JPH05308784A - Electrostatic actuator - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To provide an electrostatic actuator which can work smoothly even in a high humidity condition. CONSTITUTION:In an electrostatic actuator which is so structured that a stator 3 constituted of an insulating supporter 1 haying electrodes arranged at specified intervals on it a which is made by applying both positive and negative charges to an insulating thin leaf body 4 may be brought into contact with each other, a water repellent agent layer is formed one face or on both faces of the stator 3 and/or on one face or on both faces of the moving element 6 or the insulating supporter 1 of the stator 3 or/and the insulating thin leaf body 4 of the moving element 6 is formed of the material whose absorption coefficient is 0.1wt.% or smaller.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、静電アクチュエータに
関するものであり、詳しくは、高湿条件下においても円
滑に駆動し得るように改良された静電アクチュエータに
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic actuator, and more particularly, to an electrostatic actuator improved so that it can be smoothly driven even under high humidity conditions.

【０００２】[0002]

【従来の技術】静電アクチュエータは、絶縁性支持体に
電極を所定間隔で並べた固定子と絶縁性フイルムのよう
な絶縁性薄葉体に抵抗体層を設けた移動子とから成り、
当該固定子と当該移動子とが接するように配置されて構
成される。そして、静電気の作用により、移動子を瞬間
的に浮上させて摩擦を防止しながら移動させるものであ
る（平成元年度電気学会全国大会講演予稿集６−１９
１，日経メカニカル１９８９．５．２９，１１２〜１１
３ページ等）。2. Description of the Related Art An electrostatic actuator comprises a stator having electrodes arranged on an insulating support at predetermined intervals and a mover having a resistance layer provided on an insulating thin film such as an insulating film.
The stator and the mover are arranged so as to be in contact with each other. Then, due to the action of static electricity, the mover is instantly levitated and moved while preventing friction (Proceedings of the Annual Conference of the Institute of Electrical Engineers of Japan 1989).
1, Nikkei Mechanical 1989.5.29, 112-11
3 pages etc.).

【０００３】静電アクチュエータは、電極やギャップの
寸法を小さくすることにより、力密度を大きくでき、ま
た、小型化し易いという特徴を有する。そのため、静電
アクチュエータは、ワードプロセッサーやファクシミリ
等における用紙搬送機構のような小型駆動装置、その他
の微小な機械システムの駆動装置として応用されること
が期待されている。The electrostatic actuator is characterized in that the size of the electrodes and the gap can be reduced to increase the force density and facilitate miniaturization. Therefore, the electrostatic actuator is expected to be applied as a small driving device such as a sheet conveying mechanism in a word processor or a facsimile, and as a driving device for other minute mechanical systems.

【０００４】図１（ａ）〜（ｄ）は、移動子を絶縁性フ
イルムにて構成した静電アクチュエータ（静電フイルム
アクチュエータ）の駆動原理の説明図であり、図中、
（１）は絶縁性支持体、（２）は帯状電極、（３）は固
定子、（４）は絶縁性フイルム、（５）は抵抗体層、
（６）は移動子、（７）〜（９）は電線を示す。FIGS. 1A to 1D are explanatory views of the driving principle of an electrostatic actuator (electrostatic film actuator) in which a moving element is composed of an insulating film.
(1) is an insulating support, (2) is a strip electrode, (3) is a stator, (4) is an insulating film, (5) is a resistor layer,
(6) indicates a mover, and (7) to (9) indicate electric wires.

【０００５】先ず、図１（ａ）に示すように、電線
（７）に正、電線（８）に負の電圧を印加する。これに
より、電線（７）に接続した電極に存する電荷と電線
（８）に接続した電極に存する電荷の電位差により、
抵抗体層（５）に電流が流れ、移動子（６）の絶縁性フ
イルム（４）と抵抗体層（５）の境界に電荷が誘導され
て平衡状態となる。この電荷は、説明の便宜上、図１
（ｂ）の点線で示した鏡像電荷、で置き換えること
が出来る。そして、この電荷、の極性は、それぞれ
電荷、の極性と異なるので、図１（ｂ）の状態では
移動子（６）は固定子（３）に吸引されている。First, as shown in FIG. 1A, a positive voltage is applied to the electric wire (7) and a negative voltage is applied to the electric wire (8). Thereby, due to the potential difference between the electric charge existing in the electrode connected to the electric wire (7) and the electric charge existing in the electrode connected to the electric wire (8),
An electric current flows through the resistor layer (5), and electric charges are induced at the boundary between the insulating film (4) of the mover (6) and the resistor layer (5) to reach an equilibrium state. This charge is shown in FIG.
It can be replaced by the image charge shown by the dotted line in (b). Since the polarities of the electric charges are different from the polarities of the electric charges, the mover (6) is attracted to the stator (3) in the state of FIG. 1B.

【０００６】次に、図１（ｃ）に示すように、電線
（７）に負、電線（８）に正、電線（９）に負の電圧を
印加する。これにより、電極内の電荷は、瞬時に移動で
きるが、移動子（６）の誘導電荷は、抵抗体層（５）の
抵抗値が高いために直ぐには移動できない。その結果、
移動子（６）と固定子（３）の間には反発力が発生す
る。反発力が発生することにより、固定子（３）と移動
子（６）の間の摩擦が減少し、電線（９）に電圧を印加
した結果生じる負の電荷と正の誘導電荷（鏡像電荷で
言えば）の吸引力によって、移動子（６）には右方向
の駆動力が発生する。Next, as shown in FIG. 1C, a negative voltage is applied to the electric wire (7), a positive voltage is applied to the electric wire (8), and a negative voltage is applied to the electric wire (9). As a result, the charge in the electrode can be instantaneously moved, but the induced charge of the mover (6) cannot be immediately moved because the resistance value of the resistor layer (5) is high. as a result,
A repulsive force is generated between the mover (6) and the stator (3). The repulsive force generated reduces the friction between the stator (3) and the mover (6), and the negative charge and the positive induced charge (image charge) generated as a result of applying a voltage to the electric wire (9). Due to the suction force of (speaking), a driving force in the right direction is generated in the mover (6).

