JPH05309231A - 排ガス処理装置 - Google Patents
排ガス処理装置Info
- Publication number
- JPH05309231A JPH05309231A JP4118987A JP11898792A JPH05309231A JP H05309231 A JPH05309231 A JP H05309231A JP 4118987 A JP4118987 A JP 4118987A JP 11898792 A JP11898792 A JP 11898792A JP H05309231 A JPH05309231 A JP H05309231A
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- Japan
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- exhaust gas
- planes
- electrodes
- reaction vessel
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 排ガス流れ方向に沿って、グロー放電電力を
適切に配分し、電力効率、ＮＯx 除去率の向上を計った
排ガス処理装置を得る。 【構成】 グロー放電プラズマを用いて排ガス中の窒素
酸化物を無害化する排ガス処理装置において、排ガスを
通す反応容器５１、同反応容器内において、排ガスの流
れ方向に直交し、かつ流れ方向に次第に間隔が広がる複
数の平面ａ、ｂ、…上に一定間隔で平行に配列される誘
電体５３被覆の円柱状電極５２を設ける。奇数番目の平
面ａ、ｃ、…および偶数番目の平面ｂ、ｄ、…上の配列
は交互に千鳥状に配置される。また、奇数番目の平面上
の電極および偶数番目の平面上の電極間に接続される電
源６を設ける。
適切に配分し、電力効率、ＮＯx 除去率の向上を計った
排ガス処理装置を得る。 【構成】 グロー放電プラズマを用いて排ガス中の窒素
酸化物を無害化する排ガス処理装置において、排ガスを
通す反応容器５１、同反応容器内において、排ガスの流
れ方向に直交し、かつ流れ方向に次第に間隔が広がる複
数の平面ａ、ｂ、…上に一定間隔で平行に配列される誘
電体５３被覆の円柱状電極５２を設ける。奇数番目の平
面ａ、ｃ、…および偶数番目の平面ｂ、ｄ、…上の配列
は交互に千鳥状に配置される。また、奇数番目の平面上
の電極および偶数番目の平面上の電極間に接続される電
源６を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は発電プラント用ボイラ
ー、ディーゼルエンジン、ガスタービン、各種燃焼炉な
どから排出される排気ガス中のＮＯx （窒素配化物）を
効果的にかつ大容量除去することができるグロー放電プ
ラズマによる排ガス処理装置に関する。
ー、ディーゼルエンジン、ガスタービン、各種燃焼炉な
どから排出される排気ガス中のＮＯx （窒素配化物）を
効果的にかつ大容量除去することができるグロー放電プ
ラズマによる排ガス処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４〜図６は従来から用いられているグ
ロー放電プラズマによる排ガス処理装置の構成図であ
る。
ロー放電プラズマによる排ガス処理装置の構成図であ
る。
【０００３】この装置により、例えばディーゼルエンジ
ンの排ガス中のＮＯx を処理する場合を例にとり説明す
る。
ンの排ガス中のＮＯx を処理する場合を例にとり説明す
る。
【０００４】図４において、ディーゼルエンジン１０１
の排ガスを排気管１０２を介してサイクロン・コレクタ
ー１０３に通し、微粒子を除去した後、サイクロン・コ
レクター排気管１０４を経由して、プラズマ反応容器１
０５に導入する。
の排ガスを排気管１０２を介してサイクロン・コレクタ
ー１０３に通し、微粒子を除去した後、サイクロン・コ
レクター排気管１０４を経由して、プラズマ反応容器１
０５に導入する。
【０００５】プラズマ反応容器１０５は、図５、図６に
示すように、筒状のガラス反応容器１０９の内側に内部
電極１１０、外側に外部電極１１１が設けられている。
内部電極１１０および外部電極１１１間に電源１０６が
つながれている。
示すように、筒状のガラス反応容器１０９の内側に内部
電極１１０、外側に外部電極１１１が設けられている。
内部電極１１０および外部電極１１１間に電源１０６が
つながれている。
【０００６】以上において、内部電極１１０と外部電極
１１１の間に、電圧を印加すると、大気圧グロー放電現
象で排ガスはプラズマ化される。そして、例えばＮＯ2
は次の化学反応を起こす。 ２ＮＯ2 →２ＮＯ＋Ｏ2 ………（１） ２ＮＯ＋Ｏ2 →Ｎ2 ＋２Ｏ2 ………（２） なお、プラズマは、外部電界によって加速された高エネ
ルギー電子がガス分子と衝突し、励起分子、励起原子、
遊離基、イオンおよび中性粒子などが混在した電離気体
である。数ｅＶないし数１０ｅＶのエネルギーを得たＮ
Ｏx が化学的に活性な種となって、複雑な反応を起こし
た結果として、Ｎ2 およびＯ2 になると考えられる。
１１１の間に、電圧を印加すると、大気圧グロー放電現
象で排ガスはプラズマ化される。そして、例えばＮＯ2
は次の化学反応を起こす。 ２ＮＯ2 →２ＮＯ＋Ｏ2 ………（１） ２ＮＯ＋Ｏ2 →Ｎ2 ＋２Ｏ2 ………（２） なお、プラズマは、外部電界によって加速された高エネ
ルギー電子がガス分子と衝突し、励起分子、励起原子、
遊離基、イオンおよび中性粒子などが混在した電離気体
である。数ｅＶないし数１０ｅＶのエネルギーを得たＮ
Ｏx が化学的に活性な種となって、複雑な反応を起こし
た結果として、Ｎ2 およびＯ2 になると考えられる。
【０００７】エンジンの排ガスをプラズマ反応容器１０
５で処理すると、例えば（ＮＯ＋ＮＯ2 ）が５０〜２０
０ｐｐｍ程度の濃度、および３０ないし６０ｌ／ｍｉｎ
程度の流量の範囲では、プラズマ発生電力が数Ｗないし
１０Ｗの範囲で、ＮＯx 除去率が８０ないし９０％を達
成できる。
５で処理すると、例えば（ＮＯ＋ＮＯ2 ）が５０〜２０
０ｐｐｍ程度の濃度、および３０ないし６０ｌ／ｍｉｎ
程度の流量の範囲では、プラズマ発生電力が数Ｗないし
１０Ｗの範囲で、ＮＯx 除去率が８０ないし９０％を達
成できる。
【０００８】したがって、ボイラー、ガスタービンおよ
びディーゼルエンジンなど各種燃焼を伴う装置の排ガス
公害対策装置として活用されつつある。
びディーゼルエンジンなど各種燃焼を伴う装置の排ガス
公害対策装置として活用されつつある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の装置では次
のような問題点があり、実用化が困難であった。 排ガス流量をある一定量、例えば６０ｌ／ｍｉｎ程
度以上に増加させるとグロー放電プラズマが発生しなく
なり、ＮＯx の除去ができなくなる。 電極の大きさを排ガス流れ方向へ長くするとＮＯx
除去効果が著しく低下する。 円筒状の反応容器を用いるので、例えば数１，００
０〜数１００，０００ｌ／ｍｉｎクラスの大容量化を考
えた場合、反応容器を多数並列接続することになるが、
この場合、円筒形からくる無効スペースの増大があり、
かさばる。 上記〜の理由により、例えば数１，０００〜数
１００，０００ｌ／ｍｉｎクラスの大容量排ガス処理装
置としての利用が困難である。
のような問題点があり、実用化が困難であった。 排ガス流量をある一定量、例えば６０ｌ／ｍｉｎ程
度以上に増加させるとグロー放電プラズマが発生しなく
なり、ＮＯx の除去ができなくなる。 電極の大きさを排ガス流れ方向へ長くするとＮＯx
除去効果が著しく低下する。 円筒状の反応容器を用いるので、例えば数１，００
０〜数１００，０００ｌ／ｍｉｎクラスの大容量化を考
えた場合、反応容器を多数並列接続することになるが、
この場合、円筒形からくる無効スペースの増大があり、
かさばる。 上記〜の理由により、例えば数１，０００〜数
１００，０００ｌ／ｍｉｎクラスの大容量排ガス処理装
置としての利用が困難である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため次の手段を講ずる。
するため次の手段を講ずる。
【００１１】すなわち、グロー放電プラズマを用いて排
