JPH05312709A - 圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用するガス濃度測定方法 - Google Patents
圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用するガス濃度測定方法Info
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- JPH05312709A JPH05312709A JP13966792A JP13966792A JPH05312709A JP H05312709 A JPH05312709 A JP H05312709A JP 13966792 A JP13966792 A JP 13966792A JP 13966792 A JP13966792 A JP 13966792A JP H05312709 A JPH05312709 A JP H05312709A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、ガス種の選択性にすぐれ、しか
も感度の高い圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを
使用するガス濃度測定方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 この発明は、特定のガスに対して高い吸着特
性を示すことのない非選択的吸着性有機膜を担持した圧
電素子と、特定のガスに対して高い吸着特性を示す選択
的吸着性有機膜を担持した圧電素子の各出力信号におけ
る発振周波数の差を計測する。
も感度の高い圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを
使用するガス濃度測定方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 この発明は、特定のガスに対して高い吸着特
性を示すことのない非選択的吸着性有機膜を担持した圧
電素子と、特定のガスに対して高い吸着特性を示す選択
的吸着性有機膜を担持した圧電素子の各出力信号におけ
る発振周波数の差を計測する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、有機分子へのガスの
吸着量（ガス濃度）を、圧電素子を含む発振回路の周波
数変化として検出する圧電素子を用いたガスセンサおよ
びこれを用いたガス濃度測定方法に関するものである。
吸着量（ガス濃度）を、圧電素子を含む発振回路の周波
数変化として検出する圧電素子を用いたガスセンサおよ
びこれを用いたガス濃度測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７は、例えばヴェネマら，「アイ・ト
リプル・イー（ＩＥＥＥ）会報・超音波、フェロエレク
トリクスおよび周波数制御」，第ＵＦＦＣ−３４巻，第
２号，第148-155 頁（1987年）（A.Venema et al,"IEEE
Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and F
requency Control",Vol.UFFC-34,No.2,pp.148-155(198
7))に示された従来のガスセンサの構成を示す説明図で
あり、図において、１は２本の遅延線６ａ，６ｂを具備
するＳＡＷ（Surface Acoustics Wave；表面弾性波）素
子（圧電素子の一種）、２は薄い有機膜、１ａは有機膜
２で被覆された遅延線６ａを具備するＳＡＷ素子部分、
１ｂは有機膜のついていない遅延線６ｂを具備するＳＡ
Ｗ素子部分、３ａ，３ｂはそれぞれＳＡＷ素子部分１
ａ，１ｂに接続する増幅器、４ａ，４ｂは音響制御回
路、５は２本の遅延線６ａ，６ｂから送られる２つの音
響信号の周波数差を検出する周波数差演算装置である。
有機膜２としては、例えば金属フリー（「金属を含まな
い」の意）のフタロシアニン（ＰＣ）有機半導体膜を用
いる。
リプル・イー（ＩＥＥＥ）会報・超音波、フェロエレク
トリクスおよび周波数制御」，第ＵＦＦＣ−３４巻，第
２号，第148-155 頁（1987年）（A.Venema et al,"IEEE
Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and F
requency Control",Vol.UFFC-34,No.2,pp.148-155(198
7))に示された従来のガスセンサの構成を示す説明図で
あり、図において、１は２本の遅延線６ａ，６ｂを具備
するＳＡＷ（Surface Acoustics Wave；表面弾性波）素
子（圧電素子の一種）、２は薄い有機膜、１ａは有機膜
２で被覆された遅延線６ａを具備するＳＡＷ素子部分、
１ｂは有機膜のついていない遅延線６ｂを具備するＳＡ
Ｗ素子部分、３ａ，３ｂはそれぞれＳＡＷ素子部分１
ａ，１ｂに接続する増幅器、４ａ，４ｂは音響制御回
路、５は２本の遅延線６ａ，６ｂから送られる２つの音
響信号の周波数差を検出する周波数差演算装置である。
有機膜２としては、例えば金属フリー（「金属を含まな
い」の意）のフタロシアニン（ＰＣ）有機半導体膜を用
いる。
【０００３】つぎに動作について説明する。音響制御回
路から送られる音響信号は、２本の遅延線６ａ，６ｂに
至るが、ここで２つのＳＡＷ遅延線６ａ，６ｂは、増幅
器３とともに発信機を構成し、各遅延線６ａ，６ｂに対
応する２種の出力信号を送り出す。
路から送られる音響信号は、２本の遅延線６ａ，６ｂに
至るが、ここで２つのＳＡＷ遅延線６ａ，６ｂは、増幅
器３とともに発信機を構成し、各遅延線６ａ，６ｂに対
応する２種の出力信号を送り出す。
【０００４】そして、このガスセンサを窒素ガス雰囲気
下に設置したときは、窒素ガスは遅延線１ａ上の有機膜
２および遅延線１ｂ上のいずれにも吸着しないため、こ
れらの遅延線を含む発信機の２つの出力信号はいずれも
周波数が変化せず、したがって両者の間には発振周波数
の差は見られない。
下に設置したときは、窒素ガスは遅延線１ａ上の有機膜
２および遅延線１ｂ上のいずれにも吸着しないため、こ
れらの遅延線を含む発信機の２つの出力信号はいずれも
周波数が変化せず、したがって両者の間には発振周波数
の差は見られない。
【０００５】ところが、このガスセンサをＮＯ2 ガスの
存在するところに設置すると、上述のＰＣ膜２にはＮＯ
2 ガス分子が吸着し始めるが、膜のない遅延線６ｂに
は、この吸着が起こりにくい。すると、ＰＣ膜２と遅延
線６ａの間の化学界面では物理的性質が変化し、導電率
に変化が起こる。よって、この両遅延線６ａ，６ｂ間の
ＮＯ2 ガス吸着量の差は、両遅延線（音響路）を通る電
流の位相速度に差を生じさせ、その結果発信機からの２
つの出力信号の周波数に差が生まれる。この場合、遅延
線６ｂは参照用となる。遅延線６ｂには、いかなるガス
も吸着しない。
存在するところに設置すると、上述のＰＣ膜２にはＮＯ
2 ガス分子が吸着し始めるが、膜のない遅延線６ｂに
は、この吸着が起こりにくい。すると、ＰＣ膜２と遅延
線６ａの間の化学界面では物理的性質が変化し、導電率
に変化が起こる。よって、この両遅延線６ａ，６ｂ間の
ＮＯ2 ガス吸着量の差は、両遅延線（音響路）を通る電
流の位相速度に差を生じさせ、その結果発信機からの２
つの出力信号の周波数に差が生まれる。この場合、遅延
線６ｂは参照用となる。遅延線６ｂには、いかなるガス
も吸着しない。
【０００６】そして、ＮＯ2 ガスの濃度とそのＰＣ膜２
への吸着量の間には相関関係があり、またこのＮＯ2 ガ
ス吸着量と上述の発振周波数差との間にも相関があるこ
とから、この発振周波数差を計測することによりＮＯ2
のガス濃度を測定することができる。
への吸着量の間には相関関係があり、またこのＮＯ2 ガ
ス吸着量と上述の発振周波数差との間にも相関があるこ
とから、この発振周波数差を計測することによりＮＯ2
のガス濃度を測定することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の圧電素子を利用
したガスセンサおよびこれを用いたガス濃度測定方法
は、測定対象のガスを吸着する有機分子膜をもった圧電
素子とこの膜をもたない圧電素子の間の発振周波数差を
計測するように構成されているが、この有機膜には測定
対象となるガス以外のガスも吸着することが避けられな
いため、ガスの選択性が低いという問題点があった。ま
た、測定対象ガス以外のガスの濃度変動によっても応答
が変動するため、Ｓ／Ｎ比が悪くなり、高感度にできな
いという問題点があった。
したガスセンサおよびこれを用いたガス濃度測定方法
は、測定対象のガスを吸着する有機分子膜をもった圧電
素子とこの膜をもたない圧電素子の間の発振周波数差を
計測するように構成されているが、この有機膜には測定
対象となるガス以外のガスも吸着することが避けられな
いため、ガスの選択性が低いという問題点があった。ま
た、測定対象ガス以外のガスの濃度変動によっても応答
が変動するため、Ｓ／Ｎ比が悪くなり、高感度にできな
いという問題点があった。
【０００８】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ガス種の選択性が高く、また高
感度な圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用す
るガス濃度測定方法を得ることを目的とする。
ためになされたもので、ガス種の選択性が高く、また高
感度な圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用す
るガス濃度測定方法を得ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
係る圧電素子を用いたガスセンサは、特定のガスに対し
て他のガスよりも高い吸着特性を示す選択的吸着性有機
膜を担持した圧電素子と、ガスを非選択的に吸着する非
選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子と、これら両圧
電素子に音響信号を与える音響制御手段と、上記両圧電
素子の発振周波数の差を検出する周波数差検出手段を有
するものである。
係る圧電素子を用いたガスセンサは、特定のガスに対し
て他のガスよりも高い吸着特性を示す選択的吸着性有機
膜を担持した圧電素子と、ガスを非選択的に吸着する非
選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子と、これら両圧
電素子に音響信号を与える音響制御手段と、上記両圧電
素子の発振周波数の差を検出する周波数差検出手段を有
するものである。
【００１０】さらに請求項２に記載の発明に係るガス濃
度測定方法は、特定のガスに対して他のガスよりも高い
吸着特性を示す選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子
の発振周波数を測定する工程と、ガスを非選択的に吸着
する非選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子の発振周
波数を測定する工程と、上記両工程で測定された発振周
波数の差を求める工程を含むものである。
度測定方法は、特定のガスに対して他のガスよりも高い
吸着特性を示す選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子
の発振周波数を測定する工程と、ガスを非選択的に吸着
する非選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子の発振周
波数を測定する工程と、上記両工程で測定された発振周
波数の差を求める工程を含むものである。
【００１１】
【作用】この発明における圧電素子を用いたガスセンサ
およびこれを使用するガス濃度測定方法は、特定のガス
に対して他のガスよりも高い吸着特性を示す選択的吸着
性有機膜を担持した圧電素子の発振周波数と、ガスを非
選択的に吸着する非選択的吸着性有機膜を担持した圧電
素子の発振周波数をそれぞれ測定し、上記両工程で測定
された発振周波数の差を求めるため、特定のガス以外の
ガス（測定対象以外のガス）については、選択的吸着性
有機膜と非選択的吸着性有機膜の同等な吸着特性をそれ
ぞれの周波数差を計測することにより相殺し、測定対象
とするガスだけを選択性よく、また高感度に計測するこ
とができる。
およびこれを使用するガス濃度測定方法は、特定のガス
に対して他のガスよりも高い吸着特性を示す選択的吸着
性有機膜を担持した圧電素子の発振周波数と、ガスを非
選択的に吸着する非選択的吸着性有機膜を担持した圧電
素子の発振周波数をそれぞれ測定し、上記両工程で測定
された発振周波数の差を求めるため、特定のガス以外の
ガス（測定対象以外のガス）については、選択的吸着性
有機膜と非選択的吸着性有機膜の同等な吸着特性をそれ
ぞれの周波数差を計測することにより相殺し、測定対象
とするガスだけを選択性よく、また高感度に計測するこ
とができる。
【００１２】
実施例１．以下この発明の一実施例を図について説明す
る。図１はこの実施例に係るＮＯ2 ガスセンサの構成図
であり、図１において１１ａ，１１ｂはＡＴカットで９
MHz を基本発振周波数とする水晶振動子（圧電素子）、
１２は水晶振動子１１ａ上に形成したＮＯ2 ガス選択吸
着膜（他のガスにもわずかに感応する）として機能する
テトラフェニルポルフィリンコバルト錯体膜、１３は水
晶振動子１１ｂ上に形成したＮＯ2 ガスに対して選択吸
着を示さない（ガスを種類を問わずわずかに吸着する）
非選択吸着膜として機能するテトラフェニルポルフィリ
ン亜鉛錯体膜、１４は水晶振動子を発振させるための発
振回路、１５は周波数カウンタ、１６は水晶振動子１１
ａ，１１ｂの発振周波数差を計算する周波数差演算装
置、１６ａは演算装置１６の出力信号である。
る。図１はこの実施例に係るＮＯ2 ガスセンサの構成図
であり、図１において１１ａ，１１ｂはＡＴカットで９
MHz を基本発振周波数とする水晶振動子（圧電素子）、
１２は水晶振動子１１ａ上に形成したＮＯ2 ガス選択吸
着膜（他のガスにもわずかに感応する）として機能する
テトラフェニルポルフィリンコバルト錯体膜、１３は水
晶振動子１１ｂ上に形成したＮＯ2 ガスに対して選択吸
着を示さない（ガスを種類を問わずわずかに吸着する）
非選択吸着膜として機能するテトラフェニルポルフィリ
ン亜鉛錯体膜、１４は水晶振動子を発振させるための発
振回路、１５は周波数カウンタ、１６は水晶振動子１１
ａ，１１ｂの発振周波数差を計算する周波数差演算装
置、１６ａは演算装置１６の出力信号である。
【００１３】このガスセンサの動作は、先に図７につい
て説明したものとほぼ同じであり、発振回路１４からの
信号によって水晶振動子１１ａ，１１ｂが発振し、各水
晶振動子１１ａ，１１ｂに対応する２種の信号が発生す
るが、２種の有機膜１２，１３はＮＯ2 ガスに対する吸
着能が異なるため、ＮＯ2 ガスに触れさせたときは、先
に図７で説明したように、有機膜１２と水晶振動子１１
ａの間の界面の物理特性が変化して水晶振動子１１ａの
導電率に影響を与え、水晶振動子１１ａを流れる電流の
位相速度、ひいては周波数に変化が生まれる。なお、Ｎ
Ｏ2 ガス以外のガスは、有機膜１２，１３にわずかに吸
着するものの、２つの有機膜１２，１３間で吸着量には
ほとんど差がない。よって、水晶振動子１１ａ，１１ｂ
の発振周波数には変化が生ずるものの、その変化は同じ
程度で両者の周波数に差は生まれない。
て説明したものとほぼ同じであり、発振回路１４からの
信号によって水晶振動子１１ａ，１１ｂが発振し、各水
晶振動子１１ａ，１１ｂに対応する２種の信号が発生す
るが、２種の有機膜１２，１３はＮＯ2 ガスに対する吸
着能が異なるため、ＮＯ2 ガスに触れさせたときは、先
に図７で説明したように、有機膜１２と水晶振動子１１
ａの間の界面の物理特性が変化して水晶振動子１１ａの
導電率に影響を与え、水晶振動子１１ａを流れる電流の
位相速度、ひいては周波数に変化が生まれる。なお、Ｎ
Ｏ2 ガス以外のガスは、有機膜１２，１３にわずかに吸
着するものの、２つの有機膜１２，１３間で吸着量には
ほとんど差がない。よって、水晶振動子１１ａ，１１ｂ
の発振周波数には変化が生ずるものの、その変化は同じ
程度で両者の周波数に差は生まれない。
【００１４】両水晶振動子１１ａ，１１ｂの発振周波数
は周波数カウンタ１５によって計数される。そして、こ
の計数された各周波数は、周波数差演算装置１６で両者
間の周波数差を演算され、ＮＯ2 ガス濃度算出のための
出力信号１６ａとしてガスセンサ外部に送り出される。
は周波数カウンタ１５によって計数される。そして、こ
の計数された各周波数は、周波数差演算装置１６で両者
間の周波数差を演算され、ＮＯ2 ガス濃度算出のための
出力信号１６ａとしてガスセンサ外部に送り出される。
【００１５】有機分子膜１２，１３の形成は、真空蒸着
法を用いて行い、テトラフェニルポルフィリンコバルト
錯体およびテトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体は、必
要に応じ生成して用いた。蒸着の膜厚は両者１２，１３
ともに５００Ａであった。また、このガスセンサを用い
たガス濃度の測定は、フロー方式により行い、最初ＮＯ
2 、ＣＯ2 、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタンを含まない空気を
流し、ついでＮＯ2 、ＣＯ2 、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタン
を含む空気に切り換えることによりＮＯ2 のガス濃度を
測定した。
法を用いて行い、テトラフェニルポルフィリンコバルト
錯体およびテトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体は、必
要に応じ生成して用いた。蒸着の膜厚は両者１２，１３
ともに５００Ａであった。また、このガスセンサを用い
たガス濃度の測定は、フロー方式により行い、最初ＮＯ
2 、ＣＯ2 、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタンを含まない空気を
流し、ついでＮＯ2 、ＣＯ2 、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタン
を含む空気に切り換えることによりＮＯ2 のガス濃度を
測定した。
【００１６】図２（ａ）は、テトラフェニルポルフィリ
ンコバルト錯体膜１２とテトラフェニルポルフィリン亜
鉛錯体膜１３のＮＯ2 その他のガスの吸着に係る各水晶
振動子１１ａ，１１ｂの経時的な周波数変化を示したグ
ラフ図であり、図中１７はテトラフェニルポルフィリン
コバルト錯体膜１２の応答曲線（ガス吸着曲線）、１８
はテトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体膜１３の応答曲
線である。また図２（ｂ）はこれら周波数の差（応答曲
線１７と１８の差）を示すグラフ図である。
ンコバルト錯体膜１２とテトラフェニルポルフィリン亜
鉛錯体膜１３のＮＯ2 その他のガスの吸着に係る各水晶
振動子１１ａ，１１ｂの経時的な周波数変化を示したグ
ラフ図であり、図中１７はテトラフェニルポルフィリン
コバルト錯体膜１２の応答曲線（ガス吸着曲線）、１８
はテトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体膜１３の応答曲
線である。また図２（ｂ）はこれら周波数の差（応答曲
線１７と１８の差）を示すグラフ図である。
【００１７】図２（ａ）の応答曲線１７において、テト
ラフェニルポルフィリンコバルト錯体膜１２のガス吸着
特性の経時変化は、選択吸着性の高いＮＯ2 を始め、選
択吸着能の低いＨ2 Ｏ、ｎ−ブタン、ＣＯ2 吸着による
応答の和として得られている。テトラフェニルポルフィ
リンコバルト錯体膜１２のＮＯ2 ガスに対する感応速度
はきわめて高いことが分る。一方、応答曲線１８に表さ
れるように、テトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体膜１
３の吸着特性の経時変化は、ＮＯ2 に対する選択的吸着
性が低いため、応答の立ち上がりがテトラフェニルポル
フィリンコバルト錯体と比べて遅く、周波数変化も小さ
くなっている。
ラフェニルポルフィリンコバルト錯体膜１２のガス吸着
特性の経時変化は、選択吸着性の高いＮＯ2 を始め、選
択吸着能の低いＨ2 Ｏ、ｎ−ブタン、ＣＯ2 吸着による
応答の和として得られている。テトラフェニルポルフィ
リンコバルト錯体膜１２のＮＯ2 ガスに対する感応速度
はきわめて高いことが分る。一方、応答曲線１８に表さ
れるように、テトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体膜１
３の吸着特性の経時変化は、ＮＯ2 に対する選択的吸着
性が低いため、応答の立ち上がりがテトラフェニルポル
フィリンコバルト錯体と比べて遅く、周波数変化も小さ
くなっている。
【００１８】そして、図２（ｂ）に示すこのガスセンサ
の応答はＮＯ2 濃度に基づくもののみとなり、選択性が
よく、また他のガスの濃度変動に起因する変動も相殺さ
れ、Ｓ／Ｎ比の高い高感度な応答が得られることにな
る。
の応答はＮＯ2 濃度に基づくもののみとなり、選択性が
よく、また他のガスの濃度変動に起因する変動も相殺さ
れ、Ｓ／Ｎ比の高い高感度な応答が得られることにな
る。
【００１９】実施例２．つぎにこの発明の他の実施例に
係るｎ−ブタンガスセンサを図３について説明する。図
において、１４〜１６ａは図１と同じであり、１１ｃ，
１１ｄは水晶振動子、２０はラングムア−ブロジェット
（Langmuir-Blodgett;ＬＢ）法により水晶振動子１１ｃ
上に形成したヘマトポルフィリン（IX）−ビス（トリデ
カノイルエーテル）ルテニウムジピリジン錯体（以下
「RuHP(py)2 」と略す）の累積膜、２１は同じくＬＢ法
により水晶振動子１１ｄ上に形成したω−トリコセン酸
ＬＢ累積膜（「ＬＢ膜」ともいう）である。ω−トリコ
セン酸ＬＢ累積膜は、ｎ−ブタンを含む炭化水素ガスに
対して選択吸着性を示す膜であり、他方RuHP(py)2 累積
膜は非選択性吸着膜である。このガスセンサの動作は、
実施例１のガスセンサの動作と同じである。
係るｎ−ブタンガスセンサを図３について説明する。図
において、１４〜１６ａは図１と同じであり、１１ｃ，
１１ｄは水晶振動子、２０はラングムア−ブロジェット
（Langmuir-Blodgett;ＬＢ）法により水晶振動子１１ｃ
上に形成したヘマトポルフィリン（IX）−ビス（トリデ
カノイルエーテル）ルテニウムジピリジン錯体（以下
「RuHP(py)2 」と略す）の累積膜、２１は同じくＬＢ法
により水晶振動子１１ｄ上に形成したω−トリコセン酸
ＬＢ累積膜（「ＬＢ膜」ともいう）である。ω−トリコ
セン酸ＬＢ累積膜は、ｎ−ブタンを含む炭化水素ガスに
対して選択吸着性を示す膜であり、他方RuHP(py)2 累積
膜は非選択性吸着膜である。このガスセンサの動作は、
実施例１のガスセンサの動作と同じである。
【００２０】ＬＢ累積膜２０，２１の成膜方法について
説明すると、まずRuHP(py)2 ＬＢ累積膜２０の場合は、
RuHP(py)2 のクロロホルム溶液１mMを１０-4ＭのＢａＣ
ｌ2溶液（ｐＨ７、１２℃）に展開し、ＬＢ膜製造装置
により膜圧が１５mNcm-1となるように膜を圧縮した。そ
して垂直浸漬法により、水晶振動子１１ｃ上にRuHP(py)
2 ＬＢ膜２０を数層〜数十層累積した。
説明すると、まずRuHP(py)2 ＬＢ累積膜２０の場合は、
RuHP(py)2 のクロロホルム溶液１mMを１０-4ＭのＢａＣ
ｌ2溶液（ｐＨ７、１２℃）に展開し、ＬＢ膜製造装置
により膜圧が１５mNcm-1となるように膜を圧縮した。そ
して垂直浸漬法により、水晶振動子１１ｃ上にRuHP(py)
2 ＬＢ膜２０を数層〜数十層累積した。
【００２１】一方、ω−トリコセン酸ＬＢ膜２１の場合
は、ω−トリコセン酸１mMのクロロホルム溶液を１０-4
ＭのＢａＣｌ2 溶液に（ｐＨ７、１２℃）に展開し、Ｌ
Ｂ膜製造装置にて膜圧が３０mNcm-1となるように膜を圧
縮した。そして垂直浸漬法により、水晶振動子１１ｄ上
にω−トリコセン酸ＬＢ膜２１を数層〜数十層累積し
た。累積後はDeepＵＶランプでＬＢ膜を照射し、ω−ト
リコセン酸を重合させた。
は、ω−トリコセン酸１mMのクロロホルム溶液を１０-4
ＭのＢａＣｌ2 溶液に（ｐＨ７、１２℃）に展開し、Ｌ
Ｂ膜製造装置にて膜圧が３０mNcm-1となるように膜を圧
縮した。そして垂直浸漬法により、水晶振動子１１ｄ上
にω−トリコセン酸ＬＢ膜２１を数層〜数十層累積し
た。累積後はDeepＵＶランプでＬＢ膜を照射し、ω−ト
リコセン酸を重合させた。
【００２２】この実施例においては、ＮＯ2 、ＣＯ2 お
よびＨ2 Ｏを含まない空気からＮＯ2 、ＣＯ2 およびＨ
2 Ｏを含む空気に切り換えるフロー方式でガス濃度の測
定を行った。図４（ａ）は、RuHP(py)2 膜２０および重
合したω−トリコセン酸ＬＢ膜（以下単に「ω−トリコ
セン酸ＬＢ膜」という）２１に係る各ガス吸着曲線２
２，２３を示すグラフ図であり、図４（ｂ）はこれら２
つのガス吸着曲線２２，２３の差（すなわち、水晶振動
子１１ｃ，１１ｄの発振周波数の差）を示すグラフ図で
ある。
よびＨ2 Ｏを含まない空気からＮＯ2 、ＣＯ2 およびＨ
2 Ｏを含む空気に切り換えるフロー方式でガス濃度の測
定を行った。図４（ａ）は、RuHP(py)2 膜２０および重
合したω−トリコセン酸ＬＢ膜（以下単に「ω−トリコ
セン酸ＬＢ膜」という）２１に係る各ガス吸着曲線２
２，２３を示すグラフ図であり、図４（ｂ）はこれら２
つのガス吸着曲線２２，２３の差（すなわち、水晶振動
子１１ｃ，１１ｄの発振周波数の差）を示すグラフ図で
ある。
【００２３】この実施例では、測定に使用するガスがｎ
−ブタンを含まないため、図４（ａ）においては専らRu
HP(py)2 膜２０のＮＯ2 に対する応答だけが際立って観
察される。なお、ガス吸着曲線２２，２３はいずれもＣ
Ｏ2 およびＨ2 Ｏに対する同程度の応答を含むものであ
る。そして、図４（ｂ）に示すように、両ガス吸着曲線
の差を計算することにより、高選択性でかつ高感度なＮ
Ｏ2 測定結果が得られる。
−ブタンを含まないため、図４（ａ）においては専らRu
HP(py)2 膜２０のＮＯ2 に対する応答だけが際立って観
察される。なお、ガス吸着曲線２２，２３はいずれもＣ
Ｏ2 およびＨ2 Ｏに対する同程度の応答を含むものであ
る。そして、図４（ｂ）に示すように、両ガス吸着曲線
の差を計算することにより、高選択性でかつ高感度なＮ
Ｏ2 測定結果が得られる。
【００２４】実施例３．この発明のさらに他の実施例に
係るガスセンサを図５について説明する。図において、
１１ａ，１１ｂ，１１ｄ，１２〜１５は図１、図３にお
けるものと同じであり、３０，３１は先の１６と同様の
周波数差演算装置、３０ａ，３１ａはそれぞれ周波数差
演算装置３０，３１の出力信号である。また、各有機膜
１２，１３，２１の形成方法は実施例１および２と同じ
である。
係るガスセンサを図５について説明する。図において、
１１ａ，１１ｂ，１１ｄ，１２〜１５は図１、図３にお
けるものと同じであり、３０，３１は先の１６と同様の
周波数差演算装置、３０ａ，３１ａはそれぞれ周波数差
演算装置３０，３１の出力信号である。また、各有機膜
１２，１３，２１の形成方法は実施例１および２と同じ
である。
【００２５】このガスセンサは、テトラフェニルポルフ
ィリンコバルト錯体膜１２とテトラフェニルポルフィリ
ン亜鉛錯体膜１３をそれぞれ形成した水晶振動子１１
ａ，１１ｂ間の周波数差（「周波数差Ａ」とする）と、
ω−トリコセン酸ＬＢ膜２１を形成した水晶振動子１１
ｄと水晶振動子１１ｂの間の周波数差（「周波数差Ｂ」
とする）を同時に計測するように構成する。周波数差Ａ
は周波数差演算装置３０で、また周波数差Ｂは周波数差
演算装置３１でそれぞれ算出し、出力信号３０ａ，３１
ａとしてそれぞれ出力する。このガスセンサの動作は実
施例１および２のガスセンサと同じであり、したがって
このガスセンサは、ＮＯ2 ガスと炭化水素ガスの複数の
ガスを検出できる多成分ガスセンサとなる。
ィリンコバルト錯体膜１２とテトラフェニルポルフィリ
ン亜鉛錯体膜１３をそれぞれ形成した水晶振動子１１
ａ，１１ｂ間の周波数差（「周波数差Ａ」とする）と、
ω−トリコセン酸ＬＢ膜２１を形成した水晶振動子１１
ｄと水晶振動子１１ｂの間の周波数差（「周波数差Ｂ」
とする）を同時に計測するように構成する。周波数差Ａ
は周波数差演算装置３０で、また周波数差Ｂは周波数差
演算装置３１でそれぞれ算出し、出力信号３０ａ，３１
ａとしてそれぞれ出力する。このガスセンサの動作は実
施例１および２のガスセンサと同じであり、したがって
このガスセンサは、ＮＯ2 ガスと炭化水素ガスの複数の
ガスを検出できる多成分ガスセンサとなる。
【００２６】この実施例においては、実施例１と同様
に、ＮＯ2 、ＣＯ2 、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタンを含まな
い空気からＮＯ2 、ＣＯ2 、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタンを
含む空気に切り換えるフロー方式でガス濃度の測定を行
った。図６は、周波数差Ａと周波数差Ｂをそれぞれ表す
曲線２５と２６を示すグラフ図である。この図によれ
ば、周波数差ＡとＢについて、それぞれ図２（ｂ）およ
び図４（ｂ）に似通った曲線が得られている。よって、
ＮＯ2 ガスおよびｎ−ブタン（炭化水素）について、た
だ一個のガスセンサにより、同時に、複数のガス種を高
選択性かつ高感度をもって濃度を測定できることが分
る。
に、ＮＯ2 、ＣＯ2 、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタンを含まな
い空気からＮＯ2 、ＣＯ2 、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタンを
含む空気に切り換えるフロー方式でガス濃度の測定を行
った。図６は、周波数差Ａと周波数差Ｂをそれぞれ表す
曲線２５と２６を示すグラフ図である。この図によれ
ば、周波数差ＡとＢについて、それぞれ図２（ｂ）およ
び図４（ｂ）に似通った曲線が得られている。よって、
ＮＯ2 ガスおよびｎ−ブタン（炭化水素）について、た
だ一個のガスセンサにより、同時に、複数のガス種を高
選択性かつ高感度をもって濃度を測定できることが分
る。
【００２７】なお上記各実施例のガスセンサにおいて
は、３個までの有機分子膜と水晶振動子を組合せ、１個
の水晶振動子を基準とした時の他の１個または２個の水
晶振動子との周波数差を計測するように構成したが、さ
らに多くの有機分子膜をもった水晶振動子を用い、３種
以上のガスを同時に測定することもできる。また上記各
実施例では圧電素子として水晶振動子を用いたが、これ
をＳＡＷ素子その他の圧電素子に置き換えても同様の効
果を奏する。
は、３個までの有機分子膜と水晶振動子を組合せ、１個
の水晶振動子を基準とした時の他の１個または２個の水
晶振動子との周波数差を計測するように構成したが、さ
らに多くの有機分子膜をもった水晶振動子を用い、３種
以上のガスを同時に測定することもできる。また上記各
実施例では圧電素子として水晶振動子を用いたが、これ
をＳＡＷ素子その他の圧電素子に置き換えても同様の効
果を奏する。
【００２８】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、特定
のガスに対して高い吸着特性を示すことのない非選択的
吸着性有機膜を担持した圧電素子と、特定のガスに対し
て高い吸着特性を示す選択的吸着性有機膜を担持した圧
電素子の各出力信号における発振周波数の差を計測する
ように構成したので、選択性にすぐれ、しかも感度の高
いガスセンサおよびガス濃度測定方法が得られる。
のガスに対して高い吸着特性を示すことのない非選択的
吸着性有機膜を担持した圧電素子と、特定のガスに対し
て高い吸着特性を示す選択的吸着性有機膜を担持した圧
電素子の各出力信号における発振周波数の差を計測する
ように構成したので、選択性にすぐれ、しかも感度の高
いガスセンサおよびガス濃度測定方法が得られる。
【図１】この発明の一実施例によるガスセンサの構成図
である。
である。
【図２】（ａ）は図１のガスセンサにおける２つの圧電
素子の発振周波数を示すグラフ図である。（ｂ）は
（ａ）における各発振周波数の差を示すグラフ図であ
る。
素子の発振周波数を示すグラフ図である。（ｂ）は
（ａ）における各発振周波数の差を示すグラフ図であ
る。
【図３】この発明の他の実施例によるガスセンサの構成
図である。
図である。
【図４】（ａ）は図３のガスセンサにおける２つの圧電
素子の発振周波数を示すグラフ図である。（ｂ）は
（ａ）における各発振周波数の差を示すグラフ図であ
る。
素子の発振周波数を示すグラフ図である。（ｂ）は
（ａ）における各発振周波数の差を示すグラフ図であ
る。
【図５】この発明のさらに他の実施例による多成分検出
ガスセンサの構成図である。
ガスセンサの構成図である。
【図６】図５のガスセンサのＮＯ2 とｎ−ブタンに対す
る応答曲線を示すグラフ図である。
る応答曲線を示すグラフ図である。
【図７】従来のガスセンサの構成図である。
【符号の説明】 １１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ 水晶振動子（圧電素
子） １２ テトラフェニルポルフィリンコバルト錯体膜（選
択的吸着性有機膜） １３ テトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体膜（非選択
的吸着性有機膜） １４ 発振回路（音響制御手段） １５ 周波数カウンタ（周波数差検出手段） １６，３０，３１ 周波数差演算装置（周波数差検出手
段）
子） １２ テトラフェニルポルフィリンコバルト錯体膜（選
択的吸着性有機膜） １３ テトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体膜（非選択
的吸着性有機膜） １４ 発振回路（音響制御手段） １５ 周波数カウンタ（周波数差検出手段） １６，３０，３１ 周波数差演算装置（周波数差検出手
段）
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年８月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】ところが、このガスセンサをＮＯ2 ガスの
存在するところに設置すると、上述のＰＣ膜２にはＮＯ
2 ガス分子が吸着し始めるが、膜のない遅延線６ｂに
は、この吸着が起こりにくい。すると、ＰＣ膜２の表面
ではガスの選択的な吸着により、遅延線上のＰＣ膜の質
量が変化し、表面弾性波の伝搬状態に変化が起こる。よ
ってこの両遅延線６ａ，６ｂ間のＮＯ2 ガス吸着量の差
は、両遅延線（音響路）を伝搬する音響波の位相速度に
差を生じさせ、その結果発信機からの２つの出力信号の
周波数に差が生まれる。この場合、遅延線６ｂは参照用
となる。遅延線６ｂには、いかなるガスも吸着しない。
存在するところに設置すると、上述のＰＣ膜２にはＮＯ
2 ガス分子が吸着し始めるが、膜のない遅延線６ｂに
は、この吸着が起こりにくい。すると、ＰＣ膜２の表面
ではガスの選択的な吸着により、遅延線上のＰＣ膜の質
量が変化し、表面弾性波の伝搬状態に変化が起こる。よ
ってこの両遅延線６ａ，６ｂ間のＮＯ2 ガス吸着量の差
は、両遅延線（音響路）を伝搬する音響波の位相速度に
差を生じさせ、その結果発信機からの２つの出力信号の
周波数に差が生まれる。この場合、遅延線６ｂは参照用
となる。遅延線６ｂには、いかなるガスも吸着しない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】このガスセンサの動作は、先に図７につい
て説明したものとほぼ同じであり、発振回路１４からの
信号によって水晶振動子１１ａ，１１ｂが発振し、各水
晶振動子１１ａ，１１ｂに対応する２種の信号が発生す
るが、２種の有機膜１２，１３はＮＯ2 ガスに対する吸
着能が異なるため、ＮＯ2 ガスに触れさせたときは、先
に図７で説明したように、有機膜１２の表面にガスの吸
着が生じ、有機膜１２の質量に変化が起こり、その結果
発振周波数に変化が生まれる。なお、ＮＯ2 ガス以外の
ガスは、有機膜１２，１３にわずかに吸着するものの、
２つの有機膜１２，１３間で吸着量にはほとんど差がな
い。よって、水晶振動子１１ａ，１１ｂの発振周波数に
は変化が生ずるものの、その変化は同じ程度で両者の周
波数に差は生まれない。
て説明したものとほぼ同じであり、発振回路１４からの
信号によって水晶振動子１１ａ，１１ｂが発振し、各水
晶振動子１１ａ，１１ｂに対応する２種の信号が発生す
るが、２種の有機膜１２，１３はＮＯ2 ガスに対する吸
着能が異なるため、ＮＯ2 ガスに触れさせたときは、先
に図７で説明したように、有機膜１２の表面にガスの吸
着が生じ、有機膜１２の質量に変化が起こり、その結果
発振周波数に変化が生まれる。なお、ＮＯ2 ガス以外の
ガスは、有機膜１２，１３にわずかに吸着するものの、
２つの有機膜１２，１３間で吸着量にはほとんど差がな
い。よって、水晶振動子１１ａ，１１ｂの発振周波数に
は変化が生ずるものの、その変化は同じ程度で両者の周
波数に差は生まれない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】有機分子膜１２，１３の形成は、真空蒸着
法を用いて行い、テトラフェニルポルフィリンコバルト
錯体およびテトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体は、必
要に応じ精製して用いた。蒸着の膜厚は両者１２，１３
ともに５００Åであった。また、このガスセンサを用い
たガス濃度の測定は、フロー方式により行い、最初ＮＯ
2 、ＣＯ2 、ＣＯ、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタンを含まない
空気を流し、ついでＮＯ2 、ＣＯ2 、ＣＯ、Ｈ2 Ｏおよ
びｎ−ブタンを含む空気に切り換えることによりＮＯ2
のガス濃度を測定した。
法を用いて行い、テトラフェニルポルフィリンコバルト
錯体およびテトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体は、必
要に応じ精製して用いた。蒸着の膜厚は両者１２，１３
ともに５００Åであった。また、このガスセンサを用い
たガス濃度の測定は、フロー方式により行い、最初ＮＯ
2 、ＣＯ2 、ＣＯ、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタンを含まない
空気を流し、ついでＮＯ2 、ＣＯ2 、ＣＯ、Ｈ2 Ｏおよ
びｎ−ブタンを含む空気に切り換えることによりＮＯ2
のガス濃度を測定した。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】図２（ａ）の応答曲線１７において、テト
ラフェニルポルフィリンコバルト錯体膜１２のガス吸着
特性の経時変化は、選択吸着性の高いＮＯ2 を始め、選
択吸着能の低いＨ2 Ｏ、ｎ−ブタン、ＣＯ2 、ＣＯ吸着
による応答の和として得られている。テトラフェニルポ
ルフィリンコバルト錯体膜１２のＮＯ2 ガスに対する感
応速度はきわめて高いことが分る。一方、応答曲線１８
に表されるように、テトラフェニルポルフィリン亜鉛錯
体膜１３の吸着特性の経時変化は、ＮＯ2 に対する選択
的吸着性が低いため、応答の立ち上がりがテトラフェニ
ルポルフィリンコバルト錯体と比べて遅く、周波数変化
も小さくなっている。
ラフェニルポルフィリンコバルト錯体膜１２のガス吸着
特性の経時変化は、選択吸着性の高いＮＯ2 を始め、選
択吸着能の低いＨ2 Ｏ、ｎ−ブタン、ＣＯ2 、ＣＯ吸着
による応答の和として得られている。テトラフェニルポ
ルフィリンコバルト錯体膜１２のＮＯ2 ガスに対する感
応速度はきわめて高いことが分る。一方、応答曲線１８
に表されるように、テトラフェニルポルフィリン亜鉛錯
体膜１３の吸着特性の経時変化は、ＮＯ2 に対する選択
的吸着性が低いため、応答の立ち上がりがテトラフェニ
ルポルフィリンコバルト錯体と比べて遅く、周波数変化
も小さくなっている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】実施例２．つぎにこの発明の他の実施例に
係るＮＯ2 ガスセンサを図３について説明する。図にお
いて、１４〜１６ａは図１と同じであり、１１ｃ，１１
ｄは水晶振動子、２０はラングミュア−ブロジェット
（Langmuir-Blodgett;ＬＢ）法により水晶振動子１１ｃ
上に形成したヘマトポルフィリン（IX）−ビス（トリデ
カノイルエーテル）ルテニウムジピリジン錯体（以下
「RuHP(py)2 」と略す）の累積膜、２１は同じくＬＢ法
により水晶振動子１１ｄ上に形成したω−トリコセン酸
ＬＢ累積膜（「ＬＢ膜」ともいう）である。RuHP(py)2
累積膜はＮＯ2 およびｎ−ブタンを含む炭化水素ガスに
対して選択吸着性を示す膜であり、ω−トリコセン酸Ｌ
Ｂ累積膜は、ｎ−ブタンを含む炭化水素ガスに対して選
択吸着性を示す膜（炭化水素ガスに対してはRuHP(py)2
膜と同程度の選択吸着性をもつ）である。このガスセン
サの動作は、実施例１のガスセンサの動作と同じであ
る。
係るＮＯ2 ガスセンサを図３について説明する。図にお
いて、１４〜１６ａは図１と同じであり、１１ｃ，１１
ｄは水晶振動子、２０はラングミュア−ブロジェット
（Langmuir-Blodgett;ＬＢ）法により水晶振動子１１ｃ
上に形成したヘマトポルフィリン（IX）−ビス（トリデ
カノイルエーテル）ルテニウムジピリジン錯体（以下
「RuHP(py)2 」と略す）の累積膜、２１は同じくＬＢ法
により水晶振動子１１ｄ上に形成したω−トリコセン酸
ＬＢ累積膜（「ＬＢ膜」ともいう）である。RuHP(py)2
累積膜はＮＯ2 およびｎ−ブタンを含む炭化水素ガスに
対して選択吸着性を示す膜であり、ω−トリコセン酸Ｌ
Ｂ累積膜は、ｎ−ブタンを含む炭化水素ガスに対して選
択吸着性を示す膜（炭化水素ガスに対してはRuHP(py)2
膜と同程度の選択吸着性をもつ）である。このガスセン
サの動作は、実施例１のガスセンサの動作と同じであ
る。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２２】この実施例においては、ＮＯ2 、ＣＯ2 、
ＣＯ、ｎ−ブタンおよびＨ2 Ｏを含まない空気からＮＯ
2 、ＣＯ2 およびＨ2 Ｏを含む空気に切り換えるフロー
方式でガス濃度の測定を行った。図４（ａ）は、RuHP(p
y)2 膜２０および重合したω−トリコセン酸ＬＢ膜（以
下単に「ω−トリコセン酸ＬＢ膜」という）２１に係る
各ガス吸着曲線２２，２３を示すグラフ図であり、図４
（ｂ）はこれら２つのガス吸着曲線２２，２３の差（す
なわち、水晶振動子１１ｃ，１１ｄの発振周波数の差）
を示すグラフ図である。
ＣＯ、ｎ−ブタンおよびＨ2 Ｏを含まない空気からＮＯ
2 、ＣＯ2 およびＨ2 Ｏを含む空気に切り換えるフロー
方式でガス濃度の測定を行った。図４（ａ）は、RuHP(p
y)2 膜２０および重合したω−トリコセン酸ＬＢ膜（以
下単に「ω−トリコセン酸ＬＢ膜」という）２１に係る
各ガス吸着曲線２２，２３を示すグラフ図であり、図４
（ｂ）はこれら２つのガス吸着曲線２２，２３の差（す
なわち、水晶振動子１１ｃ，１１ｄの発振周波数の差）
を示すグラフ図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】この実施例では、図４（ａ）においては専
らRuHP(py)2 膜２０のＮＯ2 に対する応答だけが際立っ
て観察される。なお、ガス吸着曲線２２，２３はいずれ
もＣＯ2 、ＣＯ、ｎ−ブタンおよびＨ2 Ｏに対する同程
度の応答を含むものである。そして、図４（ｂ）に示す
ように、両ガス吸着曲線の差を計算することにより、高
選択性でかつ高感度なＮＯ2 測定結果が得られる。
らRuHP(py)2 膜２０のＮＯ2 に対する応答だけが際立っ
て観察される。なお、ガス吸着曲線２２，２３はいずれ
もＣＯ2 、ＣＯ、ｎ−ブタンおよびＨ2 Ｏに対する同程
度の応答を含むものである。そして、図４（ｂ）に示す
ように、両ガス吸着曲線の差を計算することにより、高
選択性でかつ高感度なＮＯ2 測定結果が得られる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２６】この実施例においては、実施例１と同様
に、ＮＯ2 、ＣＯ2 、ＣＯ、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタンを
含まない空気からＮＯ2 、ＣＯ2 、ＣＯ、Ｈ2 Ｏおよび
ｎ−ブタンを含む空気に切り換えるフロー方式でガス濃
度の測定を行った。図６は、周波数差Ａと周波数差Ｂを
それぞれ表す曲線２５と２６を示すグラフ図である。こ
の図によれば、周波数差ＡとＢについて、それぞれ図２
（ｂ）および図４（ｂ）に似通った曲線が得られてい
る。よって、ＮＯ2 ガスおよびｎ−ブタン（炭化水素）
について、ただ一個のガスセンサにより、同時に、複数
のガス種を高選択性かつ高感度をもって濃度を測定でき
ることが分る。
に、ＮＯ2 、ＣＯ2 、ＣＯ、Ｈ2 Ｏおよびｎ−ブタンを
含まない空気からＮＯ2 、ＣＯ2 、ＣＯ、Ｈ2 Ｏおよび
ｎ−ブタンを含む空気に切り換えるフロー方式でガス濃
度の測定を行った。図６は、周波数差Ａと周波数差Ｂを
それぞれ表す曲線２５と２６を示すグラフ図である。こ
の図によれば、周波数差ＡとＢについて、それぞれ図２
（ｂ）および図４（ｂ）に似通った曲線が得られてい
る。よって、ＮＯ2 ガスおよびｎ−ブタン（炭化水素）
について、ただ一個のガスセンサにより、同時に、複数
のガス種を高選択性かつ高感度をもって濃度を測定でき
ることが分る。
Claims (2)
- 【請求項１】 特定のガスに対して他のガスよりも高い
吸着特性を示す選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子
と、ガスを非選択的に吸着する非選択的吸着性有機膜を
担持した圧電素子と、これら両圧電素子に音響信号を与
える音響制御手段と、上記両圧電素子の発振周波数の差
を検出する周波数差検出手段を有する圧電素子を用いた
ガスセンサ。 - 【請求項２】 特定のガスに対して他のガスよりも高い
吸着特性を示す選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子
の発振周波数を測定する工程と、ガスを非選択的に吸着
する非選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子の発振周
波数を測定する工程と、上記両工程で測定された発振周
波数の差を求める工程を含む、圧電素子を用いたガスセ
ンサを使用するガス濃度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13966792A JPH05312709A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用するガス濃度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13966792A JPH05312709A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用するガス濃度測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05312709A true JPH05312709A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=15250618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13966792A Pending JPH05312709A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用するガス濃度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05312709A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004506872A (ja) * | 1999-11-03 | 2004-03-04 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | カンチレバー・センサ及びトランスジューサ |
| US8508738B2 (en) | 2008-11-26 | 2013-08-13 | Panasonic Corporation | Nitrogen oxide sensing element, nitrogen oxide sensor, nitrogen oxide concentration determination device using same, and method for determining nitrogen oxide concentration |
| JP2015040793A (ja) * | 2013-08-22 | 2015-03-02 | オリンパス株式会社 | ガスセンサ |
| CN114323407A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-12 | 电子科技大学 | 一种柔性薄膜式自驱动多功能传感器及其制备方法 |
-
1992
- 1992-05-06 JP JP13966792A patent/JPH05312709A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004506872A (ja) * | 1999-11-03 | 2004-03-04 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | カンチレバー・センサ及びトランスジューサ |
| JP4992000B2 (ja) * | 1999-11-03 | 2012-08-08 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | ターゲット・オリゴヌクレオチド・ストランドを検出するセンサ・システム及び方法 |
| US8508738B2 (en) | 2008-11-26 | 2013-08-13 | Panasonic Corporation | Nitrogen oxide sensing element, nitrogen oxide sensor, nitrogen oxide concentration determination device using same, and method for determining nitrogen oxide concentration |
| JP5339305B2 (ja) * | 2008-11-26 | 2013-11-13 | パナソニック株式会社 | 窒素酸化物検出エレメント |
| JP2015040793A (ja) * | 2013-08-22 | 2015-03-02 | オリンパス株式会社 | ガスセンサ |
| CN114323407A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-12 | 电子科技大学 | 一种柔性薄膜式自驱动多功能传感器及其制备方法 |
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