【０００７】図１（ｄ）は、上記の駆動力により、移動
子（６）が電極１ピッチ分右方向に移動した結果を示し
ている。移動子（６）を左方向に移動させる場合には、
電線（９）に正の電圧を印加すればよい。そして、上記
の電極１ピッチ毎の移動操作における印加電圧パターン
（図１（ｃ）に示すパターン）は、図１（ａ）に示す状
態とは逆符号の電圧を電線（７）、（８）に印加するも
のであるから、図１（ｃ）における誘導電荷（鏡像電荷
で言えば、及び）は減衰することになる。FIG. 1D shows the result of the mover (6) moving to the right by one electrode pitch due to the driving force. When moving the mover (6) to the left,
A positive voltage may be applied to the electric wire (9). The applied voltage pattern (the pattern shown in FIG. 1C) in the above-described movement operation for each pitch of the electrodes has the voltage of the opposite sign to that of the state shown in FIG. 1 (c), the induced charge (and, in terms of the image charge) in FIG. 1C is attenuated.

【０００８】従って、移動子（６）を右方向に電極１ピ
ッチ毎に連続移動させるには、電荷充電操作と移動操作
とを繰り返す必要があり、例えば、以下の［表１］に例
示するようなパターンの電圧を繰り返し印加することが
必要である。［表１］に例示した電圧パターンは、１サ
イクルの電圧パターンであり、（Ｇ）は電圧を印加して
ない状態を示し、（Ｃ₁ ）〜（Ｃ₂ ）及び（Ａ₁ ）〜
（Ａ₃）は、それぞれ、電荷充電操作、移動操作を示
し、（Ｃ₁ ）は図１（ａ）に示す状態、（Ａ₁ ）は図１
（ｃ）に示す状態である。Therefore, in order to continuously move the mover (6) to the right by one electrode pitch, it is necessary to repeat the charge charging operation and the moving operation. For example, as shown in [Table 1] below. It is necessary to repeatedly apply voltages having different patterns. The voltage pattern illustrated in [Table 1] is a one-cycle voltage pattern, (G) shows a state in which no voltage is applied, and (C ₁ ) to (C ₂ ) and (A ₁ ) to
(A ₃ ) shows charge charging operation and transfer operation, respectively, (C ₁ ) shows the state shown in FIG. 1 (a), and (A ₁ ) shows FIG.
This is the state shown in (c).

【０００９】[0009]

【表１】 Ｃ₁ Ａ₁ Ｃ₂ Ａ₂ Ｃ₃ Ａ₃ （１サイクル） 電線（７） ＋ − Ｇ − − ＋ （８） − ＋ ＋ − Ｇ − （９） Ｇ − − ＋ ＋ − [Table 1] C ₁ A ₁ C ₂ A ₂ C ₃ A ₃ (1 cycle) Electric wire (7) + − G − − + (8) − + + − G − (9) G − − + + −

【００１０】そして、駆動電圧のパターンは、例えば、
３相構造の電極の場合は、［表１］に例示するように、
アース状態を適宜のタイミングで設けて電荷充電操作と
移動操作とを繰り返し得るパターンであれば、各種のパ
ターンを採用することが出来、例えば、［表１］に例示
するパターンにおいて、（Ｃ₂ ）と（Ｃ ₃）とを省略し
たパターンを採用することも出来る。斯かる変形パター
ンは、例えば、ステッピングモータの駆動用ＩＣを利用
して容易に達成することが出来る。The drive voltage pattern is, for example,
In the case of a three-phase structure electrode, as shown in [Table 1],
Various patterns can be adopted as long as the pattern is capable of repeating the charge charging operation and the moving operation by providing the ground state at an appropriate timing. For example, in the pattern illustrated in [Table 1], (C ₂ ) It is also possible to employ a pattern in which (C ₃ ) and (C ₃ ) are omitted. Such a deformation pattern can be easily achieved by using, for example, a stepping motor drive IC.

【００１１】静電アクチュエータを電極１ピッチ毎に安
定に連続移動させるには、移動子（６）（抵抗体層
（５））の表面固有抵抗率は、１０¹²〜１０¹⁵Ω／□の
範囲でなければならないとされている。その理由は、次
の通りである。すなわち、移動子（６）の表面固有抵抗
が大きい場合には電荷充電に比較的長い時間を要し、小
さい場合には誘導された電荷が瞬時に減衰する。ところ
が、図１に示した静電アクチュエータの場合には、移動
子を構成する絶縁性フイルムの抵抗値が大き過ぎるため
に、上記のような抵抗体層を当該絶縁性フイルムに設け
て僅かな導電性を付与する必要がある。なお、当然では
あるが、図１に示した公知の静電アクチュエータにおい
て、絶縁性フイルム（４）の代わりに、これと同程度の
抵抗値を有する他の絶縁性薄葉体を使用してもよい。In order to stably and continuously move the electrostatic actuator for each pitch of the electrodes, the surface specific resistivity of the mover (6) (resistor layer (5)) is in the range of 10 ¹² to 10 ¹⁵ Ω / □. It has to be. The reason is as follows. That is, when the surface resistivity of the mover (6) is large, it takes a relatively long time to charge the charge, and when it is small, the induced charge is instantly attenuated. However, in the case of the electrostatic actuator shown in FIG. 1, since the resistance value of the insulating film that constitutes the moving element is too large, the above-mentioned resistor layer is provided on the insulating film and a slight electric conductivity is provided. Need to be imparted. As a matter of course, in the known electrostatic actuator shown in FIG. 1, instead of the insulating film (4), another insulating thin leaf having a resistance value similar to that may be used. .

【００１２】[0012]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、静電ア
クチュエータは未だ研究段階にあり、実用化のためには
各要素の詳細を検討しなければならない状況にある。そ
して、本発明者等の知見によれば、高湿条件下で静電ア
クチュエータを使用する場合、移動子が円滑に移動しな
くなるという問題が見出された。斯かる問題の解決は、
静電アクチュエータの使用環境や用途を拡大する上にお
いて重要でがある。本発明は、上記実情に鑑みなされた
ものであり、その目的は、高湿条件下においても円滑に
駆動し得るように改良された静電アクチュエータを提供
することにある。However, the electrostatic actuator is still in the research stage, and the details of each element must be examined for practical use. According to the findings of the present inventors, when the electrostatic actuator is used under high humidity conditions, a problem has been found that the mover does not move smoothly. The solution to this problem is
It is important for expanding the usage environment and applications of electrostatic actuators. The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an electrostatic actuator improved so that it can be smoothly driven even under high humidity conditions.

【００１３】[0013]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の要旨
は、絶縁性支持体に電極を所定間隔で並べた固定子と絶
縁性薄葉体に正負の電荷を付与した移動子とが接するよ
うに配置されて成る静電アクチュエータにおいて、固定
子の片面または両面および／または移動子の片面または
両面に撥水剤層を設けるか或いは固定子の絶縁性支持体
および／または移動子の絶縁性薄葉体を吸水率が０．１
重量％以下の材料で構成することを特徴とする静電アク
チュエータに存する。That is, the gist of the present invention is that a stator in which electrodes are arranged at a predetermined interval on an insulating support and a mover in which positive and negative charges are applied to an insulating thin leaf are in contact with each other. In the electrostatic actuator formed by disposing, a water repellent layer is provided on one or both sides of a stator and / or one or both sides of a mover, or an insulating support of the stator and / or an insulating thin leaf of the mover. The water absorption is 0.1
The present invention resides in an electrostatic actuator characterized by being composed of a material of not more than wt%.

【００１４】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
静電アクチュエータの基本的構成は、図１において、移
動子（６）の構成材料が絶縁性フイルムに限定されず、
また、移動子の構成がこれに抵抗体層を設けたものに限
定されない点を除き、同図に示した公知の静電アクチュ
エータと同じである。従って、以下の説明においては、
便宜上、図１中の（４）を絶縁性薄葉体として図１を参
照する。本発明静電アクチュエータは、絶縁性支持体
（１）に電極（２）を所定間隔で並べた固定子（３）と
絶縁性薄葉体（４）に正負の電荷を付与した移動子
（６）から成る。The present invention will be described in detail below. In the basic configuration of the electrostatic actuator of the present invention, the constituent material of the moving element (6) is not limited to the insulating film in FIG.
Further, it is the same as the known electrostatic actuator shown in the figure, except that the structure of the moving element is not limited to the one provided with a resistor layer. Therefore, in the following description,
For the sake of convenience, reference is made to FIG. 1 where (4) in FIG. 1 is an insulating thin leaf body. The electrostatic actuator of the present invention comprises a stator (3) in which electrodes (2) are arranged on an insulating support (1) at predetermined intervals, and a mover (6) in which positive and negative charges are applied to an insulating thin leaf body (4). Consists of.

【００１５】先ず、固定子（３）について説明する。固
定子（３）を構成する絶縁性支持体（１）は、絶縁性材
料より成るフイルムやシート等より構成される。絶縁性
材料としては、特に制限はなく、絶縁性の良好な各種の
合成樹脂、セラミックス、ガラス等を使用することが出
来る。そして、絶縁性樹脂の具体例としては、エポキシ
樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリプロピ
レン樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリスチレン樹
脂、ポリアミド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリエチレ
ン樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂等が挙げられる。
好ましい絶縁性樹脂は、エポキシ樹脂、ポリエステル樹
脂である。First, the stator (3) will be described. The insulative support (1) forming the stator (3) is formed of a film or sheet made of an insulative material. The insulating material is not particularly limited, and various synthetic resins, ceramics, glass and the like having good insulating properties can be used. Then, specific examples of the insulating resin include epoxy resin, polyimide resin, polyester resin, polypropylene resin, polyvinylidene chloride resin, polystyrene resin, polyamide resin, polyvinyl chloride resin, polyethylene resin, polyvinyl alcohol resin, and the like. ..
Preferred insulating resins are epoxy resins and polyester resins.

【００１６】絶縁性支持体（１）に設けられる電極
（２）は、絶縁性支持体（１）の表面に並べて設けて
も、または、絶縁性支持体（１）の中に埋設して設けて
もよい。そして、電極の絶縁性を向上させるためには、
塗布等の方法により電極表面に絶縁層を形成し、絶縁性
支持体（１）と絶縁層との間に電極（２）を埋設するの
がよい。また、帯状電極（２）の間隔は、特に限定され
るものではないが、通常０．１〜２ｍｍであり、静電ア
クチュエータの発生力、駆動電圧等の駆動性能を向上さ
せるためには帯状電極間隔の微細化が望ましい。そし
て、電極（２）としては、通常、帯状電極が採用される
が、ドット型電極であってもよい。また、電極（２）の
構造は、通常、３相構造が基本的であるが、これに限ら
れず、３ｎ（ｎは整数）構造であってもよい。また、電
極（２）の形成方法は、特に制限されないが、スクリー
ン印刷方法が安価で好ましい。この場合、電極材料とし
ての導電性インクは、スクリーンメッシュに合わように
適宜の粘度に調整されて使用される。The electrodes (2) provided on the insulative support (1) may be provided side by side on the surface of the insulative support (1) or may be embedded in the insulative support (1). May be. And, in order to improve the insulating property of the electrode,
It is preferable that an insulating layer is formed on the electrode surface by a method such as coating, and the electrode (2) is embedded between the insulating support (1) and the insulating layer. The interval between the strip electrodes (2) is not particularly limited, but is usually 0.1 to 2 mm, and in order to improve the driving performance such as the generated force of the electrostatic actuator and the driving voltage, the strip electrodes are formed. Finer spacing is desirable. A strip electrode is usually used as the electrode (2), but a dot electrode may be used. In addition, the structure of the electrode (2) is usually basically a three-phase structure, but the structure is not limited to this and may be a 3n (n is an integer) structure. The method for forming the electrode (2) is not particularly limited, but the screen printing method is preferable because it is inexpensive. In this case, the conductive ink as the electrode material is used after being adjusted to have an appropriate viscosity so as to fit the screen mesh.

【００１７】次に、移動子（６）について説明する。移
動子（６）を構成する絶縁性薄葉体（４）は、好適に
は、固定子（３）を構成する前記の絶縁性樹脂と同様の
合成樹脂より構成されるが、斯かる合成樹脂と同程度の
抵抗値を有するガラス又はセラミックスにて構成するこ
とも出来る。そして、絶縁性薄葉体（４）を絶縁性フイ
ルムで構成する場合、特に好ましいフイルムは、密度、
曲げ弾性率、耐皺性等の点からポリエチレンテレフタレ
ートフイルムである。Next, the mover (6) will be described. The insulating thin leaf body (4) forming the mover (6) is preferably made of the same synthetic resin as the insulating resin forming the stator (3). It can also be made of glass or ceramics having similar resistance values. When the insulating thin leaf body (4) is composed of an insulating film, a particularly preferable film is the density,
It is a polyethylene terephthalate film from the viewpoint of flexural modulus, wrinkle resistance and the like.

【００１８】絶縁性薄葉体（４）に正負の電荷を付与す
る方法は、図１に示した公知の静電フイルムアクチュエ
ータと同様に、絶縁性薄葉体（４）に抵抗体層（５）を
設ける方法が挙げられる。具体的には、例えば、絶縁性
薄葉体（４）の表面に帯電防止効果の弱い帯電防止剤を
塗布する方法等を使用し得る。この場合、抵抗体層
（５）の表面固有抵抗率は１０¹²〜１０¹⁵Ω／□の範
囲、好ましくは１０¹⁴Ω／□前後にすることが必要であ
る。そして、抵抗体層（５）設ける方向は、移動子
（６）の固定子（３）と接する面または他方の面の何れ
であってもよいが、後者の面上が好ましい。The method of applying positive and negative charges to the insulating thin leaf body (4) is the same as in the known electrostatic film actuator shown in FIG. 1, in which the insulating thin leaf body (4) is provided with a resistor layer (5). There is a method of providing it. Specifically, for example, a method of applying an antistatic agent having a weak antistatic effect to the surface of the insulating thin leaf body (4) can be used. In this case, the surface resistivity of the resistor layer (5) needs to be in the range of 10 ¹² to 10 ¹⁵ Ω / □, preferably around 10 ¹⁴ Ω / □. The resistor layer (5) may be provided on either the surface of the mover (6) that contacts the stator (3) or the other surface, but the latter surface is preferred.

【００１９】また、絶縁性薄葉体（４）に正負の電荷を
付与する方法は、上記の方法に限られず、当業者にとっ
て自明の各種の他の方法を採用し得る。例えば、絶縁性
薄葉体（４）を絶縁性フイルムで構成する場合には、カ
ーボンブラック等の導電性物質を練り込んで絶縁性薄葉
体（４）自体を上記と同様の抵抗率を有する抵抗体とす
る方法、絶縁性薄葉体（４）に帯状電極を設ける方法、
イオン発生装置を利用する方法、絶縁性薄葉体（４）に
エレクトレット材料を利用する方法等が挙げられる。The method of applying positive and negative charges to the insulating thin leaf body (4) is not limited to the above method, and various other methods obvious to those skilled in the art can be adopted. For example, when the insulating thin leaf (4) is made of an insulating film, a conductive substance such as carbon black is kneaded to make the insulating thin leaf (4) itself a resistor having the same resistivity as above. And a method of providing a strip electrode on the insulating thin leaf body (4),
Examples thereof include a method using an ion generator and a method using an electret material for the insulating thin leaf body (4).

【００２０】絶縁性薄葉体（４）に帯状電極を設ける方
法は、特に図示しないが、図１において、電線（７）及
び（８）に対応する２相構造の帯状電極を固定子の帯状
電極（２）と対応させて設け、これらの電線に常時正負
の電圧を印加する方法であって、各帯状電極に存する正
負の電荷を鏡像電荷及びの代わりに利用する方法で
ある。また、イオン発生装置を利用する方法は、固定子
（３）に接して絶縁性薄葉体（４）を配置し、電線
（７）、電線（８）に正負の電圧を印加して電荷を誘導
した後、除電器として知られているイオン発生装置（針
電極に交流電圧を印加してコロナ放電を起こさせ、生じ
た正負のイオン風を送風機にて帯電物体に当てるように
なされた装置）からのイオン風を絶縁性薄葉体（４）の
表面に当てる方法であって、絶縁性薄葉体（４）の表面
に形成されたイオン化空気層を鏡像電荷及びの代わ
りに利用する方法である。そして、イオン発生装置とし
ては、「静電気ハンドブック」（静電気学会偏、オーム
社出版、第１版８１９頁以降）に記載の各種の除電器を
使用することが出来る。The method of providing the strip electrode on the insulating thin leaf body (4) is not particularly shown, but in FIG. 1, the strip electrode of the two-phase structure corresponding to the electric wires (7) and (8) is replaced by the strip electrode of the stator. This is a method provided corresponding to (2), in which positive and negative voltages are constantly applied to these electric wires, and positive and negative charges existing in each strip electrode are used instead of the image charge and. In addition, the method of using an ion generator is to arrange an insulating thin leaf body (4) in contact with a stator (3) and apply positive and negative voltages to the electric wires (7) and (8) to induce electric charges. After that, from an ion generator known as a static eliminator (a device designed to apply an AC voltage to the needle electrode to cause a corona discharge, and to apply positive and negative ion wind to the charged object with a blower) Is applied to the surface of the insulating thin leaf body (4), and the ionized air layer formed on the surface of the insulating thin leaf body (4) is used instead of the image charge and. As the ion generator, various static eliminators described in “Static Handbook” (Electrostatic Society Handbook, published by Ohmsha, 1st edition, page 819 and later) can be used.

【００２１】絶縁性薄葉体（４）の厚さは、当該絶縁性
薄葉体に電荷を付与する方法によって静電アクチュエー
タの発生力が異なるために一概には決定できないが、通
常は１０μｍ以上とされる。そして、電荷を付与する方
法として絶縁性薄葉体（４）に抵抗体層（５）を設ける
方法を採用した場合には、１０〜２００μｍの範囲とす
るのが好ましい。また、電荷の付与が何れの方法で行わ
れる場合においても、絶縁性薄葉体（４）の厚さは、絶
縁性支持体（１）に並べた帯状電極（２）の間隔をＰと
し、帯状電極（２）の表面と絶縁性薄葉体（４）と抵抗
体層（５）（絶縁性薄葉体（４）に帯状電極を設けた場
合は当該帯状電極、イオン化空気層を形成した場合はそ
れ自体）との境界面との距離をＧとした場合、０．１＜
Ｇ／Ｐ＜０．４の関係を満足する範囲とするのが好まし
い。The thickness of the insulating thin leaf body (4) cannot be unconditionally determined because the force generated by the electrostatic actuator varies depending on the method of applying electric charge to the insulating thin leaf body, but it is usually 10 μm or more. It When the method of providing the resistor layer (5) on the insulating thin leaf body (4) is adopted as the method of applying the electric charge, the thickness is preferably in the range of 10 to 200 μm. Whatever method is used to apply the charge, the thickness of the insulating thin leaf body (4) is determined by setting the distance between the strip electrodes (2) arranged on the insulating support (1) as P and strip shape. The surface of the electrode (2), the insulating thin leaf body (4), and the resistor layer (5) (if the insulating thin leaf body (4) is provided with a strip electrode, the strip electrode is formed, and if an ionized air layer is formed, it is If the distance from the boundary surface to
It is preferable to set the range to satisfy the relationship of G / P <0.4.

【００２２】本発明の最大の特徴は、固定子の片面また
は両面および／または移動子の片面または両面に撥水剤
層を設けるか或いは固定子の絶縁性支持体および／また
は移動子の絶縁性薄葉体を吸水率が０．１％重量以下の
材料で構成する点にある。The greatest feature of the present invention is that a water repellent layer is provided on one or both sides of the stator and / or one or both sides of the mover, or the insulating support of the stator and / or the insulative property of the mover is used. The thin leaf is composed of a material having a water absorption of 0.1% by weight or less.

【００２３】本発明における上記の撥水剤層の作用効果
について、図２（ａ）及び（ｂ）に基づいて詳細に説明
する。図２（ａ）は、移動子に抵抗体層を用いた静電ア
クチュエータの１ユニットの模式図であり、絶縁性薄葉
体（４）と抵抗体層（５）の境界面と帯状電極（２）の
表面とでコンデンサー（１０）が構成されている状態を
示している。図２（ｂ）は、例えば、絶縁性支持体
（１）の表面が吸湿した場合の図２（ａ）と同様の模式
図であり、絶縁性支持体（１）の表面に弱い導電層が形
成され、これが抵抗体層（５′）を形成する結果、新た
なコンデンサー（１０′）が構成されている状態を示し
ている。The function and effect of the water repellent layer in the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 (a) and 2 (b). FIG. 2A is a schematic view of one unit of an electrostatic actuator using a resistor layer as a moving element, and shows the boundary surface between the insulating thin leaf body (4) and the resistor layer (5) and the strip electrode (2). 2) shows the state in which the condenser (10) is constituted by the surface of FIG. FIG. 2B is a schematic diagram similar to FIG. 2A in the case where the surface of the insulating support (1) absorbs moisture, and a weak conductive layer is formed on the surface of the insulating support (1). It is formed, and as a result of forming the resistor layer (5 '), a new capacitor (10') is formed.

【００２４】図２（ｂ）から明らかなように、絶縁性支
持体（１）等が吸湿した場合、コンデンサー（１０）と
直列の関係となる新たなコンデンサー（１０′）が構成
され、その結果、絶縁性薄葉体（４）と抵抗体層（５）
の境界に電荷が誘導されなくなり、移動子が移動しなく
なる。上記の現象は、絶縁性支持体（１）の表面が吸湿
した場合の他、移動子を構成する絶縁性薄葉体（４）の
表面が吸湿した場合においても同様に生じる。そこで、
本発明においては、固定子の片面または両面および／ま
たは移動子の片面または両面に撥水剤層を設けることに
より、新たなコンデンサー（１０′）の構成を防止す
る。斯かる効果的は、固定子の絶縁性支持体および／ま
たは移動子の絶縁性薄葉体を低吸水率の材料で構成する
ことによっても達成することが出来る。As is apparent from FIG. 2 (b), when the insulating support (1) or the like absorbs moisture, a new capacitor (10 ') having a series relationship with the capacitor (10) is formed, and as a result, , Insulating thin leaf (4) and resistor layer (5)
The electric charge is not induced at the boundary of, and the mover does not move. The above phenomenon similarly occurs not only when the surface of the insulating support (1) absorbs moisture but also when the surface of the insulating thin leaf body (4) constituting the moving element absorbs moisture. Therefore,
In the present invention, a water repellent layer is provided on one side or both sides of the stator and / or one side or both sides of the mover to prevent the construction of a new condenser (10 '). Such an effect can also be achieved by constructing the insulating support of the stator and / or the insulating thin leaf of the mover with a material having a low water absorption rate.

【００２５】本発明に用いる撥水剤としては、特に制限
はなく、防湿塗料として知られる各種の撥水剤を使用す
ることが出来る。例えば、「ペンガルＺ」（ダウコーニ
ング（株）製の商品名）、「サイマック」（東亜合成化
学工業（株）製の商品名）等のシリコン系塗料、「サイ
トップ」（旭ガラス（株）製の商品名）等のフッソ系塗
料を好適に使用し得る。また、フッソ又はシリコン系の
表面改質剤として知られる「アロンＧ」の各シリーズ
（東亜合成化学工業（株）製の商品）も好適に使用し得
る。The water repellent used in the present invention is not particularly limited, and various water repellents known as moisture-proof coatings can be used. For example, silicone paints such as "Pengal Z" (trade name of Dow Corning), "Cymac" (trade name of Toa Gosei Chemical Co., Ltd.), "CYTOP" (Asahi Glass Co., Ltd.) Fluorine-based paints such as (trade name) manufactured by the present invention can be preferably used. Further, each series of “Aron G” known as a fluorine-based or silicon-based surface modifier (a product manufactured by Toagosei Kagaku Kogyo Co., Ltd.) can be preferably used.

【００２６】上記の撥水剤は、溶媒に溶解または分散さ
せた後、固定子の片面または両面および／または移動子
の片面または両面に塗布されて撥水剤層を形成する。溶
媒としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、
酢酸ブチル、メチルイソブチルケトン、パーフロロ−２
−ブチルハイドロフラン等が適宜使用される。また、塗
布法としては、ディップ法、スピンコート法、スプレー
法、グラビア法、ナイフコート法、ロールコート法等が
適宜採用される。撥水剤層の膜厚は、通常、０．０１〜
１０μｍの範囲、好ましくは、０．１〜１μｍの範囲か
ら選ばれる。The above water repellent is dissolved or dispersed in a solvent and then applied on one or both sides of the stator and / or one or both sides of the mover to form a water repellent layer. Examples of the solvent include benzene, toluene, xylene,
Butyl acetate, methyl isobutyl ketone, perfluoro-2
-Butyl hydrofuran or the like is used appropriately. As a coating method, a dipping method, a spin coating method, a spraying method, a gravure method, a knife coating method, a roll coating method or the like is appropriately adopted. The film thickness of the water repellent layer is usually 0.01 to
It is selected from the range of 10 μm, preferably the range of 0.1 to 1 μm.

【００２７】一方、固定子の絶縁性支持体および／また
は移動子の絶縁性薄葉体を構成する低吸水率の材料とし
ては、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂
等のポリオレフィン樹脂のフイルムが好適であり、これ
らの樹脂、例えば、キャストポリプロピレンフイルムの
吸水率は、０．００５重量％である。そして、低吸水率
の材料は、撥水剤の利用に代えて使用されるが、低吸水
率の材料で構成された固定子の片面または両面および／
または移動子の片面または両面に撥水剤層を設けるのが
最良である。なお、本発明において吸水率は、ＪＩＳＫ
７２０９に規定された方法に従って測定した値を言
う。本発明の静電アクチュエータは、上記のようにして
構成された固定子と移動子から成り、公知の静電アクチ
ュエータと同様の駆動原理に従って駆動される。On the other hand, as a material having a low water absorption rate which constitutes the insulating support of the stator and / or the insulating thin leaf of the mover, for example, a film of polyolefin resin such as polyethylene resin or polypropylene resin is suitable. The water absorption of these resins, for example, cast polypropylene film, is 0.005% by weight. A low water absorption material is used instead of the water repellent agent, but one or both surfaces of the stator formed of the low water absorption material and / or
Alternatively, it is best to provide a water repellent layer on one side or both sides of the moving element. In the present invention, the water absorption rate is JISK.
The value measured according to the method specified in 7209. The electrostatic actuator of the present invention comprises the stator and the mover configured as described above, and is driven according to the same driving principle as a known electrostatic actuator.

【００２８】[0028]

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明は、その要旨を越えない限り以下の実施
例に限定されるものではない。なお、以下の諸例におい
て、静電アクチュエータの駆動試験は、３０℃，７０％
ＲＨの雰囲気条件下、以下の［表２］に示す駆動条件を
採用し、図１（ａ）〜図１（ｄ）に示す要領に従って実
施した。EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to examples below, but the present invention is not limited to the following examples as long as the gist thereof is not exceeded. In the following examples, the drive test of the electrostatic actuator was conducted at 30 ° C and 70%.
Under the RH atmosphere conditions, the driving conditions shown in the following [Table 2] were adopted, and the operation was performed according to the procedure shown in FIGS. 1 (a) to 1 (d).

【００２９】[0029]

【表２】 ＜駆動条件＞ 初期充電時間：５ｓ 充電時間 ：９ｍｓ 移動時間 ：１ｍｓ 駆動周波数 ：１００Ｈｚ 駆動電圧 ：±６００ｖ 駆動距離 ：２０ｃｍの往復[Table 2] <Driving conditions> Initial charging time: 5 s Charging time: 9 ms Travel time: 1 ms Driving frequency: 100 Hz Driving voltage: ± 600 v Driving distance: 20 cm round trip

【００３０】実施例１ （１）移動子 厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
フイルム（ダイアホイルヘキスト社製、商品名「Ｓタイ
プ」）の一方の面に下記の組成のカーボンブラック組成
物を塗布して乾燥することにより抵抗体層を形成した。
塗布量は、カーボンブラックの量が０．１４ｇ／ｍ² と
なるようにマイクログラビアロールで調整した。 カーボンブラック ：２６ｇ （三菱化成（株）製、商品名「＃３７５０Ｐ」） ポリウレタン樹脂溶液 ：２９６ｇ （グッドリッチ社製、商品名「エスティン５７０８」） シリコン系表面改質剤 ：２ｇ （東亜合成化学（株）製、商品名「アロンＧＦ−３０
０」） テトラヒドロフラン ：１６７８ｇ 上記のＰＥＴフイルムの他方の面にシリコン塗料（東亜
合成化学（株）製、商品名「ＵＳ−３５０」）を乾燥厚
さが１μｍとなるように塗布して撥水剤層を形成するこ
とにより移動子を構成した。上記の移動子の表面抵抗を
雰囲気条件を変えて測定したところ、次の通りであっ
た。 ２５℃，５０％ＲＨ：５×１０¹⁴Ω／□ ４５℃，８０％ＲＨ：９×１０¹³Ω／□Example 1 (1) Moving element Polyethylene terephthalate (PET) having a thickness of 25 μm
A carbon black composition having the following composition was applied to one surface of a film (manufactured by Dia foil Hoechst, trade name "S type") and dried to form a resistor layer.
The coating amount was adjusted with a micro gravure roll so that the amount of carbon black was 0.14 g / m ² . Carbon black: 26 g (Mitsubishi Kasei Co., Ltd., trade name “# 3750P”) Polyurethane resin solution: 296 g (Goodrich Co., trade name “Estin 5708”) Silicone surface modifier: 2 g (Toa Gosei Chemical ( Co., Ltd., trade name "Aron GF-30
0 ") Tetrahydrofuran: 1678 g A water repellent agent is prepared by applying a silicone paint (trade name" US-350 "manufactured by Toagosei Kagaku Co., Ltd.) to the other surface of the PET film so that the dry thickness is 1 µm. The mover was constructed by forming layers. The surface resistance of the mover was measured under different atmospheric conditions and was as follows. 25 ° C, 50% RH: 5 × 10 ¹⁴ Ω / □ 45 ° C, 80% RH: 9 × 10 ¹³ Ω / □

【００３１】（２）固定子 厚さ１２５μｍのＰＥＴフイルム（ダイアホイルヘキス
ト社製）の表面に、幅０．２ｍｍ、ピッチ０．４ｍｍの
帯状電極を図１に示す３相構造に形成し、当該帯状電極
の表面に、紫外線硬化型の絶縁スクリーンインキ（日本
アチソン（株）製、商品名「ＭＬ２５０９４」）を乾燥
厚さが５μｍとなるようにスクリーン印刷により塗布し
て絶縁層を形成することによりベースフイルムを構成し
た。一方、厚さ２５μｍのＰＥＴフイルム（ダイアホイ
ルヘキスト社製）の両面にシリコン系塗料「ペンガル
Ｚ」（ダウコーニング（株）製の商品名）を乾燥厚さが
０．５μｍとなるように塗布して撥水剤層を形成するこ
とによりスペーサーフイルムを構成した。シリコン系塗
料の塗布は、トルエンを溶媒として使用し、スピンコー
ターを用いて行った。前記のベースフイルムの絶縁層側
に上記のスペーサーフイルムを載置して固定子を構成し
た。(2) Stator A strip electrode having a width of 0.2 mm and a pitch of 0.4 mm was formed on the surface of a PET film (manufactured by Diafoyhext) having a thickness of 125 μm in the three-phase structure shown in FIG. By applying an ultraviolet-curable insulating screen ink (manufactured by Nippon Acheson Co., Ltd., trade name “ML25094”) to the surface of the strip electrode by screen printing so that the dry thickness becomes 5 μm, thereby forming an insulating layer. The base film was constructed. On the other hand, a 25-μm-thick PET film (manufactured by Diafoil Hoechst) was coated with a silicone paint “Pengal Z” (trade name of Dow Corning Co., Ltd.) to a dry thickness of 0.5 μm. A spacer film was formed by forming a water repellent layer by using the above. The silicon-based paint was applied using toluene as a solvent and using a spin coater. The spacer film was placed on the insulating layer side of the base film to form a stator.

【００３２】（３）静電アクチュエータ 上記の（１）及び（２）で製作した移動子および固定子
を接するように配置して静電アクチュエータを構成し
た。配置は移動子の撥水剤層側と固定子のスペーサーフ
イルム側とが接するように行い、移動子と固定子の間に
粒径約１０μｍの球状ガラスビーズ（東芝バロティーニ
社製、商品名「ＧＢ７３１Ｍ」）を散在させた。固定子
の帯状電極の表面と移動子におけるＰＥＴフイルムと抵
抗体層との境界面との距離は約６７μｍであり、Ｇ／Ｐ
は０．１６であった。上記の静電アクチュエータの駆動
試験を行なったところ、移動子は５時間以上連続的かつ
円滑に移動した。(3) Electrostatic Actuator An electrostatic actuator was constructed by arranging the mover and the stator manufactured in the above (1) and (2) so as to be in contact with each other. The arrangement is such that the water repellent layer side of the mover and the spacer film side of the stator are in contact with each other, and spherical glass beads having a particle size of about 10 μm (manufactured by Toshiba Ballotini, trade name “GB731M” are provided between the mover and the stator. ]) Interspersed. The distance between the surface of the strip-shaped electrode of the stator and the boundary surface between the PET film and the resistor layer in the mover is about 67 μm, and G / P
Was 0.16. When the drive test of the above electrostatic actuator was conducted, the mover continuously and smoothly moved for 5 hours or more.

【００３３】実施例２ 実施例１において、固定子のスペーサーフイルムとし
て、撥水剤層を形成したＰＥＴフイルムの代わりに、厚
さ２５μｍのキャストポリプロヒレンフイルム（吸水率
０．００５重量％）を使用した他は、実施例１と同様に
して静電アクチュエータを構成した。上記の静電アクチ
ュエータの駆動試験を行なったところ、移動子は５時間
以上連続的かつ円滑に移動した。Example 2 In Example 1, as the spacer film of the stator, a 25 μm-thick cast polypropylene film (water absorption rate 0.005% by weight) was used instead of the PET film having the water repellent layer formed thereon. An electrostatic actuator was constructed in the same manner as in Example 1 except for the above. When the drive test of the above electrostatic actuator was conducted, the mover continuously and smoothly moved for 5 hours or more.

【００３４】実施例３ 実施例１において、移動子の絶縁性フイルムとして、厚
さ２５μｍのＰＥＴフイルムの代わりに、厚ささ２５μ
ｍのキャストポリプロピレンフイルム（吸水率０．００
５重量％）を使用した他は、実施例１と同様にして静電
アクチュエータを構成した。そして、固定子の帯状電極
（７）と（８）に正負の電圧を印加した状態で上記のキ
ャストポリプロピレンフイルムの表面にイオン風を当て
た。イオン化装置としては、日本スタテック社製の除電
装置ＳＨ−２型を使用した。次いで、実施例１と同一条
件で駆動試験を行ったところ、移動子は５時間以上連続
的かつ円滑に移動した。なお、上記の駆動試験において
は、キャストポリプロピレンフイルムの表面にイオン風
を連続的に当てた方が円滑に駆動することが確認され
た。Example 3 In Example 1, as the insulating film of the moving element, the thickness of 25 μm was used instead of the PET film of 25 μm in thickness.
m cast polypropylene film (water absorption 0.00
5% by weight) was used to construct an electrostatic actuator in the same manner as in Example 1. Then, ionic wind was applied to the surface of the cast polypropylene film while positive and negative voltages were applied to the strip electrodes (7) and (8) of the stator. As the ionizer, a static eliminator SH-2 type manufactured by Japan Static Co., Ltd. was used. Next, when a drive test was performed under the same conditions as in Example 1, the mover moved continuously and smoothly for 5 hours or more. In the above drive test, it was confirmed that the surface of the cast polypropylene film was smoothly driven by continuously applying ionic wind.

【００３５】実施例４ （１）移動子 実施例１の移動子に使用したと同一のＰＥＴフイルムの
表面に電極幅が０．２ｍｍ、電極ピッチが０．４ｍｍの
２相構造の帯状電極を形成し、更に、帯状電極側の表面
に紫外線硬化型の絶縁スクリーンインキ（日本アチソン
（株）製、商品名「ＭＬ２５０９４」）を乾燥厚さが２
５μｍとなるようにスクリーン印刷により塗布して絶縁
層を形成することによりベースフイルムを構成した。上
記のベースフイルムの両面にシリコン系塗料（「ペンガ
ルＺ」）を乾燥厚さが０．５μｍとなるように塗布して
撥水剤層を形成することにより移動子を構成した。シリ
コン系塗料の塗布は、トルエンを溶媒として使用し、ス
ピンコーターを用いて行った。Example 4 (1) Moving element A strip electrode having a two-phase structure with an electrode width of 0.2 mm and an electrode pitch of 0.4 mm was formed on the surface of the same PET film as that used for the moving element of Example 1. In addition, a UV-curable insulating screen ink (manufactured by Nippon Acheson Co., Ltd., trade name “ML25094”) is dried on the surface of the strip electrode to a dry thickness of 2
The base film was formed by applying an insulating layer by screen printing so as to have a thickness of 5 μm. A silicone-based coating (“Pengal Z”) was applied to both sides of the above base film so as to have a dry thickness of 0.5 μm to form a water repellent layer, thereby forming a mover. The silicon-based paint was applied using toluene as a solvent and using a spin coater.

【００３６】（２）固定子 実施例２におけると同様の固定子を使用した。 （３）静電アクチュエータ 上記の（１）及び（２）の移動子および固定子を接する
ように配置して静電アクチュエータを構成した。配置は
移動子の撥水剤層側と固定子のスペーサーフイルム側と
が接するように行い、移動子と固定子の間に粒径約１０
μｍの球状ガラスビーズ（東芝バロティーニ社製、商品
名「ＧＢ７３１Ｍ」）を散在させた。固定子の帯状電極
の表面と移動子におけるＰＥＴフイルムと抵抗体層との
境界面との距離は約６５μｍであり、Ｇ／Ｐは０．１６
であった。上記の静電アクチュエータの駆動試験を行な
ったところ、移動子は５時間以上連続的かつ円滑に移動
した。(2) Stator The same stator as in Example 2 was used. (3) Electrostatic Actuator An electrostatic actuator was constructed by arranging the mover and the stator of (1) and (2) above in contact with each other. The arrangement is such that the water repellent layer side of the mover and the spacer film side of the stator are in contact with each other, and the particle size is about 10 between the mover and the stator.
μm spherical glass beads (manufactured by Toshiba Ballotini, trade name “GB731M”) were scattered. The distance between the surface of the belt-shaped electrode of the stator and the boundary surface between the PET film and the resistor layer in the mover is about 65 μm, and G / P is 0.16.
Met. When the drive test of the above electrostatic actuator was conducted, the mover continuously and smoothly moved for 5 hours or more.

【００３７】比較例１ （１）移動子 実施例１において、表面改質剤（東亜合成化学（株）
製、商品名「ＧＦ−３００」）及びシリコン塗料（東亜
合成化学（株）製、商品名「ＵＳ−３５０」）を使用す
ることなしに移動子を構成した。上記の移動子の表面抵
抗を雰囲気条件を変えて測定したところ、次の通りであ
った。 ２５℃，５０％ＲＨ：５×１０¹⁴Ω／□ ４５℃，８０％ＲＨ：５×１０¹²Ω／□Comparative Example 1 (1) Movable element In Example 1, a surface modifier (Toagosei Kagaku Co., Ltd.) was used.
Manufactured by Toa Gosei Kagaku Co., Ltd., trade name "US-350") and a silicone coating (trade name "GF-300"). The surface resistance of the mover was measured under different atmospheric conditions and was as follows. 25 ° C, 50% RH: 5 × 10 ¹⁴ Ω / □ 45 ° C, 80% RH: 5 × 10 ¹² Ω / □

【００３８】（２）固定子 実施例２におけると同様の固定子を使用した。 （３）静電アクチュエータ 実施例１と同様にして静電アクチュエータを構成した。
上記の静電アクチュエータの駆動試験を行なったとこ
ろ、移動子は最初の１０分間は順調に移動したが、その
後、動きが悪くなり、３０分後には全く移動しなくなっ
た。(2) Stator The same stator as in Example 2 was used. (3) Electrostatic Actuator An electrostatic actuator was constructed in the same manner as in Example 1.
When the drive test of the above electrostatic actuator was conducted, the mover moved smoothly for the first 10 minutes, but then the movement became worse, and after 30 minutes it stopped moving at all.

【００３９】[0039]

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、高湿条件
下においても円滑に駆動し得るように改良された静電ア
クチュエータを提供が提供される。よって、本発明は、
静電アクチュエータの実用化に寄与するところが大き
い。According to the present invention described above, there is provided an electrostatic actuator improved so that it can be smoothly driven even under high humidity conditions. Therefore, the present invention is
It greatly contributes to the practical application of electrostatic actuators.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】図１（ａ）〜（ｄ）は、静電アクチュエータの
駆動原理の説明図である。1A to 1D are explanatory diagrams of a driving principle of an electrostatic actuator.

【図２】（ａ）は、移動子に抵抗体層を用いた静電アク
チュエータの１ユニットの模式図であり、（ｂ）は、例
えば、絶縁性支持体（１）の表面が吸湿した場合の図２
（ａ）と同様の模式図である。FIG. 2 (a) is a schematic view of one unit of an electrostatic actuator using a resistor layer as a moving element, and FIG. 2 (b) is a case where, for example, the surface of the insulating support (1) absorbs moisture. Figure 2
It is a schematic diagram similar to (a).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

（１）：絶縁性支持体 （２）：帯状電極 （３）：固定子 （４）：絶縁性フイルム又は絶縁性薄葉体 （５）：抵抗体層 （６）：移動子 （７）〜（９）：電線 (1): Insulating support (2): Strip electrode (3): Stator (4): Insulating film or insulating thin film (5): Resistor layer (6): Moving element (7) to ( 9): Electric wire

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 畑部 悦生 神奈川県鎌倉市大船二丁目14番40号 三菱 電機株式会社生活システム研究所内 (72)発明者 永田 良浩 神奈川県鎌倉市大船二丁目14番40号 三菱 電機株式会社生活システム研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Etsuo Hatabe 2-14-40 Ofuna, Kamakura-shi, Kanagawa Mitsubishi Electric Corporation Life Systems Research Institute (72) Inventor Yoshihiro Nagata 2-chome Ofuna, Kamakura, Kanagawa No. 40 Mitsubishi Electric Corporation Life Systems Research Center

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 絶縁性支持体に電極を所定間隔で並べた
固定子と絶縁性薄葉体に正負の電荷を付与した移動子と
が接するように配置されて成る静電アクチュエータにお
いて、固定子の片面または両面および／または移動子の
片面または両面に撥水剤層を設けるか或いは固定子の絶
縁性支持体および／または移動子の絶縁性薄葉体を吸水
率が０．１重量％以下の材料で構成することを特徴とす
る静電アクチュエータ。1. An electrostatic actuator in which a stator having electrodes arranged on an insulating support at a predetermined interval and a moving member having positive and negative charges applied to an insulating thin sheet are arranged in contact with each other. A material in which a water repellent layer is provided on one surface or both surfaces and / or one surface or both surfaces of a mover, or the insulating support of the stator and / or the insulating thin leaf of the mover has a water absorption rate of 0.1% by weight or less. An electrostatic actuator comprising: