JPH05322624A - Flow meter - Google Patents

Flow meter

Info

Publication number
JPH05322624A
JPH05322624A JP4151120A JP15112092A JPH05322624A JP H05322624 A JPH05322624 A JP H05322624A JP 4151120 A JP4151120 A JP 4151120A JP 15112092 A JP15112092 A JP 15112092A JP H05322624 A JPH05322624 A JP H05322624A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dust
gas
wall
mass flow
flow sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4151120A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3091893B2 (en
Inventor
Kazuo Seki
一夫 関
Yasuji Morita
靖二 森田
Shigeru Aoshima
滋 青島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP04151120A priority Critical patent/JP3091893B2/en
Publication of JPH05322624A publication Critical patent/JPH05322624A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3091893B2 publication Critical patent/JP3091893B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

PURPOSE:To stabilize the accuracy of heat-wire type mass flow rate sensor for a long term by blocking intrusion of dust into the heat-wire type mass flow rate sensor located at a part of gas passage of a gas introduction pipe to be measured. CONSTITUTION:The flow meter comprises a pipe 1 for introducing gas to be measured, a heat-wire type mass flow sensor located at a part of gas passage of the introduction pipe 1, and at least one dust trapping wall 2, 4-8 formed on the inner wall of the introduction pipe on the upstream side of the heat-wire mass flow sensor so that dust in the introduced gas adheres to the dust trapping wall upon collision of the introduced gas.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はゴミの浮遊や温度差の
激しい厨房または屋外に設置された給湯器等の燃焼空気
量の長期にわたる正確な測定に適した流量計に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow meter suitable for long-term and accurate measurement of combustion air amount in a water heater or the like installed in a kitchen where the dust is floating or the temperature difference is large or the temperature difference is large.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、例えばガス給湯器等の燃焼用空気
量の測定は、ブロックやファンモータの回転数によって
測定していた。しかし、ファンモータの回転数は体積流
量を測定しているにすぎず、高度差による圧力の影響、
外界の気象状況により正確な測定ができないため、通常
は安全サイドで空気を必要空気量より多く供給してい
る。その結果、器具自体も大型化したり、NOX の発生
等の問題があり、最適燃焼ができない。
2. Description of the Related Art Conventionally, the amount of combustion air in a gas water heater or the like has been measured by the number of rotations of a block or a fan motor. However, the rotation speed of the fan motor is only measuring the volume flow rate, and the influence of pressure due to the altitude difference,
Since it is not possible to make accurate measurements due to the weather conditions in the outside world, the safety side normally supplies more air than required. As a result, it was large even instrument itself, there are problems such as generation of NO X, it can not be optimal combustion.

【0003】そこで、この問題を防ぐために、図10に
示すように、空気の流れる方向に直交させて二本の筒体
101,102をダクト103内に並設し、このダクト
103の外部に突出した筒体端部をセンサ本体104の
貫通穴105とをチューブ106,107で接続し、そ
の貫通穴105内に熱線式質量流量センサ108を設け
ている。
Therefore, in order to prevent this problem, as shown in FIG. 10, two cylinders 101 and 102 are arranged side by side in a duct 103 so as to be orthogonal to the direction of air flow, and project outside the duct 103. The end of the cylindrical body is connected to the through hole 105 of the sensor body 104 by the tubes 106 and 107, and the heat wire type mass flow sensor 108 is provided in the through hole 105.

【0004】上記熱線式質量流量センサ108は、高度
差や外界の影響を受けにくいようにするとともに、ガス
給湯器等の全体形状を小型化するため小型であることが
必要である。そこで、図11に示すような1.7mm角
の半導体チップ111上に厚さ20μm以下のダイヤフ
ラム112を設け、かつ該ダイヤフラム上に発熱抵抗パ
ターン113と感温抵抗パターン114,115を配設
して構成している。
The hot-wire type mass flow sensor 108 is required to be small in order to make it difficult to be affected by the difference in altitude and the external environment and to downsize the entire shape of the gas water heater or the like. Therefore, a diaphragm 112 having a thickness of 20 μm or less is provided on a 1.7 mm square semiconductor chip 111 as shown in FIG. 11, and a heating resistance pattern 113 and temperature sensitive resistance patterns 114 and 115 are provided on the diaphragm 112. I am configuring.

【0005】上記構成により、一方の筒体101に穴1
01aから流入した空気を、チューブ106,貫通穴1
05,チューブ107を経て筒体102の穴102aか
ら流入させ、この流れる空気量に基づく熱線式質量流量
センサ108の出力を駆動回路109に供給して、燃焼
用空気量を正確に測定することが行なわれている。
With the above structure, the hole 1 is formed in the one cylinder 101.
The air flowing in from 01a is supplied to the tube 106 and the through hole 1
05, through the tube 107 through the hole 102a of the cylindrical body 102, the output of the hot wire type mass flow sensor 108 based on the flowing air amount can be supplied to the drive circuit 109 to accurately measure the combustion air amount. Has been done.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来の流量計は上記の
ように構成されているので、熱線式質量流量センサは例
えば1.7mm角と非常に小さく、感度が非常によく、
常に正確な測定ができる反面、空気中のゴミの付着や結
露水に対して信頼性が悪く、長期使用に耐えない。特
に、ガス給湯器を設置する台所や厨房は、使用時と不使
用時の温度差がはげしく、ゴミ等が付着しやすく結露水
も生じやすいという問題点があった。また、熱線式質量
流量計は結露水で濡れると、抵抗パターンの抵抗値が著
しく変化して、正確な流量測定ができなくなるという問
題点があった。
Since the conventional flowmeter is constructed as described above, the hot-wire mass flow sensor is very small, for example, 1.7 mm square, and has very good sensitivity.
While accurate measurement is always possible, it is unreliable with respect to dust in the air and dew condensation water and cannot withstand long-term use. In particular, there is a problem that a kitchen or a kitchen in which a gas water heater is installed has a large temperature difference between when it is used and when it is not used. Further, the hot-wire type mass flowmeter has a problem that when it gets wet with dew condensation water, the resistance value of the resistance pattern changes remarkably and accurate flow rate measurement cannot be performed.

【0007】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたものであり、熱線式質量流量センサへ
の粉塵の侵入を防止し、熱線式質量流量センサの精度が
長期間にわたり安定し、さらに低コストで粉塵の除去を
実現できる流量計を得ることを目的とする。
The present invention has been made in order to solve the above problems, prevents dust from entering the hot-wire mass flow sensor, and stabilizes the accuracy of the hot-wire mass flow sensor for a long period of time. In addition, it is an object of the present invention to obtain a flow meter which can realize dust removal at a lower cost.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明に係る流量計
は、測定対象となる気体を導入する導入管の気体流路の
一部に設けた熱線式質量流量センサと、導入した気体を
衝突させ該衝突した気体中の粉塵を付着させるように上
記熱線式質量流量センサより上流側の導入管路内壁に少
なくとも一つ以上形成した粉塵捕獲壁とを備えたもので
ある。
A flowmeter according to the present invention collides the introduced gas with a hot wire type mass flow sensor provided in a part of a gas flow path of an introduction pipe for introducing a gas to be measured. It is provided with at least one dust capturing wall formed on the inner wall of the introduction pipe upstream from the heat ray type mass flow sensor so that the dust in the colliding gas is attached.

【0009】[0009]

【作用】この発明における粉塵捕獲壁は、衝突した気体
中に含まれる粉塵を付着させ、下流側の熱線式質量流量
センサへの粉塵の侵入を防止する。この結果、熱線式質
量流量センサは長期間にわたり安定した精度を保つこと
ができる。
The dust trapping wall according to the present invention adheres dust contained in the colliding gas to prevent the dust from entering the heat ray type mass flow sensor on the downstream side. As a result, the hot wire mass flow sensor can maintain stable accuracy for a long period of time.

【0010】[0010]

【実施例】【Example】

第1実施例 図1はこの発明に係る流量計の第1実施例における粉塵
捕獲壁の構成を示す構造断面図である。この図におい
て、1は導管である。気体はこの導管1を左方向より右
方向に流れる。図示していない流量測定部は、導管1の
右方向に配置されている。2は第1の粉塵捕獲壁であ
る。この粉塵捕獲壁2の下方にはノズル部3が形成され
ている。粉塵捕獲壁2は導管1の円形断面を塞ぐように
導管1の内壁面に垂設されている。4は第2の粉塵捕獲
壁であり、前記ノズル部3に所定の距離をおいて対面し
た状態で導管1の内面に垂設されており、この第2の粉
塵捕獲壁4では上方部が気体流路となる。そして、これ
ら第1の粉塵捕獲壁2と第2の粉塵捕獲壁4とにより一
つの粉塵捕獲壁5が構成される。粉塵捕獲壁6および粉
塵捕獲壁7は、前記粉塵捕獲壁2および粉塵捕獲壁4と
同一の構成であり、これら粉塵捕獲壁6および粉塵捕獲
壁7とにより一つの粉塵捕獲部8を構成している。従っ
て、粉塵捕獲部5および8が、導管1内に直列に配置さ
れた構造となっている。
First Embodiment FIG. 1 is a structural sectional view showing the structure of a dust trap wall in a first embodiment of the flowmeter according to the present invention. In this figure, 1 is a conduit. The gas flows in the conduit 1 from the left to the right. The flow rate measuring unit (not shown) is arranged to the right of the conduit 1. 2 is a first dust capturing wall. A nozzle portion 3 is formed below the dust capturing wall 2. The dust trapping wall 2 is vertically provided on the inner wall surface of the conduit 1 so as to close the circular cross section of the conduit 1. Reference numeral 4 denotes a second dust trapping wall, which is vertically provided on the inner surface of the conduit 1 so as to face the nozzle portion 3 at a predetermined distance, and the upper portion of the second dust trapping wall 4 is gas. It becomes a flow path. The first dust trapping wall 2 and the second dust trapping wall 4 constitute one dust trapping wall 5. The dust trapping wall 6 and the dust trapping wall 7 have the same configuration as the dust trapping wall 2 and the dust trapping wall 4, and the dust trapping wall 6 and the dust trapping wall 7 constitute one dust trapping section 8. There is. Therefore, the dust traps 5 and 8 are arranged in series in the conduit 1.

【0011】この実施例では、導管1内を流れる気体中
の粉塵は、粉塵捕獲壁2の壁面2aにまず衝突して、壁
面2aに付着し捕獲される。また、粉塵捕獲壁2に形成
されたノズル部3の開口面積は導管1の断面積より小さ
く構成されているので、ノズル部3を流れる気体の流速
は大きくなり、この気体中の粉塵の速度も大きくなる。
粉塵捕獲部5では気体が粉塵捕獲壁4の上方を迂回して
流れるのに対し、気体中の粉塵はその質量による慣性で
粉塵捕獲壁4の壁面4aに衝突し、捕獲されることにな
る。粉塵捕獲部8においても前記同様に壁面6a,7a
により気体中の粉塵が捕獲される。
In this embodiment, the dust in the gas flowing in the conduit 1 first collides with the wall surface 2a of the dust capturing wall 2 and adheres to the wall surface 2a to be captured. Further, since the opening area of the nozzle portion 3 formed on the dust capturing wall 2 is configured to be smaller than the cross-sectional area of the conduit 1, the flow velocity of the gas flowing through the nozzle portion 3 becomes high, and the velocity of the dust in the gas also increases. growing.
In the dust catching section 5, the gas bypasses the dust catching wall 4 and flows, while the dust in the gas collides with the wall surface 4a of the dust catching wall 4 due to its inertia due to its mass. Also in the dust capturing part 8, the wall surfaces 6a and 7a are the same as above.
Dust in the gas is captured by.

【0012】さらに、この実施例では、導管1の気体流
入側より水等少量の液体Wが侵入した場合でも、粉塵捕
獲壁4および7が流体阻止壁となり、図2に示すよう
に、熱線式質量流量センサへの液体Wの侵入を防ぐこと
が出来る。
Further, in this embodiment, even if a small amount of liquid W such as water enters from the gas inflow side of the conduit 1, the dust capturing walls 4 and 7 become fluid blocking walls, and as shown in FIG. It is possible to prevent the liquid W from entering the mass flow sensor.

【0013】なお、従来一般に用いられるフィルター
を、熱線式質量流量センサと粉塵捕獲部との間に設けて
もよく、この場合にはフィルターの交換頻度を小さくす
ることが出来る。
A filter generally used in the past may be provided between the hot-wire type mass flow sensor and the dust capturing section, in which case the frequency of filter replacement can be reduced.

【0014】第2実施例 図3は第2実施例の構成を示す構造断面図であり、粉塵
捕獲壁をピトー管内部に構成した場合を示している。こ
の図において、9はピトー管、10はノズル部、11,
12は粉塵捕獲壁である。
Second Embodiment FIG. 3 is a structural sectional view showing the structure of the second embodiment, showing a case where the dust trapping wall is formed inside the Pitot tube. In this figure, 9 is a Pitot tube, 10 is a nozzle section, 11,
12 is a dust capturing wall.

【0015】ピトー管9は総圧孔が気体流入側に向って
開口しているので、ピトー管開口部の正面に飛んできた
粉塵は、その大きな慣性によりほとんどがピトー管内部
に侵入してしまう。この実施例では、ピトー管9の総圧
孔をノズル部とする。そして、ピトー管屈曲部13にお
ける、流入気体が流入方向を変える部分に粉塵捕獲壁1
1,12を構成する。流入気体は方向を変えて熱線式質
量流量センサの方向へ流れるのに対し、気体中の粉塵は
粉塵捕獲壁の壁面において捕獲される。
Since the total pressure holes of the pitot tube 9 are open toward the gas inflow side, most of the dust flying to the front of the opening of the pitot tube enters the inside of the pitot tube due to its large inertia. .. In this embodiment, the total pressure holes of the Pitot tube 9 are used as the nozzle portion. Then, the dust capturing wall 1 is provided at a portion of the bent portion 13 of the pitot tube where the inflowing gas changes its inflowing direction.
1 and 12 are configured. The inflowing gas changes its direction and flows toward the hot-wire mass flow sensor, whereas the dust in the gas is trapped on the wall surface of the dust trapping wall.

【0016】第3実施例 図4は気体流路の壁面に総圧孔が形成される改良型ピト
ー管に、粉塵捕獲壁を設けた場合の、第3実施例の構成
を示す構造断面図である。この実施例では、粉塵捕獲壁
14,15,16,17により構成される粉塵捕獲部が
ピトー管18内面に構成されている。
Third Embodiment FIG. 4 is a structural cross-sectional view showing the structure of the third embodiment when a dust trapping wall is provided in an improved pitot tube in which total pressure holes are formed on the wall surface of a gas flow path. is there. In this embodiment, a dust capturing part constituted by the dust capturing walls 14, 15, 16 and 17 is formed on the inner surface of the pitot tube 18.

【0017】図5は、フローピックアップタイプの流量
計における流量ピックアップ部19の断面図である。こ
のフローピックアップタイプの流量計では、気体を負圧
方式で孔22より取り入れて孔21より排出し、粉塵対
策とするものである。この流量計では気体流路35内の
パイプ20に形成する孔21,22の開口位置に厳しい
精度が要求される。また、発生する負圧も小さい。
FIG. 5 is a sectional view of the flow pickup section 19 in the flow pickup type flowmeter. In this flow pickup type flow meter, gas is taken in through the hole 22 and discharged through the hole 21 by a negative pressure method to prevent dust. In this flow meter, strict accuracy is required for the opening positions of the holes 21, 22 formed in the pipe 20 in the gas flow path 35. Also, the negative pressure generated is small.

【0018】第4実施例 図6は、第4実施例の構成を示す構造断面図である。こ
の実施例では、図5に示したフローピックアップタイプ
の流量計における流量ピックアップ部19の一方の気体
流入通路に、粉塵捕獲壁23,24,25,26を構成
する。この結果、流量ピックアップ部19の孔21は、
気体の流入方向に向けて形成することが出来、粉塵捕獲
機能を有すると共に、負圧方式ではないので感度を向上
させることが可能となり、孔を形成する際の位置精度が
要求されず、製作が容易となる。
Fourth Embodiment FIG. 6 is a structural sectional view showing the structure of the fourth embodiment. In this embodiment, the dust trap walls 23, 24, 25 and 26 are provided in one gas inflow passage of the flow pickup section 19 in the flow pickup type flowmeter shown in FIG. As a result, the hole 21 of the flow rate pickup unit 19 is
It can be formed in the direction of gas inflow, has a dust trapping function, and since it is not a negative pressure system, it can improve sensitivity, and it does not require positional accuracy when forming holes, so it can be manufactured. It will be easy.

【0019】さらに、図7に示すように、気体流入通路
側に設けられた粉塵捕獲壁27,28,29,30以外
に、気体流出通路側にも粉塵捕獲壁31,32,33,
34を構成すると、流量ピックアップ部19を流れる気
体が逆流入し、孔22から粉塵が侵入しても、熱線式質
量流量センサへの粉塵の侵入を防止できる。
Further, as shown in FIG. 7, in addition to the dust capturing walls 27, 28, 29, 30 provided on the gas inflow passage side, the dust capturing walls 31, 32, 33,
With the configuration of 34, even if the gas flowing through the flow rate pickup unit 19 flows back and dust enters from the hole 22, it is possible to prevent the dust from entering the hot-wire mass flow sensor.

【0020】また、図5で説明した負圧方式フローピッ
クアップタイプの流量計における流量ピックアップ部1
9内部に、図8に示すように、粉塵捕獲壁27〜34を
構成してもよい。
Further, the flow rate pickup unit 1 in the negative pressure type flow pickup type flowmeter described in FIG.
As shown in FIG. 8, the dust trap walls 27 to 34 may be formed inside 9.

【0021】第5実施例 図9は、第5実施例の構成を示す斜視図である。この実
施例では、粉塵捕獲壁が形成された内部構造体35と内
部構造体35に外嵌するパイプ形状の外部構造体36と
により粉塵捕獲部を構成した、フローピックアップタイ
プの流速計であり、内部構造体35,外部構造体36共
に量産成形が可能であり、組み立て作業も容易であり、
コストを低減できる。なお、37は前記図11に示した
熱線式質量流量センサ108を中央に取付けた基板であ
る。
Fifth Embodiment FIG. 9 is a perspective view showing the structure of the fifth embodiment. This embodiment is a flow pickup type anemometer in which a dust capturing portion is constituted by an internal structure 35 in which a dust capturing wall is formed and a pipe-shaped external structure 36 externally fitted to the internal structure 35. Both the internal structure 35 and the external structure 36 can be mass-produced, and the assembly work is easy.
The cost can be reduced. Reference numeral 37 is a substrate on which the hot-wire type mass flow sensor 108 shown in FIG. 11 is attached in the center.

【0022】[0022]

【発明の効果】この発明に係る流量計によれば、気体導
入管路内に粉塵捕獲壁を設けたので、熱線式質量流量セ
ンサへの粉塵の侵入を確実に防止することができ、熱線
式質量流量センサの精度が長期間にわたり安定したもの
とする。
According to the flowmeter of the present invention, since the dust trapping wall is provided in the gas introducing pipe, it is possible to reliably prevent the intrusion of dust into the hot wire type mass flow sensor, and the hot wire type The accuracy of the mass flow sensor shall be stable over a long period of time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明に係る流量計の第1実施例における粉
塵捕獲壁の構成を示す構造断面図である。
FIG. 1 is a structural cross-sectional view showing a structure of a dust trap wall in a first embodiment of a flowmeter according to the present invention.

【図2】流量検出部への液体の侵入を防止している構造
断面図である。
FIG. 2 is a structural cross-sectional view that prevents liquid from entering a flow rate detection unit.

【図3】この発明に係る流量計の第2実施例の構成を示
す構造断面図である。
FIG. 3 is a structural cross-sectional view showing the configuration of a second embodiment of the flowmeter according to the present invention.

【図4】改良型ピトー管に粉塵捕獲壁を設けた場合の第
3実施例の構成を示す構造断面図である。
FIG. 4 is a structural cross-sectional view showing the configuration of a third embodiment when a dust trapping wall is provided on the improved Pitot tube.

【図5】流量ピックアップ部の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a flow rate pickup unit.

【図6】この発明に係る流量計の第4実施例の構成を示
す構造断面図である。
FIG. 6 is a structural cross-sectional view showing the configuration of a fourth embodiment of the flowmeter according to the present invention.

【図7】気体流入側および気体流出側に粉塵捕獲壁を構
成した場合の流量ピックアップ部の断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view of a flow rate pickup unit when dust capturing walls are formed on the gas inflow side and the gas outflow side.

【図8】負圧方式フローピックアップタイプの流速計の
流量ピックアップ部19内部に粉塵捕獲壁を構成した場
合の斜視断面図である。
FIG. 8 is a perspective cross-sectional view of a negative pressure type flow pickup type velocity meter when a dust capturing wall is formed inside the flow rate pickup portion 19;

【図9】この発明に係る流量計の第5実施例の構成を示
す斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view showing the configuration of a fifth embodiment of the flowmeter according to the present invention.

【図10】従来の流量計の正面図である。FIG. 10 is a front view of a conventional flow meter.

【図11】熱線式質量流量センサを示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a hot-wire type mass flow sensor.

【符号の説明】 1 導管 4〜8 粉塵捕獲壁 108 熱線式質量流量センサ 2 粉塵捕獲壁[Explanation of reference symbols] 1 conduit 4 to 8 dust trap wall 108 hot wire type mass flow sensor 2 dust trap wall

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 測定対象となる気体を導入する導入管
と、この導入管の気体流路の一部に設けた熱線式質量流
量センサと、前記導入した気体を衝突させ該衝突した気
体中の粉塵を付着させるように前記熱線式質量流量セン
サより上流側の導入管路内壁に少なくとも一つ以上形成
した粉塵捕獲壁とを備えた流量計。
1. An introduction pipe for introducing a gas to be measured, a hot-wire mass flow sensor provided in a part of a gas flow path of the introduction pipe, and the introduced gas to collide with each other. A flowmeter comprising: a dust trapping wall formed on at least one inner wall of an inlet pipe upstream of the heat-ray type mass flow sensor so as to adhere dust.
JP04151120A 1992-05-20 1992-05-20 Flowmeter Expired - Lifetime JP3091893B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04151120A JP3091893B2 (en) 1992-05-20 1992-05-20 Flowmeter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04151120A JP3091893B2 (en) 1992-05-20 1992-05-20 Flowmeter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05322624A true JPH05322624A (en) 1993-12-07
JP3091893B2 JP3091893B2 (en) 2000-09-25

Family

ID=15511809

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP04151120A Expired - Lifetime JP3091893B2 (en) 1992-05-20 1992-05-20 Flowmeter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3091893B2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002538451A (en) * 1999-03-01 2002-11-12 エー ビー ビー リサーチ リミテッド Gas meter
JP2004212102A (en) * 2002-12-27 2004-07-29 Yamatake Corp Flowmeter and smoking apparatus
JP2009145162A (en) * 2007-12-13 2009-07-02 Denso Corp Air flow meter
US7698938B2 (en) 2004-06-10 2010-04-20 Yamatake Corporation Flowmeter having a bent inlet passage for constant flow-velocity distribution
JP2010540937A (en) * 2007-09-28 2010-12-24 サーコア・インストルメンテーション・テクノロジーズ・インコーポレーテッド Unclogged flow restrictor for pressure-based flow controllers

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4553898B2 (en) * 2004-06-30 2010-09-29 日立オートモティブシステムズ株式会社 Air flow measurement device

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55109921A (en) * 1979-02-19 1980-08-23 Nissan Motor Co Ltd Flow rate measuring instrument
JPS5828622A (en) * 1981-08-14 1983-02-19 Hitachi Ltd Detecting device for air quantity
JPS59190624A (en) * 1983-04-13 1984-10-29 Hitachi Ltd Intake air flowmeter
JPS6066878A (en) * 1983-09-22 1985-04-17 Oki Electric Ind Co Ltd Photodetector
JPS62101844A (en) * 1985-10-29 1987-05-12 Mazda Motor Corp Start control device of in-line fuel injection pump
JPS62144725A (en) * 1985-12-19 1987-06-27 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Dust removing apparatus
JPS63243721A (en) * 1987-03-30 1988-10-11 Mazda Motor Corp Intake air quantity detector for engine

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55109921A (en) * 1979-02-19 1980-08-23 Nissan Motor Co Ltd Flow rate measuring instrument
JPS5828622A (en) * 1981-08-14 1983-02-19 Hitachi Ltd Detecting device for air quantity
JPS59190624A (en) * 1983-04-13 1984-10-29 Hitachi Ltd Intake air flowmeter
JPS6066878A (en) * 1983-09-22 1985-04-17 Oki Electric Ind Co Ltd Photodetector
JPS62101844A (en) * 1985-10-29 1987-05-12 Mazda Motor Corp Start control device of in-line fuel injection pump
JPS62144725A (en) * 1985-12-19 1987-06-27 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Dust removing apparatus
JPS63243721A (en) * 1987-03-30 1988-10-11 Mazda Motor Corp Intake air quantity detector for engine

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002538451A (en) * 1999-03-01 2002-11-12 エー ビー ビー リサーチ リミテッド Gas meter
JP4828702B2 (en) * 1999-03-01 2011-11-30 ヒドロメーター ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Gas meter
JP2004212102A (en) * 2002-12-27 2004-07-29 Yamatake Corp Flowmeter and smoking apparatus
US7698938B2 (en) 2004-06-10 2010-04-20 Yamatake Corporation Flowmeter having a bent inlet passage for constant flow-velocity distribution
JP2010540937A (en) * 2007-09-28 2010-12-24 サーコア・インストルメンテーション・テクノロジーズ・インコーポレーテッド Unclogged flow restrictor for pressure-based flow controllers
JP2009145162A (en) * 2007-12-13 2009-07-02 Denso Corp Air flow meter

Also Published As

Publication number Publication date
JP3091893B2 (en) 2000-09-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4981035A (en) Dust defelector for silicon mass airflow sensor
JP2846207B2 (en) Air flow measurement device
JP3475853B2 (en) Flow measurement device
JP2787785B2 (en) Flowmeter and flow measurement method
JPH0475385B2 (en)
JP3950578B2 (en) Flow measuring device
US5086650A (en) Low noise fluid flow sensor mounting
JP3758111B2 (en) Air flow measurement device
JPH09329472A (en) Gas flow measuring device
KR940002189B1 (en) Throttle body with internally mounted anemometer
JP3848934B2 (en) Air flow measurement device
JP3240782B2 (en) Hot wire type air flow meter
JPH05322624A (en) Flow meter
PL197380B1 (en) Device for measuring air flow, comprising a device for separating foreign particles
JP3602762B2 (en) Flow measurement device
JP3188597B2 (en) Flowmeter
JP4477710B2 (en) Air flow measurement device
JP2520735Y2 (en) Dust removal means for shunt tube
JP2864221B2 (en) Current meter
JPH0672793B2 (en) Flow rate detector
JPH09329473A (en) Gas flow measuring device
JP2708282B2 (en) Fluidic flow meter with micro flow sensor
JPH0353124A (en) Flow meter
JPH0320619A (en) Hot-wire type air flowmeter
JP2625605B2 (en) Flowmeter

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080728

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080728

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term