ガス中の窒素酸化物を無害化する排ガス処理装置におい
て、上記排ガスを通す反応容器と、同反応容器内におい
て、上記排ガスの流れ方向に直交し、かつ流れ方向に次
第に間隔が広がる複数の平面上に一定間隔で平行に配列
されるとともに、奇数番目の上記平面および偶数番目の
上記平面上の上記配列が交互にずれ千鳥状に配置された
誘電体被覆の円柱状電極と、上記奇数番目の平面上の電
極および上記偶数番目の平面上の電極間に接続される電
源手段とを設ける。
ガス中の窒素酸化物を無害化する排ガス処理装置におい
て、上記排ガスを通す反応容器と、同反応容器内におい
て、上記排ガスの流れ方向に直交し、かつ流れ方向に次
第に間隔が広がる複数の平面上に一定間隔で平行に配列
されるとともに、奇数番目の上記平面および偶数番目の
上記平面上の上記配列が交互にずれ千鳥状に配置された
誘電体被覆の円柱状電極と、上記奇数番目の平面上の電
極および上記偶数番目の平面上の電極間に接続される電
源手段とを設ける。
【００１２】
【作用】上記手段において、奇数番目の平面上の電極と
偶数番目の平面上の電極間にほぼ均一なグロー放電が発
生する。また電極は誘電体で被覆されているため防腐食
効果を有する。
偶数番目の平面上の電極間にほぼ均一なグロー放電が発
生する。また電極は誘電体で被覆されているため防腐食
効果を有する。
【００１３】このグロー放電により排ガスは効率よく反
応して無害化される。
応して無害化される。
【００１４】また、下流側に行くほど、電極間隔が広く
なるので、下流側ほどグロー放電電流が低減する。
なるので、下流側ほどグロー放電電流が低減する。
【００１５】一方、ＮＯx 濃度は下流側ほど低下するの
で、ＮＯx 濃度に応じたグロー放電電流が供給される。
このことによりＮＯx 除去率の向上と、消費電力の低減
及びプラズマ発生の安定化（下流部ではプラズマの電流
密度が増大しやすく印加電力が多すぎるとグロー放電プ
ラズマの発生が不安定になり、排ガス処理ができなくな
る）がえられる。
で、ＮＯx 濃度に応じたグロー放電電流が供給される。
このことによりＮＯx 除去率の向上と、消費電力の低減
及びプラズマ発生の安定化（下流部ではプラズマの電流
密度が増大しやすく印加電力が多すぎるとグロー放電プ
ラズマの発生が不安定になり、排ガス処理ができなくな
る）がえられる。
【００１６】
【実施例】本発明の一実施例を図１〜図３により説明す
る。
る。
【００１７】なお、従来例で説明した部分は、同一の番
号をつけ説明を省略し、この発明に関する部分を主体に
説明する。
号をつけ説明を省略し、この発明に関する部分を主体に
説明する。
【００１８】図１にて、公害対策対象用の燃焼炉１の排
ガスは、除じん器３を経て、プラズマ反応容器５に導か
れる。プラズマ反応容器５で排ガス中のＮＯx がプラズ
マ反応により除去され、排出される。図中６は、プラズ
マ反応容器５にグロー放電を発生させるための電源であ
る。
ガスは、除じん器３を経て、プラズマ反応容器５に導か
れる。プラズマ反応容器５で排ガス中のＮＯx がプラズ
マ反応により除去され、排出される。図中６は、プラズ
マ反応容器５にグロー放電を発生させるための電源であ
る。
【００１９】プラズマ反応容器５の詳細を図２により説
明する。
明する。
【００２０】両端開口の角筒状の反応容器（本体）５１
が設けられる。反応容器（本体）５１は、ガラスやセラ
ミックス等の絶縁体製である。
が設けられる。反応容器（本体）５１は、ガラスやセラ
ミックス等の絶縁体製である。
【００２１】反応容器（本体）５１内に、排ガスの流れ
方向、すなわち、反応容器（本体）５１の軸に直交する
平面ａ、ｂ、…を考える。この平面ａ、ｂ、…の間隔
は、上流側Ａから下流側Ｂに３区分し、第１区分では
Ｐ、第２区分では１．５Ｐ、第３区分では２Ｐにとられ
る。またこの区分の長さ配分割合を約２：３：４とす
る。そして、奇数番目の平面ａ、ｃ、…上に一定間隔で
平行な電極５２をｎ個配置する（Ｄ11，Ｄ12，…Ｄ1n，
Ｄ31，Ｄ32，…）。また偶数番目の平面ｂ、ｄ、…上に
一定間隔で平行な電極５２を（ｎ−１）個配置する（Ｄ
21，Ｄ22，…Ｄ2(n-1)，Ｄ41，Ｄ42，…）。奇数番目の
平面ａ、ｃ、…上および偶数番目の平面ｂ、ｄ、…上の
電極５２は流れにクロスする方向にずらせて、図示のよ
うに千鳥状に配列する。
方向、すなわち、反応容器（本体）５１の軸に直交する
平面ａ、ｂ、…を考える。この平面ａ、ｂ、…の間隔
は、上流側Ａから下流側Ｂに３区分し、第１区分では
Ｐ、第２区分では１．５Ｐ、第３区分では２Ｐにとられ
る。またこの区分の長さ配分割合を約２：３：４とす
る。そして、奇数番目の平面ａ、ｃ、…上に一定間隔で
平行な電極５２をｎ個配置する（Ｄ11，Ｄ12，…Ｄ1n，
Ｄ31，Ｄ32，…）。また偶数番目の平面ｂ、ｄ、…上に
一定間隔で平行な電極５２を（ｎ−１）個配置する（Ｄ
21，Ｄ22，…Ｄ2(n-1)，Ｄ41，Ｄ42，…）。奇数番目の
平面ａ、ｃ、…上および偶数番目の平面ｂ、ｄ、…上の
電極５２は流れにクロスする方向にずらせて、図示のよ
うに千鳥状に配列する。
【００２２】電極５２は円柱状、すなわち円筒形で、ガ
ラス等の誘電体５３で被覆されている。なお電極５２は
むくの円柱状としてもよい。
ラス等の誘電体５３で被覆されている。なお電極５２は
むくの円柱状としてもよい。
【００２３】奇数番目の平面ａ、ｃ、…上の電極５２は
電源６の一方の端子に、偶数番目の平面ｂ、ｄ、…上の
電極５２は他方の端子に接続される。
電源６の一方の端子に、偶数番目の平面ｂ、ｄ、…上の
電極５２は他方の端子に接続される。
【００２４】以上において、燃焼炉１で発生したＮＯx
を含む排ガスは、除じん器３で排ガス中の粒子類が除去
される。この排ガスは、プラズマ反応容器５の内部に導
入される。
を含む排ガスは、除じん器３で排ガス中の粒子類が除去
される。この排ガスは、プラズマ反応容器５の内部に導
入される。
【００２５】プラズマ発生用の電源６から各電極５２に
電力が供給されると、奇数番目の平面ａ、ｃ、…上の電
極５２と偶数番目の平面ｂ、ｄ、…上の電極５２間にほ
ぼ均一なプラズマが発生する。このプラズマはグロー放
電プラズマであり、ＮＯx 、Ｎ2 、およびＯ2 などのガ
ス分子を励起および解離させ、化学的に活性な状態とな
る。それによって式（３）、（４）の化学反応がひき起
こされる。 ２ＮＯ→Ｎ2 ＋Ｏ2 ………（３） ２ＮＯ2 →Ｎ2 ＋２Ｏ2 ………（４） 上記反応式はプラズマ反応容器５に導入されたＮＯx が
無害なＮ2 およびＯ2になることを意味している。
電力が供給されると、奇数番目の平面ａ、ｃ、…上の電
極５２と偶数番目の平面ｂ、ｄ、…上の電極５２間にほ
ぼ均一なプラズマが発生する。このプラズマはグロー放
電プラズマであり、ＮＯx 、Ｎ2 、およびＯ2 などのガ
ス分子を励起および解離させ、化学的に活性な状態とな
る。それによって式（３）、（４）の化学反応がひき起
こされる。 ２ＮＯ→Ｎ2 ＋Ｏ2 ………（３） ２ＮＯ2 →Ｎ2 ＋２Ｏ2 ………（４） 上記反応式はプラズマ反応容器５に導入されたＮＯx が
無害なＮ2 およびＯ2になることを意味している。
【００２６】本実施例の装置で得たＮＯx （２００ｐｐ
ｍ）の除去状況の一例を図３（ａ）、（ｂ）に、従来例
の場合と比較して示す。本実施例を実線で、従来例を点
線で示す。
ｍ）の除去状況の一例を図３（ａ）、（ｂ）に、従来例
の場合と比較して示す。本実施例を実線で、従来例を点
線で示す。
【００２７】図３（ａ）は反応容器５の排ガス流れ方向
に沿う電力分布を示す。電極５２の間隔が排ガス入口側
（上流端）から出口側へ行くほど次第に広がっているの
で、図に示すように出口側（下流端）に近づくほど放電
電流が低減し、プラズマ発生に寄与する電力が少なくな
る。
に沿う電力分布を示す。電極５２の間隔が排ガス入口側
（上流端）から出口側へ行くほど次第に広がっているの
で、図に示すように出口側（下流端）に近づくほど放電
電流が低減し、プラズマ発生に寄与する電力が少なくな
る。
【００２８】また、反応容器５内では、反応容器入口の
ＮＯx 濃度が高く、出口のＮＯx 濃度が低くなる。従っ
てＮＯx 濃度に応じて、すなわちＮＯx 濃度の高い位置
には電力が多く、ＮＯx 濃度の低い位置には電力が少な
く供給される。このことによりＮＯx 除去率の向上と、
消費電力の低減及びプラズマ発生の安定化（下流部では
プラズマの電流密度が増大しやすく印加電力が多すぎる
とグロー放電プラズマの発生が不安定になり、排ガス処
理ができなくなる）がえられる。
ＮＯx 濃度が高く、出口のＮＯx 濃度が低くなる。従っ
てＮＯx 濃度に応じて、すなわちＮＯx 濃度の高い位置
には電力が多く、ＮＯx 濃度の低い位置には電力が少な
く供給される。このことによりＮＯx 除去率の向上と、
消費電力の低減及びプラズマ発生の安定化（下流部では
プラズマの電流密度が増大しやすく印加電力が多すぎる
とグロー放電プラズマの発生が不安定になり、排ガス処
理ができなくなる）がえられる。
【００２９】したがって、残ＮＯx 濃度に適した電力が
供給されているので図（ｂ）に示すように、ＮＯx 低減
率は下流ほど向上し、出口では１００％程度のＮＯx 除
去率が得られている。
供給されているので図（ｂ）に示すように、ＮＯx 低減
率は下流ほど向上し、出口では１００％程度のＮＯx 除
去率が得られている。
【００３０】従来の装置では、ＮＯx 濃度の低い反応容
器出口付近でも余分な電力が供給されているので、Ｎ2
とＯ2 に分解されたＮＯx が再結合するなどして、ＮＯ
x 除去率は３０％程度である。
器出口付近でも余分な電力が供給されているので、Ｎ2
とＯ2 に分解されたＮＯx が再結合するなどして、ＮＯ
x 除去率は３０％程度である。
【００３１】このように本実施例の装置によれば、出口
側に行くほど電極間隔が広がっていくので、プラズマ電
流が低減し、電力配分が適正化されＮＯx の再結合がな
くなる。したがって反応容器を延長し、ガス流れ方向に
電極を増やせば除去率の低下がなく処理量を増大させる
ことができる。
側に行くほど電極間隔が広がっていくので、プラズマ電
流が低減し、電力配分が適正化されＮＯx の再結合がな
くなる。したがって反応容器を延長し、ガス流れ方向に
電極を増やせば除去率の低下がなく処理量を増大させる
ことができる。
【００３２】また、反応容器５を複数並列接続すること
により例えば流量１０，０００ｌ／ｍｉｎ〜数１００，
０００ｌ／ｍｉｎでも処理可能である。
により例えば流量１０，０００ｌ／ｍｉｎ〜数１００，
０００ｌ／ｍｉｎでも処理可能である。
【００３３】さらに反応容器５が角筒状になっているの
で、反応容器を複数使用する場合、スペース効率良く配
置でき、従来方法の円筒状反応容器と比較して設備が小
さくできる。
で、反応容器を複数使用する場合、スペース効率良く配
置でき、従来方法の円筒状反応容器と比較して設備が小
さくできる。
【００３４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の装置に
よれば反応容器の排ガス流れの後流側ほど電極間隔が広
くとられているので、残ＮＯx 濃度に応じてグロー放電
電力が適切に配分される。従って、電力効率もよく、グ
ロー放電の安定化も図られ、ＮＯx 除去率も向上する。
よれば反応容器の排ガス流れの後流側ほど電極間隔が広
くとられているので、残ＮＯx 濃度に応じてグロー放電
電力が適切に配分される。従って、電力効率もよく、グ
ロー放電の安定化も図られ、ＮＯx 除去率も向上する。
【図１】本発明の一実施例の構成系統図である。
【図２】同実施例の反応容器部の断面図である。
【図３】同実施例の作用効果説明図である。
【図４】従来例の構成系統図である。
【図５】同従来例の反応容器部の斜視図である。
【図６】同従来例の反応容器の横断面図である。
【符号の説明】 １ 燃焼炉 ３ 除じん器 ５ プラズマ反応容器 ６ 電源 １８ 排ガス入口管 ５１ 反応容器（本体） ５２ 電極 ５３ 誘電体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 信明 長崎市深堀町５丁目717番１号 三菱重工 業株式会社長崎研究所内 (72)発明者 内田 聡 長崎市飽の浦町１番１号 三菱重工業株式 会社長崎造船所内
Claims (1)
- 【請求項１】 グロー放電プラズマを用いて排ガス中の
窒素酸化物を無害化する排ガス処理装置において、上記
排ガスを通す反応容器と、同反応容器内において、上記
排ガスの流れ方向に直交し、かつ流れ方向に次第に間隔
が広がる複数の平面上に一定間隔で平行に配列されると
ともに、奇数番目の上記平面および偶数番目の上記平面
上の上記配列が交互にずれ千鳥状に配置された誘電体被
覆の円柱状電極と、上記奇数番目の平面上の電極および
上記偶数番目の平面上の電極間に接続される電源手段と
を備えてなることを特徴とする排ガス処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4118987A JPH05309231A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 排ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4118987A JPH05309231A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 排ガス処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05309231A true JPH05309231A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=14750204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4118987A Withdrawn JPH05309231A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 排ガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05309231A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003053550A1 (fr) * | 2001-12-21 | 2003-07-03 | Furrex Co., Ltd. | Procede de decharge de decomposition gazeuse et dispositif de decharge de decomposition gazeuse |
| WO2004112940A1 (ja) * | 2003-06-17 | 2004-12-29 | Nittetsu Mining Co. Ltd. | 酸化触媒と低温プラズマとを利用する気体処理方法及び気体処理装置 |
-
1992
- 1992-05-12 JP JP4118987A patent/JPH05309231A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003053550A1 (fr) * | 2001-12-21 | 2003-07-03 | Furrex Co., Ltd. | Procede de decharge de decomposition gazeuse et dispositif de decharge de decomposition gazeuse |
| WO2004112940A1 (ja) * | 2003-06-17 | 2004-12-29 | Nittetsu Mining Co. Ltd. | 酸化触媒と低温プラズマとを利用する気体処理方法及び気体処理装置 |
| JPWO2004112940A1 (ja) * | 2003-06-17 | 2006-07-27 | 日鉄鉱業株式会社 | 酸化触媒と低温プラズマとを利用する気体処理方法及び気体処理装置 |
| US7347979B2 (en) | 2003-06-17 | 2008-03-25 | Nittetsu Mining Co., Ltd. | Gas processing method and gas processing apparatus utilizing oxidation catalyst and low-temperature plasma |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |