26, 27, 28, 36, 37, 38, 39 first spacers 46, 47, 48, 49 shafts 51, 52, 53, 54 Pole electrode 55, 56, 57, 58, 59 Third spacer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡山 重夫 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業技 術院電子技術総合研究所内 (72)発明者 伊藤 匡 東京都昭島市武蔵野２丁目６番38号 日本 電子テクニクス株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Shigeo Okayama Inventor Shigeo Okayama 1-4-1 Umezono, Tsukuba-shi, Ibaraki Institute of Industrial Technology Electronic Technology Research Institute (72) Tadashi Ito 2-6-8 Musashino, Akishima-shi, Tokyo No. within Japan Electronics Technics
Claims (1)
と、円筒状の内面を有し前記複数のレンズ極を収容する
ハウジングと、前記複数のレンズ極間に配置されこれら
レンズ極の軸方向の位置を合わせるための第１のスペー
サと、前記ハウジングの内面と前記レンズ極の円形外周
面との間に配置されたボール状または円柱状の複数の第
２のスペーサを備え、第２のスペーサが前記レンズ極を
取り囲んで配置されることにより前記レンズ極が前記ハ
ウジングに対して軸合わせされていることを特徴とする
荷電ビーム用レンズ構体。1. A plurality of lens poles serving as electrodes or magnetic poles, a housing having a cylindrical inner surface for housing the plurality of lens poles, and a plurality of lens poles arranged between the plurality of lens poles in the axial direction. The second spacer includes a first spacer for aligning the position and a plurality of ball-shaped or columnar second spacers arranged between the inner surface of the housing and the circular outer peripheral surface of the lens pole. A charged beam lens assembly, wherein the lens pole is axially aligned with the housing by being arranged so as to surround the lens pole.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14060092A JPH05334979A (en) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | Lens structure for charged beam |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14060092A JPH05334979A (en) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | Lens structure for charged beam |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05334979A true JPH05334979A (en) | 1993-12-17 |
Family
ID=15272478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14060092A Withdrawn JPH05334979A (en) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | Lens structure for charged beam |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05334979A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001222970A (en) * | 1999-12-21 | 2001-08-17 | Axcelis Technologies Inc | Electrode assembly and electrostatic tetrode lens assembly for ion injection device |
| JP2003502802A (en) * | 1999-06-14 | 2003-01-21 | ツェーエーオーエス コレクテッド エレクトロン オプチカル システムズ ゲーエムベーハー | Electrostatic corrector to remove chromatic aberration of particle lens |
| JP2005108842A (en) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Ims Nanofabrication Gmbh | Particle-optical electrostatic lens |
| US9287084B2 (en) | 2014-02-28 | 2016-03-15 | Hitachi High-Technologies Corporation | Aberration corrector and charged particle beam apparatus using the same |
| US9343260B2 (en) | 2011-03-30 | 2016-05-17 | Hitachi High-Technologies Corporation | Multipole and charged particle radiation apparatus using the same |
| CN113421688A (en) * | 2021-06-17 | 2021-09-21 | 江阴贝斯特众自动化设备有限公司 | Quadrupole lens assembly with magnetic pole positioning ring and method for mounting the positioning ring |
-
1992
- 1992-06-01 JP JP14060092A patent/JPH05334979A/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US9287084B2 (en) | 2014-02-28 | 2016-03-15 | Hitachi High-Technologies Corporation | Aberration corrector and charged particle beam apparatus using the same |
| CN113421688A (en) * | 2021-06-17 | 2021-09-21 | 江阴贝斯特众自动化设备有限公司 | Quadrupole lens assembly with magnetic pole positioning ring and method for mounting the positioning ring |
| CN113421688B (en) * | 2021-06-17 | 2024-04-09 | 江苏贝思特众自动化设备有限公司 | Quadrupole lens assembly with magnetic pole positioning ring and method for installing the positioning ring |
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